JP6627379B2 - 光制御素子 - Google Patents
光制御素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6627379B2 JP6627379B2 JP2015194121A JP2015194121A JP6627379B2 JP 6627379 B2 JP6627379 B2 JP 6627379B2 JP 2015194121 A JP2015194121 A JP 2015194121A JP 2015194121 A JP2015194121 A JP 2015194121A JP 6627379 B2 JP6627379 B2 JP 6627379B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- substrate
- light control
- control element
- circuit board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Description
本発明の光制御素子は、図6に示すように、電気光学効果を有する基板1と、該基板に形成された光導波路(L1,L2)と、該光導波路を伝搬する光波を制御する制御電極(CS1〜CS2,CG1〜CG3)を有する光制御用基板(LS)と、該光制御用基板に対して積層して配置されると共に、該制御電極に電気接続される配線電極(VG)を有する回路基板(KS)とを備えた光制御素子において、該回路基板の該光制御用基板に対向する面の一部には、該制御電極に対応して凹部(R1,R2)が設けられていることを特徴とする。
2,21,22 光導波路
30,70,71,CS,CS1〜CS2 制御電極(信号電極)
31,32,72〜74,CG1〜CG3 制御電極(接地電極)
4 回路用の基板
50〜55,60〜64 配線電極
KS 回路基板
LS 光制御用基板
BG バンプ
VG ビア
PG 接地用配線パターン
SH シールド層
R1,R2 凹部
Claims (4)
- 電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を制御する制御電極を有する光制御用基板と、
該光制御用基板に対して積層して配置されると共に、該制御電極に電気接続される配線電極を有する回路基板とを備えた光制御素子において、
該回路基板の該光制御用基板に対向する面の一部には、該制御電極に対応して凹部が設けられており、
該制御電極は、信号電極と接地電極とを有し、該凹部は、該凹部が形成する空間に、該信号電極と該接地電極との間に発生する電界を形成するものであることを特徴とする光制御素子。 - 請求項1に記載の光制御素子において、該凹部は、該制御電極の形成する電界が該光導波路に作用している作用領域を、平面視した際に含む範囲に形成されていることを特徴とする光制御素子。
- 請求項2に記載の光制御素子において、該作用領域における該制御電極がコプレーナ型電極であり、該制御電極から該凹部の最深部までの高さHは、該コプレーナ型電極における信号電極を挟む接地電極の間隔の1倍以上であることを特徴とする光制御素子。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載の光制御素子において、該回路基板には、平面視した際に該制御電極の少なくとも一部を覆うように配置された導電性のシールド層を有していることを特徴とする光制御素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015194121A JP6627379B2 (ja) | 2015-09-30 | 2015-09-30 | 光制御素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015194121A JP6627379B2 (ja) | 2015-09-30 | 2015-09-30 | 光制御素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017068071A JP2017068071A (ja) | 2017-04-06 |
JP6627379B2 true JP6627379B2 (ja) | 2020-01-08 |
Family
ID=58492354
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015194121A Active JP6627379B2 (ja) | 2015-09-30 | 2015-09-30 | 光制御素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6627379B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2836568B2 (ja) * | 1996-02-19 | 1998-12-14 | 日本電気株式会社 | 光制御素子及びその製造方法 |
JP3758812B2 (ja) * | 1996-12-27 | 2006-03-22 | 京セラ株式会社 | 光導波路デバイス |
US6584240B2 (en) * | 2001-03-30 | 2003-06-24 | Fujitsu Limited | Optical modulator having ridge and associated structure on substrate |
JP2006284838A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 光変調器 |
-
2015
- 2015-09-30 JP JP2015194121A patent/JP6627379B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017068071A (ja) | 2017-04-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8644647B2 (en) | Optical control device | |
US7873244B2 (en) | Light control device | |
US7912326B2 (en) | Optical control device | |
US7408693B2 (en) | Electro-optic device | |
US7925123B2 (en) | Optical control device | |
US20150261062A1 (en) | Optical module | |
US8120925B2 (en) | Circuit device | |
US11940708B2 (en) | Optical modulator | |
US10502982B2 (en) | Optical modulator | |
US20150261063A1 (en) | Optical module | |
JP2016020928A (ja) | 光モジュール及び送信装置 | |
JP2016156893A (ja) | 光モジュール | |
JP2016194544A (ja) | 広帯域導波路型光素子 | |
US20220146901A1 (en) | Optical modulator | |
JP2015055669A (ja) | 光変調器モジュール | |
CN113885227A (zh) | 光器件及光通信装置 | |
JP6627379B2 (ja) | 光制御素子 | |
WO2021199522A1 (ja) | 光導波路素子とそれを用いた光変調デバイス及び光送信装置 | |
JP2017181851A (ja) | 光変調器 | |
US20230096004A1 (en) | Optical waveguide element, and optical modulation device and optical transmission device using the same | |
US20230314851A1 (en) | Optical modulator and optical transmission device using same | |
JP2017067856A (ja) | 光デバイス | |
JP3731622B2 (ja) | 光導波路デバイス | |
JPH1048584A (ja) | 光制御デバイスの製作方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180214 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181128 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181204 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190204 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190806 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191007 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191105 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191118 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6627379 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |