JP4435606B2 - 固体撮像装置及びカメラ - Google Patents
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図1は、第1の実施形態に係る固体撮像装置の画素部1の断面図である。固体撮像装置の画素部1は、半導体基板10上に層間絶縁膜20が積層されて構成されている。層間絶縁膜20の内部には図示しない遮光膜が形成され、層間絶縁膜20の上部にはカラーフィルタ51,52,53が形成されている。
上記固体撮像装置の画素部1へ入射する光の進路について、図1を参照しながら説明する。
上記固体撮像装置の画素部1の形成プロセスについて、図2及び図3を参照しながら説明する。
本実施形態において、第2の画素C2に向かって入射する光16は、その緑色(G)の波長領域が選択的透過層60を透過して第2の画素C2へ入射し、赤色(R)及び青色(B)の波長領域が選択的透過層60で反射して第1の画素C1へ入射する。また、第1の画素C1に向かって入射する光15は、第1の画素C1へ入射する。これにより、第1の画素C1に向かって入射する光15だけでなく、第2の画素C2に向かって入射する光16も第1の画素C1に入射させることができる。従って、本実施形態によれば、第1のフォトダイオード41において、従来よりも大幅に多い量の光を光電変換することができ、第1の画素C1の感度を大幅に向上させることができる。同様に、第3のフォトダイオード43において、従来よりも大幅に多い量の光を光電変換することができ、第3の画素C3の感度を大幅に向上させることができる。
図4は、第2の実施形態に係る固体撮像装置の画素部1の断面図である。本実施形態の固体撮像装置の画素部1の構造は、基本的には第1の実施形態と同様であるので、第1の実施形態と異なる点のみ説明する。
図5は、第3の実施形態に係る固体撮像装置の画素部1の断面図である。本実施形態の固体撮像装置の画素部1の構造は、基本的には第1の実施形態と同様であるので、第1の実施形態と異なる点のみ説明する。
図6は、第4の実施形態に係る固体撮像装置の画素部1の断面図である。本実施形態の固体撮像装置の画素部1の構造は、基本的には第1の実施形態と同様であるので、第1の実施形態と異なる点のみ説明する。
上記第1〜第4の実施形態の固体撮像装置では、選択的透過層60を単位画素に向かって入射する光のうち緑色(G)の波長領域に対する透過率が赤色(R)及び青色(B)の波長領域に対する透過率よりも高く、且つ単位画素に向かって入射する光のうち緑色(G)の波長領域に対する反射率が赤色(R)及び青色(B)の波長領域に対する反射率よりも低くなる構成としている。
11 N型層
12 P型層
13 分離領域
15 第1の画素に向かって入射する光
16 第2の画素に向かって入射する光
17 第3の画素に向かって入射する光
20 層間絶縁膜
30 SiO2膜
31 レジストパターン
32 レジストパターン
41 第1のフォトダイオード
42 第2のフォトダイオード
43 第3のフォトダイオード
51 第1のカラーフィルタ
52 第2のカラーフィルタ
53 第3のカラーフィルタ
60 選択的透過層
61 誘電体積層膜
62 TiO2膜
63 SiO2膜
71 第1のマイクロレンズ
72 第2のマイクロレンズ
73 第3のマイクロレンズ
C1 第1の画素
C2 第2の画素
C3 第3の画素
Claims (4)
- 入射光の光電変換を行う光電変換素子を有し、複数種類の色に区画される単位画素が二次元状に複数配列された固体撮像装置において、
前記複数種類の色のうち、特定の色に対応する単位画素を覆うように形成された選択的透過層を備え、
前記選択的透過層は、前記特定の色に対応する波長領域に対する透過率が前記特定の色以外の色に対応する波長領域に対する透過率よりも高く、且つ前記特定の色に対応する波長領域に対する反射率が前記特定の色以外の色に対応する波長領域に対する反射率よりも低くなるように構成されていると共に、前記特定の色に対応する単位画素と隣接する前記特定の色以外の色に対応する単位画素とに跨って形成されている固体撮像装置。 - 請求項1記載の固体撮像装置において、
前記特定の色に対応する単位画素及び前記特定の色以外の色に対応する単位画素にはマイクロレンズが設けられ、
前記特定の色以外の色に対応する単位画素のマイクロレンズは、前記特定の色に対応する単位画素のマイクロレンズよりもその平面的な大きさが小さくなっている固体撮像装置。 - 請求項1記載の固体撮像装置において、
前記特定の色に対応する単位画素及び前記特定の色以外の色に対応する単位画素にはカラーフィルタが設けられ、
前記特定の色に対応する単位画素のカラーフィルタは、前記特定の色以外の色に対応する単位画素のカラーフィルタよりもその入射光が入射する面の面積が大きくなっている固体撮像装置。 - 請求項1乃至3の何れかに記載の固体撮像装置を搭載したカメラ。
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