JP4434116B2 - 金属箔張り積層板の検査方法 - Google Patents
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図1に示す検査装置(銅箔反射方式自動外観検査機)Aを用いて、金属箔張り積層板1の欠陥2を検査した。金属箔張り積層板1は500mm×500mm×厚み1.6mmの両面銅張り積層板を用いた。この金属箔張り積層板1の両面の金属箔の表面には長さ5mm、深さ10μm以下のキズを欠陥2として形成した。
図5に示す検査装置(銅箔反射方式自動外観検査機)Aを用いて、金属箔張り積層板1の欠陥2を検査した。金属箔張り積層板1は実施例1と同様のものを用い、欠陥2も同様に形成した。また、検査エリア7も実施例1と同様にして作成し、リファレンス部5に設定した。さらに、実施例1と同様にして、検査台21に載置した金属箔張り積層板1の金属箔に光を照射しながらカメラ3で撮像し、金属箔張り積層板1の金属箔の全体の画像8をカメラ3からリファレンス部5に取り込んだ。次に、リファレンス部5により上記画像8中のうちの検査エリア7に相当する部分のみについて欠陥2の痕跡24が存在するか否かを判断させて、金属箔張り積層板1に形成した上記欠陥2の有無を判定させた。
金属箔張り積層板1は実施例1と同様のものを用い、欠陥2も同様に形成した。また、欠陥2の検査は、外層パターンフィルムを用いて金属箔張り積層板1の金属箔の表面と照合して目視により行った。
実施例1において、欠陥2を金属箔の回路パターン6の形成予定位置の近傍に意図的に形成した。ここで、回路パターン6の形成予定位置の近傍とは、回路パターン6の形成予定位置の外縁から5μm内側に入った位置から10μm外側に出た位置までの間である。また、欠陥2は金属箔張り積層板1の一枚当たり50個形成した。
欠陥2を形成した金属箔張り積層板1としては実施例3と同様のものを用いた。また、検査エリア7は、図3(b)に示すように、回路パターン6に相当する部分と回路パターン6の周囲をW=5μmの幅(ガーバーデータよりも約2画素分拡大)で囲む部分に相当する部分とを合わせて形成した。そして、その他の構成は実施例1と同様にして、欠陥2を形成した金属箔張り積層板1を検査した。
2 欠陥
3 カメラ
4 画像
5 リファレンス部
6 回路パターン
7 検査エリア
Claims (4)
- 回路パターン形成前の金属箔張り積層板の表面の打痕、キズ、ピンホール、シワから選ばれる欠陥の有無を判定する検査方法であって、回路パターン形成前の金属箔張り積層板の表面を撮像するカメラと、カメラの撮像により得られた画像に基づいて欠陥の有無を判定するリファレンス部とを用い、リファレンス部に検査対象の金属箔張り積層板に形成する予定の回路パターンの設計データを入力する工程と、この設計データに基づいて回路パターンを包含する検査エリアを設定する工程と、リファレンス部にカメラで撮像された金属箔張り積層板の表面の画像のうち検査エリアに相当する部分のみの画像を入力する工程と、この画像に基づいて欠陥の有無をリファレンス部で判定する工程とを備えることを特徴とする金属箔張り積層板の検査方法。
- 回路パターン形成前の金属箔張り積層板の表面の打痕、キズ、ピンホール、シワから選ばれる欠陥の有無を判定する検査方法であって、回路パターン形成前の金属箔張り積層板の表面を撮像するカメラと、カメラの撮像により得られた画像に基づいて欠陥の有無を判定するリファレンス部とを用い、リファレンス部に検査対象の金属箔張り積層板に形成する予定の回路パターンの設計データを入力する工程と、この設計データに基づいて回路パターンを包含する検査エリアを設定する工程と、リファレンス部にカメラで撮像された金属箔張り積層板の表面全部の画像を入力する工程と、この画像の検査エリアに相当する部分のみについて欠陥の有無をリファレンス部で判定する工程とを備えることを特徴とする金属箔張り積層板の検査方法。
- 検査エリアは、回路パターンの外形に沿って回路パターンを拡大した領域であることを特徴とする請求項1又は2に記載の金属箔張り積層板の検査方法。
- 欠陥の有無の判定結果を発生領域別に集計・表示することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の金属箔張り積層板の検査方法。
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