JP4433029B2

JP4433029B2 - 導電パターン形成用インク組成物、導電パターン形成方法、及び導電パターン形成用液滴吐出装置

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Publication number: JP4433029B2
Application number: JP2007250787A
Authority: JP
Inventors: 弘綱三浦; 英和森山; 直之豊田
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2007-09-27
Filing date: 2007-09-27
Publication date: 2010-03-17
Anticipated expiration: 2027-09-27
Also published as: JP2009079169A; TW200914546A; US20090087580A1; CN101397425A; KR20090033040A

Description

本発明は、導電パターン形成用インク組成物、導電パターン形成方法、及び導電パターン形成用液滴吐出装置に関する

低温焼成セラミックス（ＬＴＣＣ：Low Temperature Co-fired Ceramics ）からなる多
層基板は、優れた高周波特性と高い耐熱性を有するため、高周波モジュールの基板やＩＣ
パッケージの基板等に広く利用されている。ＬＴＣＣ多層基板の製造方法では、金属イン
クを用いてグリーンシートの上に回路パターンを描画する工程と、複数のグリーンシート
を積層して一括焼成する工程とが用いられている。

回路パターンを描画する工程においては、回路パターンの高密度化を図るため、金属イ
ンクを微小な液滴にして吐出する、いわゆるインクジェット法が提案されている（例えば
、特許文献１）。インクジェット法は、数ピコリットル〜数十ピコリットルからなる液滴
を用い、この液滴の吐出位置を変更することにより回路パターンの微細化や狭ピッチ化を
可能にする。この液滴からなる回路パターンが乾燥炉で乾燥される場合、グリーンシート
は、その全体にわたり加熱処理を受けるため、熱的な変形を増大させてしまう。そこで、
インクジェット法では、従来から、上記問題を解決するための提案がなされている。

特許文献２〜４は、それぞれ液滴を吐出する液滴吐出ヘッドにレーザ源を設け、吐出す
る液滴の各々にレーザを照射して各液滴を瞬時に乾燥させる。レーザ源の出射するレーザ
は、液滴の領域にのみ必要な熱量を供給するため、回路パターンやグリーンシートの熱的
損傷を大幅に軽減できる。
特開２００５−５７１３９号公報特開２００６−２４７５２９号公報特開２００６−２４８１８９号公報特開２００６−２４７６２２号公報

インクジェット法においては、所望形状の回路パターンを描画するために、対象物と液
滴吐出ヘッドとを相対移動させる。対象物と液滴吐出ヘッドとの相対移動、すなわち液滴
とレーザとの相対移動は、対象物上の液滴をレーザの領域から瞬時に退避させ、対象物上
の液滴に対し、レーザの照射時間を著しく短くしてしまう。

液滴吐出ヘッドにおいては、ノズルの形成ピッチが数十μｍ〜数百μｍであるため、ノ
ズルごとにレーザを照射する場合には、レーザのスポットサイズが、ノズルの形成ピッチ
と略同じサイズにまで縮小化されてしまう。縮小化したレーザのスポットは、対象物上の
液滴に対し、レーザの照射時間をさらに短くしてしまう。

この結果、レーザを用いる液滴の乾燥方法では、液滴を乾燥させるための十分な照射時
間を得難く、液滴の乾燥不足を招く問題があった。こうした問題は、照射時間の短縮をレ
ーザの出力増加により補うことで解消可能と考えられる。しかしながら、乾燥に要するエ
ネルギーの全てを液滴に向けて短時間で照射すると、液滴が容易に突沸してパターンを消
失させてしまう。

本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、液滴の乾燥効
率を向上させたインク組成物、該インク組成物を用いるパターン形成方法、及び液滴吐出
装置を提供することである。

本発明のインク組成物は、導電性微粒子と、前記導電性微粒子を分散する分散媒と、光
を受けることにより燃焼反応を開始する燃焼物とを有する。
本発明のインク組成物は、光を受けことにより燃焼物の燃焼反応を開始させ、その燃焼
反応で発生する熱により自身の乾燥を促進することができる。したがって、本発明のイン
ク組成物は、インク組成物からなる液滴の乾燥効率を向上することができる。

このインク組成物は、前記光が赤外レーザであり、前記燃焼物が酸素を内包する色素の
凝集塊であり、前記色素が前記赤外レーザを受けることにより前記酸素との燃焼反応を開
始する。

このインク組成物は、色素の燃焼反応で発生する熱によりインク組成物の乾燥を促進で
きる。
このインク組成物は、前記光がレーザであり、前記燃焼物が前記レーザを受けることに
より自己燃焼反応を開始する自己燃焼物を有する。

このインク組成物は、自己燃焼物の自己燃焼反応で発生する熱によりインク組成物の乾
燥を促進できる。
このインク組成物は、前記光が赤外レーザであり、前記燃焼物が前記赤外レーザを熱に
変換する色素と、前記色素からの熱を受けることにより自己燃焼反応を開始する自己燃焼
物とを内包するマイクロカプセルを有する。

このインク組成物は、自己燃焼物がマイクロカプセルであるため、導電性微粒子、分散
媒、色素、及び自己燃焼物に関わる制約を軽減できる。
このインク組成物は、前記分散媒が前記燃焼物の燃焼反応により発生する熱で燃焼反応
を開始するアルコール類、グリコール類、エーテル類からなる群から選択される少なくと
もいずれか１つの有機物を有する。

このインク組成物は、燃焼物を一度燃焼させるだけで、分散媒に含まれる有機物を連鎖
的に燃焼させることができる。したがって、このインク組成物は、光の照射時間に関わら
ず、分散媒の乾燥を確実に促進させることができる。

本発明のパターン形成方法は、導電性微粒子と、分散媒と、光を受けることにより燃焼
反応を開始する燃焼物とを含むインク組成物を液滴にして対象物に吐出する工程と、前記
液滴に光を照射して前記燃焼物に燃焼反応を開始させることにより前記液滴を乾燥して前
記対象物に導電性のパターンを形成する工程とを有する。

本発明のパターン形成方法は、燃焼物を含む液滴に光を照射し、燃焼物の燃焼反応によ
る熱で該液滴の乾燥を促進できる。したがって、本発明のパターン形成方法は、インク組
成物からなる液滴の乾燥効率を向上させることができ、ひいてはパターンの微細化を図る
ことができる。

このパターン形成方法は、前記対象物に着弾する前の液滴に光を照射して前記燃焼物に
燃焼反応を開始させる。
このパターン形成方法は、対象物に着弾する前の液滴に燃焼反応、すなわち乾燥処理を
開始させる。したがって、このパターン形成方法は、導電性のパターンに関して、より微
細な設計ルールに対応することができる。

本発明の液滴吐出装置は、導電性微粒子と、分散媒と、光を受けることにより燃焼反応
を開始する燃焼物とを含むインク組成物を貯留するインクタンクと、前記インクタンクか
ら導出される前記インク組成物を受けて前記インク組成物を液滴にして対象物に吐出する
液滴吐出ヘッドと、前記液滴に前記光を照射する照射部とを有する。

本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドから吐出される液滴に光を照射することによ
り、液滴に含まれる燃焼物の燃焼による熱で該液滴の乾燥を促進できる。したがって、本
発明の液滴吐出装置は、液滴の乾燥効率を向上させることができる。

この液滴吐出装置は、前記照射部が前記対象物に着弾する前の液滴に光を照射する。
この液滴吐出装置は、対象物に着弾する前の液滴に燃焼反応、すなわち乾燥処理を開始
させられる。したがって、この液滴吐出装置は、液滴の乾燥効率を、より確実に向上させ
ることができ、導電性微粒子からなるパターンに関して、より微細な設計ルールに対応す
ることができる。

（第一実施形態）
以下、本発明を具体化した第一実施形態を図１〜図６に従って説明する。図１は、液滴
吐出装置１０の全体を示す斜視図である。

図１において、液滴吐出装置１０は、一つの方向に延びる基台１１の上に基板Ｓを載置
するためのステージ１２を有する。ステージ１２は、基板Ｓの一つの面を上に向けた状態
で基板Ｓを位置決め固定し、基台１１の長手方向に沿って基板Ｓを搬送する。基板Ｓとし
ては、グリーンシート、ガラス基板、シリコン基板、セラミック基板、樹脂フィルム、紙
等の各種の基板が用いられる。

本実施形態においては、基板Ｓの上面を吐出面Ｓａという。また、基板Ｓが搬送される
方向であって、図１において左上方向に向かう方向を＋Ｙ方向という。また、＋Ｙ方向と
直交する方向であって、図１において右上方向に向かう方向を＋Ｘ方向とし、基板Ｓの法
線方向をＺ方向という。

液滴吐出装置１０は、基台１１を跨ぐ門型のガイド部材１３の上側にインクタンク１４
を有する。インクタンク１４は、インク組成物としての導電性インク１５を貯留するとと
もに、貯留する導電性インク１５を所定圧力で導出する。ガイド部材１３には、＋Ｘ方向
及び＋Ｘ方向の反対方向（−Ｘ方向）に沿って移動可能なキャリッジ１６が取付けられて
いる。キャリッジ１６は、液滴吐出ヘッド２０を搭載して＋Ｘ方向あるいは−Ｘ方向に移
動することにより、該液滴吐出ヘッド２０を所望位置に位置決めする。なお、基板Ｓを＋
Ｙ方向に搬送する動作を主走査とし、液滴吐出ヘッド２０を＋Ｘ方向及び−Ｘ方向に搬送
する動作を副走査という。

図２は、液滴吐出ヘッド２０をステージ１２から見た斜視図である。図３（ａ）は、図
２のＡ−Ａ断面図であって、液滴吐出ヘッド２０の液滴吐出動作を示す図である。図３（
ｂ）は、液滴吐出ヘッド２０を吐出面Ｓａから見た平面図である。図４（ａ）〜（ｃ）は
、それぞれ液滴Ｄの乾燥工程を示す工程図である。

図２において、液滴吐出ヘッド２０は、＋Ｘ方向に延びるヘッド基板２１の一端に設け
られた入力端子２２と、ヘッド基板２１に支持されるヘッド本体２３とを有する。入力端
子２２は、外部からの駆動信号を受けて該駆動信号をヘッド本体２３に出力する。

ヘッド本体２３は、基板Ｓと対向する面（以下単に、ノズル形成面２３ａ）に、その＋
Ｘ方向の略全幅にわたりｉ個（ｉは１以上の整数）のノズルＮを有する。各ノズルＮは、
それぞれＺ方向に沿ってノズル形成面２３ａに貫通形成され、＋Ｘ方向に沿って所定のピ
ッチ（以下単に、ノズルピッチＮＰという。）で配列される。例えば、ノズル形成面２３
ａには、＋Ｘ方向に沿って１４１μｍのピッチで１８０個のノズルＮが形成されている。

図３において、ヘッド本体２３は、各ノズルＮの上側にそれぞれキャビティ２５を有し
、各キャビティ２５の上側に、それぞれ振動板２６と圧電素子ＰＺとを有する。各キャビ
ティ２５は、それぞれ共通するインクタンク１４に接続されてインクタンク１４からの導
電性インク１５を収容し、連通するノズルＮに対して導電性インク１５を供給する。各振
動板２６は、それぞれＺ方向に振動してキャビティ２５の容積を拡大及び縮小させて連通
するノズルＮのメニスカスを振動させる。各圧電素子ＰＺは、それぞれ駆動信号を受けて
Ｚ方向に収縮して伸張し、振動板２６をＺ方向に振動させる。各キャビティ２５は、対応
する振動板２６がＺ方向に振動するときにメニスカスの導電性インク１５を液滴Ｄにして
吐出させる。例えば、ヘッド本体２３は、インクタンク１４からの導電性インク１５を１
滴あたり１０ｎｇの液滴Ｄにして吐出させる。

図３（ｂ）において、吐出面Ｓａは、一点鎖線で示すドットパターン格子ＤＬによって
仮想分割される。ドットパターン格子ＤＬとは、＋Ｙ方向の格子間隔と＋Ｘ方向の格子間
隔とがそれぞれ液滴Ｄの吐出間隔からなる格子である。例えば、ドットパターン格子ＤＬ
は、＋Ｙ方向における各格子点Ｐ０を、それぞれ液滴Ｄの吐出周期と主走査速度との積（
以下単に、吐出ピッチＥＰという。）で等配し、＋Ｘ方向における格子点Ｐ０を、ノズル
ピッチＮＰで等配する。液滴Ｄを吐出するか否かは、このドットパターン格子ＤＬの格子
点Ｐ０ごとに選択される。本実施形態においては、液滴Ｄの吐出動作が選択される格子点
Ｐ０を目標点Ｐ１という。

液滴Ｄの吐出処理を実行するとき、＋Ｙ方向に配列される一群の格子点Ｐ０の上には、
共通する一つのノズルＮがセットされる。＋Ｙ方向に配列される一群の格子点Ｐ０は、基
板Ｓの主走査によって、それぞれ共通する一つのノズルＮの直下を通過する。

目標点Ｐ１がノズルＮの直下に位置するとき、該ノズルＮに対応する圧電素子ＰＺは、
入力端子２２からの駆動信号を受けて該ノズルＮから液滴Ｄを吐出させる。ノズルＮから
吐出される液滴Ｄは、該ノズルＮと対向する格子点Ｐ０、すなわち目標点Ｐ１に着弾する
。各目標点Ｐ１に着弾する液滴Ｄは、それぞれ吐出面Ｓａの面方向に沿って濡れ広がり、
隣接する液滴Ｄと合一して連続する液状パターン１５Ｐを形成する。例えば、＋Ｙ方向に
配列される一群の格子点Ｐ０が目標点Ｐ１として選択される場合、図３（ｂ）に示すよう
に、各目標点Ｐ１に着弾する液滴Ｄは、＋Ｙ方向に沿って延びる帯状の液状パターン１５
Ｐを形成する。なお、図３では、乾燥後の液状パターン１５Ｐにグラデーションを付して
示す。

図２において、液滴吐出ヘッド２０の下面であって、各ノズルＮの＋Ｙ方向には、レー
ザプレート２４が搭載されている。レーザプレート２４は、その下面（以下単に、レーザ
配設面２４ａという。）の＋Ｘ矢印方向の略全幅にわたり複数の照射部としてのレーザ源
ＬＤを有する。各レーザ源ＬＤは、それぞれ各ノズルＮの＋Ｙ方向にｊ個（ｊは２以上の
整数）だけ配列されて、レーザ配設面２４ａの略全面にｉ×ｊ個のレーザアレイを形成す
る。例えば、レーザプレート２４は、各ノズルＮの＋Ｙ方向に５０μｍのピッチで配列さ
れる３個のレーザ源ＬＤを有し、１８０×３個のレーザアレイを形成する。図２において
は、レーザ源ＬＤの配置位置を説明するため、その数量を省略して示す。本実施形態にお
いては、ｊ個のレーザ源ＬＤの中で最もノズルＮに近いレーザ源ＬＤから順に、第１レー
ザ源ＬＤ１、第２レーザ源ＬＤ２、第３レーザ源ＬＤ３という。

各レーザ源ＬＤは、それぞれ波長８００ｎｍ〜１２００ｎｍの近赤外線領域のレーザ（
以下単に、赤外レーザＢという。）を所定のエネルギーで吐出面Ｓａに向けて照射する。
レーザ源ＬＤとしては、例えば、吐出面Ｓａと略平行の出射面を有する面発光レーザ（Ｖ
ＣＳＥＬ：Vertical Cavity Surface Emitting Laser ）を用いることができる。このＶ
ＣＳＥＬによれば、各レーザ源ＬＤのＺ方向の厚みがプラテンギャップに比べて十分に薄
いため、プラテンギャップを拡張させることなく各レーザ源ＬＤを搭載させることができ
る。

図３において、各レーザ源ＬＤは、それぞれ所定の駆動信号を受けるとき、その直下に
ある吐出面Ｓａの領域に赤外レーザＢを照射する。液滴Ｄの吐出処理を実行するとき、各
目標点Ｐ１に着弾する液滴Ｄは、それぞれ基板Ｓの主走査によって、第１レーザ源ＬＤ１
、第２レーザ源ＬＤ２、第３レーザ源ＬＤ３の順にレーザ源ＬＤの直下を通過する。

図４において、液滴Ｄ（すなわち、導電性インク１５）は、導電性微粒子１５Ａ、水を
主成分とする分散媒１５Ｂ、燃焼物１５Ｃ（図４（ｂ）参照）を有する。
導電性微粒子１５Ａとしては、例えば、金、銀、銅、白金、パラジウム、ロジウム、オ
スミウム、ルテニウム、イリジウム、鉄、錫、コバルト、ニッケル、クロム、チタン、タ
ンタル、タングステン、インジウム等の金属、あるいはこれらの合金を用いることができ
、特に、銀、銅を用いることが好ましい。導電性微粒子１５Ａは、サイズや形状を限定さ
れるものではないが、粒径が数ｎｍ〜数十ｎｍの微粒子を用いることが好ましい。このサ
イズよれば、導電性インク１５の焼成温度を低くすることができ、導電性微粒子１５Ａの
分散性や導電性インク１５の流動性を向上させることができ、ひいては、導電性インク１
５の吐出動作の安定化を図ることができる。

分散媒１５Ｂとしては、水、あるいは水を主成分とする水溶液を用いることができる。
分散媒１５Ｂは、導電性インク１５の粘度を調整するために必要に応じて水溶性の有機溶
媒を含んでも良い。水溶性有機溶媒としては、例えば、エタノール、メタノール、ブタノ
ール、プロパノール、イソプロパノール等のアルキルアルコール類、エチレングリコール
、プロピレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール等のグリコー
ル類、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル
、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセ
テート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエ
ーテル等のグリコールエーテル類を挙げることができ、これらを混合して用いても良い。

燃焼物１５Ｃは、波長８００ｎｍ〜１２００ｎｍの近赤外線領域に極大吸収を有する色
素（以下単に、赤外線吸収色素ＣＭという。）の凝集塊であって、その内部に酸素ガスＣ
Ｇを内包するものを用いることができる。赤外線吸収色素ＣＭとしては、例えば、フタロ
シアニン系、ナフタロシアニン系、アゾ系、ポリメチン系、アントラキノン系、ナフトキ
ノン系、ピリリウム系、チオピリリウム系、スクアリリウム系、クロコニウム系、テトラ
デヒドオコリン系、トリフェニルメタン系、シアニン系、アゾ系、アミニウム系等の化合
物が挙げることができ、これらを混合して用いても良い。この燃焼物１５Ｃは、例えば、
分散媒１５Ｂに赤外線吸収色素ＣＭを分散させる際に大気中の酸素ガスＣＧを赤外線吸収
色素ＣＭの中に混在させ、該赤外線吸収色素ＣＭの分散性を調整することにより得られる
。

なお、導電性インク１５は、分散媒１５Ｂに導電性微粒子１５Ａを分散させる分散助剤
や導電性インク１５を保湿するため水溶性の多価アルコール等を含んでも良い。
分散助剤としては、水に容易に溶解し、かつ、導電性微粒子１５Ａに配位して導電性微
粒子１５Ａのコロイド状態を安定化させるものであれば良い。分散助剤としては、例えば
、カルボキシル基と水酸基とを官能基として有するヒドロキシ酸又はヒドロキシ酸塩を用
いることができる。ヒドロキシ酸としては、クエン酸、リンゴ酸、酒石酸等を挙げること
ができ、これらを混合して用いても良い。ヒドロキシ酸塩には、クエン酸ナトリウム、ク
エン酸カリウム、クエン酸リチウム、リンゴ酸ナトリウム、酒石酸ナトリウム等を挙げる
ことができ、これらを混合して用いても良い。

また、分散助剤としては、カルボキシル基とメルカプト基とを官能基として有するメル
カプト酸、又はメルカプト酸塩を用いることができる。メルカプト酸には、メルカプト酢
酸、メルカプトプロピオン酸、メルカプトブタン酸、メルカプトコハク酸等を挙げること
ができ、これらを混合して用いても良い。メルカプト酢酸塩には、メルカプト酢酸ナトリ
ウム、メルカプトプロピオン酸ナトリウム、メルカプトコハク酸ナトリウム等を挙げるこ
とができ、これらを混合して用いても良い。

多価アルコールとしては、アルコールの価数が３〜６であり、標準状態（２５℃、１気
圧の状態）の下で固体のものを用いることができる。多価アルコールには、単糖類、二糖
類、オリゴ糖及び多糖類のカルボニル基を還元した糖アルコール、２−（ヒドロキシメチ
ル）−１，３−プロパンジオール、１，２，３−ヘキサントリオール、１，２，３−ヘプ
タントリオール等を用いることができる。糖アルコールには、例えば、ペンタエリスリト
ール、ジペンタエリスリトール、トリペンタエリスリトール、ソルビトール、エリスリト
ール、スレイトール、リビトール、アラビニトール、キシリトール、アリトール、マニト
ール、ドルシトール、イディトール、グリコール、イノシトール、マルチトール、ラクチ
トール等を挙げることができ、これらの混合物を用いても良い。

図４において、各レーザ源ＬＤは、それぞれ駆動信号を受けるとき、自身の直下にある
吐出面Ｓａに向けて赤外レーザＢを照射する。各目標点Ｐ１に着弾する液滴Ｄは、それぞ
れ基板Ｓの主走査によって、第１レーザ源ＬＤ１、第２レーザ源ＬＤ２、第３レーザ源Ｌ
Ｄ３の順にレーザ源ＬＤの直下を通過する。

この際、液滴Ｄの燃焼物１５Ｃは、各レーザ源ＬＤからの赤外レーザＢを受け、その赤
外線吸収色素ＣＭと、凝集塊に内包される酸素ガスＣＧとの燃焼反応を開始させる。この
燃焼反応で発生する熱の一部は、分散媒１５Ｂの運動エネルギーに変換されて分散媒１５
Ｂの乾燥を促進させる。また、この燃焼反応で発生する熱の一部は、分散媒１５Ｂに含ま
れるアルコール類、グリコール類、エーテル類等の水溶性有機物と酸素ガスＣＧとの燃焼
反応を連鎖的に開始させ、この燃焼の連鎖により分散媒１５Ｂの乾燥を継続的に促進させ
る。

例えば、導電性インク１５の分散媒１５Ｂが、導電性インク１５の全体に対して４０重
量％の水と、１０重量％の水溶性有機物（グリセリン及びキシリトール）とを含む場合、
１０ｎｇの液滴Ｄに含まれる全ての水を蒸発させるためには、１滴当たりに約１０μＪの
熱を必要とする。一方、液滴Ｄの中に含まれるアルコール類、グリコール類、エーテル類
等の水溶性有機物は、自身の燃焼によって約２０μＪの熱を発生させる。そのため、液滴
Ｄは、燃焼物１５Ｃの燃焼反応による熱で水溶性有機物の燃焼反応を連鎖的に開始させる
ことにより、全ての水を連続的に蒸発させて乾燥することができる。

この結果、レーザ源ＬＤの直下を通過する液状パターン１５Ｐは、赤外レーザＢの領域
で燃焼物１５Ｃの燃焼反応を開始させ、燃焼物１５Ｃが燃焼した後においても、連鎖的に
進行する水溶性有機物の燃焼反応により継続的に乾燥し続ける。したがって、液状パター
ン１５Ｐは、赤外レーザＢの照射時間に関わらず、燃焼物１５Ｃの燃焼反応を一度開始す
るだけで乾燥し、その濡れ広がりを十分に抑えることができる。

次に、液滴吐出装置１０の電気的構成について図５及び図６に従って説明する。図５は
、液滴吐出装置１０の電気的構成を示すブロック回路図であり、図６は、ヘッド駆動回路
の電気的構成を示すブロック回路図である。

図５において、制御装置３０は、ＣＰＵ等からなる制御部３１と、ＤＲＡＭ及びＳＲＡ
Ｍを含み各種のデータを格納するＲＡＭ３２と、各種制御プログラムを格納するＲＯＭ３
３とを有する。また、制御装置３０は、クロック信号を生成する発振回路３４と、駆動波
形信号を生成する駆動波形生成回路３５と、各種の信号を受信する外部Ｉ／Ｆ３６と、各
種の信号を送信する内部Ｉ／Ｆ３７とを有し、液滴吐出装置１０に各種の処理動作を実行
させる。

制御装置３０は、外部Ｉ／Ｆ３６を介して入出力装置３８に接続される。また、制御装
置３０は、内部Ｉ／Ｆ３７を介してモータ駆動回路３９及びヘッド駆動回路４０に接続さ
れる。

入出力装置３８は、例えばＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ、ハードディスク、液晶ディスプレ
イ等を有する外部コンピュータである。入出力装置３８は、液滴吐出装置１０を駆動させ
るための各種の制御信号を外部Ｉ／Ｆ３６に出力する。外部Ｉ／Ｆ３６は、液状パターン
１５Ｐを形成するためのパターンデータＩｐを入出力装置３８から受信する。パターンデ
ータＩｐとは、基板Ｓの走査速度に関するデータ、液滴Ｄの吐出周期に関するデータ、格
子点Ｐ０と目標点Ｐ１の座標に関するデータ等、液滴Ｄを吐出させるための各種のデータ
である。

ＲＡＭ３２は、受信バッファ、中間バッファ、出力バッファとして利用される。ＲＯＭ
３３は、制御部３１が実行する各種の制御ルーチンと、その制御ルーチンを実行するため
の各種のデータとを格納する。発振回路３４は、各種のデータや各種の駆動信号を同期さ
せるためのクロック信号を生成する。発振回路３４は、例えば各種のデータをシリアル転
送するための転送クロックＣＬＫを生成する。発振回路３４は、シリアル転送した各種の
データをパラレル変換するためのタイミング信号ＬＡＴを液滴Ｄの吐出周期で生成する。

駆動波形生成回路３５は、駆動波形信号ＣＯＭを生成するための波形データを所定のア
ドレスに対応させて格納する。駆動波形生成回路３５は、制御部３１が読み出す波形デー
タを吐出周期のクロック信号ごとにラッチしてアナログ信号に変換し、そのアナログ信号
を増幅して駆動波形信号ＣＯＭを生成する。

外部Ｉ／Ｆ３６は、入出力装置３８からのパターンデータＩｐを受信してＲＡＭ３２に
一時的に格納し、中間コードに変換する。制御部３１は、ＲＡＭ３２が格納する中間コー
ドデータを読み出してドットパターンデータを生成する。ドットパターンデータとは、ド
ットパターン格子ＤＬの各格子点Ｐ０に対して目標点Ｐ１であるか否かを関連づけるデー
タである。

制御部３１は、１回の主走査分に相当するドットパターンデータを生成すると、該ドッ
トパターンデータを用いて転送クロックＣＬＫに同期するシリアルデータを生成し、その
シリアルデータを内部Ｉ／Ｆ３７を介してヘッド駆動回路４０にシリアル転送する。本実
施形態では、ドットパターンデータを用いて生成するシリアルデータを、シリアルパター
ンデータＳＩという。シリアルパターンデータＳＩは、液滴Ｄの吐出及び非吐出を規定す
る各ビットの値を、それぞれ各圧電素子ＰＺに関連付けるためのデータであって、液滴Ｄ
の吐出周期で生成される。

制御部３１は、内部Ｉ／Ｆを介してモータ駆動回路３９に接続されて、モータ駆動回路
３９に対応する駆動制御信号を出力する。モータ駆動回路３９は、ステージ１２やキャリ
ッジ１６を移動させるための各種のモータＭと、該モータＭの回転数と回転方向を検出す
るためのエンコーダＥに接続される。モータ駆動回路３９は、制御部３１からの駆動制御
信号に応答してモータＭを駆動制御し、キャリッジ１６を用いる副走査とステージ１２を
用いる主走査とを実行する。モータ駆動回路３９は、エンコーダＥからの検出信号を受け
てステージ１２の移動方向や移動量、キャリッジ１６の移動方向や移動量を演算して制御
装置３０に出力する。制御装置３０は、ステージ１２の移動方向や移動量に基づいて格子
点Ｐ０がノズルＮの直下に位置するか否かを判断し、各格子点Ｐ０がノズルＮの直下に位
置するときにタイミング信号ＬＡＴを生成する。

図５において、ヘッド駆動回路４０は、シフトレジスタ４１、制御信号生成部４２、レ
ベルシフタ４３、圧電素子スイッチ４４、第１レーザスイッチ４５、第１レーザスイッチ
４５、第２レーザスイッチ４６、及び第３レーザスイッチ４７を有する。

シフトレジスタ４１は、制御装置３０からの転送クロックＣＬＫを受けてシリアルパタ
ーンデータＳＩを順次シフトさせる。シフトレジスタ４１は、ノズルＮの数量に応じたビ
ット数（本実施形態では１８０ビット）のシリアルパターンデータＳＩを格納する。

制御信号生成部４２は、制御装置３０からのタイミング信号ＬＡＴを受けてシフトレジ
スタ４１に格納されるシリアルパターンデータＳＩをラッチする。制御信号生成部４２は
、ラッチするシリアルパターンデータＳＩをシリアル／パラレル変換して各ノズルＮに対
応する１８０ビットのパラレルデータを生成し、該パラレルデータをレベルシフタ４３、
第１レーザスイッチ４５、第２レーザスイッチ４６、及び第３レーザスイッチ４７に出力
する。本実施形態においては、制御信号生成部４２が出力するパラレルデータをパラレル
パターンデータＰＩという。

レベルシフタ４３は、制御信号生成部４２からのパラレルパターンデータＰＩを圧電素
子スイッチ４４の駆動電圧レベルに昇圧して、各圧電素子ＰＺに関連付けられる１８０個
の開閉信号を生成する。

圧電素子スイッチ４４は、各圧電素子ＰＺに対応する１８０個のスイッチ素子を有する
。各スイッチ素子の入力端には、それぞれ制御装置３０からの駆動波形信号ＣＯＭが入力
されて、各スイッチ素子の出力端には、それぞれ圧電素子ＰＺが接続される。各スイッチ
素子は、それぞれ対応する圧電素子ＰＺに関連付けられる開閉信号に応じて、対応する圧
電素子ＰＺに駆動波形信号ＣＯＭを出力する。これによって、ヘッド駆動回路４０は、目
標点Ｐ１がノズルＮの直下に位置するとき、該ノズルＮに対応する圧電素子ＰＺに駆動波
形信号ＣＯＭを出力して目標点Ｐ１に向けて液滴Ｄを吐出させる、すなわちドットパター
ンデータに応じた液滴吐出処理を実行させる。

第１レーザスイッチ４５は、各第１レーザ源ＬＤ１に対応する１８０個のスイッチ素子
を有する。第１レーザスイッチ４５における各スイッチ素子の入力端には、それぞれ制御
装置３０からの電源Ｖｃｃが入力されて、各スイッチ素子の出力端には、それぞれ対応す
る第１レーザ源ＬＤ１が接続されている。第２レーザスイッチ４６は、各第２レーザ源Ｌ
Ｄ２に対応する１８０個のスイッチ素子を有する。第２レーザスイッチ４６における各ス
イッチ素子の入力端には、それぞれ制御装置３０からの電源Ｖｃｃが入力されて、各スイ
ッチ素子の出力端には、それぞれ対応する第２レーザ源ＬＤ２が接続されている。第３レ
ーザスイッチ４７は、各第３レーザ源ＬＤ３に対応する１８０個のスイッチ素子を有する
。第３レーザスイッチ４７における各スイッチ素子の入力端には、それぞれ制御装置３０
からの電源Ｖｃｃが入力されて、各スイッチ素子の出力端には、それぞれ対応する第３レ
ーザ源ＬＤ３が接続されている。

各スイッチ素子は、それぞれ対応する各レーザ源ＬＤ１，ＬＤ２，ＬＤ３の直下に格子
点Ｐ０が位置するごとに、パラレルパターンデータＰＩに基づいて選択される各レーザ源
ＬＤ１，ＬＤ２，ＬＤ３に、それぞれ所定時間だけ駆動電流を供給する。これによって、
ヘッド駆動回路４０は、各レーザ源ＬＤ１，ＬＤ２，ＬＤ３の直下に目標点Ｐ１が位置す
るごとに、該目標点Ｐ１の領域に所定時間だけ赤外レーザＢを照射する。すなわち、ヘッ
ド駆動回路４０は、赤外レーザＢによる乾燥処理を、ドットパターンデータに基づいて実
行する。赤外レーザＢの照射時間は、目標点Ｐ１にある液滴Ｄが赤外レーザＢの領域を退
出するまでの時間に設定される。

次に、導電性インク１５を用いるパターン形成方法について以下に説明する。まず、図
１に示すように、ステージ１２の上には、吐出面Ｓａを上側にする基板Ｓが載置される。
制御装置３０は、入出力装置３８からのパターンデータＩｐを受信すると、該パターンデ
ータＩｐを用いてドットパターンデータを生成する。次いで、制御装置３０は、モータ駆
動回路３９を介して副走査を実行し、各目標点Ｐ１の主走査経路の上に各ノズルＮをセッ
トする。そして、制御装置３０は、モータ駆動回路３９を介して基板Ｓの主走査を開始す
る。

制御装置３０は、モータ駆動回路３９を介して各目標点Ｐ１がノズルＮの直下にあるか
否かを判断し、各目標点Ｐ１がノズルＮの直下に位置するたびにタイミング信号ＬＡＴを
ヘッド駆動回路４０に出力する。ヘッド駆動回路４０は、制御装置３０からのタイミング
信号ＬＡＴを受け、各目標点Ｐ１に向けて液滴Ｄを着弾させるとともに、各目標点Ｐ１の
液滴Ｄに向けて赤外レーザＢを照射する。

各液滴Ｄの燃焼物１５Ｃは、レーザ源ＬＤからの赤外レーザＢを受け、赤外線吸収色素
ＣＭと、凝集塊に内包される酸素ガスＣＧとの燃焼反応を開始させる。そして、各液滴Ｄ
は、燃焼物１５Ｃの燃焼反応により水溶性有機物の燃焼反応を連鎖的に開始させて乾燥し
続ける。これによって、各液滴Ｄは、ドットパターンデータに応じた各目標点Ｐ１にそれ
ぞれ導電性微粒子からなる導電性のパターンを形成する。

次に、上記のように構成した第一実施形態の効果を以下に記載する。
（１）第一実施形態において、導電性インク１５は、導電性微粒子１５Ａと、導電性微
粒子１５Ａを分散する分散媒１５Ｂと、赤外レーザＢを受けることにより燃焼反応を開始
する燃焼物１５Ｃとを有する。したがって、導電性インク１５からなる液滴Ｄは、赤外レ
ーザＢを受けことにより燃焼物１５Ｃの燃焼反応を開始させ、この燃焼反応で発生する熱
により自身の乾燥を促進することができる。よって、導電性インク１５からなる液滴Ｄは
、その乾燥効率を向上することができる。

（２）第一実施形態において、燃焼物１５Ｃは、酸素ガスＣＧを内包する赤外線吸収色
素ＣＭの凝集塊であり、赤外線吸収色素ＣＭが赤外レーザＢを受けることにより酸素ガス
ＣＧとの燃焼反応を開始する。したがって、導電性インク１５からなる液滴Ｄは、赤外線
吸収色素ＣＭの燃焼反応で発生する熱により乾燥を促進できる。

（３）第一実施形態において、導電性インク１５は、水溶性有機物を有し、燃焼物１５
Ｃの燃焼反応により発生する熱で水溶性有機物の燃焼反応を開始する。したがって、導電
性インク１５からなる液滴Ｄは、燃焼物１５Ｃを一度燃焼させるだけで、分散媒１５Ｂに
含まれる水溶性有機物を連鎖的に燃焼させることができる。よって、導電性インク１５の
液滴Ｄは、赤外レーザＢの照射時間に関わらず、分散媒１５Ｂを確実に乾燥させることが
できる。

（４）第一実施形態において、液滴吐出装置１０は、共通するドットパターンデータを
用いて、液滴Ｄの吐出処理と、赤外レーザＢの照射処理とを実行する。したがって、液滴
吐出装置１０は、吐出する全ての液滴Ｄの各々に、より確実に赤外レーザＢを照射するこ
とができる。

（５）第一実施形態において、各目標点Ｐ１がレーザ源ＬＤの直下に位置するたびに、
液滴吐出装置１０は、該目標点Ｐ１に向けて赤外レーザＢを出射する。したがって、液滴
吐出装置１０は、全ての液滴Ｄの各々に関して同じタイミングで乾燥処理を開始させるこ
とができるため、液滴Ｄの濡れ広がりを均一に抑えることができる。
（第二実施形態）
以下、本発明を具体化した第二実施形態を図７に従って説明する。第二実施形態は、第
一実施形態の燃焼物１５Ｃを変更したものである。そのため、以下においては、その変更
点について詳しく説明する。

燃焼物１５Ｃは、レーザ源ＬＤからの赤外レーザＢを受けて自己燃焼反応（内部燃焼反
応）を開始する自己燃焼物ＥＭである。自己燃焼物ＥＭとしては、例えば、ニトログリセ
リン、２，４，６−トリニトロトルエン、１，３，５−トリニトロベンゼン、ピクリン酸
を用いることができる。

液滴Ｄの自己燃焼物ＥＭは、レーザ源ＬＤからの赤外レーザＢを受けて自己燃焼反応を
開始させる。この自己燃焼反応で発生する熱の一部は、分散媒１５Ｂの運動エネルギーに
変換されて分散媒１５Ｂの乾燥を促進させる。例えば、導電性インク１５の分散媒１５Ｂ
が、導電性インク１５の全体に対して４０重量％の水を含む場合、１０ｎｇの液滴Ｄに含
まれる全ての水を蒸発させるためには、１滴当たりに約１０μＪの熱を必要とする。この
熱を全てニトログリセリンの自己燃焼反応で補う場合には、液滴Ｄごとに１．６ｎｇのニ
トログリセリンを添加すれば良い。

また、自己燃焼反応で発生する熱の一部は、他の自己燃焼物ＥＭの自己燃焼反応を連鎖
的に開始させる。また、この自己燃焼反応で発生する熱の一部は、分散媒１５Ｂに含まれ
るアルコール類、グリコール類、エーテル類等の有機物と、自己燃焼反応で生成される酸
素との燃焼反応を連鎖的に開始させ、この燃焼の連鎖により分散媒１５Ｂの乾燥を継続的
に促進させる。例えば、導電性インク１５の分散媒１５Ｂが、導電性インク１５の全体に
対して４０重量％の水と、１０重量％の水溶性有機物（グリセリン及びキシリトール）と
を含む場合、液滴Ｄの中に含まれるアルコール類、グリコール類、エーテル類等の水溶性
有機物は、自身の燃焼によって約２０μＪの熱を発生させる。そのため、液滴Ｄは、自己
燃焼物ＥＭの自己燃焼反応による熱で水溶性有機物の燃焼反応を連鎖的に開始させること
により、全ての水を連続的に蒸発させて乾燥することができる。

次に、上記のように構成した第二実施形態の効果を以下に記載する。
（６）第二実施形態において、導電性インク１５は、自己燃焼物ＥＭの自己燃焼反応で
発生する熱により自身の乾燥を促進できる。よって、導電性インク１５は、自己燃焼物Ｅ
Ｍを含む簡単な構成で、該導電性インク１５からなる液滴Ｄの乾燥効率を向上することが
できる。

（７）第二実施形態において、導電性インク１５は、水溶性有機物を有し、自己燃焼物
ＥＭの自己燃焼反応により発生する熱で、他の自己燃焼物ＥＭの自己燃焼反応や水溶性有
機物の燃焼反応を連鎖的に開始させる。したがって、導電性インク１５からなる液滴Ｄは
、一つの自己燃焼物ＥＭを一度燃焼させるだけで、分散媒１５Ｂに含まれる他の自己燃焼
物ＥＭや水溶性有機物を連鎖的に燃焼させることができる。よって、導電性インク１５の
液滴Ｄは、赤外レーザＢの照射時間に関わらず、分散媒１５Ｂを確実に乾燥させることが
できる。
（第三実施形態）
以下、本発明を具体化した第三実施形態を図８に従って説明する。第三実施形態は、第
一実施形態の燃焼物１５Ｃを変更したものである。そのため、以下においては、その変更
点について詳しく説明する。

燃焼物１５Ｃは、赤外線吸収色素ＣＭと自己燃焼物ＥＭとを内包するマイクロカプセル
ＭＣである。赤外線吸収色素ＣＭとしては、第一実施形態に示す各種色素を用いることが
できる。自己燃焼物ＥＭとしては、第二実施形態に示す各種燃焼物を用いることができ、
赤外線吸収色素ＣＭからの熱、あるいはレーザ源ＬＤからの赤外レーザＢを受けて自己燃
焼反応を開始する燃焼物を用いることができる。

マイクロカプセルＭＣの製造方法としては、例えば、キシレンに２，４，６−トリニト
ロトルエンとアゾ系染料とを混合した混合液を生成する。次いで、界面活性剤を含む水に
該混合液を添加することにより懸濁液を生成し、該懸濁液にカプセル材料を添加して混合
液の微小滴の表面に該カプセル材料を吸着あるいは析出させることによりマイクロカプセ
ルＭＣを生成する。

液滴ＤのマイクロカプセルＭＣは、レーザ源ＬＤからの赤外レーザＢを受けることによ
り赤外線吸収色素ＣＭを加熱し、赤外線吸収色素ＣＭからの熱より自己燃焼物ＥＭの自己
燃焼反応を開始させる。この自己燃焼反応で発生する熱の一部は、第二実施形態と同じく
、分散媒１５Ｂの運動エネルギーに変換されて分散媒１５Ｂの乾燥を促進させるとともに
、他の自己燃焼物ＥＭの自己燃焼反応を連鎖的に開始させる。また、この自己燃焼反応で
発生する熱の一部は、分散媒１５Ｂに含まれるアルコール類、グリコール類、エーテル類
等の有機物と、自己燃焼反応で生成される酸素との燃焼反応を連鎖的に開始させ、この燃
焼の連鎖により分散媒１５Ｂの乾燥を継続的に促進させる。

次に、上記のように構成した第二実施形態の効果を以下に記載する。
（８）第二実施形態において、導電性インク１５は、マイクロカプセルＭＣに内包され
る自己燃焼物ＥＭの自己燃焼反応により自身の乾燥を促進できる。よって、導電性インク
１５は、赤外線吸収色素ＣＭや自己燃焼物ＥＭの選択に際し、導電性微粒子１５Ａや分散
媒１５Ｂの組成に関わる制約を軽減できる。したがって、導電性インク１５は、その適用
範囲を拡大させることができる。
（第四実施形態）
以下、本発明を具体化した第四実施形態を図９（ａ）、（ｂ）に従って説明する。第四
実施形態は、第一実施形態の各レーザ源ＬＤを変更したものである。そのため、以下にお
いては、その変更点について詳しく説明する。

図９（ａ）、（ｂ）において、各レーザ源ＬＤの出射面には、それぞれ半球面状を呈す
るマイクロレンズＭＬが設けられ、各マイクロレンズＭＬの＋Ｙ方向の光学面上には、そ
れぞれ反射膜ＲＦが形成されている。各レーザ源ＬＤが赤外レーザＢを出射するとき、各
マイクロレンズＭＬは、それぞれ赤外レーザＢの放射角を狭くさせて集光し、各反射膜Ｒ
Ｆは、それぞれマイクロレンズＭＬを介した赤外レーザＢを−Ｙ方向の下側に向けて反射
する。

第１レーザ源ＬＤ１からの赤外レーザＢは、マイクロレンズＭＬと反射膜ＲＦとを介し
て液滴Ｄの飛行経路上を照射する。また、第２レーザ源ＬＤ２及び第３レーザ源ＬＤ３か
らの赤外レーザＢは、それぞれマイクロレンズＭＬと反射膜ＲＦとを介して液滴Ｄの主走
査経路上を照射する。

目標点Ｐ１がノズルＮの直下にあるとき、目標点Ｐ１に向けて飛行する液滴Ｄは、該ノ
ズルＮに対応する第１レーザ源ＬＤ１からの赤外レーザＢを、その飛行途中で受けて、目
標点Ｐ１に着弾する前に燃焼物１５Ｃの燃焼反応を開始させる。すなわち、目標点Ｐ１に
向けて飛行する各液滴Ｄは、それぞれ目標点Ｐ１に着弾する前に乾燥処理を開始する。

次に、上記のように構成した第四実施形態の効果を以下に記載する。
（９）上記第四実施形態によれば、第１レーザ源ＬＤ１からの赤外レーザＢが、目標点
Ｐ１に着弾する前の液滴Ｄに赤外レーザＢを照射して燃焼物１５Ｃに燃焼反応を開始させ
る。したがって、液滴吐出装置１０は、目標点Ｐ１に着弾する前の液滴Ｄに対して乾燥処
理を開始させることができる。よって、液滴吐出装置１０は、液滴Ｄの濡れ広がりを、よ
り確実に抑えることができ、導電性のパターンに関して、より微細な設計ルールに対応す
ることができる。

尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態において、レーザプレート２４は、＋Ｙ方向に沿って、第１レーザ源Ｌ
Ｄ１、第２レーザ源ＬＤ２、及び第３レーザ源ＬＤ３を有する。これに限らず、レーザプ
レート２４は、例えば、第１レーザ源ＬＤ１のみを有する構成であっても良く、レーザ源
ＬＤからの赤外レーザＢにより燃焼物１５Ｃの燃焼反応を開始する構成であれば良い。

・上記実施形態において、導電性インク１５は、第一実施形態の凝集塊、自己燃焼物Ｅ
Ｍ、第三実施形態のマイクロカプセルの少なくともいずれか１つを有する構成であれば良
い。

・上記実施形態においては、液滴吐出ヘッド２０が圧電素子駆動方式のヘッドであるが
、これに限らず、抵抗加熱方式や静電駆動方式の液滴吐出ヘッドであっても良い。
・上記実施形態においては、液滴に照射する光を、面発光レーザ源からのレーザに具体
化した。これに限らず、光は、半導体レーザからのレーザやＬＥＤからの光であっても良
い。

・上記実施形態では、導電性インク１５を水系のインクとして説明したが、これに限ら
ず、導電性インク１５を有機溶剤系のインクとして具体化しても良い。例えば、導電性イ
ンク１５は、テトラデカンを主溶媒とした金属ナノ微粒子分散インクにマイクロカプセル
を分散させたインクであっても良い。

液滴吐出装置を示す斜視図。液滴吐出ヘッドを示す斜視図。（ａ）、（ｂ）は、それぞれ液滴吐出ヘッドを示す側断面図及び液滴吐出動作を模式的に示す平面図。（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ乾燥処理を模式的に示す図。液滴吐出装置の電気的構成を示す電気ブロック回路図。ヘッド駆動回路の電気的構成を示す電気ブロック回路図。（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ第二実施形態の乾燥処理を模式的に示す図。（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ第三実施形態の乾燥処理を模式的に示す図。（ａ）、（ｂ）は、それぞれ第四実施形態の液滴吐出ヘッドを示す側断面図及び液滴吐出動作を模式的に示す平面図。

符号の説明

Ｂ…光としての赤外レーザ、ＣＭ…色素、ＣＧ…酸素ガス、Ｄ…液滴、ＥＭ…自己燃焼
物、ＬＤ…レーザ源、ＭＣ…マイクロカプセル、１０…液滴吐出装置、１４…インクタン
ク、１５…インク組成物としての導電性インク、１５Ａ…導電性微粒子、１５Ｂ…分散媒
、１５Ｃ…燃焼物、２０…液滴吐出ヘッド。

Claims

導電性微粒子と、分散媒と、光を受けることにより燃焼反応を開始する燃焼物とを含む導電パターン形成用インク組成物であって、
前記燃焼物は、酸素ガスを内包する色素の凝集塊、ニトログリセリン、２，４，６−トリニトロトルエン、１，３，５−トリニトロベンゼン、ピクリン酸からなる群から選択される少なくとも１種を含むことを特徴とする導電パターン形成用インク組成物。
導電性微粒子と、分散媒と、光を受けることにより燃焼反応を開始する燃焼物とを含むインク組成物を対象物に塗布し、
前記塗布されたインク組成物に光を照射して前記燃焼物に燃焼反応を開始させることにより前記塗布されたインク組成物を乾燥して前記対象物に導電性パターンを形成する導電パターン形成方法であって、
前記燃焼物は、酸素ガスを内包する色素の凝集塊、ニトログリセリン、２，４，６−トリニトロトルエン、１，３，５−トリニトロベンゼン、ピクリン酸からなる群から選択される少なくとも１種を含むことを特徴とする導電パターン形成方法。
導電性微粒子と、分散媒と、光を受けることにより燃焼反応を開始する燃焼物とを含むインク組成物と、
前記インク組成物を対象物に塗布する液滴吐出ヘッドと、
前記塗布されたインク組成物に光を照射する照射部とを有し、
前記塗布されたインク組成物に光を照射して前記燃焼物に燃焼反応を開始させることにより前記塗布されたインク組成物を乾燥して前記対象物に導電性パターンを形成する導電パターン形成用液滴吐出装置であって、
前記燃焼物は、酸素ガスを内包する色素の凝集塊、ニトログリセリン、２，４，６−トリニトロトルエン、１，３，５−トリニトロベンゼン、ピクリン酸からなる群から選択される少なくとも１種を含むことを特徴とする導電パターン形成用液滴吐出装置。