JP4432721B2 - ディスク装置、ヘッドスライダおよびヘッド支持装置 - Google Patents

Description

本発明は、浮上型のヘッドスライダを用いた磁気ディスク装置等のディスク装置およびそれに用いるヘッドスライダおよびヘッド支持装置に関する。

従来から、磁気ディスク装置等のディスク装置において、ヘッドスライダの浮上量を記録媒体上の内外周で安定させるという課題が検討されてきた。一般に、ディスク装置の記録媒体は一定の速度で回転しているため、その内周側と外周側とではヘッドスライダと記録媒体との間に流入する空気流の速度が異なり、この差によってヘッドスライダの浮上量が変動してしまう。このような記録媒体の内外周における浮上量の変動の大きなヘッドスライダを用いてディスク装置を構成した場合には、記録媒体上の記録された単位領域の残留磁束密度が記録媒体の内外周で異なってしまったり、隣接トラックの雑音等を再生してしまったりする等の問題が発生していた。

一方で、ディスク装置に対し、高記憶容量化およびそれに伴う記録媒体の密度の向上が求められている。これに伴い、ディスク装置に用いられる浮上型のヘッドスライダにおいては、ヘッドを記録媒体にできるだけ近接させることが重要な課題となっており、現在、磁気ディスク装置に用いられる浮上型のヘッドスライダに対しては、記録媒体からの浮上量を約１０ｎｍ程度に小さくすることが要求されている。

このような低浮上量のヘッドスライダを用いた磁気ディスク装置においても、このヘッドスライダの浮上量の安定を図るために様々な検討がなされてきた。その一例として、ヘッドスライダに対して荷重を付与するサスペンションとヘッドスライダとが接触するピボット位置を適切に調節することにより、記録媒体の内外周における浮上量の差を約１ｎｍに抑制する技術が提案されている（例えば、特許文献１を参照。）。

さらに、近年、その記憶容量の大きさや半導体メモリに対しての低コスト性等の長所を活かし、磁気ディスク装置を携帯電話、ＰＤＡ、デジタルカメラおよび小型ノートパソコン等のモバイル可能な携帯情報機器に搭載したいとの要望が大きくなってきている。

磁気ディスク装置をこのような携帯情報機器に搭載するためには、磁気ディスク装置自体の小型化やヘッドスライダの低浮上量化が必要なのはもちろんのこと、ディスク装置自体も可搬性を要求されるので、落下や外部からの衝撃等に対しても安定した信号の記録または再生を行うこと、いわゆる耐衝撃性の向上が課題となっている。

この耐衝撃性の向上という課題に対し、既に出願人らは、ベース面上の空気流入端側および空気流出端側にそれぞれ空気軸受部を設け、これら２つの空気軸受部の記録媒体に対向すべき面（以下、空気潤滑面と記す）の形状を適切に設計し、それぞれの空気軸受部の発生する圧力を制御することにより、衝撃を吸収し、ヘッドスライダと記録媒体との衝突を防ぐことのできるヘッドスライダを提案してきている（例えば、特許文献２および特許文献３を参照。）。このようなヘッドスライダによれば、約７５０Ｇ（１Ｇ＝９．８ｍ／ｓ²）程度の高い耐衝撃性を有するヘッドスライダを提供することができる。
特開２００２−２０３３０５号公報 特開２００３−３０９４６号公報 特開２００３−１１５１７８号公報

しかしながら、前述の特許文献１に記載したような磁気ディスク装置を可搬性を有する携帯情報機器に搭載するにあたっては、磁気ディスク装置における内外周での浮上量の変動は抑制や低浮上量の実現はなされているものの、耐衝撃性の向上については充分な検討が行われていないという課題があった。

本発明はこのような課題に鑑み、高い耐衝撃性および低浮上量を実現しながら、記録媒体の内外周における浮上量の変動を抑制することのできるディスク装置およびそれに用いるヘッドスライダおよびヘッド支持装置を提供することを目的とする。

本発明のディスク装置は、回転するディスク状の記録媒体と、記録媒体との間に流入する空気流によって浮上し、記録トラックに対して記録媒体の内外周で異なるスキュー角をなした状態で使用される、空気流入端側に設けられた第１の空気軸受部と空気流出端側に設けられた第２の空気軸受部とを有するヘッドスライダとを備えたディスク装置であって、ヘッドスライダの第２の空気軸受部は、最も空気流出端側に設けられた正圧発生部と、正圧発生部の両端部から空気流入端方向にそれぞれ延伸する、第１の腕状部および第１の腕状部よりも内周側に設けられた第２の腕状部を有し、ヘッドスライダを記録媒体上の外周側で使用した場合に第２の空気軸受部が発生する圧力よりも、ヘッドスライダを記録媒体上の内周側で使用した場合に第２の空気軸受部が発生する圧力が高くなるように、ヘッドスライダの第１の腕状部および第２の腕状部それぞれの延伸方向を配置したことを特徴としている。

このような構成により、空気流入端側および空気流出端側にそれぞれ空気軸受部を有するヘッドスライダを備えたので、外部から衝撃が加わった場合にも、その衝撃を吸収することができ、低浮上量でも耐衝撃性に優れたディスク装置を提供できる。また、ヘッドスライダを記録媒体上の外周側で使用した場合に第２の空気軸受部が発生する圧力よりも、ヘッドスライダを記録媒体上の内周側で使用した場合に第２の空気軸受部が発生する圧力が高くなるように、ヘッドスライダの第１の腕状部および第２の腕状部それぞれの延伸方向を配置することにより、外周側での空気流入速度増加に伴う浮上量上昇を抑制することができるので、内外周における浮上量の変動を抑制することが可能となる。

また、ヘッドスライダが記録媒体上の外周側において使用される場合に、第１の腕状部と、第１の腕状部、第２の腕状部および正圧発生部に囲まれた窪部との間で発生する圧力が、記録媒体上の内周側において使用される場合に第１の腕状部と窪部との間で発生する圧力よりも低くなるように第１の腕状部の延伸方向を配置した構成であってもよい。

このような構成によれば、さらに、記録媒体上の外周側において使用される場合に第１の腕状部と窪部との間で発生する圧力が、記録媒体上の内周側において使用される場合に第１の腕状部と窪部との間で発生する圧力よりも低くなるように第１の腕状部の延伸方向を配置しているので、簡易に内外周における浮上量の変動を抑制できることができる。

また、第２の腕状部は、ヘッドスライダを記録媒体上の外周側および内周側で使用する場合のそれぞれの空気流入方向よりも小さい角度方向に延伸し、第１の腕状部は、ヘッドスライダを記録媒体上の外周側で使用する場合の空気流入方向よりも小さく、かつ、ヘッドスライダを記録媒体上の内周側で使用する場合の空気流入方向よりも大きな角度方向に延伸している構成であってもよい。

このような構成によれば、さらに、第２の腕状部と窪部との間で、内周側および外周側の全領域で充分な正圧を発生させながら、第１の腕状部と窪部との間では、内周側で正圧を発生させながら、外周側で負圧を発生させることができるので、耐衝撃性を実現しながら、内外周における浮上量の変動を抑制することができる。

さらに、ヘッドスライダの第２の空気軸受部の最も空気流出端側の最表面に、ヘッドを備えた構成であってもよい。

このような構成によれば、さらに、空気膜剛性の高い第２の空気軸受部にヘッドを設けるので、耐衝撃性に優れたディスク装置を提供できる。

さらに、ヘッドスライダの第１の腕状部の延伸方向が、ヘッドスライダの長手方向に対して、−３０°以上１０°以下である構成であってもよい。

このような構成によれば、さらに、記録媒体の内外周における浮上量の変動を抑制したディスク装置を実現できる。

また、ヘッドスライダの第１の腕状部の延伸方向と直行する方向の幅をＣとし、窪部の空気流入端側の、第１の腕状部の延伸方向と直行する方向の幅の半分の値をＡとしたときに、０．３ ≦ Ａ／（Ａ＋Ｃ） ≦ ０．９の関係を満たす構成であってもよい。

このような構成によれば、さらに、記録媒体の内外周における浮上量の変動をさらに抑制したディスク装置を実現できる。

さらに、ヘッドスライダの第１の空気軸受部に一対のサイドレール部を有する構成であってもよい。

このような構成によれば、さらに、ロール方向の振動等に強い構成を実現できる。

また、一対のサイドレール部、第１の腕状部、第２の腕状部および正圧発生部がベース面から同じ高さに設けられている構成であってもよい。

このような構成によれば、さらに、生産性に優れた実用性の高い構成を実現できる。

さらに、ヘッドスライダに対して、第１の空気軸受部および第２の空気軸受部が設けられた側と反対側から所定の付勢力を付与するサスペンションを有するヘッド支持装置を備えた構成であってもよい。

このような構成によれば、さらに、ヘッドスライダをサスペンションで保持して高い耐衝撃性を実現できる。

また、サスペンションは、ヘッドスライダに対して所定の付勢力を付与するピボット部を有する構成であってもよい。

このような構成によれば、さらに、ヘッドスライダをピッチ方向およびロール方向に動作自在に保持することができるので、さらに耐衝撃性に優れたディスク装置を提供できる。

また、記録媒体を回転駆動させる駆動手段と、ヘッド支持装置を記録媒体の半径方向に回動させる回動手段と、駆動手段の回転駆動および回動手段の回動を制御する制御手段とを備えた構成であってもよい。

このような構成によれば、さらに、ヘッド支持装置を回動手段で回動させてヘッドスライダを所望のトラック位置に移動させることのできるディスク装置を提供することができる。

さらに、ヘッド支持装置のピボット部とヘッドスライダとが接する位置をピボット位置としたとき、ヘッドスライダの重心位置とピボット位置とを記録媒体面に対して投影した位置が実質的に一致する構成であってもよい。

このような構成によれば、さらに、衝撃等に対しても、ヘッドスライダに慣性モーメントが生じにくく、ヘッドスライダが動く可能性を低くすることができるので、耐衝撃性に優れたディスク装置を提供できる。

また、記録媒体が磁気記録媒体であり、ヘッドが磁気ヘッドである構成であってもよい。

このような構成によれば、さらに、耐衝撃性、低浮上量および内外周での浮上量の変動を抑制することの可能な磁気ディスク装置を提供できる。

次に、本発明のヘッドスライダは、回転するディスク状の記録媒体との間に流入する空気流によって浮上し、記録トラックに対して記録媒体の内外周で異なるスキュー角をなした状態で使用される、空気流入端側に設けられた第１の空気軸受部と空気流出端側に設けられた第２の空気軸受部とを備えたヘッドスライダであって、ヘッドスライダの第２の空気軸受部は、最も空気流出端側に設けられた正圧発生部と、正圧発生部の両端部から空気流入端方向にそれぞれ延伸する、第１の腕状部および第１の腕状部よりも内周側に設けられた第２の腕状部を有し、ヘッドスライダを記録媒体上の外周側で使用した場合に第２の空気軸受部が発生する圧力よりも、ヘッドスライダを記録媒体上の内周側で使用した場合に第２の空気軸受部が発生する圧力が高くなるように、ヘッドスライダの第１の腕状部および第２の腕状部の延伸方向を配置したことを特徴としている。

このような構成により、空気流入端側および空気流出端側にそれぞれ空気軸受部を備えたので、外部から衝撃が加わった場合にも、その衝撃を吸収することができ、低浮上量でも耐衝撃性に優れたヘッドスライダを提供できる。また、ヘッドスライダを記録媒体上の外周側で使用した場合に第２の空気軸受部が発生する圧力よりも、ヘッドスライダを記録媒体上の内周側で使用した場合に第２の空気軸受部が発生する圧力が高くなるように、ヘッドスライダの第１の腕状部および第２の腕状部それぞれの延伸方向を配置することにより、外周側での空気流入速度増加に伴う浮上量上昇を抑制することができるので、内外周における浮上量の変動を抑制することが可能となる。

次に、本発明のヘッド支持装置は、本発明のヘッドスライダと、ヘッドスライダに対して、第１の空気軸受部および第２の空気軸受部が設けられた側と反対側から所定の付勢力を付与するサスペンションとを備えたことを特徴としている。

このような構成により、低浮上量、耐衝撃性および内外周における浮上量の変動を抑制することのできるディスク装置に適したヘッド支持装置を提供することができる。

本発明のディスク装置、ヘッドスライダおよびヘッド支持装置によれば、高い耐衝撃性および低浮上量を実現しながら、記録媒体の内外周における浮上量の変動を抑制することのできるディスク装置およびそれに適したヘッドスライダおよびヘッド支持装置を提供できる。

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。

（実施の形態）
本発明の実施の形態におけるディスク装置の構成について、図面を用いて詳細に説明する。

図１は、本発明の実施の形態におけるディスク装置１の要部斜視図である。本発明の実施の形態においては、ディスク装置の例として磁気ディスク装置を用いて説明する。

図１において、ディスク状記録媒体（以下、単に記録媒体と記す）２は、主軸３に回転自在に支持され、駆動手段４により回転駆動される。この駆動手段４としては、例えばスピンドルモータを用いることができる。

記録媒体２に対して記録再生を行う磁気ヘッド（図示せず）を備えた、後述するヘッドスライダ５は、ヘッド支持装置７の一端側に保持されている。このヘッド支持装置７はアクチュエータアーム８に固定され、さらに、アクチュエータアーム８はアクチュエータ軸９に回動自在に取り付けられている。

アクチュエータアーム８を回動させる回動手段１０としては、例えば、筐体１１に設けられたマグネット（図示せず）による磁界と、アクチュエータアーム８の他端側に設けられたコイル（図示せず）に流れる電流との相互作用によるローレンツ力を利用したボイスコイルモータを用いることができる。回動手段１０は、アクチュエータアーム８を回動させて、ヘッドスライダ５を記録媒体２面上の任意のトラック位置上に移動させることができる。筐体１１は、これらの構成要素を所定の位置関係に保って保持している。

図２は、本発明の実施の形態におけるディスク装置１に搭載されるヘッド支持装置７の要部斜視図である。

ヘッド支持装置７は、サスペンション６とヘッドスライダ５とを有する。ヘッドスライダ５は、スライダ保持部１２の先端の一端側に設けられた舌状部１３に取り付けられている。また、スライダ保持部１２の他端側は比較的剛性の高いビーム１４に固着されている。

スライダ保持部１２としては、例えばジンバルスプリングが用いられ、スライダ保持部１２はヘッドスライダ５のピッチ動作およびロール動作をある程度許容する。ヘッドスライダ５の舌状部１３への取り付けは、例えば接着剤による接着によって行うことができ、スライダ保持部１２のビーム１４への取り付けは、例えば溶着により行うことができる。

ビーム１４の一端側の紙面に向かって下面には、ヘッドスライダ５に対して所定の荷重を付与するピボット１５があり、このピボット１５を介してビーム１４からヘッドスライダ５に対して所定の荷重が付勢される。以下、このピボット１５とヘッドスライダ５とが当接する点のことをピボット位置と記す。

ヘッドスライダ５の重心位置と前述のピボット位置とを記録媒体２面に対して投影した位置が一致するようにヘッド支持装置７を構成することにより、衝撃が加わった場合にも、ヘッドスライダ５にピッチ方向およびロール方向の慣性モーメントが発生しにくいので、耐衝撃性に優れたヘッド支持装置を得ることが可能となる。

上述したようなディスク装置１を用いて、回転する記録媒体２上で記録または再生を行う場合、ヘッドスライダ５には、ピボット１５を介してビーム１４から記録媒体２に接近する方向に印加される付勢力、および、記録媒体２の回転によってヘッドスライダ５と記録媒体２との間に流入する空気流によりヘッドスライダ５を記録媒体２から離間させる方向に作用する正圧力が印加される。これらの力の釣り合いによりヘッドスライダ５は記録媒体２から安定して浮上し、この浮上量を一定に保った状態で回動手段１０を駆動してヘッドスライダ５に搭載されたヘッド素子を記録媒体２上の所望の記録トラック上に位置決めしながら記録または再生を行うことが可能となる。なお、前述のヘッドスライダ５の記録媒体２からの浮上力は、ヘッドスライダ５の記録媒体２に対向すべき空気潤滑面の形状の設計によって変化するが、本発明の実施の形態におけるヘッドスライダ５の空気潤滑面形状については、後述する。

ここで、以降の説明を簡単にするために、スキュー角Ｄの定義について説明する。図３は、本発明の実施の形態におけるディスク装置１のスキュー角Ｄの定義を説明するための図である。図３（ａ）はスキュー角Ｄが負の状態を示し、図３（ｂ）はスキュー角Ｄが正の状態を示している。

すなわち、図３（ａ）に示したように、記録媒体２の記録トラックの接線方向（空気流入方向に相当する）Ａとし、ヘッドスライダ５の中心線をヘッド支持装置７と反対側に延長した方向Ｂとしたときに、方向Ｂと方向Ａとがなす角度がスキュー角Ｄであり、方向Ｂが方向Ａよりも記録媒体２の内側に向いている場合には、スキュー角Ｄが負の値をとるものとする。一方、図３（ｂ）に示したように、方向Ｂが方向Ａよりも記録媒体２の外側に向いている場合には、スキュー角Ｄが正の値をとるものとして以下説明する。

次に、本発明の実施の形態におけるディスク装置１に搭載されたヘッドスライダ５の空気潤滑面の構成について詳細に説明する。

図４は、本発明の実施の形態におけるディスク装置１に搭載されたヘッドスライダ５の空気潤滑面の形状を示す斜視図である。なお、図４においては、ヘッドスライダ５の空気潤滑面の形状を明確に説明するために、ベース面よりも紙面において下部の構成については記載を省略する。

また、図５は、本発明の実施の形態におけるヘッドスライダ５の空気潤滑面の形状を示す平面図である。

図５においては、ヘッドスライダ５の紙面に向かって左側を空気流入端側、紙面に向かって右側を空気流出端側とそれぞれ記す。また、ヘッドスライダ５の紙面に向かって上側が記録媒体２に対向したときの外周側に位置し、ヘッドスライダ５の紙面に向かって下側が記録媒体２に対向したときの内周側に位置するものとする。

なお、ヘッドスライダ５の大きさは、図５において、長手方向の長さ×短手方向の長さ＝１．２３５ｍｍ×１．００ｍｍの大きさ（いわゆる３０％スライダまたはＰＩＣＯスライダ）であるとして説明する。

また、ディスク装置１において、記録媒体２の大きさは０．８５インチ（半径８．９ｍｍ）であり、記録媒体２上の最内周（中心から約５．２ｍｍの位置であり、以後、内周側と記す）におけるヘッドスライダ５のスキュー角ＤＩは−１６．３°であり、最外周（中心から約８．９ｍｍの位置であり、以後、外周側と記す）におけるスキュー角ＤＯを４．８°であるとする。また、記録媒体２の回転速度は３６００ｒｐｍであり、アクチュエータ軸９の回転中心軸からヘッドスライダ５のピボット位置までの距離は、１１．６ｍｍであるとする。さらに、ヘッドスライダ５を記録媒体２に接近させる方向にビーム１４からヘッドスライダ５に付与される荷重は１ｇｆであるとする。

ここで、本発明の実施の形態におけるディスク装置１に搭載されたヘッドスライダ５の空気潤滑面形状について、詳細に説明する。図４および図５に示したように、ヘッドスライダ５は、空気流入端側から順に、第１の空気軸受部２０、および、負圧発生部（ベース面）４０を挟んで空気流出端側に形成された第２の空気軸受部３０を備える。

第１の空気軸受部２０および第２の空気軸受部３０はそれぞれ、ヘッドスライダ５と記録媒体２との間に空気が流入した場合に正圧（すなわち、記録媒体２とヘッドスライダ５とが離間する方向の圧力）が発生する部分である。このように、空気流方向に負圧発生部４０を挟んで第１の空気軸受部２０、第２の空気軸受部３０を設けた構成とすることによりヘッドスライダ５の耐衝撃性が向上することは、前述の特許文献２および特許文献３において説明した通りである。

さらに、第１の空気軸受部２０は、より大きな正圧を発生させるために設けられる第１のステップ部２１、および、第１のステップ部２１よりも高い位置に設けられた一対のサイドレール部２２を有する。一対のサイドレール部２２を有することによって、ヘッドスライダ５はロール方向の安定性を向上することができる。

なお、ベース面から第１のステップ部２１までの高さは約７００ｎｍ、第１のステップ部２１からサイドレール部２２までの高さは約１００ｎｍである。

次に、第２の空気軸受部３０は、第２のステップ部３１と正圧発生部３２とを備えている。第２のステップ部３１の高さを前述の第１のステップ部２１と同じ高さとし、正圧発生部３２の高さを前述のサイドレール部２２の高さと同じにすることによって、生産性が向上するので、実用性が高くなる。

また、正圧発生部３２からは、記録媒体２の外周側（図５における紙面に向かって上側）に形成された第１の腕状部３３および内周側（図５における紙面に向かって下側）に形成された第２の腕状部３４が、それぞれ空気流入端側方向に延伸している。よって、第２のステップ部３１は、第１の腕状部３３、第２の腕状部３４および正圧発生部３２に囲まれた窪部となっている。第１の腕状部３３および第２の腕状部３４の高さを正圧発生部３２の高さと略一致させることにより、生産性を向上させることができ、実用性の高い構成を実現できる。

第１の腕状部３３および第２の腕状部３４は、それぞれ内周側（図５における紙面に向かって下方向）に向かって斜め方向に延伸している。第１の腕状部３３は、第１の腕状部３３と第２のステップ部３１との境界線がヘッドスライダ５の長手方向の中心線に対して内周側方向に１２°の方向に延伸し、第２の腕状部３４は、第２の腕状部３４と第２のステップ部３１との境界線がヘッドスライダ５の長手方向の中心線に対して、内周側方向に３０°の方向に延伸している。また、磁気ヘッドは、第２の空気軸受部３０の最も空気流出端側の、最も記録媒体２に近接する部分の中心部に搭載されている。

このようなヘッドスライダ５を搭載したディスク装置１における、記録媒体２の内周側から外周側までのヘッドスライダ５の浮上量の変動を図６に示す。なお、ここで浮上量とは、ヘッドスライダ５に搭載された磁気ヘッドから記録媒体２の表面までの距離のことをいう。

図６に示したように、上述のヘッドスライダ５を用いれば、上述の条件の下で、記録媒体２の内外周における浮上量の変動ΔＦＨを、約０．５ｎｍ以下に抑制することができる（目標浮上量は１２ｎｍ）。

ここで、本発明の実施の形態におけるディスク装置１のヘッドスライダ５の効果を明確に説明するために、図７および図８に比較例のヘッドスライダ５０の構成を示す。比較例のヘッドスライダ５０は、前述した本発明の実施の形態のディスク装置１におけるヘッドスライダ５と比較して、第２の空気軸受部６０に、第１の腕状部３３および第２の腕状部３４を有さない点（第２のステップ部６１が２つの腕状部に囲まれた窪部となっていない点）が異なる。空気潤滑面の他の部分の構成、すなわち第１の空気軸受部２０の構成や、第２の空気軸受部６０が第２のステップ部６１および正圧発生部６２を有していることは前述のヘッドスライダ５と共通している。

このような比較例のヘッドスライダ５０を搭載したディスク装置における記録媒体２の内周側から外周側までのヘッドスライダ５０の浮上量の変動を図９に示す。

図９に示したように、比較例のヘッドスライダ５０を搭載したディスク装置においては、記録媒体２の内周側から外周側にかけて徐々に浮上量が大きくなっており、その変動ΔＦＨは、約６ｎｍに達している。すなわち、本発明の実施の形態のヘッドスライダ５は、比較例のヘッドスライダ５０と比較して、その空気潤滑面の第２の空気軸受部３０に第１の腕状部３３および第２の腕状部３４を設けたことにより、浮上量の変動ΔＦＨを約６ｎｍから約０．５ｎｍに抑制することが可能となっている。

上述したような本発明の実施の形態のディスク装置１のヘッドスライダ５の浮上量変動ΔＦＨが抑制されている理由について圧力分布の観点から説明する。

図１０（ａ）に比較例のヘッドスライダ５０の外周側における圧力分布図を示し、図１０（ｂ）に比較例のヘッドスライダ５０の内周側における圧力分布図を示す。また、図１１（ａ）に本発明の実施の形態のヘッドスライダ５の外周側における圧力分布図を示し、図１１（ｂ）に本発明の実施の形態のヘッドスライダ５の内周側における圧力分布図を示す。

図１０（ａ）、図１０（ｂ）、図１１（ａ）および図１１（ｂ）はそれぞれ、ヘッドスライダの空気潤滑面において発生する圧力分布を三次元のグラフで示したものであり、紙面に向かって上側が相対圧力値が正であること（大気圧よりも高い）、下側が相対圧力値が負であること（大気圧よりも低い）を示すものである。

まず、図１０（ａ）および図１０（ｂ）に示したように、比較例のヘッドスライダ５０においては、その外周側および内周側ともに、その圧力分布に、第１の空気軸受部２０によって発生する正圧領域Ｇ，Ｈと第２の空気軸受部６０によって発生する正圧領域Ｃ，Ｄとが存在する。

まず、図１０（ａ）および図１０（ｂ）を比較すると、比較例のヘッドスライダ５０においては、その第１の空気軸受部２０によって発生していると考えられる正圧領域Ｇおよび正圧領域Ｈそれぞれの圧力分布には大きな相違が見られない。

しかしながら、比較例のヘッドスライダ５０の圧力分布において、図１０（ａ）に示した正圧領域Ｃと図１０（ｂ）に示した正圧領域Ｄとを比較すると、図１０（ａ）に示した正圧領域Ｃ、すなわち外周側における正圧領域Ｃの圧力のピーク値が図１０（ｂ）に示した内周側における正圧領域Ｄの圧力のピーク値よりも高いことが分かる。

これは、一般に回転する記録媒体２上でヘッドスライダ５０を浮上させて記録または再生を行う場合に、ヘッドスライダ５０と記録媒体２との間に空気が流入する速度（以下、周速と記す）が、記録媒体２の内周側よりも、外周側で速いことに起因すると考えられる。この周速の違いにより、ヘッドスライダ５０の浮上量は、その記録媒体２上の位置によって変動するものと考えられる。つまり、比較例のヘッドスライダ５０を用いた場合には、外周側での浮上量が内周側での浮上量よりも高くなってしまう可能性が高い。

一方、本発明の実施の形態のディスク装置１におけるヘッドスライダ５の圧力分布において、図１１（ａ）に示した外周側における正圧領域Ｅと、図１１（ｂ）に示した内周側における正圧領域Ｆとを比較すると、図１１（ａ）に示した外周側における正圧領域Ｅの圧力のピーク値が、図１１（ｂ）に示した内周側における正圧領域Ｆの圧力のピーク値よりも小さいことが分かる。

このように、本発明の実施の形態のヘッドスライダ５においては、第１の腕状部３３および第２の腕状部３４を設けて、外周側において第２の空気軸受部３０が発生する正の圧力値よりも、内周側において第２の空気軸受部３０が発生する圧力値が大きくなるように設計を行ったことによって、内外周における周速の違いによる浮上力の変動を打ち消して内外周における浮上量の変動ΔＦＨを小さくすることが可能となっている。

ここで、本発明の実施の形態のヘッドスライダ５の第２の空気軸受部３０において、記録媒体２の外周側で発生する圧力が記録媒体２の内周側で発生する圧力よりも低くなる理由についてさらに詳細に説明する。

図１２は、本発明の実施の形態におけるヘッドスライダ５の第２の空気軸受部３０において発生する圧力について説明するための図であり、図１２（ａ）は、ヘッドスライダ５の空気潤滑面の構成を示す平面図であり、図１２（ｂ）は、外周側におけるヘッドスライダ５の第２の空気軸受部３０によって発生する圧力分布図であり、図１２（ｃ）は、内周側におけるヘッドスライダ５の第２の空気軸受部３０によって発生する圧力分布図である。なお、図１２（ｂ）および図１２（ｃ）においては、第２の空気軸受部３０において発生する圧力値の分布が等圧線によって示されている。また、図１２（ｂ）および図１２（ｃ）においては、それぞれ、圧力Ｐが大気圧Ｐａと等しくなる等圧線をＰ＝Ｐａとして示している。図１２（ｂ）および図１２（ｃ）それぞれの図面において、Ｐ＝Ｐａで示した等圧線よりも紙面に向かって右側の圧力が高くなっており、左側の圧力が低くなっているものとする。

また、図１２（ａ）において、本発明の実施の形態におけるディスク装置１のヘッドスライダ５が記録媒体２上の外周側に位置するときには、図中Ｋ方向（４．８°）から空気が流入し、ヘッドスライダ５が記録媒体２上の内周側に位置するときには、図中Ｌ方向（−１６．３°）から空気が流入するものとする。

まず、図１２（ｂ）に示したように、ヘッドスライダ５が記録媒体２上の外周側に位置した場合には、第２の空気軸受部３０上において領域Ｊで示した領域のように、負圧の発生する領域（以下、この領域を負圧発生領域と記す）が存在しており、第２の空気軸受部３０の紙面に向かって左側において全体的に圧力が低くなっていることが分かる。一方で、図１２（ｃ）に示したように、ヘッドスライダ５が記録媒体２上の内周側に位置する場合には、第２の空気軸受部３０の紙面における上下端を除くほぼ全域で正圧が発生しており、前述のような負圧発生領域は存在しない。

このような本発明の実施の形態のディスク装置１におけるヘッドスライダ５が記録媒体２上の外周側に位置する場合の負圧発生領域Ｊは、図１２（ａ）において示した領域Ｍ、すなわち、第１の腕状部３３と、第２のステップ部３１との境界の部分Ｍでの負圧の発生に対応すると考えられる。すなわち、ヘッドスライダ５の長手方向の中心軸に対して、空気流入方向Ｋがなす角度（本実施の形態では４．８°）に対して、第１の腕状部３３と第２のステップ部３１との境界が前述の中心軸となす角度（本実施の形態では−１２°）が小さいために、このような部分Ｍにおいて負圧が発生するものとなっていると考えられる。すなわち、外周側において、領域Ｍに着目すると、空気流は空気流入方向Ｋから入ってくるが、そのとき、第１の腕状部３３と対向する記録媒体２との間で圧縮された空気が、より隙間の大きな第２のステップ部３１と対向する記録媒体２との間に流出し、このとき、空気流は拡散するので負圧が発生する。

一方で、図１２（ａ）において、ヘッドスライダ５が記録媒体２の内周側に位置する場合には、ヘッドスライダ５の長手方向の中心軸に対して、空気流入方向Ｌがなす角度（−１６．３°）に対して、第１の腕状部３３と第２のステップ部３１との境界が前述の中心軸となす角度（−１２°）よりも大きな角度になっているために、空気流に対して第１の腕状部３３と第２のステップ部３１との境界領域において正圧が発生するものと考えられる。すなわち、内周側において、領域Ｍに着目すると、空気流は空気流入方向Ｌから入ってくるが、そのとき、空気流は第２のステップ部３１と対向する記録媒体２との隙間から、より隙間の小さな第１の腕状部３３と対向する記録媒体２との間に流れ込み、このとき、空気流は圧縮されるので、正圧が発生する。

以上述べたように、本発明の実施の形態におけるディスク装置１のヘッドスライダ５においては、その外周側に配置された第１の腕状部３３の延伸方向αを適宜調整して配置することで、前述の負圧の発生量をディスク装置１のスキュー角Ｄや回転速度等に応じて調整することが可能となり、内外周における浮上量の変動を抑制することができる。

例えば、前述の条件において、本発明の実施の形態のヘッドスライダ５の第１の腕状部３３の延伸方向αを変化させた場合のディスク装置１における内外周での浮上量の変動量ΔＦＨを図１３（ａ）に示し、第１の腕状部３３の延伸方向αの定義を図１３（ｂ）に示す。図１３（ｂ）に示したように、第１の腕状部３３と第２のステップ部３１との境界線がなす角度が、第１の腕状部３３の延伸方向αであり、ヘッドスライダ５の長手方向の中心線に対して上側（外周側）に向いている場合に延伸方向αが正の値をとり、下側（内周側）に向いている場合に延伸方向αの値が負となる。

図１３（ａ）に示したように、本発明の実施の形態のディスク装置１のヘッドスライダ５においては、第１の腕状部３３の延伸方向αを約−１２°としたときに、最も浮上量の変動ΔＦＨを小さくすることができた。

実用的には、１２ｎｍ程度の浮上量の場合、浮上量の変動を約１．５ｎｍ程度の変動に抑制することが望ましい。図１３（ａ）に示した関係によれば、第１の腕状部３３の延伸角度αを、−３０°以上１０°以下とすることによって、浮上量の変動を約１．５ｎｍ程度に抑制することが可能となる。さらに望ましくは、１２ｎｍ程度の浮上量の場合、浮上量の変動ΔＦＨを１ｎｍ程度の変動に抑制することが望ましい。図１３（ａ）に示した関係によれば、第１の腕状部３３の延伸角度αを、−２０°以上０°以下とすることによって、浮上量の変動を１ｎｍ程度に抑制することが可能となる。

検討によれば、図１３（ａ）に示した角度定義において、第１の腕状部３３の延伸方向αを、ヘッドスライダ５の記録媒体２における外周側の空気流入方向Ｋよりも小さく、かつ、内周側の空気流入方向Ｌよりも大きくなるように配置することによって、上述するような負圧を発生させることが可能となった。

すなわち、第１の腕状部３３の延伸方向を、外周側の空気流入方向Ｋよりも大きくした（正の方向に向けた）場合には、図１２（ａ）に示した領域Ｍにおける図１２（ｂ）の負圧発生領域Ｊが発生せず、領域Ｍの部分では正圧が発生してしまう。一方、第１の腕状部３３の延伸方向αを、内周側の空気流入方向Ｌよりも小さく、すなわちさらに内周側（負の方向）に向けた場合には、内周側においてもヘッドスライダ５の領域Ｍにおいて前述の負圧発生領域Ｊが発生してしまい、ヘッドスライダ５の内周側における浮上量が低下してしまう。よって、第１の腕状部３３の延伸方向を、ヘッドスライダ５の記録媒体２における外周側の空気流入方向Ｋよりも小さく、かつ、内周側の空気流入方向Ｌよりも大きくなるように配置することによって、外周側において、前述の領域Ｍにおける負圧を発生させることが可能となる。

例えば、本発明の実施の形態におけるディスク装置１においては、ディスク装置１の外周側のスキュー角ＤＯが４．８°であり、内周側のスキュー角ＤＩが−１６．３°であるので、第１の腕状部３３の遠心方向αを、
−１６．３°＜α＜４．８°
の関係とすることにより、内外周におけるヘッドスライダ５の浮上量変動ΔＦＨを抑制できる。

また、検討によれば、本発明の実施の形態におけるヘッドスライダ５の第１の腕状部３３の幅Ｃを変化させることによっても、記録媒体２の内外周における浮上量の変動ΔＦＨを調整することが可能であることが分かった。

図１４を用いて説明する。図１４（ａ）は、本発明の実施の形態のディスク装置１のヘッドスライダ５における、第１の腕状部３３の幅Ｃの定義を示す図であり、図１４（ｂ）は、第１の腕状部３３の幅Ｃを変化させた場合のヘッドスライダ５の記録媒体２上の内外周における浮上量の変動ΔＦＨを示した図である。

図１４（ａ）に示したように、第１の腕状部３３の延伸方向αに沿った方向に直行する方向の幅Ｃと、同じ方向で比較した第２のステップ部３１の幅を半分にした値Ａとの和をＢとする。また、第１の腕状部３３および第２の腕状部３４の延伸方向は、前述のように、それぞれ−１２°、−３０°であるとする。

このような条件の下で、図１４（ｂ）に示したように、Ａ／Ｂの値が０．６７であるときに、上述の浮上量の変動ΔＦＨが０．５ｎｍとなり、最も小さい値となった。

実用的に、目標浮上量が１２ｎｍであって、その変動ΔＦＨが１．５ｎｍ以内という要求を鑑みると、
０．３≦Ａ／Ｂ≦０．９
の関係にあるときに、１．５ｎｍ以内に内外周における浮上量変動を抑制することができる。

さらに、望ましくは、目標浮上量が１２ｎｍであって、その変動ΔＦＨが１ｎｍ以内という要求を鑑みると、
０．４≦Ａ／Ｂ≦０．８５
の関係にあるときに、１ｎｍ以内に内外周における浮上量変動を抑制することができる。

これは、第１の腕状部３３の幅Ｃが広すぎると、第１の腕状部３３と外周側の第２のステップ部３１との境界の領域（領域Ｏ）で正圧が発生しすぎてしまって、前述の領域Ｍで発生する負圧を打ち消してしまうので、ヘッドスライダ５の外周側での浮上量が大きくなってしまい、逆に幅Ｃが狭すぎると領域Ｏにおいて正圧が充分発生しないために外周側での浮上量が小さくなりすぎてしまうためだと考えられる。

上述したように、本発明の実施の形態におけるディスク装置１のヘッドスライダ５の内周側および外周側におけるスキュー角Ｄの違いに応じて、適宜第１の腕状部３３の延伸方向αおよびその幅Ｃを適切に設計することにより、最も浮上量の変動ΔＦＨの小さいヘッドスライダ５を得ることが可能となる。

さらに、本発明の実施の形態のディスク装置１において、最適な条件に設計されたヘッドスライダ５は、その耐衝撃性も比較例のヘッドスライダ５０に対して向上することが分かった。

図１５は、本発明の実施の形態におけるヘッドスライダ５と比較例のヘッドスライダ５０との耐衝撃性を比較した結果を示す図である。図１５は、本発明の実施の形態におけるヘッドスライダ５の使用時の耐衝撃値（何Ｇまでの衝撃に耐えて信号を読み出すまたは書き込むことができるか）を１００％として、比較例のヘッドスライダ５０の耐衝撃値を相対値（％）で示したものである。

図１５に示したように、本発明の実施の形態におけるヘッドスライダ５を用いれば、比較例のヘッドスライダ５０と比較して、約２５％の耐衝撃性向上を図ることが可能である。

これは、一般のヘッドスライダにおいては、図１０（ａ）および図１０（ｂ）に示したように、内周側におけるヘッド周辺（領域Ｄ）において記録媒体２との間に生じる圧力が、流速の速い外周側におけるヘッド周辺（領域Ｃ）の圧力よりも低くなっており、ディスク装置１に落下等の外乱が加わった場合、周速の低い内周側においてヘッドスライダと記録媒体２とが衝突する可能性が高い。これに対して、本発明の実施の形態のヘッドスライダ５においては、図１１（ａ）および図１１（ｂ）に示したように、内周側におけるヘッド周辺（領域Ｆ）の圧力を、外周側におけるヘッド周辺（領域Ｅ）の圧力よりも高くすることができるので、周速の低い内周側におけるヘッドスライダ５と記録媒体２との衝突の可能性を低くすることができるためと考えられる。

また、本発明の実施の形態におけるヘッドスライダ５の第２の腕状部３４の延伸方向（第２の腕状部３４と第２のステップ部３１との境界線の方向）を、外周側および内周側における空気流入角度Ｋ，Ｌそれぞれに対して小さくなるように設計しておくことにより、必要な浮上量を得るための正圧を第２の腕状部３４と第２のステップ部３１との境界において得ることができる。すなわち、第２の腕状部３４については、内周側での空気流入方向Ｌに対して正圧が発生する角度、すなわち、本発明の実施の形態においては、ヘッドスライダ５の長手方向に対して−１６．８°よりも小さな角度をなすように構成しておけばよい（本実施の形態においては−３０°の例を示している）。このように構成することによって、第２の腕状部３４と第２のステップ部３１との間においては、記録媒体２上の内周側から外周側の全域にかけて正圧を発生させることができるので、高い耐衝撃性を実現することができる。

以上述べたように、本発明の実施の形態のヘッドスライダ５を用いてディスク装置１を構成すれば、１２ｎｍという低浮上量を実現しながら、記録媒体２の内外周における浮上量の変動を最小０．５ｎｍに抑制し、かつ、高い耐衝撃性を実現することが可能となる。

なお、本実施の形態においては、ヘッドスライダの浮上特性について、回転数：３６００ｒ／ｍ等の所定の条件における検討結果にもとづいて説明したが、本発明のヘッドスライダは、その使用の際の回転数、荷重、ヘッドスライダの大きさ等に限定されるものではない。例えば、本発明のヘッドスライダは、実用的に磁気ディスク装置に用いられる回転数領域の全域において良好な耐衝撃性を示すことはいうまでもない。また、本発明のヘッドスライダは、小型磁気ディスク装置において一般的に用いられる、２０００〜５０００ｒ／ｍ程度の比較的低い回転数においても、上述したような良好な耐衝撃性を示すことが可能である。

また、本実施の形態においては、いわゆるＰＩＣＯスライダを例として説明を行ったが、本発明のヘッドスライダはその大きさに限定されない。一例として、長手方向長さ×短手方向長さ＝０．８５ｍｍ×０．７ｍｍの大きさ（いわゆる２０％スライダまたはＦＥＭＴＯスライダ）を用いても同様の効果を得ることが可能である。

さらに、本発明のヘッドスライダは、使用時の荷重に限定されるものではない。一例としては、前述のＰＩＣＯスライダまたはＦＥＭＴＯスライダを用いた場合、約０．５ｇから２．５ｇまでの荷重において使用することが可能である。

なお、本発明のヘッドスライダはその第１の空気軸受部２０の形状をなんら限定するものではない。例えば、本実施の形態のヘッドスライダ５においては、図４および図５に示したように、第１の空気軸受部２０のサイドレール部２２の形状がヘッドスライダ５の短手方向の周辺部で空気流出端側方向に折れ曲がった形状である場合を示したが、本発明のヘッドスライダはサイドレール部２２の形状をなんら限定するものではない。さらに、サイドレール部２２を有する構成とすれば、ロール方向の衝撃に強い構成を実現できるが、サイドレール部２２が存在しないものについても本発明のヘッドスライダに含まれることはいうまでもない。

また、本実施の形態においては、磁気ディスク装置を例として説明を行ったが、本発明のディスク装置は磁気ディスク装置に限定されず、例えば、光磁気ディスク装置や光ディスク装置等の浮上型のヘッドスライダを用いるディスク装置をも含むことはいうまでもない。

本発明にかかるディスク装置、ヘッドスライダおよびヘッド支持装置を用いれば、高い耐衝撃性および低浮上量を実現しながら、記録媒体の内外周における浮上量の変動を抑制することのできるディスク装置、ヘッドスライダおよびヘッド支持装置を提供できるという効果を有し、浮上型のヘッドスライダを用いた磁気ディスク装置等のディスク装置、ヘッドスライダおよびヘッド支持装置等として有用である。

本発明の実施の形態におけるディスク装置の要部斜視図 本発明の実施の形態におけるディスク装置に搭載されるヘッド支持装置の要部斜視図 本発明の実施の形態におけるディスク装置のスキュー角の定義を説明するための図 本発明の実施の形態におけるヘッドスライダの空気潤滑面の形状を示す斜視図 本発明の実施の形態におけるヘッドスライダの空気潤滑面の形状を示す平面図 本発明の実施の形態のディスク装置における記録媒体の内周側から外周側までのヘッドスライダの浮上量の変動を示す図 本発明の実施の形態における比較例のヘッドスライダの空気潤滑面の形状を示す斜視図 本発明の実施の形態における比較例のヘッドスライダの空気潤滑面の形状を示す平面図 本発明の実施の形態における比較例のヘッドスライダを搭載したディスク装置における記録媒体の内周側から外周側までのヘッドスライダの浮上量の変動を示す図 （ａ）は、本発明の実施の形態における比較例のヘッドスライダの外周側における圧力分布図（ｂ）は、本発明の実施の形態における比較例のヘッドスライダの内周側における圧力分布図 （ａ）は、本発明の実施の形態におけるヘッドスライダの外周側における圧力分布図（ｂ）は、本発明の実施の形態におけるヘッドスライダの内周側における圧力分布図 （ａ）は、本発明の実施の形態におけるヘッドスライダの空気潤滑面の構成を示す平面図（ｂ）は、本発明の実施の形態におけるヘッドスライダの外周側における第２の空気軸受部によって発生する圧力分布図（ｃ）は、本発明の実施の形態におけるヘッドスライダの内周側における第２の空気軸受部によって発生する圧力分布図 （ａ）は、本発明の実施の形態におけるヘッドスライダの第１の腕状部の延伸方向を変化させた場合の内外周での浮上量の変動量を示す図（ｂ）は、本発明の実施の形態におけるヘッドスライダの第１の腕状部の延伸方向の定義を説明する図 （ａ）は、本発明の実施の形態におけるヘッドスライダの第１の腕状部の幅の定義を示す図（ｂ）は、本発明の実施の形態におけるヘッドスライダの第１の腕状部の幅を変化させた場合の記録媒体上の内外周における浮上量の変動量を示す図 本発明の実施の形態におけるヘッドスライダと比較例のヘッドスライダとの耐衝撃性を比較した結果を示す図

符号の説明

１ ディスク装置
２ 記録媒体
３ 主軸
４ 駆動手段
５，５０ ヘッドスライダ
６ サスペンション
７ ヘッド支持装置
８ アクチュエータアーム
９ アクチュエータ軸
１０ 回動手段
１１ 筐体
１２ スライダ保持部
１３ 舌状部
１４ ビーム
１５ ピボット
２０ 第１の空気軸受部
２１ 第１のステップ部
２２ サイドレール部
３０，６０ 第２の空気軸受部
３１，６１ 第２のステップ部
３２，６２ 正圧発生部
３３ 第１の腕状部
３４ 第２の腕状部
４０ 負圧発生部

Claims (10)

1. 回転するディスク状の記録媒体と、
   前記記録媒体との間に流入する空気流によって浮上し、記録トラックに対して前記記録媒体の内外周で異なるスキュー角をなした状態で使用される、空気流入端側に設けられた第１の空気軸受部と空気流出端側に設けられた第２の空気軸受部とを有するヘッドスライダとを備えたディスク装置であって、
   前記ヘッドスライダの前記第２の空気軸受部は、最も空気流出端側に設けられた正圧発生部と、前記正圧発生部の両端部から空気流入端方向にそれぞれ延伸する、第１の腕状部および前記第１の腕状部よりも内周側に設けられた第２の腕状部を有し、
   前記ヘッドスライダを前記記録媒体上の外周側で使用した場合に前記第２の空気軸受部が発生する圧力よりも、前記ヘッドスライダを前記記録媒体上の内周側で使用した場合に前記第２の空気軸受部が発生する圧力が高くなるように、前記ヘッドスライダの前記第１の腕状部および前記第２の腕状部それぞれの延伸方向を配置したことを特徴とするディスク装置。
2. 前記ヘッドスライダが前記記録媒体上の外周側において使用される場合に、前記第１の腕状部と、前記第１の腕状部、前記第２の腕状部および前記正圧発生部に囲まれた窪部との間で発生する圧力が、前記記録媒体上の内周側において使用される場合に前記第１の腕状部と前記窪部との間で発生する圧力よりも低くなるように前記第１の腕状部の延伸方向を配置したことを特徴とする請求項１に記載のディスク装置。
3. 前記ヘッドスライダの前記第１の空気軸受部に一対のサイドレール部を有することを特徴とする請求項１に記載のディスク装置。
4. 前記一対のサイドレール部、前記第１の腕状部、前記第２の腕状部および前記正圧発生部がベース面から同じ高さに設けられていることを特徴とする請求項３に記載のディスク装置。
5. 前記ヘッドスライダに対して、前記第１の空気軸受部および前記第２の空気軸受部が設けられた側と反対側から所定の付勢力を付与するサスペンションを有するヘッド支持装置を
   備えたことを特徴とする請求項１に記載のディスク装置。
6. 前記サスペンションは、前記ヘッドスライダに対して前記所定の付勢力を付与するピボット部を有することを特徴とする請求項５に記載のディスク装置。
7. 前記記録媒体を回転駆動させる駆動手段と、
   前記ヘッド支持装置を前記記録媒体の半径方向に回動させる回動手段と、
   前記駆動手段の回転駆動および前記回動手段の回動を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする請求項１に記載のディスク装置。
8. 前記ヘッド支持装置の前記ピボット部と前記ヘッドスライダとが接する位置をピボット位置としたとき、
   前記ヘッドスライダの重心位置と前記ピボット位置とを前記記録媒体面に対して投影した位置が実質的に一致することを特徴とする請求項６に記載のディスク装置。
9. 回転するディスク状の記録媒体との間に流入する空気流によって浮上し、記録トラックに対して前記記録媒体の内外周で異なるスキュー角をなした状態で使用される、空気流入端側に設けられた第１の空気軸受部と空気流出端側に設けられた第２の空気軸受部とを備えたヘッドスライダであって、
   前記ヘッドスライダの前記第２の空気軸受部は、最も空気流出端側に設けられた正圧発生部と、前記正圧発生部の両端部から空気流入端方向にそれぞれ延伸する、第１の腕状部および前記第１の腕状部よりも内周側に設けられた第２の腕状部を有し、
   前記ヘッドスライダを前記記録媒体上の外周側で使用した場合に前記第２の空気軸受部が発生する圧力よりも、前記ヘッドスライダを前記記録媒体上の内周側で使用した場合に前記第２の空気軸受部が発生する圧力が高くなるように、前記ヘッドスライダの前記第１の腕状部および前記第２の腕状部の延伸方向を配置したことを特徴とするヘッドスライダ。
10. 請求項９に記載のヘッドスライダと、
    前記ヘッドスライダに対して、前記第１の空気軸受部および前記第２の空気軸受部が設けられた側と反対側から所定の付勢力を付与するサスペンションとを備えたことを特徴とするヘッド支持装置。

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