JP4419681B2 - 固体撮像装置 - Google Patents

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Description

本発明は、例えばCMOSイメージセンサなどの固体撮像装置に関する。
固体撮像素子は、単に画像を記録する用途ばかりでなく、画像認識をはじめとする幅広い用途に利用されている。特に、動体の画像認識のためのイメージセンサとして用いるときには、高速で運動する動体を認識するために、視野内のどこに何があるかを瞬間的に判断しなければならないことがあり、その場合には、固体撮像素子に高速のフレーム読出速度が要求される。様々な種類の固体撮像素子がある中で、フレーム読出速度が高速であるという点では、CMOSイメージセンサなどが優れている。後述する本発明の実施の形態の構成に近い構成を有する従来のCMOSイメージセンサを開示した文献としては、例えばZ. Zhouらによる下記の非特許文献がある。
Z. Zhou et al., "CMOS Active Pixel Sensor with On-Chip Successive Approximation Analog-To-Digital Converter," IEEE Trans. Electron Devices, vol. 44, No. 10, pp. 1759-1763, Oct, 1997
上述したように、高速で運動する動体の画像認識のためには、高速のフレーム読出速度が必要とされるが、一方、その物体の輝度や色調が、背景の輝度や色調と同程度であって見分けにくい場合には、誤認識を回避するために、細かな階調を有する出力信号が要求される。細かな階調を得るためには、固体撮像素子が出力するデジタル信号のビット数を大きなものとする必要があるが、出力デジタル信号のビット数が大きくなるほど、画素から読出されるアナログ信号をデジタル信号に変換するアナログ・デジタル・コンバータの変換動作に要する時間が長くなるため、フレーム読出速度が低下せざるを得ない。
そのため、従来、動体の画像認識のためのイメージセンサとして使用する固体撮像素子では、ほどほどに速いフレーム読出速度と、ほどほどに細かい階調とが得られるように、両者の折り合いをつけるようにして、出力デジタル信号のビット数が定められていた。しかしながら、そのようなものでは、イメージセンサの検出対象シーンによっては、階調が不必要なほど細かい一方で、フレーム読出速度が遅すぎて使用に耐えないこともあれば、逆に、フレーム読出速度が不必要に高速であるばかりで、階調が粗すぎるために、認識不能、若しくは誤認識が生じるという不都合を生じることもあった。
本発明はかかる事情に鑑み成されたものであり、本発明の目的は、フレーム読出速度及び階調の細かさを、個々の用途ないしその時々の状況に応じて適切に選択することのできる固体撮像素子を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明に係る固体撮像素子は、入射光量をアナログ電気信号に変換する複数の画素と、複数のアナログ・デジタル・コンバータ(ADC)と、前記画素から前記ADCへアナログ信号を転送する転送制御回路と、前記ADCによる変換後のデジタル信号を出力バス上へ出力させる出力制御回路とを備えた固体撮像素子において、前記転送制御回路は、前記画素から前記ADCへ入力させるアナログ信号の転送速度を変更可能なように構成され、前記ADCは、アナログ信号をデジタル信号に変換する際に実行する比較動作の回数を切り替えることで、変換後のデジタル信号のビット数を、少なくともnビットと、n/mビット(mはnの約数)とを含む2つの所定ビット数の間で切替可能なように構成され、前記出力バスはn本の出力線から成るnビット幅の出力バスであり、前記出力制御回路は、前記ADCによる変換後のデジタル信号のビット数がn/mビットであるときに、前記出力バス上へm個のデジタル信号を同時に送出することで、前記n本の出力線のすべてからデジタル信号が出力されるように構成されていることを特徴とする。
また、本発明に係る固体撮像素子は、複数の行と複数の列とを有するマトリクス状に配置された入射光量をアナログ電気信号に変換する複数の画素と、前記マトリクスの各列に対して1つずつ設けられ、対応する列の前記画素から入力されるアナログ信号をデジタル信号に変換する複数のアナログ・デジタル・コンバータ(ADC)と、前記複数のADCの各々に対して1つずつ設けられ、対応するADCから出力されるデジタル信号を記憶する複数のメモリ装置と、前記複数のメモリ装置に記憶されたデジタル信号を出力するための出力バスと、前記マトリクスの1つの行の複数の画素から前記複数のADCへ一斉にアナログ信号を転送し、その際の転送元の行を順次変えて行くことで行走査を行う転送制御回路と、前記複数のメモリ装置に記憶されたデジタル信号を順次前記出力バス上へ送出することで列走査を行う出力制御回路と、を備えた固体撮像素子において、前記ADCは、アナログ信号をデジタル信号に変換する際に実行する比較動作の回数を切り替えることで、変換後のデジタル信号のビット数を少なくともnビットと、n/mビット(mはnの約数)とを含む2つの所定ビット数の間で切替可能なように構成されており、前記転送制御回路は、行走査速度を変更可能で、前記画素から前記ADCへ入力させるアナログ信号の転送速度を変更可能で、前記画素から前記ADCへアナログ信号を読み込ませる時間を変更可能なように構成され、前記出力制御回路は、前記ADCによる変換後のデジタル信号のビット数がn/mビットであるときに、前記出力バス上へm個のデジタル信号を同時に送出することで、前記n本の出力線のすべてからデジタル信号が出力されるように構成されていることを特徴とする。
本発明によれば、ADCによる変換後のデジタル信号のビット数として、より多いビット数を選択することで、より細かな階調が得られ、また、より少ないビット数を選択することで、より高速のフレーム読出速度が得られる。従って本発明に係る固体撮像素子は、個々の用途ないしその時々の状況に応じて、フレーム読出速度及び階調の細かさを適切に選択することができる。
以下に本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は本発明の好適な実施の形態に係るCMOSイメージセンサの構成を説明するための一部をブロック図とした模式的回路図、図2は図1のCMOSイメージセンサの画素及び転送制御回路の一部を示した回路図、図3は図1のCMOSイメージセンサのアナログ・デジタル・コンバータの構成を示したブロック図、図4は図1のCMOSイメージセンサの動作を説明するためのタイミングチャートである。
図1に示したのは、本発明の好適な実施の形態に係る固体撮像装置であるCMOSイメージセンサ10の構成を説明するための模式的回路図である。イメージセンサ10は、入射光量をアナログ電気信号に変換する複数の画素12を備えており、それら画素12は、複数の行と複数の列とを有するマトリクス状に配置されて、画素アレイ14を構成している。画素アレイ14の実際の行数及び列数は、一般的には数十から数百、また場合によってはそれ以上の多数に亘るのであるが、図1では、イメージセンサ10の構成を説明する上で都合のよいように、4個の画素12から成る2行×2列の画素アレイ14を示した。図示の如く、各画素12は、フォトダイオード16と画素内アンプ18とを備えており、画素12から得られるアナログ信号は、画素アレイ14の各列に対して1本ずつ設けられた列読み出し線VL0、VL1を介して読み出される。
イメージセンサ10は、複数のアナログ・デジタル・コンバータ(ADC)を備えており、それらADCは、画素アレイ14の各列に対して1つずつ設けられている。ここでは第0列に設けたADCを「ADC0」、第1列に設けたADCを「ADC1」、そして、複数のADCの任意のものを参照符号「20」で示すことにする。ADC20は、画素アレイ14の各列に対応した列読み出し線VL0、VL1を介して、夫々に対応した列の画素12に接続されている。即ち、ADC0は、列読み出し線VL0を介して、第0列の複数の画素12に接続されており、この列読み出し線VL0を介して第0列の複数の画素12から順次入力されるアナログ信号をデジタル信号に変換する。ADC1も同様であり、列読み出し線VL1を介して第1列の複数の画素12から順次入力されるアナログ信号をデジタル信号に変換する。
ここで図2を参照して、画素12及び列読み出し線の詳細構造について説明する。図2に示した画素12において、フォトダイオード16で光電変換され、ゲートがリセット線RST0に接続されたリセット・トランジスタ24により蓄積時間制御されたアナログ信号が、トランジスタ26のゲートに入力するようにしてあり、このトランジスタ26のソースは、セレクト・トランジスタ28を介して列読み出し線VL0に接続されている。列読み出し線VL0には、電流源30が接続されているとともに、この電流源30と並列なもう1つの電流源32が、スイッチ34を介して選択的に接続できるようにしてある。トランジスタ26と、電流源30(ないしは、更に電流源32)とで構成されるソースフォロワアンプが、上述した画素内アンプ18に相当しており、セレクト・トランジスタ28が活性化されると、画素12のアナログ信号が、列読み出し線VL0に接続されているADC20に転送され、即ち読み出される。スイッチ34が活性化されていない場合と比べて、スイッチ34を活性化した場合には、列読み出し線VL0を流れる電流量が大きくなり、ソースフォロワアンプによるアナログ信号の充放電が高速で行われるようになることから、アナログ信号の転送速度、即ち読出速度が高速化される。
イメージセンサ10は、複数のメモリ装置を備えており、それらメモリ装置は、複数のADC20の各々に対して1つずつ設けられている。ここではADC0に設けたメモリ装置を「メモリ0」、ADC1に設けたメモリ装置を「メモリ1」、そして、複数のメモリ装置の任意のものを参照符号「36」で示すことにする。メモリ装置36は、対応するADC20から出力されるデジタル信号を、一時的に記憶するものである。イメージセンサ10は更に、出力ブロック38を備えており、この出力ブロック38は、n本の出力線OUT0〜OUT(n−1)から成るnビット幅の出力バスと、それら出力線の夫々に対応したn個の出力バッファとで構成されている。それら出力バッファは、複数のメモリ装置36に記憶されたデジタル信号を、順次、出力線OUT0〜OUT(n−1)上へ送出するものである。
イメージセンサ10は、内部クロックを生成するタイミング制御回路42、アドレス制御を行うアドレスデコーダ44、行走査を制御する行走査回路46、それに、列走査を制御する列走査回路48を備えている。タイミング制御回路42はアドレスデコーダ44、行走査回路46、及び列走査回路48へ内部クロックを供給している。
行走査回路46は、画素アレイ14の各行に対して1本ずつ設けられた複数の行読み出し線HL0、HL1を介して、夫々の行の複数の画素12に接続されており、それら行読み出し線は、夫々の画素12のセレクト・トランジスタ28(図2)のゲートに接続されている。行走査回路46は、アドレスデコーダ44の制御の下に、それら行読み出し線を順次選択的に活性化することにより、その活性化した行読み出し線に対応した行の複数の画素12から、それら画素12の夫々に対応した複数のADC20へ一斉にアナログ信号を転送する。この行走査回路46は、複数の行読み出し線を順次活性化して、転送元の行を順次変えて行くことによって行走査を行う。
列走査回路48は、画素アレイ14の各列に対して1組ずつ設けられた複数組のバッファ駆動線52を介して、出力ブロック38のn個の出力バッファに接続されている。列走査回路48は、アドレスデコーダ44の制御の下に、それらバッファ駆動線52を順次選択的に活性化して、複数のメモリ装置36に記憶されているデジタル信号を順次出力バス上へ送出するこによって列走査を行う。
イメージセンサ10は更に、出力信号ビット数変更制御回路54を備えている。出力信号ビット数変更制御回路54は、複数のADC20の各々と、アドレスデコーダ44と、上述した電流源32に付随するスイッチ34(図2)とに接続されており、外部からの信号に応答してそれらを制御するものである。その制御について説明すると、まず、出力信号ビット数変更制御回路54は、ADC20を制御して、ADC20による変換後のデジタル信号のビット数を変化させる。そして、これを可能にするために、ADC20は、アナログ信号をデジタル信号に変換する際に実行する比較動作の回数を切り替えることで、変換後のデジタル信号のビット数を、少なくとも2つの所定ビット数の間で切り替え可能なように構成されている。そのようにしたADC20の具体的な1つの構成例を図3に示した。
図3に示したのは、逐次変換型ADCとして構成した場合の構成例である。ADC20は、コンパレータ62、制御回路64、逐次比較レジスタ66、及びデジタル・アナログ・コンバータ(DAC)68で構成されている。逐次比較レジスタ66はnビットのレジスタから成り、制御回路64がこの逐次比較レジスタ66を制御して、コンパレータ62においてn回の比較動作を行わせることにより、入力アナログ信号をnビットのデジタル信号に変換することができる。ただし、制御回路64へは、上述した出力信号ビット数変更制御回路54から制御信号が入力しており、制御回路64はその制御信号に従って、入力アナログ信号を、nビットのデジタル信号と、n/2ビットのデジタル信号との、いずれかに変換する。
例えばn=8であるとするならば、出力信号ビット数変更制御回路54からの制御信号は、8ビットのデジタル信号への変換を命令する信号か、或いは、4ビットのデジタル信号への変換を命令する信号かの、いずれかである。前者の場合には、制御回路64は、コンパレータ62において8回の比較動作を行わせて、入力アナログ信号を8ビットのデジタル信号に変換する。一方、その制御信号が、4ビットのデジタル信号への変換を命令するものであったならば、制御回路64は、コンパレータ62における比較動作を4回で打ち切らせることによって、入力アナログ信号を4ビットのデジタル信号に変換する。
以上の説明から明らかなように、「n」は、ADC20が出力することのできるデジタル信号の最大ビット数を表すものであり、必ずしも「8」に限られず、イメージセンサの設計時に様々な数に選定される。また、上の構成例では、ADC20が出力することのできるデジタル信号のビット数は8ビットと、その半分の4ビットとであったが、これに限られず、出力デジタル信号のビット数の切り替えは様々に定め得るものである。一般化して述べるならば、ADCを構成する際に、このADC20による変換後のデジタル信号のビット数を、少なくとも2つの所定ビット数の間で切り替え可能にすればよい。その具体例として、8ビットと6ビットとの間で切り替え可能としてもよく、8ビットと1ビットとの間で切り替え可能としてもよく、また、8ビットから1ビットまでの8通りに切り替え可能とすることも考えられる。特に有用な具体例は、切り替えを行う少なくとも2つの所定ビット数が、nビットと、n/mビットとを含むようにするというものであり、ここでmは、nの約数である。その場合、出力デジタル信号をn/mビットとしたときには、コンパレータ62における比較動作をm回で打ち切ることができ、従って、ADC20によるアナログ−デジタル変換に要する時間を、出力デジタル信号をnビットとしたときと比べて、1/mに短縮することができる。
また、ADC20の別の構成例として、スロープ型ADCとして構成することも可能である。スロープ型ADCとする場合には、そのADCに使用するDACの出力を階段波とし、入力アナログ信号をnビットのデジタル信号に変換するためには、コンパレータにおいて2回の比較動作を行わせることになる。従って、この場合にも、出力デジタル信号をn/mビットとすることによって、その比較動作を2(n/m)回で打ち切ることができ、アナログ−デジタル変換に要する時間を短縮することができる。
出力信号ビット数変更制御回路54は更に、アドレスデコーダ44と、上述した電流源32に付随するスイッチ34(図2)とを制御することで、画素12からADC20へ入力させるアナログ信号の転送速度を変更させ、また、アドレスデコーダ44を制御することで、ADC20による変換後のデジタル信号の出力速度を変更させる。これら制御について以下に説明する。
図1示したイメージセンサ10についての以上の説明から明らかなように、タイミング制御回路42、アドレスデコーダ44、行走査回路46、列読み出し線VL0、VL1、電流源26、28、スイッチ30、及び出力信号ビット数変更制御回路54によって、画素アレイ14の1つの行の複数の画素12から複数のADC20へ一斉にアナログ信号を転送するとともに、その際の転送元の行を順次変えて行くことで行走査を行う転送制御回路が構成されている。そして、この転送制御回路は、画素12からADC20へ入力させるアナログ信号の転送速度を、次の2つの方法で変更可能にしている。その1つは、出力信号ビット数変更制御回路54がアドレスデコーダ44を制御して、行走査速度を変更させるというものであり、もう1つは、出力信号ビット数変更制御回路54が、電流源32に付随するスイッチ34を制御することで、画素12からのアナログ信号読出速度を高速化するというものである。これらの機能をどのように利用するかについては、後に図4を参照して説明する。
また更に、図1のイメージセンサ10においては、タイミング制御回路42、列走査回路48、バッファ駆動線52、出力ブロック38の出力バッファ、及び出力信号ビット数変更制御回路54によって、複数のメモリ装置36に記憶されたデジタル信号を順次出力バスの出力線OUT0〜OUT(n−1)上へ送出することで列走査を行う出力制御回路が構成されている。そして、この出力制御回路は、ADC20による変換後のデジタル信号の出力速度を、次の方法で変更可能にしている。その方法とは、ADC20の出力デジタル信号のビット数をn/mビットにしたときに、n本の出力線を、各々がn/m本ずつの、m個の出力線グループに分け、1つのメモリ装置36から読み出すデジタル信号を1つの出力線グループに割り当てることによって、n本の出力線上に、同時にm個のデジタル信号を送出できるようにするというものである。これは、出力信号ビット数変更制御回路54から制御信号を受取った列走査回路48が、バッファ駆動線52による出力バッファの駆動タイミングを適宜調整することによって行われる。例えば図1の構成において、n=8、m=2である場合には、第0番出力線〜第3番出力線をメモリ0に割り当て、第4番出力線〜第7番出力線をメモリ1に割り当てることによって、それらメモリから同時にデジタル信号を出力させることができる。この方式によれば、n本の出力線のすべてからデジタル信号が出力され、全ての列を走査するのに要する時間を1/mに低減することができる。従って、デジタル信号の出力速度(即ち、各々が1つずつの画素に対応したデジタル信号の、単位時間当たりの送出個数)を高速化することができることから、フレーム読出速度を高速化することができる。
図4は、以上に説明した機能をどのように利用するかを例示したタイミングチャートである。(a)に示したのは、高速のフレーム読出速度よりも階調の細かさの方が重視される場合のイメージセンサ10の動作であり、ADC20による変換後のデジタル信号のビット数が、nビットに設定されている。また、高速のフレーム読出速度が要求されないため、スイッチ34(図2)がオフに設定されて、アナログ信号の読出しが通常速度で行われるようにしてある。この場合、まず、行走査回路46により行読み出し線HL0が活性化されることで、この行読み出し線に接続された第0行の画素12のアナログ信号が、列読み出し線VL0及びVL1に同時に読み出され、そしてADC0及びADC1に入力される(OP10)。ADC0及びADC1では、入力アナログ信号がnビットのデジタル信号に変換され、変換されたデジタル信号は、それらADCに対応したメモリ0及びメモリ1に蓄積される(OP12)。メモリ0及びメモリ1に蓄積されたデジタル信号は、順次、列走査回路48により出力バッファを経て出力バスの出力線OUT0〜OUT(n−1)から出力される(OP14)。
図4の(a)の上段にアナログ信号読出動作(OP10)とアナログ−デジタル変換動作(OP12)とを示し、下段にデジタル信号出力動作(OP14)を示したことからも分かるように、これら3つの単位動作のうち、上段に示した2つの単位動作と、下段に示した1つの単位動作とは、並列動作が可能である。そのため、第0行についてのデジタル信号出力動作(OP14)が実行されているときに、行読み出し線HL1が活性化されることで、第1行の画素12からのアナログ信号読出し動作(OP16)が実行され、それに続いて、アナログ−デジタル変換動作(OP18)が実行される。そして、それに続いて、それら変換されたデジタル信号を出力するためのデジタル信号出力動作(不図示)が実行される。
図4の(b)に示したのは、階調の細かさよりも高速のフレーム読出速度の方が重視される場合のイメージセンサ10の動作であり、ADC20による変換後のデジタル信号のビット数がn/mビットに設定されている。また、スイッチ34(図2)が活性化されていて、アナログ信号の読出しが高速で行われるようにしてあり、行走査回路46による行走査速度も高速化されている。更に、上述した出力線OUT0〜OUT(n−1)のグループ分けによって、デジタル信号の出力速度も高速化されている。その結果、アナログ信号読出動作(OP10’、OP16’、OP22’、OP24’)、アナログ−デジタル変換動作(OP12’、OP18’、OP24’、OP30’)、デジタル信号出力動作(OP14’、OP20’OP26’)の動作時間が、いずれも、(a)に示した対応する単位動作と比べて、おおむね1/mになっており、その結果、フレーム読出速度がおおむねm倍に高速化されている。
図4に例示したタイミングチャートは、アナログ信号読出動作の所要時間とアナログ−デジタル変換動作の所要時間との和が、デジタル信号出力動作の所要時間に略々等しい場合を示したものであるが、一般的には、それらが略々等しくなることは少なく、どちらか一方が他方より長い。そのため、アナログ信号読出動作及びアナログ−デジタル変換動作だけを高速化するだけでも、フレーム読出速度を高速化できることもあり、また、デジタル信号出力動作を向上させるだけでも、フレーム読出速度を高速化できることがある。また、アナログ信号読出動作は、雑音に敏感なアナログ信号を扱うものであるため、これを実行している間は、デジタル信号出力動作を実行しないようにし、アナログ−デジタル変換動作とデジタル信号出力動作との2つの単位動作だけを並列動作とすると、雑音低減の面で利点が得られることがある。
通常は、フレーム読出速度を高速化する上で、ADCによる変換後のデジタル信号のビット数を減少させてアナログ−デジタル変換動作の所要時間を短縮することが非常に効果的である。ただし、この単位動作の所要時間の短縮を、フレーム読出速度の高速化につなげるためには、この単位動作の所要時間の短縮に合わせて、行走査速度を高速化することも必要である。そうした上で、アナログ信号読出動作の所要時間とアナログ−デジタル変換動作の所要時間との和よりも、デジタル信号出力動作の所要時間の方が短い場合には、スイッチ34を活性化して、アナログ信号読出動作を更に高速化するとよい。一方、画素アレイ14の列数が非常に多い場合などには、デジタル信号出力動作の所要時間が、フレーム読出速度を高速化する上でのボトルネックになる場合がある。その場合に、もし列走査速度を高速化できる余地があるならば、それを行うようにするのもよい。また、本来の出力線に加えて高速読出用の補助的出力線を設け、一度に並列的に出力できるデジタル信号の個数を増大できるようにしておくのも有効である。従って、以上に説明した、アナログ信号読出動作、アナログ−デジタル変換動作、及びデジタル信号出力動作の、3つの単位動作のタイミングは、図4に例示したものに限られず、様々に設定し得るものである。
本発明の好適な実施の形態に係るCMOSイメージセンサの構成を説明するための一部をブロック図とした模式的回路図である。 図1のCMOSイメージセンサの画素及び転送制御回路の一部を示した回路図である。 図1のCMOSイメージセンサのアナログ・デジタル・コンバータの構成を示したブロック図である。 図1のCMOSイメージセンサの動作を説明するためのタイミングチャートである。
符号の説明
10……CMOSイメージセンサ、12……画素、14……画素アレイ、20……アナログ・デジタル・コンバータ(ADC)、36……メモリ装置、38……出力ブロック、42……タイミング制御回路、44……アドレスデコーダ、46……行走査回路、48……列走査回路、52……バッファ駆動線、OUT0〜OUT(n−1)……出力線。

Claims (4)

  1. 入射光量をアナログ電気信号に変換する複数の画素と、複数のアナログ・デジタル・コンバータ(ADC)と、前記画素から前記ADCへアナログ信号を転送する転送制御回路と、前記ADCによる変換後のデジタル信号を出力バス上へ出力させる出力制御回路とを備えた固体撮像素子において、
    前記転送制御回路は、前記画素から前記ADCへ入力させるアナログ信号の転送速度を変更可能なように構成され、
    前記ADCは、アナログ信号をデジタル信号に変換する際に実行する比較動作の回数を切り替えることで、変換後のデジタル信号のビット数を、少なくともnビットと、n/mビット(mはnの約数)とを含む2つの所定ビット数の間で切替可能なように構成され、
    前記出力バスはn本の出力線から成るnビット幅の出力バスであり、
    前記出力制御回路は、前記ADCによる変換後のデジタル信号のビット数がn/mビットであるときに、前記出力バス上へm個のデジタル信号を同時に送出することで、前記n本の出力線のすべてからデジタル信号が出力されるように構成されている
    ことを特徴とする固体撮像素子。
  2. 前記複数の画素の各々は、フォトダイオードと、前記フォトダイオードと列読み出し線と接続される画素内アンプとを備え、前記列読み出し線は、第1の電流源と前記第1の電流源と並列にスイッチを介して接続される第2の電流源と接続されることを特徴とする請求項1記載の固体撮像素子。
  3. 複数の行と複数の列とを有するマトリクス状に配置された入射光量をアナログ電気信号に変換する複数の画素と、
    前記マトリクスの各列に対して1つずつ設けられ、対応する列の前記画素から入力されるアナログ信号をデジタル信号に変換する複数のアナログ・デジタル・コンバータ(ADC)と、
    前記複数のADCの各々に対して1つずつ設けられ、対応するADCから出力されるデジタル信号を記憶する複数のメモリ装置と、
    前記複数のメモリ装置に記憶されたデジタル信号を出力するための出力バスと、
    前記マトリクスの1つの行の複数の画素から前記複数のADCへ一斉にアナログ信号を転送し、その際の転送元の行を順次変えて行くことで行走査を行う転送制御回路と、
    前記複数のメモリ装置に記憶されたデジタル信号を順次前記出力バス上へ送出することで列走査を行う出力制御回路と、
    を備えた固体撮像素子において、
    前記ADCは、アナログ信号をデジタル信号に変換する際に実行する比較動作の回数を切り替えることで、変換後のデジタル信号のビット数を少なくともnビットと、n/mビット(mはnの約数)とを含む2つの所定ビット数の間で切替可能なように構成されており、
    前記転送制御回路は、行走査速度を変更可能で、前記画素から前記ADCへ入力させるアナログ信号の転送速度を変更可能で、前記画素から前記ADCへアナログ信号を読み込ませる時間を変更可能なように構成され、
    前記出力制御回路は、前記ADCによる変換後のデジタル信号のビット数がn/mビットであるときに、前記出力バス上へm個のデジタル信号を同時に送出することで、前記n本の出力線のすべてからデジタル信号が出力されるように構成されている
    ことを特徴とする固体撮像素子。
  4. 前記複数の画素の各々は、フォトダイオードと、前記フォトダイオードと列読み出し線と接続される画素内アンプとを備え、前記列読み出し線は、第1の電流源と前記第1の電流源と並列にスイッチを介して接続される第2の電流源と接続されることを特徴とする請求項7記載の固体撮像素子。
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