JP4412209B2 - Method for manufacturing thermoelectric conversion element module - Google Patents
Method for manufacturing thermoelectric conversion element module Download PDFInfo
- Publication number
- JP4412209B2 JP4412209B2 JP2005081524A JP2005081524A JP4412209B2 JP 4412209 B2 JP4412209 B2 JP 4412209B2 JP 2005081524 A JP2005081524 A JP 2005081524A JP 2005081524 A JP2005081524 A JP 2005081524A JP 4412209 B2 JP4412209 B2 JP 4412209B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating sheet
- thermoelectric conversion
- electrode
- conversion element
- element module
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Landscapes
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Description
本発明は、冷却装置や加熱装置あるいは発電装置等に用いられる熱電変換素子モジュールに関するものである。 The present invention relates to a thermoelectric conversion element module used for a cooling device, a heating device, a power generation device, or the like.
従来、図19に示すように、熱電変換素子モジュール10としては、p型の熱電変換素子1pおよびn型の熱電変換素子1nが交互に配置され、これらの熱電変換素子1p,1nの一方の面が第1電極3に接合され、他方の面が第2電極6に接合されて交互に電気的に直列に接続される構造となっており、第1電極3および第2電極6のそれぞれ外側の面がアルミナ基板や樹脂基板等の絶縁基板20,50に接合されたものが知られている(例えば特許文献1参照)。
Conventionally, as shown in FIG. 19, as a thermoelectric
また、上記絶縁基板20,50がないスケルトン型モジュールもよく知られている。
しかしながら、第1電極3および第2電極6が絶縁基板20,50に接合された構造の熱電変換素子モジュール10では、熱電変換素子モジュール10が冷却装置や加熱装置に用いられる場合は、熱電変換素子1p,1nの吸熱および放熱、あるいは熱電変換素子モジュール10が発電装置に用いられる場合は、熱電変換素子1p,1nに与えられる熱が絶縁基板20,50を介して伝わるために熱抵抗が高くなり、熱電変換効率が低くなる。熱伝導率の高い基板を用いることにより熱抵抗を下げることも可能であるが、このような基板は高価である。
However, in the thermoelectric
一方、スケルトン型モジュールでは、上記熱が第1電極3および第2電極6を介して伝わるため、熱電変換効率は高いが、第1電極3および第2電極6を1枚ずつ熱電変換素子1p,1nに接合しなければならず、製造コストが高くなる。
On the other hand, in the skeleton type module, since the heat is transmitted through the
本発明は、このような事情に鑑み、熱電変換効率が高く安価な熱電変換素子モジュールの製造方法を提供することを目的とする。 In view of such circumstances, and an object thereof is thermoelectric conversion efficiency to provide a method for manufacturing a high inexpensive thermoelectric conversion element module.
上述の目的を達成するために、本発明では、一方の面が第1電極に接合され、他方の面が第2電極に接合されて、p型およびn型の熱電変換素子が交互に電気的に直列に接続された熱電変換素子モジュールを製造する製造方法において、帯状に形成され、その長手方向に沿って第1電極を保持する第1絶縁シート片が複数枚材料取り可能な大きさの第1絶縁シートを用いて、この第1絶縁シートの片側の面の各第1絶縁シート片に対応する位置に第1電極を接合する工程と、第1絶縁シートの各第1絶縁シート片に対応する位置に第1貫通孔を形成する工程と、第1絶縁シートの幅方向の少なくとも一方の端部にパーフォレーションを形成する工程と、第1絶縁シートのパーフォレーションにスプロケットの送り爪を係合させた状態で当該スプロケットを回転させることにより、第1絶縁シートの搬送および位置決めを行う工程と、熱電変換素子の一方の面を第1絶縁シートの第1貫通孔から第1電極に接合する工程と、熱電変換素子の他方の面を第2電極に接合する工程と、第1絶縁シートを切断して各第1絶縁シート片を分離する工程とを含んでいる。 In order to achieve the above-described object, in the present invention, one surface is joined to the first electrode, the other surface is joined to the second electrode, and the p-type and n-type thermoelectric conversion elements are alternately electrically connected. In a manufacturing method for manufacturing a thermoelectric conversion element module connected in series to a first, a first insulating sheet piece formed in a strip shape and holding a first electrode along its longitudinal direction has a size capable of taking a plurality of materials. Using one insulating sheet, the step of joining the first electrode at a position corresponding to each first insulating sheet piece on one side of the first insulating sheet, and corresponding to each first insulating sheet piece of the first insulating sheet forming a first through-hole at a position, a step of forming perforations in at least one end portion in the width direction of the first insulating sheet, and the feed pawl of the sprocket to engage the perforations of the first insulation sheet In the state A step of conveying and positioning the first insulating sheet by rotating the rocket, a step of joining one surface of the thermoelectric conversion element to the first electrode from the first through hole of the first insulating sheet, and the thermoelectric conversion element A step of joining the other surface of the first insulating sheet to the second electrode, and a step of cutting the first insulating sheet and separating each first insulating sheet piece.
また、熱電変換素子モジュールの製造方法において、熱電変換素子の他方の面を第2電極に接合する工程には、帯状に形成され、その長手方向に沿って第2電極を保持する第2絶縁シート片が複数枚材料取り可能な大きさの第2絶縁シートを用いて、この第2絶縁シートの片側の面の各第2絶縁シート片に対応する位置に第2電極を接合する工程と、第2絶縁シートの各第2絶縁シート片に対応する位置に第2貫通孔を形成する工程と、第2絶縁シートの幅方向の少なくとも一方の端部にパーフォレーションを形成する工程と、第2絶縁シートのパーフォレーションにスプロケットの送り爪を係合させた状態で当該スプロケットを回転させることにより、第2絶縁シートの搬送および位置決めを行う工程と、熱電変換素子の他方の面を第2絶縁シートの第2貫通孔から第2電極に接合する工程とを含み、第2絶縁シートを切断して各第2絶縁シート片を分離する工程をさらに含んでいる。 Also, in the method for manufacturing a thermoelectric conversion element module, the step of bonding the other surface of the thermoelectric conversion element to the second electrode is formed in a band shape, the second to hold the second electrode along the longitudinal direction thereof A step of joining the second electrode to a position corresponding to each second insulating sheet piece on one side surface of the second insulating sheet, using a second insulating sheet having a size capable of taking a plurality of pieces of insulating sheet pieces; A step of forming a second through hole at a position corresponding to each second insulating sheet piece of the second insulating sheet, a step of forming perforation at at least one end in the width direction of the second insulating sheet, The sprocket is rotated while the sprocket feed pawl is engaged with the perforation of the insulating sheet, whereby the second insulating sheet is transported and positioned, and the other surface of the thermoelectric conversion element is connected to the second insulating layer. And a step of joining to the second electrode from the second through hole of the sheet, further comprising the step of cutting the second insulating sheet separating each second insulating sheet piece.
または、熱電変換素子の他方の面を第2電極に接合する工程では、片面に第2電極が剥離可能に貼り付けられたシート体を用いて、このシート体に貼り付けられた第2電極に熱電変換素子の他方の面を接合し、その後にシート体と第2電極とを剥離することも可能である。 Alternatively, in the step of joining the other surface of the thermoelectric conversion element to the second electrode, a sheet body in which the second electrode is detachably attached to one surface is used, and the second electrode attached to the sheet body is applied to the second electrode. It is also possible to bond the other surface of the thermoelectric conversion element and then peel the sheet body and the second electrode.
さらに、上記絶縁シートにパーフォレーションを形成する工程では、当該絶縁シートの幅方向の両端部にパーフォレーションを形成し、上記絶縁シートの各絶縁シート片の間に、両端部に形成されたパーフォレーションの近傍まで当該絶縁シートの幅方向に延びるスリットを設ける工程をさらに備え、上記絶縁シートを切断して各絶縁シート片を分離する工程では、当該絶縁シートの両端部をパーフォレーションよりも内側で長手方向に沿って切断することにより行うこともできる。 Further, in the step of forming perforations on the insulating sheet, perforations are formed at both ends in the width direction of the insulating sheet, and between the insulating sheet pieces of the insulating sheet, to the vicinity of the perforations formed at both ends. The method further includes the step of providing a slit extending in the width direction of the insulating sheet, and in the step of cutting the insulating sheet and separating each insulating sheet piece, both end portions of the insulating sheet are arranged along the longitudinal direction inside the perforation. It can also be done by cutting.
なお、上述の各工程は、必ずしも上記のように記載した順に行われる必要はない。 Note that the steps described above do not necessarily have to be performed in the order described above.
本発明に係る熱電変換素子モジュールの製造方法によれば、第1絶縁シートにパーフォレーションを形成し、このパーフォレーションを利用してスプロケットで第1絶縁シートを搬送するようにしたから、第1絶縁シートに作用する張力によって第1絶縁シートがその長手方向にカールすることを抑制することができるため、肉厚の薄い第1絶縁シートを使用することができるようになる。 According to the manufacturing method of the thermoelectric conversion element module according to the present invention , the perforation is formed on the first insulating sheet, and the first insulating sheet is conveyed by the sprocket using the perforation. Since the first insulating sheet can be prevented from curling in the longitudinal direction by the acting tension, the first insulating sheet having a small thickness can be used .
また、スプロケットの回転数によって第1絶縁シートの搬送距離を正確に設定することができるため、スプロケットを回転させるだけで第1絶縁シートの位置決めを行うことができる。従って、第1絶縁シートを搬送する同一ライン上で、熱電変換素子と第1電極とおよび第2電極との接合を行うことができ、熱電変換素子モジュールの生産性を飛躍的に向上させることができる。 Moreover, since the conveyance distance of a 1st insulating sheet can be set correctly with the rotation speed of a sprocket, the 1st insulating sheet can be positioned only by rotating a sprocket. Therefore, the thermoelectric conversion element, the first electrode, and the second electrode can be joined on the same line that conveys the first insulating sheet, and the productivity of the thermoelectric conversion element module can be dramatically improved. it can.
以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、従来の熱電変換素子モジュール10と同一構成部分には同一符号を付す。
Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same component as the conventional thermoelectric
図1に示すように、第1参考例の熱電変換素子モジュール10Aは、複数個のp型およびn型の熱電変換素子1p,1nと、これらの熱電変換素子1p,1nを挟んで上下に配置される第1電極3および第2電極6と、第1電極3を保持する第1絶縁シート片2と、第2電極6を保持する第2絶縁シート片5とを備えている。
As shown in FIG. 1, the thermoelectric
上記熱電変換素子1p,1nは、熱電特性をもつもの(ペルチェ効果およびベーゼック効果を得るもの)であり、例えばBi−Te−Sb−Seの合金等からなっている。このp型およびn型の熱電変換素子1p,1nは交互に配置され、上下両面がそれぞれ第1電極3と第2電極6とに直列に接合されるようになっている。
The
上記第1電極3および第2電極6は、銅等の熱伝導率の高い材料からなり、隣り合う熱電変換素子1p,1nを跨る長さを有し、20μm程度の厚さで短冊状に構成されている。また、第1電極3と第2電極6とは、隣り合う熱電変換素子1p,1nを交互に跨るように配置されている。
The
上記第1絶縁シート片2および第2絶縁シート片5は、例えばポリイミド等の絶縁樹脂からなり、上記第1電極3および第2電極6を保持可能な長さを有し、5〜50μm程度の厚さで短冊状に構成され、それぞれの絶縁シート片2,5には熱電変換素子1p,1nが挿通可能な第1貫通孔2aおよび第2貫通孔5aが形成されている。
The said 1st
この貫通孔2a,5aは、隣り合う熱電変換素子1p,1nが1つの貫通孔2a(または5a)内に挿通可能となるような形状としてもよいし、個々の熱電変換素子1p,1nが個別に挿通可能となるような形状としてもよい。
The through
上記第1電極3は、図2に示すように、第1絶縁シート片2の上面に第1貫通孔2aを覆うように接合されて保持され、上記第2電極6は、図示はしていないが、同様に第2絶縁シート片5の下面に第2貫通孔5aを覆うように接合されて保持されている。
As shown in FIG. 2, the
なお、上記電極3,6は、上記貫通穴2a,5aを完全に覆う必要はなく、例えば電極3,6の長さが貫通孔2a,5aの長さよりも短い場合は、電極3,6の左右両端部と貫通孔2a,5aの左右両端部との間に隙間があってもよい。
The
そして、熱電変換素子1p,1nは、上面を第1絶縁シート片2の第1貫通孔2aから接合材4を介して第1電極3に接合され、下面を第2絶縁シート片5の第2貫通孔5aから接合材4を介して第2電極6に接合されて電気的に直列に接続されている。
The
上記接合材4は、半田や導電性の接着剤等である。ただし、接合材4として半田を用いる場合には、熱電変換素子1p,1nの第1電極3および第2電極6と接合される上下両面にNiメッキを施し、さらにAuメッキを施す等のメッキ処理を施すことが好ましい。
The bonding
このように構成された熱電変換素子モジュール10Aでは、例えば第2電極6の左端部に位置するものと右端部に位置するものとの間に、第1電極3でn型の熱電変換素子1nからp型の熱電変換素子1pへ電流が流れるように電圧をかけると、熱電変換素子1p,1nの上面で吸熱作用が発生し、下面で放熱作用が発生する。このとき冷却物7を第1電極3の上に載せた場合は、冷却物7の熱は第1電極3を介して熱電変換素子1p,1nに吸熱され、第2電極6を介して下方に放熱されるので、冷却物7を冷却することができる。
In the thermoelectric
上記電流を流す向きを逆にすると、冷却および放熱の作用は上下逆になる。 If the direction in which the current flows is reversed, the action of cooling and heat dissipation is reversed upside down.
このように、第1参考例の熱電変換素子モジュール10Aでは、第1電極3を第1貫通孔2aが形成された第1絶縁シート片2の上面に第1貫通孔2aを覆うように接合し、熱電変換素子1p,1nの上面を第1絶縁シート片2の第1貫通孔2aから第1電極3に接合するとともに、第2電極6を第2貫通孔5aが形成された第2絶縁シート片5の下面に第2貫通孔5aを覆うように接合し、熱電変換素子1p,1nの下面を第2絶縁シート片5の第2貫通孔5aから第2電極6に接合したから、熱電変換素子1p,1nの吸熱等が第1電極3および第2電極6から直接伝わるため、従来の絶縁基板を介して熱が伝わる構造の熱電変換素子モジュール10よりも熱電変換効率を高くすることができる。
Thus, in the thermoelectric
また、第1電極3は第1絶縁シート片2に、第2電極6は第2絶縁シート片5に接合されて保持されているので、スケルトン型モジュールに比べ、第1電極3および第2電極6をまとめて熱電変換素子1p,1nに接合することができるため、製造コストを安くすることができ、さらにはスケルトン型モジュールの高い熱電変換効率を保ったまま、熱電変換素子モジュール10Aの剛性を高くすることができる。
Moreover, since the
次に、熱電変換素子モジュール10Aを製造する方法を説明する。
Next, a method for manufacturing the thermoelectric
まず、図3に示すように、第1絶縁シート片2が複数枚材料取り可能な大きさのポリイミド等からなる第1絶縁シート2Aを用意する。この第1絶縁シート2Aは、切断部2b(二点鎖線部分)で切断することにより、第1絶縁シート片2として切断可能となっている。
First, as shown in FIG. 3, a
上記切断部2bには、後工程で切断し易いように、例えば切欠きを入れたりエッチングにより厚さを薄くしたりする等の加工を施しておくことが好ましい。また、この第1絶縁シート2Aには、位置決め用の穴を形成しておくことが好ましい。
The
第1工程では、第1絶縁シート2Aの片側の面の各第1絶縁シート片2に対応する位置に第1電極3をそれぞれ接合する。この第1電極3の第1絶縁シート2Aへの接合は、導体のプリント印刷や銅板の接着等によって行うことができる。なお、銅板の接着の後、エッチング処理を施して銅板のサイズ調整を行うようにしてもよい。
In the first step, the
第2工程では、第1絶縁シート2Aの各第1絶縁シート片2に対応する位置、すなわち第1電極3が接合されている位置に第1貫通孔2aをそれぞれ形成する。
In the second step, the first through
この第2工程は、必ずしも第1工程の後に行われる必要はなく、先に第1絶縁シート2Aに第1貫通孔2aを形成し、その後に第1貫通孔2aを覆うように銅板等の第1電極3を接着してもよい。
This second step is not necessarily performed after the first step. First, the first through
同様にして、図4に示すように、第2絶縁シート片5が複数枚材料取り可能な大きさのポリイミド等からなる第2絶縁シート5Aを用意し、切断部5b(二点鎖線部分)に後工程で切断し易いような加工を施し、位置決め用の穴を形成しておく。
Similarly, as shown in FIG. 4, a second insulating
第3工程では、第1工程と同様に、第2絶縁シート5Aの片側の面の各第2絶縁シート片5に対応する位置に第2電極6をそれぞれ接合する。
In the third step, as in the first step, the
第4工程では、第2工程と同様に、第2絶縁シート5Aの各第2絶縁シート片5に対応する位置、すなわち第2電極6が接合されている位置に第2貫通孔5aをそれぞれ形成する。
In the fourth step, as in the second step, the second through
上記第3工程および第4工程も相互に入れ替えが可能である。 The third step and the fourth step can be interchanged with each other.
図5(a)に示すように、第5工程では、第1絶縁シート2Aと第2絶縁シート5Aとを、熱電変換素子1p,1nを挟んで各電極3,6が外側を向くように対向させ、熱電変換素子1p,1nの上面を第1絶縁シート2Aの第1貫通孔2aから接合材4で第1電極3に接合するとともに、下面を第2絶縁シート5Aの第2貫通孔5aから接合材4で第2電極6に接合する。
As shown in FIG. 5A, in the fifth step, the first insulating
具体的には、第2絶縁シート5Aの第2貫通孔5aから露出している第2電極6の熱電変換素子1p,1nが接合される部分に半田からなる接合材4を塗布し、その上に熱電変換素子1p,1nを重ねる。
Specifically, the
ついで、第1絶縁シート2Aの第1貫通孔2aから露出している第1電極3の熱電変換素子1p,1nが接合される部分に半田からなる接合材4を塗布し、この第1絶縁シート2Aを、第1電極3が上側を向く姿勢で接合材4が上記熱電変換素子1p,1nの上に位置するように重ねる。この第1絶縁シート2Aを重ねる際には、各絶縁シート2A,5Aに形成した位置決め穴を利用して各絶縁シート2A,5A相互の位置合わせを行う。
Next, a
そして、図5(b)に示すように、熱電変換素子1p,1nが接合材4を介して第1電極3および第2電極6に挟み込まれた状態で、さらにその外側を上下からヒーター8で挟み込んで各電極3,6を加熱して接合材4を溶かし、その後冷却して接合材4を固めて熱電変換素子1p,1nと第1電極3および第2電極6とを接合する。
5B, the
上記加熱を行うに際しては、窒素雰囲気等の非酸化雰囲気で行うことにより、各電極3,6および熱電変換素子1p,1nの酸化を防止し、熱電性能の低下を抑制することができる。第1参考例の熱電変換素子モジュール10Aでは、第1電極3および第2電極6が剥き出しになっている部分が多く、酸化雰囲気で上記加熱を行うと、第1電極3および第2電極6の表面が酸化することにより熱伝導が悪くなり熱電性能が低下するためである。
When the above heating is performed, by performing in a non-oxidizing atmosphere such as a nitrogen atmosphere, the
また、熱電変換素子1p,1nと各電極3,6とを接合する接合材4としては、必ずしも半田を用いる必要はなく、導電性接着剤等を用いてもよい。
Further, as the
上記第5工程までを行った状態では、図6および図7に示すように、複数の熱電変換素子モジュール10Aが第1絶縁シート2Aおよび第2絶縁シート5Aに設けられた熱電変換素子モジュール集合体12となっている。
In the state up to the fifth step, as shown in FIGS. 6 and 7, a thermoelectric conversion element module assembly in which a plurality of thermoelectric
この熱電変換素子モジュール集合体12の第1絶縁シート2Aおよび第2絶縁シート5Aを、切断部2bおよび切断部5bで切断することにより、複数の熱電変換素子モジュール10Aが分離独立状態となり、熱電変換素子モジュール10Aを製造することができる。
By cutting the first insulating
本製造方法では、第1絶縁シート片2が複数枚材料取り可能な大きさの第1絶縁シート2Aと、第2絶縁シート片5が複数枚材料取り可能な大きさの第2絶縁シート5Aとを用いて、一旦熱電変換素子モジュール集合体12を製造したから、熱電変換素子モジュール10Aの各製造工程を複数モジュール分まとめて行うことができ、各絶縁シート2A,5A上に複数モジュール分の熱電変換素子1p,1nを同時に接合する等して複数モジュールをまとめて製造できるため、熱電変換素子モジュール10Aの製造工程が効率的になるとともに、量産化が可能となる。
In this manufacturing method, a first insulating
また、熱電変換素子モジュール集合体12を取り扱うことにより、一度に複数の熱電変換素子モジュール10Aを取り扱うことができ、搬送等に至便である。
Further, by handling the thermoelectric conversion
なお、熱電変換素子モジュール10Aの製造方法は、上記参考例で示した方法に限らず、第2工程の後に第1絶縁シート2Aを切断部2bで切断し、第4工程の後に第2絶縁シート5Aを切断部5bで切断してから、個々の熱電変換素子モジュール10Aごとに熱電変換素子1p,1nと各電極3,6とを接合してもよい。
In addition, the manufacturing method of the thermoelectric
このようにしても、複数モジュール分の第1絶縁シート片2と第1電極3および第2絶縁シート片5と第2電極6とをまとめて接合することができるため、製造コストを抑えることができる。
Even if it does in this way, since the 1st insulating
また、第1工程の前に各絶縁シート2A,5Aを各絶縁シート片2,5に切断したり、あるいは各絶縁シート片2,5を個別に製造したりして、個々の絶縁シート片2(または5)を個別に電極3(または6)と接合しても熱電変換素子モジュール10Aを製造することも可能である。
Further, before the first step, each insulating
あるいは絶縁シート片2(または5)と電極3(または6)とをモールド成形によって一体に成形して接合することも可能である。 Alternatively, the insulating sheet piece 2 (or 5) and the electrode 3 (or 6) can be integrally formed and joined by molding.
次に、第2参考例の熱電変換素子モジュール10Bを図8に示す。なお、第1参考例の熱電変換素子モジュール10Aおよび従来の熱電変換素子モジュール10と同一構成部分には同一符号を付す。
Next, a thermoelectric
第2参考例の熱電変換素子モジュール10Bでは、第1電極3が、第1参考例の熱電変換素子モジュール10Aと同様に第1貫通孔2aが形成された第1絶縁シート片2の上面に第1貫通孔2aを覆うように接合されており、第2電極6が従来の熱電変換素子モジュール10と同様にアルミナ基板等の絶縁基板50の上面に接合されている。
In the thermoelectric
そして、熱電変換素子1p,1nの上面は、第1貫通孔2aから接合材4を介して第1電極3に接合され、熱電変換素子1p,1nの下面は、接合材4を介して第2電極6の上面に接合されている。
The upper surfaces of the
このため、熱電変換素子1p,1nの上面の吸熱等は、第1電極3から直接伝達され、熱電変換素子1p,1nの下面の放熱等は、絶縁基板50を介して伝達される。
Therefore, the heat absorption or the like of the upper surfaces of the
上記絶縁基板50を放熱側として構成する場合には、絶縁基板50に放熱フィンを一体成形し、放熱効率を高めるようにしてもよい。また、絶縁基板50はなくてもよく、第2電極6が個別に熱電変換素子1p,1nに接合されていてもよい。
When the insulating
このように、第1電極3を第1貫通孔2aが形成された第1絶縁シート片2の上面に接合し、熱電変換素子1p,1nの上面を第1絶縁シート片2の第1貫通孔2aから第1電極3に接合しても、従来の熱電変換素子モジュール10よりも熱電変換効率を高くすることができる。
Thus, the
また、スケルトン型モジュールに比べ、第1電極3を1枚ずつ熱電変換素子1p,1nに接合することを要せず、第1電極3をまとめて熱電変換素子1p,1nに接合することができるため、製造コストを安くすることができる。
Further, compared to the skeleton type module, it is not necessary to join the
次に、熱電変換素子モジュール10Bを製造する方法を説明する。
Next, a method for manufacturing the thermoelectric
上述した第1参考例の熱電変換素子モジュール10Aの製造方法と同様に、第1絶縁シート片2が複数枚材料取り可能な大きさの第1絶縁シート2A(図3参照)を用いて、この第1絶縁シート2Aの各第1絶縁シート片2に対応する位置に第1電極3を接合するとともに第1貫通孔2aを形成する。
Similar to the manufacturing method of the thermoelectric
絶縁基板50にも第2電極6を接合しておく。
The
第2電極6の熱電変換素子1p,1nが接合される部分に半田からなる接合材4を塗布し、その上に熱電変換素子1p,1nを重ねる。
A
ついで、第1絶縁シート2Aの第1貫通孔2aから露出している第1電極3の熱電変換素子1p,1nが接合される部分に半田からなる接合材4を塗布し、この第1絶縁シート2Aを、第1電極3が上側を向く姿勢で接合材4が上記熱電変換素子1p,1nの上に位置するように重ねる。
Next, a
そして、熱電変換素子1p,1nが接合材4を介して第1電極3および第2電極6に挟み込まれた状態で、図5(b)に示したのと同様に、さらにその外側を上下からヒーター8で挟み込んで第1電極3と第2電極6および絶縁基板50とを加熱して半田を溶かし、その後冷却して半田を固めて熱電変換素子1p,1nと第1電極3および第2電極6とを接合する。
Then, the
また、熱電変換素子1p,1nと各電極3,6との接合としては、接合材4として半田を用いる必要はなく、導電性接着剤等を用いてもよい。
Further, for joining the
なお、絶縁基板50がない絶縁素子モジュール10Bを製造するには、第1絶縁シート2Aを下側にして、その上に接合材4を介して熱電変換素子1p,1nを重ね、さらにその上に接合材4を塗布した第2電極6を1枚ずつ重ね、その後ヒーター8で上下から挟み込んで加熱すればよい。
In order to manufacture the insulating
上記熱電変換素子1p,1nと各電極3,6との接合までを行った状態では、図6に示したのと同様に、複数の熱電変換素子モジュール10Bが第1絶縁シート2Aに設けられた熱電変換素子モジュール集合体となっている。
In the state where the
この熱電変換素子モジュール集合体の第1絶縁シート2Aを、切断部2bで切断することにより、複数の熱電変換素子モジュール10Bが分離独立状態となり、熱電変換素子モジュール10Bを製造することができる。
By cutting the first insulating
本製造方法では、第1絶縁シート片2が複数枚材料取り可能な大きさの第1絶縁シート2Aを用いて、一旦熱電変換素子モジュール集合体12を製造したから、熱電変換素子モジュール10Bの各製造工程を複数モジュール分まとめて行うことができ、第1絶縁シート2A上に複数モジュール分の熱電変換素子1p,1nを同時に接合する等して複数モジュールをまとめて製造できるため、熱電変換素子モジュール10Bの製造工程が効率的になるとともに、量産化が可能となる。
In this manufacturing method, since the thermoelectric conversion
また、熱電変換素子モジュール集合体を取り扱うことにより、一度に複数の熱電変換素子モジュール10Bを取り扱うことができ、搬送等に至便である。
Further, by handling the thermoelectric conversion element module assembly, it is possible to handle a plurality of thermoelectric
なお、熱電変換素子モジュール10Bの製造方法は、上記参考例で示した方法に限らず、第1参考例に対して示した別の製造方法を採用することも可能である。
In addition, the manufacturing method of the thermoelectric
次に、第3参考例の熱電変換素子モジュール10Cを図9に示す。
Next, a thermoelectric
この熱電変換素子モジュール10Cは、第1参考例の熱電変換素子モジュール10Aと比べ、第1絶縁シート片2に形成される第1貫通孔2aの形状および第2絶縁シート片5に形成される第2貫通孔5aの形状のみが異なっており、他の構成部分は同じである。
The thermoelectric
上記第1貫通孔2aは、図10に示すように、熱電変換素子1p,1nが個別に圧入可能な形状となっており、図示はしないが、上記第2貫通穴5aも同様に熱電変換素子1p,1nが個別に圧入可能な形状となっている。
As shown in FIG. 10, the first through-
このようにすれば、第1絶縁シート片2または第2絶縁シート片5の第1電極3または第2電極6が接合されている側と反対側への撓みが、貫通孔2a,5aの内周面と熱電変換素子1p,1nの外周面との接触によって規制されるので、熱電変換素子モジュール10Cの剛性を向上させることができる。
In this way, the bending of the first insulating
この熱電変換素子モジュール10Cは、上述した熱電変換素子モジュール10Aの製造方法と同様の方法で製造することができる。
The thermoelectric
なお、第1貫通孔2aおよび第2貫通孔5aは、必ずしも両方共熱電変換素子1p,1nが圧入可能な形状である必要はなく、少なくとも一方が圧入可能な形状であれば、他方が遊嵌可能な形状であっても熱電変換素子モジュール10Cの剛性を向上させることはできる。
The first through-
次に、第4参考例の熱電変換素子モジュール10Dを図11に示す。
Next, a thermoelectric
この熱電変換素子モジュール10Dも、第2参考例の熱電変換素子モジュール10Bと比べ、第1絶縁シート片2に形成される第1貫通孔2aの形状のみが異なっており、他の構成部分は同じである。
This thermoelectric
その効果は、上記第3参考例の熱電変換素子モジュール10Cと同様である。
The effect is the same as that of the thermoelectric
なお、上記第1参考例から第4参考例では、第1電極3が上側、第2電極が下側に配置された形態を示したが、第1電極3が下側、第2電極6が上側であってもよい。
In the first to fourth reference examples , the
上述した各製造方法では、熱電変換素子モジュール10A〜10Dを断続的に製造することはできるが、以下に説明する本発明にかかる実施形態の製造方法によれば、熱電変換素子モジュール10A〜10Dを連続的に製造することも可能である。
In each manufacturing method mentioned above, although thermoelectric
まず、図12に示すように、帯状に形成され、その長手方向に沿って第1絶縁シート片2が複数枚材料取り可能な大きさの第1絶縁シート2Bを用意する。そして、上記第1絶縁シート2Aと同様に、第1絶縁シート2Bの片側の面(図12では下面)の各第1絶縁シート片2に対応する位置に第1電極3を接合するとともに第1貫通孔2aを形成する。
First, as shown in FIG. 12, the 1st insulating
ついで、第1絶縁シート2Bの幅方向の両端部にパーフォレーション2dを形成するとともに、各第1絶縁シート片2の間に第1絶縁シート2Bの幅方向に延びるスリット2eを直線上に並ぶように2つずつ形成する。上記スリット2eは、外側の端部がパーフォレーション2dの近傍に位置するようになっていることが好ましい。
Next,
なお、第1電極の接合工程と、第1貫通孔2aの形成工程と、パーフォレーション2dの形成工程と、スリット2eの形成工程とを行う順序は、どの工程が先に行われてもよく、適宜選定可能である。
The order of performing the first electrode joining step, the first through-
そして、第1絶縁シート2Bのパーフォレーション2dにスプロケット9の送り爪91を係合させた状態で、当該スプロケット9を回転させることにより、第1絶縁シート2Bを所定位置に搬送し、その位置で、図13に示すように、熱電変換素子1p,1nと第1電極3および第2電極6との接合を行う。
Then, in a state in which the
具体的には、まず、第1貫通孔2aから上方に露出している第1電極3の熱電変換素子1p,1nが接合される部分に、スクリーン印刷等でクリーム半田等のペースト状の接合材4を塗布する。第1絶縁シート2Bは、長手方向ではスプロケット9の回転数によって、幅方向ではスプロケット9の送り爪91とパーフォレーション2dとの係合によって位置決めされているので、予め設定した位置にスクリーン印刷すればよい。
Specifically, first, a paste-like bonding material such as cream solder is applied to the portion where the
そして、図13(a)に示すように、接合材4の上に熱伝変換素子1p,1nを載置する。
Then, as shown in FIG. 13A, the heat
ついで、上述した製造方法と同様に、予め用意しておいた第2絶縁シート片5に第2電極6を接合するとともに第2貫通孔5aを形成し、さらに第2貫通孔5aから露出している第2電極6の熱電変換素子1p,1nが接合される部分に接合材4を塗布する。
Next, in the same manner as the manufacturing method described above, the
なお、熱伝変換素子1p,1nに予め半田メッキ等が施されている場合には、第1電極3および第2電極6に接合材4を塗布する工程は省略可能である。
In addition, when solder plating or the like is applied to the heat
そして、図13(b)に示すように、第2絶縁シート片5を第2電極6が上側を向く姿勢で熱伝変換素子1p,1nの上に重ね、図13(c)に示すように、さらにその外側をヒーター8で挟み込んで各電極3,6を加熱して接合材4を溶かし、その後冷却して接合材4を固めて熱電変換素子1p,1nと第1電極3および第2電極6とを接合する。
Then, as shown in FIG. 13B, the second insulating
その後に、図14(a)に示すように、第1電極3のうちリード線引出電極として構成されている電極(図14(a)では手前側両端部の電極)が配置されている方の第1絶縁シート2Bの端部を、パーフォレーション2dよりも内側(図中の二点鎖線の位置)で長手方向に沿って切断する。
After that, as shown in FIG. 14 (a), the electrode (as shown in FIG. 14 (a), the electrodes at both ends on the front side) arranged as the lead wire lead electrode is disposed. The end portion of the first insulating
そして、リード線11を半田15等を用いてリード線引出電極に接続する。この状態では、まだ第1絶縁シート2Bの奥側の端部にパーフォレーション2dが残っているので、スプロケット9の回転数によって位置決めされた状態でリード線11をリード線引出電極に接続することができる。
Then, the
ついで、第1絶縁シート2Bの奥側の端部を、パーフォレーション2dよりも内側(同じく図中の二点鎖線の位置)で長手方向に沿って切断する。スリット2eは、直線上に並んで設けられているので、第1絶縁シート2Bの奥側の端部を切断しても、スリット2eの間に位置する連結部16によって各第1絶縁シート2は連結されたままの状態となる。そのため、この状態のままとすれば、複数の熱伝変換素子モジュール10A〜10Dをまとめて取り扱うことができるようになり、輸送等に至便である。
Next, the end on the back side of the first insulating
最後に、図14(c)に示すように、連結部16を切断すれば、各第1絶縁シート片2を分離することができ、熱電変換素子モジュール10A〜10Dを製造することができる。
Finally, as shown in FIG.14 (c), if the
このように、第1絶縁シート2Bにパーフォレーション2dを形成し、このパーフォレーション2dを利用してスプロケット9で第1絶縁シート2Bを搬送すれば、第1絶縁シート2Bに作用する張力によって第1絶縁シート2Bがその長手方向にカールすることを抑制することができるため、肉厚の薄い第1絶縁シート2Bを使用して、熱電変換効率の高い熱電変換素子モジュール10A〜10Dを製造することができるようになる。
In this way, if the
肉厚の薄い第1絶縁シート2Bであればカールし易いが、この第1絶縁シート2Bから第1絶縁シート片2を構成すれば、第1電極3に接合される第1絶縁シート片2自体の熱容量が小さくなることや第2絶縁シート片5との間隔が広がること等の理由から、熱電変換素子モジュール10A〜10Dの熱電変換効率が高くなるからである。
The first insulating
また、スプロケット9の回転数によって第1絶縁シート2Bの搬送距離を正確に設定することができるため、スプロケット9を回転させるだけで第1絶縁シート2Bの位置決めを行うことができる。従って、第1絶縁シート2Bを搬送する同一ライン上で、熱電変換素子1p,1nと第1電極3および第2電極6との接合を行うことができ、熱電変換素子モジュール10A〜10Dの生産性を飛躍的に向上させることができる。
Moreover, since the conveyance distance of the 1st insulating
なお、上記製造方法では、第1絶縁シート2Bのみをスプロケット9で搬送しているが、図15に示すように、帯状に形成され、その長手方向に沿って第2絶縁シート片5が複数枚材料取り可能な大きさの第2絶縁シート5Bを用いれば、この第2絶縁シート5Bをスプロケット9で搬送するようにすることもできる。
In the above manufacturing method, only the first insulating
第2絶縁シート5Bを用いて熱電変換素子モジュール10A〜10Dを製造するには、第1絶縁シート2Bと同様に、幅方向の両端部にパーフォレーション5dを形成するとともに、各第2絶縁シート5の間にスリット5eを形成する。
In order to manufacture the thermoelectric
そして、第2絶縁シート5Bを、第1絶縁シート2Bに接合された第1電極3に接合材4(図15では省略)を介して載置された熱電変換素子1p,1nを当該第2絶縁シート5Bに接合された第2電極6で接合材4(同じく省略)を介して押さえ込むように搬送し、この状態でその外側をヒーター8で挟み込んで加熱すればよい。
Then, the second insulating
なお、第2絶縁シート5Bを切断して各第2絶縁シート片5を分離するには、第1絶縁シート2Bと同様にすればよい。
In addition, what is necessary is just to carry out similarly to the 1st insulating
このようにすれば、さらに製造工程を簡略化することができ、生産性をより向上させることができる。 In this way, the manufacturing process can be further simplified, and the productivity can be further improved.
さらに、第2電極6を、熱電変換素子1p,1nに接合するには、図16に示すように、幅方向の両端部にパーフォレーション(図示は省略)が形成された帯状のシート体13を用いて、このシート体13の下面に第2電極6を剥離可能に貼り付け、シート体13を搬送させながら当該シート体13に貼り付けられた第2電極6を熱電変換素子1p,1nの上面に接合するようにしてもよい。
Furthermore, in order to join the
前記シート体13としては、例えば薄肉のステンレス鋼板等を使用することができる。
For example, a thin stainless steel plate can be used as the
そして、第2電極6を熱電変換素子1p,1nに接合した後に、シート体13と第2電極6とを剥離することにより、簡単に片側がスケルトンタイプの熱電変換素子モジュールを製造することができる。
Then, after joining the
また、上述した熱電変換素子モジュールを連続的に製造する各製造方法においては、図17に示すように、熱電変換素子1p,1nと第1電極3および第2電極6とを接合した後、第1絶縁シート2Bの幅方向の両端部を切断する前に、その状態のまま洗浄槽14内に溜められた洗浄液中を通過させることにより、接合材4として半田を用いた場合の半田の溶解により発生するスラックスやその他の付着物を洗浄するようにすることもできる。
Moreover, in each manufacturing method which manufactures the thermoelectric conversion element module mentioned above continuously, as shown in FIG. 17, after joining the
このようにすれば、第1絶縁シート2Bを搬送する同一ライン上で洗浄工程を行うことができる。また、本参考例の熱電変換素子モジュール10A〜10Dでは、少なくとも第1電極3が外側に露出しているため、第1絶縁シート2Bを切断して熱電変換素子モジュール10A〜10Dを分離独立状態とした後に洗浄を行えば、第1電極3を損傷するおそれがあるが、上記のように搬送ライン上で洗浄を行えば、第1電極3の損傷を抑制することができる。
If it does in this way, a washing process can be performed on the same line which conveys the 1st insulating
また、上述の製造方法では、第1絶縁シート2Bの幅方向の両端部にパーフォレーション2dを形成したが、パーフォレーション2dは少なくとも一方の端部に形成されていればよい。ただし、上述の製造方法のように、パーフォレーション2dを両端部に形成すれば、スプロケット9の送り爪91で第1絶縁シート2Bを幅方向に引っ張りながら搬送することができるため、その幅方向のカールをも抑制して、熱電変換素子1p,1nを載置する位置等の精度を向上させることができる。
In the manufacturing method described above, the
さらに、パーフォレーション2dを両端部に形成した場合には、図18に示すように、スリット2eを両端部のパーフォレーション2dの近傍まで延在する形状とすれば、第1絶縁シート2Bの両端部をパーフォレーション2dよりも内側(図中の二点鎖線の位置)で長手方向に沿って切断するだけで、各絶縁シート片2を分離することができ、切断工程を簡略化することができる。
Further, when the
また、図12に示すように、スリット2eを各第1絶縁シート片2の間で直線上に並ぶように形成した場合には、それらの間を切断するために、工具をスリット2eの両脇に配設される熱電変換素子1p,1nの間に挿入しなければならず、工具が熱電変換素子1p,1nに接触しないようにするためにスリット2eの幅を大きくする必要があり、その分絶縁シート片2の取り数が減少するが、図18に示すようにスリット2eをパーフォレーション2d近傍まで延在させることにより、工具をスリット2eの両脇の熱電変換素子1p,1nの間に挿入しなくてもよくなるため、スリット2eの幅を小さくすることができ、その分絶縁シート片2の取り数が増加する。この効果は、第2絶縁基板5Bでも同様に得ることができる。
In addition, as shown in FIG. 12, when the
1p,1n 熱電変換素子
2 第1絶縁シート片
2A,2B 第1絶縁シート
2a 第1貫通孔
2b,5b 切断部
2d,5d パーフォレーション
2e,5e スリット
3 第1電極
4 接合材
5 第2絶縁シート片
5A,5B 第2絶縁シート
5a 第2貫通孔
6 第2電極
7 冷却物
8 ヒーター
9 スプロケット
91 送り爪
10A,10B,10C,10D 熱電変換素子モジュール
11 リード線
12 熱電変換素子モジュール集合体
13 シート体
14 洗浄槽
20,50 絶縁基板
1p, 1n
Claims (4)
帯状に形成され、その長手方向に沿って第1電極を保持する第1絶縁シート片が複数枚材料取り可能な大きさの第1絶縁シートを用いて、この第1絶縁シートの片側の面の各第1絶縁シート片に対応する位置に第1電極を接合する工程と、
第1絶縁シートの各第1絶縁シート片に対応する位置に第1貫通孔を形成する工程と、
第1絶縁シートの幅方向の少なくとも一方の端部にパーフォレーションを形成する工程と、
第1絶縁シートのパーフォレーションにスプロケットの送り爪を係合させた状態で当該スプロケットを回転させることにより、第1絶縁シートの搬送および位置決めを行う工程と、
熱電変換素子の一方の面を第1絶縁シートの第1貫通孔から第1電極に接合する工程と、
熱電変換素子の他方の面を第2電極に接合する工程と、
第1絶縁シートを切断して各第1絶縁シート片を分離する工程とを含むことを特徴とする熱電変換素子モジュールの製造方法。 One surface is joined to the first electrode and the other surface is joined to the second electrode to produce a thermoelectric conversion element module in which p-type and n-type thermoelectric conversion elements are alternately electrically connected in series. In the manufacturing method,
Using a first insulating sheet that is formed in a strip shape and has a size that allows a plurality of first insulating sheet pieces to hold the first electrode along the longitudinal direction of the first insulating sheet, the surface of one side of the first insulating sheet Bonding the first electrode at a position corresponding to each first insulating sheet piece;
Forming a first through-hole at a position corresponding to the first insulating sheet piece each of the first insulating sheet,
Forming perforation on at least one end in the width direction of the first insulating sheet;
A step of conveying and positioning the first insulating sheet by rotating the sprocket while the sprocket feed claw is engaged with the perforation of the first insulating sheet;
Bonding one surface of the thermoelectric conversion element from the first through hole of the first insulating sheet to the first electrode;
Bonding the other surface of the thermoelectric conversion element to the second electrode;
Cutting the first insulating sheet to separate each first insulating sheet piece. A method of manufacturing a thermoelectric conversion element module.
帯状に形成され、その長手方向に沿って第2電極を保持する第2絶縁シート片が複数枚材料取り可能な大きさの第2絶縁シートを用いて、この第2絶縁シートの片側の面の各第2絶縁シート片に対応する位置に第2電極を接合する工程と、
第2絶縁シートの各第2絶縁シート片に対応する位置に第2貫通孔を形成する工程と、
第2絶縁シートの幅方向の少なくとも一方の端部にパーフォレーションを形成する工程と、
第2絶縁シートのパーフォレーションにスプロケットの送り爪を係合させた状態で当該スプロケットを回転させることにより、第2絶縁シートの搬送および位置決めを行う工程と、
熱電変換素子の他方の面を第2絶縁シートの第2貫通孔から第2電極に接合する工程とを含み、
第2絶縁シートを切断して各第2絶縁シート片を分離する工程をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の熱電変換素子モジュールの製造方法。 In the step of joining the other surface of the thermoelectric conversion element to the second electrode,
Using a second insulating sheet that is formed in a band shape and has a size that allows a plurality of second insulating sheet pieces to hold the second electrode along the longitudinal direction thereof, the surface of one side of the second insulating sheet Bonding the second electrode at a position corresponding to each second insulating sheet piece;
Forming a second through hole at a position corresponding to each second insulating sheet piece of the second insulating sheet;
Forming perforation on at least one end in the width direction of the second insulating sheet;
A step of conveying and positioning the second insulating sheet by rotating the sprocket while the sprocket feed claw is engaged with the perforation of the second insulating sheet;
Bonding the other surface of the thermoelectric conversion element from the second through hole of the second insulating sheet to the second electrode,
The method of manufacturing a thermoelectric conversion element module according to claim 1 , further comprising a step of cutting the second insulating sheet and separating each second insulating sheet piece.
片面に第2電極が剥離可能に貼り付けられたシート体を用いて、このシート体に貼り付けられた第2電極に熱電変換素子の他方の面を接合し、その後にシート体と第2電極とを剥離することを特徴とする請求項1に記載の熱電変換素子モジュールの製造方法。 In the step of joining the other surface of the thermoelectric conversion element to the second electrode,
Using the sheet body in which the second electrode is detachably attached to one surface, the other surface of the thermoelectric conversion element is joined to the second electrode attached to the sheet body, and then the sheet body and the second electrode The method for manufacturing a thermoelectric conversion element module according to claim 1 , wherein:
上記絶縁シートの各絶縁シート片の間に、両端部に形成されたパーフォレーションの近傍まで当該絶縁シートの幅方向に延びるスリットを設ける工程をさらに備え、
上記絶縁シートを切断して各絶縁シート片を分離する工程では、当該絶縁シートの両端部をパーフォレーションよりも内側で長手方向に沿って切断することにより行うことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の熱電変換素子モジュールの製造方法。 In the step of forming perforation on the insulating sheet, perforation is formed at both ends in the width direction of the insulating sheet,
A step of providing a slit extending in the width direction of the insulating sheet to the vicinity of the perforations formed at both ends between the insulating sheet pieces of the insulating sheet;
Above the step of separating the insulating sheet each insulating sheet piece was cut, of claims 1 to 3, characterized in that by cutting the both end portions of the insulating sheet in the longitudinal direction inside than the perforation The manufacturing method of the thermoelectric conversion element module as described in any one of Claims.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005081524A JP4412209B2 (en) | 2004-05-21 | 2005-03-22 | Method for manufacturing thermoelectric conversion element module |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004152362 | 2004-05-21 | ||
JP2005081524A JP4412209B2 (en) | 2004-05-21 | 2005-03-22 | Method for manufacturing thermoelectric conversion element module |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006013434A JP2006013434A (en) | 2006-01-12 |
JP4412209B2 true JP4412209B2 (en) | 2010-02-10 |
Family
ID=35780252
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005081524A Expired - Fee Related JP4412209B2 (en) | 2004-05-21 | 2005-03-22 | Method for manufacturing thermoelectric conversion element module |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4412209B2 (en) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008021931A (en) * | 2006-07-14 | 2008-01-31 | Denso Corp | Thermoelectric conversion device |
EP1965446B1 (en) * | 2007-02-28 | 2011-11-16 | Corning Incorporated | Glass-ceramic thermoelectric module |
RU2511274C1 (en) * | 2012-10-15 | 2014-04-10 | Юрий Максимович Белов | Thermoelectric module |
JP6405604B2 (en) * | 2013-07-08 | 2018-10-17 | 富士通株式会社 | Thermoelectric element and manufacturing method thereof |
JP6709040B2 (en) * | 2015-11-18 | 2020-06-10 | 日東電工株式会社 | Method of manufacturing semiconductor device |
KR102152642B1 (en) * | 2018-12-07 | 2020-09-08 | 서울대학교산학협력단 | Bidirectional stretchable and flexible wearable thermoelectric cooler and heater |
JP2021150608A (en) * | 2020-03-23 | 2021-09-27 | アイシン高丘株式会社 | Manufacturing method of thermoelectric module |
-
2005
- 2005-03-22 JP JP2005081524A patent/JP4412209B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006013434A (en) | 2006-01-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4412209B2 (en) | Method for manufacturing thermoelectric conversion element module | |
JP4395733B2 (en) | Thermoelectric conversion element module manufacturing method and electrode structure used in thermoelectric conversion element module manufacturing method | |
JP4345279B2 (en) | Method for manufacturing thermoelectric conversion device | |
US9219214B2 (en) | Thermoelectric conversion element and producing method thereof | |
JP3927784B2 (en) | Method for manufacturing thermoelectric conversion member | |
JP2006269721A (en) | Thermoelectric module and its manufacturing method | |
TW200937460A (en) | Chip resistor and method of making the same | |
JP2008277584A (en) | Thermoelectric substrate member, thermoelectric module, and manufacturing method of them | |
JP5638333B2 (en) | Thermoelectric module | |
JPH0864875A (en) | Manufacture of thermoelectric converter | |
JP2009111137A (en) | Method of arranging electrothermal conversion member | |
JP2008098197A (en) | Thermoelectric conversion element and its fabrication process | |
JP4383056B2 (en) | Method for manufacturing thermoelectric module | |
JP2000022224A (en) | Manufacture of thermoelectric element and manufacture thereof | |
JP2012146801A (en) | Heat sink, substrate for power module with heat sink, power module, and manufacturing method of heat sink | |
JP6690017B2 (en) | Thermoelectric module | |
JP5532601B2 (en) | Power module substrate and manufacturing method thereof | |
CN107710428B (en) | Thermoelectric module | |
JP2012532468A (en) | Module having a plurality of thermoelectric elements | |
JP3350299B2 (en) | Manufacturing method of thermoelectric converter | |
JPH1187787A (en) | Production of thermoelectrtc module | |
JP2004179480A (en) | Thin film thermoelectric element and its manufacturing method | |
JP2001156343A (en) | Thermoelectric element and method of manufacturing the same | |
JP4280064B2 (en) | Method for manufacturing thermoelectric conversion module | |
JP6595320B2 (en) | Thermoelectric module assembly |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070105 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090626 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090630 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090803 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090825 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091006 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20091027 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20091109 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121127 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |