JP4388251B2 - マイクロ電気機械装置の不良検出方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、マイクロ電気機械(MEM,micro electro-mechanical)装置の不良を検出し、必要な場合はそれを修正する方法に関する。本発明は、マイクロ電気機械システム(MEMS)に適用可能な技術を組み込むことによって作製するタイプのインジェクションノズルや、相補形金属酸化膜半導体(CMOS,complementary metal-oxide semiconductor)を組み込んだ回路に適用でき、また、本発明について、その適用方法の内容において以下に説明する。しかし、本発明は、さまざまなタイプのMEM装置における不良修正に対しより広く適用できることも理解できよう。
(同時係属出願)
本発明に関連し、さまざまな方法、システム、および装置が、本発明の出願と同時に本発明の出願人または譲受人によって提出された以下に示す同時出願中の出願書類に開示されている。
PCT/AU00/00518, PCT/AU00/00519, PCT/AU00/00520, PCT/AU00/00521, PCT/AU00/00522, PCT/AU00/00523, PCT/AU00/00524, PCT/AU00/00525, PCT/AU00/00526, PCT/AU00/00527, PCT/AU00/00528, PCT/AU00/00529, PCT/AU00/00530, PCT/AU00/00531, PCT/AU00/00532, PCT/AU00/00533, PCT/AU00/00534, PCT/AU00/00535, PCT/AU00/00536, PCT/AU00/00537, PCT/AU00/00538, PCT/AU00/00539, PCT/AU00/00540, PCT/AU00/00541, PCT/AU00/00542, PCT/AU00/00543, PCT/AU00/00544, PCT/AU00/00545, PCT/AU00/00547, PCT/AU00/00546, PCT/AU00/00554, PCT/AU00/00556, PCT/AU00/00557, PCT/AU00/00558, PCT/AU00/00559, PCT/AU00/00560, PCT/AU00/00561, PCT/AU00/00562, PCT/AU00/00563, PCT/AU00/00564, PCT/AU00/00565, PCT/AU00/00566, PCT/AU00/00567, PCT/AU00/00568, PCT/AU00/00569, PCT/AU00/00570, PCT/AU00/00571, PCT/AU00/00572, PCT/AU00/00573, PCT/AU00/00574, PCT/AU00/00575, PCT/AU00/00576, PCT/AU00/00577, PCT/AU00/00578, PCT/AU00/00579, PCT/AU00/00581, PCT/AU00/00580, PCT/AU00/00582, PCT/AU00/00587, PCT/AU00/00588, PCT/AU00/00589, PCT/AU00/00583, PCT/AU00/00593, PCT/AU00/00590, PCT/AU00/00591, PCT/AU00/00592, PCT/AU00/00584, PCT/AU00/00585, PCT/AU00/00586, PCT/AU00/00594, PCT/AU00/00595, PCT/AU00/00596, PCT/AU00/00597, PCT/AU00/00598, PCT/AU00/00516, PCT/AU00/00517, PCT/AU00/00511, PCT/AU00/00501, PCT/AU00/00502, PCT/AU00/00503, PCT/AU00/00504, PCT/AU00/00505, PCT/AU00/00506, PCT/AU00/00507, PCT/AU00/00508, PCT/AU00/00509, PCT/AU00/00510, PCT/AU00/00512, PCT/AU00/00513, PCT/AU00/00514, PCT/AU00/00515
これら同時出願中の出願書類の開示は、本書内で相互参照として引用している。
【0002】
【従来の技術】
高速ページ幅インクジェットプリンタは、本発明の出願人により、最近開発された。これは、典型的には約51,200のインクジェットノズルを採用してA4サイズの用紙を印刷し、1,600dpiで写真レベルの品質の画像印刷を行うものである。このノズル密度を実現するため、ノズルは、一体型MEMS−CMOS技術によって作製した。
【発明が解決しようとする課題】
このようなプリンタの作製において困難な点は、プリントヘッドを横切って延在する、あるいは、所定のチップ上に位置するすべてのノズルが確実に同じ働きをするようにするための便利な方法が存在しないことであり、他のウェーハから獲得したチップを所定のプリントヘッドに組み込む必要がある場合には、この問題はさらに悪化する。また、複数のチップからプリントヘッドの完成体を作製した場合、個々のノズルを起動するために必要なエネルギーのレベルを判断し、所定のノズルの連続的な性能を評価し、個々のノズルに不良が存在する場合、それを検出するのが困難である。
【0003】
【課題を解決するための手段】
本発明は、支持構造体と、起動アームに流れる熱誘発電流の影響で支持構造体に対して移動可能である起動アームと、起動アームに付随する移動センサとを有するタイプのマイクロ電気機械装置内の不良を検出するための方法を提供するべく広く定義することができる。この方法は:
(a)起動アームに所定の長さtpを有する少なくとも一つの電流パルスを通す工程と;
(b)起動アーム所定のレベルの動きを検出する工程とを含む。
この方法は、上に定義するようにマイクロ電気機械(MEM)装置の起動中の不良検出を可能とする。アームに所定の長さの電流パルスを流した後も所定のレベルの動作が検出されない場合は、例えば、不良がアーム内で起こっているか、もしくはアームの動きをさえぎる障害の結果、アームの動作が阻害されていることが考えられる。
【0004】
妨害の形の不良がMEM装置に存在すると判断された場合には、少なくとも一つの電流パルス(エネルギーレベルのより高いもの)をさらに起動アームに流すことによって不良を排除するように試みることができる。
【0005】
よって、本発明は、さらに、MEM装置内の不良を検出し、修正する方法を提供するものとして定義できる。二段階方法は:
(a)上に定義したような方法で不良を検出する工程と;
(b)少なくとももう一つの電流パルスを不良検出電流パルスより大きいエネルギーレベルで起動アームに流すことにより不良を修正する工程とを含む。
修正段階で不良を修正できなかった場合には、MEM装置の使用を中止し、そして/またはサプライヤーに修理に出せばよい。
【0006】
不良検出方法は、所定のパルス長tpの単一の電流パルスを起動アームに通し、起動アームの所定のレベルの動作を検出することによって実行する。あるいは、試しにパルス長tpが連続的に増加する一連の電流パルスを起動アームに通して、起動アームに時間tだけ連続して増加する動作を行わせてもよい。そして、t>tw>tpの時に所定のタイムウィンドウtwの範囲内で起動アームの所定のレベルの動作に対する検出を行う。
【0007】
本発明の不良検出方法は、好ましくは、液体吐出器の形態、最も好ましくは、起動アームの起動時にインクの滴を吐出するように操作可能なインク吐出ノズルの形態のMEM装置に関連して採用する。本発明のこの後者の好ましい形態において、起動アームの第2の端部は、好ましくは、起動アームが内部まで延在しているチャンバからインクを移動させるために採用する一体型パドルに連結してある。
【0008】
最も好ましくは、起動アームは、互いに重ねて連結された二本の類似した形状のアーム部から形成されている。本発明のこの実施形態においては、アーム部のうち、第1のものは、電流供給源に接続されており、使用中は、長さがtpの電流パルス(単数または複数)によって加熱されるように配置されている。しかし、第2のアーム部は、完成した装置として起動アームの線形の拡張を阻止する機能を有し、第1のアーム部の熱誘導による延長により、起動アームの長さ方向に沿って屈曲が発生する。このように、起動アームは、起動アームの第1の部分の加熱および冷却により、支持構造体に対して有効に旋回する。
【0009】
本発明は、添付の図面に示したようなインクジェットノズルに適用する不良検出法の好ましい実施形態の説明からすべて理解できよう。
【0010】
【発明の実施の形態】
図1および他の関連図面に約3000倍の拡大図で示すように、単一のインクジェットノズル装置がMEMSおよびCMOS技術を統合することによって作製するチップの一部として示されている。完成したノズル装置は、シリコン基板(silicon substrate)20を有する支持構造体と、金属酸化膜半導体層(metal oxide semiconductor layer)21と、表面安定化処理層(passivation layer)22、および非腐食性誘電被覆/チャンバ形成層(non-corrosive dielectric coating/chamber-defining layer)23を備えている。
【0011】
ノズル装置には、インクの供給源(図示せず)に接続してあるインクチャンバ24が組み込まれており、チャンバ、ノズルチャンバ25の上方に位置する。ノズル開口部26は、チャンバ形成層23に設けられており、インクの滴を、インクを定着させる用紙または他の媒体(図示せず)に向かって移動させる。パドル27は、二つのチャンバ24および25の間に位置しており、それが静止位置にあるときには、図1および7に示すようにパドル27が二つのチャンバ24および25を有効に分割する。
【0012】
パドル27はパドル延長部29と誘電被覆23の架橋部30によって起動アーム(actuating arm,アクチュエーティングアーム、駆動アーム)28に連結されている。
【0013】
起動アーム28は支持構造体または基板20に対して旋回可能に形成されている(装置の作製中に蒸着される)。すなわち、起動アームは支持構造体と連結される第1の端部と、支持構造体に対して外側に移動可能な第2の端部38を有している。起動アーム28は、外側および内側アーム部31および32を備えている。外側アーム部31は、図3の斜視図に、詳細に、そしてノズル装置の他の構成要素とは隔離して示してある。内側アーム部32は、図4に同様に示している。完成した起動アーム28は、図1,7,8,9,および10と同様、図5の斜視図に示してある。
【0014】
起動アーム28の内側部分32は、ノズル装置の形成中に蒸着される窒化チタンアルミ(TiAl)Nから形成され、図11に略図で示すようにCMOS構造体内の電流源33に電気的に接続される。電気接続は、端部の端子34および35に対して行われ、端子へパルス励磁(駆動)電圧をかけることにより、パルス電流が起動アーム28の内側部分にのみ流れる。電流の流れにより、起動アームの内側部分32内で急速抵抗加熱が起こり、その結果、アーム部が一瞬伸張する。
【0015】
起動アーム28の外側アーム部31は、内側アーム部32とは機械的に連結されているが、ポスト36によって電気的に隔離されている。外側アーム部31では電流による加熱は起こらず、よって、内側アーム部32を流れる電圧による電流により、図面の図8,9,および10に示したような方法で完成した起動アーム28の瞬間的屈曲が起こる。起動アーム28のこの屈曲は、アームの基板20に対する旋回動作と等しく、よってチャンバ24および25内でパドル27が移動する。
【0016】
一体化された動きセンサが装置内に設けられており、起動アーム28の旋回動作の程度または率を判断し、装置内の不良検出を行うことができる。
【0017】
動作センサは、起動アーム28の内側部分32に一体的に形成されるとともに電流を起動アームの内側部分を通すと電気的にアクティブとなる移動接触要素37を備えている。移動接触要素37は起動アームの第2の端部38に隣接して位置しており、よって、端部の端子34および35に印加される電圧Vで、移動接触要素は約V/2の電位となる。また、移動センサは、CMOS層22と一体的に形成されるとともに起動アーム28が所定の程度まで上方向に旋回すると、移動接触要素37が接触する位置に位置する固定接触要素39も備えている。固定接触要素は、増幅要素40とマイクロプロセッサ装置41に電気的に接続されており、その両者とも図11に示すとともに、その構成要素は、装置のCMOS層22内で具体化している。
【0018】
図1および7に示すようにアクチュエータのアーム28と、パドル27が静止位置にあるときには、移動および固定接触要素37および39の間に接触は起こらない。反対側端部では、図8および9に示すようにアクチュエータのアームとパドルが過度に動くと、移動および固定接触要素37および39の間で接触が起こる。アクチュエータのアーム28とパドル27がノズルからインクを吐出させるのに十分な普通の程度まで起動された場合には、移動および固定接触要素の間に接触は起こらない。すなわち、インクがチャンバ25から普通に吐出されると、アクチュエータのアーム28とパドル27は一部が図7および8に示した位置の間にくるように移動する。この(中間)位置は図10に示すが、これは、ノズルからインクが普通に吐出されている間ではなく、ノズルが遮断された結果を示すものである。
【0019】
図12は、アクチュエータのアーム28とパドル27を静止位置から通常より低いインク吐出位置まで起動させるために適用可能な励磁時間のグラフを示すものである。図12の励磁によって起こるパドル27の移動は、図14の下側のグラフ42によって示されており、最大限に移動しても、移動線43で示す最適なレベルより低いことがわかる。
【0020】
図13は、図8および9に示すように、アクチュエータのアーム28とパドル27を過度に起動させるために適用可能な延長した励磁時間の表を示している。図13の励磁の結果起きるパドル27の移動は、図14の上側のグラフ44に示しており、このグラフから、最大移動レベルは、移動線43で示された最適なレベルより大きいことがわかる。
【0021】
図15,16,および17は、連続して増加する、起動アーム28に印加される励磁時間の経過に伴う、励磁電圧と、アクチュエータのアーム温度と、パドルの変形とを表したグラフである。これらのグラフはノズル装置の不良検出に関係がある。
【0022】
ノズル装置または一列に並んだノズル装置のそれぞれの装置の不良状態を検出する際、長さtpが連続して増加する一連の電流パルスを誘発してそれを時間tだけ起動アーム28に流す。長さtpは、図15のグラフに示すように増加するよう、制御される。
【0023】
各電流パルスは、起動アームを一時的に加熱し、結果、温度が上がり、その後、パルス長が終了すると温度が降下する。図16に示すように、温度は、図15に示すようなパルス長の増加で連続的に高いレベルへと上がる。
【0024】
その結果、図17に示すように、通常の環境下では、アクチュエータのアーム28が連続的に徐々に程度を上げて移動(すなわち旋回)し、その程度の一部は、移動および固定接触要素37および39を接触させるのに必要な程度より低く、また他は、移動および固定接触要素を接触させるのに必要な程度より高い。これは、図17に示す“テストレベル”の線で示している。しかし、ノズル装置に詰まりが起きると、図10に示すように、パドル27およびその結果アクチュエータのアーム28は、ノズルからインクを吐出するのに必要な通常の最大限まで動かないように阻止される。結果、アクチュエータのアームの、通常最大限の動きは起きず、移動および固定接触要素37および39の間では接触は起こらない。
【0025】
起動アームに所定の長さtpの電流パルスを流してもこのような接触が起こらない場合は、ノズル装置に詰まりが発生していることが考えられる。これは、起動アーム28にさらに、起動アームに通常通されるものよりかなり高いエネルギーレベルを有する電流パルスを流すことによって修正できる場合がある。これにより、詰まりを取り除くことができれば、図9に示すように、インク吐出が起きる。
【0026】
また、不良検出のためのさらに単純な別の方法として、図12に示すような単一電流パルスを誘導してアクチュエータのアームに流し、起動アームが十分動いているかを検出するだけで、固定および移動接触要素を接触させることもできる。
【0027】
添付の請求の範囲を超えることなく、本発明の好ましい実施形態として上述したような装置に関し、さまざまな変更や修正が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 インクジェットノズルの部分を大きく拡大した側断面図である。
【図2】 図1のインクジェットノズルの平面図である。
【図3】 起動アームおよびインク吐出パドルの、もしくはインクジェットノズルの外側部分の斜視図であり、起動アームとパドルをノズルの他の要素から独立して示したものである。
【図4】 図3に類似した装置を、起動アームの内側部分に関して示した図である。
【図5】 図3および4に類似した装置を、図3および4に示す外側および内側部分を組み込んで完成した状態の起動アームに関して示した図である。
【図6】 図5に丸で囲んで示した、動作センサ装置の詳細部の図である。
【図7】 図1のノズルの、インクを充填する前の状態を示す側断面図である。
【図8】 図7のノズルの、起動アームとパドルをテスト位置に起動した状態を示す側断面図である。
【図9】 不良解消操作で起動された際の、ノズルからのインク吐出を示す図である。
【図10】 通常、インクをノズルから吐出するのに十分な程度まで起動アームとパドルを起動したときのノズルの詰まりの状態を示す図である。
【図11】 ノズル内で具体化されている電気回路の一部を示す略図である。
【図12】 ノズル起動アームの通常の(インク吐出)起動に適用可能な励磁時間を示す線図である。
【図13】 ノズル起動アームのテスト起動に適用可能な励磁時間のグラフである。
【図14】 図12および13に示す励磁時間のグラフに適用可能な変位と時間のカーブを比較して示す図である。
【図15】 不良検出手順に適用可能な励磁時間のグラフである。
【図16】 ノズル起動アームに適用可能であり、図15の励磁時間のグラフに相当する温度と時間のグラフである。
【図17】 ノズル起動アームに適用可能であり、図15および図16の励磁/加熱時間のグラフに相当する、変形と時間のグラフである。
Claims (6)
- 支持構造体と、起動アームに流れる熱起誘導電流の影響で支持構造体に対して移動可能である起動アームと、起動アームに関連する移動センサとを有するタイプのマイクロ電気機械装置内の不良を検出し、修復する方法において;
(a)
(i)起動アームに所定の期間tpを有する少なくとも一つの電流パルスを通す工程と、
(ii)起動アームの所定のレベルの動きを検出する工程と、
によって不良を検出する工程と;
(b)前記不良を検出する工程によって起動アームの不良が修復されない場合、少なくとももう一つの電流パルスを不良検出電流パルスより大きいエネルギーレベルで起動アームに流すことにより不良を修復する工程と
を含む前記方法。 - 起動アームの動きに伴って液体が吐出される液体受容チャンバを有する液体吐出ノズルに関して採用される請求項1に記載の方法。
- 起動アームの動きに伴ってインクが吐出されるインク受容チャンバを有するインク吐出ノズルに関して採用される請求項1に記載の方法。
- 動作センサが、起動アームと一体に形成された移動接触要素と、支持構造体と支持構造体内に形成された電気回路要素と一体に形成された固定接触要素とを備え、起動アームの所定のレベルの動作が固定および移動接触要素間の接触により検出されることを特徴とする、請求項3に記載の方法。
- 所定のパルスtpを有する単一の電流パルスを起動アームに流し、単一の電流パルスを通した結果として起こる起動アームの所定の動きに対する検出を行うことを特徴とする、請求項3に記載の方法。
- 連続して増加する期間tpを有する一連の電流パルスを起動アームに継続時間tより長く流し、t>tw>tpの所定のタイムウィンドウtw内で起動アームの所定のレベルの動きに対して検出を行うことを特徴とする、請求項3に記載の方法。
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