JP4380334B2 - Manufacturing method of electronic device - Google Patents

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Description

本発明は、配線基板とリード端子とが導電性接合部材を介して接合されてなる電子装置製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a wiring board and an electronic device and the lead terminals, which are bonded via a conductive bonding member.

配線基板とリード端子とを電気的に接合する従来技術として、ワイヤボンドがある。これは、配線基板とリード端子との間をワイヤによって結線する技術であるが、ワイヤを張る領域が必要となるため、大型になってしまうという問題が生じている。   As a conventional technique for electrically bonding a wiring board and a lead terminal, there is a wire bond. This is a technique for connecting a wiring board and a lead terminal with a wire. However, since a region where the wire is stretched is required, there is a problem that the size becomes large.

これを解消する方法として、配線基板とリード端子とを直接、導電性接合材を介して接合する手法があるが、配線基板に部品を搭載する工程や樹脂モールドを行う成形工程などで、接着部分に応力が加わり接着部にクラック等が発生することがある。   As a method for solving this problem, there is a technique in which the wiring board and the lead terminal are directly joined via a conductive bonding material. However, in the process of mounting components on the wiring board or the molding process of resin molding, In some cases, stress is applied and cracks or the like occur in the bonded portion.

この対応策として、従来より、配線基板とリード端子とを直接、導電性接合材を介して接合した後、さらに、接合部に補強用の樹脂を塗布するものが提案されている(たとえば、特許文献1参照)。   As countermeasures for this, there has conventionally been proposed a method in which a wiring board and a lead terminal are directly bonded via a conductive bonding material, and then a reinforcing resin is applied to the bonding portion (for example, a patent) Reference 1).

また、配線基板とリード端子とを直接、導電性接合材を介して接合した後、さらに、絶縁性テープを用いてリード端子の固定部を補強する手法が提案されている(たとえば、特許文献2参照)。
特開2001−210736号公報 特開2001−68582号公報
Further, a technique has been proposed in which a wiring board and a lead terminal are directly joined via a conductive joining material, and then a fixing portion of the lead terminal is further reinforced using an insulating tape (for example, Patent Document 2). reference).
JP 2001-210736 A JP 2001-68582 A

しかしながら、上記したように、配線基板とリード端子とを直接、導電性接合材を介して接合した後、さらに、接合部を樹脂や絶縁性テープにより補強する方法では、これら樹脂や絶縁性テープを配設する工程が必要であり、配線基板とリード端子との接合において工程の増加を招く。   However, as described above, in the method in which the wiring board and the lead terminal are directly bonded via the conductive bonding material, and the method of further reinforcing the bonding portion with the resin or the insulating tape, the resin or the insulating tape is used. A process of disposing is necessary, and the number of processes is increased in joining the wiring board and the lead terminal.

本発明は、上記問題に鑑み、配線基板とリード端子とが導電性接合部材を介して接合されてなる電子装置において、リード端子と配線基板との接合において工程数の増加を招くことなく、当該接合強度を強固なものにすることを目的とする。   In view of the above problems, the present invention provides an electronic device in which a wiring board and a lead terminal are bonded via a conductive bonding member, without increasing the number of steps in bonding the lead terminal and the wiring board. The purpose is to increase the bonding strength.

上記目的を達成するため、請求項に記載の発明では、複数の層(11、12、13、14)が積層されてなる積層基板からなる配線基板(10)とリード端子(30)とが導電性接合部材(40)を介して接合されてなる電子装置を製造する製造方法であって、以下の各工程を有することを特徴としている。 In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, there is provided a wiring board (10) composed of a laminated board in which a plurality of layers (11, 12, 13, 14) are laminated, and a lead terminal (30). A manufacturing method for manufacturing an electronic device bonded through a conductive bonding member (40), the method including the following steps.

・配線基板(10)の周辺部にて、リード端子(30)との接合部に対応した位置に、溝(15)を形成する工程と、リード端子(30)における配線基板(10)との接続端部を、導電性接合部材(40)を介して溝(15)にはめ込むことにより、配線基板(10)とリード端子(30)とを接合する工程とを備えること。   A step of forming a groove (15) at a position corresponding to a joint portion with the lead terminal (30) at a peripheral portion of the wiring substrate (10), and a wiring substrate (10) in the lead terminal (30) A step of joining the wiring substrate (10) and the lead terminal (30) by fitting the connecting end portion into the groove (15) via the conductive joining member (40).

・溝(15)を形成する工程では、配線基板(10)を構成する複数の層(11〜14)のうち外面側に位置する層(11、12)に対して斜め方向から複数回、異なる角度で打ち抜き加工を行うことにより、当該層(11、12)を貫通するとともに打ち抜き加工が行われた層(11、12)において一面側の開口寸法よりも他面側の開口寸法の方が大きい貫通溝(15)を形成すること。本発明はこれらの点を特徴としている。   The step of forming the groove (15) differs from the layers (11, 12) located on the outer surface side among the plurality of layers (11-14) constituting the wiring substrate (10), a plurality of times from the oblique direction. By punching at an angle, the opening dimension on the other surface side is larger than the opening dimension on the one surface side in the layer (11, 12) that penetrates the layer (11, 12) and is punched. Forming a through groove (15); The present invention is characterized by these points.

それによれば、上記請求項3の発明のように、リード端子(30)を溝(15)に圧入する構成における当該溝(15)を適切に形成することができる。   Accordingly, the groove (15) in the configuration in which the lead terminal (30) is press-fitted into the groove (15) as in the third aspect of the invention can be appropriately formed.

ここで、請求項に記載の発明のように、請求項に記載の電子装置の製造方法においては、前記打ち抜き加工は、パンチングによって行うことができる。 Here, as in the invention described in claim 2 , in the method for manufacturing the electronic device described in claim 1 , the punching can be performed by punching.

また、請求項に記載の発明のように、請求項に記載の電子装置の製造方法においては、前記打ち抜き加工は、レーザ照射によって行うことができる。
Further, as in the invention described in claim 3 , in the method of manufacturing the electronic device described in claim 1 , the punching process can be performed by laser irradiation.

なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。   In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis of each said means is an example which shows a corresponding relationship with the specific means as described in embodiment mentioned later.

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各図相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following drawings, parts that are the same or equivalent to each other are given the same reference numerals in the drawings for the sake of simplicity.

[全体構成等]
図1は、本発明の実施形態に係る電子装置S1の概略構成を示す図であり、(a)は概略平面図、(b)は(a)中のA−A線に沿った概略断面図である。
[Overall structure, etc.]
FIG. 1 is a diagram illustrating a schematic configuration of an electronic device S1 according to an embodiment of the present invention, where (a) is a schematic plan view, and (b) is a schematic cross-sectional view along the line AA in (a). It is.

図1に示される電子装置S1において、配線基板10は、セラミック基板、プリント基板などからなるものであり、また、単層基板であっても、積層基板(多層基板)であってもよい。本例では、配線基板10としては、一般的に知られているセラミック積層基板を採用している。   In the electronic device S1 shown in FIG. 1, the wiring substrate 10 is made of a ceramic substrate, a printed circuit board, or the like, and may be a single layer substrate or a multilayer substrate (multilayer substrate). In this example, a generally known ceramic laminated substrate is employed as the wiring substrate 10.

このセラミック積層基板としての配線基板10は、たとえばアルミナなどからなる複数のセラミック層11、12、13、14が積層されたものである。なお、図1では、配線基板10は4層のセラミック層11〜14からなるものであるが、2層以上であればよく、もちろん5層以上であってもかまわない。   The wiring substrate 10 as the ceramic laminated substrate is formed by laminating a plurality of ceramic layers 11, 12, 13, and 14 made of alumina, for example. In FIG. 1, the wiring substrate 10 is composed of four ceramic layers 11 to 14, but may be two or more layers, and may of course have five or more layers.

また、図1には示さないが、この配線基板10の表面(図1(b)中、上面)、内部、裏面(図1(b)中、下面)には、それぞれ、表面配線、内層配線、裏面配線が形成されている。   Although not shown in FIG. 1, the front surface wiring and inner layer wiring are respectively provided on the front surface (upper surface in FIG. 1B), inside, and back surface (lower surface in FIG. 1B) of the wiring board 10. The backside wiring is formed.

ここで、これら配線は、配線基板10の表面、裏面や各セラミック層11〜14の間に設けられたたとえば導体ペーストを印刷してなる導体パターンであり、さらに各セラミック層11〜14に設けられたビアホールなどにより、当該各配線は互いに電気的に接続されている。   Here, these wirings are conductive patterns formed by printing, for example, a conductive paste provided between the front and back surfaces of the wiring board 10 and the ceramic layers 11 to 14, and are further provided on the ceramic layers 11 to 14. The wirings are electrically connected to each other by via holes or the like.

また、配線基板10の表面には、半導体チップ等からなる能動素子20、抵抗やコンデンサ等の受動素子21が搭載されている。   On the surface of the wiring substrate 10, an active element 20 made of a semiconductor chip or the like and a passive element 21 such as a resistor or a capacitor are mounted.

これら能動素子20および受動素子21は、配線基板10の表面上に銀ペーストや半田などの接合材を介して固定されている。また、能動素子20はボンディングワイヤ22により、配線基板10と結線され電気的に接続されている。   The active element 20 and the passive element 21 are fixed on the surface of the wiring substrate 10 via a bonding material such as silver paste or solder. The active element 20 is connected to and electrically connected to the wiring board 10 by a bonding wire 22.

また、図示しないが、配線基板10の裏面には、たとえば厚膜抵抗体などの実装部品が実装されている。そして、配線基板10の表面に搭載されている各素子20、21や裏面の実装部品、さらには上記した表面配線、内層配線、裏面配線等の各配線により、配線基板10における回路が構成されている。   Although not shown, a mounting component such as a thick film resistor is mounted on the back surface of the wiring board 10. A circuit in the wiring board 10 is configured by each element 20, 21 mounted on the front surface of the wiring board 10, mounting parts on the back surface, and each wiring such as the above-described front surface wiring, inner layer wiring, back surface wiring, etc. Yes.

ここで、配線基板10の表面側には、リード端子としてのリードフレーム30が導電性接合部材40を介して接続されている。   Here, a lead frame 30 as a lead terminal is connected to the front surface side of the wiring substrate 10 via a conductive bonding member 40.

図1に示されるように、配線基板10の周辺部には、リードフレーム30との接合部に対応した位置に、溝15が形成されている。そして、リードフレーム30における配線基板10との接続端部が、導電性接合部材40を介して溝15にはめ込まれることにより、配線基板10とリードフレーム30との接合がなされている。   As shown in FIG. 1, a groove 15 is formed in the peripheral portion of the wiring substrate 10 at a position corresponding to a joint portion with the lead frame 30. Then, the connection end of the lead frame 30 with the wiring board 10 is fitted into the groove 15 via the conductive bonding member 40, whereby the wiring board 10 and the lead frame 30 are joined.

ここで、溝15は、配線基板10において積層された複数のセラミック層11〜14のうち外面側に位置する層の一部が除去されたものとして構成されている。図1に示される例では、配線基板10の表面側の2層11、12が、その端部から一部除去されて切り欠き部を形成しており、この切り欠き部により溝15が形成されている。   Here, the groove 15 is configured such that a part of the layer located on the outer surface side is removed from the plurality of ceramic layers 11 to 14 stacked in the wiring substrate 10. In the example shown in FIG. 1, the two layers 11 and 12 on the surface side of the wiring board 10 are partially removed from the end portions to form notches, and the grooves 15 are formed by the notches. ing.

そして、図1に示される例では、配線基板10の表面側から3層目(図1(b)の上から3層目)のセラミック層13に形成された配線13aが、溝15内に露出し、リードフレーム30との接合電極となっている。そして、この配線13aとリードフレーム30とが導電性接合部材40を介して電気的に接続されている。   In the example shown in FIG. 1, the wiring 13 a formed in the ceramic layer 13 of the third layer (the third layer from the top of FIG. 1B) from the surface side of the wiring substrate 10 is exposed in the groove 15. In addition, it is a bonding electrode with the lead frame 30. The wiring 13 a and the lead frame 30 are electrically connected via the conductive bonding member 40.

ここで、導電性接合部材40としては、配線基板10とリードフレーム30とを電気的・機械的に適切に接合できるものであれば、特に限定されないが、たとえば、はんだ、銀ペースト、樹脂に金属などの導電性のフィラーが含有されてなる導電性接着剤、あるいは、ろう材などを採用することができる。   Here, the conductive bonding member 40 is not particularly limited as long as the wiring board 10 and the lead frame 30 can be appropriately bonded electrically and mechanically. For example, the conductive bonding member 40 is made of metal such as solder, silver paste, or resin. A conductive adhesive or a brazing material containing a conductive filler such as can be used.

そして、図1に示されるように、電子装置S1においては、配線基板10、配線基板10上の素子および実装部品、さらには配線基板10とリードフレーム30との接合部が、モールド樹脂50により包み込まれ、封止されている。   As shown in FIG. 1, in the electronic device S <b> 1, the wiring substrate 10, the elements and mounting components on the wiring substrate 10, and the joint between the wiring substrate 10 and the lead frame 30 are encased in the mold resin 50. And sealed.

[製法等]
次に、本実施形態の電子装置S1の製造方法について、図2、図3、図4を参照して説明する。
[Production method]
Next, a method for manufacturing the electronic device S1 of the present embodiment will be described with reference to FIGS.

本製造方法は、大きくは、配線基板10の周辺部にて、リードフレーム30との接合部に対応した位置に溝15を形成する工程と、リードフレーム30における配線基板10との接続端部を、導電性接合部材40を介して溝15にはめ込むことにより、配線基板10とリードフレーム30とを接合する工程と、樹脂封止工程とからなる。   In this manufacturing method, roughly, a step of forming a groove 15 at a position corresponding to a joint portion with the lead frame 30 in a peripheral portion of the wiring substrate 10 and a connection end portion of the lead frame 30 with the wiring substrate 10 are formed. Then, it is composed of a step of bonding the wiring substrate 10 and the lead frame 30 by being fitted into the groove 15 via the conductive bonding member 40 and a resin sealing step.

図2は、本製造方法における配線基板10の製造工程を示す概略断面図、図3は、配線基板10とリードフレーム30との接合工程を示す図であり、(a)、(c)、(e)は概略断面図、(b)、(d)は接合部の拡大斜視図である。また、図4は、配線基板10の溝15へのリードフレーム30の接合方法の種々の例を示す概略断面図である。   2 is a schematic cross-sectional view showing a manufacturing process of the wiring board 10 in the present manufacturing method, and FIG. 3 is a view showing a bonding process of the wiring board 10 and the lead frame 30, (a), (c), ( e) is a schematic sectional view, and (b) and (d) are enlarged perspective views of the joint. FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing various examples of the method of joining the lead frame 30 to the groove 15 of the wiring board 10.

まず、図2(a)に示されるように、各セラミック層11〜14となるグリーンシート11g、12g、13g、14gに、上記したビアホールや表面配線、内層配線、裏面配線となる導体パターンを形成する。これらの形成方法は、一般的な積層基板における方法に準じて行うことができる。   First, as shown in FIG. 2A, the above-described via holes, surface wiring, inner layer wiring, and back surface wiring are formed on the green sheets 11g, 12g, 13g, and 14g to be the ceramic layers 11-14. To do. These forming methods can be performed in accordance with a method for a general laminated substrate.

そして、溝15となる切り欠き部を形成するために、配線基板10の表面側の層の一部を除去する。図2(a)では、上記図1に示される例に対応して、上側の2層のグリーンシート11g、12gの端部の一部を、レーザーやパンチなどによりカッティングして除去する。   Then, in order to form a notch to be the groove 15, a part of the layer on the surface side of the wiring board 10 is removed. In FIG. 2A, corresponding to the example shown in FIG. 1, part of the end portions of the upper two layers of green sheets 11g and 12g are removed by cutting with a laser or a punch.

次に、図2(b)、(c)に示されるように、各グリーンシート11g〜14gを積層し、この積層体を焼成する。これにより、周辺部に溝15が形成された配線基板10ができあがる。   Next, as shown in FIGS. 2B and 2C, the green sheets 11g to 14g are stacked, and the stacked body is fired. As a result, the wiring substrate 10 having the groove 15 formed in the peripheral portion is completed.

なお、この配線基板10においては、必要に応じ、ICなどの実装性を確保するため表面配線や裏面配線にメッキ処理を施したり、裏面に厚膜抵抗体などを印刷・焼成にて形成する。また、必要に応じて保護ガラスを形成したり、抵抗値の調整のため、レーザトリミングを行ったりする。   In this wiring board 10, if necessary, plating is performed on the front surface wiring and the back surface wiring to ensure the mountability of an IC or the like, and a thick film resistor is formed on the back surface by printing and baking. Further, protective glass is formed as necessary, or laser trimming is performed to adjust the resistance value.

ここで、図2に示される例では、配線基板10の表面側から3層目(図1(b)の上から3層目)のセラミック層13に形成された配線13aが、リードフレーム30との接合電極として溝15内に露出している。なお、上記したグリーンシートのカッティングは、上側から第1層のみであったり、第3層までであったり、必要な溝15の深さに応じて、どの層でもかまわない。   Here, in the example shown in FIG. 2, the wiring 13 a formed on the ceramic layer 13 of the third layer from the front side of the wiring substrate 10 (third layer from the top of FIG. 1B) is connected to the lead frame 30. It is exposed in the groove 15 as a bonding electrode. Note that the above-described cutting of the green sheet may be performed only on the first layer from the upper side, up to the third layer, or any layer depending on the required depth of the groove 15.

次に、配線基板10とリードフレーム30とを接合する工程を行う。   Next, a step of bonding the wiring substrate 10 and the lead frame 30 is performed.

まず、図3(a)、(b)に示されるように、配線基板10の溝15内に導電性接合部材40を配設する。この導電性接合部材40の配設は、リードフレーム30側に行ってもよい。その配設方法としては、特に限定するものではないが、印刷やディスペンスなどを採用することができる。   First, as shown in FIGS. 3A and 3B, the conductive bonding member 40 is disposed in the groove 15 of the wiring board 10. The conductive bonding member 40 may be disposed on the lead frame 30 side. Although the arrangement method is not particularly limited, printing, dispensing, or the like can be employed.

ここで、印刷によって導電性接合部材40の配設を行う場合、リードフレーム30側に導電性接合部材40を配することが好ましい。なぜなら、溝15のような凹みのある配線基板10上に印刷する場合、溝15内にうまく導電性接合部材40が入らないことがあるためである。   Here, when the conductive bonding member 40 is disposed by printing, it is preferable to dispose the conductive bonding member 40 on the lead frame 30 side. This is because when printing is performed on the wiring substrate 10 having a recess such as the groove 15, the conductive bonding member 40 may not enter the groove 15 well.

そして、図3(c)、(d)に示されるように、リードフレーム30における配線基板10との接続端部を、導電性接合部材40を介して溝15にはめ込む。このとき、図4に示されるような各種の接合治具を用いて、リードフレーム30の溝15へのはめ込みを行うことができる。   Then, as shown in FIGS. 3C and 3D, the connection end portion of the lead frame 30 with the wiring substrate 10 is fitted into the groove 15 via the conductive bonding member 40. At this time, it is possible to insert the lead frame 30 into the groove 15 using various joining jigs as shown in FIG.

図4(a)では、リードフレーム30は、紙面垂直方向へ複数本配列している。この接合治具900は、台910に搭載された配線基板10に対して、複数本のリードフレーム30を一括して押さえることにより、複数本のリードフレーム30を溝15へ同時にはめ込むものである。   In FIG. 4A, a plurality of lead frames 30 are arranged in the direction perpendicular to the paper surface. The joining jig 900 is configured to simultaneously fit the plurality of lead frames 30 into the grooves 15 by pressing the plurality of lead frames 30 together with the wiring substrate 10 mounted on the base 910.

このとき、リードフレーム30の溝15へのはめ込み時においては、配線基板10の表面に素子20、21などが搭載されている場合がある。そのような場合、接合治具がこれら表面の素子などに接触しないようにすることが好ましい。   At this time, when the lead frame 30 is fitted into the groove 15, the elements 20, 21, etc. may be mounted on the surface of the wiring board 10. In such a case, it is preferable that the joining jig does not come into contact with the elements on the surface.

そういった観点から、図4(b)に示されるような接合治具901を採用することが好ましい。これは、図4(a)に示される接合治具900において、配線基板10の表面上の部分を取り去ったものである。   From such a viewpoint, it is preferable to employ a joining jig 901 as shown in FIG. This is obtained by removing a portion on the surface of the wiring board 10 in the joining jig 900 shown in FIG.

また、個々のリードフレーム30に対する接合治具の押さえ方としては、図4(c)、(d)に示されるような方法を採用することができる。   Moreover, as a method of pressing the joining jig with respect to each lead frame 30, a method as shown in FIGS. 4C and 4D can be employed.

たとえば、図4(c)に示される接合治具902では、リードフレーム30を押さえる突起が設けられている。それによって、リードフレーム30の厚さが、溝15の深さよりも低いような場合に、上記接合治具902の突起によって溝15の底までリードフレーム30を押さえ込むことができる。   For example, the joining jig 902 shown in FIG. 4C is provided with a protrusion for pressing the lead frame 30. Accordingly, when the thickness of the lead frame 30 is lower than the depth of the groove 15, the lead frame 30 can be pressed down to the bottom of the groove 15 by the protrusion of the joining jig 902.

また、図4(d)に示される接合治具903では、個々のリードフレーム30を挟み付ける部位が設けられている。それによって、個々のリードフレーム30がずれないように保持されるため、溝15内へのはめ込みを確実に行うことができる。   Further, in the joining jig 903 shown in FIG. 4D, a part for sandwiching each lead frame 30 is provided. As a result, the individual lead frames 30 are held so as not to be displaced, so that they can be reliably fitted into the grooves 15.

こうして、上記図3(c)、(d)に示されるように、リードフレーム30における配線基板10との接続端部を、導電性接合部材40を介して溝15にはめ込んだ後、導電性接合部材40の硬化を行うことにより、配線基板10とリードフレーム30とが電気的・機械的に接合される。   Thus, as shown in FIGS. 3C and 3D, the connection end of the lead frame 30 to the wiring board 10 is fitted into the groove 15 via the conductive bonding member 40, and then the conductive bonding is performed. By curing the member 40, the wiring board 10 and the lead frame 30 are electrically and mechanically joined.

続いて、この配線基板10の表面に、上記の能動素子20および受動素子21を銀ペーストや半田などの接合材を介して搭載・固定し、また、能動素子20にワイヤボンディングを行ってボンディングワイヤ22を形成し、能動素子20と配線基板10とを電気的に接続する。   Subsequently, the active element 20 and the passive element 21 are mounted and fixed on the surface of the wiring substrate 10 via a bonding material such as silver paste or solder, and the active element 20 is wire-bonded to form a bonding wire. 22 is formed, and the active element 20 and the wiring substrate 10 are electrically connected.

なお、この能動素子20および受動素子21の配線基板10への搭載・固定およびワイヤボンディングは、リードフレーム30と配線基板10とを接合する前において、行うようにしてもかまわない。   The mounting and fixing of the active element 20 and the passive element 21 to the wiring board 10 and wire bonding may be performed before the lead frame 30 and the wiring board 10 are bonded.

しかる後、金型を用いたトランスファーモールド法などにより、樹脂封止工程を行うことにより、配線基板10、配線基板10上の素子および実装部品、さらには配線基板10とリードフレーム30との接合部をモールド樹脂50により封止する。   Thereafter, by performing a resin sealing process by a transfer molding method using a mold, etc., the wiring board 10, the elements and mounting components on the wiring board 10, and the joint between the wiring board 10 and the lead frame 30 are obtained. Is sealed with a mold resin 50.

なお、ここまでの状態では、図示しないが、リードフレーム30は個々のリードフレーム30がタイバーなどでフレーム部に一体に連結されている。そこで、モールド樹脂50による樹脂封止の後に、リードフレーム30の切り離しを行う。こうして、上記電子装置S1ができあがる。   In the state so far, although not shown, each lead frame 30 is integrally connected to the frame portion by a tie bar or the like. Therefore, after the resin sealing with the mold resin 50, the lead frame 30 is separated. Thus, the electronic device S1 is completed.

[効果等]
ところで、本実施形態によれば、配線基板10とリード端子としてのリードフレーム30とが導電性接合部材40を介して接合されてなる電子装置S1において、配線基板10の周辺部にて、リードフレーム30との接合部に対応した位置に溝15が形成されており、リードフレーム30における配線基板10との接続端部が、導電性接合部材40を介して溝15にはめ込まれることにより、配線基板10とリードフレーム30との接合がなされていることを特徴とする電子装置S1が提供される。
[Effects]
By the way, according to the present embodiment, in the electronic device S <b> 1 in which the wiring substrate 10 and the lead frame 30 as the lead terminal are bonded via the conductive bonding member 40, the lead frame is formed at the peripheral portion of the wiring substrate 10. The groove 15 is formed at a position corresponding to the joint portion with the wiring board 30, and the connection end portion of the lead frame 30 with the wiring board 10 is fitted into the groove 15 via the conductive joint member 40. There is provided an electronic device S1 characterized in that the lead frame 30 is bonded to the electronic device 10.

それによれば、リードフレーム30が、配線基板10の溝15にはめ込まれて接合されているので、従来に比べて配線基板10とリードフレーム30との結合を強固なものにできる。   According to this, since the lead frame 30 is fitted into and joined to the groove 15 of the wiring substrate 10, the coupling between the wiring substrate 10 and the lead frame 30 can be made stronger than in the prior art.

また、この溝15は、上述したように、配線基板10を作製する際に同時に形成することができるため、リードフレーム30と配線基板10との接合において工程数の増加を招くことは無い。   Further, as described above, since the groove 15 can be formed at the same time as the wiring substrate 10 is manufactured, the number of processes is not increased in joining the lead frame 30 and the wiring substrate 10.

よって、本実施形態によれば、リード端子としてのリードフレーム30と配線基板10との接合において工程数の増加を招くことなく、当該接合強度を強固なものにすることができる。   Therefore, according to the present embodiment, the bonding strength can be increased without increasing the number of steps in bonding the lead frame 30 as the lead terminal and the wiring substrate 10.

特に、上記した本実施形態の例では、配線基板10はセラミック基板であり、しかも、複数のセラミック層11〜14が積層されてなるセラミック積層基板であった。そして、溝15は、積層された複数の層11〜14のうち外面側に位置する層11、12の一部が除去されたものとして構成されていた。   In particular, in the example of the present embodiment described above, the wiring substrate 10 is a ceramic substrate, and is a ceramic laminated substrate in which a plurality of ceramic layers 11 to 14 are laminated. And the groove | channel 15 was comprised as what removed some layers 11 and 12 located in an outer surface side among the several layers 11-14 laminated | stacked.

ここで、上述したように、本実施形態の配線基板10としては、単層基板でもよいが、この場合にも、基板周辺部の一部をカットしたりプレスしたりすることで、同様に溝を形成することができる。   Here, as described above, the wiring substrate 10 of the present embodiment may be a single-layer substrate, but in this case as well, by cutting or pressing a part of the periphery of the substrate, the groove is similarly formed. Can be formed.

[好ましい例]
次に、本実施形態の種々の好ましい形態について述べておく。
[Preferred example]
Next, various preferred embodiments of the present embodiment will be described.

図5(a)〜(d)、図6(a)〜(d)は、リードフレーム30と溝15とが、リードフレーム30の長手方向への移動を防止するように互いに引っかかる形状を有するものとした種々の例を示す図である。   5 (a) to 5 (d) and FIGS. 6 (a) to 6 (d) have a shape in which the lead frame 30 and the groove 15 are hooked to each other so as to prevent the lead frame 30 from moving in the longitudinal direction. It is a figure which shows various examples.

ここで、図5(a)〜(d)は平面図、図6(a)、(d)は断面図、図6(b)、(c)は、リードフレーム30の斜視図である。   5A to 5D are plan views, FIGS. 6A and 6D are cross-sectional views, and FIGS. 6B and 6C are perspective views of the lead frame 30. FIG.

図5(a)〜(d)に示される例では、リードフレーム30および溝15の幅方向において、リードフレーム30および溝15に段差や凹凸を設けた形状としている。具体的には、図5において、(a)はリードフレーム30および溝15を台形状とし、(b)は菱形とし、(c)は鍵形とし、(d)はT字型としている。   In the example shown in FIGS. 5A to 5D, the lead frame 30 and the groove 15 are provided with steps or irregularities in the width direction of the lead frame 30 and the groove 15. Specifically, in FIG. 5, (a) has a lead frame 30 and a groove 15 in a trapezoidal shape, (b) has a diamond shape, (c) has a key shape, and (d) has a T shape.

また、図6(a)、(d)に示される例では、リードフレーム30の厚み方向すなわち溝15の深さ方向において、リードフレーム30および溝15の一方に凸部30a、15aを設け、他方に凹部30b、15bを設けることにより、これらの凹部と凸部とのかみ合わせるようにしている。   In the example shown in FIGS. 6A and 6D, in the thickness direction of the lead frame 30, that is, in the depth direction of the groove 15, convex portions 30a and 15a are provided on one of the lead frame 30 and the groove 15, and the other The recesses 30b and 15b are provided in the upper surface so that the recesses and the projections are engaged with each other.

これらリードフレーム30および溝15の凸部や凹部は、プレスやハーフエッチングなどにより、形成することができる。   The convex portions and concave portions of the lead frame 30 and the groove 15 can be formed by pressing, half-etching, or the like.

なお、図6(b)、(c)は、リードフレーム30の凹部30bの種々の例を示すもので、図6(b)に示されるように、リードフレーム30の凹部30bは、ハーフエッチングにより形成されたされた窪み部であってもよいし、図6(c)に示されるように、プレス形成された貫通穴であってもよい。   6B and 6C show various examples of the recess 30b of the lead frame 30, and as shown in FIG. 6B, the recess 30b of the lead frame 30 is formed by half etching. The formed recess may be a press-formed through-hole as shown in FIG. 6C.

また、図7は、リード端子としてのリードフレーム30を溝15に圧入する構成を説明するための図である。図7において、(a)は平面図、(b)、(c)、(d)はリードフレームの接続端部の断面図、(e)、(f)は溝15の断面図である。   FIG. 7 is a view for explaining a configuration in which a lead frame 30 as a lead terminal is press-fitted into the groove 15. 7, (a) is a plan view, (b), (c), and (d) are cross-sectional views of the connecting end portion of the lead frame, and (e) and (f) are cross-sectional views of the groove 15.

図7(a)に示されるように、リードフレーム30の接続端部よりも溝15の開口寸法を小さくすることにより、リードフレーム30の溝15への圧入による固定が可能となる。それにより、リードフレーム30と溝15との接合強度をより強固なものにすることができ、好ましい。   As shown in FIG. 7A, by making the opening size of the groove 15 smaller than the connecting end portion of the lead frame 30, the lead frame 30 can be fixed by press-fitting into the groove 15. Thereby, the bonding strength between the lead frame 30 and the groove 15 can be made stronger, which is preferable.

また、図7(e)、(f)は、当該圧入に適した溝15の形状の例を示している。また、リードフレーム30の接続端部についても、図7(b)〜(d)に示されるような形状とすれば、当該圧入固定に適用して好ましい。   Moreover, FIG.7 (e), (f) has shown the example of the shape of the groove | channel 15 suitable for the said press injection. Also, the connection end portion of the lead frame 30 is preferably applied to the press-fitting and fixing if it has a shape as shown in FIGS.

これら図7(b)〜(d)に示されるリードフレーム30では、リードフレーム30における薄肉となった出っ張り部が圧入によって変形したり、溝15に引っかかったりするため、溝15との固定が強固になる。   In the lead frame 30 shown in FIGS. 7B to 7D, the thin protruding portion of the lead frame 30 is deformed by press fitting or is caught in the groove 15, so that the fixing to the groove 15 is strong. become.

なお、図7(b)〜(d)に示されるリードフレーム30は、プレスやエッチングにより形成することができる。また、図7(e)、(f)に示されるような圧入に適した溝15の形状は、図8(a)、(b)に示されるようなパンチ加工、レーザ穴あけ加工により形成することができる。   Note that the lead frame 30 shown in FIGS. 7B to 7D can be formed by pressing or etching. Further, the shape of the groove 15 suitable for press-fitting as shown in FIGS. 7E and 7F is formed by punching and laser drilling as shown in FIGS. 8A and 8B. Can do.

この図8に示されるような溝15の製造方法は、配線基板10が複数の層11〜14が積層されてなる積層基板であるがゆえに、適用できるものである。   The manufacturing method of the groove 15 as shown in FIG. 8 is applicable because the wiring substrate 10 is a laminated substrate in which a plurality of layers 11 to 14 are laminated.

まず、図8(a)に示される方法は、溝15を形成する工程において、配線基板10を構成する複数の層11〜14のうち外面側に位置する層(本例では層11または層12)に対して、グリーンシートの状態で、斜め方向から複数回、異なる角度でパンチ920による打ち抜き加工を行う。   First, in the method shown in FIG. 8A, in the step of forming the groove 15, a layer (in this example, the layer 11 or the layer 12) located on the outer surface side among the plurality of layers 11 to 14 constituting the wiring substrate 10. On the other hand, punching with a punch 920 is performed a plurality of times from an oblique direction in a green sheet state at different angles.

そのことにより、当該打ち抜きがなされた層11または12を貫通するとともに打ち抜き加工が行われた層11または12において一面側の開口寸法よりも他面側の開口寸法の方が大きい貫通溝15を形成する。   As a result, a through-groove 15 is formed that penetrates the punched layer 11 or 12 and has a larger opening dimension on the other side than the opening dimension on one side in the punched layer 11 or 12. To do.

そして、この貫通溝15が形成された層を、貫通溝15における開口寸法の大きい方の開口部がリードフレーム30がはめ込まれる方の開口部となるように、配線基板10に組み込めば、上記図7(f)に示されるような溝15ができあがる。   Then, if the layer in which the through groove 15 is formed is incorporated into the wiring board 10 so that the opening having the larger opening size in the through groove 15 becomes the opening into which the lead frame 30 is fitted, the above-described figure is obtained. A groove 15 as shown in FIG. 7 (f) is completed.

また、このような貫通溝15が形成された層を2層、積層させれば、上記図7(e)に示されるような溝15ができあがる。   Further, if two layers having such through grooves 15 are laminated, a groove 15 as shown in FIG. 7E is completed.

また、上記したパンチング以外にも、レーザ照射によっても溝15が形成できる。図8(b)では、溝15が形成されるべき層11または12に、レーザ照射装置のノズル930からレーザ光931を照射する。すると、穴が熱伝導によって広がった形状となるため、上記図7(e)や(f)に示されるような溝15を形成することができる。   In addition to the above punching, the groove 15 can be formed by laser irradiation. In FIG. 8B, the layer 11 or 12 in which the groove 15 is to be formed is irradiated with laser light 931 from the nozzle 930 of the laser irradiation apparatus. Then, since the hole has a shape expanded by heat conduction, the groove 15 as shown in FIGS. 7E and 7F can be formed.

また、このレーザ照射による打ち抜き加工においても、上記パンチングによる打ち抜き加工と同様に、層に対して斜め方向から複数回、異なる角度で打ち抜き加工を行うようにしてもよい。それにより、上記図7(e)や(f)に示されるような溝15を形成することができる。   Also in the punching process by laser irradiation, the punching process may be performed at a different angle a plurality of times from an oblique direction with respect to the layer, similarly to the punching process by the punching. Thereby, the grooves 15 as shown in FIGS. 7E and 7F can be formed.

また、図9は、本実施形態の溝15におけるリードフレーム30との接合電極の変形例を示す概略断面図である。   FIG. 9 is a schematic cross-sectional view showing a modification of the bonding electrode with the lead frame 30 in the groove 15 of the present embodiment.

上記図1に示される例では、配線基板10の表面側から3層目(図1(b)の上から3層目)のセラミック層13に形成された配線13aが、溝15内に露出し、リードフレーム30との接合電極となっている。   In the example shown in FIG. 1, the wiring 13 a formed in the ceramic layer 13 of the third layer (the third layer from the top of FIG. 1B) from the surface side of the wiring substrate 10 is exposed in the groove 15. It is a bonding electrode with the lead frame 30.

この構成の場合、配線基板10上のすべて溝15において、リードフレーム30との接合電極が、配線基板10の表面側から3層目のセラミック層13における配線13aとなる。つまり、当該接合電極の引き出される層が同一に決まってしまう。   In this configuration, in all the grooves 15 on the wiring board 10, the bonding electrode with the lead frame 30 becomes the wiring 13 a in the third ceramic layer 13 from the surface side of the wiring board 10. That is, the layer from which the bonding electrode is drawn is determined to be the same.

それに対して、図9に示される例では、溝15は、積層された複数の層11、12、13、14のうち外面側に位置する3層11、12、13の一部が除去されたものとして構成されている。   On the other hand, in the example shown in FIG. 9, the groove 15 has a part of the three layers 11, 12, 13 located on the outer surface side among the plurality of stacked layers 11, 12, 13, 14 removed. It is structured as a thing.

そして、そのうちの所定の2層12、13の間に位置する配線17から溝15内へ引き出された電極16が設けられており、この電極16とリードフレーム30とが導電性接合部材40を介して電気的に接続されている。   An electrode 16 is provided that is led out from the wiring 17 located between the predetermined two layers 12 and 13 into the groove 15. The electrode 16 and the lead frame 30 are connected to each other through the conductive bonding member 40. Are electrically connected.

つまり、この図9に示されるような構成では、溝15は、積層された複数の層11〜14のうち外面側に位置する2以上の層11〜13の一部が除去されたものとして構成し、当該一部が除去された2以上の層11〜13のうちの所定の2層12、13の間から溝15内へ電極16を引き出し、この電極16とリードフレーム30とを導電性接合部材40を介して接合するものである。   That is, in the configuration as shown in FIG. 9, the groove 15 is configured such that a part of the two or more layers 11 to 13 located on the outer surface side of the plurality of stacked layers 11 to 14 is removed. Then, the electrode 16 is drawn into the groove 15 from between the predetermined two layers 12 and 13 of the two or more layers 11 to 13 from which the part has been removed, and the electrode 16 and the lead frame 30 are electrically bonded. It joins via the member 40. FIG.

それによれば、リードフレーム30との接合電極を、配線基板10上のそれぞれの溝15で同一の層から引き出す必要はなく、たとえば、ある溝15では第2層から、ある溝15では第4層から引き出すというように、幅広い適用が可能となる。この図9に示される構成の形成方法は、図10に示される。   According to this, it is not necessary to lead out the joining electrode with the lead frame 30 from the same layer in each groove 15 on the wiring substrate 10, for example, from the second layer in a certain groove 15 to the fourth layer in a certain groove 15. Wide application is possible, such as drawing from. A method of forming the configuration shown in FIG. 9 is shown in FIG.

この図9に示される構成は、図10(a)、(b)に示されるように、溝15に露出するセラミック層11、12、13の端面にメッキを施すことによって、所定の2層12、13の間に位置する配線17につながるように電極16を形成することで、作製することができる。   In the configuration shown in FIG. 9, as shown in FIGS. 10A and 10B, the end surfaces of the ceramic layers 11, 12, and 13 exposed in the groove 15 are plated, whereby two predetermined layers 12 are formed. , 13, the electrode 16 is formed so as to be connected to the wiring 17 positioned between the electrodes 13 and 13.

また、図11は、上記図9に示される変形例をさらに変形した構成を示す概略断面図である。   FIG. 11 is a schematic sectional view showing a configuration obtained by further modifying the modification shown in FIG.

図11に示される例では、上記図9において、電極16へつながる配線17を挟む所定の2層12、13のうちの1層12の一部が、タングステン(W)やモリブデン(Mo)などの金属体18に置き換えられたものである。   In the example shown in FIG. 11, in FIG. 9, a part of one layer 12 of the predetermined two layers 12 and 13 sandwiching the wiring 17 connected to the electrode 16 is made of tungsten (W), molybdenum (Mo), or the like. The metal body 18 has been replaced.

そして、金属体18は、電極16と熱的および電気的に接続されている。なお、上記所定の2層12、13のうちの両方の一部が、この金属体18に置き換えられたものであってもよい。   The metal body 18 is thermally and electrically connected to the electrode 16. A part of both of the predetermined two layers 12 and 13 may be replaced with the metal body 18.

それによれば、配線基板10の熱を、金属体18から電極16を介してリードフレーム30に逃がしやすくできるとともに、電極16と金属体18とが電気的に導通することにより、電極16に流れる電流を大きくすることができる。つまり、放熱性の向上および大電流化にとって好ましいものとなる。   According to this, the heat of the wiring board 10 can be easily released from the metal body 18 to the lead frame 30 via the electrode 16, and the current flowing through the electrode 16 is electrically connected between the electrode 16 and the metal body 18. Can be increased. That is, it is preferable for improving heat dissipation and increasing current.

なお、このように積層基板のセラミックの一部を金属体に置き換えることは、一般に知られていることであり、対象となるセラミック層をパンチングなどで打ち抜いてそこへ金属体18をはめ込めばよい。この金属体は「トラフ」とも呼ばれることがある。   Replacing a part of the ceramic of the multilayer substrate with a metal body is generally known, and the target ceramic layer is punched out by punching or the like, and the metal body 18 is inserted into the ceramic layer. This metal body is sometimes called a “trough”.

図12は、導電性接合部材40のはみ出し防止に好ましい構成の例を示す概略断面図である。   FIG. 12 is a schematic cross-sectional view illustrating an example of a preferable configuration for preventing the conductive bonding member 40 from protruding.

図12に示されるように、溝15は、深さ方向に段差15dを有することにより開口部側の開口寸法は底部側の開口寸法よりも大きくなっている。それによれば、本例の溝15は、その開口部側が底部側よりも大径部となる。   As shown in FIG. 12, the groove 15 has a step 15d in the depth direction so that the opening size on the opening side is larger than the opening size on the bottom side. According to this, the groove 15 of this example has a larger diameter portion on the opening side than on the bottom side.

本例では、図12に示されるように、溝15内に導電性接合部材40を配設して、図12(b)に示されるように、リードフレーム30を溝15にはめ込んだ際に、導電性接合部材40は、スペースの大きい開口部側の大径部の部分に溜められる。   In this example, as shown in FIG. 12, when the conductive bonding member 40 is disposed in the groove 15 and the lead frame 30 is fitted into the groove 15 as shown in FIG. The conductive bonding member 40 is stored in the large-diameter portion on the opening side with a large space.

そのため、溝15の外への導電性接合部材40のはみ出しを抑制しやすくなる。このことは、隣り合うリードフレーム30間の短絡を防止することにもつながり、リードフレーム30の間隔が狭い場合にも対応でき、リードフレーム30の多ピン化に伴う高密度実装に対応することができる。   Therefore, it becomes easy to suppress the protrusion of the conductive bonding member 40 to the outside of the groove 15. This also prevents a short circuit between the adjacent lead frames 30, can cope with a case where the interval between the lead frames 30 is narrow, and can cope with high-density mounting accompanying the increase in the number of pins of the lead frame 30. it can.

(他の実施形態)
なお、配線基板に搭載される素子や部品は、上記した実施形態に記載されているものに特に限定されるものではない。
(Other embodiments)
The elements and components mounted on the wiring board are not particularly limited to those described in the above-described embodiment.

また、配線基板に溝を形成し、この溝にリード端子をはめ込むことで配線基板とリード端子との接合を行うことは、この溝にリード端子が入り込む分、従来よりもリード端子と配線基板の面とを同じ高さに近いものにできるという利点もある。   In addition, forming a groove in the wiring board and fitting the lead terminal into the groove to join the wiring board and the lead terminal means that the lead terminal and the wiring board are inserted into the groove as much as conventional. There is also an advantage that the surface can be close to the same height.

さらには、配線基板からの熱を直接リード端子を介して放熱することができるという点も、この配線基板とリード端子とが導電性接合部材を介して接合されてなる電子装置における特徴点である。   Furthermore, the fact that the heat from the wiring board can be directly radiated through the lead terminal is also a characteristic point in the electronic device in which the wiring board and the lead terminal are joined through the conductive joining member. .

以上のことから、本発明は、上記実施形態に示した構成以外にも、配線基板とリード端子とが導電性接合部材を介して接合されてなる電子装置であれば、適用可能であることはもちろんである。   From the above, the present invention can be applied to any electronic device in which the wiring board and the lead terminal are bonded via the conductive bonding member in addition to the configuration shown in the above embodiment. Of course.

本発明の実施形態に係る電子装置の概略図であり、(a)は概略平面図、(b)は(a)中のA−A線に沿った概略断面図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is the schematic of the electronic device which concerns on embodiment of this invention, (a) is a schematic plan view, (b) is a schematic sectional drawing along the AA in (a). 上記実施形態に係る製造方法における配線基板の製造工程を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the manufacturing process of the wiring board in the manufacturing method which concerns on the said embodiment. 上記実施形態に係る製造方法における配線基板とリードフレームとの接合工程を示す図である。It is a figure which shows the joining process of the wiring board and lead frame in the manufacturing method which concerns on the said embodiment. 上記実施形態に係る製造方法における配線基板の溝へのリードフレームの接合方法の種々の例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the various examples of the joining method of the lead frame to the groove | channel of the wiring board in the manufacturing method which concerns on the said embodiment. リードフレームと溝とを互いに引っかかる形状を有するものとした種々の例を示す図である。It is a figure which shows the various examples which made it have the shape which a lead frame and a groove | channel hook on each other. リードフレームと溝とを互いに引っかかる形状を有するものとした種々の例を示す図である。It is a figure which shows the various examples which made it have the shape which a lead frame and a groove | channel hook on each other. リードフレームを溝に圧入する構成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the structure which press-fits a lead frame in a groove | channel. 圧入に適した溝を形成する方法を示す図であり、(a)はパンチング方法を示す概略断面図、(b)はレーザ照射方法を示す概略断面図である。It is a figure which shows the method of forming the groove | channel suitable for press injection, (a) is a schematic sectional drawing which shows the punching method, (b) is a schematic sectional drawing which shows the laser irradiation method. 上記実施形態の溝におけるリードフレームとの接合電極の変形例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the modification of a joining electrode with the lead frame in the groove | channel of the said embodiment. 図9に示される構成の形成方法を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the formation method of the structure shown by FIG. 図9に示される変形例をさらに変形した構成を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the structure which deform | transformed the modification shown by FIG. 9 further. 導電性接合部材のはみ出し防止に好ましい構成の例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the example of a preferable structure for the protrusion prevention of an electroconductive joining member.

符号の説明Explanation of symbols

10…配線基板、11、12、13、14…配線基板のセラミック層、
15…配線基板の溝、16…電極、18…金属体、
30…リード端子としてのリードフレーム、40…導電性接合部材。
10 ... Wiring board, 11, 12, 13, 14 ... Ceramic layer of the wiring board,
15 ... groove of wiring board, 16 ... electrode, 18 ... metal body,
30 ... Lead frame as a lead terminal, 40 ... Conductive joining member.

Claims (3)

複数の層(11、12、13、14)が積層されてなる積層基板からなる配線基板(10)とリード端子(30)とが導電性接合部材(40)を介して接合されてなる電子装置を製造する製造方法であって、
前記配線基板(10)の周辺部にて、前記リード端子(30)との接合部に対応した位置に、溝(15)を形成する工程と、
前記リード端子(30)における前記配線基板(10)との接続端部を、前記導電性接合部材(40)を介して前記溝(15)にはめ込むことにより、前記配線基板(10)と前記リード端子(30)とを接合する工程とを備え、
前記溝(15)を形成する工程では、前記配線基板(10)を構成する複数の層(11〜14)のうち外面側に位置する層(11、12)に対して斜め方向から複数回、異なる角度で打ち抜き加工を行うことにより、
当該層(11、12)を貫通するとともに前記打ち抜き加工が行われた層(11、12)において一面側の開口寸法よりも他面側の開口寸法の方が大きい貫通溝(15)を形成することを特徴とする電子装置の製造方法。
An electronic device in which a wiring substrate (10) made of a laminated substrate in which a plurality of layers (11, 12, 13, 14) are laminated and a lead terminal (30) are joined via a conductive joining member (40). A manufacturing method for manufacturing
Forming a groove (15) at a position corresponding to a joint portion with the lead terminal (30) at a peripheral portion of the wiring board (10);
By fitting the connection end of the lead terminal (30) with the wiring board (10) into the groove (15) through the conductive bonding member (40), the wiring board (10) and the lead are connected. Joining the terminal (30),
In the step of forming the groove (15), a plurality of times from the oblique direction with respect to the layers (11, 12) located on the outer surface side among the plurality of layers (11-14) constituting the wiring substrate (10), By punching at different angles,
A through groove (15) is formed which penetrates the layer (11, 12) and has a larger opening dimension on the other side than the opening dimension on the one side in the punched layer (11, 12). A method for manufacturing an electronic device.
前記打ち抜き加工は、パンチングによって行うことを特徴とする請求項に記載の電子装置の製造方法。 The method of manufacturing an electronic device according to claim 1 , wherein the punching is performed by punching. 前記打ち抜き加工は、レーザ照射によって行うことを特徴とする請求項に記載の電子装置の製造方法。 The method for manufacturing an electronic device according to claim 1 , wherein the punching is performed by laser irradiation.
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