JP4376889B2 - ワイヤボンディング装置及びワイヤボンディング方法 - Google Patents
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Description
このワイヤボンディング装置は先端からワイヤが繰り出されるキャピラリ9を有し、このキャピラリ9はボンディングアーム2に保持されている。このボンディングアーム2は、XYテーブル1に取り付けられており、このXYテーブル1によって水平方向に移動可能に構成されている。
前記キャピラリを保持するボンディングアームと、
前記ボンディングアームを支点を中心に円弧移動させる機構と、
フレームを載置するボンディングステージと、
前記フレームを180°回転させる反転ユニットと、
前記ボンディングステージと前記反転ユニットの間を搬送する搬送機構と、
前記ボンディングステージ上にフレームを載置し、前記フレームの幅方向の一方側に前記キャピラリから繰り出されたワイヤによってボンディングを行い、前記フレームを前記搬送機構によって前記ボンディングステージ上から前記反転ユニットに搬送し、前記反転ユニットによって前記フレームを180°回転させ、前記フレームを前記搬送機構によって前記反転ユニットから前記ボンディングステージ上に搬送し、前記フレームの幅方向の他方側に前記キャピラリから繰り出されたワイヤによってボンディングを行うように制御する制御部と、
を具備することを特徴とする。
前記第1のキャピラリを保持する第1のボンディングアームと、
前記第1のボンディングアームを支点を中心に円弧移動させる第1の機構と、
フレームを載置する第1のボンディングステージと、
前記フレームを90°〜180°回転させる反転ユニットと、
前記第1のボンディングステージと前記反転ユニットの間を搬送する第1の搬送機構と、
第2のワイヤを繰り出す第2のキャピラリと、
前記第2のキャピラリを保持する第2のボンディングアームと、
前記第2のボンディングアームを支点を中心に円弧移動させる第2の機構と、
前記フレームを載置する第2のボンディングステージと、
前記第2のボンディングステージと前記反転ユニットの間を搬送する第2の搬送機構と、
前記第1のボンディングステージ上にフレームを載置し、前記フレームの幅方向の一方側に前記第1のキャピラリから繰り出された第1のワイヤによってボンディングを行い、前記フレームを前記第1の搬送機構によって前記第1のボンディングステージ上から前記反転ユニットに搬送し、前記反転ユニットによって前記フレームを90°〜180°回転させ、前記フレームを前記第2の搬送機構によって前記反転ユニットから前記第2のボンディングステージ上に搬送し、前記フレームの幅方向の他方側に前記第2のキャピラリから繰り出された第2のワイヤによってボンディングを行うように制御する制御部と、
を具備することを特徴とする。
前記フレームを搬送し、前記フレームを180°回転させ、前記フレームを元の場所に搬送し、
前記フレームの幅方向の他方側に前記ワイヤボンディング装置によってワイヤボンディングを行うワイヤボンディング方法であって、
前記ワイヤボンディング装置は、ボンディングアームを支点を中心に円弧移動させる機構を有することを特徴とする。
前記フレームを搬送し、前記フレームを90°〜180°回転させ、前記フレームを搬送し、
前記フレームの幅方向の他方側に第2のワイヤボンディング装置によってワイヤボンディングを行うワイヤボンディング方法であって、
前記第1のワイヤボンディング装置及び前記第2のワイヤボンディング装置それぞれは、ボンディングアームを支点を中心に円弧移動させる機構を有することを特徴とする。
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1によるワイヤボンディング装置を示す構成図である。
図2は、本発明の実施の形態2によるワイヤボンディング装置を示す構成図である。
2…ボンディングアーム
3…フレーム
4…レール
5…反転ユニット
6…収納ユニット1
7…収納ユニット2
8…ヒータユニット
9…キャピラリ
10…直動式ボンディングアーム
11…広可動XYテーブル
12…ボンダ1
13…ボンダ2
14…支点
15…矢印
16…ボンディングステージ
17…幅方向
18…作業スペース
Claims (4)
- ワイヤを繰り出すキャピラリと、
前記キャピラリを保持するボンディングアームと、
前記ボンディングアームを支点を中心に円弧移動させる機構と、
フレームを載置するボンディングステージと、
前記フレームを180°回転させる反転ユニットと、
前記ボンディングステージと前記反転ユニットの間を搬送する搬送機構と、
前記ボンディングステージ上にフレームを載置し、前記フレームの幅方向の一方側に前記キャピラリから繰り出されたワイヤによってボンディングを行い、前記フレームを前記搬送機構によって前記ボンディングステージ上から前記反転ユニットに搬送し、前記反転ユニットによって前記フレームを180°回転させ、前記フレームを前記搬送機構によって前記反転ユニットから前記ボンディングステージ上に搬送し、前記フレームの幅方向の他方側に前記キャピラリから繰り出されたワイヤによってボンディングを行うように制御する制御部と、
を具備することを特徴とするワイヤボンディング装置。 - 第1のワイヤを繰り出す第1のキャピラリと、
前記第1のキャピラリを保持する第1のボンディングアームと、
前記第1のボンディングアームを支点を中心に円弧移動させる第1の機構と、
フレームを載置する第1のボンディングステージと、
前記フレームを90°〜180°回転させる反転ユニットと、
前記第1のボンディングステージと前記反転ユニットの間を搬送する第1の搬送機構と、
第2のワイヤを繰り出す第2のキャピラリと、
前記第2のキャピラリを保持する第2のボンディングアームと、
前記第2のボンディングアームを支点を中心に円弧移動させる第2の機構と、
前記フレームを載置する第2のボンディングステージと、
前記第2のボンディングステージと前記反転ユニットの間を搬送する第2の搬送機構と、
前記第1のボンディングステージ上にフレームを載置し、前記フレームの幅方向の一方側に前記第1のキャピラリから繰り出された第1のワイヤによってボンディングを行い、前記フレームを前記第1の搬送機構によって前記第1のボンディングステージ上から前記反転ユニットに搬送し、前記反転ユニットによって前記フレームを90°〜180°回転させ、前記フレームを前記第2の搬送機構によって前記反転ユニットから前記第2のボンディングステージ上に搬送し、前記フレームの幅方向の他方側に前記第2のキャピラリから繰り出された第2のワイヤによってボンディングを行うように制御する制御部と、
を具備することを特徴とするワイヤボンディング装置。 - フレームを載置するボンディングステージと、
前記フレームを180°回転させる反転ユニットと、
前記ボンディングステージと前記反転ユニットの間を搬送する搬送機構と、
を有するワイヤボンディング装置を用いたワイヤボンディング方法であって、
前記ボンディングステージ上に前記フレームを載置し、前記フレームの幅方向の一方側に前記ワイヤボンディング装置によってワイヤボンディングを行い、
前記フレームを前記搬送機構によって前記ボンディングステージ上から前記反転ユニットに搬送し、前記反転ユニットによって前記フレームを180°回転させ、前記フレームを前記搬送機構によって前記反転ユニットから前記ボンディングステージ上に搬送し、
前記フレームの幅方向の他方側に前記ワイヤボンディング装置によってワイヤボンディングを行うワイヤボンディング方法であり、
前記ワイヤボンディング装置は、ボンディングアームを支点を中心に円弧移動させる機構を有することを特徴とするワイヤボンディング方法。 - フレームの幅方向の一方側に第1のワイヤボンディング装置によってワイヤボンディングを行い、
前記フレームを搬送し、前記フレームを90°〜180°回転させ、前記フレームを搬送し、
前記フレームの幅方向の他方側に第2のワイヤボンディング装置によってワイヤボンディングを行うワイヤボンディング方法であって、
前記第1のワイヤボンディング装置及び前記第2のワイヤボンディング装置それぞれは、ボンディングアームを支点を中心に円弧移動させる機構を有することを特徴とするワイヤボンディング方法。
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2006
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