JP4374949B2 - 吸着機構 - Google Patents
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Description
プリント配線基板およびBGA,CSP,TAB等の各種半導体パッケージ用配線基板を吸着対象物とする吸着機構であって、前記吸着対象物を載置する吸着テーブルと、前記吸着テーブルの上面に対向するように配置された凸型の弾性体を有し、
前記吸着テーブルの表面には複数個の吸着孔が同心円状に配置され、前記同心円の同じ円周上の区画にある吸着孔群ごとに共通の排気手段に接続されており、
前記凸型の弾性体が、前記吸着テーブル上に載置された前記吸着対象物を前記吸着テーブルに押し付けた後、もしくは押し付けるのと同期して、
前記吸着テーブルの同心円の中央の円周上の区画から、同心円の外側の円周上の区画に向けて順番に、各吸着孔群による前記吸着対象物の吸着が行われることによって、吸着対象物をしわなく吸着することを特徴とする吸着機構である。
プリント配線基板およびBGA,CSP,TAB等の各種半導体パッケージ用配線基板を吸着対象物とする吸着機構であって、前記吸着対象物を載置する吸着テーブルと、前記吸着テーブルの上面に対向するように配置された平面型の吹出テーブルを有し、
前記吸着テーブルの表面には複数個の吸着孔が同心円状に配置され、前記同心円の同じ円周上の区画にある吸着孔群ごとに共通の排気手段に接続されており、
前記吹出テーブルの表面には複数個の吹出孔が同心円状に配置され、前記同心円の同じ円周上の区画にある吹出孔群ごとに共通の給気手段に接続されており、前記吹出テーブル表面の同心円の中央の円周上の区画から、同心円の外側の円周上の区画に向けて順番に、各吹出孔群による給気が行われることにより、前記吸着テーブル上に載置された前記吸着対象物を、前記吹出テーブルからの給気で前記吸着テーブルに押し付けた後、もしくは押し付けるのと同期して、
前記吸着テーブルの同心円の中央の円周上の区画から、同心円の外側の円周上の区画に向けて順番に、各吸着孔群による前記吸着対象物の吸着が行われることによって、吸着対象物をしわなく吸着することを特徴とする吸着機構である。
うような形で反るような撓みや反りが基板1に生じている場合は、弾性体5が基板1の中央部を押した時点で吸着を開始してもよい。この場合は、弾性体5が基板1を押すのに連れて中央部から周辺部に向けて除除に基板1が吸着されていき、弾性体5で基板1を押す間に基板1がずれるということがないという利点がある。
2…しわ
3…テーブル
31…吸着テーブル
32…吸着孔
41…吹出テーブル
42…吹出孔
5…弾性体
6…検査ヘッド
7…プローブ
8…アライメントカメラ
91…巻き出しローラー
92…巻き取りローラー
10…ピックアップ
Claims (2)
- プリント配線基板およびBGA,CSP,TAB等の各種半導体パッケージ用配線基板を吸着対象物とする吸着機構であって、前記吸着対象物を載置する吸着テーブルと、前記吸着テーブルの上面に対向するように配置された凸型の弾性体を有し、
前記吸着テーブルの表面には複数個の吸着孔が同心円状に配置され、前記同心円の同じ円周上の区画にある吸着孔群ごとに共通の排気手段に接続されており、
前記凸型の弾性体が、前記吸着テーブル上に載置された前記吸着対象物を前記吸着テーブルに押し付けた後、もしくは押し付けるのと同期して、
前記吸着テーブルの同心円の中央の円周上の区画から、同心円の外側の円周上の区画に向けて順番に、各吸着孔群による前記吸着対象物の吸着が行われることによって、吸着対象物をしわなく吸着することを特徴とする吸着機構。 - プリント配線基板およびBGA,CSP,TAB等の各種半導体パッケージ用配線基板を吸着対象物とする吸着機構であって、前記吸着対象物を載置する吸着テーブルと、前記吸着テーブルの上面に対向するように配置された平面型の吹出テーブルを有し、
前記吸着テーブルの表面には複数個の吸着孔が同心円状に配置され、前記同心円の同じ円周上の区画にある吸着孔群ごとに共通の排気手段に接続されており、
前記吹出テーブルの表面には複数個の吹出孔が同心円状に配置され、前記同心円の同じ円周上の区画にある吹出孔群ごとに共通の給気手段に接続されており、前記吹出テーブル表面の同心円の中央の円周上の区画から、同心円の外側の円周上の区画に向けて順番に、各吹出孔群による給気が行われることにより、前記吸着テーブル上に載置された前記吸着対象物を、前記吹出テーブルからの給気で前記吸着テーブルに押し付けた後、もしくは押し付けるのと同期して、
前記吸着テーブルの同心円の中央の円周上の区画から、同心円の外側の円周上の区画に向けて順番に、各吸着孔群による前記吸着対象物の吸着が行われることによって、吸着対象物をしわなく吸着することを特徴とする吸着機構。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003306166A JP4374949B2 (ja) | 2003-08-29 | 2003-08-29 | 吸着機構 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
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JP4374949B2 true JP4374949B2 (ja) | 2009-12-02 |
Family
ID=34409319
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003306166A Expired - Lifetime JP4374949B2 (ja) | 2003-08-29 | 2003-08-29 | 吸着機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
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2003
- 2003-08-29 JP JP2003306166A patent/JP4374949B2/ja not_active Expired - Lifetime
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