JP4371747B2 - 保存容器 - Google Patents
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Description
RnSiX4−n ・・・・(1)
(ただし、Rはアルキル基、フルオロアルキル基、アリール基、Xはアルコキシ基、塩素、水素、nは1、2、または3をそれぞれ表す。)
で表されるシランカップリング剤が使用できる。
内面を純水で洗浄、乾燥したφ25mm×140mmの50ml−ステンレス鋼製(SUS316)容器にバルブを取り付け、内部を真空とした。真空状態で容器を100℃に加熱し、トリメチルシランを13.3kPaまで導入した。4hr処理した後、内部のガスを真空排気し、室温に戻した。その後、トリメチルシランで容器内を3回置換し、容器内に純度99.99%の133kPaのトリメチルシランを導入した。トリメチルシランが充填された容器を30℃の恒温槽に浸漬し、容器内部のヘキサメチルジシロキサンおよび水素の経時変化をガスクロマトグラフィーにより測定した。保存7日後の結果を表1に示した。
トリメチルシランを13.3kPaまで導入して100℃で4hr加熱処理を施さない容器を用いる以外は実施例1と同様の方法でトリメチルシランの組成変化を測定した。保存7日後の結果を表1に示した。
容器内面が1S処理された3.4L−マンガン鋼製容器を用いる以外は実施例1と同様の方法でトリメチルシランの組成変化を測定した。保存7日後の結果を表1に示した。
容器内面が1S処理された3.4L−マンガン鋼製容器を用いる以外は比較例1と同様の方法でトリメチルシランの組成変化を測定した。保存7日後の結果を表1に示した。
使用するガスがモノメチルシランである以外は実施例1と同様の方法で、容器内部のテトラメチルジシロキサンおよび水素の経時変化をガスクロマトグラフィーにより測定した。保存7日後の結果を表1に示した。
使用するガスがモノメチルシランである以外は比較例1と同様の方法で容器内部のヘキサメチルジシロキサンおよび水素の経時変化をガスクロマトグラフィーにより測定した。保存7日後の結果を表1に示した。
東芝シリコーン製のTSL8233(ヘプタデカフルオロデシルトリメトキシシラン)5mlに対してイソプロピルアルコール50mlを混合した溶液を、φ25mm×140mmの50ml−ステンレス鋼製(SUS316)容器に注いだ後、注いだ液を全量抜き出した。その後、容器を窒素雰囲気下400℃で1hr加熱した。室温に戻した容器を純水で洗浄、乾燥してバルブを取り付けた。内部を真空状態とし、容器を200℃で2hr加熱処理した。容器を室温に戻した後、トリメチルシランで容器内を3回置換し、容器内に純度99.99%の133kPaのトリメチルシランを導入した。トリメチルシランが充填された容器を30℃の恒温槽に浸漬し、容器内部ガス組成の経時変化をガスクロマトグラフィーにより測定した。保存7日後の結果を表1に示した。
Claims (2)
- 不均化反応あるいは加水分解反応によって分解を起こす高純度ガスまたは液体を充填保存するための金属容器であって、少なくともガス状で取り出すためのバルブを設けた該金属容器において、該金属容器の材料が、炭素鋼、マンガン鋼、クロムモリブデン鋼、ステンレス鋼、アルミニウム合金の中から選ばれるいずれか1つであり、シランカップリング剤を用いて該金属容器の内面を該シランカップリング剤の疎水基で修飾することにより該分解を抑制することを特徴する保存容器。
- 高純度ガスが、トリメチルシランまたはモノメチルシランであることを特徴とする請求項1に記載の保存容器。
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