JP4368068B2 - 半導体装置とその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置とその製造方法に関し、更に詳しく言えば、マスクROM(Read Only Memory)を構成する各素子への情報書き込み作業を安定させる製造技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
マスクROMのTAT(Turn Around Time)を短縮するために、Al配線形成後に情報書き込み(プログラム書き込み、ROM書き込みとも言う。)のためのイオン注入を行う技術としては、種々のものが知られている。以下、図5を用いて従来の製造方法を説明する。
【0003】
工程1:図5(a)に示すように、P型の半導体基板51上に熱酸化法もしくはCVD法を用いてシリコン酸化膜より成るパッド酸化膜52を厚さ25nmに形成する。パッド酸化膜52は半導体基板51の表面を保護する目的で形成される。
【0004】
次に、全面に耐酸化膜であるシリコン窒化膜53を形成し、その後、シリコン窒化膜53に、素子分離膜54を形成するための紙面に垂直な方向に長い帯状の開口部53aを形成する。
【0005】
工程2:図5(b)に示すように、シリコン窒化膜53をマスクとしたLOCOS法を用いて半導体基板51を酸化して、素子分離膜54を形成する。このとき、半導体基板51とシリコン窒化膜53との間に酸化領域が侵入してバーズビーク54aが形成される。次に、シリコン窒化膜53及びパッド酸化膜52を除去し、熱酸化法を用いてゲート絶縁膜55を厚さ14nm乃至17nmに形成する。次に、CVD法を用いてポリシリコン膜を厚さ350nmに形成し、リンをドーピングしてN型の導電膜56を形成する。
【0006】
工程3:図5(c)に示すように、素子分離膜54を直交する方向に長い帯状に導電膜56をエッチングしてワード線としてのゲート電極56aを形成する(ただし、エッチング領域は紙面に対して平行な面になされるので、図示されていない)。次に、ゲート電極56aをマスクとしボロンなどのP型不純物をイオン注入し、ソース領域及びドレイン領域を形成する(ソース領域、ドレイン領域は紙面に対し垂直な方向のゲート電極両端部下に形成されるので、図示されていない)。
【0007】
以上により、マトリックス状に配列されたメモリーセルトランジスタが形成される。次に、全面にシリコン酸化膜より成る層間絶縁膜57を厚さ500nmに形成する。次に、ビット線となる紙面に対して垂直な方向に長い帯状のAl配線58を素子分離膜54の上方に形成する。ここまでは、メモリーセルトランジスタにどのようなプログラムを書き込むかに関係せずに製造できるため、ウエハの作り溜をしておくことができる。尚、作り溜をしておく場合は、全面に保護膜としてシリコン酸化膜59を形成しておく。
【0008】
工程4:顧客からの依頼をうけ、書き込むべきプログラムが確定した時点で、図5(d)に示すように、マスクROM書き込み用の開口部60aを有するフォトレジスト60を形成する。次に、開口部からゲート電極56a直下の半導体基板51にボロン等のP型不純物をイオン注入することにより、所定のメモリーセルトランジスタをデプレッション化する。これにより、かかるメモリーセルトランジスタのしきい値電圧が低くなり、ROMデータが書き込まれる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、一般的に上記フォトレジストの加工精度は低く、例えば0.5μm程度である。従って、フォトレジスト60に開口部60aを形成する際に、0.5μmのバラツキが生じる。また、上述したように素子分離膜54にはバーズビーク54aが形成されており、素子分離膜54の端部は薄くなっているので、開口部60aのバラツキが生じると、不純物イオンを注入する際に、図6に示すようにバーズビーク54aを貫通して、図中丸Aで囲んだ素子分離膜54下部の半導体基板51にまで不純物イオンが注入される場合がある。このような素子が隣り合って存在すると、隣り合う素子との間で、矢印で示した素子分離膜54下を通るリーク電流が発生してしまい、素子分離不良の原因となっていた。また、フォトレジストマスクの加工精度を向上させることはコストの大幅な増加につながっていた。
【0010】
更には、耐圧の異なる各種トランジスタを搭載する半導体装置においては、ゲート絶縁膜の膜厚を各種トランジスタに応じて設定している。この際、例えば2種類の膜厚を有するゲート絶縁膜を形成する場合に、一旦厚い方のゲート絶縁膜を全体に形成し、薄い方のゲート絶縁膜を形成する側のゲート絶縁膜をエッチング除去して、再度薄い方のゲート絶縁膜を形成するプロセスを採用している。
【0011】
このときに、上述した厚い方のゲート絶縁膜をエッチング除去する際のエッチングにより素子分離膜が削れてしまう。このようなプロセスではROM部の素子分離膜の膜厚は薄くなる一方である。
【0012】
また、ROMの後置化を行うプロセスでは、データを書き込む際のイオン注入は、層間絶縁膜とゲート電極、ゲート絶縁膜を貫通して行うため、1MeV乃至3MeV程度の高いエネルギーで行う必要があった。このような高いエネルギーでイオン注入を行うと、注入されたイオンの横方向の拡散が大きくなり、これもまた、上述した素子分離不良につながっていた。
【0013】
更に言えば、そのような高いエネルギーでイオン注入を行う装置は一般的に高額であり、コストの増加につながっていた。
【0014】
以上の要因から、素子分離膜は、素子分離不良を防止するために十分な余裕を持たせて、加工限界よりも大きな幅に設定する必要があると共に、素子分離膜膜厚の薄膜化は厳しい状況にあり、微細化の妨げとなっていた。
【0015】
そこで、フォトレジストよりも加工精度の高い金属膜(Al配線等)をマスクにして、上記情報の書き込みを行う技術が実施されている。
【0016】
このような金属膜をマスクに用いたプロセスにおける問題点を図7を参照しながら説明する。尚、図7ではAl配線58,62,64を有する多層配線構造の半導体装置を例示している。
【0017】
不図示のフォトレジストをマスクに層間絶縁膜をエッチングする際に、Al配線58もマスクとなり、図7に示すように当該Al配線58上の層間絶縁膜65,63,61と共に層間絶縁膜57の一部もエッチングされる。このとき、当該Al配線58自身も多少エッチングされてしまう。これにより、開口部65aの側壁部に側壁デポ物66が形成される。尚、側壁デポ物66の成分を分析したところ、エッチングガス(例えば、BCl3)、フォトレジストに含まれる炭素(C)成分や金属配線(Al)等であった。
【0018】
そして、このような側壁デポ物66の存在により、パッシベーション膜67を成膜した際のカバレッジが悪化し(図中の丸Bで囲んだ領域)、ピンホールの発生や耐湿性の劣化といった信頼性上の問題があった。更には、Al配線の断面積も小さくなるため、エレクトロマイグレーション寿命も劣化してしまう。
【0019】
【課題を解決するための手段】
そこで、上記課題に鑑み本発明の半導体装置は、半導体基板上にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極と、当該ゲート電極に隣接するように形成されたソース・ドレイン領域と、前記ゲート電極を被覆する層間絶縁膜を介して形成された金属配線とを有し、前記金属配線上に形成したフォトレジストと当該金属配線をマスクに前記層間絶縁膜の一部をエッチングした状態で前記基板表層に不純物イオンを注入して成るものにおいて、前記金属配線上に前記層間絶縁膜のエッチング時の保護膜となるチタン膜あるいはチタン膜とチタンナイトライド膜との積層膜が形成されていることを特徴とする。
【0020】
また、前記保護膜の膜厚が、少なくとも70nm以上であることを特徴とする。
【0021】
そして、その製造方法は、前記金属配線上に形成したチタン膜あるいはチタン膜とチタンナイトライド膜との積層膜からなる保護膜により前記金属配線表面が露出しないように前記層間絶縁膜をエッチングすることを特徴とする。
【0022】
また、前記金属配線は多層配線構造で、フォトレジストをマスクに層間絶縁膜をエッチングする際に最下層の金属配線上に形成した保護膜により前記金属配線表面が露出しないように前記層間絶縁膜をエッチングした状態で、当該金属配線をマスクにして不純物イオンを注入することを特徴とする。
【0023】
更に、前記不純物イオンを注入する工程が、マスクROMを構成する各素子に情報を書き込む工程であることを特徴とする。
【0024】
これにより、金属配線をマスクにして層間絶縁膜をエッチングする際に、当該金属配線上に形成した保護膜により金属配線が露出しないようにエッチングしているため、層間絶縁膜の開口部に側壁デポ物が形成することを抑止できる。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の半導体装置とその製造方法の実施形態について図面を参照しながら説明する。
【0026】
工程1:図1(a)に示すように、従来の製造工程の工程1と同様にして、半導体基板1上にパッド酸化膜2を形成し、開口部を有するシリコン窒化膜3を形成する。
【0027】
工程2:図1(b)に示すように、半導体基板1上に形成されたシリコン窒化膜3をマスクにしてLOCOS法によって半導体基板1を酸化し、素子分離膜4を形成する。
【0028】
次に、パッド酸化膜2及びシリコン窒化膜3を除去し、熱酸化法を用いてゲート絶縁膜5を厚さ14nm乃至17nmに形成し、CVD法を用いてポリシリコン膜を100nmに形成し、リンをドーピングしてN型の導電膜6を形成する。
【0029】
続いて、タングステンなどの高融点金属のシリサイド膜7を150nmに形成する。シリサイド膜7は導電膜6と共にゲート電極となり、ゲート電極の電気抵抗を低減するのみならず、後に述べるようにゲート電極を保護する働きももつ。
【0030】
工程3:図1(c)に示すように、素子分離膜4と直交する方向に長い帯状に、導電膜6及びシリサイド膜7をエッチングしてワード線としてのゲート電極8を形成する(ただし、エッチング領域は紙面に対して平行な面になされるので、図示されていない)。
【0031】
次にゲート電極8をマスクとしてボロンなどのP型イオン注入を行い、ソース領域及びドレイン領域を形成する(ソース領域、ドレイン領域は紙面に対し垂直な方向のゲート電極8両端部下に形成されるので図示されていない)。
【0032】
以上により、マトリックス状に配列されたメモリーセルトランジスタが形成される。
【0033】
そして、全面にCVD法によりシリコン酸化膜10、シリコン窒化膜11、ポリシリコン膜12、更にシリコン酸化膜13より成る層間絶縁膜14を600nmで形成する。ここで、前記ポリシリコン膜12は、後述する層間絶縁膜14をエッチングする際のエッチングストッパとなる。
【0034】
工程4:図2(a)に示すように、前記層間絶縁膜14上にAl膜等から成る金属膜を形成し、当該金属膜をパターニングしてビット線となるAl配線15を形成する。
【0035】
本工程は本発明の特徴をなす工程であり、先ず前記層間絶縁膜14上にAl膜等から成る金属膜を500nmで形成し、当該金属膜上にチタン膜を70nmで形成し、更にチタンナイトライド膜を35nmで形成して成る保護膜を形成し、これらの膜をパターニングしてビット線となるAl配線15を形成している。このように本発明では、Al配線15上に保護膜17が形成されることで、後述する当該Al配線15をマスクに層間絶縁膜をエッチングする際に、当該保護膜17によりAl配線15がエッチングされることがなく、従来のような層間絶縁膜の開口部65aに側壁デポ物66が形成されることがない(図7参照)。
【0036】
また、このとき、Al配線15の端部15aが、素子分離膜4の端部の直上に配置されるように形成する。尚、前記Al配線15として、金属膜の下にチタン膜を20nmで形成し、更にチタンナイトライド膜を35nmで形成して成るバリアメタル膜を形成したものであっても良い。
【0037】
このように本発明では、Al配線15上に少なくとも通常、例えば上記バリアメタル膜等に用いられるチタン膜の膜厚(20nm)に比して十分に厚い膜厚(70nm)を有する保護膜17を形成することで、当該保護膜17がAl配線15をマスクにして層間絶縁膜をエッチングする際のエッチングストッパとなる。尚、当該チタン膜の膜厚は、層間絶縁膜のエッチング量により任意に設定されるものである。
【0038】
工程5:図2(b)に示すように、全面に平坦化のためシリコン酸化膜20、SOG膜21、シリコン酸化膜22の3層膜から成る第2の層間絶縁膜23を600nmで形成し、前記層間絶縁膜23上にAl膜等から成る金属膜を形成し、当該金属膜をパターニングして第2のAl配線24を形成する。
【0039】
工程6:図3(a)に示すように、前記第2のAl配線24を被覆するように全面に600nmの第3の層間絶縁膜25を形成し、当該層間絶縁膜25上にAl膜等から成る金属膜を形成し、当該金属膜をパターニングして第3のAl配線26を形成する。
【0040】
ここまでは、メモリーセルトランジスタにどのようなプログラムを書き込むかに関係せずに製造できるため、ウエハの作り溜をしておくことができる。作り溜をしておく場合、金属配線層の保護と腐食防止のために、表面に50nm程度の薄いシリコン酸化膜等による保護膜27を形成しておく。
【0041】
工程7:顧客からの依頼をうけ、書き込むべきプログラムが確定した時点で、全面に形成した第4の層間絶縁膜28上にフォトレジスト30を形成した後に、当該フォトレジスト30をマスクに層間絶縁膜をエッチングして、プログラムを書き込む所定メモリーセル上方の領域に開口部28aを設ける。このとき、前記ポリシリコン膜12上でエッチングが終了する(図3(b)参照)。
【0042】
また、このエッチング工程において、前述したようにAl配線15上に保護膜17を形成しているため、従来のようにAl配線15自身がエッチングされることがなく、開口部28aの側壁部にデポ物が形成されてしまうということがなくなる。従って、後述するようにパッシベーション膜を形成した際のカバレッジが向上するため、例えばピンホールの発生を抑止でき、また耐湿性も向上するため、信頼性上の問題が解決できる。更に、Al配線15の断面積が小さくなることがないため、エレクトロマイグレーション寿命の劣化も抑止できる。
【0043】
また、上記デポ物の発生を抑止することで、コンタクト抵抗の安定化が図れる。
【0044】
更にまた、保護膜17として、チタン膜とチタンナイトライド膜とを積層化することで、Al配線15自身のエッチングが抑止され、更にシリコンノジュール対策や反射防止膜としても効果がある。
【0045】
尚、本実施形態では保護膜17としてチタン膜を用いているが、本発明はこれに限定されるものではなく、Al配線に比して層間絶縁膜との選択性がより高い材質のものであれば良い。
【0046】
更に、図4(a)に示すように、開口部28aからゲート電極8直下の半導体基板1にボロンなどのP型不純物をイオン注入することにより、所定のメモリーセルトランジスタをデプレッション化する。上述したようにAl配線15の端部15aは、素子分離膜4の端部の直上に形成されているので、これをマスクとして用いることにより、より精度の高いイオン注入ができる。これにより、かかるメモリーセルトランジスタのしきい値電圧が低くなり、ROMデータが書き込まれる。
【0047】
しかも、本発明ではROMデータを書き込む際に、従来のフォトレジストよりも加工精度の高い金属膜(Al配線15)をマスクとして用いているため、従来のように素子分離不良の発生を回避するために十分な余裕を持たせて、素子分離膜を加工限界よりも大きな幅に設定する必要がなくなり、微細化が可能になる。
【0048】
ここで、イオン注入のエネルギーは、Al配線15上の層間絶縁膜23,25,28と共に層間絶縁膜14の一部をエッチングしているので、130KeV乃至160KeV程度の低いエネルギーで行うことができる。従って、注入イオンの横方向の拡散を防止でき、より精度の高いイオン注入ができる。
【0049】
工程8:図4(b)に示すように、全面にパッシベーション膜31を形成して、所望のプログラムが書き込まれたマスクROMが完成する。このとき、Al配線15上に保護膜17を形成しておくことで、当該Al配線15をマスクにした層間絶縁膜のエッチング時にAl配線15がエッチングされて開口部18aに側壁デポ物が形成されるということがないため、パッシベーション膜31のカバレッジが悪化することはない。
【0050】
尚、本発明の技術思想は、より多層の金属配線を形成する場合にも容易に適用可能なものである。
【0051】
また、前述した工程3において、そのゲート電極の形成は、ポリシリコン膜形成、ポリシリコン膜パターニング、シリサイド膜のポリシリコン膜上への選択的形成としても良い。
【0052】
尚、上記各実施形態では、P型半導体基板を用いる場合を説明したが、N型半導体基板でもよく、半導体基板上に形成されたウエルでも良い。
【0053】
また、上記各実施形態において、しきい値電圧を低くするデプレッション化イオン注入方式について説明したが、しきい値を高くするイオン注入を行ってもプログラムの書き込みをすることができる。
【0054】
更に、本発明の適用範囲はマスクROM等におけるプログラム書き込み方法に限定されるものでなく、金属配線をマスクにして不純物イオンを注入する工程を有する各種製品に適用できるものである。
【0055】
【発明の効果】
本発明によれば、金属配線上に保護膜を形成しておくことで、当該金属配線をマスクに層間絶縁膜をエッチングする際に、金属配線がエッチングされないため、開口部に側壁デポ物が形成されることがなく、パッシベーション膜を形成した際のカバレッジが向上するため、装置の信頼性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図2】本発明の半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図3】本発明の半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図4】本発明の半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図5】従来の半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図6】従来の半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図7】従来の半導体装置の問題点を説明するための断面図である。
Claims (6)
- 半導体基板上にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極と、当該ゲート電極に隣接するように形成されたソース・ドレイン領域と、前記ゲート電極を被覆する層間絶縁膜を介して形成された金属配線とを有し、前記金属配線上に形成したフォトレジストと当該金属配線をマスクに前記層間絶縁膜の一部をエッチングした状態で前記基板表層に不純物イオンを注入して成る半導体装置において、
前記金属配線上に前記層間絶縁膜のエッチング時の保護膜となるチタン膜あるいはチタン膜とチタンナイトライド膜との積層膜が形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記保護膜の膜厚が、少なくとも70nm以上であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 半導体基板上にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極と、当該ゲート電極に隣接するように形成されたソース・ドレイン領域と、前記ゲート電極を被覆する層間絶縁膜を介して形成された金属配線とを有し、前記金属配線上に形成したフォトレジストと当該金属配線をマスクに前記層間絶縁膜の一部をエッチングした状態で前記基板表層に不純物イオンを注入する半導体装置の製造方法において、
前記金属配線上に形成したチタン膜あるいはチタン膜とチタンナイトライド膜との積層膜からなる保護膜により前記金属配線表面が露出しないように前記層間絶縁膜をエッチングすることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記金属配線は多層配線構造で、フォトレジストをマスクに層間絶縁膜をエッチングする際に最下層の金属配線上に形成した前記保護膜により前記金属配線表面が露出しないように前記層間絶縁膜をエッチングした状態で、当該金属配線をマスクにして不純物イオンを注入することを特徴とする請求項3に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記不純物イオンを注入する工程が、マスクROMを構成する各素子に情報を書き込む工程であることを特徴とする請求項3または請求項4に記載の半導体装置の製造方法。
- 半導体基板上に形成され、一方向に延在する複数の素子分離膜と、
前記基板上にゲート絶縁膜を介して前記一方向と直交する方向に延在するゲート電極と、
前記ゲート電極に隣接するように形成されたソース・ドレイン領域と、
層間絶縁膜を介して前記素子分離膜の上方に形成され、前記一方向に延在する金属配線上に形成したフォトレジストと当該金属配線をマスクに前記層間絶縁膜の一部をエッチングした状態で前記基板表層に不純物イオンを注入する半導体装置の製造方法において、
前記金属配線上に形成したチタン膜あるいはチタン膜とチタンナイトライド膜との積層膜からなる保護膜により前記金属配線表面が露出しないように前記層間絶縁膜をエッチングした状態で、当該金属配線をマスクにして情報を書き込むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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