JP4363652B2 - Article transfer device and transfer method - Google Patents

Article transfer device and transfer method Download PDF

Info

Publication number
JP4363652B2
JP4363652B2 JP2004345512A JP2004345512A JP4363652B2 JP 4363652 B2 JP4363652 B2 JP 4363652B2 JP 2004345512 A JP2004345512 A JP 2004345512A JP 2004345512 A JP2004345512 A JP 2004345512A JP 4363652 B2 JP4363652 B2 JP 4363652B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
article
container
electronic component
camera
transfer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2004345512A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2006151606A (en
Inventor
善宏 小野関
正明 金子
洋一 神奈川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP2004345512A priority Critical patent/JP4363652B2/en
Publication of JP2006151606A publication Critical patent/JP2006151606A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4363652B2 publication Critical patent/JP4363652B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Description

本発明は、磁気ヘッドスライダに代表される微細電子部品等の物品について、当該電子部品が載置された第一の収容容器たるトレイから、第一のトレイとは異なる第二の収容容器たるトレイに移載する物品の移載装置及び移載方法に関する。より詳細には、該電子部品を第一のトレイに載置する前、或いは後に該電子部品に対する洗浄等の処理が施され、その後該電子部品を第二のトレイに移載する際の該電子部品他に対するパーティクル等による汚染を低減する移載装置及び移載方法に関する。   The present invention relates to an article, such as a fine electronic component represented by a magnetic head slider, from a tray serving as a first container on which the electronic component is placed, to a tray serving as a second container different from the first tray. The present invention relates to a transfer device and a transfer method for articles to be transferred. More specifically, before the electronic component is placed on the first tray, or after the electronic component is subjected to a process such as washing, and then the electronic component is transferred to the second tray. The present invention relates to a transfer apparatus and a transfer method for reducing contamination of parts and the like due to particles and the like.

例えば磁気ヘッドスライダは、複数が一方向に並んで一体となった棒状の部材を接着材によって治具に貼り付け、この状態にて部材の所定面を研磨し、その後治具から該棒状の部材を剥がしてこれを切断することで得られている。通常、切断後の接着剤が付着した磁気ヘッドスライダは、一旦手作業等により、所謂トレイと呼ばれる略平板状の収容部材上に整列状態にて載置される。これら磁気ヘッドスライダには、まず溶剤等による接着剤の除去処理が施され、その後、何段階かの洗浄処理が施される。以上の洗浄処理を経た後、これら磁気ヘッドスライダは磁気ヘッドの製造工程に供せられる。   For example, in a magnetic head slider, a plurality of bar-shaped members that are integrated in one direction are attached to a jig with an adhesive, a predetermined surface of the member is polished in this state, and the bar-shaped member is then removed from the jig. It is obtained by peeling off and cutting this. Usually, the magnetic head slider to which the adhesive after cutting is attached is placed in an aligned state on a substantially flat storage member called a tray once by manual work or the like. These magnetic head sliders are first subjected to an adhesive removal process with a solvent or the like, and then subjected to several stages of cleaning processes. After the above cleaning process, these magnetic head sliders are subjected to a magnetic head manufacturing process.

ここで、接着剤の除去処理、洗浄処理等各々の処理を行う間において、各磁気ヘッドスライダは各々各処理間において異なるトレイ上にて保持され、処理装置間を移動される。なお、ここで述べた洗浄工程等においては、例えば特許文献1に示されるような、単一のトレイを用いて、磁気ヘッドスライダを複数の洗浄槽中を順次移動させることでトレイの使用数を低減及び、洗浄効率の向上を図る構成が知られている。該文献に開示される装置においては、さらに各洗浄槽における超音波の印加位置等の最適化を図り、より効果的な洗浄を行おうとしている。   Here, during each process such as the adhesive removal process and the cleaning process, each magnetic head slider is held on a different tray between each process and moved between the processing apparatuses. In the cleaning step described here, for example, as shown in Patent Document 1, a single tray is used, and the number of trays used is reduced by sequentially moving the magnetic head slider through a plurality of cleaning tanks. A configuration for reducing and improving the cleaning efficiency is known. In the apparatus disclosed in this document, the application position of ultrasonic waves in each cleaning tank is further optimized to perform more effective cleaning.

特開平6−103511号公報JP-A-6-103511

通常、高度に洗浄された磁気ヘッドスライダ等の電子部品であっても、トレイからの取り出し及び整列載置の工程を経た場合には、電子部品とトレイとの或いは電子部品と該電子部品の把持機構との接触等により発生するパーティクル、雰囲気中に存在するパーティクル、トレイ自体に付着するパーティクル等が電子部品表面に付着し、これらによって汚染される。これら汚染物質の中には、通常の洗浄工程における洗浄液の残渣等も含まれる。更に、洗浄液等の乾燥が不十分な状態にてこれら電子部品の取り出し等、種々の操作を行った場合、所謂洗い染みの状態で汚染物質が電子部品表面に付着し、該電子部品を更に汚染することが考えられる。   Normally, even if electronic parts such as magnetic head sliders that have been washed to a high degree are taken out from the tray and aligned and placed, the electronic parts and the tray or the electronic parts and the electronic parts are gripped. Particles generated by contact with the mechanism, particles present in the atmosphere, particles adhering to the tray itself, and the like adhere to the surface of the electronic component and are contaminated by these. These contaminants include cleaning liquid residues and the like in a normal cleaning process. Furthermore, when various operations such as removal of these electronic components are performed in a state where the cleaning liquid or the like is insufficiently dried, contaminants adhere to the surface of the electronic component in a so-called wash stain state, further contaminating the electronic component. It is possible to do.

また、電子部品は、各工程においてその良否が検査されており、各トレイ間を移載される際に、該検査にて除去されることで生じた空間を埋めるべく電子部品の並べ替えが行われる。また、電子部品個々の品質、ロットナンバー等に応じても、この並び替え工程は実施される。この並び替え工程は、例えば磁気ヘッドの組立工程等、載置されたトレイ上の電子部品を用いてその後に行われる工程を効率的に進める上で必須である。従って、汚染防止の観点のみからトレイの数を単純に削減することも困難であると考えられる。   In addition, the quality of electronic components is inspected in each process, and when transferring between trays, the electronic components are rearranged to fill the space generated by the removal. Is called. Further, this rearranging step is also performed according to the quality of each electronic component, the lot number, and the like. This rearrangement step is indispensable for efficiently proceeding with subsequent steps using electronic components on the placed tray, such as a magnetic head assembly step. Therefore, it is considered difficult to simply reduce the number of trays only from the viewpoint of preventing contamination.

本発明は上記事項に鑑みて為されたものであり、磁気ヘッドスライダ等の微小な電子部品の一連の洗浄工程におけるトレイからトレイへの移載工程に際して、該電子部品に対する汚染の発生を低減する移載装置及び移載方法を提供することを目的としている。また、本発明は、個々のトレイ間で電子部品を移載する際に、該電子部品を汚染させること無く電子部品の並び替えを行うことを可能とする移載装置及び移載方法を提供することも目的としている。   The present invention has been made in view of the above-described matters, and reduces the occurrence of contamination of the electronic components during the transfer process from the tray to the tray in a series of cleaning steps of minute electronic components such as a magnetic head slider. It is an object to provide a transfer device and a transfer method. In addition, the present invention provides a transfer device and a transfer method capable of rearranging electronic components without contaminating the electronic components when transferring the electronic components between individual trays. That is also the purpose.

上記課題を解決するために、本発明に係る移載装置は、物品を収容する第一の収容容器から第二の収容容器に対して物品を移載する移載装置であって、所定の液体と共に、所定の液体中において第一の収容容器及び第二の収容容器を保持可能な槽と、所定の液体中に入って第一の収容容器から物品を取り出して第二の収容容器に物品を載置するピックアップ手段とを有する移載装置であり、物品の第一の収容容器から第二の収容容器への移載時において、物品が所定の液体中を搬送されることを特徴としている。   In order to solve the above-described problem, a transfer device according to the present invention is a transfer device that transfers an article from a first storage container that stores an article to a second storage container. In addition, a tank capable of holding the first storage container and the second storage container in a predetermined liquid, and an article is taken out from the first storage container by entering the predetermined liquid, and the article is placed in the second storage container. A transfer device having a pickup means for mounting, wherein the article is transported in a predetermined liquid when the article is transferred from the first container to the second container.

なお、上述した移載装置においては、所定の液体中を搬送される物品を撮像し、部品の属性を判定する際に用いられる映像を得る撮像手段を更に有することが好ましい。また、上述したピックアップ手段は、物品を吸着保持するピックアップノズルから成ることが好ましい。さらに、上述した移載装置においては、第一の収容容器及び第二の収容容器の少なくとも一方を保持するとともに、該一方の収容容器における所定の液体中及び液体外への移動を行うエレベータ機構を更に有することが好ましい。   In addition, it is preferable that the transfer apparatus described above further includes an imaging unit that captures an image of an article conveyed in a predetermined liquid and obtains an image used when determining the attribute of the component. Moreover, it is preferable that the pick-up means described above includes a pick-up nozzle that holds an article by suction. Furthermore, in the above-described transfer device, an elevator mechanism that holds at least one of the first storage container and the second storage container and moves the liquid into and out of a predetermined liquid in the one storage container. Furthermore, it is preferable to have.

また、上記課題を解決するために、本発明に係る移載方法は、物品を第一の収容容器から第二の収容容器に移載する方法であって、物品を収容する第一の収容容器及び物品を収容しない第二の収容容器を所定の液体中に沈める工程と、ピックアップ手段を用いて第一の収容容器に収容された物品を保持する工程と、ピックアップ手段が物品を保持した状態にて所定の液体中を駆動される工程と、ピックアップ手段が第二の収容容器に対して物品を移載する工程と、物品が取り出された第一の収容容器と物品が移載された第二の収容容器とを所定の液体外部に取り出す工程とを有することを特徴としている。   Moreover, in order to solve the said subject, the transfer method which concerns on this invention is a method of transferring articles | goods from a 1st storage container to a 2nd storage container, Comprising: The 1st storage container which accommodates articles | goods And a step of sinking a second storage container that does not store the article in a predetermined liquid, a step of holding the article stored in the first storage container using the pickup means, and a state in which the pickup means holds the article. A step in which the liquid is driven in a predetermined liquid; a step in which the pickup means transfers the article to the second container; a first container in which the article is taken out; and a second in which the article is transferred. And a step of taking the container out of the predetermined liquid.

なお、上述した移載方法においては、ピックアップ手段が物品を保持して所定の液体中を駆動する際に、物品の所定面を撮像し、撮像により得られた影像から物品の属性を判断し、物品に施される処理を決定する工程を更に有することが好ましい。また、この場合、物品に施される当該処理は、物品の第二の収容容器における移載位置の決定、及び該移載位置に対する物品の移載であることが好ましい。   In the transfer method described above, when the pickup means holds the article and drives in the predetermined liquid, the predetermined surface of the article is imaged, the attribute of the article is determined from the image obtained by the imaging, Preferably, the method further includes a step of determining a treatment to be performed on the article. In this case, it is preferable that the processing performed on the article is determination of a transfer position of the article in the second container and transfer of the article to the transfer position.

また、上記課題を解決するために、本発明に係る物品の移載方法は、物品の所定部分を覆うことなく物品保持するピックアップ手段により物品を保持する工程と、ピックアップ手段が物品を保持した状態にて所定の経路を介して駆動される工程と、ピックアップ手段が収容容器に対して物品を移載する工程とを有し、ピックアップ手段が物品を保持して駆動される際に、物品の所定面を撮像し、撮像により得られた映像から物品の属性を判断し、当該判断の結果に基づいて物品に施される処理が決定されることを特徴としている。また、この場合、物品に施される当該処理は、物品の第二の収容容器における移載位置の決定、及び該移載位置に対する物品の移載であることが好ましい。   In addition, in order to solve the above-described problem, the article transfer method according to the present invention includes a step of holding an article by a pickup means that holds the article without covering a predetermined portion of the article, and a state in which the pickup means holds the article. And a step of driving the article through the predetermined path and a step of transferring the article to the receiving container, and when the pickup means is driven while holding the article, It is characterized in that a surface is imaged, an attribute of the article is determined from an image obtained by the imaging, and a process to be performed on the article is determined based on a result of the determination. In this case, it is preferable that the processing performed on the article is determination of a transfer position of the article in the second container and transfer of the article to the transfer position.

本発明によれば、磁気ヘッドスライダ等の微小な電子部品のトレイからトレイへの移載の際、及び該移載工程の前後に洗浄工程が存在する際に、該電子部品を汚染することなくトレイへの移載及び該トレイ上での電子部品の並び替えを行うことが可能となる。また、これまでは一つの洗浄処理が終了した後にトレイへの電子部品の移載を行う場合、電子部品の表面を完全に乾燥させることが必要であった。本発明によれば、乾燥工程を経ることなくトレイに対して電子部品の載置を行うことが可能となり、工程時間の短縮及び生産性の向上といった効果も得られる。   According to the present invention, when a small electronic component such as a magnetic head slider is transferred from tray to tray, and when there is a cleaning step before and after the transfer step, the electronic component is not contaminated. It is possible to transfer to a tray and rearrange electronic components on the tray. In the past, when transferring an electronic component to a tray after one cleaning process was completed, it was necessary to completely dry the surface of the electronic component. According to the present invention, it is possible to place electronic components on a tray without going through a drying process, and the effects of shortening the process time and improving productivity can be obtained.

更には、電子部品移載時において、電子部品が所定の経路を移動する際にその属性を認識することで、当該電子部品の次なるトレイ上の移載位置を決定することが可能となる。これにより、上述した電子部品の並び替え工程を効率的に実施することも可能となる。   Furthermore, when the electronic component is transferred, the transfer position on the next tray of the electronic component can be determined by recognizing the attribute when the electronic component moves along a predetermined path. Thereby, it is also possible to efficiently perform the electronic component rearrangement process described above.

本発明の実施形態について、以下に図面を参照して説明する。図1A〜1Cは、本発明に係る電子部品移載装置について、これを正面から見た状態の概略図であって、トレイの設置時、移載準備状態、移載時の状態を各々示している。本発明に係る、電子部品移載装置1は、電子部品取り出しトレイ3が受面5a上に載置される第一のエレベータ5、電子部品移載トレイ7が受面9a上に載置される第二のエレベータ9、洗浄槽11、洗浄層11中に存在する洗浄液11a内に被撮像ポイントが存在するOCR(Optical Character Recognition)カメラ13、洗浄液中において電子部品19の把持、移動及び移載をおこなうピックアップノズル50、該ピックアップノズルを移動する駆動系61(図3参照)とを有している。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1A to 1C are schematic views of the electronic component transfer apparatus according to the present invention as viewed from the front, showing the tray installation, transfer preparation state, and transfer state, respectively. Yes. In the electronic component transfer apparatus 1 according to the present invention, the first elevator 5 on which the electronic component take-out tray 3 is placed on the receiving surface 5a, and the electronic component transfer tray 7 are placed on the receiving surface 9a. The second elevator 9, the cleaning tank 11, the OCR (Optical Character Recognition) camera 13 in which the imaging point is present in the cleaning liquid 11 a existing in the cleaning layer 11, and the electronic component 19 is held, moved, and transferred in the cleaning liquid. It has a pickup nozzle 50 that performs and a drive system 61 (see FIG. 3) that moves the pickup nozzle.

電子部品取り出しトレイ3、及び電子部品移載トレイ7は、各々略板状の部材からなり、一方の平面(図中上面)に電子部品収容用の複数の凹部を有している。これらトレイは、各々不図示のトレイ交換手段によって、第一のエレベータ5上、及び第二のエレベータ9上からの交換が可能となっている。これらエレベータは、洗浄液外、即ち洗浄液表面の上方であって個々のトレイの取り付け、取り外しが可能な位置と、洗浄液中であって電子部品の移載を行う位置との二位置間での移動が可能とされている。また、各々の受面表面には第一及び第二のクランプ機構5b、9bが配置されており、トレイを受面に対して固定可能となっている。この固定操作によって、エレベータの上下動作、即ちトレイの液外と液中間での移動操作時におけるトレイの位置ずれ等を防止している。   The electronic component take-out tray 3 and the electronic component transfer tray 7 are each made of a substantially plate-like member, and have a plurality of concave portions for accommodating electronic components on one plane (upper surface in the drawing). These trays can be exchanged from the first elevator 5 and the second elevator 9 by tray exchange means (not shown). These elevators move between two positions: outside the cleaning liquid, that is, above the surface of the cleaning liquid, where individual trays can be attached and detached, and where the electronic components are transferred in the cleaning liquid. It is possible. Moreover, the 1st and 2nd clamp mechanisms 5b and 9b are arrange | positioned at each receiving surface, The tray can be fixed with respect to a receiving surface. By this fixing operation, the vertical position of the elevator, that is, the displacement of the tray during the movement operation between the outside of the tray and the middle of the liquid is prevented.

洗浄槽11中には所定の液面高さを保持するように、IPA(イソプロピルアルコール)、NMP(N-メチル-2-ピロリドン)等の洗浄用溶液11aが蓄えられている。洗浄槽11には洗浄交換機構11bがとりつけられており、洗浄液の劣化に応じて随時洗浄液の交換を行うことが可能となっている。また、第一のエレベータ5及び第二のエレベータ9各々の昇降軸5c、9cは、洗浄槽11の構成壁に設けられた不図示のシール材を介して、洗浄槽11の内部から外部へ、即ち洗浄液11a外部へ引き出されている。当該構成を有することにより、各々のエレベータの上下動を行うための駆動系は洗浄槽11の外部に位置することが可能となる。従って、これら駆動系による洗浄液11aの汚染を防止することが可能となっている。   A cleaning solution 11a such as IPA (isopropyl alcohol) and NMP (N-methyl-2-pyrrolidone) is stored in the cleaning tank 11 so as to maintain a predetermined liquid level. A cleaning exchange mechanism 11b is attached to the cleaning tank 11, and the cleaning liquid can be replaced as needed according to the deterioration of the cleaning liquid. Further, the elevating shafts 5c and 9c of the first elevator 5 and the second elevator 9 are respectively connected from the inside of the cleaning tank 11 to the outside through a sealing material (not shown) provided on the constituent wall of the cleaning tank 11. That is, it is drawn out of the cleaning liquid 11a. By having the said structure, the drive system for performing the up-and-down movement of each elevator can be located in the exterior of the washing tank 11. FIG. Therefore, it is possible to prevent the cleaning liquid 11a from being contaminated by these drive systems.

電子部品として例えば磁気ヘッドスライダは、磁気ヘッドの製造工程において個々の製品を識別、管理するために、製品のデータベースが作成されている。該データベースとして、個々のスライダの素性を把握可能とするための、所謂シリアルナンバーが一般的に用いられる。これらデータベースは、例えば「xxxx」なる番号を有するスライダはAランク品であり、「yyyy」なる番号を有するスライダはBランク品である、といった情報も含まれる。OCRカメラ13は、洗浄液中において磁気ヘッドスライダ等を搬送する際に、これらシリアルナンバーを読み取るために配されている。図2は、OCRカメラ13によって認識されたロット番号21を例示する図である。   As an electronic component, for example, a magnetic head slider has a product database created in order to identify and manage individual products in the magnetic head manufacturing process. As the database, so-called serial numbers are generally used so that the features of individual sliders can be grasped. These databases also include information that, for example, a slider having a number “xxxx” is an A rank product and a slider having a number “yyyy” is a B rank product. The OCR camera 13 is arranged to read these serial numbers when transporting the magnetic head slider or the like in the cleaning liquid. FIG. 2 is a diagram illustrating a lot number 21 recognized by the OCR camera 13.

OCRカメラ13は、ピックアップノズル50が電子部品19を把持、移動する際の移動経路上において、該電子部品19の所定面を撮影可能となる位置に配置されている。即ち、被撮像ポイントが移動経路上となるように設置されている。なお、OCRカメラ13は、不図示のエンクロージャ内に収容され、そのレンズ部分のみが液中に向けられている。OCRカメラ13におけるレンズ鏡筒部分にはシール材が配置されており、洗浄液中に曝される部分にはコーティングが施されておりこれにより該部分への洗浄液の侵入を防止している。   The OCR camera 13 is disposed at a position where a predetermined surface of the electronic component 19 can be photographed on the movement path when the pickup nozzle 50 grips and moves the electronic component 19. That is, the imaging target point is installed on the moving route. The OCR camera 13 is housed in an enclosure (not shown), and only the lens portion is directed into the liquid. A sealing material is disposed in the lens barrel portion of the OCR camera 13, and a coating is applied to a portion exposed to the cleaning liquid, thereby preventing the cleaning liquid from entering the portion.

なお、OCRカメラ13はシリアルナンバー読み取りに用いられる関係上、その焦点深度は小さく設定されている。このため、洗浄液11a中を移送される電子部品19を下方から観察し、これらの保持状態の確認と位置決めとを行うために、下カメラ17が用いられる。当該下カメラ17による映像に基づいて、電子部品移載トレイ7上の電子部品収容用凹部に対する電子部品19の保持姿勢が判断され、移載時の位置補正が行われる。洗浄槽11の底面には、シール材を介して配置、固定されたガラス板11cが存在し、下カメラ17は該ガラス板17を介して、ガラス板11cの外方、即ち、洗浄槽11の下方から、洗浄液11a中を観察可能となるように配置されている。   Note that the depth of focus of the OCR camera 13 is set small because it is used for serial number reading. For this reason, the lower camera 17 is used for observing the electronic component 19 transferred through the cleaning liquid 11a from below, and confirming and positioning these holding states. Based on the image by the lower camera 17, the holding posture of the electronic component 19 with respect to the electronic component receiving recess on the electronic component transfer tray 7 is determined, and the position correction at the time of transfer is performed. A glass plate 11c arranged and fixed via a sealing material is present on the bottom surface of the cleaning tank 11, and the lower camera 17 passes through the glass plate 17 to the outside of the glass plate 11c, that is, in the cleaning tank 11. It arrange | positions so that the inside of the washing | cleaning liquid 11a can be observed from the downward direction.

ここで、図3を用いて、本発明の実施形態において用いられるピックアップノズル50について説明する。ピックアップノズル50は、略円筒形状のシリンダ51と、シリンダ51の円筒内部に配置され、外周部分が円筒内周部と略密着状態で摺動可能なピストン53とを主たる構成として有している。ピストン53は、シリンダ51の開口部51aと異なる方向に伸びるピストンロッド55の一端部と接続されている。ピストンロッド55の他端は、駆動源であるエアシリンダ57の駆動軸57aと接続されている。空圧回路59は、エアシリンダ57に所定圧力のエアを供給する回路であり、該回路59にエア供給、排出を行わせることにより、エアシリンダ57の駆動、及びこれに従うピストンロッド55の駆動を行うことが可能となる。   Here, the pickup nozzle 50 used in the embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The pickup nozzle 50 mainly includes a substantially cylindrical cylinder 51 and a piston 53 that is disposed inside the cylinder of the cylinder 51 and has an outer peripheral portion that is slidable substantially in close contact with the inner peripheral portion of the cylinder. The piston 53 is connected to one end of a piston rod 55 that extends in a direction different from the opening 51 a of the cylinder 51. The other end of the piston rod 55 is connected to a drive shaft 57a of an air cylinder 57 that is a drive source. The pneumatic circuit 59 is a circuit that supplies air of a predetermined pressure to the air cylinder 57. By causing the circuit 59 to supply and discharge air, the air cylinder 57 is driven and the piston rod 55 is driven accordingly. Can be done.

シリンダ51、ピストン53、ピストンロッド55、及びエアシリンダ57は、一体としてピックアップノズル駆動機構61によって、ピストン53の移動方向及び該移動方向に垂直な平面内、即ち三軸方向において移動可能に支持されている。ピックアップノズル50は、ピストン53をシリンダ開口51aから遠ざけるように移動させることによって、洗浄液11aをシリンダ51内部に吸引し、同時に電子部品19をシリンダ開口51aに吸着する。また、吸着保持された電子部品19は、ピストン53をシリンダ開口51aに接近させ、シリンダ51内部の洗浄液11aを放出させることで、シリンダ開口51aから放出することが可能である。   The cylinder 51, the piston 53, the piston rod 55, and the air cylinder 57 are integrally supported by the pickup nozzle drive mechanism 61 so as to be movable in the moving direction of the piston 53 and in a plane perpendicular to the moving direction, that is, in three axis directions. ing. The pickup nozzle 50 moves the piston 53 away from the cylinder opening 51a, thereby sucking the cleaning liquid 11a into the cylinder 51 and simultaneously adsorbing the electronic component 19 to the cylinder opening 51a. Further, the electronic component 19 held by suction can be discharged from the cylinder opening 51a by causing the piston 53 to approach the cylinder opening 51a and discharging the cleaning liquid 11a inside the cylinder 51.

また、シリンダ51には、当該シリンダの軸心を中心として微小角度回転可能とするシリンダ回転機構63が付随している。当該シリンダ回転機構は、ピストン53とは独立して、シリンダ51のみを回転可能とする。なお、本実施の形態においては、シリンダ回転機構63によって、電子部品とトレイ上の凹部との回転ずれの補正を行うこととしているが、このずれ補正を行う回転機構の設置位置は当該実施形態に示す場合に限られない。具体的には、ピックアップノズル駆動機構61と一体化して構成されても良い。また、対象物が微細であること、及び実際にシリンダ51内部に吸引する洗浄液量が僅かであることから、微小領域において吸着放出の操作を行うことが好ましい。従って、空圧回路による高圧空気の供給排出等の操作は、精密レギュレータ等を空圧回路中に配する等し、ピストン53の動作精度を高めることが好ましい。   Further, the cylinder 51 is accompanied by a cylinder rotation mechanism 63 that can rotate by a minute angle around the axis of the cylinder. The cylinder rotating mechanism can rotate only the cylinder 51 independently of the piston 53. In the present embodiment, the cylinder rotation mechanism 63 corrects the rotational deviation between the electronic component and the concave portion on the tray. However, the position of the rotation mechanism that performs the deviation correction is the same as that of the embodiment. It is not limited to the case shown. Specifically, the pickup nozzle drive mechanism 61 may be integrated. Further, since the object is fine and the amount of the cleaning liquid actually sucked into the cylinder 51 is small, it is preferable to perform the adsorption / release operation in a minute region. Therefore, operations such as supply and discharge of high-pressure air by the pneumatic circuit are preferably performed by arranging a precision regulator or the like in the pneumatic circuit to increase the operation accuracy of the piston 53.

通常、液中において被搬送物を吸着する操作においては、液体用ポンプを用いた吸着装置が用いられる。しかし、液体用ポンプを用いた構成を本発明が対象とする微小電子部品のピックアップ等に用いようとした場合、頻繁なオンオフ及び極微少量の吸引、排出を行うことが必要となる。このような操作は、電磁弁等をいくつか回路中に配置することで、初めて実施することが可能となる。このような電磁弁を含んだ構成は、汎用性は高い反面、高価となると同時に、装置構成の規模もまた大きくなる。従って、ピックアップノズルを例えば三軸に駆動する構成と組み合わせることが、非現実的となってしまうと考えられる。   Usually, in the operation of adsorbing the object to be conveyed in the liquid, an adsorption device using a liquid pump is used. However, when a configuration using a liquid pump is used for picking up a minute electronic component targeted by the present invention, it is necessary to perform frequent on / off and a very small amount of suction and discharge. Such an operation can be performed for the first time by arranging several solenoid valves or the like in the circuit. Such a configuration including a solenoid valve is highly versatile, but at the same time is expensive, and the scale of the device configuration is also increased. Therefore, it is considered unrealistic to combine the pickup nozzle with, for example, a three-axis driving configuration.

本実施形態の如く、空圧回路により、液中に負圧、正圧を形成することによって小型且つ簡易な構成から成るピックアップノズルを構築することが可能となる。また、このような小型のノズル構成であることから、駆動系の構成も簡易且つ小規模な構成から構築することが可能となる。また、当該構成から成るピックアップノズルは、空圧回路中に洗浄液等が進入する危険性が全く無く、通常の使用状況の場合と同様に、耐圧、耐食、及び潤滑剤の保護を行うことが可能となる。   As in this embodiment, it is possible to construct a pickup nozzle having a small and simple structure by forming a negative pressure and a positive pressure in the liquid by the pneumatic circuit. In addition, because of such a small nozzle configuration, the configuration of the drive system can also be constructed from a simple and small-scale configuration. In addition, the pickup nozzle with this configuration has no risk of the cleaning liquid entering the pneumatic circuit, and can withstand pressure, corrosion and protect the lubricant as in normal use. It becomes.

次に、実際に電子部品の移載工程について説明する。電子部品の移載時においては、まず図1Aに示すように、電子部品を収容した電子部品取り出しトレイ3が第一のエレベータ5上に載置され、第一のクランプ機構5bによって固定される。同時に、電子部品移載トレイ7が、第二のクランプ機構9bによって第二のエレベータ9上に固定される。続いて、図1Bに示すように、これらエレベータは降下し、各々のトレイが洗浄液11a中の所定位置に達した段階で、当該降下が停止される。   Next, an actual electronic component transfer process will be described. When the electronic component is transferred, first, as shown in FIG. 1A, the electronic component take-out tray 3 accommodating the electronic component is placed on the first elevator 5 and fixed by the first clamping mechanism 5b. At the same time, the electronic component transfer tray 7 is fixed on the second elevator 9 by the second clamp mechanism 9b. Subsequently, as shown in FIG. 1B, these elevators are lowered, and when each tray reaches a predetermined position in the cleaning liquid 11a, the lowering is stopped.

この状態にて、ピックアップノズル駆動機構61によって、目標とする電子部品19の直上まで、ピックアップノズル50が駆動される。ピックアップノズルにおけるシリンダ開口51aが目標とする電子部品19の上面と所定間隔となった段階で当該駆動が停止される。当該状態にて、エアシリンダ57の駆動を行い、シリンダ51内への洗浄液11aの吸引及び電子部品19の吸着を実施する。電子部品吸着後、ピックアップノズル50は、電子部品19をOCRカメラ13の焦点を通過させるように、所定の経路を介して駆動される。この駆動時において、電子部品のデータが認識され、同時に下カメラ17による映像より電子部品の保持状態が認識される。また、得られた電子部品19のデータに基づいて、電子部品移載トレイ7上の移載位置が指定される。   In this state, the pickup nozzle 50 is driven by the pickup nozzle drive mechanism 61 to the position just above the target electronic component 19. The drive is stopped when the cylinder opening 51a in the pickup nozzle reaches a predetermined distance from the upper surface of the target electronic component 19. In this state, the air cylinder 57 is driven, and the cleaning liquid 11a is sucked into the cylinder 51 and the electronic component 19 is sucked. After the electronic component is picked up, the pickup nozzle 50 is driven through a predetermined path so that the electronic component 19 passes through the focus of the OCR camera 13. At the time of driving, the electronic component data is recognized, and at the same time, the holding state of the electronic component is recognized from the video by the lower camera 17. Further, the transfer position on the electronic component transfer tray 7 is designated based on the obtained data of the electronic component 19.

ピックアップノズル50は、電子部品移載トレイ7上の目標とする電子部品載置位置の直上まで駆動される。ここで、下カメラ17の映像を用いて認識された電子部品19の保持状態に基づき、電子部品19が電子部品移載トレイ7上の目標とする載置位置に応じた姿勢となるように、ピックアップノズル50による位置補正が行われる。その際、シリンダ回転機構63により、シリンダ51及び電子部品19を若干角度回転させても良い。位置補正終了後、電子部品19の下面が目標載置位置の上面から所定距離となるまで、再度ピックアップノズル50の降下を行う。その後、エアシリンダ57の駆動を行い、電子部品19及び洗浄液11aのシリンダ開口51aからの放出を行う。   The pickup nozzle 50 is driven to a position just above the target electronic component placement position on the electronic component transfer tray 7. Here, based on the holding state of the electronic component 19 recognized using the video of the lower camera 17, the electronic component 19 has a posture corresponding to the target mounting position on the electronic component transfer tray 7. Position correction by the pickup nozzle 50 is performed. At that time, the cylinder 51 and the electronic component 19 may be slightly rotated by the cylinder rotation mechanism 63. After the position correction is completed, the pickup nozzle 50 is lowered again until the lower surface of the electronic component 19 reaches a predetermined distance from the upper surface of the target placement position. Thereafter, the air cylinder 57 is driven to release the electronic component 19 and the cleaning liquid 11a from the cylinder opening 51a.

以上の工程を経ることにより、移載対象とする電子部品19の、電子部品取り出しトレイ3から電子部品移載トレイ7への移載工程が終了する。これら移載工程が、概略的に図1Cに示されている。以上の電子部品19一個の移載が終了すると、ピックアップノズル50は次の移載対象となる目標電子部品の直上まで駆動される。以下、上述した一連の工程が複数回繰り返され、電子部品取り出しトレイ3上に載置された電子部品19全ての電子部品移載トレイ7上への移載工程が終了する。移載終了後、両エレベータは所定位置まで上昇、停止し、各々のトレイが次工程のものと交換され、次トレイ間での電子部品の移載工程が実施される。なお、本実施の形態においては、電子部品19は全てトレイ-トレイ間にて移載されることとしたが、本発明は当該形態に限定されない。具体的には、OCRカメラ13の映像に基づいて不良と判断された電子部品をトレイと異なる他の収容位置に搬送する等、該映像結果に基づいて該電子部品に施す処理を決定し、これを実施することとしても良い。   By passing through the above process, the transfer process of the electronic component 19 to be transferred from the electronic component take-out tray 3 to the electronic component transfer tray 7 is completed. These transfer steps are schematically illustrated in FIG. 1C. When the transfer of one electronic component 19 is completed, the pickup nozzle 50 is driven to a position immediately above the target electronic component to be transferred next. Thereafter, the series of steps described above is repeated a plurality of times, and the transfer process of all the electronic components 19 placed on the electronic component take-out tray 3 onto the electronic component transfer tray 7 is completed. After the transfer is completed, both elevators are raised and stopped to a predetermined position, each tray is exchanged for the next process, and the transfer process of electronic components between the next trays is performed. In the present embodiment, all the electronic components 19 are transferred between the trays, but the present invention is not limited to this embodiment. Specifically, processing to be performed on the electronic component is determined based on the video result, such as transporting an electronic component determined to be defective based on the video of the OCR camera 13 to another storage position different from the tray. It is good also to carry out.

以上述べたように、本発明によれば、洗浄の前後あるいは並び替え工程において、電子部品を空気中に曝すことが無くなる。従って、液中から電子部品を出すことに起因して生じる種々の汚染を防止することが可能となる。   As described above, according to the present invention, the electronic components are not exposed to the air before and after cleaning or in the rearrangement process. Therefore, it is possible to prevent various contaminations caused by taking out electronic components from the liquid.

なお、本実施形態においては、磁気ヘッドスライダに代表される電子部品を移載対象として述べたが、本発明の適用対象はこのような微小電子部品に限定されない。特殊部品、ペレット等、比較的小型であって高度な品質管理が要求される部材の移載工程に対しても適用可能である。また、使用する液体を洗浄液として述べたが、清浄状態を維持するための保存液等、所定の特性を有する種々の液体を用いることが可能である。また、エレベータは第一及び第二の一対の構成から成り、各々独立して駆動可能としているがこれらを単一のエレベータから成ることとして、装置構成の簡略化を図っても良い。また、電子部品取り出し側トレイはエレベータを用いず、例えば、槽内に洗浄液が存在しない状態にて該トレイに槽内への挿脱を行うこととして、エレベータを電子部品移載側トレイ用の一基のみとしても良い。また、逆に電子部品の品質、データ等に応じてトレイを更なる数とし、個々のトレイに応じたエレベータを配することとしても良い。   In this embodiment, an electronic component typified by a magnetic head slider has been described as a transfer target. However, an application target of the present invention is not limited to such a small electronic component. The present invention can also be applied to a transfer process of special parts, pellets, etc., which are relatively small and require high quality control. Although the liquid to be used is described as the cleaning liquid, various liquids having predetermined characteristics such as a storage liquid for maintaining a clean state can be used. Moreover, although an elevator consists of a 1st and 2nd pair of structure and each can be driven independently, you may aim at simplification of an apparatus structure as these consisting of a single elevator. In addition, the electronic component take-out tray does not use an elevator. For example, when the tray is inserted into and removed from the tank in a state where no cleaning liquid is present in the tank, the elevator is used for the electronic component transfer side tray. Only the group may be used. Conversely, the number of trays may be increased according to the quality of electronic components, data, and the like, and elevators corresponding to individual trays may be provided.

また、本実施の形態においては、電子部品の収容容器として略平板形状を有するトレイを用いることとしているが、収容容器の形状は当該トレイに限定されるものではない。移送対象となる物品の形状、用いる液体、液体中において為される移送以外の処理等に応じれ適宜変更されることが望ましい。また、また、OCRカメラ13、下カメラ17は、所謂光学式、電子式を問わない。また、OCRカメラ13によって得られるデータは、電子部品の保持状態に関する属性以外の部材表面への表記によって示される全ての属性を含む。   Further, in the present embodiment, a tray having a substantially flat plate shape is used as the electronic component storage container, but the shape of the storage container is not limited to the tray. It is desirable to change appropriately according to the shape of the article to be transferred, the liquid to be used, processing other than the transfer performed in the liquid, and the like. The OCR camera 13 and the lower camera 17 may be so-called optical or electronic. The data obtained by the OCR camera 13 includes all the attributes indicated by the notation on the surface of the member other than the attribute relating to the holding state of the electronic component.

また、本実施の形態においては、吸着によって電子部品を保持するピックアップノズルを用いることとしている。しかしながら、本発明は当該ノズルの形式に限られるものではなく、機械的な把持等公知の種々の方法によってこれを行うこととしても良い。しかしながら、OCRカメラによる属性認識のためには、電子部品の所定面を覆うことの無い保持方法が望ましい。   In the present embodiment, a pickup nozzle that holds an electronic component by suction is used. However, the present invention is not limited to the type of the nozzle, and this may be performed by various known methods such as mechanical gripping. However, for attribute recognition by the OCR camera, a holding method that does not cover a predetermined surface of the electronic component is desirable.

図4A〜4Cに、本発明を具現化した電子部品の液中移載装置の概略構成を示す。図4A〜4Cは、各々当該装置の正面図、側面図及び平面図を示している。なお、上述した実施の形態で説明した構成と同様の構成については、同一の参照符号を用いて説明することとする。本液中移載装置1は、架台25、洗浄槽11、ピックアップノズル50、ピックアップノズル駆動機構61、制御筐体27、操作パネル28、HEPフィルタ29、OCRカメラ13、下カメラ17、第一のエレベータ5、及び第二のエレベータ9を主たる構成として有している。   4A to 4C show a schematic configuration of an in-liquid transfer device for electronic parts embodying the present invention. 4A to 4C respectively show a front view, a side view, and a plan view of the device. Note that components similar to those described in the above-described embodiment are described using the same reference numerals. This liquid transfer device 1 includes a gantry 25, a cleaning tank 11, a pickup nozzle 50, a pickup nozzle drive mechanism 61, a control casing 27, an operation panel 28, a HEP filter 29, an OCR camera 13, a lower camera 17, a first camera. The elevator 5 and the second elevator 9 are provided as main components.

架台25は、種々の構成を支持すると共に装置の外縁を規定すると共に略直方形状を有する。該架台25は、洗浄槽11、第一のエレベータ5、第二のエレベータ9、及びピックアップノズル駆動機構61を略内包し、これらを各々支持している。制御筐体27は、当該装置における種々の構成各々の制御装置、各データベースの記憶、参照等を行う記録装置等を内包している。制御パネル28は、本装置を実際に操作するスイッチ類等が配置されており、操作者は当該パネルにアクセスすることにより実際の電子部品の移載操作を実施する。   The gantry 25 supports various configurations, defines the outer edge of the apparatus, and has a substantially rectangular shape. The gantry 25 substantially includes the cleaning tank 11, the first elevator 5, the second elevator 9, and the pickup nozzle drive mechanism 61, and supports them. The control housing 27 includes a control device for each of various configurations of the device, a recording device for storing, referencing, and the like of each database. The control panel 28 is provided with switches and the like for actually operating the apparatus, and the operator performs an actual electronic component transfer operation by accessing the panel.

まて、架台25の上部には所謂HPAフィルタ29が配置されている。当該フィルタ29を介して、パーティクル等の存在率が管理された空気が、架台25に包含される空間内に下方に向かうように導入される。この空気流によって、架台25内部の空間、即ち洗浄液の液面が曝される空間及びトレイ等が実際に搬送される空間は、高清浄状態に保たれる。   In addition, a so-called HPA filter 29 is disposed on the top of the gantry 25. Via the filter 29, air in which the presence rate of particles or the like is managed is introduced so as to go downward into the space included in the gantry 25. By this air flow, the space inside the gantry 25, that is, the space where the liquid level of the cleaning liquid is exposed and the space where the tray and the like are actually conveyed are kept in a highly clean state.

ピックアップノズル駆動機構61は、X軸駆動機構61x、Y軸駆動機構61y、及びZ軸駆動機構61zを有している。これら構成を各々動作させることにより、ピックアップノズル50の三軸方向の駆動を可能としている。なお、上述したシリンダ回転機構63は、本実施例においては装置構成簡略可能ために省略している。また、OCRカメラ13、下カメラ17等に関しては先に述べた説明と特に異なる部分が存在しないことから、ここでの説明は省略する。   The pickup nozzle drive mechanism 61 includes an X-axis drive mechanism 61x, a Y-axis drive mechanism 61y, and a Z-axis drive mechanism 61z. By operating each of these configurations, the pickup nozzle 50 can be driven in three axial directions. Note that the cylinder rotating mechanism 63 described above is omitted in this embodiment because the apparatus configuration can be simplified. Further, since there is no part that is particularly different from the above-described description regarding the OCR camera 13, the lower camera 17, and the like, description thereof is omitted here.

なお、本実施例においては、液中移載装置として、洗浄に関する構成については何ら述べていない。しかしながら、本発明の実施形態は当該実施例に限定されるものではない。具体的には、液中に保持された電子部品の効果的に洗浄することを目的として、洗浄槽11中に、流れを発生する機構、超音波を発生する機構等を配置することとしても良い。この場合、トレイ上の電子部品が載置位置から移動することを防止するために、該電子部品をトレイに吸引する機構、該電子部品をトレイに対してクランプする機構等を更に付加することが望ましい。   In addition, in a present Example, the structure regarding washing | cleaning is not described at all as an in-liquid transfer apparatus. However, embodiments of the present invention are not limited to the examples. Specifically, for the purpose of effectively cleaning the electronic components held in the liquid, a mechanism for generating a flow, a mechanism for generating an ultrasonic wave, and the like may be disposed in the cleaning tank 11. . In this case, in order to prevent the electronic component on the tray from moving from the mounting position, a mechanism for sucking the electronic component into the tray, a mechanism for clamping the electronic component to the tray, and the like may be further added. desirable.

また、本実施の形態及び実施例においては、エレベータが二基ある構成についてのみ例示したが、本発明は当該構成に限定されず、第一のエレベータ及び第二のエレベータの一方或いは両方を省略した構成、或いは逆に更なるエレベータを有する構成としても良い。例えば洗浄工程前に製品のランク付けを行い、本発明を適応した移載工程において、電子部品各々をランクに応じたトレイに振り分ける構成としても良い。また、洗浄槽を複数個有する構成としても良い。この場合、電子部品を個別且つ限定された高清浄空間を介して段階的な洗浄を行うことが可能となり、より効率的な洗浄を行うことが可能となる。   Moreover, in this Embodiment and the Example, although illustrated about the structure which has two elevators, this invention is not limited to the said structure, The one or both of the 1st elevator and the 2nd elevator were abbreviate | omitted. It is good also as a structure which has a further elevator on the contrary or a structure. For example, the product may be ranked before the cleaning process, and in the transfer process to which the present invention is applied, each electronic component may be distributed to a tray corresponding to the rank. Moreover, it is good also as a structure which has two or more washing tanks. In this case, the electronic components can be cleaned stepwise through individual and limited highly clean spaces, and more efficient cleaning can be performed.

上述した実施形態及び実施例においては、移載対象として微細電子部品である磁気ヘッドスライダを例示している。しかしながら、本発明の適用対象は微細電子部品に限定されない。例えば特殊部品、ペレット等、比較的小型であって高度な品質管理が要求される部材の移載工程に対しても適用可能である。   In the above-described embodiments and examples, the magnetic head slider, which is a fine electronic component, is illustrated as a transfer target. However, the application target of the present invention is not limited to fine electronic components. For example, the present invention can be applied to a transfer process of a member that is relatively small and requires high quality control, such as special parts and pellets.

本発明の実施形態に係る移載装置の、概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the transfer apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る移載装置の、概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the transfer apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る移載装置の、概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the transfer apparatus which concerns on embodiment of this invention. OCRカメラにて得られるデータ等の撮像影像の例である。It is an example of imaging images, such as data obtained with an OCR camera. 本発明の実施形態において用いられるピックアップノズルの概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the pickup nozzle used in embodiment of this invention. 本発明の実施例に係る移載装置の正面図である。It is a front view of the transfer equipment concerning the example of the present invention. 本発明の実施例に係る移載装置の側面図である。It is a side view of the transfer equipment concerning the example of the present invention. 本発明の実施例に係る移載装置の部分平面図である。It is a fragmentary top view of the transfer equipment concerning the example of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

1:電子部品移載装置、 3:電子部品取り出しトレイ、 5:第一のエレベータ、 7:電子部品移載トレイ、 9:第二のエレベータ、 11:洗浄槽、 13:OCRカメラ、 17:下カメラ、 19:電子部品、 21:ロット番号、 25:架台、 27:制御筐体、 29:HPAフィルタ、 50:ピックアップノズル、 51:シリンダ、 53:ピストン、 55:ピストンロッド、 57:エアシリンダ、 59:空圧回路、 61:ピックアップノズル駆動機構、 63:ピックアップノズル回転機構
1: Electronic component transfer device, 3: Electronic component take-out tray, 5: First elevator, 7: Electronic component transfer tray, 9: Second elevator, 11: Cleaning tank, 13: OCR camera, 17: Bottom Camera: 19: Electronic component, 21: Lot number, 25: Mounting base, 27: Control housing, 29: HPA filter, 50: Pickup nozzle, 51: Cylinder, 53: Piston, 55: Piston rod, 57: Air cylinder, 59: Pneumatic circuit 61: Pickup nozzle drive mechanism 63: Pickup nozzle rotation mechanism

Claims (4)

物品を収容する第一の収容容器から第二の収容容器に対して物品を移載する移載装置であって、
所定の液体と共に、前記所定の液体中において前記第一の収容容器及び第二の収容容器を保持可能な槽と、
前記所定の液体中に入って前記第一の収容容器から前記物品を取り出して前記第二の収容容器に前記物品を載置するピックアップ手段と
前記物品の属性を判定する際に用いられる前記物品の第一の映像を得るための第一のカメラと、
前記ピックアップ手段による前記物品の保持状態の認識と前記第二の収容容器に対する載置時の位置決めと、を行うための第二の映像を得るための第二のカメラと、を有する移載装置であって、
前記物品の前記第一の収容容器から前記第二の収容容器への移載時において、前記物品が前記所定の液体中の所定の経路を介して搬送され
前記第一のカメラ及び前記第二のカメラは前記所定の経路を搬送中の前記物品より各々前記第一の映像及び前記第二の映像を得、
前記第一の映像より判定された前記物品の前記属性に基づいて前記第二の収容容器における前記物品の収容位置が指定されることを特徴とする物品移載装置。
A transfer device for transferring an article from a first storage container for storing an article to a second storage container,
A tank capable of holding the first storage container and the second storage container in the predetermined liquid together with the predetermined liquid;
Pick-up means for entering the predetermined liquid and taking out the article from the first container and placing the article on the second container ;
A first camera for obtaining a first image of the article used in determining the attribute of the article;
A transfer device comprising: a second camera for obtaining a second image for performing recognition of the holding state of the article by the pickup means and positioning at the time of placement with respect to the second storage container; There,
When transferring the article from the first container to the second container, the article is transported through a predetermined path in the predetermined liquid ,
The first camera and the second camera obtain the first image and the second image from the article being conveyed along the predetermined path, respectively;
Article transfer apparatus according to claim Rukoto accommodating position is designated the article in the second container on the basis of the attribute of the first of the articles is determined from the video.
前記第一の映像は前記物品のデータベースを把握可能とするためのシリアルナンバーであり、
前記第一のカメラは前記シリアルナンバーを読み取り可能なOCRカメラであることを特徴とする請求項1記載の物品移載装置。
The first video is a serial number for enabling understanding of the database of the article,
2. The article transfer apparatus according to claim 1, wherein the first camera is an OCR camera capable of reading the serial number .
前記ピックアップ手段は、前記物品を吸着保持するシリンダ開口を一方に有する円筒形状のシリンダと、前記円筒形状の内部に配置されて外周部分が前記円筒形状の内周部と摺動可能に密着するピストンと、前記ピストンと連結された前記シリンダ開口とは異なる方向に延在するピストンロッドと、前記ピストンロッドと連結されて前記ピストンロッドを前記ピストンロッドの延在方向に駆動するエアシリンダと、を有することを特徴とする請求項1或いは2の何れか一項に記載の物品移載装置。 The pickup means includes a cylindrical cylinder having a cylinder opening for holding the article on one side, and a piston arranged inside the cylindrical shape and having an outer peripheral portion slidably contacting the inner peripheral portion of the cylindrical shape. And a piston rod extending in a direction different from the cylinder opening connected to the piston, and an air cylinder connected to the piston rod to drive the piston rod in the extending direction of the piston rod. article transfer apparatus according to any one of claims 1 or 2, characterized in to Rukoto. 複数の物品を収容可能となるように複数の凹部が配された第一の収容容器から前記物品各々に応じた凹部が配された第二の収容容器に前記物品を移載する方法であって、
前記物品が収容された前記第一の収容容器及び前記物品が収容されていない前記第二の収容容器を所定の液体中に沈める工程と、
ピックアップ手段を用いて前記第一の収容容器に収容された前記物品を保持する工程と、
前記ピックアップ手段が前記物品を保持し、前記物品が前記所定の液体中の所定の経路搬送されるように、駆動される工程と、
前記ピックアップ手段が前記第二の収容容器の指定された凹部に対して前記物品を移載する工程と、
前記物品が取り出された前記第一の収容容器と、前記物品が移載された前記第二の収容容器とを前記所定の液体外部に取り出す工程と、を有し、
前記物品が前記所定の経路を搬送される際に、前記物品の所定面を第一のカメラにより撮像して得られた映像から前記物品の属性を判断し、判断結果に基づいて前記物品が収容される前記指定された凹部を決定すると共に、前記物品を前記第一のカメラとは異なる第二のカメラにより撮像して得られる映像から前記ピックアップ手段による前記物品の保持姿勢の調整と、前記指定された凹部に応じた位置決めと、をする工程を有することを特徴とする物品の移載方法。
A method of transferring the article from a first container having a plurality of recesses so that a plurality of articles can be accommodated to a second container having a recess corresponding to each of the articles. ,
A step of submerging said second container, wherein the article is housed the first container and the article is not accommodated in a predetermined liquid,
Holding the article stored in the first container using a pickup means;
The pickup means holds the article, and is driven so that the article is conveyed along a predetermined path in the predetermined liquid;
The pickup means transferring the article to the designated recess of the second container;
And taking out the first container from which the article has been taken out and the second container from which the article has been transferred to the outside of the predetermined liquid ,
When the article is transported along the predetermined route, the attribute of the article is determined from an image obtained by imaging a predetermined surface of the article with a first camera, and the article is accommodated based on the determination result. Determining the designated concave portion to be adjusted, adjusting the holding posture of the article by the pickup means from an image obtained by imaging the article with a second camera different from the first camera, and the designation A method for transferring an article comprising the step of positioning according to the recessed portion formed .
JP2004345512A 2004-11-30 2004-11-30 Article transfer device and transfer method Expired - Fee Related JP4363652B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004345512A JP4363652B2 (en) 2004-11-30 2004-11-30 Article transfer device and transfer method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004345512A JP4363652B2 (en) 2004-11-30 2004-11-30 Article transfer device and transfer method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006151606A JP2006151606A (en) 2006-06-15
JP4363652B2 true JP4363652B2 (en) 2009-11-11

Family

ID=36630356

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004345512A Expired - Fee Related JP4363652B2 (en) 2004-11-30 2004-11-30 Article transfer device and transfer method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4363652B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6755903B2 (en) * 2018-06-29 2020-09-16 キヤノン株式会社 Systems, control methods, and programs

Also Published As

Publication number Publication date
JP2006151606A (en) 2006-06-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100927302B1 (en) Substrate Processing Equipment
JP4999487B2 (en) Substrate processing equipment
JP3485816B2 (en) Dicing equipment
TWI384570B (en) Substrate processing apparatus
JP2622046B2 (en) Substrate transfer device
KR101079688B1 (en) Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method
JP2008166367A (en) Substrate processing apparatus
JP4448130B2 (en) Substrate handler and semiconductor substrate cleaning system
JP2007324295A (en) Device for thinning wafer and wafer processing system
JP4855142B2 (en) Processing system, transfer arm cleaning method and recording medium
KR20150120869A (en) Substrate processing apparatus
JP4363652B2 (en) Article transfer device and transfer method
KR102409833B1 (en) Aoi automation system and method
US9595462B2 (en) Peeling system
CN116020707A (en) Dispensing and laminating equipment and dispensing and laminating method for lenses
JP4869097B2 (en) Substrate processing equipment
JP2000277422A (en) Electron beam lithography equipment
JP5385965B2 (en) Substrate processing equipment
JP7428780B2 (en) Substrate processing apparatus and method
JP2016103499A (en) Nozzle maintenance device
JP2000021709A (en) Substrate terminal end cleaning device
TWI830259B (en) Processing device and method of manufacturing processed product
KR20230098473A (en) Apparatus and method for treating a substrate
KR102228058B1 (en) Apparatus for treating substrate and method for detecting state of the pose of substrate
US20240100714A1 (en) Method and apparatus for processing a substrate in cleaning modules

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20061110

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090521

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090525

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090722

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090812

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090817

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120828

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130828

Year of fee payment: 4

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees