JP4344674B2 - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Description
1a ウエハステージ
1b ウエハ
2 センサ
3 付加センサ
4 アクチュエータ
5 データベース
6 レシピ
7 生産管理情報
21 フォトリソグラフィ処理装置
22 CD−SEM
23 プラズマエッチング処理装置
24 In−Situセンサ
24A 光散乱式形状推定手段
25 加工結果推定モデル
26 最適レシピ計算モデル
27 目標値
28 使用可能レシピ選択手段
29 レシピサーバ
30 CD−SEM
31 X−SEM
Claims (5)
- 真空処理室内に収容した試料に処理を施す真空処理装置と、
該真空処理装置の処理中のプロセス量をモニタするセンサと、
該センサからの信号を圧縮して装置状態信号を生成する信号圧縮部と、
該信号圧縮部からの装置状態信号および設定された処理結果の予測式をもとに処理結果を推定する加工結果推定モデルユニットと、
前記加工結果推定モデルユニットの推定結果をもとに処理結果が目標値となるように処理条件の補正量を計算する最適レシピ計算モデルユニットと、
レシピサーバに格納したレシピの中から前記最適レシピ計算モデルユニットが計算した最適レシピに最も近いレシピを選択して使用可能レシピとして設定する使用可能レシピ選択手段を備え、
前記試料の処理中に前記使用可能レシピ選択手段が選択したレシピをもとに次の処理ステップで最適条件の試料処理を行うことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1の記載において、
前記加工結果推定モデルユニットは、処理結果得られた前記試料の形状の測定結果に基づき、修正されることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1または2の記載において、
前記最適レシピ計算モデルユニットには前記試料の加工前形状の測定結果に基づき、前記処理結果が目標値となるように処理条件を計算するフィードフォワード制御を付加することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1の記載において、 前記最適レシピ計算モデルユニットは、処理結果得られた前記試料の形状の測定結果に基づき、修正されることを特徴とするプラズマ処理装置。
- 請求項1、2、4の何れか1の記載において、
前記真空処理装置はプラズマエッチング処理装置であることを特徴とするプラズマ処理装置。
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