JP4343893B2 - 光電変換装置、放射線読取装置及び光電変換装置の駆動方法 - Google Patents
光電変換装置、放射線読取装置及び光電変換装置の駆動方法 Download PDFInfo
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前記電界効果トランジスタによって増幅して読み出された信号を出力する読み出し回路と、を少なくとも備えた光電変換装置であって、
前記読み出し回路は、ノイズを含む前記増幅して読み出された信号を蓄積するための第1の蓄積手段と、前記ノイズを蓄積するための第2の蓄積手段と、前記第1の蓄積手段からの第1の出力と前記第2の蓄積手段からの第2の出力との差をとり前記ノイズを取り除いた信号を得るための処理手段と、を含み、
前記ゲートに接続される前記光電変換素子の電極が前記電界効果トランジスタ、前記選択スイッチ手段、及び前記リセット手段の上部に配置されることにより、前記光電変換素子は、前記電界効果トランジスタ、前記選択スイッチ手段、及び前記リセット手段の上部に配置されていることを特徴とする。
前記電界効果トランジスタによって増幅して読み出された信号を出力する読み出し回路と、を少なくとも備え、放射線に基づく情報を読み取るための放射線読取装置であって、
前記読み出し回路は、ノイズを含む前記増幅して読み出された信号を蓄積するための第1の蓄積手段と、前記ノイズを蓄積するための第2の蓄積手段と、前記第1の蓄積手段からの第1の出力と前記第2の蓄積手段からの第2の出力との差をとり前記ノイズを取り除いた信号を得るための処理手段と、を含み、
前記ゲートに接続される前記変換素子の電極が前記電界効果トランジスタ、前記選択スイッチ手段、及び前記リセット手段の上部に配置されることにより、前記変換素子は、前記電界効果トランジスタ、前記選択スイッチ手段、及び前記リセット手段の上部に配置されていることを特徴とする。
図1は本発明の光電変換装置の一例をあらわす概略的回路図である。尚、本例では波長変換体を用いて放射線読取装置として適用した例に基づいて以下、説明を行なう。
図4は本発明の光電変換装置を放射線読取装置に適用した他の一例の構成を示す模式的断面図である。電気回路的には図1の回路を用いることができる。
図5は本発明の光電変換装置を放射線読取装置に適用した場合の別の一例の構成を示す模式的断面図である。実施回路は図1を応用して適用することができる。図5において、PbI2 を主体とするX線直接変換型センサは、上部電極を第1Al層813で、下部電極を第2Al層810で構成している。上部電極の第1Al層813とPbI2 811との間にはPI(ポリイミド)等の絶縁層812を配置することにより、上部電極の第1Al層813からPbI2 811へ電荷が注入されることを阻止している。なお、本実施例はX線入射により電子/ホールペアを多数発生する材料、例えばa−Se、PbI2、HgI2 、PbOなど(ここではPbI2を用いている)を上下の電極で挟み、上下の電極間に電界を加えることにより、X線入射により発生した電荷を直接取り出すことが可能となる。図のような絶縁層812は必ずしも必要ではない。図6に示す如く、絶縁層812のないセンサにおいても充分出力電荷を出力として、取り出すことができる。
図7は第1〜4実施例に適用可能な他の回路の例である。ここに示される回路は信号からSFオフセットなどをリアルタイムに差し引くことができる回路の一例である。
図10は第1〜4実施例に応用する他の回路の例である。
図11は各信号φX,φR1,φR2,φN,φSのタイミングの一例である。
本発明は光電変換素子とスイッチトランジスタを単結晶基板上に形成してもよい。
ここで、Vdsはドレイン/ソース間電位差、Vgsはゲート/ソース間電位差、Vth2はしきい値電圧である。
つぎに、垂直選択スイッチ23に流れる電流がソースフォロワ回路に流れる電流に等しいことを考えると、次式が成り立つ。
K=1/2×μ×Cox×W/Lμ :移動度Cox:単位面積当たりのゲート酸化膜容量W :ゲート幅L :ゲート長ここでは説明を簡略化するためにグラジュアルチャネル近似の式を用いた。
(ア) リセットスイッチ24のゲートメタルをクロムにし、垂直選択スイッチ23のゲートメタルをアルミニウムで構成する。そうすることにより、リセットスイッチ24のしきい値は約2.5Vとなり、垂直選択スイッチ23のしきい値は約1.5Vとなる。
(イ) 垂直選択スイッチ23及びリセットスイッチ24のゲートメタルをアルミニウムで構成した場合、リセットスイッチ24のゲートメタルの電位V2に全ビット共通で+20Vを印加し、更に垂直選択スイッチ23のゲートメタルの電位V3をGNDにして、常温において約3時間駆動することにより、リセットスイッチ24のしきい値は約2.5Vとなり、垂直選択スイッチ23のしきい値は約1.5Vのままとなる。
単結晶基板上に図5及び図6に示される直接型の光電変換素子を形成することも同様に有効である。そのときは図14と同様に基板とトランジスタは電気的に分離できる様にするとよい。又前述した回路及び動作を直接型X線センサに適用できるのはもちろんである。
22 MOSトランジスタ
23 MOSトランジスタ
24 MOSトランジスタ
25 電流源
26 MOSトランジスタ
27 電圧源と接続される端子
28 リセットゲート線
29 垂直ゲート線
41 電圧源
42 信号V2を出力する信号源
43 信号V3を出力する信号源
300 容量
Claims (10)
- 光電変換素子と、該光電変換素子に発生した電荷を受けるゲートと該ゲートに蓄積された前記電荷に応じた信号を増幅して読み出すためのソース又はドレインを有して前記電荷に応じた信号を増幅して読み出すために絶縁性支持体上に準備された非単結晶半導体層を有する電界効果トランジスタと、前記電界効果トランジスタを選択するための選択スイッチ手段と、前記ゲートをリセットするリセット手段と、を含み、前記絶縁性支持体上に配列された画素と、
前記電界効果トランジスタによって増幅して読み出された信号を出力する読み出し回路と、を少なくとも備えた光電変換装置であって、
前記読み出し回路は、ノイズを含む前記増幅して読み出された信号を蓄積するための第1の蓄積手段と、前記ノイズを蓄積するための第2の蓄積手段と、前記第1の蓄積手段からの第1の出力と前記第2の蓄積手段からの第2の出力との差をとり前記ノイズを取り除いた信号を得るための処理手段と、を含み、
前記ゲートに接続される前記光電変換素子の電極が前記電界効果トランジスタ、前記選択スイッチ手段、及び前記リセット手段の上部に配置されることにより、前記光電変換素子は、前記電界効果トランジスタ、前記選択スイッチ手段、及び前記リセット手段の上部に配置されていることを特徴とする光電変換装置。 - 前記処理手段は、前記第1及び第2の出力を入力して減算処理する差動増幅器を有し、前記第1及び第2の出力は共通の制御信号により前記差動増幅器に入力されることを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。
- 前記電界効果トランジスタ、前記選択スイッチ手段、及び前記リセット手段は、薄膜トランジスタからなることを特徴とする請求項1又は2に記載の光電変換装置。
- 前記リセット手段は、前記ゲートとリセットするための電源とを接続するための第1のスイッチと、前記ゲートと前記光電変換素子とを接続するための第2のスイッチと、を含むことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の光電変換装置。
- 前記薄膜トランジスタはアモルファスシリコン又はポリシリコンを用いて構成されている請求項3に記載の光電変換装置。
- 放射線を電荷に変換する変換素子と、該変換素子に発生した電荷を受けるゲートと該ゲートに蓄積された前記電荷に応じた信号を増幅して読み出すためのソース又はドレインを有して前記電荷に応じた信号を増幅して読み出すために絶縁性支持体上に準備された非単結晶半導体層を有する電界効果トランジスタと、前記電界効果トランジスタを選択するための選択スイッチ手段と、前記ゲートをリセットするリセット手段と、を含み、前記絶縁性支持体上に配列された画素と、
前記電界効果トランジスタによって増幅して読み出された信号を出力する読み出し回路と、を少なくとも備え、放射線に基づく情報を読み取るための放射線読取装置であって、
前記読み出し回路は、ノイズを含む前記増幅して読み出された信号を蓄積するための第1の蓄積手段と、前記ノイズを蓄積するための第2の蓄積手段と、前記第1の蓄積手段からの第1の出力と前記第2の蓄積手段からの第2の出力との差をとり前記ノイズを取り除いた信号を得るための処理手段と、を含み、
前記ゲートに接続される前記変換素子の電極が前記電界効果トランジスタ、前記選択スイッチ手段、及び前記リセット手段の上部に配置されることにより、前記変換素子は、前記電界効果トランジスタ、前記選択スイッチ手段、及び前記リセット手段の上部に配置されていることを特徴とする放射線読取装置。 - 前記変換素子は、光電変換素子と、該光電変換素子上に設けられ前記放射線を吸収して前記光電変換素子が検知可能な波長帯域の光を放出する波長変換体と、を有し、
前記処理手段は、第1及び第2の出力を入力して減算処理する差動増幅器を有し、前記第1及び第2の出力は共通の制御信号により前記差動増幅器に入力されることを特徴とする請求項6に記載の放射線読取装置。 - 前記電界効果トランジスタ、前記選択スイッチ手段、及び前記リセット手段は、薄膜トランジスタからなることを特徴とする請求項6又は7に記載の放射線読取装置。
- 前記リセット手段は、前記ゲートとリセットするための電源とを接続するための第1のスイッチと、前記ゲートと前記光電変換素子とを接続するための第2のスイッチと、を含むことを特徴とする請求項6から8のいずれか1項に記載の放射線読取装置。
- 前記薄膜トランジスタはアモルファスシリコン又はポリシリコンを用いて構成されている請求項8に記載の放射線読取装置。
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