JP4336967B2 - 洗浄用パッケージパレット、これを備えた洗浄装置、及び洗浄方法 - Google Patents
洗浄用パッケージパレット、これを備えた洗浄装置、及び洗浄方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4336967B2 JP4336967B2 JP2004038566A JP2004038566A JP4336967B2 JP 4336967 B2 JP4336967 B2 JP 4336967B2 JP 2004038566 A JP2004038566 A JP 2004038566A JP 2004038566 A JP2004038566 A JP 2004038566A JP 4336967 B2 JP4336967 B2 JP 4336967B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- cleaned
- package
- pallet
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims description 113
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 16
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 52
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 claims description 43
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 12
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 6
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 claims description 4
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 claims description 4
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 claims description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 12
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 10
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 6
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 6
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 3
- 238000007602 hot air drying Methods 0.000 description 3
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical class OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 2
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Description
〔別実施の形態〕
(1)本発明に係るパレットは、使用する洗浄剤として水系、準水系、非水系(溶剤系)など各種洗浄剤に適用できる。
(2)上記実施形態では、パレットの材質としてポリアミドイミド樹脂製のものを例に挙げて説明したが、これと同程度の耐熱性、耐溶剤性、強度があれば、他の材質のものを用いてもよい。
(3)上記実施形態では、突起物として、長手方向側面部近傍の略L形、短辺方向側面部中央の略T字形、中央部の略+形に形成した例を示したが、もとより突起物自体の形状はこれに限定されるものではなく、洗浄の際に装着された被洗浄物の移動を防止可能であれば、棒状突起、帯状突起など種々の形状のものを採用できる。
(4)突起物近傍に穿たれた貫通孔の形状も、図3に示した丸形に限定されるものではなく、残存液体を排除可能であれば種々の形状のものを採用でき、また、貫通孔の数は多くする必要はないものの、サイズを考慮して適宜変更可能である。
1a 液出口
1b 液戻り口
2 洗浄剤
3 循環経路
3a 往路
3b 復路
4 洗浄塔
4a 上室
4b 下室
5 送液手段
6 返送ライン
7 縦形容筒
8 フランジ部
9 環状部材
10 面接触シール部
11 熱風供給ライン
12 排気ライン
13 送風機
14 ヒーター
15 気液分離装置
16 返送ライン
17 上蓋
19 フィルター装置
20 載置面
B バンド
F 被洗浄物
P,P0 パッケージパレット
P1 突起物
P2 スリット
P3 貫通孔
P4 縦壁
S 隙間
V1〜V6 バルブ
Claims (5)
- 被洗浄物を載置可能な複数の載置面が矩形状に配置された洗浄用パッケージパレットであって、
前記載置面の周囲箇所に前記被洗浄物の移動を阻止可能に設けられた突起物と、
前記矩形の長手方向両側周縁部に形成された縦壁とを有し、
前記被洗浄物を前記載置面に載置した洗浄用パッケージパレットを複数積層した状態において、洗浄剤は洗浄用パッケージパレット間の隙間を前記長手方向に通流されて、前記被洗浄物の表面が洗浄され、
前記縦壁は、別の洗浄用パッケージパレットの裏面側に嵌合され、側面での洗浄剤の出入りが生じない洗浄用パッケージパレット。 - 前記洗浄剤が通流される通流流路の出入り口を上下にした場合、前記載置面の周囲箇所に形成されている前記突起物の内、少なくとも下方側に位置する突起物近傍に貫通孔が形成されている請求項1の洗浄用パッケージパレット。
- ポリアミドイミド樹脂を射出成形して製造されている請求項1又は2記載の洗浄用パッケージパレット。
- 洗浄剤を貯留した液槽と、この液槽から洗浄剤を送り出す送液手段と、被洗浄物を装着した請求項1〜3のいずれか1項に記載の洗浄用パッケージパレットを前記洗浄剤により洗浄する洗浄塔と、この洗浄塔からの洗浄残液を再度液槽に戻す循環経路とを有する洗浄装置。
- 被洗浄物を装着した請求項1〜3のいずれか1項に記載の洗浄用パッケージパレットの複数枚を積層し、これを洗浄塔内に配置された縦形容筒に挿入し、この縦形容筒内に洗浄剤を送り出すと共に、循環経路を通して前記洗浄剤を強制循環させることにより、前記洗浄用パッケージパレットに装着された被洗浄物を洗浄する洗浄方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004038566A JP4336967B2 (ja) | 2004-02-16 | 2004-02-16 | 洗浄用パッケージパレット、これを備えた洗浄装置、及び洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004038566A JP4336967B2 (ja) | 2004-02-16 | 2004-02-16 | 洗浄用パッケージパレット、これを備えた洗浄装置、及び洗浄方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005224766A JP2005224766A (ja) | 2005-08-25 |
JP4336967B2 true JP4336967B2 (ja) | 2009-09-30 |
Family
ID=34999893
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004038566A Expired - Lifetime JP4336967B2 (ja) | 2004-02-16 | 2004-02-16 | 洗浄用パッケージパレット、これを備えた洗浄装置、及び洗浄方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4336967B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4751185B2 (ja) * | 2005-11-25 | 2011-08-17 | 昭和電工株式会社 | ハンダ基板処理用治具および電子回路基板に対するハンダ粉末の付着方法 |
-
2004
- 2004-02-16 JP JP2004038566A patent/JP4336967B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005224766A (ja) | 2005-08-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5839456A (en) | Wafer wet treating apparatus | |
JP5158530B2 (ja) | スイングノズルユニット及びそれを有する基板処理装置 | |
JP2011052267A (ja) | シリンダバレルの表面処理装置 | |
JP6040092B2 (ja) | 基板めっき装置及び基板めっき方法 | |
CN103286089B (zh) | 基板清洗装置以及清洗方法 | |
JP4336967B2 (ja) | 洗浄用パッケージパレット、これを備えた洗浄装置、及び洗浄方法 | |
JP2009062204A (ja) | シリコン材料用洗浄籠 | |
WO2014196099A1 (ja) | 洗浄方法及び洗浄装置 | |
JP3697063B2 (ja) | 洗浄システム | |
TWI642131B (zh) | 基板清洗裝置及清洗方法 | |
CN109509696B (zh) | 一种用于预清洗机的水道装置、预清洗机以及预清洗方法 | |
JPH1046198A (ja) | フリップチップ実装物のフラックス除去用洗浄剤およびフリップチップ実装物の洗浄方法 | |
KR100630325B1 (ko) | 반도체 패키지 기판 세척용 지그 및 이를 이용한 반도체패키지 기판 세척 이송방법 | |
JP2012104682A (ja) | 洗浄装置 | |
KR100543506B1 (ko) | 척 세정장치 및 세정방법 | |
KR100673391B1 (ko) | 기판 세정 장치 | |
KR102285672B1 (ko) | 기판 건조 챔버 | |
JP3249551B2 (ja) | 洗浄方法 | |
JP2003205274A (ja) | パッケージの保持用治具 | |
JP3341539B2 (ja) | 洗浄方法 | |
KR19980020358U (ko) | 오토 캐리어 이송 장치 | |
US20080149136A1 (en) | Method of cleaning semiconductor device | |
TWI666687B (zh) | 清洗治具 | |
KR101000407B1 (ko) | 웨이퍼 쉽핑박스의 가스켓 세정용기 | |
KR100635379B1 (ko) | 웨이퍼 가이드 및 웨이퍼를 웨이퍼 가이드에 로딩하는 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060904 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081219 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090216 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20090216 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090324 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090514 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090603 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090616 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4336967 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120710 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120710 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120710 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120710 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130710 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |