JP4332744B2 - ファイバ光学プレートの製造方法 - Google Patents
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る光源装置に用いて好適なファイバ光学プレートおよびその製造方法に関し、特に光ファイバを加熱融着して形成したファイバ光学プレートおよびその製造方法に関するものである。
の固体撮像素子の検査では光源装置を用いて、被検査対象である固体撮像素子に既知の色
や光量の光を照射し、固体撮像素子から出力された電気信号をモニタするものがある。そして、ファイバ光学プレートを用いた光源装置の先行技術としては例えば特許文献1,2等に示されたものがある。
ハロゲンランプ1から出射した光は、レンズ2に入射して平行光もしくはわずかに収束する光束となる。ND(ニュートラルデンシティ)フィルタ部3は、モータ3aで回転する円盤上に透過率が異なるNDフィルタ3bが配置されたもので、レンズ2からの光がこのNDフィルタ3bを通過する。
照度均一化素子5は、カラーフィルタ部4を通った光を入射し、光束をほぼ同一照度分布として出射する。
NA制限絞り部8からの光はレンズ9により結像し、この結像した光が被検査対象のCCDセンサ10に照射され、図示しないICテスタによりCCDセンサ10の試験が行われる。
化素子5内での多重反射回数を増やすことで、質の高い均一性を得ることが考えられる。
ところが、完全拡散状態となった光は照度均一化素子5の出口で四方八方に発散すること
になり、CCDセンサ10に与える光量が著しく低くなってしまう。
図6は上記未出願公開の光源装置の要部構成図である。図6の構成と動作について簡単に説明する。
図7は上述のファイバ光学プレート25の詳細を示すもので、コア251の外周にクラ
ッド252、その外側に吸収体253が形成された光ファイバ250が数万本以上一体的に熱融され、精度よく研磨して板材またはブロックに形成されている。
光ファイバは大きく分けてNAが小さい通信用のもの、NAが大きいライトガイドなど導光を目的としたものの2通りあり、NAが大きい光ファイバを複数融着してファイバプレートとして用いている。しかし、光ファイバのNAを連続的に広範囲に選択することはできない。
複数の光ファイバが束ねられ、光ファイバの軸心が平行に形成された第1平板と、
複数の光ファイバが束ねられ、光ファイバの軸心が平行に形成された第2平板と、
からなり、前記第1,第2平板を貼り合わせて平板単体でのNA制限値よりNAの小さな方向に所望のNAを得るようにし、前記第1,第2平板を構成する光ファイバは、コア径が大きくクラッドおよび吸収体は薄く形成された光ファイバを用い、
前記第1,第2平板の少なくとも一方の平板の一面は光ファイバ軸に対して斜め方向に傾斜して形成され、前記第1,第2平板を貼り合わせたファイバ光学プレートを一組として、その一組を2組用い、いずれか一組のファイバ光学プレートを平面上で90度回転させて配置したファイバ光学プレートの製造方法であって、前記第1、第2平板は下記の工程により作成したことを特徴とするファイバ光学プレートの製造方法。
記
1)複数の光ファイバを束ねて加熱融着若しくは接着剤を用いて光ファイバの軸心がそれぞれ平行な棒状の光ファイバ束を形成する工程と、
2)前記光ファイバ束をスライスして各光ファイバの軸心が平行な少なくとも2枚の平板を形成する工程と、
3)前記平板の少なくともひとつの一面に所定の傾きを形成する工程と、
4)前記傾きを形成した平板の一面と他の平板の一面を合わせて固定する工程、
を含んでいる。
第1,第2平板を貼り合わせるので、貼り合わせ面に傾斜を設けることによりNAの小さなファイバ光学プレートを得ることができ、コア径が大きくクラッドおよび吸収体は薄く形成された光ファイバを用いたので、コア材の面積比が大きく透過率のよいファイバ光学プレートを得ることができる。
また、第1,第2平板のうち傾斜面はすくなくとも一面にあればよいので加工工数が少なくてすみ、第1,第2平板を貼り合わせたファイバ光学プレートを一組として、その一組を2組用い、いずれか一組のファイバ光学プレートを平面上で90度回転させて配置したので、検査光源のファイバ光学プレーとして用いた場合、光ファイバの軸心に対し全方向に均一にNA制限ができる。さらに、光源からの光を透過させ固体撮像装置の検査に用いたので、光源の高出力化がはかれ、均一な光を落射させることができるとともに、ファイバ光学プレートを簡単な方法で製造することができる。
図7に示すように、ファイバ光学プレート25は、数万本以上の光ファイバ250が隙間なく熱融着して形成され、精度よく研磨して板材またはブロックにされる。光ファイバ250は、線径が数μm〜数百μmで、図9に示すように、屈折率n1のコアガラス251の外周に、屈折率n2(<n1)のクラッドガラス252が形成され、クラッドガラス252の外周に光を吸収する吸収体253が形成される。
n1・sinθ1=n2・sinθ2
となる。この式で、sinθ2が”1”になっとき、全反射となる。小さい開口数(臨界角が小さい)のファイバを得ようとすれば、コアガラス251の屈折率(n1)とクラッドガラス252の屈折率が比較的小さいものを選択する。これにより、透過させたい光の広がりが制限可能となる。
図1のファイバ光学プレートの断面図において、第1平板30と第2平板31は接触面Zが所定の角度αに傾斜して形成されており、矢印a方向から入射した光が矢印b方向に出射している状態を示している。なお、第1平板30と第2平板31の表面の形状(図示せず)は矩形,円形,多角形を含めて任意であり、その表面は精度よく研磨されている。
光ファイバに臨界角以下で入射した光は内部損失無く全反射を繰り返して出口へと向かう。出口では同じ屈折率の2段目の光ファイバと接続されるため、接合の境界面でも光はそのまま直進して2段目の光ファイバのコア・クラッド境界面Aに到達する。
つまり光ファイバ相対角αを調整することで、所望の臨界角が得られることになり、ファイバ光学プレートとして自在にNAを変えることが可能となる。
はじめに、工程1において、図3aに示すように複数(数万本以上)の光ファイバを束ねて加熱融着若しくは接着剤を用いて光ファイバの軸心がそれぞれ平行な棒状の光ファイバ束32を形成する。
次に、図3bに示すように光ファイバ束32をスライスして各光ファイバの軸心が平行な複数の平板33を形成する。
3)次に、図3cに示すように平板33の少なくともひとつの一面に所定の傾斜(α)を形成する。
4)最後に、図3dに示すように傾斜を形成した平板33の一面と他の平板33の一面を合わせて固定し、第1平板30,第2平板31からなるファイバ光学プレートを作製する。
なお、光ファイバはコア径が大きくクラッドおよび吸収体は薄く形成されたライトガイドなどの導光を目的として作製された光ファイバを用いる。
これは図2に示すように光ファイバをα度傾けた方向へは出射光はNA制限を受けるが平面方向へはNA制限を受けないためである。即ち一組だけの場合は出射光は楕円状となるので2組を用いることにより円状の出射光を得ることができる。
なお、傾きを有する光ファイバ(第1平板30)で傾きのない光ファイバ(第2平板31)をサンドイッチ状に挟んだ状態で3枚で構成してもよい。また、図では貼り合わせる前の状態を示している。
23 拡散板
24 照度均一化素子
25 ファイバ光学プレート
27 CCDセンサ
30 第1平板
31 第2平板
Claims (1)
- 複数の光ファイバが束ねられ、光ファイバの軸心が平行に形成された第1平板と、
複数の光ファイバが束ねられ、光ファイバの軸心が平行に形成された第2平板と、
からなり、前記第1,第2平板を貼り合わせて平板単体でのNA制限値よりNAの小さな方向に所望のNAを得るようにし、前記第1,第2平板を構成する光ファイバは、コア径が大きくクラッドおよび吸収体は薄く形成された光ファイバを用い、
前記第1,第2平板の少なくとも一方の平板の一面は光ファイバ軸に対して斜め方向に傾斜して形成され、前記第1,第2平板を貼り合わせたファイバ光学プレートを一組として、その一組を2組用い、いずれか一組のファイバ光学プレートを平面上で90度回転させて配置したファイバ光学プレートの製造方法であって、前記第1、第2平板は下記の工程により作成したことを特徴とするファイバ光学プレートの製造方法。
記
1)複数の光ファイバを束ねて加熱融着若しくは接着剤を用いて光ファイバの軸心がそれぞれ平行な棒状の光ファイバ束を形成する工程と、
2)前記光ファイバ束をスライスして各光ファイバの軸心が平行な少なくとも2枚の平板を形成する工程と、
3)前記平板の少なくともひとつの一面に所定の傾きを形成する工程と、
4)前記傾きを形成した平板の一面と他の平板の一面を合わせて固定する工程、
を含んでいる。
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JP2005237583A JP4332744B2 (ja) | 2005-08-18 | 2005-08-18 | ファイバ光学プレートの製造方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2007052254A JP2007052254A (ja) | 2007-03-01 |
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