JP4323961B2 - めっき浴ボルタンメトリ分析のための参照電極較正 - Google Patents
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Description
電気めっき浴は通常、所望の付着層の性質及び形態を達成するためには濃度を低ppm範囲できめ細かく制御しなければならない有機添加物を含有する。このような添加物の主な機能の一つは、基材表面のピーク部での電着速度を抑えることによって付着層を平滑化又は光沢化することである。付着層の平滑化/光沢化は、低濃度で存在する添加物が、電着工程で消費されるとき、拡散/浴攪拌によってあまり効果的に補給されない凹部における、より速やかな金属付着の結果として得られる。めっき浴中の平滑化及び光沢化添加物を検出するのに利用可能なもっとも高感度の方法は、電極表面付近の添加物濃度が明確である制御された流体力学的条件下での金属電着速度の電気化学的計測を含む。
発明の概要
本発明は、めっき浴のボルタンメトリ分析に使用される参照電極を較正する方法である。この方法では、不活性作用電極及び参照電極をめっき浴の支持電解質(又はめっき浴そのものもしくはバックグラウンド電解質)と接触させ、作用電極の電位を参照電極の電位に対して時間の関数として変化させて、金属が作用電極表面にめっきされたのち、作用電極表面から陽極ストリッピングされるようにする。作用電極の電位に対する電流応答をモニタし、電流応答における選択された段階に対応する電位を使用して参照電極電位を較正する。較正は、めっき浴添加物からの干渉を避けるため、めっき浴又はバックグラウンド電解質ではなく支持電解質を使用して実施することが好ましい。
本明細書に使用される技術用語は一般に当業者には公知である。「電極電位」又は単に「電位」とは、一つの電極−溶液界面をはさんで発生する電圧をいい、「セル電圧」とは、2個の電極の間に印加される総電圧である。本出願で使用される「電気めっき」と「電着」とは等価であり、「めっき」は、電気めっき及び無電解めっきの両方を包含する。めっき浴は、濃度が範囲内で制御される有機添加物を含有し、対応する「支持電解質」は、実質的に同じ無機組成を有するが、有機添加物を含有せず、「バックグラウンド電解質」は、既知の量の有機添加物が加えられている支持電解質である。「めっき溶液」は、「めっき浴」、「バックグラウンド電解質」及び「支持電解質」を包含する。「サイクリックボルタモグラム」とは、一般には作用電極電位を固定された負及び正の限界の間で時間とともに周期的に変化させることによって得られる、作用電極電位(x軸)に対する電流又は電流密度(y軸)のグラフである。ボルタンメトリデータは、定速で電圧をスキャンすることにより、又は電圧を段階的に変化させることにより、又は電位スキャンと段階的変化との組み合わせにより、生成することができる。「ポテンシオスタット」とは、作用電極を参照電極に対して所望の電位まで駆動するため、作用電極と対電極との間に電流を通すことによって作用電極の電位を制御するための電子装置である。ポテンシオスタットの使用は、参照電極の電位を変化させるかもしれない有意量の電流が参照電極に通過することを回避させる。
好ましい実施態様で、本発明の参照電極較正は、CVS又はCPVSめっき浴分析の通常の過程でめっき浴支持電解質中の回転白金円板電極に関して生成されたボルタンメトリデータを使用して実施される。この白金作用電極の電位を、参照電極に対し、固定電位限界の間で、ポテンシオスタットと、ステンレス鋼、貴金属又はめっき金属によって構成されていることができる対電極とによって繰返し周期的に変化させる。使用される電位限界は、めっき浴のタイプに依存し、分析される特定の添加物に依存することもある。めっきからストリッピングへのゼロ電流交差に対応する定常状態の作用電極電位を定数とみなす。この電位を、まず、既知の電位の標準参照電極に対して計測し、次いで、標準参照電極と同じ電極であってもよい試験参照電極に対して計測する。試験参照電極の電位を、これら二つの計測電位の差に相当するオフセットに関して補正して、その後のボルタンメトリ計測の誤差が最小限になるようにする。このような補正は、CVS又はCPVSめっき浴分析に使用されるものと同じコンピュータによって自動的に実施されることが好ましい。補正の頻度は参照電極電位のドリフトの率に依存する。酸性硫酸銅電気めっき浴中のダブルジャンクションSSCE参照電極の場合、較正及び補正は一般に8時間ごとに繰り返される。
めっき浴分析に使用される参照電極を較正する方法であって、めっき装置から電極を取り出す必要がなく、複雑な装置なしで自動的かつ速やかに実施することができる方法が大いに要望されている。このような方法は、労力、時間及び費用を節約することに加え、頻繁な参照電極較正を実施可能にして、その結果、計測誤差を最小限にすることができるであろう。
Claims (22)
- めっき浴のボルタンメトリ分析に使用される試験参照電極の電位を較正する方法であって、
金属が作用電極表面にめっきされたのち、前記作用電極表面から陽極ストリッピングされるようなめっき溶液中で、作用電極に印加される時間依存電位に対する電流応答を標準参照電極に対して計測するステップと、
前記めっき溶液中で、前記作用電極に印加される前記時間依存電位に対する電流応答を試験参照電極に対して計測するステップと、
前記電流応答における所定の段階で、印加された作用電極電位を、前記標準参照電極及び前記試験参照電極に対して比較して、前記標準参照電極と前記試験参照電極との電位差を求めるステップと、
前記標準参照電極と前記試験参照電極との電位差を使用し、前記試験参照電極の電位を補正して、前記試験参照電極の電位を較正するステップと
を含む方法。 - 前記標準及び試験参照電極が、銀−塩化銀、飽和カロメル、標準カロメル及び水銀−硫酸水銀からなる群より選択される、請求項1記載の方法。
- 前記参照電極の少なくとも1個がダブルジャンクションを含む、請求項1記載の方法。
- 前記参照電極の少なくとも1個がゲル化電解質を含む、請求項1記載の方法。
- 前記めっき浴が、銅、スズ、鉛、銀、カドミウム、亜鉛及びそれらの合金からなる群より選択される金属を付着させるために使用されるタイプである、請求項1記載の方法。
- 前記めっき溶液が前記めっき浴の支持電解質である、請求項1記載の方法。
- 前記作用電極が、白金、イリジウム、金、オスミウム、パラジウム、レニウム、ロジウム、ルテニウム及びそれらの合金からなる群より選択される不活性金属である、請求項1記載の方法。
- 前記作用電極が回転円板電極である、請求項1記載の方法。
- 前記時間依存電位を対電極によって前記作用電極に印加する、請求項1記載の方法。
- 前記対電極がステンレス鋼によって構成されている、請求項9記載の方法。
- 前記対電極が、白金、イリジウム、金、オスミウム、パラジウム、レニウム、ロジウム、ルテニウム及びそれらの合金からなる群より選択される貴金属によって構成されている、請求項9記載の方法。
- 前記対電極が、前記めっき溶液から前記作用電極にめっきされる金属と同じ金属によって構成されている、請求項9記載の方法。
- 前記作用電極に印加される前記電位を時間の関数として定速でスキャンする、請求項1記載の方法。
- 前記作用電極に印加される前記電位を時間の関数として段階的に変化させる、請求項1記載の方法。
- 前記作用電極に印加される前記時間依存電位が、固定負電位と固定正電位との間の複数のサイクルを含む、請求項1記載の方法。
- 前記電流応答における前記所定の段階が、金属めっきから金属ストリッピングまでの交差に対応するゼロ電流点である、請求項1記載の方法。
- 前記電流応答における前記所定の段階が前記ストリッピング電流のピークである、請求項1記載の方法。
- 前記電流応答における前記所定の段階が、前記ストリッピング電流のピークの所定の部分である、請求項1記載の方法。
- 前記電流応答における前記所定の段階が所定の陰極電流値である、請求項1記載の方法。
- めっき浴のボルタンメトリ分析に使用される試験参照電極の電位を較正する方法であって、
金属が作用電極表面にめっきされたのち、前記作用電極表面から陽極ストリッピングされるようなめっき溶液中で、対電極によって作用電極に印加される時間依存電位に対する電流応答を標準参照電極に対して計測するステップと、
前記めっき溶液中で、対電極によって前記作用電極に印加される前記時間依存電位に対する電流応答を試験参照電極に対して計測するステップと、
金属めっきから金属ストリッピングまでの交差に対応するゼロ電流点で、印加された前記作用電極電位を、前記標準参照電極及び前記試験参照電極に対して比較して、前記標準参照電極と前記試験参照電極との電位差を求めるステップと、
前記標準参照電極と前記試験参照電極との電位差を使用し、前記試験参照電極の電位を補正して、前記試験参照電極の電位を較正するステップと
を含む方法。 - めっき浴のボルタンメトリ分析に使用される試験参照電極の電位を較正する方法であって、
(1)金属が作用電極表面にめっきされたのち、前記作用電極表面から陽極ストリッピングされるようなめっき溶液中で、作用電極に印加される時間依存電位に対する電流応答を標準参照電極に対して計測するステップと、
(2)後でステップ(1)を繰り返すステップと、
(3)電流応答における所定の段階で、ステップ(1)で印加された前記作用電極電位と、ステップ(2)で印加された前記作用電極電位とを比較して、試験参照電極の電位の変化を経時的に求めるステップと、
(4)前記試験参照電極の電位の変化を使用し、前記試験参照電極を補正して、前記試験参照電極の電位を較正するステップと
を含む方法。 - めっき浴のボルタンメトリ分析に使用される試験参照電極の電位を較正する方法であって、
金属が作用電極表面にめっきされたのち、前記作用電極表面から陽極ストリッピングされるような第一のめっき溶液中で、作用電極に印加される第一の時間依存電位に対する電流応答を標準参照電極に対して計測するステップと、
金属が前記作用電極表面にめっきされたのち、前記作用電極表面から陽極ストリッピングされるような第二のめっき溶液中で、前記作用電極に印加される第二の時間依存電位に対する電流応答を試験参照電極に対して計測するステップと、
前記電流応答における所定の段階で、印加された作用電極電位を、前記標準参照電極及び前記試験参照電極に対して比較して、前記標準参照電極と前記試験参照電極との電位差を求めるステップと、
前記標準参照電極と前記試験参照電極との電位差を使用し、前記試験参照電極の電位を補正して、前記試験参照電極の電位を較正するステップと
を含む方法。
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