JP4321008B2 - 固体撮像素子 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、それぞれ入射光量に応じた信号電荷を生成する2次元配列の複数の画素と、各画素の信号電荷を読み出す複数の垂直転送レジスタ及び水平転送レジスタとを有するCCD型の固体撮像素子に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、ビデオカメラや電子カメラにおいて、電荷転送部にCCDレジスタを用いたCCD型の固体撮像素子が使用されている。
このCCD固体撮像素子は、光電変換手段(フォトダイオード;PD)を設けた複数の画素を半導体基板上の撮像領域(イメージエリア)内に2次元配列のアレイ状に配置したものであり、各画素に入射した光をフォトダイオードによって光電変換して信号電荷を生成し、この信号電荷を垂直転送レジスタ及び水平転送レジスタを介して出力アンプ部に設けたフローティングデフュージョン(FD)部に転送し、このFD部の電位変動をMOSトランジスタによって検出し、これを電気信号に変換、増幅することにより、撮像信号として出力する。
【0003】
図3は、このような固体撮像素子の各レジスタによる信号電荷の転送経路を示す概略説明図であり、信号電荷をそれぞれ破線による矢印で示している。
なお、この図3に示す撮像領域(イメージエリア)10には、2次元配列の複数の画素と各画素列毎の複数の垂直転送レジスタが配置されており、撮像領域10の外側部に水平転送レジスタ11及び出力アンプ部12が配置されている。
まず、各画素の信号電荷は、各画素列毎に一括して垂直転送レジスタに読み出され、垂直転送パルスに基づいて各垂直転送レジスタにより垂直(矢印A)方向に転送され、1水平ライン毎に順次水平転送レジスタ11に読み出される。
そして、水平転送レジスタ11に読み出された1ライン分の信号電荷は、水平転送パルスに基づいて水平転送レジスタ11により水平(矢印B)方向に転送され、順次出力アンプ部12に出力される。
また、出力アンプ部12においては、水平転送レジスタ11によって転送されてきた信号電荷を順次電気信号に変換し、さらに後段の信号処理回路に出力する。
【0004】
なお、このような固体撮像素子が形成された半導体基板の上には、各転送レジスタを駆動するためのゲート電極膜や、各画素の受光面だけに外光を入射させるための遮光膜等が配置され、さらにその上層に各画素に入射する光の色成分を分離するカラーフィルタや、各画素の受光面に光を集光するオンチップマイクロレンズ等が配置される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述のようなCCD型固体撮像素子では、多画素化が進むとともに、各画素信号を間引いて出力したり、あるいは、複数の画素信号を加算して出力するような多機能化が図られている。
しかしながら、上記従来のCCD型固体撮像素子の場合、垂直方向の画素信号を加算することは、読み出しタイミングの制御により、垂直転送レジスタの内部、または、水平転送レジスタの内部において容易に実現できるが、水平方向の画素信号を加算することは難易度が高く、隣り合う数画素分の画素信号を水平転送レジスタの内部で混合する方式のみ可能である。
【0006】
しかし、上述したカラーフィルタでは、各色成分の画素フィルタが、たとえば市松模様等の配列で設けられており、同一の色成分の画素フィルタは連続しておらず、たとえば1画素おきに配置されている。
したがって、同一色成分の画素信号を水平方向に加算するためには、たとえば水平方向に1画素(ビット)おきに画素信号を加算する必要がある。
したがって、このような加算動作を上記従来のCCD型固体撮像素子の内部で行うことは困難であった。
【0007】
そこで本発明の目的は、2次元配列の画素から読み出した各画素信号を水平転送方向に画素単位(水平ビット単位)で容易に加算することが可能なCCD型の固体撮像素子を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は前記目的を達成するため、半導体基板上に設けられた撮像領域に2次元配列で設けられた複数の画素と、前記複数の画素の各列毎に配置されて各画素によって蓄積された信号電荷を垂直方向に転送する複数の垂直転送レジスタと、前記複数の垂直転送レジスタによって転送された信号電荷を水平方向に転送する複数の水平転送レジスタとを有する固体撮像素子であって、
前記複数の水平転送レジスタは、前記各垂直転送レジスタの端部近傍に互いに平行に配置される第1の水平転送レジスタと第2の水平転送レジスタとを含み、
前記第1の水平転送レジスタと前記第2の水平転送レジスタとの間に、前記各垂直転送レジスタから前記第1の水平転送レジスタの各水平ビットに転送された信号電荷を、各水平ビット単位で選択して前記第2の水平転送レジスタに転送するレジスタ間転送ゲートを設け、前記レジスタ間転送ゲートの動作により前記第1の水平転送レジスタ及び前記第2の水平転送レジスタのそれぞれに1水平ビットの信号電荷を1ビットおきに振り分けて蓄積し、前記第1の水平転送レジスタ及び前記第2の水平転送レジスタに蓄積された1ビットおき信号電荷を個別に転送可能に構成し、かつ前記転送されてきた複数ビットの信号電荷を加算して出力するように構成したことを特徴とする。
【0010】
本発明の固体撮像素子では、第1の水平転送レジスタと第2の水平転送レジスタとの間に設けたレジスタ間転送ゲートにより、第1の水平転送レジスタ及び第2の水平転送レジスタのそれぞれに1水平ビットの信号電荷を1ビットおきに振り分けて蓄積し、第1の水平転送レジスタ及び第2の水平転送レジスタに蓄積された1ビットおき信号電荷を個別に転送可能にし、かつ前記転送されてきた複数ビットの信号電荷を加算して出力する。
これにより、互いに隣接した水平ビットの信号電荷を第1、第2の水平転送レジスタに振り分け、それぞれ個別に転送することができるため、各画素信号を水平方向に画素単位(水平ビット単位)で容易に加算することが可能となる。
したがって、たとえば異なる色成分の画素信号を分離して、各画素信号を色成分毎に加算して出力するような処理を容易に実現でき、固体撮像素子の多機能化に貢献することができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明による固体撮像素子の実施の形態例について説明する。
なお、以下に説明する実施の形態は、本発明の好適な具体例であり、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において、特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限定されないものとする。
【0013】
図1は、本発明の第1の実施の形態例によるCCD型固体撮像素子の各レジスタによる信号電荷の転送経路を示す概略説明図であり、信号電荷をそれぞれ破線による矢印で示している。
本例の固体撮像素子は、2本の水平転送レジスタによって出力信号を振り分けて出力する構成(2チャネル出力型)の例である。
図1において、撮像領域(イメージエリア)110には、2次元配列の複数の画素と各画素列毎の複数の垂直転送レジスタが配置されており、撮像領域110の外側部に2本の水平転送レジスタ111A、111B及び出力アンプ部112A、112Bが配置されている。
また、水平転送レジスタ111A、111Bの間には、レジスタ間転送ゲート(HHG)113が設けられている。
【0014】
2本の水平転送レジスタ111A、111Bは互いに平行に配置され、共通の転送チャネル及び転送ゲート構造を有している。ただし、図1に示す例では、転送方向が逆になっており、出力アンプ部112A、112Bの位置が反対側に配置されている。
そして、各水平転送レジスタ111A、111Bのうちの撮像領域110の中央に近い方の第1の水平転送レジスタ111Aには、図3に示した従来例と同様に、全ての垂直転送レジスタに対応する水平ビットの転送チャネルに各垂直転送レジスタの信号電荷が転送される。
【0015】
また、第1の水平転送レジスタ111Aの外側に配置される第2の水平転送レジスタ111Bには、レジスタ間転送ゲート113の動作によって第1の水平転送レジスタ111Aに転送されてきた各水平ビットの信号電荷のうち1水平ビットおきの信号電荷が転送される。
すなわち、レジスタ間転送ゲート113は、その下層に1水平ビットおきに転送チャネル領域が設けられており、転送チャネル領域を設けたビットの信号電荷が第1の水平転送レジスタ111Aから第2の水平転送レジスタ111Bに読み出される。
なお、このレジスタ間転送ゲート113は、水平転送レジスタ111A、111B間で信号電荷の転送する際に、十分な転送効率を確保されるだけの転送長を有しているものとする。
【0016】
また、このレジスタ間転送ゲート113は、垂直転送パルスによって水平1ラインの信号電荷を垂直転送する際にONとなり、水平転送による水平転送開始の直前にOFFとなる。
したがって、垂直転送レジスタの最終段の信号電荷が第1の水平転送レジスタ111A側に読み出されるタイミングでは、レジスタ間転送ゲート113がONしており、各水平ビットの信号電荷のうち、レジスタ間転送ゲート113の転送チャネル領域に対応するビットの信号電荷は、そのまま第1の水平転送レジスタ111Aから第2の水平転送レジスタ111Bに読み出される。
この結果、第1の水平転送レジスタ111Aの各ビットには1ビットおきに信号電荷が蓄積され(矢印A1)、第2の水平転送レジスタ111Bの各ビットには、第1の水平転送レジスタ111Aと異なるビットに1ビットおきに信号電荷が蓄積される(矢印A2)。
【0017】
このようにして、水平1ライン分の信号電荷が1ビットおきに2つの水平転送レジスタ111A、111Bに振り分けられる。
したがって、2つの水平転送レジスタ111A、111Bを水平転送パルスによって駆動し、それぞれの信号電荷を転送することにより、1ビットおきの信号電荷を2つの出力アンプ部112A、112Bに転送し、2つの撮像信号に変換して取り出すことできる(矢印B1、B2)。
また、この際、各水平転送レジスタ111A、111Bの最終水平転送ゲートにおいて、FD部に対するリセットタイミングを制御することにより、複数ビット(水平転送ゲートの4ビット分の加算で実質的には2ビット分)の信号電荷を加算して出力アンプ部112A、112Bに供給することができ、色成分別の信号電荷を複数ビット加算した信号出力を行うことが可能である。
【0018】
すなわち、本例の固体撮像素子においても上記従来例と同様に、固体撮像素子の上には各画素に入射する光の色成分を分離するカラーフィルタ等が配置されているが、このカラーフィルタは、各色成分の画素フィルタが所定のパターンで配列されており、隣接するビットには異なる色成分の画素フィルタが配置されている。
そこで、本例のように1ビットおきに信号電荷を取り出すことにより、同一色成分の信号電荷を連続させることでき、これを順次加算することにより、各色成分毎の画素信号を加算することが可能である。
したがって、本例の固体撮像素子では、信号電荷の転送段階で有効な画素信号の加算を行うことができ、これを後段の信号処理回路でサンプリングし、撮像信号を得ることにより、複雑な信号処理を要することなく、有効な加算信号の撮像出力を得ることが可能である。
なお、レジスタ間転送ゲート113をONさせることなく撮像動作を行うことにより、第1の水平転送レジスタ111Aだけを用いた通常の撮像信号出力を行うことが可能である。
【0019】
図2は、本発明の第2の実施の形態例によるCCD型固体撮像素子の各レジスタによる信号電荷の転送経路を示す概略説明図であり、信号電荷をそれぞれ破線による矢印で示している。
本例の固体撮像素子は、撮像領域(イメージエリア)210を垂直方向に2分割し、各撮像領域210A、210B毎に垂直転送レジスタによって逆方向に信号電荷を転送するとともに、各撮像領域210A、210Bに、それぞれ2本の水平転送レジスタを設け、合計4本の水平転送レジスタ211A、211B、211C、211Dによって出力信号を振り分けて出力する構成(4チャネル出力型)の例である。
【0020】
すなわち、図2に示す上段の撮像領域210Aには、その外側部(図2に示す上側部)に2本の水平転送レジスタ211A、211B及び出力アンプ部212A、212Bが配置され、水平転送レジスタ211A、211Bの間には、レジスタ間転送ゲート(HHG)213Aが設けられている。
また、図2に示す下段の撮像領域210Bにも同様に、その外側部(図2に示す下側部)に2本の水平転送レジスタ211C、211D及び出力アンプ部212C、212Dが配置され、水平転送レジスタ211C、211Dの間には、レジスタ間転送ゲート(HHG)213Bが設けられている。
【0021】
このような構成の固体撮像素子においても、図1に示した例と同様にして、各撮像領域210A、210Bの画素信号を水平1ビットおきに振り分け、さらに複数ビットずつ加算して出力することが可能である。
すなわち、撮像領域210Aの画素信号は矢印A3、A4、B3、B4の経路で転送され、撮像領域210Bの画素信号は矢印A5、A6、B5、B6の経路で転送される。
なお、個々の動作については図1に示した実施の形態例と同様であるので詳細は省略する。
【0022】
なお、本発明は以上の具体例に限定されず、種々の変形が可能である。
たとえば、上述の例では、2本1組みの水平転送レジスタを設けて水平1ビットのおきに信号電荷を転送するようにしたが、3本1組みの水平転送レジスタを設け、各水平転送レジスタの間に、それぞれレジスタ間転送ゲートを設けることにより、信号電荷を3つの水平転送レジスタに振り分けて転送するような構成を採用することも可能である。
また、上述の例では、2本1組みの水平転送レジスタの転送方向を互いに逆方向としたが、同一方向に転送するような構成としてもよい。
【0023】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の固体撮像素子によれば、第1の水平転送レジスタと第2の水平転送レジスタとの間に設けたレジスタ間転送ゲートにより、第1の水平転送レジスタ及び第2の水平転送レジスタのそれぞれに1水平ビットの信号電荷を1ビットおきに振り分けて蓄積し、第1の水平転送レジスタ及び第2の水平転送レジスタに蓄積された1ビットおき信号電荷を個別に転送可能にし、かつ転送されてきた複数ビットの信号電荷を加算して出力する第1の水平転送レジスタ及び第2の水平転送レジスタによってそれぞれ水平方向に転送してきた信号電荷を1水平ビットおきに加算して出力するようにしたので、互いに隣接した水平ビットの信号電荷を第1、第2の水平転送レジスタに振り分け、それぞれ個別に転送することができ、各画素信号を水平方向に画素単位(水平ビット単位)で容易に加算することが可能となる。
したがって、たとえば異なる色成分の画素信号を分離して、各画素信号を色成分毎に加算して出力するような処理を容易に実現でき、固体撮像素子の多機能化に貢献することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態例によるCCD型固体撮像素子の各レジスタによる信号電荷の転送経路を示す概略説明図である。
【図2】本発明の第2の実施の形態例によるCCD型固体撮像素子の各レジスタによる信号電荷の転送経路を示す概略説明図である。
【図3】従来のCCD型固体撮像素子の各レジスタによる信号電荷の転送経路を示す概略説明図である。
【符号の説明】
110、210……撮像領域(イメージエリア)、111A、111B、211A、211B、211A、211B……水平転送レジスタ、112A、112B、212A、212B、212C、212D……出力アンプ部、113、213A、213B……レジスタ間転送ゲート。
Claims (4)
- 半導体基板上に設けられた撮像領域に2次元配列で設けられた複数の画素と、前記複数の画素の各列毎に配置されて各画素によって蓄積された信号電荷を垂直方向に転送する複数の垂直転送レジスタと、前記複数の垂直転送レジスタによって転送された信号電荷を水平方向に転送する複数の水平転送レジスタとを有する固体撮像素子であって、
前記複数の水平転送レジスタは、前記各垂直転送レジスタの端部近傍に互いに平行に配置される第1の水平転送レジスタと第2の水平転送レジスタとを含み、
前記第1の水平転送レジスタと前記第2の水平転送レジスタとの間に、前記各垂直転送レジスタから前記第1の水平転送レジスタの各水平ビットに転送された信号電荷を、各水平ビット単位で選択して前記第2の水平転送レジスタに転送するレジスタ間転送ゲートを設け、
前記レジスタ間転送ゲートの動作により前記第1の水平転送レジスタ及び前記第2の水平転送レジスタのそれぞれに1水平ビットの信号電荷を1ビットおきに振り分けて蓄積し、
前記第1の水平転送レジスタ及び前記第2の水平転送レジスタに蓄積された1ビットおき信号電荷を個別に転送可能に構成し、かつ前記転送されてきた複数ビットの信号電荷を加算して出力するように構成した、
ことを特徴とする固体撮像素子。 - 前記加算は、前記各水平転送レジスタの最終転送ゲートで行うことを特徴とする請求項1記載の固体撮像素子。
- 前記第1の水平転送レジスタと前記第2の水平転送レジスタとは、互いに反対方向に信号電荷を転送することを特徴とする請求項1記載の固体撮像素子。
- 前記レジスタ間転送ゲートは、前記撮像領域上に配置されたカラーフィルタの同一色成分の画素で生成された信号電荷を選択して前記第1の水平転送レジスタから前記第2の水平転送レジスタに転送することを特徴とする請求項1記載の固体撮像素子。
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