JP4317765B2 - 荷電粒子線を用いた検査方法および検査装置 - Google Patents
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12,ブランキング偏向器13,絞り14,走査偏向器15,対物レンズ16,反射板
17,E×B偏向器18から構成されており、電子銃10で発生し引き出し電極11で引き出された電子線19がコンデンサレンズ12,絞り14,対物レンズ16を通って試料9へ照射される。電子線19は細く絞られたビームであり、走査偏向器15によって試料9を走査され、試料9から反射電子や、二次電子51が発生する。二次電子51はE×B偏向器18によって軌道を曲げられて反射板17を照射し、第二の二次電子52が発生し、二次電子検出器20で検出される。一方、ブランキング偏向器13で電子線19を絞り14の開口部の外に向けることによって、試料9への電子線19の照射を防ぐことができる。
10から引き出される。電子線19の加速は、電子銃10に高電圧の負の電位を印加することでなされる。これにより、電子線19はその電位に相当するエネルギーで試料台30の方向に進み、コンデンサレンズ12で収束され、さらに対物レンズ16により細く絞られて試料台30上のXステージ31,Yステージ32,回転ステージ33の上に搭載された試料9に照射される。
51がその後加速されて反射板17に衝突して発生した第二の二次電子52を、電子線
19の走査のタイミングと連動して検出するように構成されている。
20が検出したアナログ信号をプリアンプ21によって増幅された後に直ちにデジタル信号に変換して、画像処理ユニット5に伝送するように構成されている。このように、検出したアナログ信号を検出直後にデジタル化して伝送するので、高速で且つSN比の高い信号を得ることができる。
32のXおよびY方向の移動により光学顕微鏡ユニット4の下の所定の第一の座標に配置され、モニタ50により試料9の上に形成された回路パターンの光学顕微鏡画像が観察される。そして、位置回転補正のために予め記憶された同等の回路パタ−ン画像と比較され、第一の座標の位置補正値が算出される。次に、第一の座標から一定距離だけ離れ、第一の座標と同等の回路パタ−ンが存在する第二の座標に移動し、同様に、光学顕微鏡画像が観察され、位置回転補正のために記憶された回路パターン画像と比較され、第二の座標の位置補正値および第一の座標に対する回転ずれ量が算出される。この算出された回転ずれ量分だけ回転ステージ33が回転して補正する。
10に印加する加速電圧を変化させずに電子線19の照射エネルギーを調整することができる。
Claims (6)
- 試料に荷電粒子線を走査して得られる少なくとも2つの画像を比較して前記試料の回路パターンの欠陥を抽出する荷電粒子線を用いた検査方法において、前記試料の検査領域のうち前記荷電粒子線が照射されない領域と照射される領域とが指定され、あらかじめ定められた幅で前記荷電粒子線を走査しながら前記試料を連続的に移動し、前記荷電粒子線の走査中に前記荷電粒子線が照射されない領域は前記荷電粒子線をブランキングするとともに、前記試料を搭載したステージの前記荷電粒子線が照射されない領域の移動速度を、前記荷電粒子線が照射される領域の移動速度に比べて上げるように制御することを特徴とする荷電粒子線を用いた検査方法。
- 請求項1において、前記荷電粒子線のブランキングを行う時間が予め設定されることを特徴とする荷電粒子線を用いた検査方法。
- 請求項1において、前記試料の検査画像を表示する画面と共に検査結果を表示し、検査領域毎の検査結果の表示、もしくは全ての検査結果の表示が選択可能であることを特徴とする荷電粒子線を用いた検査方法。
- 試料に荷電粒子線を走査して得られる少なくとも2つの画像を比較して前記試料の回路パターンの欠陥を抽出する荷電粒子線を用いた検査装置において、あらかじめ定められた幅で前記荷電粒子線を走査する走査偏向器と、前記荷電粒子線の走査中に前記試料を連続的に移動するステージと、前記回路パターンの種類または密度が異なる領域では、前記荷電粒子線をブランキングするブランキング偏向器と、前記試料の検査領域のうち前記荷電粒子線が照射されない領域と照射される領域とが指定される検査条件設定部とを備え、前記ブランキング偏向器は前記荷電粒子線の走査中に前記荷電粒子線が照射されない領域では前記荷電粒子線のブランキングを行い、前記検査条件設定部は前記荷電粒子線が照射されない領域では、前記荷電粒子線が照射される領域に比べて前記ステージの移動速度を上げることを特徴とする荷電粒子線を用いた検査装置。
- 請求項4において、前記検査条件設定部は前記ブランキング偏向器による前記荷電粒子線のブランキングを行う時間を予め設定することを特徴とする荷電粒子線を用いた検査装置。
- 請求項4において、前記試料の検査画像を表示すると共に検査結果を表示する表示部を備え、該表示される検査結果は検査領域毎の検査結果、もしくは全ての検査結果を選択可能であることを特徴とする荷電粒子線を用いた検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004015050A JP4317765B2 (ja) | 2004-01-23 | 2004-01-23 | 荷電粒子線を用いた検査方法および検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Related Child Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008204973A Division JP5135116B2 (ja) | 2008-08-08 | 2008-08-08 | 荷電粒子線を用いた検査方法および検査装置 |
JP2008204972A Division JP5135115B2 (ja) | 2008-08-08 | 2008-08-08 | 荷電粒子線を用いた検査方法および検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005207899A JP2005207899A (ja) | 2005-08-04 |
JP4317765B2 true JP4317765B2 (ja) | 2009-08-19 |
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ID=34900638
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2004015050A Expired - Fee Related JP4317765B2 (ja) | 2004-01-23 | 2004-01-23 | 荷電粒子線を用いた検査方法および検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4317765B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007095109A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Dainippon Printing Co Ltd | Hddサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置及び検査方法 |
JP4917359B2 (ja) * | 2006-06-09 | 2012-04-18 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置、及びそれを制御するためのプログラム |
JP5019158B2 (ja) * | 2006-10-25 | 2012-09-05 | 株式会社島津製作所 | 電子ビーム走査方法、電子ビーム走査装置、およびtftアレイ検査装置 |
CN110514677A (zh) * | 2019-03-12 | 2019-11-29 | 厦门超新芯科技有限公司 | 一种原位液体池芯片及其制作方法 |
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2004
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005207899A (ja) | 2005-08-04 |
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A621 | Written request for application examination |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060329 |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20060509 |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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