JP4312914B2 - Resin composition coating method and coating apparatus - Google Patents
Resin composition coating method and coating apparatus Download PDFInfo
- Publication number
- JP4312914B2 JP4312914B2 JP2000002771A JP2000002771A JP4312914B2 JP 4312914 B2 JP4312914 B2 JP 4312914B2 JP 2000002771 A JP2000002771 A JP 2000002771A JP 2000002771 A JP2000002771 A JP 2000002771A JP 4312914 B2 JP4312914 B2 JP 4312914B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin composition
- mask
- nozzle
- substrate surface
- coating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品を基板へ実装する技術分野における基板表面への樹脂組成物の塗布方法および塗布装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
回路実装技術の主流となっているのは、混載表面実装である。混載表面実装では、例えば基板表面に樹脂組成物からなる接着剤を塗布し、その上に各種チップ部品を装着し、脱落やずれを防ぐために接着剤を硬化させてチップ部品を固定する。そして、基板を反転させて前記チップ部品に対応するリード部品を挿入し、溶融はんだに接触させてチップ部品とリード部品とを一括ではんだ付けする技術である。
【0003】
一方、近年、地球環境への対応と省エネルギーの観点から、はんだに代わる導電性接合材料として、樹脂組成物に導電性フィラーを配合した導電性ペーストが注目されている。そして、前記接着剤と同様の塗布方法で基板上の電極に供給する方法の実用化が進められている。
【0004】
樹脂組成物の塗布方法の主流としては、ノズルから樹脂組成物を吐出させ、基板表面にドット状に塗布するディスペンス法がある。そこで、従来の工程(1)〜(3)からなるディスペンス法の概略について図2を参照しながら述べる。工程(1)では、ノズル1の先端からシリンジ6に充填された樹脂組成物5を吐出させる。次いで、ノズル1を下降させて基板4の表面に近づける。シリンジ6にはノズル先端と基板表面との間に距離を設けるためのスペーサとして機能する部材(ストッパ部材)2が設けられており、工程(2)に示すようにノズル先端と基板表面との間にギャップを生じた状態で樹脂組成物5が塗布される。工程(2)では、ストッパ部材2が基板表面に接した状態でノズル1を暫時静止させる。そして、工程(3)でノズル1を上昇させて基板表面から遠ざけると塗布が完了する。その後、ノズル1は別の塗布位置に移動する。
【0005】
ノズル先端から樹脂組成物を吐出させる方法としては、樹脂組成物が充填されたシリンジ6に空気圧を加えて吐出させるエアパルス式が主流である。その他にはシリンジ内部に樹脂組成物の輸送通路となる溝を有するネジを設置し、ネジの回転により樹脂組成物をノズルから送り出すネジ式(スクリュー式)などがある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
近年、電子機器の小型・軽量化に伴い、表面実装のさらなる高密度化、高精度化および実装工程の高速化が求められている。しかし、従来の樹脂組成物の塗布方法では、塗布の繰り返しによりノズル先端が樹脂組成物で汚れ、塗布形状不良の原因となっている。また、従来の塗布工程を高速化した場合、前記工程(3)において、樹脂組成物の糸引き、飛び散り等が起こり、やはり塗布形状不良が発生する。そして、後の工程で未はんだ不良(はんだが塗布されるべき箇所に塗布されない状態)等を発生する原因となる。
本発明は、これらの問題点を低減させた樹脂組成物の塗布方法および塗布装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、樹脂組成物を吐出するノズル、およびその前方にノズル先端と間隔を隔てて設けられ、ノズルから吐出される樹脂組成物を案内する開口を有するマスクを具備する塗布装置を用いて樹脂組成物を基板表面に塗布する方法であって、前記マスクを基板表面に接触させて前記ノズルから吐出させた樹脂組成物を前記開口を通して基板表面に塗布することを特徴とする樹脂組成物の塗布方法に関する。
【0008】
前記方法においては、前記マスクが基板表面に接触した直後に樹脂組成物を前記ノズルから吐出させることが好ましい。
また、前記方法においては、樹脂組成物を基板表面に塗布した後、前記マスクを回転させながら前記ノズルを基板表面から遠ざける。
また、前記方法においては、前記マスクの開口径が、基板表面に塗布されたときの樹脂組成物の塗布径に相当することが好ましい。
【0009】
また、前記方法においては、前記マスクの厚さが、基板表面に塗布されたときの樹脂組成物の厚さに相当することが好ましい。
また、前記方法においては、前記マスクの開口径の厚さに対する比が1〜2であることが好ましい。
【0010】
また、本発明は、樹脂組成物を吐出するノズル、およびその前方にノズル先端と間隔を隔てて設けられ、基板表面に接触してノズルから吐出される樹脂組成物を前記基板上に案内する開口を有するマスクを具備する樹脂組成物の塗布装置に関する。
【0011】
前記装置においては、前記マスクが前記開口の中心を軸心として基板表面に対して平行に回転するように設けられている。
また、前記装置においては、前記マスクの開口径の厚さに対する比が1〜2であることが好ましい。
また、前記装置は、前記マスクが基板表面に接触した直後に樹脂組成物を前記ノズルから吐出させるものである。
【0012】
【発明の実施の形態】
図1に本発明の樹脂組成物の塗布方法の一例の工程を概略的に示す。図1では前記方法に用い得る塗布装置の一例の要部のみを断面で示している。以下、図1を参照しながら説明する。
【0013】
図1の(1)は、本発明の樹脂組成物の塗布装置のマスク3を基板4の表面に接近させた状態を示している。シリンジ6は、図示しない塗布装置本体の可動アームに取りつけられ、樹脂組成物5を塗布する基板4をセットした基台の上面と平行な面内のx軸とy軸および前記の面に垂直なz軸方向に移動することができる。シリンジ6には、樹脂組成物5を吐出するノズル1の前方に位置するように、基板4と平行にマスク3がストッパ部材2により取り付けられている。マスク3は、ノズル1から吐出される樹脂組成物5を案内する開口をその中心がノズル先端の孔の中心と一直線上に位置するように設けられている。ストッパ部材2は、図1の(2)に示すように、マスク3が基板4の表面に接触したときにマスク3と協働してノズル先端と基板4の表面との間に一定のギャップを生じさせる機能も有する。この状態でノズル1から樹脂組成物5を吐出すると、適量の樹脂組成物を被塗布部のみに塗布することが可能となる。なお、ストッパ部材2、マスク3およびシリンジ6は、図1では一体化されているが、それぞれが別の部品であってもよい。
【0014】
ストッパ部材2は、例えばノズル1に対して略平行に設けられた複数の棒状のものでも、ノズル1を囲む管状のものでもよい。ただし、管状の場合はマスク3が基板4の表面に接触した状態で樹脂組成物を吐出できるように、ストッパ部材2、マスク3、基板4およびシリンジ6の先端で囲まれた空間と外部とを連通させた、空気を通すための通路が必要である。
【0015】
マスク3は、主としてノズル先端の汚れによる樹脂組成物の塗布形状の不良を防ぐ機能を有する。樹脂組成物の塗布時に、マスク3が基板表面に接触して被塗布部を囲むため、ノズル先端の周辺に樹脂組成物が付着してもマスク3の下端部や外周にまでは樹脂組成物が付着しにくく、被塗布部以外の箇所に樹脂組成物が付着するのを防げるからである。
【0016】
マスク3の厚さは、目的とする塗布形状によって異なるため一概にはいえないが、0.3〜0.5mmであることが好ましい。マスクが薄くなりすぎると、組成物の塗布量が不足して部品の接着強度が弱まり、厚くなりすぎると、塗布量過多による組成物の糸引き、飛び散りの原因となる。マスク3の厚さは、基板表面に塗布されたときの樹脂組成物の厚さ(塗布高さ)に対応させることが好ましい。マスク3の厚さにより樹脂組成物の塗布高さが決まるため、塗布高さのバラツキを低減することができるからである。
【0017】
マスク3の開口7の形状は、汎用性の観点から通常は円形であればよい。マスク3全体の形状も一概にはいえないが、例えば環状のものが挙げられる。
マスク3の開口7が円形である場合、開口径は、基板表面に塗布されたときの樹脂組成物の塗布径に対応させることが好ましい。マスク3の開口径により樹脂組成物の塗布径が決まるため、塗布径のバラツキを低減することができるからである。開口径は、通常は、0.6〜1mmが好ましい。
【0018】
マスク3の開口径の厚さに対する比は1〜2であることが望ましい。後の工程で装着される部品を安定して基板上に保持することができる塗布形状を得やすいからである。
【0019】
樹脂組成物5は、マスク3が基板表面に接触した直後にノズル先端から吐出させることが好ましい。マスク3が基板表面に接触する前に樹脂組成物5を吐出させると、被塗布部以外の箇所に樹脂組成物が飛び散ったり、マスク3の下端部に樹脂組成物が付着する場合があるからである。したがって、前記装置は、マスク3が基板表面に接触した直後に樹脂組成物5を前記ノズル先端から吐出させるものであることが好ましい。具体的には、例えば従来のエアパルス式やネジ式の塗布工程で使用されているものと同様の制御装置を、マスク3が基板表面に接触した瞬間に樹脂組成物を吐出させるように設定して用いることができる。エアパルス式の場合、マスク3が基板4に接触したことを検知したとき直ちにノズル1から樹脂組成物5が吐出されるように、シリンジ6に圧力を印加するように設定すればよい。
【0020】
ノズル先端から樹脂組成物が吐出された後、基板表面の被塗布部に樹脂組成物が充分に付着するように、マスク3が基板表面に接触した状態で0.01〜0.03秒間静止することが好ましい。
【0021】
本発明においては、ノズル1を基板表面から遠ざける際に樹脂組成物が糸を引かないように、ノズル1を基板4から遠ざけながらマスク3を開口7の中心を軸心として回転させる。また、なるべくマスク3が基板表面から離れると同時に回転を開始することが、樹脂組成物を歯切れよく切り離すことができる点で好ましい。図1では、マスク3は、ストッパ部材2およびシリンジ6と一体化されているので、その全体を回転させればよいが、それぞれが別部品の場合は、マスク3のみを回転させてもよい。
【0022】
回転速度は100〜200rpmが好ましい。回転速度が速くなりすぎると、振動による塗布形状の乱れの原因となり、遅すぎると、樹脂組成物の歯切れが悪くなる。
【0023】
本発明の樹脂組成物の塗布方法および塗布装置は、液状の樹脂組成物を塗布する場合に用いられる。さらに具体的には、液状樹脂、硬化剤およびフィラーからなる液状樹脂組成物の塗布に適している。特に、25℃でR型粘度計を使用して回転数0.5rpmの条件で測定したときの粘度が200〜400Pa・sであり、回転数5.0rpmの条件で測定したときの粘度が25〜65Pa・sである樹脂組成物に好適である。このようにチクソトロピー(揺変性)の高い樹脂組成物は、糸引きなどを起こしやすい場合が多いからである。
【0024】
【実施例】
次に、実施例に基づいて本発明をさらに具体的に説明する。
《実施例1》
所定の液状の樹脂組成物をエアパルス式の塗布方法を用いて基板表面に塗布した。
液状の樹脂組成物としては、液状樹脂(ビスフェノールF系エポキシ樹脂)、硬化剤(2−メチルイミダゾール)およびフィラー(鱗片状タルク)を、重量配合比6:1:3で混合したものを用いた。この樹脂組成物の25℃における粘度は252Pa・sであった。
【0025】
まず、前記樹脂組成物を容積30mlのシリンジに充填し、図1の(1)に示すように基板とマスクとの間に一定の間隔を設けて塗布装置を設定した。シリンジには、ノズルと、内径1.5mmで壁部の厚さが0.7mmで内壁面と外壁面とを連通する孔(樹脂組成物の吐出時に空気を通すための孔)を有する管状ストッパ部材と、環状のマスクとが一体化して形成されている。シリンジ端部から突き出たノズルの長さおよび管状ストッパ部材の長さは、それぞれ2mmおよび3mmであり、マスクの厚さは0.3mmである。また、マスクの外径は管状サポート部材の外径と同じ2.9mmであり、マスクの開口径は0.6mmである。
【0026】
塗布装置のエアパルスは、図1の(2)に示すようにマスクが基板の表面に接触した直後に樹脂組成物が吐出されるように設定した。一回当たりに吐出される樹脂組成物の量は3×10-4mlに設定されている。
シリンジ、ノズルおよびストッパ部材と一体されたマスクは、開口の中心を軸心として回転可能である。そして、マスクが基板表面に接触してから0.02秒後に、図1の(3)に示すようにノズルの上昇と同時に回転速度160rpmで回転するように設定されている。ノズルは上昇後、次の位置に移動して塗布を繰り返すように設定されている。
【0027】
塗布を400回繰り返して樹脂組成物の塗布形状を観察したところ、塗布形状は均一で、基板表面の被塗布部以外の箇所には樹脂組成物の飛び散りなどは見られなかった。また、塗布された樹脂組成物の形状は、何れもマスクの開口径とほぼ同じ直径の円形で、塗布された樹脂組成物の基板から最も高い部分の高さは、マスクの厚さとほぼ同じであった。
なお、実施例では、液状樹脂としてビスフェノールF系エポキシ樹脂を用いているが、その他のエポキシ樹脂、アクリル樹脂、シリコン樹脂など、どのような液状樹脂でも差し支えはない。
また、実施例では、硬化剤として、2−メチルイミダゾールを用いているが、その他、アミン系硬化剤、芳香族系硬化剤、アミド系硬化剤、ポリメルカプタン系硬化剤など、どのような硬化剤でも差し支えはない。
また、実施例では、フィラーとして鱗片状タルクを用いているが、その他、不定形シリカ、球状シリカ、微粉末シリカ、マイカ、バライト、酸化チタンなど、どのようなフィラーでも差し支えはない。
また、実施例では、液状樹脂:硬化剤:フィラーの重量配合比を6:1:3としたが、ディスペンス塗布可能な粘度物性を有する樹脂組成物が得られる配合比であれば、どのような比率でも差し支えはない。
【0028】
【発明の効果】
本発明によれば、樹脂組成物の塗布工程におけるノズル先端の汚れ、樹脂組成物の糸引き、飛び散り等による塗布形状不良の発生を低減でき、後の工程において、未はんだ不良等を低減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の樹脂組成物の塗布方法の一例の工程を本発明の樹脂組成物の塗布装置の一例の要部の断面で概略的に示した説明図である。
【図2】従来の樹脂組成物の塗布方法の一例の工程を従来の樹脂組成物の塗布装置の一例の要部の断面で概略的に示した説明図である。
【符号の説明】
1 ノズル
2 ストッパ部材
3 マスク
4 基板
5 樹脂組成物
6 シリンジ
7 開口[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a method and an apparatus for applying a resin composition to a substrate surface in the technical field of mounting electronic components on a substrate.
[0002]
[Prior art]
The mainstream of circuit mounting technology is mixed surface mounting. In the mixed surface mounting, for example, an adhesive made of a resin composition is applied to the substrate surface, various chip components are mounted thereon, and the adhesive is cured to fix the chip components in order to prevent dropping or slipping. And it is the technique which inverts a board | substrate, inserts the lead component corresponding to the said chip component, contacts a molten solder, and solders a chip component and a lead component collectively.
[0003]
On the other hand, in recent years, a conductive paste in which a conductive filler is blended in a resin composition has attracted attention as a conductive bonding material that replaces solder, from the viewpoints of global environment and energy saving. And the practical use of the method of supplying to the electrode on a board | substrate with the application | coating method similar to the said adhesive agent is advanced.
[0004]
As a mainstream of the application method of the resin composition, there is a dispensing method in which the resin composition is discharged from a nozzle and applied onto the substrate surface in the form of dots. Therefore, an outline of the dispensing method including the conventional steps (1) to (3) will be described with reference to FIG. In step (1), the resin composition 5 filled in the
[0005]
As a method for discharging the resin composition from the tip of the nozzle, an air pulse method in which air pressure is applied to the
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
In recent years, with the reduction in size and weight of electronic devices, there has been a demand for higher density surface mounting, higher accuracy, and faster mounting processes. However, in the conventional method for applying a resin composition, the nozzle tip is soiled with the resin composition due to repeated application, causing a defective application shape. In addition, when the conventional coating process is speeded up, the resin composition is stringed, scattered, etc. in the process (3), which also causes a defective coating shape. And it becomes a cause which generate | occur | produces a non-solder defect (state where it is not apply | coated to the location which should apply | coat a solder) etc. in a later process.
An object of this invention is to provide the coating method and coating device of the resin composition which reduced these problems.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
The present invention relates to a resin using a coating apparatus including a nozzle that discharges a resin composition and a mask that is provided in front of the nozzle tip and spaced apart from the nozzle tip and that has an opening that guides the resin composition discharged from the nozzle. A method of applying a composition to a substrate surface, wherein the resin composition discharged from the nozzle is applied to the substrate surface through the opening by bringing the mask into contact with the substrate surface. Regarding the method.
[0008]
In the method, it is preferable that the resin composition is discharged from the nozzle immediately after the mask contacts the substrate surface.
Further, in the above method, after applying the resin composition on the substrate surface, it is kept away the nozzle from the substrate surface while rotating the mask.
Moreover, in the said method, it is preferable that the opening diameter of the said mask corresponds to the application diameter of the resin composition when apply | coated to the substrate surface.
[0009]
Moreover, in the said method, it is preferable that the thickness of the said mask corresponds to the thickness of the resin composition when apply | coated to the substrate surface.
Moreover, in the said method, it is preferable that ratio with respect to the thickness of the opening diameter of the said mask is 1-2.
[0010]
Further, the present invention is a nozzle for discharging a resin composition, and forward is provided at a nozzle tip and spacing thereof, an opening for guiding the resin composition discharged from the nozzle in contact with the substrate surface on the substrate The present invention relates to a coating apparatus for a resin composition comprising a mask having the following.
[0011]
In the apparatus, that provided for rotation parallel to the mask substrate surface a center of the opening as the axis.
Moreover, in the said apparatus, it is preferable that ratio with respect to the thickness of the opening diameter of the said mask is 1-2.
Further, the apparatus, Ru der those discharging the resin composition from the nozzle immediately after the mask is in contact with the substrate surface.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 1 schematically shows an example of a process for applying the resin composition of the present invention. In FIG. 1, only the principal part of an example of the coating apparatus which can be used for the said method is shown by the cross section. Hereinafter, a description will be given with reference to FIG.
[0013]
FIG. 1 (1) shows a state in which the
[0014]
The
[0015]
The
[0016]
Although the thickness of the
[0017]
The shape of the
When the
[0018]
The ratio of the opening diameter of the
[0019]
The resin composition 5 is preferably discharged from the nozzle tip immediately after the
[0020]
After the resin composition is discharged from the tip of the nozzle, the
[0021]
In the present invention, as the resin composition when away
[0022]
The rotation speed is preferably 100 to 200 rpm. If the rotational speed is too high, the coating shape is disturbed due to vibration, and if it is too slow, the resin composition becomes crisp.
[0023]
The coating method and coating apparatus of the resin composition of the present invention are used when a liquid resin composition is coated. More specifically, it is suitable for application of a liquid resin composition comprising a liquid resin, a curing agent and a filler. In particular, the viscosity when measured at 25 ° C. using an R-type viscometer under the condition of a rotational speed of 0.5 rpm is 200 to 400 Pa · s, and when measured under the condition of a rotational speed of 5.0 rpm, the viscosity is 25. It is suitable for a resin composition having a viscosity of ˜65 Pa · s. This is because such a resin composition having a high thixotropy (thixotropic property) tends to cause stringing in many cases.
[0024]
【Example】
Next, the present invention will be described more specifically based on examples.
Example 1
A predetermined liquid resin composition was applied to the substrate surface using an air pulse coating method.
As the liquid resin composition, a liquid resin (bisphenol F-based epoxy resin), a curing agent (2-methylimidazole), and a filler (flaky talc) mixed at a weight ratio of 6: 1: 3 was used. . The viscosity of this resin composition at 25 ° C. was 252 Pa · s.
[0025]
First, the resin composition was filled in a syringe having a volume of 30 ml, and a coating apparatus was set up with a certain interval between the substrate and the mask as shown in FIG. The syringe has a nozzle and a tubular stopper having an inner diameter of 1.5 mm, a wall thickness of 0.7 mm, and a hole communicating with the inner wall surface and the outer wall surface (a hole for allowing air to pass through when discharging the resin composition) The member and the annular mask are integrally formed. The length of the nozzle protruding from the end of the syringe and the length of the tubular stopper member are 2 mm and 3 mm, respectively, and the thickness of the mask is 0.3 mm. The outer diameter of the mask is 2.9 mm, which is the same as the outer diameter of the tubular support member, and the opening diameter of the mask is 0.6 mm.
[0026]
The air pulse of the coating apparatus was set so that the resin composition was discharged immediately after the mask contacted the surface of the substrate as shown in (2) of FIG. The amount of the resin composition discharged at one time is set to 3 × 10 −4 ml.
The mask integrated with the syringe, the nozzle, and the stopper member can rotate about the center of the opening. Then, 0.02 seconds after the mask comes into contact with the substrate surface, it is set to rotate at a rotational speed of 160 rpm simultaneously with the rise of the nozzle as shown in FIG. After rising, the nozzle is set to move to the next position and repeat application.
[0027]
When the coating shape of the resin composition was observed by repeating the coating 400 times, the coating shape was uniform, and no scattering of the resin composition or the like was observed in any portion other than the coated portion on the substrate surface. The shape of the applied resin composition is a circle having the same diameter as the opening diameter of the mask, and the height of the highest part from the substrate of the applied resin composition is substantially the same as the thickness of the mask. there were.
In the embodiment, bisphenol F-based epoxy resin is used as the liquid resin, but any liquid resin such as other epoxy resin, acrylic resin, or silicon resin may be used.
In the examples, 2-methylimidazole is used as the curing agent, but any other curing agent such as an amine curing agent, aromatic curing agent, amide curing agent, polymercaptan curing agent, etc. But there is no problem.
In the examples, scaly talc is used as the filler, but any other filler such as amorphous silica, spherical silica, fine powder silica, mica, barite, and titanium oxide can be used.
In the examples, the weight ratio of liquid resin: curing agent: filler was set to 6: 1: 3. However, any ratio can be used as long as the resin composition having a viscosity property capable of being applied by dispensing can be obtained. There is no problem with the ratio.
[0028]
【The invention's effect】
According to the present invention, it is possible to reduce the occurrence of coating shape defects due to contamination of the nozzle tip in the resin composition coating process, stringing of the resin composition, splashing, etc., and to reduce unsolder defects in the subsequent processes. Can do.
[Brief description of the drawings]
BRIEF DESCRIPTION OF DRAWINGS FIG. 1 is an explanatory view schematically showing a step of an example of a resin composition coating method of the present invention in a cross section of a main part of an example of a resin composition coating apparatus of the present invention.
FIG. 2 is an explanatory view schematically showing a process of an example of a conventional resin composition coating method in a cross section of a main part of an example of a conventional resin composition coating apparatus.
[Explanation of symbols]
1
Claims (6)
前記マスクを基板表面に接触させて前記ノズルから吐出させた樹脂組成物を前記開口を通して基板表面に塗布し、
樹脂組成物を基板表面に塗布した後、前記マスクを回転させながら前記ノズルを基板表面から遠ざけることを特徴とする樹脂組成物の塗布方法。A resin composition is formed on a substrate by using a coating apparatus having a nozzle for discharging the resin composition and a mask provided in front of the nozzle tip and spaced apart from the nozzle tip and having an opening for guiding the resin composition discharged from the nozzle. A method of applying to a surface,
The resin composition discharged from the nozzle in contact with the substrate surface is applied to the substrate surface through the opening ,
A method for applying a resin composition, comprising: applying a resin composition to a substrate surface; and moving the nozzle away from the substrate surface while rotating the mask .
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000002771A JP4312914B2 (en) | 2000-01-11 | 2000-01-11 | Resin composition coating method and coating apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000002771A JP4312914B2 (en) | 2000-01-11 | 2000-01-11 | Resin composition coating method and coating apparatus |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001191003A JP2001191003A (en) | 2001-07-17 |
JP4312914B2 true JP4312914B2 (en) | 2009-08-12 |
Family
ID=18531828
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000002771A Expired - Fee Related JP4312914B2 (en) | 2000-01-11 | 2000-01-11 | Resin composition coating method and coating apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4312914B2 (en) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004216290A (en) * | 2003-01-15 | 2004-08-05 | Tdk Corp | Nozzle for paste application and apparatus and method for paste application |
JP4647504B2 (en) * | 2006-01-24 | 2011-03-09 | 日本電信電話株式会社 | Solution discharge apparatus and solution discharge method |
JP2009142729A (en) * | 2007-12-12 | 2009-07-02 | Toshiba Corp | Needle unit and dispenser apparatus |
CN103521395B (en) * | 2013-10-28 | 2016-02-03 | 合肥京东方光电科技有限公司 | A kind of coating unit |
-
2000
- 2000-01-11 JP JP2000002771A patent/JP4312914B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001191003A (en) | 2001-07-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4396140A (en) | Method of bonding electronic components | |
JP5198709B2 (en) | Method, apparatus and use for applying viscous media to a substrate | |
JP4312914B2 (en) | Resin composition coating method and coating apparatus | |
JP2001160563A (en) | Underfilling method for semiconductor device | |
JP4347294B2 (en) | Method and apparatus for coating a printed circuit board with a laser structurable thermosetting solder stop lacquer and electroresist | |
TW201519718A (en) | Paste printing apparatus and paste printing method | |
CN103762183B (en) | Manufacturing technology for fan-out-type square chip level packaging | |
JP2013135114A (en) | Coating method and device for anisotropic conductive paste | |
JP2004047874A (en) | Flux transferring device | |
KR20000046722A (en) | Method for direct attachment bonding semiconductor chips | |
JP3565032B2 (en) | Method of forming solder bumps | |
JP2000059011A (en) | Electronic circuit substrate | |
JP2001244286A (en) | Method of forming globular electrode, projecting pole of semiconductor device, and mount substrate | |
JPH11156259A (en) | Method of applying material having fluidity and device thereof | |
CN115910848A (en) | Dipping device, chip mounting device and method for manufacturing semiconductor device | |
JP2004025052A (en) | Apparatus for applying resin | |
JP4618549B2 (en) | Bump formation method | |
JP2005013841A (en) | Coater and coating method | |
JPH01143291A (en) | Equipment for applying conductive paste to electronic parts | |
JP2006165092A (en) | Solder printing method | |
JP2004344773A (en) | Viscous fluid coater | |
JP2006147960A (en) | Semiconductor device manufacturing method and viscous liquid coating method | |
JPH02181448A (en) | Die bonding device | |
JPH0992646A (en) | Method and device for coating passivation material | |
JPH11103155A (en) | Formation of solder bump |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061027 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090115 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090313 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090416 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090514 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120522 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |