JP4309234B2 - Lower mold chase replacement method for mold equipment for vacuum forming - Google Patents
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Description
本発明は、ワークをクランプしてキャビティ内を減圧して成形可能な減圧成形対応金型装置の下型チェイス交換方法に関する。 The present invention relates to a lower mold chase exchange method for a mold apparatus for pressure reduction molding capable of forming a work by clamping a work and decompressing the inside of a cavity.
近年、パッケージ部(樹脂封止部)が小型化・薄型化しており、基板と樹脂との密着性を高めるためには、ワークをクランプしたモールド金型に形成されるキャビティ内よりエアー吸引を行って減圧空間を形成しながら、トランスファー成形により溶融樹脂を圧送りして充填したり、ワークに直接樹脂を供給して圧縮成形する減圧成形対応の金型装置が用いられている。 In recent years, the package part (resin sealing part) has become smaller and thinner, and in order to improve the adhesion between the substrate and the resin, air is sucked from the cavity formed in the mold that clamps the workpiece. Thus, while forming a reduced pressure space, a die apparatus compatible with reduced pressure molding is used, in which molten resin is pumped and filled by transfer molding, or the resin is directly supplied to a workpiece for compression molding.
例えば、トランスファー成形用の金型装置においては、上型インサート又は下型インサートが組み込まれるチェイスブロック(金型ブロック)がベースに取り付けられている(特許文献1参照)。そのチェイスブロック(金型ブロック)面に凹設されたキャビティに連通するエアーベントの外側位置に、シール部材を取り付けてクランプすることによりシール性を保持するようになっている。
また、真空ポンプによりキャビティ若しくはポット内の空気を排気して真空を形成するため、型パッキンがキャビティを形成する金型のクランプ面、ピストンの摺動面(外周面)、ピストン軸などに嵌め込まれている(特許文献2参照)。
For example, in a mold apparatus for transfer molding, a chase block (mold block) into which an upper mold insert or a lower mold insert is incorporated is attached to a base (see Patent Document 1). A sealing member is attached and clamped at an outer position of an air vent communicating with a cavity recessed in the surface of the chase block (mold block) so as to maintain the sealing performance.
In addition, because the vacuum pump exhausts the air in the cavity or pot to form a vacuum, the mold packing is fitted into the mold clamping surface, piston sliding surface (outer peripheral surface), piston shaft, etc. that form the cavity. (See Patent Document 2).
しかしながら、金型装置は、金型ブロックどうしの組み付けにより構成されているため、クランプ面に形成される隙間よりエアーが漏れ易く、キャビティに所望の減圧空間を形成することが困難であった。特に、トランスファー成形による減圧成形を行う場合には、ポットとベース間の隙間、エジェクタピンプレートを突き上げる突き上げロッドの周囲の隙間などからエアーの漏れが生じてキャビティ内に所望の減圧空間が形成できないという課題があった。
また、成形品の品種が変わった場合に金型交換を行う必要があり、また例えばトランスファー成形と圧縮成形とで成形方法が変った場合には異なる金型装置を用いる必要がある。何れの場合にもパッケージ部が小型化・薄型化しているため、成形品質を向上するため減圧(或いは真空)成形を行うニーズは高い。このため、成形品種毎に専用の金型装置が必要になり、製造コストが増大する。
更にはトランスファー成形の場合、金型チェイスを品種交換により交換する場合、金型ベースより金型チェイスを引きに抜いたり、ポットインサートなどのインサートブロックを引き抜く際に、シール材が損傷するおそれがあり、金型交換作業を考慮するとシール材を設け難い。
However, since the mold apparatus is configured by assembling mold blocks, air easily leaks from a gap formed on the clamp surface, and it is difficult to form a desired decompression space in the cavity. In particular, when performing pressure reduction molding by transfer molding, air leaks from the gap between the pot and base, the gap around the push-up rod that pushes up the ejector pin plate, and the desired pressure reduction space cannot be formed in the cavity. There was a problem.
Further, it is necessary to exchange the mold when the type of the molded product changes, and it is necessary to use a different mold apparatus when the molding method is changed between, for example, transfer molding and compression molding. In any case, since the package part is reduced in size and thickness, there is a high need for performing reduced pressure (or vacuum) molding in order to improve molding quality. For this reason, a dedicated mold apparatus is required for each molding type, and the manufacturing cost increases.
Furthermore, in the case of transfer molding, when the mold chase is changed by changing the product type, the seal material may be damaged when the mold chase is pulled out from the mold base or when an insert block such as a pot insert is pulled out. Considering the mold replacement work, it is difficult to provide a sealing material.
本発明の目的は、上記従来技術の課題を解決し、金型クランプ状態のシール性を向上させてキャビティに所望の減圧空間を形成し、しかもシール材を損傷することなく下型チェイスを交換可能な減圧成形対応金型装置の下型チェイス交換方法を提供することにある。 The object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, improve the sealing performance in the mold clamp state, form a desired decompression space in the cavity, and replace the lower mold chase without damaging the sealing material Another object of the present invention is to provide a method for exchanging the lower mold chase of a mold apparatus compatible with vacuum molding .
上型ベースに支持された上型チェイスを備えた上型と、チェイスサポートプレートを介して下型ベース上に組み付けられ、該下型ベース上面側にチェイス固定部材が組み付けられて下型ベースに固定された下型チェイスと、該下型チェイスに吊下げ支持された下型エジェクタピンプレートと、ポットインサートを介して前記下型チェイスに組み付けられたポットと、型開きにより下型ベースに対して相対的に上方に突き出して下型エジェクタピンプレートを下型チェイスに密着させるように突き上げる突き上げロッドと、を有する下型を備え、下型ベースに組み付けられるプランジャが上下動するプランジャ孔に連通する隙間をシールするシール材、前記ポットの下端部と前記チェイスサポートプレートとの隙間に設けられたシール材、及び下型エジェクタピンプレートを押動する突き上げロッドのロッド孔に連通する隙間をシールするシール材が各々設けられているモールド金型によって半導体チップが基板上に搭載されたワークがクランプされ、前記上型ベースと下型ベースとの間でシール材がクランプされてクランプ面に連通する隙間が遮断され、キャビティの周縁部に設けられたエアーベントから金型ブロック間の隙間を通じてエアー吸引することでキャビティ内の空気を金型外へ排気しつつ減圧成形が行われる減圧成形対応金型装置の下型チェイス交換方法であって、型開き状態で前記下型チェイスより前記チェイス固定部材を取り外す工程と、前記下型ベースを下動させて該下型ベースに対して相対的に上方に前記突き上げロッドを突き出させることにより前記下型エジェクタピンプレートを介して前記下型チェイスを前記下型ベースの支持面より押し上げて支持し、該支持面と前記下型チェイスとの間に隙間を形成すると共に前記ポットの下端部と前記チェイスサポートプレートとの隙間を形成する工程と、前記支持面と下型チェイスとの隙間に手前側から支えロッドを挿入し、前記下型ベースを上動させて該下型ベースに対して相対的に前記突き上げロッドを下動させて前記下型チェイスを下型エジェクタピンプレートと共に支えロッドにより支持する工程と、前記下型チェイスを囲む手前側の金型ブロックを取り外して当該下型チェイスを手前側へ引き出して交換する工程と、を含むことを特徴とする。
また、上型ベースに支持された上型チェイスを備えた上型と、下面側を下型ベースに支持されるとともに上面側にチェイス固定部材が組み付けられて下型ベースに固定された下型チェイスと、該下型チェイスに吊下げ支持された下型エジェクタピンプレートと、型開きにより下型ベースに対して相対的に上方に突き出して下型エジェクタピンプレートを下型チェイスに密着させるように突き上げる突き上げロッドと、を有する下型を備え、下型ベースに組み付けられるプランジャが上下動するプランジャ孔に連通する隙間をシールするシール材及び下型エジェクタピンプレートを押動する突き上げロッドのロッド孔に連通する隙間をシールするシール材が各々設けられているモールド金型によって半導体チップが基板上に搭載されたワークがクランプされ、前記上型ベースに上型チェイスの外側を囲んで固定された外気遮断部材が前記上型ベースと下型ベースとの間でシール材を介してクランプされてクランプ面に連通する隙間が遮断され、キャビティの周縁部に設けられたエアーベントから金型ブロック間の隙間を通じてエアー吸引することでキャビティ内の空気を金型外へ排気しつつ減圧成形が行われる減圧成形対応金型装置の下型チェイス交換方法であって、前記モールド金型がクランプ状態で前記上型ベースと外気遮断部材との連繋を解除する工程と、前記下型を下動させて前記チェイス固定部材に前記外気遮断部材を載せたまま型開きを行なう工程と、前記下型チェイスより前記チェイス固定部材及び外気遮断部材を取り外す工程と、駆動機構により突き上げロッドを突き上げて前記下型エジェクタピンプレートを介して前記下型チェイスを前記下型ベースの支持面より押し上げて支持する工程と、前記支持面と下型チェイスとの隙間に支えロッドを挿入し、前記突き上げロッドを下動させて前記下型チェイスを下型エジェクタピンプレートと共に支えロッドにより支持する工程と、前記下型チェイスを囲む手前側の金型ブロックを取り外して当該下型チェイスを手前側へ引き出して交換する工程と、を含むことを特徴とする。
また、前記突き上げロッドは、前記下型の下動により下型ベースより相対的に上方へ突き上げて前記下型エジェクタピンプレートを下型チェイスに密着させるように押動し、前記駆動機構は当該突き上げられた突き上げロッドを更に上下動させることを特徴とする。 The upper die with the upper die chase supported by the upper die base and the lower die base are assembled via the chase support plate, and the chase fixing member is assembled to the lower die base and fixed to the lower die base. A lower die chase, a lower die ejector pin plate suspended and supported by the lower die chase, a pot assembled to the lower die chase via a pot insert, and a relative to the lower die base by mold opening. A lower die having a push-up rod that protrudes upward and pushes the lower die ejector pin plate into close contact with the lower die chase, and has a gap that communicates with a plunger hole in which a plunger assembled to the lower die base moves up and down. A sealing material for sealing, a sealing material provided in a gap between the lower end of the pot and the chase support plate, and Workpiece semiconductor chip by a molding die in which the seal member for sealing a gap which communicates with the rod hole of the push-up rod pushes the mold ejector pin plate is provided each of which is mounted on a substrate is clamped, the upper die base The sealing material is clamped between the lower die base and the gap communicating with the clamping surface is cut off, and air is sucked through the gap between the mold blocks from the air vent provided at the peripheral edge of the cavity, so that the inside of the cavity A lower mold chase replacement method for a vacuum molding compatible mold apparatus in which vacuum molding is performed while exhausting air out of the mold , the step of removing the chase fixing member from the lower mold chase in a mold open state, and the lower mold By moving the mold base downward and projecting the push-up rod upward relative to the lower mold base, the lower mold The lower die chase is supported by pushing it up from the support surface of the lower die base via an ejector pin plate, and a gap is formed between the support surface and the lower die chase, and the lower end of the pot and the chase support A step of forming a gap with the plate, and a support rod is inserted into the gap between the support surface and the lower die chase from the front side, and the lower die base is moved upward to move the lower die base relative to the lower die base. The process of supporting the lower die chase together with the lower die ejector pin plate by supporting the lower die by moving the push-up rod downward, removing the mold block on the near side surrounding the lower die chase and pulling the lower die chase to the near side And exchanging them.
In addition, an upper die provided with an upper die chase supported by the upper die base, and a lower die chase fixed to the lower die base with a lower surface base supported by the lower die base and a chase fixing member assembled to the upper surface side. And a lower die ejector pin plate suspended and supported by the lower die chase, and a lower die ejector pin plate protruding upward relative to the lower die base by opening the die so as to closely contact the lower die chase. A lower die having a push-up rod and a seal member for sealing a gap communicating with a plunger hole in which a plunger assembled to the lower die base moves vertically and a rod hole of a push-up rod that pushes a lower die ejector pin plate the semiconductor chip with a molding die sealant is provided each for sealing a gap that is mounted on the substrate workpiece The lamp, the gap fixed outside air blocking member surrounds the outside of the upper mold chase to the upper die base are communicated with each other through the sealing member is clamped to the clamping surface between the upper die base and the lower mold base A mold apparatus for reduced pressure molding that is cut off and is vacuum-formed while air is sucked out of the mold by sucking air through the gap between the mold blocks from the air vent provided at the peripheral edge of the cavity. A lower die chase replacement method, the step of releasing the connection between the upper die base and the outside air blocking member while the mold die is clamped, and the lower die is moved downward to block the outside air to the chase fixing member A step of opening the mold with the member placed thereon, a step of removing the chase fixing member and the outside air blocking member from the lower die chase, and a push-up rod projecting by the drive mechanism A step of pushing up and supporting the lower die chase from the support surface of the lower die base via the lower die ejector pin plate, and inserting a support rod into the gap between the support surface and the lower die chase, and pushing up The process of supporting the lower die chase together with the lower ejector pin plate by supporting the lower die by moving the rod downward, removing the mold block on the front side surrounding the lower die chase and pulling the lower die chase to the front side And a step of exchanging.
The push-up rod pushes up so that the lower die ejector pin plate is brought into close contact with the lower die chase by pushing the lower die downward relative to the lower die base. The pushed-up rod is further moved up and down.
上述した減圧成形対応金型装置を用いれば、上型ベースと下型ベースとの間でシール材を介してクランプされてクランプ面に連通する隙間を遮断する外気遮断部材が、上型チェイス及び下型チェイスの外側を囲んで着脱可能に設けられるので、金型クランプ状態において、クランプ面に連通する隙間を遮断して所望の減圧成形が行える。これにより、樹脂の流れ性が良く脱気も効果的に行えるので、小型化・薄型化したパッケージの成形品質を向上させることができる。
また、下型チェイスに組み付けられるプランジャが上下動するプランジャ逃げ孔、及びエジェクタピンプレートを押動する突き上げロッドのロッド孔に連通する隙間をシールするシール部材が各々設けられているので、トランスファー成形や圧縮成形に応じて上型チェイス及び下型チェイスを交換しても、上型ベース及び下型ベースを共用化することができ、金型の汎用性を向上させ、製造コストを削減できる。
更には、減圧成形対応金型装置の下型チェイス交換方法を用いれば、突き上げロッドは、型開き状態でエジェクタピンプレートを更に押動して下型チェイスを下型ベースより押し上げて支持可能に設けられているので、下型チェイスと下型ベースの支持面との間に支持部材を介在させてシール材と干渉せずに引き出して交換することができ、シール材が損傷するおそれはない。
By using the above-described mold apparatus for pressure reduction molding, the outside air blocking member that is clamped between the upper mold base and the lower mold base via the sealing material and blocks the gap communicating with the clamp surface is provided with the upper mold chase and the lower mold base. Since the outer periphery of the mold chase is provided so as to be detachable, a desired pressure reduction molding can be performed by blocking the gap communicating with the clamp surface in the mold clamp state. As a result, the flowability of the resin is good and the deaeration can be performed effectively, so that it is possible to improve the molding quality of a package that is reduced in size and thickness.
In addition, since a plunger escape hole in which the plunger assembled to the lower die chase moves up and down and a seal member that seals the gap communicating with the rod hole of the push-up rod that pushes the ejector pin plate are provided, transfer molding and Even if the upper mold chase and the lower mold chase are exchanged in accordance with the compression molding, the upper mold base and the lower mold base can be shared, and the versatility of the mold can be improved and the manufacturing cost can be reduced.
Furthermore, if the lower die chase replacement method is used, the push-up rod is provided so that it can be supported by pushing the ejector pin plate further in the mold open state and pushing the lower die chase up from the lower die base. Therefore, the support member is interposed between the lower die chase and the support surface of the lower die base, and can be pulled out and replaced without interfering with the seal material, so that the seal material is not damaged.
以下、本発明に係る減圧成形対応金型装置の下型チェイス交換方法の最良の実施形態について添付図面とともに詳細に説明する。減圧成形対応金型装置は、半導体チップが基板上に搭載されたワークがプレス部に搬入されモールド金型にクランプされてキャビティ内の空気を金型外へ排気して減圧成形が行えるトランスファー成形や圧縮成形などの樹脂封止装置に広く適用できる。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the best embodiment of a lower mold chase replacement method according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The mold equipment for vacuum molding is transfer molding that can carry out vacuum molding by discharging the air in the cavity to the outside of the mold after the work with the semiconductor chip mounted on the substrate is carried into the press part and clamped to the mold. It can be widely applied to resin sealing devices such as compression molding.
本実施例では、トランスファー成形に用いられる減圧成形対応金型装置について説明する。
図1(a)(b)を参照して下型の構成について説明する。図示しない下型プラテンには、下型ベース1が支持されている。下型ベース1には、チェイスサポートプレート2を介して下型エジェクタピンプレート3及び下型チェイス4が組み付けられる。チェイスサポートプレート2と下型チェイス4との間には図示しないサポートブロックがあり、下型チェイス4はチェイスサポートプレート2を介して下型ベース1に支持されている。チェイスサポートプレート2は、下型チェイス4を交換したときポット位置やポット数が変わるときには交換される。下型エジェクタピンプレート3は、図示しない下型エジェクタピンが立設されており、下型チェイス4を挿通してキャビティインサート5に突き出し可能に嵌め込まれている。下型エジェクタピンプレート3は、下型チェイス4に対して若干スペースを設けて吊下げ支持されており、型開きにより図示しない下型プラテンが下動すると相対的に上動する突き上げロッド12により突き上げられて下型チェイス4の下面に密着してエジェクタピンをキャビティインサート5より突き出すようになっている。下型チェイス4には、ポット6が複数設けられたポットインサート7、キャビティ凹部8が凹設されたキャビティインサート5、エンドブロック9、下型チェイス4の長手方向のセット位置を調整する下型チェイスセットブロック10などが組み付けられる(図1(a)参照)。また、手前側の下型チェイスセットブロック10の外方には下型チェイスガイドブロック44が組み付けられている。下型チェイスガイドブロック44は手前側の下型チェイスセットブロック10と一体でも良く、この場合には下型チェイス4を引き出すときに共に取り外される。下型チェイスガイドブロック44はチェイス固定部材14の下に密着して密閉空間を形成している。下型チェイスセットブロック10の高さをパーティング面近くまで高くしておくと吸引体積を少なくできる。
In the present embodiment, a depressurization-molding mold apparatus used for transfer molding will be described.
A configuration of the lower mold will be described with reference to FIGS. A
また、下型ベース1には、チェイスサポートプレート2を挿通してポット6内を上動可能なプランジャ11が組み付けられている。また、下型ベース1にはチェイスサポートプレート2を挿通して下型エジェクタピンプレート3に突き当て可能な突き上げロッド12が組み付けられている。更に、下型ベース1には、下型チェイス4及びインサートを加熱するヒータ13が設けられている(図1(b)参照)。
The
図1(b)において、下型チェイス4はチェイス固定部材14により下型ベース1に固定されている。チェイス固定部材14と下型ベース1との突き当て面にはシール材S1が設けられている。また、プランジャ11が上下動するプランジャ逃げ孔15に連通する下型ベース1とチェイスサポートプレート2との隙間にはシール材S2が設けられている。また、ポット5の下端部とチェイスサポートプレート2との隙間にはポット孔に連通する隙間をシールするシール材S3が設けられている。更に、突き上げロッド12が嵌め込まれた下型ベース1のロッド孔16の周囲にはロッド係止部17との間で隙間をシール可能なシール材S4が設けられている。尚、突き上げロッド12は、下型プラテンの下動により下型ベース1に対して相対的に上方に突き出るが、シリンダ駆動、モータ駆動などの駆動機構により更に上下動させることができるように設けられている。
In FIG. 1B, the
次に、上型の構成について図2(a)(b)を参照して説明する。
図2(b)において、図示しない上型プラテンには、上型ベース18が支持されている。上型ベース18には、チェイスサポートプレート19を介して上型エジェクタピンプレート20及び上型チェイス21が組み付けられる。チェイスサポートプレート19と上型チェイス21との間には図示しないサポートブロックがあり、上型チェイス21はチェイスサポートプレート19を介して上型ベース19に支持されている。
上型エジェクタピンプレート20は、図示しない上型エジェクタピンが立設されており、上型チェイス21を挿通してキャビティインサート22に突き出し可能に嵌め込まれている。上型エジェクタピンプレート20は、型開きするとエジェクタピンをキャビティインサート22より突き出すように上型チェイス21より若干スペースを設けて吊下げ支持されている。型開きすると上型エジェクタピンプレート20が上型チェイス21に密着するように動作したエジェクタピンを突き出す。上型エジェクタピンプレート20は上型チェイス21に密着するように付勢され、下型エジェクタピンプレート3は下型チェイス4から離間するよう付勢されている。
上型チェイス21には、キャビティ凹部23、金型カル33、金型ランナゲート34が凹設されたキャビティインサート22、エンドブロック24、上型チェイス21の長手方向のセット位置を調整する上型チェイスセットブロック25などが組み付けられる(図2(a)参照)。また、手前側の上型チェイスセットブロック25の外方には上型チェイスガイドブロック45が組み付けられている。手前側の上型チェイスガイドブロック45は上型チェイスセットブロック25と一体でも良く、この場合上型チェイス21を引き出すときに共に取り外される。
更に、手前側の上型チェイスガイドブロック45には、外気遮断部材29の側面に形成された吸引手段32に連通する吸引孔32aに対応する位置に吸引溝32bが設けられている。上型チェイスセットブロック25、上型チェイスガイドブロック45の高さをパーティング面近くまで高くしておくと吸引体積を少なくできる。
Next, the structure of the upper mold will be described with reference to FIGS.
In FIG. 2B, an
The upper mold
The
Further, the upper
図2(b)において、上型チェイス21はチェイス支持ブロック26及びチェイス固定部材27により上型ベース18に支持されている。上型ベース18には、上型チェイス21及びインサートを加熱するヒータ28が設けられている。上型ベース18には、下型ベース1のチェイス固定部材14との間でクランプ可能な外気遮断部材29が、上型チェイス21及び下型チェイス1の外側を囲んで着脱可能に設けられる。外気遮断部材29は、型閉じ状態で断面コ字状のリンク材(取付レール)30により上型ベース21と一体に連繋するように組み付けられる。これにより、上型チェイス21を引き出す場合の外気遮断部材29の据え付け除去作業を簡略化することができる。
In FIG. 2B, the
図2(b)において、外気遮断部材29のクランプ面にはシール材S5及びシール材S6が嵌め込まれる。具体的には、外気遮断部材29の上面にはシール材S5が嵌め込まれており、外気遮断部材29の下面にはシール材S6が嵌め込まれている。これらのシール材S5、S6により金型内部と連通する隙間を遮断するようになっている。上記シール材S5、S6は外気遮断部材29に予め嵌め込まれているが、外気遮断部材29より上下に突出する向きに付勢された可動ブロックに嵌め込まれていても良い。図2(a)において、キャビティインサート22のキャビティ凹部23内のエアーは、エアーベント31を通じて金型ブロック間の隙間を通じて真空ポンプなどの吸引手段32によりエアー吸引されてキャビティ内が減圧される。これにより、エアー吸引する金型空間の体積を可及的に減らして(好ましくは1リットル以下)効率的に減圧が行える。
In FIG. 2 (b), the sealing
金型装置がワークをクランプした状態で、吸引手段32を作動させてキャビティ内を減圧した状態で、ポット6より金型カル33、金型ランナゲート34を通じてキャビティ内へ溶融した樹脂が圧送りされる。このとき、キャビティ空間を含む外気遮断部材29により囲まれた閉空間は、ポット6の周囲や突き上げロッド12の周囲などのエアーが漏れ易い箇所がシールされており減圧状態が良好に維持される。これにより、樹脂の流れ性が良く脱気も効果的に行えるので、小型化・薄型化したパッケージの成形品質を向上させることができる。
With the mold device clamping the work, the suction means 32 is operated to decompress the inside of the cavity, and the molten resin is pumped from the
次に、上述した減圧成形対応金型装置の金型チェイス交換方法について図3(a)(b)を参照して説明する。
図3(a)において、金型装置をクランプ状態にしたまま、取付レール30を取り外して上型ベース18と外気遮断部材29との連繋を解除する。次に、可動型である下型を移動させて、下型のチェイス固定部材14に外気遮断部材29を載せたまま型開きを行う。型開きした状態で上型チェイス21は、チェイスセットブロック25及び上型チェイスガイドブロック45を取り外すことで手前側に引き出すことができる。
Next, a method for exchanging the mold chase of the above-described mold apparatus for decompression molding will be described with reference to FIGS.
In FIG. 3A, the mounting
図3(b)において、チェイス固定部材14より外気遮断部材29を取り外し、下型ベース1よりチェイス固定部材14を取り外す。この型開き状態で、図示しない駆動機構により突き上げロッド12を突き上げると、下型チェイス4が下型ベース1の支持面35より若干押し上げられて突き上げロッド12に一旦支持される。このとき下型チェイス4と下型ベース1との間に両側で形成された隙間に支えロッド36を挿入する。ロッド挿入後、突き上げロッド12を下動させて下型チェイス4を下型エジェクタピンプレート3と共に支えロッド36に支持するまで退避させる。この状態で、下型チェイス4はチェイスセットブロック10及び下型チェイスガイドブロック44を取り外すことで手前側に引き出すことができる。下型チェイス4を引き出す際に、ポット6の下端とチェイスサポートプレート2との間に十分な間隔が確保できるので、シール材S3を破損するおそれはない。
In FIG. 3B, the outside
次に減圧成形対応金型装置の他例について説明する。前記実施例はトランスファー成形用の金型装置について説明したが、これに限定されるものではなく、圧縮成形用の金型装置であっても良い。以下、トランスファー成形用の金型装置と異なる構成を中心に説明する。
図4において、下型の構成について説明すると、図1と同様の下型ベース1、チェイスサポートプレート2を用いているところは同じであるが、ポット6やプランジャ11は圧縮成形用では装備されない点が異なる。下型ベース1には突き上げロッド12及びプランジャ逃げ孔15が設けられているので下型ベース1はトランスファー成形用と共用できる。下型ベース1には突き上げロッド12及び下型エジェクタピンプレート3が同様に設けられている。尚、下型チェイス40は、チェイス上面がワーク搭載面となるためインサートは設けられておらず、下型エジェクタピンプレート3には成形後ワークを取り出すとき突き上げるためのワークエジェクタピンが設けられている。下型チェイス40は、下型ベース1にチェイス固定部材14により固定されているのは同様である。プランジャ逃げ孔15に連通する下型ベース1とチェイスサポートプレート2との隙間にはシール材S2が設けられており、突き上げロッド12が嵌め込まれたロッド孔16の周囲にはロッド係止部17との間で隙間をシール可能なシール材S4が設けられている。
Next, another example of the mold apparatus for pressure reduction molding will be described. In the above-described embodiment, the transfer molding mold apparatus has been described. However, the present invention is not limited to this, and may be a compression molding mold apparatus. In the following, a description will be given focusing on the configuration different from the mold apparatus for transfer molding.
In FIG. 4, the structure of the lower mold will be described. The
次に上型の構成について説明すると、図2と同様の上型ベース18、チェイスサポートプレート19を用いており、上型エジェクタピンプレート20が同様に設けられている。上型
チェイス41はチェイス下面がキャビティ凹部を形成するためインサートは設けられていない。また上型チェイス41の外周側にはキャビティ凹部を形成する可動ブロック42が吊下げ支持されている。上型チェイス41と可動ブロック42の間にはスプリング43が弾装されており、可動ブロック42は下方へ付勢されている。上型チェイス41は、チェイス支持ブロック26及びチェイス固定部材27により上型ベース18に支持されている。尚、外気遮断部材29は上型ベース18と下型ベース1のチェイス固定部材14との間でクランプされるのは同様であり、シール材の配置構成も同様である。外気遮断部材29は上型ベース18に取付レール30により連繋する構成や外気遮断部材29のクランプ面にはシール材S5及びシール材S6が嵌め込まれる構成も同様である。
Next, the structure of the upper mold will be described. The
ワークは下型チェイス40に載置されて、ワーク上に樹脂(固形、粒状、液状樹脂等)が供給されて上型チェイス41の可動ブロック42との間でクランプされる。この状態で、図示しない吸引手段を作動させてキャビティを含むキャビティ内を減圧した状態で、溶融した樹脂を圧縮成形する。このとき、キャビティ空間を含む外気遮断部材29により囲まれた閉空間は、プランジャ逃げ孔15の周囲や突き上げロッド12の周囲などのエアーが漏れ易い箇所がシールされており減圧状態が良好に維持される。
The workpiece is placed on the
上型チェイス41の交換は、金型を型開きした状態で同様に行うことができ、下型チェイス40の交換は、突き上げロッド12により下型チェイス40を下型ベース1より浮かせた状態で支持面35に支えロッド36を挿入して行う点も同様である。
The
このように、外気遮断部材30及びシール材を用いてシール性さえ維持できれば、減圧成形を行う場合トランスファー成形と圧縮成形とで下型ベース1及び上型ベース18とを共用することができるので、金型の汎用性を向上させて製造コストを削減できる。
Thus, as long as the sealing performance can be maintained using the outside
尚、上述した実施例では、トランスファー成形において両面パッケージ用の金型を例示したが片面パッケージ用の金型でも良く、ワークはリードフレーム、樹脂基板、テープ、フィルム等の何れであっても良い。また、圧縮成形用のワークは、ウエハや樹脂基板の何れでも良い等発明の本旨を逸脱しない範囲で様々な改変が可能である。 In the above-described embodiment, the mold for the double-sided package is exemplified in the transfer molding, but the mold for the single-sided package may be used, and the work may be any of a lead frame, a resin substrate, a tape, a film, and the like. The work for compression molding can be variously modified without departing from the spirit of the invention, such as either a wafer or a resin substrate.
1 下型ベース
2、19 チェイスサポートプレート
3 下型エジェクタピンプレート
4、40 下型チェイス
5、22 キャビティインサート
6 ポット
7 ポットインサート
8、23 キャビティ凹部
9、24 エンドブロック
10、25 チェイスセットブロック
11 プランジャ
12 突き上げロッド
13、28 ヒータ
14、27 チェイス固定部材
15 プランジャ逃げ孔
16 ロッド孔
17 ロッド係止部
18 上型ベース
20 上型エジェクタピンプレート
21、41 上型チェイス
26 チェイス支持ブロック
29 外気遮断部材
30 取付レール
31 エアーベント
32 吸引手段
32a 吸引孔
32b 吸引溝
33 金型カル
34 金型ランナゲート
35 支持面
36 支えロッド
42 可動ブロック
43 スプリング
44、45 チェイスガイドブロック
1
Claims (3)
型開き状態で前記下型チェイスより前記チェイス固定部材を取り外す工程と、
前記下型ベースを下動させて該下型ベースに対して相対的に上方に前記突き上げロッドを突き出させることにより前記下型エジェクタピンプレートを介して前記下型チェイスを前記下型ベースの支持面より押し上げて支持し、該支持面と前記下型チェイスとの間に隙間を形成すると共に前記ポットの下端部と前記チェイスサポートプレートとの隙間を形成する工程と、
前記支持面と下型チェイスとの隙間に手前側から支えロッドを挿入し、前記下型ベースを上動させて該下型ベースに対して相対的に前記突き上げロッドを下動させて前記下型チェイスを下型エジェクタピンプレートと共に支えロッドにより支持する工程と、
前記下型チェイスを囲む手前側の金型ブロックを取り外して当該下型チェイスを手前側へ引き出して交換する工程と、を含むことを特徴とする減圧成形対応金型装置の下型チェイス交換方法。 The upper die with the upper die chase supported by the upper die base and the lower die base are assembled via the chase support plate, and the chase fixing member is assembled to the lower die base and fixed to the lower die base. A lower die chase, a lower die ejector pin plate suspended and supported by the lower die chase, a pot assembled to the lower die chase via a pot insert, and a relative to the lower die base by mold opening. A lower die having a push-up rod that protrudes upward and pushes the lower die ejector pin plate into close contact with the lower die chase, and has a gap that communicates with a plunger hole in which a plunger assembled to the lower die base moves up and down. A sealing material for sealing, a sealing material provided in a gap between the lower end of the pot and the chase support plate, and Workpiece semiconductor chip by a molding die in which the seal member for sealing a gap which communicates with the rod hole of the push-up rod pushes the mold ejector pin plate is provided each of which is mounted on a substrate is clamped, the upper die base The sealing material is clamped between the lower die base and the gap communicating with the clamping surface is cut off, and air is sucked through the gap between the mold blocks from the air vent provided at the peripheral edge of the cavity, so that the inside of the cavity A lower mold chase replacement method for a vacuum molding compatible mold apparatus in which vacuum molding is performed while exhausting air out of the mold ,
Removing the chase fixing member from the lower chase in a mold open state;
The lower mold base is moved downwardly to project the push-up rod relatively upward with respect to the lower mold base, thereby allowing the lower mold chase to support the lower mold base via the lower mold ejector pin plate. Supporting by pushing up more, forming a gap between the support surface and the lower mold chase and forming a gap between the lower end of the pot and the chase support plate;
A support rod is inserted into the gap between the support surface and the lower die chase from the front side, the lower die base is moved upward, and the push-up rod is moved downward relative to the lower die base to move the lower die Supporting the chase together with the lower ejector pin plate by a support rod;
And a step of removing the mold block on the near side surrounding the lower mold chase and exchanging the lower mold chase toward the front side for replacement.
前記モールド金型がクランプ状態で前記上型ベースと外気遮断部材との連繋を解除する工程と、
前記下型を下動させて前記チェイス固定部材に前記外気遮断部材を載せたまま型開きを行なう工程と、
前記下型チェイスより前記チェイス固定部材及び外気遮断部材を取り外す工程と、
駆動機構により突き上げロッドを突き上げて前記下型エジェクタピンプレートを介して前記下型チェイスを前記下型ベースの支持面より押し上げて支持する工程と、
前記支持面と下型チェイスとの隙間に支えロッドを挿入し、前記突き上げロッドを下動させて前記下型チェイスを下型エジェクタピンプレートと共に支えロッドにより支持する工程と、
前記下型チェイスを囲む手前側の金型ブロックを取り外して当該下型チェイスを手前側へ引き出して交換する工程と、を含むことを特徴とする減圧成形対応金型装置の下型チェイス交換方法。 An upper die provided with an upper die chase supported by the upper die base, a lower die chase fixed to the lower die base with a lower surface base supported by the lower die base and a chase fixing member assembled to the upper surface side; Lower die ejector pin plate suspended and supported by the lower die chase, and a push-up rod that protrudes upward relative to the lower die base by opening the die so as to stick the lower die ejector pin plate to the lower die chase And a seal material that seals a clearance communicating with a plunger hole in which a plunger assembled to the lower mold base moves up and down, and a clearance communicating with a rod hole of a push-up rod that pushes a lower mold ejector pin plate Clan semiconductor chip is mounted on a substrate with a molding die sealing material for sealing is provided, each work is It is, cut off a gap that communicates clamped to the clamping surface via the sealing material between the upper mold chase outside the enclosing fixed ambient air shutoff member the upper die base and the lower mold base to the upper die base Under the reduced pressure molding-compatible mold apparatus in which vacuum suction is performed while the air in the cavity is exhausted outside the mold by sucking air through the gap between the mold blocks from the air vent provided at the peripheral edge of the cavity. A type chase replacement method ,
Releasing the connection between the upper mold base and the outside air blocking member when the mold is clamped;
Lowering the lower mold and opening the mold with the outside air blocking member placed on the chase fixing member; and
Removing the chase fixing member and the outside air blocking member from the lower mold chase;
A step of pushing up a push-up rod by a driving mechanism and pushing the lower die chase up from a support surface of the lower die base via the lower die ejector pin plate;
Inserting a support rod into the gap between the support surface and the lower die chase, moving the push-up rod downward and supporting the lower die chase together with the lower die ejector pin plate by the support rod;
And a step of removing the mold block on the near side surrounding the lower mold chase and exchanging the lower mold chase toward the front side for replacement.
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