JP5776093B2 - Resin sealing device - Google Patents

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Description

本発明は、樹脂封止装置に適用して有効な技術に関する。   The present invention relates to a technique effective when applied to a resin sealing device.

特開2009−190400号公報(特許文献1)には以下の工程を含むトランスファ成形方法が開示されている。まず、モールド金型に搬入されたワークをキャビティ駒(キャビティブロックともいう)が成形品の厚さ寸法より所定厚だけ後退した退避位置まで移動してクランパ(クランパブロックともいう)によりクランプする。次いで、クランパがワークをクランプしたままプランジャを作動させてキャビティ凹部内へ溶融樹脂を充填して所定の第1保圧を維持する。樹脂充填後、キャビティ駒を成形品の厚さ寸法に対応する成形位置までさらに押し出してキャビティ凹部内の余剰樹脂をゲートからポット側へ押し戻す。次いで、プランジャを再度作動させて第1保圧より高い第2保圧を維持したまま封止樹脂を加熱硬化させる。   Japanese Unexamined Patent Publication No. 2009-190400 (Patent Document 1) discloses a transfer molding method including the following steps. First, the workpiece carried into the mold is moved to a retracted position where the cavity piece (also referred to as a cavity block) is retracted by a predetermined thickness from the thickness of the molded product, and is clamped by a clamper (also referred to as a clamper block). Next, the plunger is operated while the clamper clamps the workpiece, and the cavity is filled with molten resin to maintain a predetermined first holding pressure. After filling the resin, the cavity piece is further pushed out to the molding position corresponding to the thickness dimension of the molded product, and the excess resin in the cavity recess is pushed back from the gate to the pot side. Next, the plunger is operated again to heat and cure the sealing resin while maintaining the second holding pressure higher than the first holding pressure.

特開2009−190400号公報JP 2009-190400 A

図11に本発明者らが検討した樹脂封止装置101の要部断面を模式的に示す。樹脂封止装置101は、特許文献1で開示されたようなトランスファ成形を行うものである。この樹脂封止装置101は、キャビティブロック7でキャビティ11の底部を、クランパブロック108でキャビティ11の側部を形成し、型閉じ動作に応じてクランパブロック108を上下動させてキャビティ11の容積が可変となるようにしている。以下の説明では、上金型103を固定型、下金型104を可動型として説明する。   FIG. 11 schematically shows a cross-section of the main part of the resin sealing device 101 studied by the present inventors. The resin sealing device 101 performs transfer molding as disclosed in Patent Document 1. In this resin sealing device 101, the cavity block 7 forms the bottom of the cavity 11, and the clamper block 108 forms the side of the cavity 11, and the volume of the cavity 11 is increased by moving the clamper block 108 up and down according to the mold closing operation. It is designed to be variable. In the following description, the upper mold 103 is described as a fixed mold, and the lower mold 104 is described as a movable mold.

樹脂封止装置101では、まず、型開きした金型102にワークWを搬入し、クランパブロック108によりワークWをクランプする。このときキャビティブロック7が成形品の厚さ寸法に対応する成形位置よりも後退した退避位置にあるため、キャビティ11の容積は、キャビティブロック7が成形位置にある場合よりも大きくなっている。   In the resin sealing device 101, first, the workpiece W is carried into the mold 102 that has been opened, and the workpiece W is clamped by the clamper block 108. At this time, since the cavity block 7 is in the retracted position retracted from the molding position corresponding to the thickness dimension of the molded product, the volume of the cavity 11 is larger than when the cavity block 7 is in the molding position.

次いで、ワークWをクランプしたままプランジャ131を作動させてカル114およびゲート16を通じてキャビティ11内へ溶融した樹脂35を充填して所定の第1保圧を維持する。次いで、キャビティ11内に樹脂35を充填後、キャビティブロック7を成形位置まで押し出すように金型102を更にクランプしてキャビティ11内の余剰樹脂をゲート16からカル114側へ押し戻す。次いで、プランジャ131を再度作動させて第1保圧より高い第2保圧を維持したまま樹脂35を加熱硬化させる。   Next, the plunger 131 is operated while the workpiece W is clamped, and the molten resin 35 is filled into the cavity 11 through the cull 114 and the gate 16 to maintain a predetermined first holding pressure. Next, after the resin 35 is filled in the cavity 11, the mold 102 is further clamped so as to push the cavity block 7 to the molding position, and the excess resin in the cavity 11 is pushed back from the gate 16 to the cal 114 side. Next, the plunger 131 is actuated again to heat and cure the resin 35 while maintaining the second holding pressure higher than the first holding pressure.

そして、樹脂35の加熱硬化後、クランパブロック108がワークWをクランプしたまま下金型104を下動させて、まずキャビティブロック7が退避位置へ移動させ、次いでクランパブロック108がワークWより離間することにより成形品を上金型103から離型させる。その後、成形品が下金型104より取り出されて、必要に応じて下金型104のクランプ面がクリーニングされて1回分の成形動作が終了する。   Then, after the resin 35 is heated and cured, the lower mold 104 is moved downward while the clamper block 108 clamps the workpiece W, the cavity block 7 is first moved to the retracted position, and then the clamper block 108 is separated from the workpiece W. As a result, the molded product is released from the upper mold 103. Thereafter, the molded product is taken out from the lower mold 104, the clamp surface of the lower mold 104 is cleaned as necessary, and one molding operation is completed.

しかしながら、樹脂封止装置101では、下金型104から成形品を離型させることが難しい問題や、無理に離型させようとして、カル114やポット128内で硬化した樹脂35が割れてしまう問題が生じてしまう。これは、キャビティ11内の樹脂35が円筒状のポット128に押し戻されて硬化するため、すなわちポット128の深さ方向に樹脂35が入り込んで硬化するため、離型の際にポット128あるいはカル114内の樹脂35にストレスがかかり、割れてしまうものと考えられる。このような問題が生じた場合、離型できない樹脂35あるいは割れた樹脂35を取り除く必要があり、成形品の生産性を低下させてしまう。   However, in the resin sealing device 101, it is difficult to release the molded product from the lower mold 104, or the resin 35 hardened in the cull 114 or the pot 128 is cracked in an attempt to force release. Will occur. This is because the resin 35 in the cavity 11 is pushed back to the cylindrical pot 128 and hardens, that is, the resin 35 enters and cures in the depth direction of the pot 128, so that the pot 128 or the cal 114 is removed at the time of mold release. It is considered that the resin 35 inside is stressed and cracked. When such a problem arises, it is necessary to remove the resin 35 that cannot be released or the broken resin 35, which lowers the productivity of the molded product.

また、樹脂封止装置101では、円筒状のポット128内で上下動するプランジャ128の摺動抵抗が増加する問題が生じてしまう。これは、大きな容積のキャビティ11に樹脂35を充填するにあたり、プランジャ131をより上方に動かすため、プランジャ131の移動量が増え、プランジャ131の先端周囲から樹脂35が入り込み、プランジャ131とポット128との摺動抵抗が増加するためと考えられる。摺動抵抗が増加すると、例えば、キャビティ11内の余剰樹脂をゲート16からカル14側へ押し戻せず、キャビティブロック7を成形品の厚さ寸法に対応する成形位置に移動することができない。このような問題が生じた場合、入り込んだ樹脂35を取り除く必要があり、成形品の生産性を低下させてしまう。   Further, the resin sealing device 101 has a problem that the sliding resistance of the plunger 128 that moves up and down in the cylindrical pot 128 increases. This is because when the resin 35 is filled into the large volume cavity 11, the plunger 131 is moved further upward, so that the amount of movement of the plunger 131 is increased, and the resin 35 enters from the periphery of the tip of the plunger 131. This is thought to be due to an increase in the sliding resistance. When the sliding resistance increases, for example, excess resin in the cavity 11 cannot be pushed back from the gate 16 to the side of the cull 14, and the cavity block 7 cannot be moved to a molding position corresponding to the thickness dimension of the molded product. When such a problem arises, it is necessary to remove the resin 35 that has entered, and this reduces the productivity of the molded product.

また、樹脂封止装置101では、上金型103から成形品を容易に離型させるためにリリースフィルム18が上金型103のクランプ面に吸着されている。このリリースフィルム18は、キャビティ11内で成形位置と、これより所定厚だけ後退した退避位置との間で移動するため、破れてしまう問題が生じてしまう。このような問題が生じた場合、破れたリリースフィルム18を取り除く必要があり、成形品の生産性を低下させてしまう。   In the resin sealing device 101, the release film 18 is adsorbed to the clamp surface of the upper mold 103 in order to easily release the molded product from the upper mold 103. Since the release film 18 moves between the molding position in the cavity 11 and the retreat position retracted by a predetermined thickness from the molding position, there arises a problem that the release film 18 is torn. When such a problem arises, it is necessary to remove the torn release film 18, which reduces the productivity of the molded product.

本発明の目的は、樹脂封止装置によって成形される成形品の生産性を向上することのできる技術を提供することにある。本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。   The objective of this invention is providing the technique which can improve the productivity of the molded article shape | molded by the resin sealing apparatus. The above and other objects and novel features of the present invention will be apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。本発明の一実施形態における樹脂封止装置は、上下に対向して設けられた第1および第2金型を近接させてクランプし、ポットに供給された樹脂を上下動するプランジャで押し出して、カルおよびゲートを通じてキャビティに樹脂を圧送し、前記キャビティでワークを樹脂封止する樹脂封止装置であって、前記第1金型は、上下動により前記キャビティの容積を可変させ、第1貫通孔および第2貫通孔が形成された第1ブロックと、上下動により前記カルの容積を可変させ、前記第2貫通孔に挿入された第2ブロックと、前記第1貫通孔に挿入された第3ブロックとを有し、前記キャビティは、前記第3ブロックの前記第2金型側面および前記第1貫通孔の内周面を用いて形成され、前記ポットは、開口縁部に前記プランジャ側に傾斜するテーパ面と、該テーパ面と連続する内周面とを有し、前記第1ブロックを動かして樹脂が充填された前記キャビティの容積を小さくすると共に、前記ゲートを通じて前記カル側に樹脂を押し戻し、押し戻された樹脂にあわせて前記カルの容積を大きくするように前記第2ブロックおよび前記プランジャを動かした状態において、前記カルは、前記第2ブロックの前記第2金型側面および前記第2貫通孔の内周面を用いて形成される第1カル部と、前記プランジャの前記第1金型側面および前記ポットの前記テーパ面を用いて形成される第2カル部とが対向して設けられているものである。 Of the inventions disclosed in the present application, the outline of typical ones will be briefly described as follows. In one embodiment of the present invention, the resin sealing device clamps the first and second molds provided facing each other up and down, and extrudes the resin supplied to the pot with a plunger that moves up and down, the resin was pumped into the cavity through the cull and gate, the work in the cavity a resin sealing apparatus for resin encapsulation, wherein the first mold is varied the volume of the cavity by the vertical movement, the first through hole And a first block formed with a second through hole, a second block inserted into the second through hole, and a third block inserted into the first through hole. And the cavity is formed by using the second mold side surface of the third block and the inner peripheral surface of the first through hole, and the pot is inclined toward the plunger side at an opening edge portion Te And tapered surface, and an inner peripheral surface continuous with the tapered surface, with the resin by moving the first block to reduce the volume of the cavity filled, pushed back resin on the local side through the gate, in conjunction to the pushed back resin while moving the second block and the plunger so as to increase the volume of the cull, the cull, the second mold side and the second through hole of the second block The first cull portion formed using the inner peripheral surface of the first and second cull portions formed using the first mold side surface of the plunger and the tapered surface of the pot are provided to face each other. It is what.

本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次のとおりである。樹脂封止装置によって成形される成形品の生産性を向上することができる。   Of the inventions disclosed in the present application, effects obtained by typical ones will be briefly described as follows. Productivity of a molded product molded by the resin sealing device can be improved.

本発明の一実施形態における動作中の樹脂封止装置を模式的に示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows typically the resin sealing apparatus in operation | movement in one Embodiment of this invention. 図1に続く動作中における樹脂封止装置を模式的に示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows typically the resin sealing device in the operation | movement following FIG. 図2に続く動作中における樹脂封止装置を模式的に示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows typically the resin sealing device in the operation | movement following FIG. 図3に続く動作中における樹脂封止装置を模式的に示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows typically the resin sealing device in the operation | movement following FIG. 図4に続く動作中における樹脂封止装置を模式的に示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows typically the resin sealing device in the operation | movement following FIG. 図5に続く動作中における樹脂封止装置を模式的に示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows typically the resin sealing device in the operation | movement following FIG. 図6に続く動作中における樹脂封止装置を模式的に示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows typically the resin sealing device in the operation | movement following FIG. 本発明の他の実施形態における動作中の樹脂封止装置を模式的に示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows typically the resin sealing apparatus in operation | movement in other embodiment of this invention. 図8に続く動作中における樹脂封止装置を模式的に示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows typically the resin sealing device in the operation | movement following FIG. 本発明の他の実施形態における動作中における樹脂封止装置を模式的に示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows typically the resin sealing device in operation | movement in other embodiment of this invention. 本発明者らが検討した樹脂封止装置を模式的に示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows typically the resin sealing apparatus which the present inventors examined.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施形態を説明するための全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する場合がある。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Note that components having the same function are denoted by the same reference symbols throughout the drawings for describing the embodiments, and the repetitive description thereof may be omitted.

(実施形態1)
図1〜図7に、本実施形態における樹脂封止装置1Aの要部である金型2の断面を示す。なお、図1〜図7では1点鎖線から右側(片側)の金型2を示しているが、左側も同様の構成となっている。
(Embodiment 1)
The cross section of the metal mold | die 2 which is the principal part of 1 A of resin sealing apparatuses in this embodiment is shown in FIGS. 1 to 7 show the mold 2 on the right side (one side) from the one-dot chain line, the left side has the same configuration.

この樹脂封止装置1Aでは、被成形品供給部(図示しない)からローダによりワークW(被成形品)が金型2(プレス部)に供給され、樹脂封止された後、アンローダによりワークW(成形品)が金型2から取り出されて成形品収納部(図示しない)へ収納される。このワークWは、例えば、配線基板上に半導体チップが実装されており、半導体チップと配線基板とはボンディングワイヤによって電気的に接続されている。   In this resin sealing device 1A, a workpiece W (molded product) is supplied from a workpiece supply section (not shown) by a loader to the mold 2 (press section) and sealed with resin, and then the workpiece W is unloaded by an unloader. The (molded product) is taken out from the mold 2 and stored in a molded product storage unit (not shown). In the work W, for example, a semiconductor chip is mounted on a wiring board, and the semiconductor chip and the wiring board are electrically connected by a bonding wire.

金型2は、上下に対向して設けられた上金型3(固定型で、第1金型)と下金型4(可動型で、第2金型)で構成され、上金型3および下金型4を近接させてクランプ(型締め)するものである。樹脂封止装置1Aでは、固定プラテン(図示しない)に組み付けされた上金型3に対して、可動プラテン(図示しない)に組み付けされた下金型4を近接させて、下金型4に載置されたワークWをクランプする。キャビティ11が上金型3のクランプ面で開口する凹状となっており、このキャビティ11の内部でワークWの半導体チップおよびボンディングワイヤが樹脂封止(樹脂モールド)される。   The mold 2 is composed of an upper mold 3 (a fixed mold, a first mold) and a lower mold 4 (a movable mold, a second mold) which are provided facing each other in the vertical direction. And the lower mold 4 is brought close to and clamped (clamped). In the resin sealing device 1A, the lower mold 4 assembled to the movable platen (not shown) is brought close to the upper mold 3 assembled to the fixed platen (not shown) and placed on the lower mold 4. Clamp the placed workpiece W. The cavity 11 has a concave shape opened at the clamping surface of the upper mold 3, and the semiconductor chip and the bonding wire of the workpiece W are resin-sealed (resin mold) inside the cavity 11.

金型2の上金型3は、ベースブロック5、チェイスブロック6、キャビティブロック7、クランパブロック8(第1ブロック)、およびセンターブロック9(第2ブロック)を有しており、固定プラテンに組み付けられる。具体的には、固定プラテンに直接固定して組み付けられたベースブロック5をベースとし、このベースブロック5に固定して組み付けられた凹状のチェイスブロック6の内部にキャビティブロック7、クランパブロック8およびセンターブロック9が配置されて組み付けられている。   The upper mold 3 of the mold 2 has a base block 5, a chase block 6, a cavity block 7, a clamper block 8 (first block), and a center block 9 (second block), and is assembled to a fixed platen. It is done. Specifically, the base block 5 that is fixed and assembled directly to the fixed platen is used as a base, and the cavity block 7, the clamper block 8, and the center are placed inside the concave chase block 6 that is fixed and assembled to the base block 5. Block 9 is arranged and assembled.

キャビティブロック7は、ベースブロック5に対して固定して組み付けられている。キャビティブロック7の固定された面とは反対の面は、凹状のキャビティ11の底部を形成する。 The cavity block 7 is fixedly assembled to the base block 5. The fixed surface of the cavity block 7 opposite face forms the bottom of the concave Cavity I 1 1.

クランパブロック8は、一枚の板状金型からなり、この板状金型にキャビティブロック7やセンターブロック9を挿入する貫通孔8a、8bが形成されている。これらにキャビティブロック7、センターブロック9が挿入されるため、キャビティブロック7やセンターブロック9の周囲にクランパブロック8が配置されることとなる。これにより、キャビティブロック7が挿入されている貫通孔8aの内周面の一部は、凹状のキャビティ11の側部を形成するものとなる。また、センターブロック9が挿入されている貫通孔8bの内周面の一部は、図4に示すようにカル14の上側に凹部14aが形成されたときの、その側部を形成するものとなる。 The clamper block 8 is composed of a single plate-shaped mold, and through holes 8a and 8b for inserting the cavity block 7 and the center block 9 are formed in the plate-shaped mold. Since the cavity block 7 and the center block 9 are inserted into these, the clamper block 8 is disposed around the cavity block 7 and the center block 9. Thus, part of the inner peripheral surface of the through hole 8a of the cavity block 7 is inserted becomes as forming a concave Cavity I 1 1 side. Further, a part of the inner peripheral surface of the through hole 8b into which the center block 9 is inserted forms the side portion when the concave portion 14a is formed on the upper side of the cull 14 as shown in FIG. Become.

また、貫通孔8bから貫通孔8aにかかるクランパブロック8のクランプ面側は、キャビティ11へ連通するカル14、ランナ15、ゲート16が各々形成される。図2に示すように、金型2がワークWをクランプした状態で、ゲート16はキャビティ11の側部又はコーナ部で樹脂35の流路口となり、ランナ15は樹脂35の流路となる。このため、クランパブロック8では、ワークWをクランプする外周部より、カル14、ランナ15、ゲート16が形成される中央部のクランプ面が凹んで流路が形成される。   Further, on the clamp surface side of the clamper block 8 extending from the through hole 8b to the through hole 8a, a cull 14, a runner 15 and a gate 16 communicating with the cavity 11 are formed. As shown in FIG. 2, in a state where the mold 2 clamps the workpiece W, the gate 16 serves as a flow path for the resin 35 at the side or corner of the cavity 11, and the runner 15 serves as a flow path for the resin 35. For this reason, in the clamper block 8, the center clamping surface where the cull 14, the runner 15, and the gate 16 are formed is recessed from the outer peripheral portion that clamps the workpiece W to form a flow path.

キャビティ11の側部を形成するクランパブロック8は、ベースブロック5に対してコイルばね13a、13bにより上下動するように組み付けられている。すなわち、クランパブロック8とベースブロック5とのには、上下方向に伸縮するコイルばね13a、13bが組み付けられている。樹脂封止装置1Aでは、例えば図3と図4を比較して分かるように、クランパブロック8の上下動によりキャビティ11の容積が可変する。   The clamper block 8 forming the side portion of the cavity 11 is assembled to the base block 5 so as to move up and down by coil springs 13a and 13b. That is, coil springs 13 a and 13 b that extend in the vertical direction are assembled to the clamper block 8 and the base block 5. In the resin sealing device 1A, for example, as can be seen by comparing FIGS. 3 and 4, the volume of the cavity 11 is changed by the vertical movement of the clamper block 8.

容積が可変するキャビティ11について具体的に説明する。クランパブロック8は、チェイスブロック6で抜け止めされて組み付けられた支持部材12a、12bで吊り下げ支持されている。支持部材12a、12bは、チェイスブロック6を貫通し、クランパブロック8と接続される軸部12cと、チェイスブロック6で軸部を抜け止めするフランジ部12dとを含んで構成されている(図1参照)。この支持部材12a、12bのフランジ部12dのそれぞれは、ベースブロック5の凹部に弾装されたコイルばね13a、13bによって下方へ付勢され、チェイスブロック6の上面に突き当てられている。   The cavity 11 having a variable volume will be specifically described. The clamper block 8 is suspended and supported by support members 12a and 12b assembled so as not to be detached by the chase block 6. The support members 12a and 12b include a shaft portion 12c that passes through the chase block 6 and is connected to the clamper block 8, and a flange portion 12d that prevents the shaft portion from coming off by the chase block 6 (FIG. 1). reference). Each of the flange portions 12 d of the support members 12 a and 12 b is urged downward by coil springs 13 a and 13 b elastically mounted in the recesses of the base block 5 and is abutted against the upper surface of the chase block 6.

このため、例えば図3に示す状態では、クランパブロック8は、コイルばね13a、13bを介してチェイスブロック6から離間した状態で支持されている。一方、例えば図4に示す状態では、クランパブロック8は、コイルばね13a、13bを介してチェイスブロック6と近接する。クランパブロック8がワークWをクランプしてチェイスブロック6に近接するように押し戻されることで、キャビティ11の容積が小さくなる。このようにして、樹脂封止装置1Aでは、キャビティ11の容積を可変となるようにしている。なお、キャビティブロック7で容積が可変するキャビティ11において、成形品の厚さ寸法より所定厚だけ後退した退避位置(図3参照)からキャビティブロック7を、成形品の厚さ寸法に対応する成形位置(図4参照)まで移動させることで、キャビティ11の容積が小さくなるとみなすこともできる。   Therefore, for example, in the state shown in FIG. 3, the clamper block 8 is supported in a state of being separated from the chase block 6 via the coil springs 13a and 13b. On the other hand, for example, in the state shown in FIG. 4, the clamper block 8 is close to the chase block 6 via the coil springs 13a and 13b. When the clamper block 8 clamps the workpiece W and is pushed back so as to be close to the chase block 6, the volume of the cavity 11 is reduced. In this manner, in the resin sealing device 1A, the volume of the cavity 11 is made variable. In the cavity 11 whose volume is variable in the cavity block 7, the cavity block 7 is moved from the retracted position (see FIG. 3) that is retracted by a predetermined thickness from the thickness dimension of the molded product, and the molding position corresponding to the thickness dimension of the molded product. It can also be considered that the volume of the cavity 11 is reduced by moving to (see FIG. 4).

センターブロック9は、ベースブロック5に対してコイルばね17により上下動するように組み付けられている。すなわち、センターブロック9には、上下方向に伸縮するコイルばね17が組み付けられている。コイルばね17側とは反対のセンターブロック9の面は、カル14の一部を形成するものとなる。これにより、樹脂封止装置1Aでは、例えば図3と図4を比較して分かるように、センターブロック9の上下動によりカル14の容積が可変する。   The center block 9 is assembled to the base block 5 so as to move up and down by a coil spring 17. That is, the center block 9 is assembled with a coil spring 17 that expands and contracts in the vertical direction. The surface of the center block 9 opposite to the coil spring 17 side forms a part of the cull 14. Thereby, in the resin sealing device 1A, as can be seen by comparing FIG. 3 and FIG. 4, for example, the volume of the cull 14 is changed by the vertical movement of the center block 9.

容積が可変するカル14について具体的に説明する。センターブロック9は、クランパブロック8の貫通孔8bを貫通する軸部9aと、クランパブロック8で軸部9aを抜け止めするフランジ部9bとが一体に成形されたブロック状金型である(図1参照)。センターブロック9のフランジ部とベースブロック5の凹部との間には、チェイスブロック6の貫通孔を通じてコイルばね17が弾装されている。このため、例えば図3に示す状態では、センターブロック9は、コイルばね17の付勢によってフランジ部9bがクランパブロック8と近接している。一方、例えば図4に示す状態では、センターブロック9は、フランジ部9bがコイルばね17の付勢に抗してクランパブロック8から離間している。このようにして、樹脂封止装置1Aでは、カル14の容積を可変となるようにしている。   The cull 14 having a variable volume will be specifically described. The center block 9 is a block mold in which a shaft portion 9a that penetrates the through hole 8b of the clamper block 8 and a flange portion 9b that prevents the shaft portion 9a from coming off by the clamper block 8 are integrally formed (FIG. 1). reference). A coil spring 17 is mounted between the flange portion of the center block 9 and the recess of the base block 5 through the through hole of the chase block 6. For this reason, for example, in the state shown in FIG. 3, in the center block 9, the flange portion 9 b is close to the clamper block 8 by the biasing force of the coil spring 17. On the other hand, for example, in the state shown in FIG. 4, the center block 9 is separated from the clamper block 8 in the flange portion 9 b against the urging force of the coil spring 17. In this way, in the resin sealing device 1A, the volume of the cull 14 is made variable.

また、樹脂封止装置1Aでは、キャビティ11の容積を可変させるクランパブロック8と、カル14の容積を可変させるセンターブロック9とを有する上金型2において、キャビティブロック7とクランパブロック8(貫通孔8aの内周面)との間や、センターブロック9とクランパブロック8(貫通孔8bの内周面)との間に、上金型3の表面に沿ってリリースフィルム18を吸引するためのフィルム吸引部21が設けられている。また、クランパブロック8とチェイスブロック6との間部分には気密にシールするためのシール部材22が設けられている。   Further, in the resin sealing device 1A, in the upper mold 2 having the clamper block 8 for changing the volume of the cavity 11 and the center block 9 for changing the volume of the cull 14, the cavity block 7 and the clamper block 8 (through hole 8a, and a film for sucking the release film 18 along the surface of the upper mold 3 between the center block 9 and the clamper block 8 (inner peripheral surface of the through hole 8b). A suction unit 21 is provided. Further, a seal member 22 for hermetically sealing is provided between the clamper block 8 and the chase block 6.

リリースフィルム18は、フィルム吸引部21に連通するフィルム吸引機構23によりキャビティ11を含む上金型3のクランプ面を覆うようにして吸着保持される。このリリースフィルム18は、例えば長尺状のフィルム材が用いられ、ロール状に巻き取られた繰出しロールから引き出されて上金型クランプ面を通過して巻取りロールへ巻き取られるように設けられる。なお、リリースフィルム18は1回のモールドに必要な長さだけ短冊状に切断されたものを用いても良い。   The release film 18 is sucked and held so as to cover the clamp surface of the upper mold 3 including the cavity 11 by the film suction mechanism 23 communicating with the film suction portion 21. For example, a long film material is used for the release film 18, and the release film 18 is provided so as to be drawn out from a feeding roll wound up in a roll shape, passed through an upper mold clamping surface, and wound up onto a winding roll. . In addition, you may use the release film 18 cut | disconnected in strip shape only the length required for one mold.

このように、樹脂封止装置1Aでは、フィルム吸引部21、フィルム吸引機構23およびリリースフィルム18を設け、リリースフィルム18がキャビティ11やカル14の容積の変化に追従するようになっている。これにより、キャビティ11の容積を可変とするために可動するクランパブロック8や、カル14の容積を可変とするために可動するセンターブロック9を用いても、トランスファ成形を行うに際してブロック間に樹脂35が入り込むのを防止している。   Thus, in the resin sealing device 1 </ b> A, the film suction part 21, the film suction mechanism 23, and the release film 18 are provided, and the release film 18 follows changes in the volume of the cavity 11 and the cull 14. Accordingly, even when the clamper block 8 that is movable to change the volume of the cavity 11 or the center block 9 that is movable to change the volume of the cull 14 is used, the resin 35 is placed between the blocks when performing transfer molding. Is prevented from entering.

下金型4は、ベースブロック25、チェイスブロック26、インサートブロック27およびポット28を有しており、可動プラテンに組み付けられる。具体的には、可動プラテンに直接固定して組み付けられたベースブロック25をベースとし、このベースブロック25に固定して組み付けられた凹状のチェイスブロック26の内部にインサートブロック27およびポット28が配置されて組み付けられている。なお、インサートブロック27の上面にはワークWが載置されるワーク載置部が設けられる。   The lower mold 4 includes a base block 25, a chase block 26, an insert block 27, and a pot 28, and is assembled to a movable platen. Specifically, the base block 25 fixed and assembled directly to the movable platen is used as a base, and the insert block 27 and the pot 28 are arranged inside a concave chase block 26 fixed and assembled to the base block 25. Are assembled. Note that a work placement portion on which the work W is placed is provided on the upper surface of the insert block 27.

チェイスブロック26とインサートブロック27の中央部には、円筒状のポット28が挿入される貫通孔が形成されている。この貫通孔では、ポット28が下金型4から抜け出ないように、ポット28の外周面の突起部が位置する周溝が形成されている。このポット28内には公知のトランスファ駆動機構により上下動するプランジャ31が設けられている。このプランジャ31は、カル14に対向して設けられる。なお、複数のポット28が設けられる場合には、それぞれに対応して複数本のプランジャが支持ブロックに設けられるマルチプランジャが用いられる。複数本のプランジャの下部には、樹脂を均等圧にするためのコイルばねをプランジャの各々に設けてもよい。   A through hole into which a cylindrical pot 28 is inserted is formed at the center of the chase block 26 and the insert block 27. In this through hole, a circumferential groove in which a protrusion on the outer peripheral surface of the pot 28 is located is formed so that the pot 28 does not come out of the lower mold 4. A plunger 31 that moves up and down by a known transfer drive mechanism is provided in the pot 28. The plunger 31 is provided to face the cull 14. When a plurality of pots 28 are provided, a multi-plunger in which a plurality of plungers are provided on the support block corresponding to each pot is used. A coil spring for equalizing the resin may be provided in each of the plungers at the lower part of the plurality of plungers.

カル14は、例えば図4に示すように、上金型3側でセンターブロック9を用いて形成される上カル部14Aと、下金型4側でポット28を用いて形成される下カル部14Bとで構成される。樹脂封止装置1Aでは、上カル部14Aと下カル部14Bが対向するように形成されてカル14が構成される。カル14は、前述したように、センターブロック9の上下動により上カル部14Aで凹部14aが形成されて容積が可変する。このため、図4に示すように、カル14(上カル部14A)では、キャビティ11内から押し戻された樹脂35を凹部14aで溜めることができる。   For example, as shown in FIG. 4, the cull 14 includes an upper cull portion 14A formed using the center block 9 on the upper mold 3 side and a lower cull portion formed using a pot 28 on the lower mold 4 side. 14B. In the resin sealing device 1A, the cull 14 is configured by forming the upper cull portion 14A and the lower cull portion 14B to face each other. As described above, the cull 14 has a concave portion 14a formed in the upper cull portion 14A by the vertical movement of the center block 9, and the volume thereof is variable. For this reason, as shown in FIG. 4, in the cull 14 (upper cull portion 14A), the resin 35 pushed back from the cavity 11 can be stored in the concave portion 14a.

一方、下カル部14Bは、ポット28およびプランジャ31により形成される。プランジャ31が挿入されるポット28は、開口縁部にプランジャ31側に傾斜するテーパ面28aと、テーパ面28aと連続する内周面28bとを有する。ポット28の開口縁部をテーパ面28aとすることで、上カル部14Aに対向する下カル部14Bを形成することができる。このため、図4に示すように、カル14(下カル部14B)では、キャビティ11内から押し戻された樹脂35を溜めることができる。   On the other hand, the lower cull portion 14 </ b> B is formed by the pot 28 and the plunger 31. The pot 28 into which the plunger 31 is inserted has a tapered surface 28a inclined toward the plunger 31 at the opening edge, and an inner peripheral surface 28b continuous with the tapered surface 28a. By forming the opening edge portion of the pot 28 as the tapered surface 28a, the lower cull portion 14B facing the upper cull portion 14A can be formed. For this reason, as shown in FIG. 4, the resin 14 pushed back from the cavity 11 can be stored in the cull 14 (lower cull portion 14 </ b> B).

また、下金型4には、上金型3と共にクランプした際に、クランパブロック8とのクランプ面を気密にシールするためのシール部材32が設けられている。また、下金型4には、インサートブロック27のワーク搭載部と、シール部材32との間においてクランプ面にエアベント(図示しない)から排出されたエアを流通させるためのエア流通路33が形成されている。このエア流通路33は、外部と遮断されたキャビティ11内を減圧するエア給排装置34(減圧機構)に連通している。   The lower mold 4 is provided with a seal member 32 for hermetically sealing the clamp surface with the clamper block 8 when clamped together with the upper mold 3. The lower mold 4 is formed with an air flow passage 33 for circulating air discharged from an air vent (not shown) on the clamp surface between the work mounting portion of the insert block 27 and the seal member 32. ing. The air flow passage 33 communicates with an air supply / discharge device 34 (decompression mechanism) that depressurizes the cavity 11 that is blocked from the outside.

このような構成の樹脂封止装置1Aでは、上下に対向して設けられた上金型3および下金型4を近接させてワークWをクランプし、ポット28に供給された樹脂35を上下動するプランジャ31で押し出して、カル14、ランナ15およびゲート16を通じてキャビティ11に樹脂35を圧送し、キャビティ11で樹脂封止が行われる。以下に、樹脂封止装置1Aの動作について、具体的に説明する。なお、一例として、成形品(封止樹脂部)の厚さ寸法は、基板面から0.3mmとして説明する。   In the resin sealing device 1A having such a configuration, the upper mold 3 and the lower mold 4 provided facing each other in the vertical direction are brought close to each other to clamp the workpiece W, and the resin 35 supplied to the pot 28 is moved up and down. The resin 31 is pushed out by the plunger 31, and the resin 35 is pumped to the cavity 11 through the cull 14, the runner 15 and the gate 16, and the resin sealing is performed in the cavity 11. The operation of the resin sealing device 1A will be specifically described below. As an example, the thickness dimension of the molded product (sealing resin portion) will be described as 0.3 mm from the substrate surface.

まず、金型2が型開きした状態(図1参照)では、図示しないローダによりワークWを下金型4のインサートブロック27に載置する。また、フィルム吸引機構23により上金型3のクランプ面にリリースフィルム18を吸着する。また、ポット28にタブレット状の樹脂35を供給する。次いで、図1に示すように、上金型3と下金型4を近接させてシール部材32によりクランプ面を気密にシールして金型内に減圧空間を形成する。すなわち、エア給排装置34による減圧作用によって、ポット28、キャビティ11などの間のエアを排出させると共に樹脂35に含まれている溶剤等の揮発成分と空気、水分等を予め樹脂封止装置1Aの外部に排出する。これにより、その後にキャビティ11内に圧送される樹脂35の中に含まれる気泡量を少なくすることができ、成形品質を向上することができる。   First, in a state where the mold 2 is opened (see FIG. 1), the work W is placed on the insert block 27 of the lower mold 4 by a loader (not shown). Further, the release film 18 is attracted to the clamp surface of the upper mold 3 by the film suction mechanism 23. Further, the tablet-like resin 35 is supplied to the pot 28. Next, as shown in FIG. 1, the upper mold 3 and the lower mold 4 are brought close to each other, and the clamp surface is hermetically sealed by the seal member 32 to form a reduced pressure space in the mold. That is, the air between the pot 28 and the cavity 11 is discharged by the pressure reducing action by the air supply / discharge device 34, and volatile components such as a solvent, air, moisture and the like contained in the resin 35 are previously removed from the resin sealing device 1A. To the outside. As a result, the amount of bubbles contained in the resin 35 that is subsequently pumped into the cavity 11 can be reduced, and the molding quality can be improved.

続いて、図2に示すように、図1に示す状態から更に上金型3と下金型4を近接させて金型2でワークWを所定の第1クランプ力でクランプする。具体的には、ワークWの配線基板をクランパブロック8の外周部とインサートブロック27でクランプする。このとき、配線基板上の半導体チップおよびボンディングワイヤはキャビティ11に内包される。また、キャビティブロック7は、成形品の厚さ寸法(0.3mm)より所定厚(例えば0.2mm)だけ後退した退避位置で保持される。なお、クランパブロック8は、コイルばね13a、13bが第1クランプ力に抗する弾性力を有しているため、チェイスブロック6から離間している。   Subsequently, as shown in FIG. 2, the upper mold 3 and the lower mold 4 are further brought closer to each other from the state shown in FIG. 1, and the work W is clamped by the mold 2 with a predetermined first clamping force. Specifically, the wiring board of the workpiece W is clamped by the outer peripheral portion of the clamper block 8 and the insert block 27. At this time, the semiconductor chip and the bonding wire on the wiring board are enclosed in the cavity 11. The cavity block 7 is held at a retracted position that is retracted by a predetermined thickness (for example, 0.2 mm) from the thickness dimension (0.3 mm) of the molded product. The clamper block 8 is separated from the chase block 6 because the coil springs 13a and 13b have an elastic force that resists the first clamping force.

続いて、図3に示すように、金型2に第1クランプ力を加えたまま、溶融した樹脂35をキャビティ11へ圧送し、キャビティ11内を樹脂35で充填する。具体的には、金型2に第1クランプ力を加えたまま、樹脂圧を所定の第1保圧(例えば、1〜3MPa)となるように、プランジャ31を上動させてカル14、ランナ15、ゲート16を通じてキャビティ11内へ溶融した樹脂35を充填する。このとき、エア給排装置34によるエアの吸引動作は継続したままである。   Subsequently, as shown in FIG. 3, the molten resin 35 is pumped to the cavity 11 while the first clamping force is applied to the mold 2, and the cavity 11 is filled with the resin 35. Specifically, the plunger 31 is moved up so that the resin pressure becomes a predetermined first holding pressure (for example, 1 to 3 MPa) while the first clamping force is applied to the mold 2, and the cal 14, runner 15. The molten resin 35 is filled into the cavity 11 through the gate 16. At this time, the air suction operation by the air supply / discharge device 34 continues.

続いて、図4に示すように、更に上金型3と下金型4を所定厚分近接させて樹脂35が充填されたキャビティ11の容積を小さくすると共に、ゲート16を通じてカル14側およびポット28側に樹脂35を圧縮して押し戻す。また、押し戻された樹脂35にあわせてカル14の容器を大きくするようにセンターブロック9が動かされる。また、センターブロック9が樹脂圧により動かされてカル14の容積を大きくして樹脂35を溜める。本実施形態では、キャビティ11からカル14側へ押し出された樹脂35によって、カル14の容積を大きくするように、センターブロック9が動かされている。押し戻された樹脂35はカル14やポット28に溜まることとなる。   Subsequently, as shown in FIG. 4, the upper die 3 and the lower die 4 are further brought close to each other by a predetermined thickness to reduce the volume of the cavity 11 filled with the resin 35, and through the gate 16, the side of the cull 14 and the pot The resin 35 is compressed and pushed back to the 28 side. Further, the center block 9 is moved so as to enlarge the container of the cal 14 in accordance with the resin 35 pushed back. Further, the center block 9 is moved by the resin pressure to increase the volume of the cull 14 and collect the resin 35. In the present embodiment, the center block 9 is moved by the resin 35 pushed out from the cavity 11 toward the cull 14 so as to increase the volume of the cull 14. The resin 35 pushed back is accumulated in the cull 14 and the pot 28.

具体的には、図3に示す状態から更に上金型3と下金型4を近接させて金型2に第1クランプ力より大きい第2クランプ力を加える。これにより、ベースブロック5に固定して組み付けられているキャビティブロック7は下金型4に近接する。また、ベースブロック5にコイルばね13a、13bを介して組み付けられているクランパブロック8は、コイルばね13a、13bが縮んでチェイスブロック6と近接するように上動する。   Specifically, the second mold force greater than the first clamp force is applied to the mold 2 by further bringing the upper mold 3 and the lower mold 4 closer to each other from the state shown in FIG. As a result, the cavity block 7 fixedly assembled to the base block 5 comes close to the lower mold 4. Further, the clamper block 8 assembled to the base block 5 via the coil springs 13 a and 13 b moves upward so that the coil springs 13 a and 13 b contract and come close to the chase block 6.

言い換えると、ワークWをクランプした状態で金型2に第2クランプ力を加えると、下金型4に載置されているワークWの配線基板に対して、キャビティ11の底部を形成するキャビティブロック7が近接し、キャビティ11の側部を形成するクランパブロック8は停止したままである。すなわち、キャビティブロック7が、退避位置(図3参照)から成形位置(図4参照)となるため、キャビティ11底部の深さが浅くなり、キャビティ11の容積が小さくなる。   In other words, when a second clamping force is applied to the mold 2 with the workpiece W clamped, the cavity block that forms the bottom of the cavity 11 with respect to the wiring substrate of the workpiece W placed on the lower mold 4 7 close to each other and the clamper block 8 forming the side of the cavity 11 remains stopped. That is, since the cavity block 7 changes from the retracted position (see FIG. 3) to the molding position (see FIG. 4), the depth of the bottom of the cavity 11 becomes shallow and the volume of the cavity 11 becomes small.

樹脂35が充填された状態でキャビティ11の容積が小さくなると、樹脂35(余剰樹脂)は、ゲート16を通じてカル14側に押し戻される。また、本実施形態では、同時に、押し戻される余剰樹脂には圧力が加わるため、ベースブロック5にコイルばね17を介して組み付けられているセンターブロック9は、コイルばね17が縮んでベースブロック5と近接するように押し戻される。   When the volume of the cavity 11 is reduced with the resin 35 filled, the resin 35 (surplus resin) is pushed back to the cull 14 side through the gate 16. Further, in the present embodiment, since pressure is applied to the excess resin that is pushed back at the same time, the center block 9 assembled to the base block 5 via the coil spring 17 contracts with the base block 5 as the coil spring 17 contracts. It is pushed back to do.

言い換えると、余剰樹脂からの樹脂圧がセンターブロック9に加わると、下金型4に載置されているワークWの配線基板に対して、カル14(上カル部14A)の凹部14aの底部を形成するセンターブロック9は上動する。この際、凹部14aの側部を形成するクランパブロック8は停止したままとなる。したがって、センターブロック9が上動して凹部14aが形成され、カル14の容積が大きくなる。樹脂封止装置1Aでは、このようにして容積が大きくなったカル14に、樹脂35が充填されたキャビティ11から押し戻された樹脂35(余剰樹脂)を溜める。   In other words, when the resin pressure from the surplus resin is applied to the center block 9, the bottom of the concave portion 14 a of the cull 14 (upper cull portion 14 </ b> A) is placed on the wiring board of the workpiece W placed on the lower mold 4. The center block 9 to be formed moves upward. At this time, the clamper block 8 forming the side portion of the recess 14a remains stopped. Therefore, the center block 9 moves upward to form the recess 14a, and the volume of the cull 14 increases. In the resin sealing device 1 </ b> A, the resin 35 (excess resin) pushed back from the cavity 11 filled with the resin 35 is stored in the cull 14 whose volume is increased in this way.

また、樹脂封止装置1Aでは、ゲート16を通じてカル14側に樹脂35(余剰樹脂)を押し戻す際に、上動したプランジャ31(図3参照)が、下カル部14B内から外れるようにポット28の内周面28bまで押し戻される。このため、カル14では、上カル部14Aの他に下カル部14Bにも余剰樹脂を溜めることができる。   Further, in the resin sealing device 1A, when the resin 35 (surplus resin) is pushed back to the cull 14 side through the gate 16, the pot 31 is moved so that the plunger 31 (see FIG. 3) moved upward is removed from the lower cull portion 14B. Is pushed back to the inner peripheral surface 28b. For this reason, in the cal 14, the surplus resin can be stored in the lower cal part 14 </ b> B in addition to the upper cal part 14 </ b> A.

このように、樹脂封止装置1Aでは、ワークWを金型2でクランプし、ポット28に供給された樹脂35をプランジャ31で押し出して、カル14およびゲート16を通じてキャビティ11に圧送した後、樹脂35が充填されたキャビティ11の容積を小さくすると共に余剰樹脂をカル14およびポット28側へ押し出す。次いで、キャビティ11内で充填されている樹脂35を加熱硬化し、ワークWに対して樹脂封止する。具体的には、第2クランプ力を加えたまま、第1保圧(例えば、1〜3MPa)より大きい樹脂圧を所定の第2保圧(例えば、8〜12MPa)を加えて、所定時間加熱硬化し、ワークWを樹脂封止する。   As described above, in the resin sealing device 1A, the workpiece W is clamped by the mold 2, the resin 35 supplied to the pot 28 is pushed out by the plunger 31, and is pumped to the cavity 11 through the cull 14 and the gate 16, and then the resin The volume of the cavity 11 filled with 35 is reduced, and excess resin is pushed out toward the cull 14 and the pot 28 side. Next, the resin 35 filled in the cavity 11 is heat-cured and sealed with respect to the workpiece W. Specifically, while applying the second clamping force, a predetermined second holding pressure (for example, 8 to 12 MPa) is applied to a resin pressure higher than the first holding pressure (for example, 1 to 3 MPa), and heating is performed for a predetermined time. It hardens | cures and the workpiece | work W is resin-sealed.

続いて、図5に示すように、上金型3と下金型4を型開きさせる。これにより、ベースブロック5に固定して組み付けられているキャビティブロック7は下金型4から離間し、キャビティ11の容積が大きくなり、樹脂35が未充填の領域が形成される。また、ベースブロック5にコイルばね13a、13bを介して組み付けられているクランパブロック8は、コイルばね13a、13bが伸び、ベースブロック5から離れるように下動する。   Subsequently, as shown in FIG. 5, the upper mold 3 and the lower mold 4 are opened. As a result, the cavity block 7 fixedly assembled to the base block 5 is separated from the lower mold 4, the volume of the cavity 11 is increased, and an area not filled with the resin 35 is formed. In addition, the clamper block 8 assembled to the base block 5 via the coil springs 13 a and 13 b moves downward so that the coil springs 13 a and 13 b extend and separate from the base block 5.

続いて、図6に示すように、図5に示す状態から更に上金型3と下金型4との型開き動作を進行する。これにより、ベースブロック5にコイルばね17を介して組み付けられているセンターブロック9は、コイルばね17が伸び、ベースブロック5から離れるように下動する。なお、図6に示す状態では、上金型3からワークWが離型され始めている。   Subsequently, as shown in FIG. 6, the mold opening operation of the upper mold 3 and the lower mold 4 further proceeds from the state shown in FIG. As a result, the center block 9 assembled to the base block 5 via the coil spring 17 moves downward so that the coil spring 17 extends and separates from the base block 5. In the state shown in FIG. 6, the workpiece W is started to be released from the upper mold 3.

続いて、図7に示すように、図6に示す状態から更に上金型3と下金型4が離間する。この図7に示す状態では、上金型3からワークWが完全に離型されている。その後、樹脂封止装置1Aでは、図示しないアンローダにより下金型4からワークWを離型して取り出し、ゲート16、ランナ15、カル14で硬化した不要な樹脂がワークから切り離されて(ディゲートされて)成形品のみが回収される。   Subsequently, as shown in FIG. 7, the upper mold 3 and the lower mold 4 are further separated from the state shown in FIG. In the state shown in FIG. 7, the work W is completely released from the upper mold 3. Thereafter, in the resin sealing device 1A, the workpiece W is released from the lower mold 4 by an unloader (not shown), and unnecessary resin cured by the gate 16, the runner 15, and the cal 14 is separated from the workpiece (degateed). B) Only the molded product is collected.

本実施形態における樹脂封止装置1Aは、上下動によりカル14の容積を可変させるセンターブロック9を有し、ゲート16を通じてカル14側に樹脂35を押し戻すと共に、センターブロック9を動かしてカル14の容積を大きくし、そこに押し出された樹脂35(余剰樹脂)を溜めることとしている。このため、押し戻された樹脂35を、ポット28の深さ方向に深く入り込ませる必要がなくなり、ポット35あるいはカル14内で硬化した樹脂35にストレスがかかりにくくなって、離型の際に樹脂割れが発生するのを防止することができる。樹脂割れが発生しなければ、離型できない樹脂あるいは割れた樹脂を取り除く必要もない。すなわち、樹脂封止装置1Aによって成形される成形品の生産性を向上することができる。   The resin sealing device 1A in this embodiment has a center block 9 that changes the volume of the cull 14 by vertical movement, pushes the resin 35 back to the cull 14 side through the gate 16, and moves the center block 9 to move the cull 14 The volume is increased, and the extruded resin 35 (excess resin) is stored therein. For this reason, it is not necessary for the pushed-in resin 35 to enter deeply in the depth direction of the pot 28, and it becomes difficult for the resin 35 cured in the pot 35 or the cal 14 to be stressed, and the resin cracks at the time of mold release. Can be prevented. If resin cracking does not occur, it is not necessary to remove resin that cannot be released or cracked resin. That is, the productivity of a molded product molded by the resin sealing device 1A can be improved.

また、樹脂封止装置1Aでは、センターブロック9には、上下方向に伸縮する弾性部材としてコイルばね17が組み付けられている。このコイルばね17は、プランジャ31が停止した状態が保持されているとすると、ゲート16を通じてカル14側に樹脂35(余剰樹脂)を押し戻す所定の樹脂圧によって、センターブロック9が上動する弾性力を有している。   In the resin sealing device 1A, a coil spring 17 is assembled to the center block 9 as an elastic member that expands and contracts in the vertical direction. Assuming that the coil spring 17 is kept in a state where the plunger 31 is stopped, the elastic force that causes the center block 9 to move upward by a predetermined resin pressure that pushes the resin 35 (surplus resin) back to the cal 14 side through the gate 16. have.

ここで、センターブロック9を上下動させるには、弾性部材ではなく、例えば、アクチュエータを用いる場合も考えられる。この場合、センターブロック9の上下動と他の部材の動作との制御が複雑になり、成形品の生産性を低下させるという問題も生じてしまう。また、アクチュエータにより装置(金型)自体が大きくなってしまうという問題も生じてしまう。しかしながら、センターブロック9を上下動させるために単に弾性部材(コイルばね17)を用いることで、所定の樹脂圧に追従してリアルタイムにセンターブロック9を上動することができ、成形品の生産性を向上することができる。また、コイルばね17は、金型自体に埋め込むように組み付けられるので、装置を大型化させることもない。   Here, in order to move the center block 9 up and down, for example, an actuator may be used instead of an elastic member. In this case, the control of the vertical movement of the center block 9 and the operation of the other members become complicated, causing a problem of reducing the productivity of the molded product. In addition, there is a problem that the device (mold) itself becomes large due to the actuator. However, by simply using an elastic member (coil spring 17) to move the center block 9 up and down, the center block 9 can be moved up in real time following a predetermined resin pressure. Can be improved. Moreover, since the coil spring 17 is assembled so as to be embedded in the mold itself, the apparatus is not enlarged.

また、樹脂封止装置1Aでは、例えば、図4に示したように、カル14は、上金型3側でクランパブロック8を用いて形成される上カル部14Aと、下金型4側でポット28を用いて形成される下カル部14Bとが対向して設けられている。このため、ゲート16を通じてカル14側に樹脂35(余剰樹脂)を押し戻す際に、上カル部14Aのみ(図11のカル114も参照)に比べてより多くの余剰樹脂をカル14で溜めることができる。これにより、ポット28の深さ方向に樹脂35を深く入り込む必要もなく、樹脂硬化後の離型の際に樹脂割れが発生するのを防止することができる。   In the resin sealing device 1A, for example, as shown in FIG. 4, the cull 14 is formed on the upper mold 3 side using the clamper block 8 and on the lower mold 4 side. A lower cull portion 14 </ b> B formed using the pot 28 is provided so as to face. For this reason, when the resin 35 (surplus resin) is pushed back to the side of the cull 14 through the gate 16, more excess resin can be accumulated in the cull 14 compared to only the upper cull portion 14A (see also the cal 114 in FIG. 11). it can. Thereby, it is not necessary to penetrate the resin 35 deeply in the depth direction of the pot 28, and it is possible to prevent the occurrence of resin cracking at the time of mold release after the resin is cured.

また、樹脂封止装置1Aでは、プランジャ31が挿入されるポット28は、開口縁部にプランジャ31側に傾斜するテーパ面28aと、テーパ面28aと連続する内周面28bとを有する。このため、ポット28の内周面28bで上下動するプランジャ31の移動量を抑制することができる。具体的には、単に円筒状のポット128(図11参照)では、プランジャ31が深さD2まで下動するが、開口縁部にテーパ面28aを有する円筒状のポット28(図4参照)では、プランジャ31が深さD1(<D2)まで下動することとなり、内周面28bで上下動するプランジャ31の移動量を低減している。   Further, in the resin sealing device 1A, the pot 28 into which the plunger 31 is inserted has a tapered surface 28a inclined toward the plunger 31 at the opening edge and an inner peripheral surface 28b continuous with the tapered surface 28a. For this reason, the movement amount of the plunger 31 that moves up and down on the inner peripheral surface 28 b of the pot 28 can be suppressed. Specifically, in the cylindrical pot 128 (see FIG. 11), the plunger 31 moves down to the depth D2, but in the cylindrical pot 28 (see FIG. 4) having the tapered surface 28a at the opening edge. The plunger 31 moves down to the depth D1 (<D2), and the amount of movement of the plunger 31 that moves up and down on the inner peripheral surface 28b is reduced.

したがって、プランジャ31の先端部下に樹脂35が入り込み、プランジャ31とポット28との摺動抵抗が増加するのを防止することができる。プランジャ31の先端部下に樹脂35が入り込まない場合、その樹脂を取り除く必要もなく、設計当初の摺動抵抗を維持することができる。すなわち、樹脂封止装置1Aによって成形される成形品の生産性を向上することができる。   Therefore, it is possible to prevent the resin 35 from entering under the tip of the plunger 31 and increase the sliding resistance between the plunger 31 and the pot 28. When the resin 35 does not enter under the tip of the plunger 31, it is not necessary to remove the resin, and the sliding resistance at the initial stage of design can be maintained. That is, the productivity of a molded product molded by the resin sealing device 1A can be improved.

また、樹脂封止装置1Aでは、図3に示すように、プランジャ31の先端部にポット28の内周面と接するシールリングが設けられる周溝31aが形成されており、プランジャ31は、ポット28の内周面28bにシールリングを留めて、キャビティ11内へ樹脂を押し出す。このため、プランジャ31のシールリング下に樹脂35が入り込むのを防止することができる。すなわち、樹脂封止装置1Aによって成形される成形品の生産性を向上することができる。   Further, in the resin sealing device 1A, as shown in FIG. 3, a circumferential groove 31a provided with a seal ring in contact with the inner peripheral surface of the pot 28 is formed at the tip of the plunger 31. A seal ring is fastened to the inner peripheral surface 28 b of the resin to push out the resin into the cavity 11. For this reason, it is possible to prevent the resin 35 from entering under the seal ring of the plunger 31. That is, the productivity of a molded product molded by the resin sealing device 1A can be improved.

また、樹脂封止装置1Aでは、ポット28の開口縁部にテーパ面28aを形成しているが、さらに、プランジャ31の先端部の形状を円錐台形状としている。すなわち、キャビティ11内へ溶融した樹脂35を充填する際に、円錐台形状の側面で樹脂35を押し出してテーパ面28aに沿って樹脂35を流れるようにできる。このように、樹脂35の流動性が向上するので、樹脂封止装置1Aによって成形される成形品の生産性を向上することができる。   Further, in the resin sealing device 1A, the tapered surface 28a is formed at the opening edge portion of the pot 28, but the shape of the tip portion of the plunger 31 is a truncated cone shape. That is, when the molten resin 35 is filled into the cavity 11, the resin 35 can be extruded along the truncated cone-shaped side surface so that the resin 35 flows along the tapered surface 28 a. Thus, since the fluidity | liquidity of the resin 35 improves, productivity of the molded article shape | molded by 1 A of resin sealing apparatuses can be improved.

(実施形態2)
前記実施形態1では、図4を参照して説明したように、ゲート16を通じてカル14側に樹脂35を圧縮して押し戻すと共に、凹部14aを形成してカル14の容積を大きくする場合について説明した。これに対して、本実施形態では、図3に示す状態から更に上金型3と下金型4を近接させて金型2に第2クランプ力を加えたときに、図8に示すように、カル14側へ樹脂35(余剰樹脂)が押し戻されても凹部14aが形成されない。すなわち、余剰樹脂からの樹脂圧がセンターブロック9に加わるが、センターブロック9は上動しない。
(Embodiment 2)
In the first embodiment, as described with reference to FIG. 4, the case has been described in which the resin 35 is compressed and pushed back to the cull 14 side through the gate 16 and the recess 14 a is formed to increase the volume of the cull 14. . On the other hand, in this embodiment, when the second mold force is applied to the mold 2 by further bringing the upper mold 3 and the lower mold 4 closer from the state shown in FIG. Even if the resin 35 (surplus resin) is pushed back to the cal 14 side, the recess 14a is not formed. That is, the resin pressure from the surplus resin is applied to the center block 9, but the center block 9 does not move up.

その後、図9に示すように、第2クランプ力を加えたまま、第2保圧を加えた時に下金型4に載置されているワークWの配線基板に対して、カル14(上カル部14A)の凹部14aの底部を形成するセンターブロック9が上動する。また、凹部14aの側部を形成するクランパブロック8は停止したままである。したがって、センターブロック9が上動して凹部14aが形成され、カル14の容積が大きくなる。   Thereafter, as shown in FIG. 9, when the second holding pressure is applied while the second clamping force is applied, the cull 14 (upper cull) is applied to the wiring board of the workpiece W placed on the lower mold 4. The center block 9 forming the bottom of the recess 14a of the part 14A) moves up. Further, the clamper block 8 forming the side portion of the recess 14a remains stopped. Therefore, the center block 9 moves upward to form the recess 14a, and the volume of the cull 14 increases.

本実施形態では、キャビティ11から押し戻された樹脂35にあわせてカル14の容積が大きくなるようにセンターブロック9を上動する構成としている。このように、第2クランプ力を加えて樹脂35を圧縮する際にはセンターブロック9が上動せず、第2保圧を加えたときに上動するような弾性力のより大きいコイルばね17を用いても、前記実施形態1と同様の効果を得ることができる。   In the present embodiment, the center block 9 is configured to move upward so that the volume of the cull 14 increases in accordance with the resin 35 pushed back from the cavity 11. As described above, when compressing the resin 35 by applying the second clamping force, the center spring 9 does not move up, and the coil spring 17 has a large elastic force so as to move up when the second holding pressure is applied. Even if is used, the same effect as in the first embodiment can be obtained.

(実施形態3)
図10に、本実施形態における樹脂封止装置1Bの要部である金型2の断面を示す。なお、図10では1点鎖線から右側(片側)の金型2を示しているが、左側も同様の構成となっている。樹脂封止装置1Bにおけるキャビティブロック7には、下金型4側に向かって開口した凹部7aが形成されており、その凹部7aの開口縁部が内側に傾斜してテーパ面が形成されている。また、樹脂封止装置1Bにおけるセンターブロック9には、下金型4側に向かって開口した凹部9aが形成されており、その凹部9aの開口縁部が内側に傾斜してテーパ面が形成されている。
(Embodiment 3)
In FIG. 10, the cross section of the metal mold | die 2 which is the principal part of the resin sealing apparatus 1B in this embodiment is shown. In addition, in FIG. 10, although the right side (one side) metal mold | die 2 is shown from the dashed-dotted line, the left side also has the same structure. The cavity block 7 in the resin sealing device 1B is formed with a recess 7a that opens toward the lower mold 4 side, and an opening edge of the recess 7a is inclined inward to form a tapered surface. . Further, the center block 9 in the resin sealing device 1B is formed with a recess 9a that opens toward the lower mold 4 side, and the opening edge of the recess 9a is inclined inward to form a tapered surface. ing.

このようにリリースフィルム18が吸着される上金型3のクランプ面で、テーパ面を有する凹部7a、9aを形成することで、キャビティ11やカル14の容積を可変させるために、クランパブロック8やセンターブロック9を可動させても、リリースフィルム18が破れるのを防止することができる。リリースフィルム18が破れなければ、リリースフィルム18を交換する必要もない。すなわち、樹脂封止装置1Bによって成形される成形品の生産性を向上することができる。   In this way, by forming the concave portions 7a and 9a having tapered surfaces on the clamp surface of the upper mold 3 on which the release film 18 is adsorbed, in order to change the volume of the cavity 11 and the cull 14, Even if the center block 9 is moved, the release film 18 can be prevented from being torn. If the release film 18 is not torn, it is not necessary to replace the release film 18. That is, the productivity of the molded product molded by the resin sealing device 1B can be improved.

また、センターブロック9は、ベースブロック5に対してコイルばね17により上下動するように組み付けられている。このため、ベースブロック5と対向する面の外周部でセンターブロック9は、コイルばね17と接することとなる。このコイルばね17は樹脂35からの押圧力に抗するものであるため、樹脂35からの押圧力がコイルばね17と接する外周部に作用することが望ましい。そこで、本実施形態では、センターブロック9に凹部9aを形成し、その開口縁部(外周部)に内側(中央部側)に傾斜するテーパ面を形成している。これにより、センターブロック9には樹脂35からの押圧力が好適に作用し、樹脂封止装置1Bによって成形される成形品の生産性を向上することができる。   The center block 9 is assembled to the base block 5 so as to move up and down by a coil spring 17. For this reason, the center block 9 comes into contact with the coil spring 17 at the outer peripheral portion of the surface facing the base block 5. Since the coil spring 17 resists the pressing force from the resin 35, it is desirable that the pressing force from the resin 35 acts on the outer peripheral portion in contact with the coil spring 17. Therefore, in the present embodiment, the concave portion 9a is formed in the center block 9, and a tapered surface that is inclined inwardly (center side) is formed on the opening edge portion (outer peripheral portion). Thereby, the pressing force from the resin 35 suitably acts on the center block 9, and the productivity of the molded product molded by the resin sealing device 1B can be improved.

以上、本発明を実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。   Although the present invention has been specifically described above based on the embodiments, it is needless to say that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention.

前記実施形態では、ベースブロックに対して、固定したキャビティブロックおよび上下動するクランパブロックを組み付けて容積が可変するキャビティを形成した場合について説明した。これに限らず、例えば、ベースブロックに対して、クランパブロックを固定し、コイルばねを介して吊り下げ支持してキャビティブロックを上下動するように組み付けることで、容積が可変するキャビティを形成しても良い。   In the above-described embodiment, a case has been described in which a cavity having a variable volume is formed by assembling a fixed cavity block and a vertically moving clamper block to the base block. Not limited to this, for example, by fixing the clamper block to the base block and supporting it by hanging via a coil spring and assembling the cavity block so as to move up and down, a cavity with variable volume is formed. Also good.

また、前記実施形態では、上金型のクランプ面で開口する凹状のキャビティを設けた場合について説明した。これに限らず、上金型と下金型の構成を逆にして、下金型のクランプ面で開口する凹状のキャビティを設けても良い。   Further, in the above-described embodiment, the case where the concave cavity opened at the clamp surface of the upper mold is provided has been described. However, the present invention is not limited thereto, and the configuration of the upper mold and the lower mold may be reversed to provide a concave cavity that opens at the clamp surface of the lower mold.

また、センターブロック9は、ポット形状に合わせて丸形状として良い。また、固定された第1センターブロック内に可動する丸形状の第2センターブロックとしても良い。   Moreover, the center block 9 is good also as a round shape according to a pot shape. Moreover, it is good also as a round-shaped 2nd center block movable within the fixed 1st center block.

1A 樹脂封止装置
3 上金型
4 下金型
8 クランパブロック
9 センターブロック
11 キャビティ
14 カル
16 ゲート
28 ポット
31 プランジャ
35 樹脂
W ワーク
1A Resin sealing device 3 Upper die 4 Lower die 8 Clamper block 9 Center block 11 Cavity 14 Cull 16 Gate 28 Pot 31 Plunger 35 Resin W Workpiece

Claims (6)

上下に対向して設けられた第1および第2金型を近接させてクランプし、ポットに供給された樹脂を上下動するプランジャで押し出して、カルおよびゲートを通じてキャビティに樹脂を圧送し、前記キャビティでワークを樹脂封止する樹脂封止装置であって、
前記第1金型は、上下動により前記キャビティの容積を可変させ、第1貫通孔および第2貫通孔が形成された第1ブロックと、上下動により前記カルの容積を可変させ、前記第2貫通孔に挿入された第2ブロックと、前記第1貫通孔に挿入された第3ブロックとを有し、
前記キャビティは、前記第3ブロックの前記第2金型側面および前記第1貫通孔の内周面を用いて形成され、
前記ポットは、開口縁部に前記プランジャ側に傾斜するテーパ面と、該テーパ面と連続する内周面とを有し、
前記第1ブロックを動かして樹脂が充填された前記キャビティの容積を小さくすると共に、前記ゲートを通じて前記カル側に樹脂を押し戻し、押し戻された樹脂にあわせて前記カルの容積を大きくするように前記第2ブロックおよび前記プランジャを動かした状態において、前記カルは、前記第2ブロックの前記第2金型側面および前記第2貫通孔の内周面を用いて形成される第1カル部と、前記プランジャの前記第1金型側面および前記ポットの前記テーパ面を用いて形成される第2カル部とが対向して設けられていることを特徴とする樹脂封止装置。
The first and second molds provided opposite to each other are clamped close to each other, the resin supplied to the pot is pushed out by a plunger that moves up and down, and the resin is pumped to the cavity through the cull and the gate. A resin sealing device for resin sealing the workpiece with
The first mold varies the volume of the cavity by moving up and down, varies the volume of the cull by moving up and down with the first block formed with the first through hole and the second through hole, and the second mold . A second block inserted into the through hole; and a third block inserted into the first through hole ;
The cavity is formed using the second mold side surface of the third block and the inner peripheral surface of the first through hole,
The pot has a tapered surface inclined toward the plunger side at an opening edge, and an inner peripheral surface continuous with the tapered surface,
The first block is moved to reduce the volume of the cavity filled with resin, and the resin is pushed back to the cull side through the gate, and the volume of the cull is increased in accordance with the pushed back resin. in moving state of the two blocks and the plunger, and the cull is first cull portion formed using the inner peripheral surface of the second mold side and the second through hole of the second block, the plunger A resin sealing device , wherein the first mold side surface and the second cull portion formed using the tapered surface of the pot are provided to face each other .
請求項1記載の樹脂封止装置において、The resin sealing device according to claim 1,
前記カル側に樹脂が押し戻される際には、前記ポットの前記内周面に至る深さまで前記プランジャの先端部が動かされることを特徴とする樹脂封止装置。When the resin is pushed back to the cull side, the tip of the plunger is moved to a depth reaching the inner peripheral surface of the pot.
請求項1または2記載の樹脂封止装置において、
前記プランジャの先端部は、円錐台状であり、周溝が形成されており、
前記周溝には、前記ポットの前記内周面と接するシールリングが設けられていることを特徴とする樹脂封止装置。
In the resin sealing device according to claim 1 or 2 ,
Tip of the plunger, Ri frustoconical der, circumferential grooves are formed,
The resin sealing device , wherein the circumferential groove is provided with a seal ring in contact with the inner peripheral surface of the pot .
上下に対向して設けられた第1および第2金型を近接させてクランプし、ポットに供給された樹脂を上下動するプランジャで押し出して、カルおよびゲートを通じてキャビティに樹脂を圧送し、前記キャビティでワークを樹脂封止する樹脂封止装置であって、
前記第1金型は、上下動により前記キャビティの容積を可変させる第1ブロックと、上下動により前記カルの容積を可変させる第2ブロックとを有し、
前記第2ブロックには、前記第2金型側に向かって開口した凹部が形成されており、
前記凹部の開口縁部が傾斜しており、
前記第1ブロックを動かして樹脂が充填された前記キャビティの容積を小さくすると共に、前記ゲートを通じて前記カル側に樹脂を押し戻し、
押し戻された樹脂にあわせて前記カルの容積を大きくするように前記第2ブロックを動かすことを特徴とする樹脂封止装置。
The first and second molds provided opposite to each other are clamped close to each other, the resin supplied to the pot is pushed out by a plunger that moves up and down, and the resin is pumped to the cavity through the cull and the gate. A resin sealing device for resin sealing the workpiece with
The first mold has a first block that varies the volume of the cavity by vertical movement, and a second block that varies the volume of the cull by vertical movement,
The second block has a recess that is open toward the second mold side,
The opening edge of the recess is inclined;
Move the first block to reduce the volume of the cavity filled with resin, and push the resin back to the cull side through the gate,
A resin sealing device, wherein the second block is moved so as to increase the volume of the cull in accordance with the resin pushed back.
請求項記載の樹脂封止装置において、
前記カルは、前記第1金型側で前記第2ブロックを用いて形成される第1カル部と、前記第2金型側で前記ポットを用いて形成される第2カル部とが対向して設けられていることを特徴とする樹脂封止装置。
The resin sealing device according to claim 4 ,
The cull is opposed to a first cull portion formed using the second block on the first mold side and a second cull portion formed using the pot on the second mold side. A resin sealing device characterized by being provided.
請求項4または5記載の樹脂封止装置において、
前記プランジャが挿入される前記ポットは、開口縁部に前記プランジャ側に傾斜するテーパ面と、該テーパ面と連続する内周面とを有することを特徴とする樹脂封止装置。
In the resin sealing device according to claim 4 or 5 ,
The pot into which the plunger is inserted has a tapered surface inclined toward the plunger side at an opening edge, and an inner peripheral surface continuous with the tapered surface.
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