JP4305749B2 - 基板保持装置 - Google Patents
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Description
そこで、本発明は基板の撓みを非接触で補正することによって、基板に傷を付けたり、パーティクルを発生させたりすることのない基板保持装置を提供することを目的とするものである。
から、前記クリーンエアを吐出する。
Claims (4)
- 基板の周縁部を保持する保持部材と、前記基板の中央部の下側に、前記基板の下面に空気を吹き付けて、前記基板の中央部を持ち上げる空気吐出部を備え、基板保持装置の傾きを検出するセンサを備え、前記センサで検出した傾きの大きさに応じて、前記空気吐出部の高さ方向の位置および吐出空気の圧力および流量を調整することを特徴とする基板保持装置。
- 前記空気吐出部は上下に昇降して、高さ方向の位置を変更できることを特徴とする請求項1に記載の基板保持装置。
- 前記基板の撓みを検出するセンサを備え、前記センサで検出した撓みの大きさに応じて、前記空気吐出部の高さ方向の位置および吐出空気の圧力および流量を調整することを特徴とする請求項2に記載の基板保持装置。
- 前記空気吐出部の流路形状を絞り効果を有する形状とすることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の基板保持装置。
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