JP4305279B2 - ガスセンサ素子の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、車両用エンジン等の内燃機関の燃焼制御等に用いることができるガスセンサ素子の製造方法に関する。

車両用エンジンの排気系にＡ／Ｆセンサのようなガスセンサを設け、排気ガス中の酸素濃度などから空燃比を検出し、これを利用してエンジンの燃焼制御を行うことがある（排気ガスフィードバックシステム）。
特に、三元触媒を用いて効率よく排気ガスを浄化するためには車両用エンジンの燃焼室において空燃比が特定の値となるように制御することが重要である。
上記用途に使用するガスセンサとして、特許文献１に示されるようなものを一例として挙げることができる。他に、上記排気ガスフィードバックシステムにおいて使用するガスセンサとして、排気ガス中の酸素濃度を検出するガスセンサや、排気ガス中の大気汚染物質であるＮＯｘ濃度を直接測定するＮＯｘセンサが知られている。
そして各センサには、それぞれＡ／Ｆセンサ素子、酸素センサ素子、ＮＯｘセンサ素子等といったガスセンサ素子が内蔵され、これらの素子がガス濃度等の検出を担っている。

上記用途に使用するガスセンサ素子の構成は種々知られている。
その中のひとつとして、限界電流式のガスセンサ素子として機能するガスセンサ素子が知られている。
このものは、酸素イオン導電性固体電解質板と、該固体電解質板の少なくとも一方の表面に設けた被測定ガス側電極と基準電極とを有し、上記被測定ガス側電極と対面する被測定ガス室と、該被測定ガス室と外部雰囲気とを結ぶと共に拡散抵抗を備えた導通孔を有する。

特開平１２−０６５７８２号公報 特開２０００−２８５７６号公報 実公平７−２７３９１号公報 特開２００１−１５３８３５号公報 自動車技術会学術講演会前刷集８４２０５４

近年、上記排気ガスフィードバックシステムに用いるガスセンサにおいて、早期活性、高検出精度等の性能が要求されている。
特に検出精度においては、ターボシステム、ディーゼルエンジンシステムのような、排気ガスの温度変動、圧力変動の大きい環境での使用を念頭に、環境要因にまつわる変動率の低い、センサ性能が要求されている。

ところで、ガスセンサ素子において、温度変動、圧力変動に対する検出精度の依存量は、非特許文献１に示されるように、ガスセンサ素子に被測定ガスたる排気ガスが拡散抵抗部内を拡散する際に、クヌーセン拡散が支配的か、分子拡散が支配的か等といった、拡散形態の寄与によって決定される。
拡散形態でどちらが支配的かに関する決定は拡散抵抗の細孔径にのみ依存するため、温度変動、圧力変動にはトレードオフの関係がある。
そのため、ガスセンサ素子の拡散構造によって温度変動と圧力変動に関する依存量を共に減らすことは難しく、市場の要求に応じて設計的に温度変動と圧力変動のバランス最適化が行われているにすぎない。

ところで、上述した限界電流式ガスセンサ素子の導通孔の孔径の制御方法として、１μｍ未満の孔径が必要な際は多孔質体を導通孔として使用する方法が採用され、７０μｍ以上の孔径が必要な際は焼成前のグリーンシートに予めパンチング等で孔開け加工する方法が一般的である。また、１〜７０μｍの導通孔が必要な際は、特許文献２に見られるようなスリット構造が採用されている。
更に、上記多孔質体、ピンホール、スリット構造を適宜組み合わせて、クヌーセン拡散と分子拡散の寄与度を調整し、所望の温度変動特性、及び圧力変動特性を有するガスセンサ素子を得る試みもあった。

しかしながら、上記構成にて導通孔を形成した場合、出力特性、温度特性、圧力特性について製造ばらつきが発生する。通常、出力特性のばらつきについては、調整抵抗等を用いた外部的な調整（特許文献３）、ガスセンサ素子自身の研削、研磨（特許文献４）等の方法を利用して調整可能である。
しかしながら、いったん焼成を終えたガスセンサ素子について導通孔の孔径の調整を行うことは困難であるため、温度特性、圧力特性の調整は困難である。
一部で、ピンホールやスリット構造の導通孔の外部に多孔質体からなる導通孔を前置し、これを研削、研磨することによって出力を調整すると共にクヌーセン拡散と分子拡散の寄与度を調整する方法が考えられているが、この方法は研削量というひとつのパラメータで、出力、温度、圧力特性という３種類の特性を制御する必要があり、実質的に調整は困難である。

本発明は、かかる問題点を鑑みてなされたもので、所望の温度特性、圧力特性が得られるよう精密に導通孔の孔径が制御可能なガスセンサ素子の製造方法を提供しようとするものである。

本発明は、酸素イオン導電性固体電解質板と、該固体電解質板の少なくとも一方の表面に設けた被測定ガス側電極と基準電極とを有し、上記被測定ガス側電極と対面する被測定ガス室と、該被測定ガス室と外部雰囲気とを結ぶと共に拡散抵抗を備えた導通孔を有するガスセンサ素子を製造するに当たり、
ガスセンサ素子製造用のグリーンシートを所望の枚数積層してなる未焼積層体を準備し、かつ上記未焼積層体の内部に、焼成後は上記被測定ガス室となる空間部を設けてなると共に、該空間部と上記外部雰囲気との間を連絡する様に有機物からなる複数本の糸を上記積層したグリーンシートの間に挟み込んで配設し、
その後、上記未焼積層体を焼結すると共に上記有機物からなる糸を焼失せしめ、上記被測定ガス室と上記外部雰囲気との間を貫通する上記導通孔を形成することを特徴とするガスセンサ素子の製造方法にある（請求項１）。

ガスセンサ素子の温度特性、圧力特性は、前述したように被測定ガス室と外部雰囲気とを結び、拡散抵抗を備えた導通孔の孔径に依存する。従って、ガスセンサ素子を製造する際に拡散抵抗を有する導通孔を設け、その孔径を何らかの方法で精密に制御することができれば、所望の温度特性、圧力特性（それぞれ孔径をパラメータとして相互に関係を持つ）を得ることが可能である。そして、特に孔径数μｍ〜数十μｍの領域において比較的有用な温度特性、圧力特性となる範囲が存在する。
しかしながら、上記孔径の導通孔を得るには、従来知られたスリット構造を利用するか、スリットやピンホールに対し多孔質体を組み合わせた構成を利用するしか方法がなく、前述したようにこれらの構成を製造する際には、精密な孔径の再現が難しかった。

本発明は、上記問題に対し、予め未焼積層体の内部に、焼成後は上記被測定ガス室となる空間部を設けてなると共に、上記空間部と上記外部雰囲気とを結ぶように、複数本の有機物からなる糸を配設する。
その後、上記未焼積層体を焼結することで、上記有機物からなる糸は焼失して、有機物からなる糸と同径の複数本の導通孔が残る。有機物からなる糸として径が均一なものを用いれば導通孔の孔径を精密に制御することができる。
また、有機物の糸の本数は、焼成後に形成される導通孔の数に等しくなる。そして、導通孔の総断面積に応じてガスセンサ出力が定まる。従って、有機物の糸の本数を調整することにより、所望の出力を得ることができる。

以上、本発明によれば、所望の温度特性、圧力特性が得られるよう精密に導通孔の孔径及び、センサ出力の調整が制御可能なガスセンサ素子の製造方法を提供することができる。

本発明にかかるガスセンサ素子としては、自動車エンジン等の各種車両用内燃機関の排気管に設置して、排気ガスフィードバックシステムに使用する空燃比センサに内蔵する空燃比センサ素子、排気ガス中の酸素濃度を測定する酸素センサ素子、また排気管に設置する三元触媒の劣化検知等に利用するＮＯｘ等の大気汚染物質濃度を調べるＮＯｘセンサ素子等がある。
また、本発明から製造されるガスセンサ素子は、導通孔に拡散抵抗が備わっていることから、いずれも限界電流式のガスセンサ素子に適しており、更にガスセンサ素子製造用のグリーンシートを所望の枚数積層してなる未焼積層体から作製するため、積層型のガスセンサ素子に適する。

また、有機物の糸の配設方法について説明する。
即ち、未焼積層体を製造する際に、複数の有機物の糸を所定のグリーンシート間に挟みこみ、加圧積層する。これにより、焼成後には被測定ガス室となる空間部と、外部雰囲気との間を結ぶ位置に、上記糸を配設する（実施例１）。

また、本発明にかかる製造方法によれば、次に示す効果も更に得ることができる。
本発明にかかる製造方法から得たガスセンサ素子は、エンジン冷始動時に発生するリッチシフト現象の低減に効果を得ることができる。
上記リッチシフトとは、エンジン始動直後、ガスセンサ素子の検出値に基づいて得たエンジンにおける空燃比が、実際の空燃比よりもリッチ側を示す現象である。エンジンの燃焼制御はガスセンサ素子の検出値に基づいて行われるため、リッチシフト状態にある排気ガスフィードバックシステムはエンジンに対する燃料供給を抑制するため、エンジンの正常作動に問題が生じるおそれがある。
上記リッチシフト現象は、数時間単位の長時間、自動車等の車両の排気管に放置したガスセンサ素子において確認される現象である。詳細なメカニズムは不明ながら、原因がガスセンサ素子に付着した水分にあることが再現実験等から明らかとなっている。更に、上記水分は、その大部分が多孔質体（特にアルミナ製）に付着していることも判明している。

また、上記リッチシフト現象の対策として、構造的に多孔質体の部分を低減すること、及び多孔質体の拡散抵抗を低減することでガス抜けを促進し、ガスセンサ素子に付着した水分を速やかに外部雰囲気に排出させることが経験的に判明している。
本発明にかかる製造方法により得たガスセンサ素子の導通孔は、有機物からなる糸が焼失することで形成されるため、多孔質体と比較して表面積が小さくなる。更に、多孔質体からなる導通孔は複雑かつ微細な迷路構造となるが、本発明の導通孔は、それに比べれば比較的直通で孔径が大きい構造となる。従って、水分が多孔質体に比べて付着し難く、リッチシフトが発生し難い。

次に、上記有機物の糸は直径が０．５〜３０μｍであることが好ましい（請求項２）。
０．５μｍより細い場合、糸の強度が弱くなるため、取り扱いが困難となってガスセンサ素子の製造が難しくなるおそれがある。３０μｍより太い場合は、ガスセンサ素子の製造工程において糸が変形しやすくなり、断面が扁平状に歪んだ導通孔が形成されてしまうおそれがある。
次に、上記複数本の糸を焼失させることにより形成させる各々の導通孔は、他の導通孔と交差することなく貫通していることが好ましい（請求項３）。この場合には、各導通孔はそれぞれ単独で被測定ガス室と外部雰囲気との間に貫通している。
そのため、導通孔の行路長のバラツキが少なく、ガス拡散抵抗にもバラツキが少なく、ガスセンスサ素子の出力安定性が向上する。

また、本発明においては、上記有機物の糸を複数本配設して、これを焼失させることにより導通孔を形成させる。
そのため、有機物の糸の本数は、焼成後に形成される導通孔の数に等しくなる。そして、導通孔の総断面積に応じてガスセンサ出力が定まる。従って、有機物の糸の本数を調整することで、容易に所望の出力を得ることができる。

次に、上記有機物の糸は炭素を含み、かつ水素、酸素、窒素、ホウ素、燐、硫黄及びハロゲンのいずれか１種以上の元素を含有し、他の元素を含まないことが好ましい（請求項４）。
上記糸は有機物からなり、従って炭素を含有する。炭素以外の元素として、水素、酸素、窒素、ホウ素、燐、硫黄及びハロゲンのいずれか１種以上の元素を含み、他の元素を含有しない有機物は、加熱により未焼積層体の中に残滓を残すことなく焼失することができる。
従って、ガスセンサ素子の焼成の際になんら有害な痕跡を残すことなく、所望の孔径を有する導通孔を得ることができる。
なお、上記有機物の具体的な素材としては、ポリエチレン、塩化ビニル等を用いることができる。

次に、未焼積層体は、焼成後は上記被測定ガス室となる空間部を備えた被測定ガス室形成用グリーンシートを有してなり、上記有機物の糸は上記被測定ガス室用グリーンシートに対し配設することが好ましい（請求項５）。
これにより、より容易かつ効果的に導通孔の形成を行うことができる。
また、上記有機物の糸の配設場所としては、後述する実施例３に示すごとく、焼成後に遮蔽層となる遮蔽層用グリーンシートが例示できる。
次に、請求項１〜５のいずれかの方法により製造してなり、酸素イオン導電性固体電解質板と、該固体電解質板の少なくとも一方の表面に設けた被測定ガス側電極と基準電極とを有し、上記被測定ガス側電極と対面する被測定ガス室と、該被測定ガス室と外部雰囲気とを結ぶと共に拡散抵抗を備えた導通孔を有することを特徴とするガスセンサ素子がある（請求項６）。

（実施例１）
本発明にかかる実施例について、図１〜図６を用いて説明する。
本例にかかるガスセンサ素子１は、図１〜図３に示すごとく、酸素イオン導電性固体電解質板１１と、該固体電解質板１１の少なくとも一方の表面に設けた被測定ガス側電極２１と基準電極２２とを有し、上記被測定ガス側電極２１と対面する被測定ガス室１７１と、該被測定ガス室１７１と外部雰囲気とを結ぶと共に拡散抵抗を備えた導通孔１３１を有するガスセンサ素子１である。
このようなガスセンサ素子１を製造するに当たり、図４、図５に示すごとく、ガスセンサ素子１製造用のグリーンシートを所望の枚数積層してなる未焼積層体３を準備し、かつ上記未焼積層体３の内部に、焼成後は上記被測定ガス室１７１となる空間部３７１を設けてなると共に、上記空間部３７１と上記外部雰囲気とを結ぶように有機物からなる糸３３１を配設し、その後、上記未焼積層体３を焼結すると共に上記有機物からなる糸３３１を焼失せしめることで、上記被測定ガス室１７１と上記導通孔１３１を形成してなる。

以下、詳細に説明する。
本例のガスセンサ素子１は、自動車エンジンの排気系に設置して、空燃比フィードバック制御に用いるＡ／Ｆセンサに内蔵して使用する限界電流式のガスセンサ素子である。
図１、図２に示すごとく、酸素イオン導電性の固体電解質板１１の一方の面１１１にアルミナ絶縁板１２、被測定ガス室形成用のスペーサ１３、ガス不透過の遮蔽板１４を積層し、また他方の面１１２に基準電極２２と対面する基準ガス室形成用のスペーサ１５、発熱部２３を備えたヒータ基板１６を積層してなる。
上記アルミナ絶縁板１２は被測定ガス側電極配設用の窓部１２０が設けてあり、該窓部において被測定ガス側電極２１が固体電解質板１１と接するようこれを配置する。
上記アルミナ絶縁板１２の一方の面１２１には、被測定ガス側電極２１と導通するリード部２１１及び端子部２１２が設けてある。また、固体電解質板１１の他方の面１１２には基準電極２２、これと導通するリード部２２１及び内部端子部２２２が設けてある。内部端子部２２２は、アルミナ絶縁板１２の面１２１に設けた端子部２２３とスルーホール１１９、１２９を介して内部端子部２２２との間の導通が確保される。
ヒータ基板１６の面１６１には通電により発熱する発熱部２３と、該発熱部２３と導通するリード部２３１が設けてある。ヒータ基板１６の面１６２には端子部２３２が設けてあり、該端子部２３２はリード部２３１とスルーホール１６９にて導通が確保される。

被測定ガス室１７１は、アルミナ絶縁板１２に設けた窓部１２０と被測定ガス室形成用のスペーサ１３に設けた窓部１３０と、固体電解質板１１、遮蔽板１４にて囲まれた空間から形成され、図１、図３に示すごとく、ガスセンサ素子１の外部雰囲気と上記被測定ガス室１７１に対して導通する導通孔１３１が上記スペーサ１３の両側面１３５に５個設けてあり、また導通孔１３１は直径が略１０μｍのピンホールからなる。
基準ガス室１７２は、スペーサ１５に設けた溝部１５０と固体電解質板１１にて囲まれた空間から形成される。
また、本例のガスセンサ素子１において、上記固体電解質板１１、各電極２１、２２等以外の遮蔽板１４、スペーサ１３、１５、アルミナ絶縁板１２、ヒータ基板１６はアルミナから構成されている。

次に、本例のガスセンサ素子の製造方法について説明する。
遮蔽板１４用、スペーサ１３用、アルミナ絶縁板１２用、固体電解質板１１用、スペーサ１５用、ヒータ基板１６用のグリーンシート３４、３３、３２、３１、３５、３６をそれぞれ作成し、必要に応じて窓部３３０、３２０、溝部３５０を各グリーンシート３３、３２、３５に設ける。
次いで、固体電解質板用のグリーンシート３１、アルミナ絶縁板用のグリーンシート３２に印刷部４１、４２、４２０を設ける。この印刷部４１、４２、４２０が焼成後に被測定ガス側電極２１や基準電極２２等となる。
また、グリーンシート３６には印刷部４３、４３０を設ける。この印刷部４３、４３０は焼成後に発熱部等になる。

次いで、各グリーンシートを図４、図５に示す順に積層するが、この時、グリーンシート３２と３３との間に、有機物であるポリエチレンからなる直径１２μｍの糸３３１を５本配設する。この糸は、窓部３２０、３３０がある範囲において配設する。この窓部３２０、３３０によって焼成後に被測定ガス室１７１となる空間部３７１が形成される。
次いで、各グリーンシート３１〜３６を積層圧着して、未焼積層体３となす。
このようにして得た未焼積層体３を焼結することで、各グリーンシートをセラミック板となすと共に糸３３１を焼失せしめて導通孔１３１を形成して、本例にかかるガスセンサ素子１となす。

なお、各グリーンシート３１〜３６の大きさであるが、図６に示すように、一度に複数本のガスセンサ素子が得られるようなサイズとして、大型の未焼積層体３を得て、焼成後に破線Ａにおいて切断し、個片化してガスセンサ素子１を作成することもできる。

本例にかかるガスセンサ素子の製造方法によれば、予め未焼積層体３の内部に、焼成後は上記被測定ガス室１７１となる空間部３７１を設けてなると共に、上記空間部と上記外部雰囲気とを結ぶように有機物からなる糸３３１を配設する。
その後、上記未焼積層体３を焼結することで、上記有機物からなる糸３３１は焼失して、有機物からなる糸３３１と同径の導通孔１３１が残る。
本例では、有機物からなる糸３３１として直径が均一で１２μｍであるものを用いているため、導通孔１３１の孔径を１０μｍと精密に制御することができる。ここで、糸３３１の直径と導通孔１３１の孔径が異なっているが、この理由は以下に示される。糸３３１は焼成工程においては比較的低温（６００℃以下）で消失し、導通孔１３１が形成される。その後、高温（１２００℃以上）で焼成される際に焼成収縮し、それに伴って上記導通孔１３１も収縮する。そのため、用意した糸の直径に対して、２０％程細い孔径の導通孔が得られる。

更に、用いた糸３３１の直径が１２μｍであるため、糸３３１の強度も充分で取り扱い容易であり、更に未焼積層体３を製造する際の積層圧着において糸３３１の変形も防止することができて、断面が扁平状に歪んだ導通孔が形成されてしまう問題が生じ難くなる。
また、糸３３１はポリエチレンからなるため、焼成の際に糸３３１は残滓を残すことなくきれいに焼失することができる。勿論、ポリエチレン以外の所定の有機物を用いることで同様の導通孔形成効果を得ることができる。

以上、本例によれば、所望の温度特性、圧力特性が得られるよう精密に導通孔の孔径が制御可能なガスセンサ素子の製造方法を提供することができる。

（参考例１）
本例は、実施例１と異なる方法でスペーサ３３に導通孔１３１を形成する方法について説明する。
実施例１と同様に、遮蔽板用、スペーサ用、アルミナ絶縁板用、固体電解質板用、ヒータ基板用のグリーンシートをそれぞれ作成し、必要に応じて窓部、溝部を各グリーンシートに設ける。
次いで、固体電解質板やアルミナ絶縁板用のグリーンシート、ヒータ基板用のグリーンシートにそれぞれ印刷部を設ける。
図７に示すごとく、本参考例においては、有機物であるポリエチレンからなる糸５１が絡み合った綿状体５を準備する。この綿状体５を被測定ガス室形成用のスペーサ用のグリーンシート３３にこすり付けて、図８に示すごとく、綿状体５を構成する糸５１をグリーンシート３３に配設する。なお、この綿状体５を構成する糸５１はいずれも直径が均一で１２μｍである。
その後は実施例１と同様の配置にて上記グリーンシートを積層し、圧着して、未焼積層体を得る。この未焼積層体を焼成して糸５１を焼失せしめて、孔径１０μｍの導通孔１３１を有するセンサ素子１を得る。
得られたガスセンサ素子１における導通孔１３１は、図９に示すように、側面１３５から被測定ガス室１７１に向かって貫通する孔径が均一な多数の細孔からなる。なお、図９には導通孔１３１となる細孔を１本のみ記載した。
その他詳細は実施例１と同様である。

（参考例２）
本例にかかるガスセンサ素子１は、図１０に示すごとく、被測定ガス室１７１と外部雰囲気とを結ぶ導通孔１４１が遮蔽板１４にある。
このガスセンサ素子１を製造するには、実施例１と同様に、遮蔽板用、スペーサ用、アルミナ絶縁板用、固体電解質板用、ヒータ基板用のグリーンシート３４、３３、３２、３１、３５、３６をそれぞれ作成し、必要に応じて窓部３３０、３２０、溝部３５０を各グリーンシート３３、３２、３５に設ける。
次いで、固体電解質板やアルミナ絶縁板用のグリーンシート３１、３２、ヒータ基板用のグリーンシート３６にそれぞれ印刷部４１、４２、４３を設ける。
ただし、本参考例においては、有機物であるポリエチレンからなる、直径１２μｍ、長さ３ｍｍ以下の糸３４１をスラリーにあらかじめ混ぜておき、このスラリーから上記遮蔽板用グリーンシート３４を作成するのである。
その結果、グリーンシート３４に、図１２に示すごとく、糸３４１が埋設される。ここで、板の厚み方向（図面における上下方向）を貫通する孔の数はグリーンシート３４への糸の混入量によって調整することができ（混入量に依存したある確率で貫通孔が形成される）、これによってセンサ出力を調整することが可能である。なお、上記グリーンシート３４の厚さは混入した糸の長さ（３ｍｍ以下）に対して十分短い０．２ｍｍとした。

その後は実施例１と同様の配置にて上記グリーンシートを積層し、圧着して、未焼積層体３を得る。この未焼積層体を焼成して糸３４１を焼失せしめて、導通孔１３１を有するセンサ素子１を得る。
得られたガスセンサ素子１における導通孔１４１は、図１０に示すように、ガスセンサ素子１の積層方向（図面における上下方向）に貫通する径が均一な多数の細孔からなる。
その他詳細は実施例１と同様である。

実施例１における、ガスセンサ素子の断面説明図。 実施例１における、ガスセンサ素子の斜視展開図。 実施例１における、スペーサの側面図。 実施例１における、未焼積層体の斜視展開図。 実施例１における、未焼積層体の要部展開説明図。 実施例１における、大型のグリーンシートを用いて作製した未焼積層体の平面図。 参考例１における、スペーサ用グリーンシートに有機物の糸からなる綿状体をこすりつける方法を示す説明図。 参考例１における、スペーサ用グリーンシートに有機物の糸の付着の様子を示す説明図。 参考例１における、導通孔を示す要部断面説明図。 参考例２における、ガスセンサ素子の断面説明図。 参考例２における、未焼積層体の斜視展開図。 参考例２における、遮蔽板用グリーンシートの断面説明図。

符号の説明

１ ガスセンサ素子
１１ 固体電解質板
１３１ 導通孔
２１ 被測定ガス側電極
２２ 基準電極
３ 未焼積層体

Claims (6)

1. 酸素イオン導電性固体電解質板と、該固体電解質板の少なくとも一方の表面に設けた被測定ガス側電極と基準電極とを有し、上記被測定ガス側電極と対面する被測定ガス室と、該被測定ガス室と外部雰囲気とを結ぶと共に拡散抵抗を備えた導通孔を有するガスセンサ素子を製造するに当たり、
   ガスセンサ素子製造用のグリーンシートを所望の枚数積層してなる未焼積層体を準備し、かつ上記未焼積層体の内部に、焼成後は上記被測定ガス室となる空間部を設けてなると共に、該空間部と上記外部雰囲気との間を連絡する様に有機物からなる複数本の糸を上記積層したグリーンシートの間に挟み込んで配設し、
   その後、上記未焼積層体を焼結すると共に上記有機物からなる糸を焼失せしめ、上記被測定ガス室と上記外部雰囲気との間を貫通する上記導通孔を形成することを特徴とするガスセンサ素子の製造方法。
2. 請求項１において、上記有機物の糸は直径が０．５〜３０μｍであることを特徴とするガスセンサ素子の製造方法。
3. 請求項１または２において、上記複数本の糸を焼失させることにより形成させる各々の導通孔は、他の導通孔と交差することなく貫通していることを特徴とするガスセンサ素子の製造方法。
4. 請求項１〜３のいずれか１項において、上記有機物の糸は炭素を含み、かつ水素、酸素、窒素、ホウ素、燐、硫黄及びハロゲンのいずれか１種以上の元素を含有し、他の元素を含まないことを特徴とするガスセンサ素子の製造方法。
5. 請求項１〜４のいずれか１項において、未焼積層体は、焼成後は上記被測定ガス室となる空間部を備えた被測定ガス室形成用グリーンシートを有してなり、上記有機物の糸は上記被測定ガス室用グリーンシートに対し配設することを特徴とするガスセンサ素子の製造方法。
6. 請求項１〜５のいずれかの方法により製造してなり、酸素イオン導電性固体電解質板と、該固体電解質板の少なくとも一方の表面に設けた被測定ガス側電極と基準電極とを有し、上記被測定ガス側電極と対面する被測定ガス室と、該被測定ガス室と外部雰囲気とを結ぶと共に拡散抵抗を備えた導通孔を有することを特徴とするガスセンサ素子。

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