JP4305172B2 - 電子部品およびこの電子部品を用いた電子機器 - Google Patents
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Description
L1≦p1、かつL2≧p2
(ただし、L≒p、p1+p2=p、L1+L2=Lの関係を満たす)であるもので、保護膜を電極を覆うように形成したことで、電極指間に物理的なSAWの反射面が形成されることを防ぎ、その結果、保護膜が電極を覆うように形成されかつその表面に凸凹状態が存在する場合においても、特性の良い電子部品を得ることができるという作用を有する。
図1(a)は本発明の実施の形態1における電子部品としてのSAWデバイスの上面図、図1(b)は同断面図である。
L1≦p1、かつL2≧p2
(ただし、L≒p、p1+p2=p、L1+L2=Lの関係を満たす)の関係を満たすものである。
以下本発明の実施の形態2におけるSAWデバイスについて図面を参照しながら説明する。
13%≦t/(2×p)≦35%
の条件を満たしている場合に良好な温度特性および電気特性が得られることを確認した。
以下本発明の実施の形態3におけるSAWデバイスについて図面を参照しながら説明する。
38°≦D°
であるD°YLT基板を用いた場合に良好な温度特性および電気特性が得られることを確認した。
以下本発明の実施の形態4におけるSAWデバイスについて図面を参照しながら説明する。
以下に本発明の、実施の形態5における電子機器について図面を参照しながら説明する。
2 櫛型電極
2a 電極指
3 反射器
4 保護膜
4a 保護膜の凸部分
4b 保護膜の凹部分
5 パッド
21 基板
22 電極膜
23 レジスト膜
24 保護膜
25 レジスト膜
26 パッド
121 アンテナ
122 アンテナ共用器
122a 送信用SAWフィルタ
122b 受信用SAWフィルタ
122c 移相線路
131 送信帯域
132 受信帯域
141 保護膜の凸部の頂部
142 保護膜の凸部の頂部近辺の形状を近似する曲線
143 保護膜の凸部の頂部近辺の形状を近似する曲線の凸部の頂部における接線
144 保護膜の凹部の底面を結ぶ直線
145 保護膜の凸部の頂部近辺の形状を近似する曲線の凸部の頂部における接線と保護膜の凹部の底面を結ぶ直線の交点
Claims (7)
- 基板と、この基板の上面に設けた櫛型電極と、この櫛型電極を覆うとともに天面に凹凸形状を有する保護膜とを備え、この保護膜の凹凸形状の1ピッチあたりのピッチ幅をL、前記保護膜の凹凸形状の1ピッチあたりの凹凸の凸部の幅をL1、凹部の幅をL2、前記櫛型電極の1ピッチあたりのピッチ幅をp、前記櫛形電極を構成する電極指1本あたりの幅をp1、前記電極指間の幅をp2としたとき、
L1≦p1、かつL2≧p2
(ただし、L≒p、p1+p2=p、L1+L2=Lの関係を満たす)である電子部品。 - 1ピッチあたりの保護膜のピッチ幅Lと前記保護膜の凹凸形状の1ピッチあたりの凹凸の凸部の幅L1との比L1/Lをη'とし、1ピッチあたりの櫛型電極のピッチ幅pと前記櫛形電極を構成する電極指1本あたりの幅p1との比p1/pをηとしたとき、ηとη'との関係が、
η'/η≦ 0.86
(ただし、L≒p、p1+p2=p、L1+L2=Lの関係を満たす)である請求項1に記載の電子部品。 - 1ピッチあたりの保護膜の凹凸の凸部の幅L1の中心をLcとし、前記1ピッチあたりの保護膜の凸部の下方に位置する櫛型電極の電極指の幅p1の中心をpcとしたとき、Lcとpcが、平面視ほぼ同一直線上に存在している請求項1に記載の電子部品。
- 基板は、タンタル酸リチウム基板であって、かつこのタンタル酸リチウム基板の切り出し角度が、X軸周りにZ軸方向への回転角度をD°とした場合、
38°≦D°
のY板から切出されたものである請求項1に記載の電子部品。 - 保護膜は、基板表面から前記保護膜の凹部までの高さで定義される保護膜の厚さをtとしたとき、
13%≦t/(2×p)≦35%
である請求項1に記載の電子部品。 - 保護膜は二酸化シリコンである請求項1に記載の電子部品。
- 少なくとも1つのアンテナと、このアンテナに電気的に接続する電気回路とを有する電子機器であって、前記電気回路は複数の電子部品を備え、この複数の電子部品の少なくとも一つは、請求項1ないし6の何れかに記載の電子部品である電子機器。
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