JP4297614B2 - モデル予測制御を用いた、半導体製作における個別部品の生産を制御するための方法およびコントローラ装置 - Google Patents
モデル予測制御を用いた、半導体製作における個別部品の生産を制御するための方法およびコントローラ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4297614B2 JP4297614B2 JP2000557182A JP2000557182A JP4297614B2 JP 4297614 B2 JP4297614 B2 JP 4297614B2 JP 2000557182 A JP2000557182 A JP 2000557182A JP 2000557182 A JP2000557182 A JP 2000557182A JP 4297614 B2 JP4297614 B2 JP 4297614B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tool
- semiconductor manufacturing
- wafer
- model
- input
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 90
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 45
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 36
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 105
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 67
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 67
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 25
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 9
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 3
- 238000010923 batch production Methods 0.000 claims 11
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 claims 2
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 13
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 6
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 5
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 238000004540 process dynamic Methods 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 238000012417 linear regression Methods 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 230000003446 memory effect Effects 0.000 description 1
- 238000012552 review Methods 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/20—Sequence of activities consisting of a plurality of measurements, corrections, marking or sorting steps
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
- G05B19/41885—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by modeling, simulation of the manufacturing system
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
【発明の分野】
この発明は、一般的にモデル予測制御を用いた個別部品の製造に関し、より特定的には、モデル予測制御を用いて半導体ウェハの製造を制御するための方法およびコントローラ装置に関する。
【0002】
【発明の背景】
多くの製造動作は個別部品の製造を伴う。半導体製作は、ウェハの処理分(run)またはバッチなどの個別部品の製作を含み、その各々が類似の処理を用いて製作された1つまたはそれ以上のウェハを含む。半導体製作における1つの課題は、1処理分ごとに装置入力を制御することである。1処理分ごと(run-to-run)の制御ステムにおける課題が生じるのは、所与のウェハまたはウェハの群を処理する間のプロセス状態および出力状態、ならびに入来するウェハのさまざまな入力状態に関する実時間情報がないためである。
【0003】
化学機械研磨(CMP)は、半導体ウェハ上の二酸化シリコンおよびその他の型の層を平坦化するために半導体ウェハの製作において用いられる、一般的な、かつ急速に成長しているプロセスである。化学機械研磨は典型的に、アルカリまたは酸性の溶剤中に与えられた研磨剤を用いて、機械的および化学的な作用の組合せを通じてウェハの表面を平坦化する。典型的な化学機械研磨ツールは、研磨パッドが取付けられた回転可能な円形のプラテンまたはテーブルを含み、研磨デバイスはパッドの上に位置決めされる。研磨デバイスは1つまたはそれ以上の回転するキャリアヘッドを含み、ウェハは典型的には真空圧の使用によってそのヘッドに固定し得る。使用において、プラテンが回転し、研磨剤が研磨パッド上に与えられる。研磨剤が研磨パッドに塗布されると、回転するキャリアヘッドの各々に下向きの力が加えられ、そのウェハが研磨パッド上に押し付けられる。ウェハが研磨パッド上に押し付けられることによってウェハの表面が機械的および化学的に研磨される。製造動作において、通常の調整パラメータまたはツール入力は研磨時間である(ただし動作によってはキャリアの下向きの力も入力である)。テーブルの速度およびキャリアの下向きの力など、その他のパラメータはプロセスに対して固定される。
【0004】
半導体デバイスが縮小されるに従って、1処理分ごとの制御の重要性が増加する。特に、ツール出力のばらつきはその後の製作ステップに悪影響を与え、デバイスの性能を劣化させるため、ツール出力の制御は徐々に重要になってきている。たとえばCMPにおいては、研磨された層の研磨後の厚みなどのツール出力は正確に制御されなければならない。なぜなら研磨後の厚みのばらつきは、たとえばリソグラフィなど、その後の処理ステップを顕著に劣化させ得るためである。
【0005】
CMPツールなどの製造ツールにおける従来の1処理分ごとの制御は典型的に、指数的に重み付けられた移動平均(EWMA)コントローラの使用を伴う。EWMAコントローラは典型的には次のような線形回帰プロセスモデルを用いる。
【0006】
yk=B*uk|k-1+ck|k-1+ek [1]
ここでykはバッチkにおける出力、Bはプロセスのゲイン、uk|k-1はバッチk−1までの情報から算出されたバッチkにおける入力、ck|k-1は切片に対する推定値、ekはシステムに入る未知のプロセスノイズである。典型的には、システムのゲインおよび切片の初期値は設計された実験から先験的にモデル化される。
【0007】
切片は、典型的には次の形のオブザーバによって帰納的に更新される。
ck|k-1=λ*(yk-1−B*uk-1|k-2)+(1−λ)*ck-1|k-2 [2]
ここでλはオブザーバの指数的な重み付け因子または調整パラメータである。重み付け因子λは0から1の値をとり、オブザーバの所望の特性に基づいて選択される。更新された切片を用いて、バッチkに対する入力(uk|k-1)は以下の関係から決定される。
【0008】
uk|k-1=(T−ck|k-1)/B [3]
ここでTは目標の出力の厚みである。
【0009】
1処理分ごとの制御に対して、予測修正コントローラ(PCC)などその他のコントローラが提案されてきた。標準的なEWMAコントローラが単に切片は一定のままであると仮定するのに対し、PCCは将来切片がどのように変化するかを予測することを試みて、第2の指数的なフィルタを用いて見積られた切片の傾向を予想する。PCCの付加的なオブザーバ方程式は次の形である。
【0010】
δck|k-1=y*(yk−B*uk|k-1−ck|k-1)+(1−y)*δck-1|k-2 [4]
ここでδck|k-1は切片の平滑化した傾向である。この変更によってモデル予測方程式は次のようになり、
yk=B*uk|k-1+ck|k-1 [5]
切片に対する新たな予測は次の式から得られる。
【0011】
ck|k-1=ck|k-1+δck|k-1 [6]
EWMAおよびPCCコントローラを用いても、ツール出力のばらつきは半導体製作およびデバイスの性能になおも大きな悪影響を与える。半導体デバイスの大きさがさらに減少することによってこの悪影響の重要性も増す。その結果、半導体製造業者は半導体ウェハの製造をより正確に制御するためのシステムおよび方法を求めている。
【0012】
【発明の概要】
この発明は、モデル予測制御を用いて半導体ウェハの製造を制御するための方法およびコントローラ装置を提供する。実施例の1つに従うと、製造ツールのツール出力は第1のウェハ1処理分に基づいて定められる。ツール出力を用いて、その後のウェハ1処理分に対するツール入力は、ツール出力をツールプロセス状態に関連付け、かつツールのプロセス状態をツール入力および前のツールプロセス状態に関連付けるウェハプロセスモデルを数学的に実行することによって定められる。次いでツール入力は第2のウェハ1処理分を処理するために製造ツールに与えられる。この態様で、その後の処理分に対するツール入力の決定においてツールによる処理またはツールの寿命が考慮に入れられる。このことによって1処理分ごとのツール出力のばらつきを減少でき、最終的に形成された半導体デバイスの特性を改善できる。そのツールはたとえば化学機械研磨ツールであってもよく、ツール出力は1処理分のためのCMPツールに関する研磨後のウェハ層の厚みであり、そのツール入力は研磨時間である。
【0016】
添付の図面は、ただ例のためのものである。
この発明は一般的に、モデル予測制御を用いて半導体ウェハの製造を1処理分ごとに制御するためのシステムおよび方法を提供する。この発明は、化学機械研磨(CMP)ツールによる絶縁層などのウェハ層の研磨後の厚みを制御するために特に好適である。
【0017】
図1に例として、この発明とともに用い得る研磨ツールを例示する。例示的な研磨ツール100は一般的に、プラテン112上に取付けられた研磨パッド110と、研磨パッド110上に位置決めされたマルチヘッドキャリア120とを含む。マルチヘッドキャリア120は典型的には複数の回転可能な研磨アーム122を含み、各アームはヘッド124を含む。ウェハは真空圧などの公知の技術によってキャリアヘッド124に固定し得る。研磨流体のソース(図示せず)も設けられており、研磨流体が研磨のためにパッド110に供給される。研磨ツール100は例のためにのみ示されることが認識されるべきである。1つまたはそれ以上の研磨アームを有する他の研磨ツールをこの発明とともに用いてもよい。
【0018】
図2に、この発明の実施例の1つに従った、前述のような研磨ツールを制御するための例示的な制御システムを例示する。例示的な制御システム200は、2つの計測ツール210および212を含み、これらはそれぞれウェハ層(例、絶縁層)の研磨前の厚みと研磨後の厚みとを測定する。ここには2つの計測ツールが例示されているが、単一の計測ツールを用いて研磨の前後両方の厚みの測定を行なってもよい。2つの計測ツール210および212は、研磨ツール220に結合される。多くの適用に対する好適な計測ツールは、サーマウェーブ(Thermawave)社のオプティプローブ(Optiprobe)計測ツールである。
【0019】
このシステムはさらに、研磨ツール220に対する研磨時間などの入力を制御するために研磨ツール220に結合されたコントローラ230を含む。コントローラ230は一般的に、計測ツール210および212からウェハの1処理分に対する研磨前および研磨後の厚みの測定値を受取り、その厚みの測定値を用いてその後のウェハ1処理分に対する研磨ツール220への研磨時間入力を制御する。研磨時間入力はたとえば、公称研磨時間からの偏差であってもよい。このコントローラはたとえば、たとえばマットラブ最適化ツールボックス(MatLab Optimization Toolbox)(登録商標)ルーチンを用いて実現されるモデル予測コントローラであってもよい。コントローラ230は、たとえばアドバンスプロセス制御骨格(Advance Process Control Framework)インターフェイスを用いて研磨ツール220とインターフェイスされてもよい。
【0020】
システム200に対する例示的なプロセスの流れを図3に例示する。ブロック302において、第1のウェハ群(たとえば、研磨アームの数に依存する1つまたはそれ以上のウェハ)が計測ツール210に与えられて、研磨される各ウェハ層の研磨前の厚みが測定される。次いで各々の研磨前の厚みは、典型的にはコントローラ230によってアクセス可能なデータベース中に記憶される。次いでブロック304に示すとおり、ウェハ群はツールの研磨アームのキャリアヘッドに載せられ、ウェハ群は予め定められた研磨時間を用いて研磨され、各ウェハのウェハ層の少なくとも一部分が取除かれる。研磨時間はブロック310においてコントローラ230によって算出されるか(後述)、または最初の1処理分に対してはオペレータが予め定めてもよい。研磨は典型的には、各アーム上に予め定められた下向きの力を用いて、予め定められたテーブル速度にて行なわれる。しかし所望の場合には、コントローラ230を用いて各アームの下向きの力を定めてもよい。マルチアーム研磨ツールの研磨アームにおける下向きの力を制御する技術については、代理人書類番号11729.219US01の、「多数アーム研磨ツールを制御するためのシステムおよび方法(System and Method for Controlling a Multi-Arm Polishing Tool)」と題する同時出願の、同一の譲受人に譲渡された米国特許出願に記載されており、その内容をここに引用により援用する。
【0021】
ウェハ群の研磨後、ブロック306に示すとおり、計測ツール212によって各ウェハの研磨された層の研磨後の厚みが定められる。各ウェハの研磨後の厚みは典型的には、コントローラ230によってアクセス可能なデータベース中に記憶される。ブロック308において、コントローラ230はウェハ1処理分が終了したかどうかを判断する。終わっていないときには、制御はブロック302に移動し、別のウェハ群が同じ研磨時間入力を用いて研磨される。1処理分が終了したときには、制御はブロック310に移動し、そこでコントローラ230によって新しい研磨時間入力(その後のウェハ1処理分に用いられる)が決定される。典型的にはコントローラ230は、予測された除去量と目下の除去量との間の予め定められた関係を含むモデルに基づく最適化方程式を解くことによって、研磨ツール220のための新たな研磨時間入力を決定する。例示的なプロセスモデルの詳細、およびコントローラ230が用い得る最適化方程式を以下に考察する。次いで制御はブロック312に移動し、そこで研磨ツール220に新たな研磨時間入力が与えられる。次いで、ブロック310においてコントローラ230によって定められた新たな研磨時間入力を用いて、別のウェハ1処理分が研磨される。
【0022】
上述のとおり、新たな研磨時間入力はプロセスモデルに基づいた最適化方程式を解くことによって定められる。多くの用途に適した、研磨ツールのための例示的なプロセスモデルは次のとおりである。
【0023】
zk+1=azk+buk+wk [7]
zk+1は1処理分k+1において除去される材料の予測量であり、zkは1処理分kにおいて除去される材料の量であり、ukは研磨時間入力(例、研磨時間または公称研磨時間からの偏差)を表わし、wkはプロセスのノイズを表わし、aはプロセスが時間またはドリフトにわたって変化するあらゆる傾向を説明し、bは研磨時間入力を材料の除去量に関係付けるものである。項azkを使用し、パッドの劣化からくるツールのドリフトなどのプロセス力学を考慮に入れて、研磨時間入力がこうしたプロセス力学に基づいて定められるようにすることが有利である。固定された係数aは将来の研磨プロセスにおける1つの研磨プロセスの効果を考慮したメモリ効果係数として見てもよい。
【0024】
aおよびbならびにノイズwkの値はプロセスに依存する。たとえば研磨ツールにおいて、aおよびbは研磨ツールの型、テーブルの速度、アームの下向きの力、研磨剤および研磨されるウェハの形態に依存して変化し得る。典型的には、係数aおよびbならびにノイズwkは試験用ウェハを用いて所与の研磨ツールに対して実験的に定められる。好適な実験技術には、周知の実験配置(DOE)または擬似ランダム2進シーケンスシステム識別技術が含まれる。あくまでも例であって制限するものではないが、多くの研磨用途において、aに適した値は−1から1の範囲であり、bに適した値は40から250オングストローム/秒の範囲である。ノイズwkは典型的にはランダムな変数であり、通常たとえば目標の出力の厚みの約5−10%に分布する。
【0025】
例示的なプロセスモデルは、1処理分間の研磨前の層の厚みなど、プロセスにおける上流のばらつきを説明するフィードフォワードモデルをさらに含んでもよい。たとえば典型的な製作設備において、蒸着ステップおよび研磨ステップは密接に結合されておらず、研磨ツールは典型的にはいくつかの異なる蒸着ツールからウェハを受取る。その結果、ウェハの研磨前の厚みは典型的に(およびしばしば実質的に)1処理分ごとにばらつきがある。多くの用途に対する好適なフィードフォワードモデルは次のとおりである。
【0026】
fk+1=αfk [8]
ここでfk+1は1処理分k+1において予測される入来する厚みであり、fkは1処理分kにおける入来する厚みである。典型的には、入来する厚みレベルfkは1処理分kにおいて処理されたウェハの入来する厚みの平均値である。要素αは上流プロセスにおけるドリフト(たとえば蒸着ツールにおけるドリフト)を説明する。多くの適用に対してαは1に等しくてもよく、これは次に入来する厚みfk+1の最良の推定値は最後に入来した厚みfkであることを示す。このような測定されたフィードフォワード外乱(disturbance)モデルを用いることによって、コントローラの性能をさらに上げることができる。
【0027】
例示的なプロセスモデルはさらに、1処理分間の研磨剤の変化、パッドの変化などの未知の状態の外乱を説明する未知の状態外乱モデルを含んでもよい。多くの適用に対する好適の未知の状態外乱モデルは次のようになる。
【0028】
dk+1=βdk [9]
ここでdk+1およびdkはそれぞれ1処理分k+1およびkにおける未知の外乱である。典型的には、1処理分kにおけるツールに対する未知の外乱レベル(dk)は、1処理分kに対して期待される研磨後の厚みレベルと測定された研磨後の厚みレベルとの差である。値dkは、所望のときにはフィルタリングされてもよい。要素βは未知の外乱におけるドリフトを説明するために用いられてもよい。多くの適用に対してβは1に等しくてもよく、これは次に入来する未知の外乱dk+1の最良の推定値は最後の未知の外乱dkであることを示す。このような未知の外乱モデルを用いることによってコントローラの性能をさらに促進できる。
【0029】
フィードフォワードモデルおよび未知の外乱モデルの両方を用いる、システムの例示的なプロセスモデルは以下のとおりである。
【0030】
zk+1=azk+buk+fk+dk+wk
fk+1=fk [10]
dk+1=dk
システムの出力の研磨後の厚みykは次の式によってモデルされる。
【0031】
【数1】
【0032】
出力モデルは、層の厚みを測定するために必要な時間による、計測ツールのフィードバックの時間の遅れのために修正されてもよい。1つの好適な出力モデルは2ユニット(すなわち2処理分)の時間の遅れを含み、それは次のとおりである。
【0033】
【数2】
【0034】
コントローラに対する例示的な最適化方程式は、前述の方程式[10]および[11]を受けて次のようになってもよい。
【0035】
【数3】
【0036】
ここでyTは目標出力であり、Qは出力エラー(1処理分k+j+1における研磨後の厚みと目標の研磨後の厚みyTとの差)における重みであり、Sは入力Δuk+jの変化の割合における重みであり、Rは入力uk+jにおける重みであり、uNは方程式[3]の解として計算されたN入力の移動のシーケンスである。Nは、1処理分kにおける解を計算するときにコントローラが予見すべき処理分の数に基づいて適切に選択される。特定の実施例において、コントローラは将来の移動Nのシーケンスを1とすることによって単純化されてもよい。このような場合には、最適化方程式は前述の方程式[10]および[11]を受けて次のように換算する。
【0037】
【数4】
【0038】
重みQ、R(適切であれば)およびSは、それぞれの機能(すなわち出力エラー、入力および入力の変化率)の所望の重み付けに基づいて適切に選択されてもよい。このことによって、研磨ツールの制御は所望の性能に対して調整される。たとえば、目標からの出力の偏差の最小化、または研磨時間の変化の最小化などの性能は変化する重みQおよびSによって調整できる。コントローラ230の最適化方程式(たとえば上述の方程式13および14)は、予め定められた入力Nのシーケンスに対する最適化方程式を最小化するような入力すなわち研磨時間ukに対して解かれてもよい。
【0039】
最適化方程式はさらに、研磨ツールの制約を考慮してNの将来の処理分にわたって最適化方程式(たとえば上述の方程式13または14)を最小化するような研磨時間に対して解かれてもよい。その制約は典型的には処理上の配慮によって必然的に定まり、たとえば研磨時間入力が特定の値よりも小さくなる(たとえばuk<timemax)よう要求したり、または1処理分間の研磨時間入力の変化が上側の境界と下側の境界との間にくる必要がある(たとえばBL<uk+1−u k<BU)ことを含むであろう。
【0040】
動作中、ブロック310においてコントローラ230は目下の1処理分(1処理分k)のツールに対する研磨後の厚みレベルykと研磨前の厚みレベルfkとを定める。ウェハが多数の場合は、ツールの研磨前の厚みfkおよび研磨後の厚みykは、1処理分kにおいて研磨されたウェハに対する研磨前後の厚みの平均であってもよい。未知の外乱モデルを用いるモデルに対しては、ツールに対する未知の外乱値dkも定められる。1処理分kにおけるツールに対する値dkは、1処理分kに対して期待される研磨後の厚みと、1処理分kにおいて測定された研磨後の厚みレベルとの差であってもよい。測定された研磨前後の厚みレベルfkおよびyk(および所望の場合には未知の外乱dk)を用いて、コントローラ230は、予め定められた将来の入力Nにおいてあらゆる制約を受ける最適化方程式を最小化するような(次の1処理分すなわち1処理分k+1において適用するための)新たな研磨時間ukに対する最適化方程式(たとえば前述の方程式13または14)を解く。
【0041】
前述の制御システムを用いると、研磨後の厚みの1処理分ごとのばらつきを従来の制御技術(EWMAまたはPCC技術など)に比べて減少できる。前述の制御システムは、たとえば将来のプロセス出力および入力を定める際にプロセスのドリフトを考慮に入れることによって、こうした1処理分ごとのばらつきを減少させる。特に、研磨ツールをより正確に制御するために固定された量のドリフト(方程式[7]におけるa)がコントローラに組入れられる。プロセスモデルおよびコントローラの最適化方程式に、測定されたフィードフォワード外乱(たとえば厚み外乱)および未知の外乱モデルを組入れることによって1処理分ごとのばらつきをさらに減少できる。
【0042】
前述の例示的な実施例はCMPツールなどの研磨ツールの1処理分ごとの制御を例示するが、この発明は研磨ツールの制御に制限されるものではなく、1処理分ごとの製造に用いられるあらゆる製造ツールに広く当てはまるものであることが強調される。この発明を適用可能なその他のシステムまたはツールには、たとえば気相成長(CVD)ツールおよびスパッタ蒸着ツールなどの蒸着ツールが含まれる。たとえばCVD蒸着ツールについては、ツール出力は蒸着層の厚みであってもよく、プロセス状態はチャンバの清浄度であってもよい。スパッタ蒸着ツールについては、ツール出力は蒸着層の厚みであってもよく、プロセス状態は目標の寿命または清浄度であってもよい。
【0043】
上述のとおり、この発明はいくつかの異なる製造ツールの1処理分ごとの制御に適用可能である。したがってこの発明は前述の特定の例に制限されるものと考えられるべきではなく、むしろ添付の請求項に正確に述べられるとおり、この発明のすべての局面に当てはまるものと理解されるべきである。この発明を適用可能なさまざまな変更形、同等のプロセス、および多くの構造はこの明細書の概説によって当業者に明らかとなるであろう。請求項はこうした変更形およびデバイスに当てはまることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【図1】 多数の研磨アームを有する従来の研磨ツールを例示する図である。
【図2】 この発明の実施例の1つに従った研磨ツールに対する例示的な制御システムを例示する図である。
【図3】 この発明の実施例の1つに従った研磨ツールを制御するための例示的なプロセスを例示する流れ図である。
Claims (16)
- ウェハを処理する半導体製造ツールのバッチ処理をコントローラが制御するための方法であって、ツール出力は前記半導体製造ツールの結果を特徴付けるパラメータであり、ツール入力は前記半導体製造ツールの動作を制御するためのパラメータであり、前記方法は
前記コントローラが、前記半導体製造ツールによる第1のバッチ処理後のツール出力を受信するステップと、
前記半導体製造ツールによる第k番目のバッチ処理によるツール出力と、第(k+1)番目のバッチ処理によるツール出力との間で予め定められた関係を表わすウェハプロセスモデルを用いて、前記コントローラが、実際に行なわれたバッチ処理の次のバッチ処理のためのツール入力を決定するステップとを含み、前記ウェハプロセスモデルは、次の式によって表わされ、
z k+1 =az k +bu k +w k
ここで、
z k+1 は、第(k+1)番目のバッチ処理においてウェハから除去される材料の予測量を表わし、
z k は、第(k)番目のバッチ処理においてウェハから除去された材料の量を表わし、
u k は、前記ツール入力としての時間を表わし、
aは、前記半導体製造ツールによる処理結果のドリフトを表わし、
bは、前記ツール入力としての時間u k を材料の除去量に関係付けるために単位を変換するためのパラメータであり、
w k は、前記半導体製造ツールによる処理のノイズを表わし、
a、b、w k は、前記半導体製造ツールによる試験用ウェハの処理に基づいて予め決定されたものであり、
前記方法はさらに、
前記次のバッチ処理のために、前記決定されたツール入力を前記半導体製造ツールに与えるステップを含む、方法。 - 前記ツール入力u k は、公称研磨時間からの偏差である、請求項1に記載の方法。
- 前記モデルはツール入力の変化の割合の関数である、請求項1に記載の方法。
- 前記モデルはツール入力の関数である、請求項3に記載の方法。
- 前記モデルは、ツール出力に対する重み付け係数とツール入力の変化の割合とを含む、請求項3に記載の方法。
- 前記ツール出力を定めるステップは、前記第1のバッチ処理の対象に含まれる各ウェハに対する個々のツール出力を平均化するステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記モデルはフィードフォワード外乱モデルをさらに含み、前記フィードフォワード外乱モデルは、ウェハを処理する一つ以上の他のツールから前記半導体製造ツールに入力されるウェハのばらつきを数学的に表わす、請求項1に記載の方法。
- 前記モデルは未知の状態外乱モデルをさらに含み、前記未知の状態外乱モデルは前記半導体製造ツールに入力されるウェハのばらつきを数学的に表わす、請求項1に記載の方法。
- ウェハを処理する半導体製造ツールのバッチ処理を制御するためのコントローラ装置であって、前記コントローラ装置はコンピュータベースの回路装置を有し、ツール出力は前記半導体製造ツールの出力を特徴付けるパラメータであり、ツール入力は前記半導体製造ツールの動作を制御するためのパラメータであり、前記コントローラ装置は
前記コンピュータベースの回路装置の一部として、前記半導体製造ツールによる第1のバッチ処理後のツール出力を定める手段と、
前記コンピュータベースの回路装置の一部として、前記半導体製造ツールによる第k番目のバッチ処理によるツール出力と、第(k+1)番目のバッチ処理によるツール出力との間で予め定められた関係を表わすウェハプロセスモデルを用いて、実際に行なわれたバッチ処理の次のバッチ処理のためのツール入力を定める手段とを含み、前記ウェハプロセスモデルは、次の式によって表わされ、
z k+1 =az k +bu k +w k
z k+1 は、第(k+1)番目のバッチ処理においてウェハから除去される材料の予測量を表わし、
z k は、第(k)番目のバッチ処理においてウェハから除去された材料の量を表わし、
u k は、前記ツール入力としての時間を表わし、
aは、前記半導体製造ツールによる処理結果のドリフトを表わし、
bは、前記ツール入力としての時間u k を材料の除去量に関係付けるために単位を変換するためのパラメータであり、
w k は、前記半導体製造ツールによる処理のノイズを表わし、
a、b、w k は、前記半導体製造ツールによる試験用ウェハの処理に基づいて予め決定されたものであり、
前記コントローラ装置はさらに
前記次のバッチ処理のために、前記決定されたツール入力を前記半導体製造ツールに与える手段を含む、コントローラ装置。 - 前記ツール入力u k は、公称研磨時間からの偏差である、請求項9に記載のコントローラ装置。
- 前記モデルはツール出力の重み付けされた関数に基づく、請求項9に記載のコントローラ装置。
- 前記モデルはツール入力の変化の割合の重み付けされた関数である、請求項11に記載
のコントローラ装置。 - 前記モデルはツール入力の重み付けされた関数である、請求項12に記載のコントローラ装置。
- 前記ツール出力を定める手段は、前記第1のバッチ処理の対象に含まれる各ウェハに対する個々のツール出力を平均化する手段を含む、請求項9に記載のコントローラ装置。
- 前記モデルはフィードフォワード外乱モデルをさらに含み、前記フィードフォワードモデルは、ウェハを処理する一つ以上の他のツールから前記半導体製造ツールに入力されるウェハのばらつきを数学的に表わす、請求項11に記載のコントローラ装置。
- 前記モデルは未知の状態外乱モデルをさらに含み、前記未知の状態外乱モデルは前記半導体製造ツールに入力されるウェハのばらつきを数学的に表わす、請求項11に記載のコントローラ装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/105,979 US6230069B1 (en) | 1998-06-26 | 1998-06-26 | System and method for controlling the manufacture of discrete parts in semiconductor fabrication using model predictive control |
US09/105,979 | 1998-06-26 | ||
PCT/US1998/027074 WO2000000874A1 (en) | 1998-06-26 | 1998-12-18 | System and method for controlling the manufacture of discrete parts in semiconductor fabrication using model predictive control |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007088643A Division JP4880512B2 (ja) | 1998-06-26 | 2007-03-29 | モデル予測制御を用いた、半導体製作における個別部品の生産を制御するための方法およびコントローラ装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002519779A JP2002519779A (ja) | 2002-07-02 |
JP2002519779A5 JP2002519779A5 (ja) | 2006-02-02 |
JP4297614B2 true JP4297614B2 (ja) | 2009-07-15 |
Family
ID=22308814
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000557182A Expired - Lifetime JP4297614B2 (ja) | 1998-06-26 | 1998-12-18 | モデル予測制御を用いた、半導体製作における個別部品の生産を制御するための方法およびコントローラ装置 |
JP2007088643A Expired - Lifetime JP4880512B2 (ja) | 1998-06-26 | 2007-03-29 | モデル予測制御を用いた、半導体製作における個別部品の生産を制御するための方法およびコントローラ装置 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007088643A Expired - Lifetime JP4880512B2 (ja) | 1998-06-26 | 2007-03-29 | モデル予測制御を用いた、半導体製作における個別部品の生産を制御するための方法およびコントローラ装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6230069B1 (ja) |
EP (1) | EP1090335B1 (ja) |
JP (2) | JP4297614B2 (ja) |
KR (1) | KR100572039B1 (ja) |
DE (1) | DE69811742T2 (ja) |
WO (1) | WO2000000874A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013031090A1 (ja) * | 2011-09-01 | 2013-03-07 | 信越半導体株式会社 | シリコンウェーハの研磨方法及び研磨装置 |
Families Citing this family (84)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6169931B1 (en) * | 1998-07-29 | 2001-01-02 | Southwest Research Institute | Method and system for modeling, predicting and optimizing chemical mechanical polishing pad wear and extending pad life |
JP3897922B2 (ja) * | 1998-12-15 | 2007-03-28 | 株式会社東芝 | 半導体装置の製造方法、及びコンピュ−タ読取り可能な記録媒体 |
US7069101B1 (en) * | 1999-07-29 | 2006-06-27 | Applied Materials, Inc. | Computer integrated manufacturing techniques |
US6546306B1 (en) * | 1999-08-11 | 2003-04-08 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method for adjusting incoming film thickness uniformity such that variations across the film after polishing minimized |
US6492273B1 (en) | 1999-08-31 | 2002-12-10 | Micron Technology, Inc. | Methods and apparatuses for monitoring and controlling mechanical or chemical-mechanical planarization of microelectronic substrate assemblies |
US6560503B1 (en) * | 1999-10-05 | 2003-05-06 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and apparatus for monitoring controller performance using statistical process control |
US6820070B2 (en) | 2000-06-07 | 2004-11-16 | Insyst Ltd. | Method and tool for data mining in automatic decision making systems |
IL159332A0 (en) | 1999-10-31 | 2004-06-01 | Insyst Ltd | A knowledge-engineering protocol-suite |
US7461040B1 (en) | 1999-10-31 | 2008-12-02 | Insyst Ltd. | Strategic method for process control |
US6640151B1 (en) * | 1999-12-22 | 2003-10-28 | Applied Materials, Inc. | Multi-tool control system, method and medium |
AU2001249724A1 (en) * | 2000-04-03 | 2001-10-15 | Speed-Fam-Ipec Corporation | System and method for predicting software models using material-centric process instrumentation |
GB0008908D0 (en) | 2000-04-11 | 2000-05-31 | Hewlett Packard Co | Shopping assistance service |
US6741903B1 (en) | 2000-06-01 | 2004-05-25 | Adavanced Micro Devices, Inc. | Method for relating photolithography overlay target damage and chemical mechanical planarization (CMP) fault detection to CMP tool indentification |
US6556884B1 (en) | 2000-06-16 | 2003-04-29 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and apparatus for interfacing a statistical process control system with a manufacturing process control framework |
US6512991B1 (en) * | 2000-07-12 | 2003-01-28 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and apparatus for reducing deposition variation by modeling post-clean chamber performance |
US6567718B1 (en) * | 2000-07-28 | 2003-05-20 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and apparatus for monitoring consumable performance |
US6708074B1 (en) | 2000-08-11 | 2004-03-16 | Applied Materials, Inc. | Generic interface builder |
US6625513B1 (en) * | 2000-08-15 | 2003-09-23 | Applied Materials, Inc. | Run-to-run control over semiconductor processing tool based upon mirror image target |
US6766283B1 (en) | 2000-10-13 | 2004-07-20 | Insyst Ltd. | System and method for monitoring process quality control |
JP4827292B2 (ja) * | 2000-11-01 | 2011-11-30 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 研磨装置 |
US7188142B2 (en) | 2000-11-30 | 2007-03-06 | Applied Materials, Inc. | Dynamic subject information generation in message services of distributed object systems in a semiconductor assembly line facility |
US7092863B2 (en) | 2000-12-26 | 2006-08-15 | Insyst Ltd. | Model predictive control (MPC) system using DOE based model |
US6728587B2 (en) * | 2000-12-27 | 2004-04-27 | Insyst Ltd. | Method for global automated process control |
US7123978B2 (en) * | 2000-12-27 | 2006-10-17 | Insyst Ltd. | Method for dynamically targeting a batch process |
US6538730B2 (en) | 2001-04-06 | 2003-03-25 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Defect detection system |
EP1249864A1 (de) * | 2001-04-09 | 2002-10-16 | ABB Schweiz AG | Verfahren und Gerät zum Reduzieren der Dicke von dünnen Scheiben |
WO2002103776A2 (en) * | 2001-06-18 | 2002-12-27 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method for relating photolithography overlay target damage and chemical mechanical planarization (cmp) fault detection to cmp tool identification |
US7101799B2 (en) * | 2001-06-19 | 2006-09-05 | Applied Materials, Inc. | Feedforward and feedback control for conditioning of chemical mechanical polishing pad |
US7082345B2 (en) * | 2001-06-19 | 2006-07-25 | Applied Materials, Inc. | Method, system and medium for process control for the matching of tools, chambers and/or other semiconductor-related entities |
US7047099B2 (en) * | 2001-06-19 | 2006-05-16 | Applied Materials Inc. | Integrating tool, module, and fab level control |
US7160739B2 (en) | 2001-06-19 | 2007-01-09 | Applied Materials, Inc. | Feedback control of a chemical mechanical polishing device providing manipulation of removal rate profiles |
US20020192966A1 (en) * | 2001-06-19 | 2002-12-19 | Shanmugasundram Arulkumar P. | In situ sensor based control of semiconductor processing procedure |
US7698012B2 (en) | 2001-06-19 | 2010-04-13 | Applied Materials, Inc. | Dynamic metrology schemes and sampling schemes for advanced process control in semiconductor processing |
US6910947B2 (en) * | 2001-06-19 | 2005-06-28 | Applied Materials, Inc. | Control of chemical mechanical polishing pad conditioner directional velocity to improve pad life |
US7337019B2 (en) * | 2001-07-16 | 2008-02-26 | Applied Materials, Inc. | Integration of fault detection with run-to-run control |
US6863771B2 (en) * | 2001-07-25 | 2005-03-08 | Micron Technology, Inc. | Differential pressure application apparatus for use in polishing layers of semiconductor device structures and methods |
US6950716B2 (en) * | 2001-08-13 | 2005-09-27 | Applied Materials, Inc. | Dynamic control of wafer processing paths in semiconductor manufacturing processes |
US6984198B2 (en) * | 2001-08-14 | 2006-01-10 | Applied Materials, Inc. | Experiment management system, method and medium |
US20030037090A1 (en) * | 2001-08-14 | 2003-02-20 | Koh Horne L. | Tool services layer for providing tool service functions in conjunction with tool functions |
US6842659B2 (en) * | 2001-08-24 | 2005-01-11 | Applied Materials Inc. | Method and apparatus for providing intra-tool monitoring and control |
US6718224B2 (en) | 2001-09-17 | 2004-04-06 | Yield Dynamics, Inc. | System and method for estimating error in a manufacturing process |
US20030074098A1 (en) * | 2001-09-18 | 2003-04-17 | Cheung Robin W. | Integrated equipment set for forming an interconnect on a substrate |
US6725098B2 (en) | 2001-10-23 | 2004-04-20 | Brooks Automation, Inc. | Semiconductor run-to-run control system with missing and out-of-order measurement handling |
US6708075B2 (en) * | 2001-11-16 | 2004-03-16 | Advanced Micro Devices | Method and apparatus for utilizing integrated metrology data as feed-forward data |
US6939198B1 (en) * | 2001-12-28 | 2005-09-06 | Applied Materials, Inc. | Polishing system with in-line and in-situ metrology |
US6514865B1 (en) * | 2002-01-11 | 2003-02-04 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method of reducing interlayer dielectric thickness variation feeding into a planarization process |
IL164428A0 (en) * | 2002-01-15 | 2005-12-18 | Thierry Cresson | Computer-implemented system and method for measuring and improving manufacturing processes and maximizing product research and development speed and efficiency |
WO2003066282A2 (en) | 2002-02-04 | 2003-08-14 | Kla-Tencor Technologies Corp. | Systems and methods for characterizing a polishing process |
AU2002364041A1 (en) * | 2002-02-26 | 2003-09-09 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and system for controlling the chemical mechanical polishing of substrates by calculating an overpolishing time and/or a polishing time of a final polishing step |
DE10208165C1 (de) * | 2002-02-26 | 2003-10-02 | Advanced Micro Devices Inc | Verfahren, Steuerung und Vorrichtung zum Steuern des chemisch-mechanischen Polierens von Substraten |
US6721616B1 (en) * | 2002-02-27 | 2004-04-13 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and apparatus for determining control actions based on tool health and metrology data |
US20030199112A1 (en) | 2002-03-22 | 2003-10-23 | Applied Materials, Inc. | Copper wiring module control |
US7797073B1 (en) * | 2002-05-28 | 2010-09-14 | Advanced Micro Devices, Inc. | Controlling processing of semiconductor wafers based upon end of line parameters |
US20040206621A1 (en) * | 2002-06-11 | 2004-10-21 | Hongwen Li | Integrated equipment set for forming a low K dielectric interconnect on a substrate |
US20040007325A1 (en) * | 2002-06-11 | 2004-01-15 | Applied Materials, Inc. | Integrated equipment set for forming a low K dielectric interconnect on a substrate |
US7668702B2 (en) * | 2002-07-19 | 2010-02-23 | Applied Materials, Inc. | Method, system and medium for controlling manufacturing process using adaptive models based on empirical data |
US6778873B1 (en) * | 2002-07-31 | 2004-08-17 | Advanced Micro Devices, Inc. | Identifying a cause of a fault based on a process controller output |
DE10234956B4 (de) * | 2002-07-31 | 2007-01-04 | Advanced Micro Devices, Inc., Sunnyvale | Verfahren zum Steuern des chemisch mechanischen Polierens von gestapelten Schichten mit einer Oberflächentopologie |
AU2003254283A1 (en) * | 2002-08-01 | 2004-02-23 | Applied Materials, Inc. | Method, system, and medium for handling misrepresentative metrology data within an advanced process control system |
US7087527B2 (en) * | 2002-08-28 | 2006-08-08 | Micron Technology, Inc. | Extended kalman filter incorporating offline metrology |
US7116413B2 (en) | 2002-09-13 | 2006-10-03 | Kla-Tencor Corporation | Inspection system for integrated applications |
US20040063224A1 (en) * | 2002-09-18 | 2004-04-01 | Applied Materials, Inc. | Feedback control of a chemical mechanical polishing process for multi-layered films |
US7272459B2 (en) * | 2002-11-15 | 2007-09-18 | Applied Materials, Inc. | Method, system and medium for controlling manufacture process having multivariate input parameters |
US6957120B1 (en) * | 2003-01-06 | 2005-10-18 | Advanced Micro Devices, Inc. | Multi-level process data representation |
US6884147B2 (en) * | 2003-03-28 | 2005-04-26 | Yield Dynamics, Inc. | Method for chemical-mechanical polish control in semiconductor manufacturing |
US7235154B2 (en) * | 2004-01-08 | 2007-06-26 | Strasbaugh | Devices and methods for optical endpoint detection during semiconductor wafer polishing |
US7086927B2 (en) * | 2004-03-09 | 2006-08-08 | Micron Technology, Inc. | Methods and systems for planarizing workpieces, e.g., microelectronic workpieces |
US7150673B2 (en) * | 2004-07-09 | 2006-12-19 | Ebara Corporation | Method for estimating polishing profile or polishing amount, polishing method and polishing apparatus |
US7502715B1 (en) * | 2004-09-21 | 2009-03-10 | Asml Netherlands B.V | Observability in metrology measurements |
US20060079983A1 (en) * | 2004-10-13 | 2006-04-13 | Tokyo Electron Limited | R2R controller to automate the data collection during a DOE |
US20060135049A1 (en) * | 2004-12-16 | 2006-06-22 | Petersen John G | Millwork sanding sponge |
US20060139587A1 (en) * | 2004-12-23 | 2006-06-29 | Asml Netherlands B.V. | Software mechanism for generating flexible equipment state model views, software mechanism for measuring equipment reliability |
DE102005030586A1 (de) * | 2005-06-30 | 2007-01-11 | Advanced Micro Devices, Inc., Sunnyvale | Verfahren und System für eine fortschrittliche Prozesssteuerung unter Anwendung der Messunsicherheit als Steuerungseingang |
DE102005046972A1 (de) | 2005-09-30 | 2007-04-05 | Advanced Micro Devices, Inc., Sunnyvale | Verfahren und System für eine fortschrittliche Prozesssteuerung unter Anwendung einer Kombination aus gewichteten relativen Voreinstellungswerten |
US7636611B2 (en) * | 2005-10-28 | 2009-12-22 | Samsung Austin Semiconductor, L.P. | Fuzzy logic system for process control in chemical mechanical polishing |
KR100744263B1 (ko) * | 2005-12-28 | 2007-07-30 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 반도체 화학적기계적연마 장비에서의 패턴 모니터링 방법 |
US7366575B2 (en) * | 2005-12-30 | 2008-04-29 | Intel Corporation | Wafer polishing control |
US20080125883A1 (en) * | 2006-09-11 | 2008-05-29 | Christopher Gould | Method and apparatus for consolidating process control |
US8406911B2 (en) | 2010-07-16 | 2013-03-26 | HGST Netherlands B.V. | Implementing sequential segmented interleaving algorithm for enhanced process control |
CN103930954B (zh) * | 2011-09-30 | 2017-02-15 | 唯景公司 | 改善的光学装置制造 |
WO2019177842A1 (en) | 2018-03-12 | 2019-09-19 | Applied Materials, Inc. | Filtering during in-situ monitoring of polishing |
JP7031491B2 (ja) * | 2018-05-22 | 2022-03-08 | 株式会社Sumco | ワークの両面研磨装置および両面研磨方法 |
KR102279045B1 (ko) * | 2019-08-08 | 2021-07-16 | 연세대학교 산학협력단 | 공정 제어정보 생성 장치, 방법 및 이를 포함하는 공정 제어장치 |
US11282755B2 (en) | 2019-08-27 | 2022-03-22 | Applied Materials, Inc. | Asymmetry correction via oriented wafer loading |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5290396A (en) | 1991-06-06 | 1994-03-01 | Lsi Logic Corporation | Trench planarization techniques |
US5740033A (en) | 1992-10-13 | 1998-04-14 | The Dow Chemical Company | Model predictive controller |
US5402367A (en) | 1993-07-19 | 1995-03-28 | Texas Instruments, Incorporated | Apparatus and method for model based process control |
US5408405A (en) | 1993-09-20 | 1995-04-18 | Texas Instruments Incorporated | Multi-variable statistical process controller for discrete manufacturing |
US5526293A (en) | 1993-12-17 | 1996-06-11 | Texas Instruments Inc. | System and method for controlling semiconductor wafer processing |
US5609136A (en) | 1994-06-28 | 1997-03-11 | Cummins Engine Company, Inc. | Model predictive control for HPI closed-loop fuel pressure control system |
JP3311864B2 (ja) * | 1994-06-30 | 2002-08-05 | 株式会社東芝 | 半導体装置の製造方法 |
US5519605A (en) | 1994-10-24 | 1996-05-21 | Olin Corporation | Model predictive control apparatus and method |
JPH08288245A (ja) * | 1995-04-12 | 1996-11-01 | Sony Corp | 研磨装置及び研磨方法 |
US5665199A (en) | 1995-06-23 | 1997-09-09 | Advanced Micro Devices, Inc. | Methodology for developing product-specific interlayer dielectric polish processes |
US5655951A (en) | 1995-09-29 | 1997-08-12 | Micron Technology, Inc. | Method for selectively reconditioning a polishing pad used in chemical-mechanical planarization of semiconductor wafers |
US5695601A (en) | 1995-12-27 | 1997-12-09 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method for planarizing a semiconductor body by CMP method and an apparatus for manufacturing a semiconductor device using the method |
JP3558794B2 (ja) * | 1996-09-27 | 2004-08-25 | 株式会社荏原製作所 | 半導体ウエハーの研磨方法及び研磨装置 |
-
1998
- 1998-06-26 US US09/105,979 patent/US6230069B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-12-18 KR KR1020007014811A patent/KR100572039B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1998-12-18 WO PCT/US1998/027074 patent/WO2000000874A1/en active IP Right Grant
- 1998-12-18 JP JP2000557182A patent/JP4297614B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1998-12-18 EP EP98964806A patent/EP1090335B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-12-18 DE DE69811742T patent/DE69811742T2/de not_active Expired - Lifetime
-
2007
- 2007-03-29 JP JP2007088643A patent/JP4880512B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013031090A1 (ja) * | 2011-09-01 | 2013-03-07 | 信越半導体株式会社 | シリコンウェーハの研磨方法及び研磨装置 |
JP2013055143A (ja) * | 2011-09-01 | 2013-03-21 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | シリコンウェーハの研磨方法及び研磨装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE69811742D1 (de) | 2003-04-03 |
DE69811742T2 (de) | 2003-12-04 |
JP2002519779A (ja) | 2002-07-02 |
US6230069B1 (en) | 2001-05-08 |
KR100572039B1 (ko) | 2006-04-18 |
KR20010053210A (ko) | 2001-06-25 |
WO2000000874A1 (en) | 2000-01-06 |
EP1090335B1 (en) | 2003-02-26 |
EP1090335A1 (en) | 2001-04-11 |
JP4880512B2 (ja) | 2012-02-22 |
JP2007281460A (ja) | 2007-10-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4297614B2 (ja) | モデル予測制御を用いた、半導体製作における個別部品の生産を制御するための方法およびコントローラ装置 | |
US7437206B2 (en) | Chemical-mechanical planarization controller | |
US6766214B1 (en) | Adjusting a sampling rate based on state estimation results | |
JP4799817B2 (ja) | 半導体ウェハの表面平坦化装置 | |
US7413500B2 (en) | Methods for planarizing workpieces, e.g., microelectronic workpieces | |
US6625513B1 (en) | Run-to-run control over semiconductor processing tool based upon mirror image target | |
JP2005518654A (ja) | ウェハ特性の制御方法及びその制御システム | |
KR100517671B1 (ko) | 다수 암 연마 툴을 제어하는 시스템 및 방법 | |
Hu et al. | Application of run by run controller to the chemical-mechanical planarization process. II | |
US6665623B1 (en) | Method and apparatus for optimizing downstream uniformity | |
CN100366386C (zh) | 用于控制衬底的化学机械式抛光的方法及装置 | |
US7050879B1 (en) | Adjusting a sampling protocol in an adaptive control process | |
KR100941481B1 (ko) | 최종 연마 단계의 연마 시간 그리고/또는 초과 연마 시간을 계산함으로써 기판들의 화학 기계적인 연마를 제어하는 방법 및 시스템 | |
US20130241075A1 (en) | Contact or via critical dimension control with novel closed loop control system in chemical mechanical planarization process | |
JP4274813B2 (ja) | 製品ウェハの処理レシピ決定方法 | |
US10500693B2 (en) | Run-to-run control for chemical mechanical planarization | |
US6514861B1 (en) | Manufacturing a semiconductor wafer according to the process time by process tool | |
US7376481B2 (en) | Methods and control systems for controlling semiconductor device manufacturing processes | |
US20070145538A1 (en) | Cmp apparatus for polishing dielectric layer and method of controlling dielectric layer thickness | |
WO2023106085A1 (ja) | 基板処理方法及び基板処理システム | |
Toprac | Model-based control of chemical mechanical polishing | |
Moyne et al. | Multizone Uniformity Control of a CMP Process Utilizing a Pre-and Postmeasurement Strategy |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051130 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051130 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060613 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060913 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061212 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070309 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070406 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20070416 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20070629 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20080806 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20080811 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20080905 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20080910 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090219 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090414 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120424 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120424 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130424 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130424 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140424 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |