JP4295590B2 - レーザエッチング装置 - Google Patents
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Description
しかしながら近年、太陽電池は大型化しており、ガラス基板1も一辺1m以上のサイズとなっているため、基板支持装置10においてもガラス基板1の周辺部のみを支持したのではガラス基板1に撓みが生じるため、ガラス基板1の中央側に1点ないし複数点(例えば、図示のように5点)に支持ピン12を配置し、ガラス基板1の下面を支持し撓みの発生を防止し、ガラス基板1の水平を維持しレーザエッチングの正確を図っている。
支持ピン12のピン先端部材12aは、図10(c)に概要を示すように、先端が部分球面をなす凸面を有する円筒状で、下部には取付部を設け支持ピン12の本体12bに取り付けられる。ピン先端部材12aは、レーザ照射を受けるので、通常、耐熱樹脂(例えば商標名PEEK:Poly ether ether Ketone)製、または金属製を用いる。
[参考例1]
[参考例2]
[参考例3]
[参考例4]
[参考例5]
1a 太陽電池膜面
2 TCO(透明電極)
3 a−Si層(アモルファスシリコン層)
4 Ag(表面電極)
5 エッチング溝
6 接触部
10 基板支持装置
11 基板押え板
12 支持ピン
20 空気吹出し孔
21 空気供給通路
30 空気吹出し孔
31 空気供給通路
40 空気室
41 空気供給通路
42 緩衝材
50 空気室
51 空気供給通路
60 空気室
61a、61b 空気供給通路
62 上端面
63a 凸球面
63b 凹球面
64 環状溝
70 エアシリンダ
71 ブラケット
72 空気配管
73 空気供給装置
112 支持ピン
112a 球体
212 支持ピン
212a 頂部
312 支持ピン
312a 上端面
412 支持ピン
412a 上端面
512 支持ピン
512a 上端部
612 支持ピン
612a 半球体
712 支持ピン
Claims (3)
- 基板を略水平に載置して同基板の周辺を押えて固定するとともに、同基板の、同基板上に形成された膜面側である下面を支持する支持ピンを備える基板支持装置を有し、上方からレーザを照射して前記基板上の膜面にレーザエッチングを行うレーザエッチング装置において、前記支持ピンの上端部は水平面をなし、同上端部の中央に凹部を設けその周囲を同上端部が囲む空気室とし、同空気室と空気供給装置とを連通する空気供給通路を備えるとともに、同上端部は断面が鋭角状に形成され同鋭角状の先端が前記水平面において線状の環を形成してなることを特徴とするレーザエッチング装置。
- 基板を略水平に載置して同基板の周辺を押えて固定するとともに、同基板の、同基板上に形成された膜面側である下面を支持する支持ピンを備える基板支持装置を有し、上方からレーザを照射して前記基板上の膜面にレーザエッチングを行うレーザエッチング装置において、前記支持ピンは、上側に平面をなす上端面と下側に凸球面とを有する半球体と、同半球体の凸球面を回転自在に上端に装填して支持するピン本体とを備え、前記半球体の上端面の中央に凹部を設けその周囲を同上端面が囲む空気室とし、同空気室と空気供給装置とを連通する空気供給通路を備えてなることを特徴とするレーザエッチング装置。
- 請求項2に記載のレーザエッチング装置において、前記上端面に、さらに前記空気室を囲む環状溝を設けてなることを特徴とするレーザエッチング装置。
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