JP4294684B2 - Probe delivery device - Google Patents

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Description

本発明はプローブ受渡し装置、特に、プローブケース内のプローブを取り出し、ウエハー検査機に対する移載機に移載し、またはその逆とするためのプローブ受渡し装置に関するものである。   The present invention relates to a probe delivery apparatus, and more particularly to a probe delivery apparatus for taking out a probe in a probe case and transferring it to a transfer machine for a wafer inspection machine or vice versa.

近年ウエハー（集積回路の材料となる薄斤）の外径の大形化（現在は直径３００ｍｍが主流）に伴いその回路、機能を検査するプローブ（針付き検査冶具）も大形化し、その外形も４８０ｍｍ程度となり重量も最大２５ｋｇ程度となり、その価格も２５００万円以上のものもある。   In recent years, the probe (inspection jig with a needle) that inspects the circuit and function of the wafer (thin plate used as an integrated circuit material) has been increased in size (currently 300 mm in diameter is the mainstream), and its outer shape has been increased. Is about 480mm and the maximum weight is about 25kg, and the price is more than 25 million yen.

また、ウエハーの種類（回路構成）も多岐にわたり、その都度、プローブ交換の必要があるが、プローブの生命である針先の保護が重大な課題となっている。   In addition, there are various types of wafers (circuit configurations), and it is necessary to replace the probe each time. However, protection of the needle tip, which is the life of the probe, is a serious issue.

図８及び図９は従来既知のプローブケース１を示し、２はその開閉蓋、３は上記プローブケース１内に入れられたプローブ、４はこのプローブ３の検査針部、５は上記プローブ３を上記プローブケース１から取り出すために用いる折り畳み自在なプローブ取り出し取手、６はプローブケース１に設けたケース搬送取手、７は位置出しピン孔、８はプローブ固定孔である。   8 and 9 show a conventionally known probe case 1, 2 is an opening / closing lid thereof, 3 is a probe placed in the probe case 1, 4 is an inspection needle portion of the probe 3, and 5 is the probe 3. A foldable probe take-out handle used for taking out from the probe case 1, 6 is a case carrying handle provided in the probe case 1, 7 is a positioning pin hole, and 8 is a probe fixing hole.

従来、プローブ３をウエハー検査機に移載するための移載機上にウエハーケース１内のプローブを引き出し移載するには、上記取手５を作業者が手でつかみ人力にて行なっている。   Conventionally, in order to pull out and transfer the probe in the wafer case 1 onto a transfer machine for transferring the probe 3 to the wafer inspection machine, the operator grasps the handle 5 by hand and performs it manually.

上記のように従来、移載機に対するプローブ３の移載はプローブ３の取手５を作業者が手でつかみ人力にて行なっているため作業者に重量的負荷が加わると共に、プローブ３の検査針部４にダメージを与えるおそれがあった。   Conventionally, as described above, the transfer of the probe 3 to the transfer machine is performed manually by the operator holding the probe 3 with the handle 5, so that a heavy load is applied to the operator and the inspection needle of the probe 3 is applied. There was a risk of damaging part 4.

本発明はこのような欠点を除くようにしたものである。     The present invention is intended to eliminate such drawbacks.

本発明のプローブ受渡し装置は、プローブ搬送装置とプローブ移載機を位置決めし固定せしめるためのロック手段と、上記プローブ搬送装置と上記プローブ移載機の一方からプローブを受け取り、他方に受け渡す、プローブ落下防止爪を有するプローブ受け取りアーム部と、上記アーム部を上下動せしめる上下手段とより成り、上記ロック手段が、上記プローブ搬送装置とプローブ移載機の何れか一方の側面に取り付けたプレートと、夫々上記プレートに水平方向に互いに離間して配置した一方及び他方のブロックと、上記一方及び他方のブロックの互いに対向する面に形成した弧状溝と、上記プローブ搬送装置とプローブ移載機の何れか他方の側面に設けた、上記ブロックの弧状溝に夫々嵌入される水平方向に互いに離間する一方及び他方のローラと、これらのローラを夫々回転自在に支持する一方及び他方のスライダと、上記一方のスライダを水平方向に弾発的に変位せしめる手段とにより構成されることを特徴とする。 The probe delivery device of the present invention includes a probe for positioning and fixing the probe transport device and the probe transfer device , a probe from one of the probe transport device and the probe transfer device, and the probe transfer device to the other. an arm portion will receive probe having a fall prevention claw, become more and vertical means allowed to move up and down the arm part, said locking means, plate and attached to either side of the probe transport system and the probe transfer machine Each of the one and other blocks horizontally spaced from each other on the plate, arc-shaped grooves formed on the mutually opposing surfaces of the one and other blocks, and any of the probe transport device and the probe transfer machine One side and the other side which are spaced apart from each other in the horizontal direction and are respectively inserted into the arc-shaped grooves of the block provided on the other side surface And the roller, characterized in that the one and the other of the slider supporting these rollers each rotatably, by means allowed to displace elastically one of the slider the horizontally configured.

上記アーム部は、Ｘ軸，Ｙ軸及び回転方向に可動であることを特徴とする。   The arm portion is movable in the X axis, the Y axis, and the rotation direction.

上記プローブは、プローブストッカーから得たものであることを特徴とする。   The probe is obtained from a probe stocker.

本発明のプローブ受渡し装置によれば下記のような効果が得られる。   According to the probe delivery device of the present invention, the following effects can be obtained.

（１）受渡し装置のアーム部にプローブ３の取手５を掛ける時、又は切り離す時以外は作業者の負担は全くない。   (1) There is no burden on the operator except when the handle 5 of the probe 3 is hung on or separated from the arm part of the delivery device.

（２）機械的にプローブ３の移載を行うので、作業者に重量的負荷をかけない。   (2) Since the probe 3 is transferred mechanically, no heavy load is applied to the operator.

（３）プローブ３の心臓部である検査針部４にダメージを全く与えない。   (3) No damage is given to the inspection needle 4 which is the heart of the probe 3.

以下図面によって本発明の実施例を説明する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図１はプローブ３の入ったプローブケース１を搬送する搬送装置９からプローブ３を受け取り、ウエハー検査機のための移載機１０に受渡すための受渡し装置１１を示す。   FIG. 1 shows a delivery device 11 for receiving a probe 3 from a transport device 9 that transports a probe case 1 containing a probe 3 and delivering it to a transfer device 10 for a wafer inspection machine.

なお、１２は上記受渡し装置１１に設けたロック手段、１３はロックシリンダ、１４は搬送装置９を検知する検知器、１５は搬送装置９を載せる基準ベース、１６はプローブホルダー、１７はプローブホルダー１６は上に設けた位置決めピンである。   In addition, 12 is a locking means provided in the delivery device 11, 13 is a lock cylinder, 14 is a detector for detecting the transport device 9, 15 is a reference base on which the transport device 9 is placed, 16 is a probe holder, 17 is a probe holder 16 Is a positioning pin provided above.

また、図２及び図３は搬送装置９を示し、１８，１９は夫々予備棚、２０は予備棚部ストッパリリースペダル、２１は搬送装置９用の取手、２２はケース回転部、２３は回転位置決めストッパ、２４は回転位置決めストッパリリースペダル、２５，２６は夫々ローラ、２７，２８は夫々ストッパー、２９はプローブケース位置決めレバー、３０はストッパリリースノブ、３１はロック手段である。   2 and 3 show the transport device 9, wherein 18 and 19 are spare shelves, 20 is a spare shelf stopper release pedal, 21 is a handle for the transport device 9, 22 is a case rotating portion, and 23 is rotational positioning. A stopper, 24 is a rotation positioning stopper release pedal, 25 and 26 are rollers, 27 and 28 are stoppers, 29 is a probe case positioning lever, 30 is a stopper release knob, and 31 is a locking means.

また、図４及び図５は本発明の受渡し装置１１を示し、３２はプローブチャック用アーム部、３３は落下防止爪、３４はアーム部上下スイッチ、３５はこのスイッチ３４を有する握り、３６はアーム支持部、３７はアーム部上下ベルト、３８はフリーローラである。   4 and 5 show the delivery device 11 of the present invention, 32 is a probe chuck arm part, 33 is a fall prevention claw, 34 is an arm part up / down switch, 35 is a grip having this switch 34, and 36 is an arm. The support part, 37 is an arm part upper and lower belt, and 38 is a free roller.

また、図６に示すように、受渡し装置１１のロック手段１２は、その側面に取り付けたプレート１２０と、夫々上記プレート１２０の側面に互いに離間して配置した一方及び他方のブロック１２１，１２２と、上記一方及び他方のブロック１２１，１２２の互いに対向する面に形成した弧状溝１２３，１２４とにより構成する。   As shown in FIG. 6, the locking means 12 of the delivery device 11 includes a plate 120 attached to the side surface thereof, and one and other blocks 121 and 122 disposed on the side surface of the plate 120 so as to be separated from each other, It comprises arcuate grooves 123 and 124 formed on the surfaces of the one and other blocks 121 and 122 facing each other.

また、上記搬送装置９のロック手段３１は上記ブロック１２１，１２２の弧状溝１２３，１２４に夫々嵌入される一方及び他方のローラ１２５，１２６と、これらのローラ１２５，１２６を夫々回転自在に支持する一方及び他方のアーム１２７，１２８と、上記一方のアーム１２７を上記搬送装置９の側面に取り付けるための変位可能手段１２９と、上記他方のアーム１２８を上記搬送装置９の側面に固定するボルト１３０とにより構成される。   Further, the lock means 31 of the transport device 9 supports one and the other rollers 125 and 126 inserted into the arc-shaped grooves 123 and 124 of the blocks 121 and 122, respectively, and rotatably supports these rollers 125 and 126, respectively. One and the other arms 127 and 128, displaceable means 129 for attaching the one arm 127 to the side surface of the transport device 9, and a bolt 130 for fixing the other arm 128 to the side surface of the transport device 9 Consists of.

上記変位可能手段１２９は、上記一方のアーム１２７の基部１３１をスライド自在に支持するため上記搬送装置９の側面に沿って固定したガイドレール１３２と、上記一方のアーム１２７に設けた、このアーム１２７から上記他方のアーム１２８の方向に向って延びるロッド１３３と、このロッド１３３を移動自在に支持する反力受け板１３４と、上記一方のアーム１２７を上記他方のアーム１２８から離れる方向に移動可能ならしめるため上記反力受け板１３４と上記一方のアーム１２７間に介挿した圧縮スプリング１３６とにより構成される。   The displaceable means 129 includes a guide rail 132 fixed along the side surface of the transport device 9 to slidably support the base 131 of the one arm 127 and the arm 127 provided on the one arm 127. If the rod 133 extends from the other arm 128 toward the other arm 128, the reaction force receiving plate 134 that supports the rod 133 movably, and the one arm 127 can be moved away from the other arm 128. In order to tighten, the reaction force receiving plate 134 and the compression spring 136 inserted between the one arm 127 are configured.

上記ロック手段３１は常時は図６に示すように上記一方のアーム１２７は圧縮スプリング１３６の作用により他方のアーム１２８から離れる方向に向ってスライドされており、従って上記一方と他方のローラ１２５，１２６間の間隔は上記一方と他方のブロック１２１，１２２間の間隔より十分に大きくされている。従って搬送装置９のローラ１２５を受渡し装置１１のブロック１２１の溝１２３に入れ、上記圧縮スプリング１３６を圧縮する方向に搬送装置９を前進させながら、これを振れば図７に示すように他方のアーム１２８のローラ１２６が受渡し装置１１の溝１２４に直接挿入出来る様になる。   6, the one arm 127 is slid in the direction away from the other arm 128 by the action of the compression spring 136, so that the one and the other rollers 125, 126 are always present. The interval between them is sufficiently larger than the interval between the one block 121 and the other block 122 described above. Accordingly, if the roller 125 of the conveying device 9 is put into the groove 123 of the block 121 of the delivery device 11 and the conveying device 9 is moved forward while moving the compression spring 136 in the direction of compressing, the other arm as shown in FIG. The 128 rollers 126 can be directly inserted into the groove 124 of the delivery device 11.

従って受渡し装置１１に設けられたブロック１２１と他方のブロック１２２の溝１２３，１２４に搬送装置９のローラ１２５，１２６が圧縮スプリング１３６の復元力によって挿入され、受渡し装置１１と搬送装置９が固定されると同時に両方の位置関係も固定されるようになる。   Accordingly, the rollers 125 and 126 of the conveying device 9 are inserted into the grooves 123 and 124 of the block 121 and the other block 122 provided in the delivery device 11 by the restoring force of the compression spring 136, and the delivery device 11 and the conveyance device 9 are fixed. At the same time, both positional relations are fixed.

以下本発明のプローブ受渡し装置の使用状態を説明する。   The usage state of the probe delivery device of the present invention will be described below.

（１）搬送装置９の棚よりプローブケース１を取り出し、搬送装置９の上面のローラ２６上にのせる。   (1) Remove the probe case 1 from the shelf of the transport device 9 and place it on the roller 26 on the upper surface of the transport device 9.

（２）ストッパー２７がケース１によって押されロックされるまでケース１を押し込む。   (2) Push the case 1 until the stopper 27 is pushed and locked by the case 1.

（３）受渡し装置１１にてプローブ３を取り出す時開いている開閉蓋２がじゃまにならないようケース１をケース回転部２２を中心として水平面内で１８０°回転せしめる。   (3) The case 1 is rotated 180 ° in the horizontal plane around the case rotating portion 22 so that the open / close lid 2 is not obstructed when the probe 3 is taken out by the delivery device 11.

なお、このとき搬送装置９の回転位置決めストッパリリースペダル２４を踏み、ケース１が１８０°回転して回転ストッパ２８に当ったときリリースペダル２４を離す。   At this time, the rotation positioning stopper release pedal 24 of the transport device 9 is stepped on, and the release pedal 24 is released when the case 1 rotates 180 ° and hits the rotation stopper 28.

（４）この状態で搬送装置９を移動させ図１に示す基準ベース１５上にのせる。   (4) In this state, the transport device 9 is moved and placed on the reference base 15 shown in FIG.

（５）図１に示す受渡し装置１１のロック手段１１と、図３に示す搬送装置９のロック手段３１をドッキングさせる。   (5) The locking means 11 of the delivery device 11 shown in FIG. 1 and the locking means 31 of the transfer device 9 shown in FIG. 3 are docked.

（６）検出器１４で搬送装置９を検出し、ロックシリンダー１３を作動させ搬送装置９を基準ベース１５上に固定する。   (6) The transport device 9 is detected by the detector 14 and the lock cylinder 13 is operated to fix the transport device 9 on the reference base 15.

（７）図４に示すプローブチャック用アーム部３２の上下手段３７の上下スイッチ３４にて、受渡し装置１１の落下防止爪３３がついているアーム部３２をベルト３７を介して最下段まで下降させ、プローブケース１の取手５を作業者により起立せしめアーム部３２に掛ける。   (7) The up / down switch 34 of the up / down means 37 of the probe chuck arm portion 32 shown in FIG. 4 lowers the arm portion 32 with the drop prevention claw 33 of the delivery device 11 to the lowest level via the belt 37, The handle 5 of the probe case 1 is raised by an operator and hung on the arm portion 32.

（８）上下スイッチ３４を押してアーム部３２を最上段まで上昇させる。   (8) Press the up / down switch 34 to raise the arm 32 to the uppermost position.

（９）最上段までアーム部３２が上昇したときロックシリンダ１３を復帰せしめ、搬送装置９のロック手段３１と受渡し装置１１のロック手段１２のドッキングを解除せしめる。   (9) When the arm portion 32 is raised to the uppermost stage, the lock cylinder 13 is returned, and the locking means 31 of the transport device 9 and the locking means 12 of the delivery device 11 are released from the docking.

（１０）搬送装置９上の空となったケース１の開閉蓋２を閉める。   (10) Close the open / close lid 2 of the case 1 that is empty on the transport device 9.

（１１）搬送装置９のペダル２４を踏んでケース１を１８０°回転させ、ストッパリリースノブ３０を引いてプローブケース１を搬送装置９より外す。   (11) Depress the pedal 24 of the transport device 9 to rotate the case 1 by 180 ° and pull the stopper release knob 30 to remove the probe case 1 from the transport device 9.

（１２）空になっているケース１は搬送装置９の予備棚１８，１９に収納する。この状態ではプローブ３はプローブチャック用アーム部３２によって吊り上げられ最上段にある。   (12) The empty case 1 is stored in the spare shelves 18 and 19 of the transport device 9. In this state, the probe 3 is lifted by the probe chuck arm 32 and is in the uppermost stage.

（１３）次に搬送装置９の代りに上記ロック手段３１と同様のロック手段を有する移載機１０を受渡し装置１１に上記基準ベース１５上でドッキングせしめる。   (13) Next, the transfer device 10 having the same locking means as the locking means 31 is docked to the delivery device 11 on the reference base 15 in place of the transport device 9.

（１４）図４及び図５に示すスイッチ３４を押してプローブ３を下降せしめ、移載機１０に乗せたプローブホルダー１６上のピン１７とプローブ３のピン孔７を合わせる。この時アーム部３２と、アーム支持部３６の間には、フリーローラ３８が介挿されている為アーム部３２はＸ，Ｙ軸方向のみならず回転方向に可動である。   (14) Press the switch 34 shown in FIGS. 4 and 5 to lower the probe 3, and align the pin 17 on the probe holder 16 placed on the transfer machine 10 with the pin hole 7 of the probe 3. At this time, since the free roller 38 is inserted between the arm part 32 and the arm support part 36, the arm part 32 is movable not only in the X and Y axis directions but also in the rotation direction.

（１５）プローブ３が最下段に位置したとき、落下防止爪３３押してプローブ３の取手５からアーム部３２を離す。   (15) When the probe 3 is positioned at the lowermost stage, the fall prevention claw 33 is pushed to release the arm portion 32 from the handle 5 of the probe 3.

（１６）離した後はアーム部３２をスイッチ３４の操作により最上段まで上昇させる。   (16) After the release, the arm portion 32 is raised to the uppermost level by operating the switch 34.

（１７）アーム部３２が最上段になったとき、ドッキング部１２のロックシリンダ１３を解放して移載機１０と受渡し装置１１のドッキングを解除する。   (17) When the arm part 32 reaches the uppermost stage, the lock cylinder 13 of the docking part 12 is released, and the docking of the transfer machine 10 and the delivery device 11 is released.

（１８）移載機１０に乗せられているプローブ３を搬送装置９に移載する場合は上記と全く逆の操作で行う。   (18) When the probe 3 mounted on the transfer machine 10 is transferred to the transfer device 9, the operation is completely reversed.

なお、上記プローブはプローブストッカーから直接上記プローブ受渡し装置に供給せしめることも可能である。   The probe can be supplied directly from the probe stocker to the probe delivery device.

本発明において用いるプローブ受渡し装置の平面図である。It is a top view of the probe delivery apparatus used in this invention. 本発明において用いる搬送装置の正面図である。It is a front view of the conveying apparatus used in the present invention. 図２に示す搬送装置の平面図である。It is a top view of the conveying apparatus shown in FIG. 本発明において用いるプローブ受渡し装置の正面図である。It is a front view of the probe delivery apparatus used in this invention. 図４に示す受渡し装置の一部の拡大図である。It is a one part enlarged view of the delivery apparatus shown in FIG. ロック装置の平面図である。It is a top view of a locking device. 図６に示すロック装置の結合状態説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram of a coupling state of the locking device shown in FIG. プローブを有するプローブケースの正面図である。It is a front view of the probe case which has a probe. 図８に示すプローブケースの平面図である。It is a top view of the probe case shown in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

１ プローブケース
２ 開閉蓋
３ プローブ
４ 検査針部
５ 取手
６ ケース搬送取手
７ 位置出しピン孔
８ プローブ固定孔
９ 搬送装置
１０ 移載機
１１ 受渡し装置
１２ ロック手段
１３ ロックシリンダ
１４ 検知機
１５ 基準ベース
１６ プローブホルダー
１７ 位置決めピン
１８ 予備棚
１９ 予備棚
２０ ストッパリリースペダル
２１ 取手
２２ ケース回転部
２３ 回転位置決めストッパ
２４ 回転位置決めストッパリリースペダル
２５ ローラ
２６ ローラ
２７ ストッパー
２８ ストッパー
２９ プローブケース位置決めレバー
３０ ストッパリリースノブ
３１ ロック手段
３２ アーム部
３３ 落下防止爪
３４ 上下スイッチ
３５ 上下スイッチを有する握り
３６ アーム部支持部
３７ アーム部上下ベルト
３８ フリーローラ
１２０ プレート
１２１ ブロック
１２２ ブロック
１２３ 弧状溝
１２４ 弧状溝
１２５ ローラ
１２６ ローラ
１２７ アーム
１２８ アーム
１２９ 変位可能手段
１３０ ボルト
１３１ 基部
１３２ ガイドレール
１３３ ロッド
１３４ 反力受け板
１３６ 圧縮スプリング DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Probe case 2 Opening and closing cover 3 Probe 4 Inspection needle part 5 Handle 6 Case conveyance handle 7 Positioning pin hole 8 Probe fixing hole 9 Conveyance apparatus 10 Transfer machine 11 Delivery apparatus 12 Locking means 13 Lock cylinder 14 Detector 15 Reference base 16 Probe holder 17 Positioning pin 18 Spare shelf 19 Spare shelf 20 Stopper release pedal 21 Handle 22 Case rotating part 23 Rotating positioning stopper 24 Rotating positioning stopper release pedal 25 Roller 26 Roller 27 Stopper 28 Stopper 29 Probe case positioning lever 30 Stopper release knob 31 Lock Means 32 Arm part 33 Fall prevention claw 34 Up / down switch 35 Grip with up / down switch 36 Arm part support part 37 Arm part upper / lower belt 38 Free roller 120 Plate 1 21 Block 122 Block 123 Arc-shaped groove 124 Arc-shaped groove 125 Roller 126 Roller 127 Arm 128 Arm 129 Displaceable means 130 Bolt 131 Base 132 Guide rail 133 Rod 134 Reaction force receiving plate 136 Compression spring

Claims (3)

プローブ搬送装置とプローブ移載機を位置決めし固定せしめるためのロック手段と、上記プローブ搬送装置と上記プローブ移載機の一方からプローブを受け取り、他方に受け渡す、プローブ落下防止爪を有するプローブ受け取りアーム部と、上記アーム部を上下動せしめる上下手段とより成り、上記ロック手段が、上記プローブ搬送装置とプローブ移載機の何れか一方の側面に取り付けたプレートと、夫々上記プレートに水平方向に互いに離間して配置した一方及び他方のブロックと、上記一方及び他方のブロックの互いに対向する面に形成した弧状溝と、上記プローブ搬送装置とプローブ移載機の何れか他方の側面に設けた、上記ブロックの弧状溝に夫々嵌入される水平方向に互いに離間する一方及び他方のローラと、これらのローラを夫々回転自在に支持する一方及び他方のスライダと、上記一方のスライダを水平方向に弾発的に変位せしめる手段とにより構成されることを特徴とするプローブ受渡し装置。 And locking means for allowing positioning the probe conveying device and the probe transfer unit fixed to receive the probe from one of the probe transport system and the probe transfer unit and passes to the other, it will receive probe having a probe anti-drop pawl An arm part, and an upper and lower means for moving the arm part up and down, and the locking means is a plate attached to one of the side surfaces of the probe transport device and the probe transfer machine, and horizontally on each of the plates. One and the other blocks arranged apart from each other, arc-shaped grooves formed on the mutually opposing surfaces of the one and the other blocks, and provided on the other side surface of the probe transfer device and the probe transfer machine, One and the other rollers spaced apart from each other in the horizontal direction, which are respectively inserted into the arc-shaped grooves of the block, and these rollers Probe transfer device, characterized in that configured and rotatably supported to one and the other of the slider, by means allowed to displace elastically one of the slider above the horizontal direction. 上記アーム部がＸ軸，Ｙ軸及び回転方向に可動であることを特徴とする請求項１記載のプローブ受渡し装置。 2. The probe delivery apparatus according to claim 1 , wherein the arm portion is movable in the X axis, the Y axis, and the rotation direction . 上記プローブがプローブストッカーから得たものであることを特徴とする請求項１または２記載のプローブ受渡し装置。 3. The probe delivery apparatus according to claim 1, wherein the probe is obtained from a probe stocker .
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