JP4287329B2 - 導波管−平面伝送線路変換器の製造方法 - Google Patents
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請求項5に係る発明は、請求項4記載の導波管−平面伝送線路変換器の製造方法において、前記バンプ電極を、前記平板基板と前記短絡導波管終端の接着部の一部に位置するように形成することを特徴とするものである。
6:短絡導波管終端、10:基材、11:マスク材、12:微細砥粒、13:凹部、
14:金属薄膜、15:フォトレジスト、16:バンプ電極
Claims (5)
- 導波管と、短絡面を形成する短絡導波管終端とで、前記導波管の開口部に伝送線路終端のアンテナプローブが位置するように平板基板を挟持する構造の導波管−平面伝送線路変換器の製造方法において、
前記短絡導波管終端を形成する基材上に、前記短絡導波管終端の凹部を形成するための開口パターニングを備えたマスク材を形成した後、前記マスク材の開口内に露出する前記基材表面に、微細砥粒を噴射させて前記基材上に、前記導波管を伝送する伝送信号の管内波長λの略λ/4に相当する深さの凹部を形成し、該凹部の底面を短絡面とする前記短絡導波管終端を形成する工程と、
前記導波管と前記短絡導波管終端とで、前記平板基板を挟持する工程とを含むことを特徴とする導波管−平面伝送線路変換器の製造方法。 - 請求項1記載の導波管−平面伝送線路変換器の製造方法において、
前記基材上に、前記導波管を伝送する伝送信号の管内波長λの略λ/4に相当する深さより前記基材表面に形成する金属薄膜の厚さに相当する深さだけ深い凹部を形成し、その後前記金属薄膜を形成し、前記凹部の底面を短絡面とする前記短絡導波管終端を形成する工程を含むことを特徴とする導波管−平面伝送線路変換器の製造方法。 - 請求項1または2いずれか記載の導波管−平面伝送線路変換器の製造方法において、
前記基材上に複数の前記凹部を形成した後、前記基材を個片化することで、複数の前記短絡導波管終端を同時に形成する工程を含むことを特徴とする導波管−平面伝送線路変換器の製造方法。 - 請求項1、2または3いずれか記載の導波管−平面伝送線路変換器の製造方法において、
前記導波管と前記短絡導波管終端とで前記平板基板を挟持する工程は、前記平板基板あるいは前記短絡導波管終端の一方あるいは両方にバンプ電極を形成し、該バンプ電極を介して前記平板基板上に前記短絡導波管終端を接着させる工程を含むことを特徴とする導波管−平面伝送線路変換器の製造方法。 - 請求項4記載の導波管−平面伝送線路変換器の製造方法において、
前記バンプ電極を、前記平板基板と前記短絡導波管終端の接着部の一部に位置するように形成することを特徴とする導波管−平面伝送線路変換器の製造方法。
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