JP4285370B2 - 半導体試験装置 - Google Patents
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ピンエレクトロニクス部を出力部とする半導体試験装置において、
これらピンエレクトロニクス部からDUTに至る経路のリレーが、全て半導体リレーで構成され、
前記ピンエレクトロニクス部で並列接続されているドライバとコンパレータと電子負荷の共通接続点は第1の半導体リレーを介してポゴピンに接続され、
第1の半導体リレーとポゴピンの接続点には第2の半導体リレーと第3の半導体リレーの直列回路を介して直流測定用の割り込み信号入力端子が接続され、
第2の半導体リレーと第3の半導体リレーの接続点は第4の半導体リレーを介して共通電位点に接続され、
前記半導体試験装置自体の校正/診断は、前記第1の半導体リレーと第3の半導体リレーをオフにし、前記第2の半導体リレーと第4の半導体リレーをオンにして実行されることを特徴とする。
ピンエレクトロニクス部を出力部とするテストヘッドがポゴピンを介してDUTに接続されていることを特徴とする。
SW1 オン
SW2 オフ
SW3 オフ
SW4 オン
半導体リレーSW1がオンになることから、並列接続されているドライバ51、コンパレータ52、電子負荷53の共通接続点は、半導体リレーSW1を介してポゴピンに接続される。このとき、半導体リレーSW2と半導体リレーSW3はオフになるので、直流測定用割り込み信号が半導体リレーSW1とポゴピンの接続点に印加されることはない。さらに、半導体リレーSW4がオンになるので、半導体リレーSW2と半導体リレーSW3の接続点の電位は共通電位点に保持される。
これにより、並列接続されているドライバ51、コンパレータ52、電子負荷53を用いて、DUTに対する各種の試験が行われる。
SW1 オフ
SW2 オン
SW3 オン
SW4 オフ
半導体リレーSW1がオフになることから、並列接続されているドライバ51、コンパレータ52、電子負荷53の共通接続点は、半導体リレーSW1のオフ時静電容量を介してポゴピンに接続される。このとき、半導体リレーSW2と半導体リレーSW3はオンになるので、直流測定用割り込み信号が半導体リレーSW1とポゴピンの接続点に印加される。ここで、半導体リレーSW4はオフになっているので、半導体リレーSW2と半導体リレーSW3の接続点の電位が共通電位点に保持されることはない。
これにより、直流測定用割り込み信号に基づき、DUTに対する直流試験が行われる。
(C)半導体試験装置自体の校正/診断
SW1 オフ
SW2 オン
SW3 オフ
SW4 オン
半導体リレーSW1がオフになることから、並列接続されているドライバ51、コンパレータ52、電子負荷53の共通接続点は、半導体リレーSW1のオフ時静電容量を介してポゴピンに接続される。このとき、半導体リレーSW2と半導体リレーSW4がオンになるので、半導体リレーSW1のオフ時静電容量を介して共通電位点にも接続されることになる。半導体リレーSW1のオフ時静電容量は、ドライバ51の負荷になる。ポゴピン(DUT)側からみると、ピンエレクトロニクス部の出力は共通電位点と接続されていることになり、半導体試験装置自体の校正/診断に用いるピンエレクトロニクス部のパルス出力がDUTに悪影響を及ぼすことはない。
20 ポゴピン
30 パフォーマンスボード
40 DUT
50 ピンエレクトロニクス部
51 ドライバ
52 コンパレータ
53 電子負荷
SW1〜SW4 半導体リレー
Claims (2)
- ピンエレクトロニクス部を出力部とする半導体試験装置において、
これらピンエレクトロニクス部からDUTに至る経路のリレーが、全て半導体リレーで構成され、
前記ピンエレクトロニクス部で並列接続されているドライバとコンパレータと電子負荷の共通接続点は第1の半導体リレーを介してポゴピンに接続され、
第1の半導体リレーとポゴピンの接続点には第2の半導体リレーと第3の半導体リレーの直列回路を介して直流測定用の割り込み信号入力端子が接続され、
第2の半導体リレーと第3の半導体リレーの接続点は第4の半導体リレーを介して共通電位点に接続され、
前記半導体試験装置自体の校正/診断は、前記第1の半導体リレーと第3の半導体リレーをオフにし、前記第2の半導体リレーと第4の半導体リレーをオンにして実行されることを特徴とする半導体試験装置。 - ピンエレクトロニクス部を出力部とするテストヘッドがポゴピンを介してDUTに接続されていることを特徴とする請求項1記載の半導体試験装置。
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JP2004246175A JP4285370B2 (ja) | 2004-08-26 | 2004-08-26 | 半導体試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004246175A JP4285370B2 (ja) | 2004-08-26 | 2004-08-26 | 半導体試験装置 |
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---|---|
JP2006064488A JP2006064488A (ja) | 2006-03-09 |
JP2006064488A5 JP2006064488A5 (ja) | 2006-12-21 |
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Family Applications (1)
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- 2004-08-26 JP JP2004246175A patent/JP4285370B2/ja active Active
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