JP4281229B2 - 平型半導体装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、絶縁ゲート型バイポーラトランジスタやフリーホイールダイオードなど複数の半導体チップを一括して圧接して使用する平型半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
図4は、従来の平型半導体装置の要部断面図である。絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ(以下、IGBTと称す)など複数の半導体チップ61、62を一括して圧接した状態で使用する平型半導体装置において、対向する2つの圧接電極板71、72の間に、半導体チップ61、62と、その半導体チップ61、62の上下両面に熱緩衝板71、72を重ねたものを挟み込む構造になっている(この構造は特開平8─88340号公報などに開示されている)。この熱緩衝板81、82は、例えば、熱伝導が良好な厚み1〜3mmのMo(モリブデン)板からなり、発熱した半導体チップ61、62からの熱の放散を容易とし、平型半導体装置の冷却を可能としている。ここで、半導体チップ61、62の下の熱緩衝板81の大きさは、半導体チップ61、62の外形と同じであり、半導体チップ61、62の上の熱緩衝板82の大きさは、半導体チップ61、62より小さい。半導体チップ61、62、熱緩衝板81、82は、絶縁樹脂からなるフレーム91、92で位置決めされ、圧接電極板71、72の間に挟持される。
【0003】
このような平型半導体装置において、サージ電流が流れた場合、半導体チップ61、62に大電流が流れ、半導体チップ61、62は発熱する。その熱は、半導体チップ61、62の上下の熱緩衝板81、82を伝導して放熱されるが、電流によっては、半導体チップ61、62の温度が急上昇し、半導体チップ61、62が破損、破壊あるいは半導体チップ61、62の表面(図では上部表面)の図示しないAl被膜が溶融する場合がある。その箇所は、通常、半導体チップ61、62の外周に近い、半導体チップ61、62上の熱緩衝板82の外周端からはずれた部分である。これは、半導体チップ61、62上の熱緩衝板82が半導体チップ61、62より小であり、熱緩衝板82が接触しない外周部の半導体チップ61、62で発生した熱は、熱緩衝板82を介して放熱しにくく、熱がたまりやすいことが原因である。
【0004】
このように、従来の構造においては、サージ電流が流れた場合、発熱した半導体チップ61、62の熱の放散が外周部で十分でなく、半導体チップ61、62が損傷を生じることがある。このため、半導体チップ61、62からの熱の放熱を円滑にし、熱がたまらない構造にすることが好ましい。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
前記したように、半導体チップ61、62上の熱緩衝板81の大きさが半導体チップ61、62より小さいため、半導体チップ61、62の外周部での熱の放散が十分でなく、大きなサージ電流が流れたとき、半導体チップ61、62が損傷する場合がある。
【0006】
この発明の目的は、前記の課題を解決して、半導体チップの外周部での熱の放散を向上させて、サージ電流による半導体チップの損傷を防止する平型半導体装置を提供する。
【0007】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、同一平面上に配設された複数の半導体チップと、各半導体チップの両主面にそれぞれ重ねて設けた熱緩衝板と、前記半導体チップと前記熱緩衝板を位置決めする支持枠と、前記半導体チップと前記熱緩衝板とを挟持する両圧接電極板とを有する平型半導体装置において、前記支持枠が熱伝導性と電気的絶縁性を有する材料を用いる。
【0008】
前記支持枠と前記熱緩衝板の間に、熱伝導性を有する膜を形成するとよい。
前記支持枠と前記半導体チップ表面の間にも熱伝導性を有する膜を形成するとよい。
前記支持枠の材質が、窒化アルミニウム、酸化亜鉛、酸化アルミニウムの少なくともいずれか一つであるとよい。
【0009】
前記膜が、窒化アルミニウム、酸化亜鉛、酸化アルミニウムの少なくともいずれか一つの粉末を含むペーストを塗布して形成される塗布被膜であるとよい。
前記のように、熱緩衝板の外周部に、熱伝導性と電気絶縁性を有する支持枠(フレーム)を設ける構造とすることによって、半導体チップの外周部での熱放散を高めることができる。
【0010】
【発明の実施の形態】
図1は、この発明の第1実施例の平型半導体装置の要部断面図である。この図は、平型半導体装置を構成する半導体チップ11、12と熱緩衝板31、32を重ねて圧接電極板21、22間に挟み込んだ部分の断面構造を示す。また半導体チップ11、12は共にIGBTチップであってもよく、また、一方が、フリーホイールダイオードチップであってもよい。また、ここでは、例として、2個の半導体チップの場合を示したが、さらに個数が多い場合も当然ある。
【0011】
例えば、IGBTチップである半導体チップ11、12の上下に、例えばMoなどで形成された熱緩衝板31、32を重ねたものが、エミッタ側の圧接電極板21とコレクタ側の圧接電極板22の間に挟持されている。半導体チップ11、12、熱緩衝板31、32はフレーム41、42に収納され、組み込まれるが、このうち、半導体チップ11、12下の熱緩衝板31と半導体チップ11、12は、絶縁樹脂からなる従来のフレーム41で位置決めされ、半導体チップ11、12上の熱緩衝板32は、熱伝導性で電気的絶縁性を有するフレーム42で、位置決めされている。このフレーム42は、フレーム41に嵌め込まれる構造となっている。ここで、フレーム42は良好な熱伝導体で、電気的絶縁体であり、熱緩衝板32の周囲に配置され、また、半導体チップ11、12の外周の表面と接する。そのため、半導体チップ11、12の外周部の熱は、フレーム42を伝導して放散する。そのため、半導体チップ11、12にサージ電流が流れた場合でも、半導体チップ11、12の損傷を防止できる。
【0012】
フレーム42を構成する材料としては、窒化アルミニウム(AlN)、酸化亜鉛、酸化アルミニウムなどの熱伝導性と電気的絶縁性の良好なものを使用するとよい。
例えば、窒化アルミニウムを用いてフレーム42を製作する場合、窒化アルミニウムの粉末を有機溶剤に混合して得たペーストを、フレーム42の構造に形成した型に注入、加圧して、成形したものを、1000〜2000℃にて、2〜3時間焼成して作る。尚、窒化アルミニウムの熱伝導率は150〜170W/m・Kであり、金属アルミニウムの230W/m・Kに近く、熱伝導性は良好である。
【0013】
図2は、この発明の第2実施例の平型半導体装置の要部断面図である。図1との違いは、半導体チップ11、12下の熱緩衝板31に接するフレーム43を熱伝導性で電気的絶縁性を有する材料で形成した点である。こうすることで、図1の場合より、さらに熱伝導性を向上できる。
図3は、この発明の第3実施例の平型半導体装置の要部断面図である。図2のフレーム42が熱緩衝板32と対向する面および半導体チップ11、12と対向する面に、熱伝導性を有する塗布被膜52を形成する。こうすると、微小な隙間が存在しても、この塗布被膜52が隙間を充填するので、良好な熱伝導性が得られる。また、フレーム43が熱緩衝板31と対向する面と半導体チップ11、12の側壁と対向する面にも、熱伝導性を有する塗布被膜51を形成することで、前記と同様に、放熱効果を高めることができる。この塗布被膜51、52は、電気的に絶縁性で、良好な熱伝導性である、窒化アルミニウム、酸化亜鉛、酸化アルミニウムなどの粉末を含むペーストを塗布して形成される。この塗布被膜51、52と接する半導体チップ11、12の側面と表面が、耐圧特性に影響を及ぼさない(空乏層がこの側面や表面に達しない)場合は、塗布被膜51、52は導電性の材料であっても構わない。
こうすることで、フレーム42、43と熱緩衝板31、32間、および半導体チップ11、12間の熱伝導性を向上し、より一層の熱放散効果を高めることができる。
【0014】
【発明の効果】
この発明によれば、両圧接電極板(エミッタ、コレクタ)間に挟持されて平型半導体装置を構成する半導体チップおよび熱緩衝板を位置決めするフレームを、熱伝導性かつ電気的絶縁性とすることによって、半導体チップの熱の放散が容易となり、サージ電流で半導体チップが損傷することを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1実施例の平型半導体装置の要部断面図
【図2】この発明の第2実施例の平型半導体装置の要部断面図
【図3】この発明の第3実施例の平型半導体装置の要部断面図
【図4】従来の平型半導体装置の要部断面図
【符号の説明】
11、12 半導体チップ
21、22 圧接電極板
31、32 熱緩衝板
41、42、43 フレーム
51、52 塗布被膜
Claims (4)
- 同一平面上に配設された複数の半導体チップと、各半導体チップの両主面にそれぞれ重ねて設けた熱緩衝板と、前記半導体チップと前記熱緩衝板を位置決めし熱伝導性と電気的絶縁性を有する支持枠と、前記半導体チップと前記熱緩衝板とを挟持する両圧接電極板とを有する平型半導体装置において、
前記支持枠と前記熱緩衝板の間に、熱伝導性を有する膜を形成することを特徴とする平型半導体装置。 - 前記支持枠と前記半導体チップ表面の間に熱伝導性を有する膜を形成することを特徴とする請求項1に記載の平型半導体装置。
- 前記支持枠の材質が、窒化アルミニウム、酸化亜鉛、酸化アルミニウムの少なくともいずれか一つであることを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の平型半導体装置。
- 前記膜が、窒化アルミニウム、酸化亜鉛、酸化アルミニウムの少なくともいずれか一つの粉末を含むペーストを塗布して形成される塗布被膜であることを特徴とする請求項1又は2に記載の平型半導体装置。
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