JP4273265B2 - 高温液状物質の熱伝導度測定用センサー - Google Patents
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これらの熱移動を伴う過程を把握することは、製造工程やエネルギーの効率化を行う上で重要である。また、近年のスーパーコンピューターを用いたコンピュータシミュレーションによる熱や物質の流れなどの物理現象の解析は、半導体材料の結晶成長や金属凝固のプロセスを理解し改善していく上で、極めて有効な手段となってきている。しかし、コンピューターで計算をするためには、計算の境界条件をより現実のものにすると同時に、正確な熱物性値を必要としている。
平行平板法は、一定面積を通過する熱量から熱伝導度を測定する方法であり、しばしば絶縁体の熱伝導度測定に使用されるが、測定時間が長く、必要とされる試料サイズも大きい。また、試料が液状物質の場合は、熱対流による大きな誤差が生じやすい。
また、金属細線をセラミックスでコーティングしたものをセンサーとして用いることにより電気伝導性のある固体及び液状物質に対応した方法も考え出されているが(例えば、特許文献1参照)、ピンホールやクラックのないコーティング層を金属細線表面に形成することは極めて困難である。
R(t)=R0[1+αΔT(τ)] (1)
と表現できる。
ここで、R0は測定前のホットディスクセンサーの電気抵抗、αは電気抵抗の温度係数、ΔT(τ)はある時間τにおけるホットディスクセンサーの温度上昇を表している。
τ=(t/θ)1/2、θ=d2/κ
(2)
ここで、dはホットディスクセンサーの半径、κは試料の熱拡散率であり、θはCharacteristic timeと呼ばれている。
ホットディスクセンサーでは、ΔT(τ)は以下の式によって与えられる。
ΔT(τ)=P0(π3/2dλ)ー1D(τ) (3)
ここで、P0は全体の供給した熱量、λは試料の熱伝導度、D(τ)は時間に依存した温度上昇の理論的な表現である。
(3)式を(1)式に代入すると、
R(t)=R0[1+αP0(π3/2dλ)ー1D(τ)]
(4)
が得られる。
この計算によって熱拡散率と熱伝導度が同時に求められるのは、測定に要した時間がθの0.5〜1倍の場合であり、測定範囲が上記の範囲を逸脱した場合には、以下に示す単位体積あたりの比熱を既知として代入することによって求めることができる。
熱拡散率と熱伝導度の間には、以下に示す関係がある。
λ=Cpκ (5)
ここで、Cpは試料の単位体積あたりの比熱である。ホットディスク法では、上記で求めた熱拡散率と熱伝導度から(5)式によって比熱を求めることができる。
このセンサーの耐熱温度は約200°Cであり、ほとんどの金属の融点より低いため、金属融液などの高温液状物質の熱伝導度測定には使用することができない。また、絶縁性薄膜に雲母(厚さ100μm)を用いたセンサーでは約700°Cまでの高温環境で固体試料の熱伝導度測定が可能であるが、雲母同士の貼り合わせや強度に問題があり、高温液状物質の測定には使用できない。
しかし、これは窒化アルミニウム絶縁性薄板とモリブデン金属箔の隙間に多量に存在する無機接着剤のため感度が悪く、溶融シリコンが無機接着剤自身と反応してセンサー内に徐々に浸入するなどの耐久性が悪い問題がある。
を提供する。
1)金属箔からなるセンサー部と該センサー部の両面を覆うように配置した絶縁性薄板とを有し、金属箔と絶縁性薄板との間に発生する隙間に無機微粉末が充填された構造を備えていることを特徴とする高温液状物質の熱伝導度測定用センサー
2)金属箔と絶縁性薄板を絶縁性厚板で保持した構造からなり、該絶縁性厚板は金属箔からなるセンサー部が前記絶縁性薄板を介して高温液状物質と接触するための開口部を備え、該開口部はセンサー部より大きく、熱伝導度測定を妨げない構造を備えていることを特徴とする上記1)記載の高温液状物質の熱伝導度測定用センサー
3)絶縁性厚板の開口部は円形若しくは楕円形又は矩形であり、その面積はセンサー部よりも大きいことを特徴とする上記2)記載の高温液状物質の熱伝導度測定用センサー
4)金属箔として、モリブデン、タンタル、タングステン、ニオブ、白金、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、イリジウム、レニウム、ジルコニウム等の高融点金属及びこれらを基とする合金から選択した1又はそれ以上の金属箔又は合金箔からなることを特徴とする上記1)〜3)のいずれかに記載の高温液状物質の熱伝導度測定用センサー
を提供する。
本発明で用いるホットディスクセンサーの金属箔は、モリブデン、タンタル、タングステン、ニオブ、白金、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、イリジウム等の高融点金属箔又はこれらを基とする合金(例えば白金−ロジウム、タングステンーレニウム等)の箔を使用することができる。
そのため、融点以下の温度でも表面積を小さくする方向や加工ひずみを解放する方向に収縮や変形を起こす。例えば、白金(融点1772°C)の金属箔(厚さ20μm)をアルゴン中、1450°Cに加熱したところ、粒状化し、金属箔としての形状を維持することができなかった。
この様な現象は一般に拡散現象によって達成されるため、融点の2/3程度の温度から起こると言われている(例えば、「金属学ハンドブック」、初版(昭和33年)、472頁(朝倉書店))。
したがって、センサーに用いる金属箔の材質は、センサーの使用温度の3/2倍程度以上の融点を持つものを選択するのが望ましい。金属箔のセンサー部は、2重螺旋状や直線上の帯を折りたたんだ四角形状など、通電時にセンサー部が面状に加熱される形状であれば特に制約はない。
このための好適な材料としては、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、窒化ケイ素、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム、窒化硼素、石英ガラスなどのセラミックス材料が挙げることができる。
ホットディスクセンサーとして用いる絶縁体からなる薄板(絶縁性薄板)の厚みは、ホットディスクセンサーの、センサー部の直径の約100倍以下が望ましく、通常は5〜500μm厚の範囲であり、好ましくは、10〜200μm厚である。
本発明で用いる絶縁体からなる厚板(絶縁性厚板)には、金属箔からなるセンサー部が前記絶縁性薄板を介して高温液状物質と接触するための開口部が設けられており、該開口部はセンサー部より大きく、熱伝導度測定を妨げない構造となっている。その絶縁性厚板の開口部の例としては、円形若しくは楕円形又は矩形とすることができ、その面積はセンサー部よりも大きくする。
本発明は、この接着剤に替えて無機微粉末を用いることによって、このような問題を一挙に解決することが可能となった。
これらの微粉末を水や有機溶媒などに分散・縣濁させたものを金属箔又は合金箔からなるセンサー部と絶縁性薄板の隙間に充填・乾燥することによって、金属箔又は合金箔からなるセンサー部と絶縁性薄板を直接接触させた状態で物理的に生じた隙間を埋めることができる。
これによって、隙間への高温液状物質の浸入を阻止するのに寄与し、金属箔からなるセンサー部と絶縁性薄板との密着性を良くすることが可能となった。
固定用のネジ、ボルト、ナットは、センサーの使用温度より高い融点を持ち、高温液状物質と化学的な反応が無いあるいは乏しい材質であれば良く、特に限定されない。
この様な材料としては、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化ケイ素、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム、窒化硼素、石英ガラスなどのセラミックス材料が挙げられる。また、耐熱接着剤は、高温液状物質と化学的な反応が無いあるいは乏しい材質であれば良く、特に限定されない。
本実施例においては、図1に示す熱伝導度測定装置に基づいて説明する。本装置は、(1)ホットディスクセンサー1、(2)ホットディスクセンサー1への電流供給およびセンサーの抵抗測定を行うソースメーター2、(3)ソースメーターの制御およびデータ取得、データ解析を行うコンピューター3、(4)測定試料を高温加熱するための電気抵抗加熱炉を持つ雰囲気制御の可能なチャンバー4の4点からなっている。
本装置では、ホットディスクセンサー1は、ヒーター5と温度計測プローブの両方の役割を果たしており、測定試料を所定の温度に加熱・保持した後に、センサー1に一定の電流を流して発熱させ、発熱によるセンサー1の温度上昇の経時変化をセンサー1の抵抗変化から測定することによって測定試料(高温液状試料)6の熱伝導度を求める。
組立てたホットディスクセンサー1のセンサー部が全部浸積するように、ビスマス47g及びスズ33gの粒状物を酸化アルミニウム製試料容器(直径:17mm、高さ:50mm)にホットディスクセンサー1とともに入れ、一旦アルゴン中で溶融した後、窒化硼素製の板(厚さ1mm)で測定試料上部の自由界面を覆った状態で熱伝導度測定を行った。
今回行った測定では、測定時間がθより大きいため、試料の単位体積あたりの比熱を既知として熱伝導度を計算した。
初期温度500°Cの溶融ビスマスにおいて、センサー出力:2.0W、測定時間:1.25秒、溶融ビスマスの単位体積あたりの比熱:1.35×106J/m3・Kで求めた熱伝導度は14.5W/m・Kであった。
文献で報告されている溶融ビスマスの熱伝導度の値は、500°Cにおいて13.4〜16W/m・Kであり(「THERMOPHYSICAL PRPPERTIES OF MATTER」、1巻(1970)、25頁(IFI/PLENUM)参照)、本実験の結果は、文献値と良い一致を示していた。
初期温度500°Cの溶融スズにおいて、センサー出力:2.0W、測定時間:0.63秒、溶融ビスマスの単位体積あたりの比熱:1.64×106J/m3・Kで求めた熱伝導度は34.4W/m・Kであった。
文献で報告されている溶融スズの熱伝導度の値は、500°Cにおいて29.4〜35.8W/m・Kであり(「THERMOPHYSICAL PRPPERTIES OF MATTER」、1巻(1970)、389頁(IFI/PLENUM)参照)、本実験の結果は、文献値と良い一致を示していた。
文献で報告されている溶融スズの熱伝導度の値は、700°Cにおいて29.5〜39.9W/m・Kであり、本実験の結果は、文献値と良い一致を示していた。
2:ソースメーター
3:コンピューター
4:チャンバー
5:ヒーター
6:高温液状試料
7:金属箔
8:絶縁性薄板
9:絶縁性厚板
10:開口部
Claims (3)
- 金属箔からなるセンサー部と該センサー部の両面を覆うように配置した絶縁性薄板とを有し、金属箔と絶縁性薄板が直接接着し、金属箔と絶縁性薄板との間に発生する隙間に無機微粉末が充填されており、前記金属箔と絶縁性薄板は絶縁性厚板で保持され、該絶縁性厚板は金属箔からなるセンサー部が前記絶縁性薄板を介して高温液状物質と接触するための開口部を備え、該開口部はセンサー部より大きく、熱伝導度測定を妨げない構造を備えており、金属箔、絶縁性薄板及び厚板は機械的な締め付け又は耐熱接着剤を用いて固定されていることを特徴とする高温液状物質の熱伝導度測定用センサー。
- 絶縁性厚板の開口部は円形若しくは楕円形又は矩形であり、その面積はセンサー部よりも大きいことを特徴とする請求項1記載の高温液状物質の熱伝導度測定用センサー。
- 金属箔として、モリブデン、タンタル、タングステン、ニオブ、白金、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、イリジウム、レニウム、ジルコニウム等の高融点金属及びこれらを基とする合金から選択した1又はそれ以上の金属箔又は合金箔からなることを特徴とする請求項1又は2記載の高温液状物質の熱伝導度測定用センサー。
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