JP4271814B2 - ペレットピックアップ装置及びペレットピックアップ方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ペレットのピックアップ装置及びピックアップ方法に関し、ウエハホルダの移動範囲を小さくすることができるピックアップ装置及び方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来は、ウエハの大径化に伴うウエハステージの移動範囲の拡大を防止するために、ウエハを2つ又は4つの領域に等分割し、ウエハを載せたウエハステージを適宜回転させて、分割した領域毎に半導体ペレット(以下、「ペレット」とする。)の取り出しを行っていた。
【0003】
図5は、ウエハを4つの領域に等分割し、ペレットをピックアップする従来の方法を説明するための図である。図5に示すように、まずウエハ2の中心(位置A)と突上げユニットによる突き上げ対象位置とが一致するようにウエハステージ20を配置し、この後、ウエハステージ20をX方向に−D/2、Y方向に−D/2移動して、第1領域のペレットをピックアップする(Dはウエハの直径)。
【0004】
次に、ウエハステージ20を90度回転させて、第2領域のペレットを第1象限に移動させた後に、第1領域のペレットをピックアップした場合と同様に、ウエハステージ20をX方向に−D/2、Y方向に−D/2移動して、第2領域のペレットをピックアップする。
【0005】
以下同様に、ウエハステージ20を90度ずつ回転させて、第3領域及び第4領域のペレットをピックアップする。この時のウエハステージ20の移動範囲をウエハステージ移動範囲50で示す。
【0006】
なお、ウエハステージ20からペレットを取り出す際には、ペレットを粘着させたウエハシートの下方から突上げユニットが有する突き上げ針を用いてペレットを突き上げて、ペレットをウエハシートから剥離させるとともに、この突き上げ針と同期して作動する、トランスファユニット等が有する吸着ノズルを用いてペレットを上方から吸着している。
【0007】
また、吸着ノズルの先端には、図6(A)及び(B)に示すような角錐コレット151が取り付けられる。角錐コレット151は、吸引孔153を有し、ペレット155を吸着する面が凹状の傾斜面157となっている。そして、この傾斜面157にペレットの上側の辺のみが接触する。これにより、角錐コレット151がペレット155の表面に接触することなく、ペレット155を吸着保持することができる。
【0008】
なお、角錐コレット151は、ペレット155の形状や大きさに応じたものが用いられる。つまり、図6(B)に示すように、ペレット155が長方形の場合、角錐コレット151も長方形のものが用いられる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ウエハ2を4つの領域に等分割し、ウエハステージ20を90度ずつ回転させて、ペレットをピックアップする上記従来方法においては、下記のような問題点があった。
【0010】
すなわち、長方形ペレット155を吸着するために、縦長の角錐コレット151を使用した場合、ウエハステージ20を90度回転させると、長方形ペレット155の向きも90度回転してしまう。このため、図7(A)及び(B)に示すように、長方形ペレット155が角錐コレット151からはみ出し、十分な吸引力が得られなくなってしまい、ペレット155の取り出しに支障をきたす。
【0011】
これを回避するためには、回転ステージを90度回転させる毎に、作業者が手作業によって吸着ノズルの向きを90度回転させるか、吸着ノズルに回転機構を設けて自動的に吸着ノズルの向きを変更する必要がある。
【0012】
しかし、手作業によって吸着ノズルの向きを変更したのでは、時間がかかり、生産性が低下してしまう。また、吸着ノズルは、ウエハステージ上のペレット取り出し位置と位置修正テーブルとの間を高速で往復移動するものであるから、回転機構を設けて重量を増加させてしまうと、高速移動に支障を来すので好ましくない。
【0013】
そこで、本発明は、前記の課題を解決すべくなされたものであり、ペレットの向きを変えることなく、つまり吸着ノズル回転機構等を必要とすることなく、分割した領域毎にペレットの取り出しを迅速に行える装置を提供することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、請求項1の発明は、ウエハをダイシングして得られたペレット群を、前記ウエハの中心で直交するX軸及びY軸のうち少なくともX軸により複数の領域に分割し、この分割した領域毎に前記ペレットを取り出すペレットピックアップ装置において、前記ウエハを載置するウエハステージと、このウエハステージ上の各ペレットを突き上げる突上げユニットと、この突上げユニットを前記ウエハの中心と、前記ウエハの外周とY軸との交点との間で移動させる突上げユニット移動手段と、前記領域毎に、前記ウエハステージ上の各ペレットを、前記ウエハの中心または前記ウエハの外周とY軸との交点のいずれかに位置付けられた前記突上げユニットによる突き上げ対象位置に順次移動させるようにウエハステージを移動させるウエハステージ移動手段と、前記突き上げ対象位置に順次移動させられた各ペレットをピックアップするために前記突上げユニットを駆動する突上げユニット駆動手段とを具備することを特徴とする。
【0015】
これにより、ウエハをダイシングして得られた各ペレットを複数の領域に分割し、この分割した領域毎にペレットを取り出すにあたり、突上げユニットを各領域に応じて適切な位置に移動させることが可能となり、ペレットピックアップ装置の小型化及びペレットピックアップ動作の高速化を図ることができる。
【0016】
また、請求項2の発明は、ウエハステージを回転するウエハステージ回転手段を具備することを特徴とする。
【0017】
これにより、例えば各ペレットを4つの領域に分割し、各領域毎にピックアップする場合に、請求項1の発明と同様に、ペレットピックアップ装置の小型化及びペレットピックアップ動作の高速化を図ることができる。
【0018】
また、請求項3の発明は、ウエハをダイシングして得られたペレット群を、前記ウエハの中心で直交するX軸及びY軸のうち少なくともX軸により複数の領域に分割し、この分割した領域毎に突上げユニットを用いてペレットを取り出すペレットピックアップ方法であって、前記ペレットを取り出す領域を分割した複数の領域における一の領域から他の領域に切り換える際の前記突き上げユニットの移動方向及び移動量を、前記Y方向、及び、前記ウエハの中心と、前記ウエハの外周とY軸との交点との間の距離によって決定することを特徴とする。
【0019】
かかる方法により、ペレットピックアップ装置の小型化に最適な突上げユニットの移動方向及び移動量を決定することが可能となる。
【0020】
さらに、請求項4の発明は、ウエハをダイシングして得られた各ペレットを前記ウエハの中心で直交するX軸とY軸とにより4つの領域に分割し、この分割した領域毎に前記各ペレットを突上げユニットを用いてピックアップする方法であって、前記突上げユニットを前記ウエハの中心に位置させ、前記ウエハを移動させることにより、第1の領域内の各ペレットを前記突上げユニットによる突き上げ対象位置に順次移動させ、前記突上げユニットにより前記第1の領域内のペレットを順次ピックアップし、次に、前記突上げユニットを前記ウエハ中心から、前記X軸又はY軸と前記ウエハ外周との交点であって前記第1の領域に接しない点へ移動させ、前記ウエハを、前記第1の領域内のペレットをピックアップした場合と略同様に移動させることにより、第2の領域内に存在する各ペレットを前記突上げユニットによる突き上げ対象位置に順次移動させ、前記突上げユニットにより前記第2の領域内のペレットを順次ピックアップし、次に、前記ウエハを180度回転させ、前記第2の領域内のペレットをピックアップした場合と同様にして、第3の領域内のペレットを順次ピックアップし、次に、前記突上げユニットをウエハ中心に戻し、前記第1の領域内のペレットをピックアップした場合と同様にして、第4の領域内のペレットを順次ピックアップすることを特徴とする。
【0021】
かかる方法により、ペレットをいずれの領域からピックアップする場合でも、ペレットの長手方向の向きを変えることなく、つまり吸着ノズルの向きを変えることなくピックアップすることが可能となる。
【0022】
また、ペレットをいずれの領域から取り出す場合でも、ウエハの移動範囲はX方向、Y方向ともに最大でD/2となる(Dはウエハの直径)。
【0023】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図1は本発明のペレットピックアップ装置の構成の概略を説明するためのブロック図である。
【0024】
図1に示すように本発明のペレットピックアップ装置は、半導体ペレットを突き上げる突上げユニット10と、突上げユニット10を水平方向に移動させる突上げユニット移動手段12と、突上げユニット10を駆動させる突上げユニット駆動手段14と、ウエハが載置されるウエハステージ20と、ウエハステージ20を回転させるウエハステージ回転手段22と、ウエハステージ20を水平方向に移動させるウエハステージ移動手段32と、突上げユニット移動手段12等の各手段を制御する制御部40から構成される。
【0025】
突上げユニット10は、ウエハシート上のペレットを下方から突き上げる突き上げ棒(不図示)を有する。突き上げ棒で突き上げられたペレットは、この突き上げ棒と同期して作動するペレットトランスファ等が有する吸着ノズル(不図示)にて吸着(ピックアップ)される。
【0026】
次に、図2を用いて、本発明の第1実施形態に係るペレットピックアップ方法について説明する。この第1実施形態においては、ウエハを4つの領域に等分割して、各領域毎にピックアップを行う。
【0027】
図2(A)に示すように、ウエハ2の中心をX軸とY軸の交点に一致させた場合に、右上の第1象限を第1領域、左上の第2象限を第3領域、左下の第3象限を第4領域、右下の第4象限を第2領域とする。なお、図2(C)に示すように、ウエハステージを180度回転させた後は、第1象限に第4領域、第2象限に第2領域、第3象限に第1領域、第4象限に第3領域が存在する。
【0028】
なお、後述するように本実施形態におけるピックアップの順番は、図5を用いて説明した従来方法のピックアップの順番とは相違するため、図2における第3領域と第4領域の位置関係は、図5におけるそれとは相違する。
【0029】
まず、図2(A)を用いて、第1領域からペレットを取り出す場合について説明する。ペレットは、上下方向(Y方向)を長手方向とする。
【0030】
図2(A)に示すように、ウエハステージ20上に置かれたウエハ2の中心がX軸とY軸の交点(位置A:基準位置)にくるようにウエハステージ20を位置させ、かつ突上げユニットも位置Aに位置させる。
【0031】
右方向をX軸の+(プラス)とし、上方向をY軸の+(プラス)とした場合、第1領域内の全てのペレットを取り出す(ピックアップする)ためには、ウエハステージ20を最大で、X方向に−D/2、Y方向に−D/2移動する(Dはウエハ2の直径)。ウエハステージ20の移動する最大範囲をウエハステージ移動範囲50で示す。
【0032】
また、第1領域の全てのペレットを取り出す間、突上げユニットは水平方向(図2の紙面に対して水平方向)には移動しない。
【0033】
次に、図2(B)を用いて、第2領域からペレットを取り出す場合について説明する。
【0034】
図2(B)に示すように、突上げユニットをウエハ2の下端位置(位置B)に移動させる。つまり、Y方向に−D/2移動させる。第2領域内の全てのペレットを取り出す場合も、第1領域内の全てのペレットを取り出す場合とほぼ同様に、ウエハステージ20を最大で、X方向に−D/2、Y方向に−D/2移動する。ウエハステージ20の移動する最大範囲をウエハステージ移動範囲52で示す。
【0035】
なお、移動範囲52は移動範囲50と若干相違する。つまり、移動範囲50と移動範囲52とは同じ形状であるが向きが異なる。その理由は、第1領域は左下を中心とし右上円弧の扇形であり、第2領域は左上中心の右下円弧の扇形であることによる。
【0036】
第2領域のピックアップ開始前に突上げユニットを移動させたが、ウエハステージ20は回転させていないので、ペレットの向きは変わらない。従って、吸着ノズルを回転させる必要はない。
【0037】
次に、図2(C)を用いて、第3領域からペレットを取り出す場合について説明する。
【0038】
図2(C)に示すように、ウエハステージ20を180度回転させて、第3領域を第2象限から第4象限へ移動させる。突上げユニットは、ウエハ2の下端(位置B)から移動させない。
【0039】
第3領域内の全てのペレットを取り出すためには、第2領域のペレットを取り出す場合と同様に、ウエハステージ20を最大で、X方向に−D/2、Y方向に−D/2移動する。ウエハステージ20の移動する最大範囲は、第2領域のペレットを取り出す場合と同様に、ウエハステージ移動範囲52である。
【0040】
ウエハステージ20は180度回転するが、ペレットの向きは長手方向がY方向を向いたままなので、吸着ノズルを回転させることなくペレットを吸着することができる。
【0041】
最後に、図2(D)を用いて、第4領域からペレットを取り出す場合について説明する。
【0042】
第3領域を第2象限から第4象限へ移動させた時に、第4領域は第1象限に移動している。
【0043】
このため第4領域内の全てのペレットを取り出すためには、ウエハステージ20を回転させることなく、突上げユニットをウエハ2中心(位置A)に移動させ、つまりY方向に+D/2移動させて、その後は、第1領域のペレットを取り出す場合と同様に、ウエハステージ20を最大で、X方向に−D/2、Y方向に−D/2移動する。ウエハステージ20の移動する最大範囲は、第1領域のペレットを取り出す場合と同様に、ウエハステージ移動範囲50である。
【0044】
ペレットの向きは長手方向がY方向を向いたままなので、吸着ノズルを回転させることなくペレットを吸着することができる。
【0045】
このように、第1〜第4のいずれの領域から取り出す場合でも、ウエハステージ20は最大で、X方向に−D/2、Y方向に−D/2移動する。このため、ウエハステージの移動範囲は、X方向にD/2、Y方向にD/2となり、ウエハ2を4つの領域に分割して90度ずつ回転させてピックアップした場合と同様に、ウエハステージ20の移動範囲を小さくできる。
【0046】
また、第1〜第4のいずれの領域から取り出す場合でも、ペレットの向きは長手方向がY方向を向いたままなので、図6に示すような角錐コレット151を用いた場合であっても、吸着ノズル(角錐コレット151)を回転させることなくペレットを吸着することができる。
【0047】
本実施形態においては、突上げユニットをウエハの中心(位置A)からウエハの下端(位置B)に移動した。このような移動方向及び移動量の決定方法を図3を用いて説明する。
【0048】
図3(A)は、ウエハを4つの領域に分割した場合の右側半分の2つの領域(扇形T1とT2)を模式的に示した図である。ここで、一の領域T1から他の領域T2にペレットの取り出し領域を切り換えるときの突上げユニットの移動方向及び移動量は、一の領域T1と他の領域T2とを仮想的に相対移動させたときに両領域T1、T2にて形成される合成領域(仮想合成領域)に外接する四角形Rの面積が最小、すなわち図3(B)に示す状態となるときの領域T2に対する領域T1の移動方向及び移動量に基づいて決定される。具体的には、図2で、ペレットの取り出し領域を第1領域から第2領域に切り換えるときの突上げユニットの移動方向及び移動量は、第1領域を第2領域に対してY方向に距離−D/2移動させたときに、第1領域と第2領域とで形成される合成領域の外接四角形の面積が最小となることから、Y方向に−D/2となる。
【0049】
次に、本発明の第2実施形態に係るピックアップ方法について説明する。この第2実施形態においては、ウエハを2つの領域に等分割して、各領域毎にピックアップを行う。
【0050】
まず、図4(A)を用いて、第1領域からペレットを取り出す場合について説明する。ペレットは、上下方向(Y方向)を長手方向とする。
【0051】
図4(A)に示すように、ウエハステージ20上のウエハシート(不図示)上に置かれたウエハ2の中心がX軸とY軸の交点(位置A:基準位置)にくるようにウエハステージ20を配置し、かつ突上げユニットをウエハ2の中心に位置させる。
【0052】
上半分の領域から全てのペレットを取り出す(ピックアップする)ためには、ウエハステージ20を最大で、X方向に±D/2、Y方向に−D/2移動する。ウエハステージ20の移動する最大範囲をウエハステージ移動範囲54で示す。
【0053】
また、上半分の領域から全てのペレットを取り出す間、突上げユニットは、水平方向(図4の紙面に対して水平方向)には移動しない。
【0054】
次に、図4(B)を用いて、下半分の領域からペレットを取り出す場合について説明する。
【0055】
まず、突上げユニットをウエハ2の下端(位置B)に移動させる。つまり、Y方向に−D/2移動させる。下半分の領域内の全てのペレットを取り出すためには、ウエハステージ20を最大で、X方向に±D/2、Y方向に−D/2移動する。ウエハステージ20の移動する最大範囲をウエハステージ移動範囲56で示す。
【0056】
下半分の領域内からのペレットピックアップを開始する前に突上げユニットを移動させたが、ウエハステージ20は回転させていないので、ペレットの向きは変わらない。従って、吸着ノズルを回転させる必要はない。
【0057】
このように、どちらの領域からペレットを取り出す場合でも、ペレットの向きが変わらないので、吸着ノズルを回転させることなくペレットを吸着することができる。
【0058】
また、上半分の領域、下半分の領域のどちらの領域についても、ウエハステージ20は、X方向に±D/2、Y方向に−D/2移動することから、ウエハ2全体からペレットを取り出す際のウエハステージ20の移動範囲は、X方向にD、Y方向にD/2となる。つまり、従来における、ウエハ2を2つの領域に分割し、上半分の領域から全ペレットをピックアップした後に、ウエハ2を180度回転し、残りの全ペレットをピックアップする場合とほぼ同程度にウエハステージ20の移動範囲を小さくできる。
【0059】
しかも、本実施形態においては、ウエハステージ20を回転させる必要がないので、ウエハ2を180度回転させたときには取り出したペレットにウエハ2の回転量分の修正回転(180度回転)を加える必要がある従来に比べ、この回転のために要する時間を省くことができ、生産効率を向上させることができる。
【0060】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ウエハをダイシングして得られた各ペレットを複数の領域に分割し、この分割した領域毎にペレットを取り出す場合にペレットの向きを変えることなく、つまり吸着ノズル回転機構等を必要とすることなく、ペレットのピックアップが可能となり、かつウエハステージの移動範囲を小さくできる。これにより、生産性の向上及びウエハステージの移動範囲の狭小化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のペレットピックアップ装置の構成の概略を説明するためのブロック図である。
【図2】本発明の第1実施形態に関し、ウエハを4つの領域に等分割して、領域毎にペレットをピックアップする方法を説明するための図である。
【図3】本発明の第1実施形態に関し、突上げユニットの移動方向及び移動量を説明するための図である。
【図4】本発明の第2実施形態に関し、ウエハを2つの領域に等分割して、領域毎にペレットをピックアップする方法を説明するための図である。
【図5】従来の、ウエハを4つの領域に等分割して、領域毎にペレットをピックアップする方法を説明するための図である。
【図6】吸着ノズルの先端に取り付けられる角錐コレットがペレットを適切に吸着した状態を示す図である。
【図7】ペレットが90度回転したために角錐コレットがペレットを適切に吸着できなくなってしまった状態を示す図である。
【符号の説明】
10 突上げユニット
12 突上げユニット移動手段
14 突上げユニット駆動手段
20 ウエハステージ
22 ウエハステージ回転手段
32 ウエハステージ移動手段
Claims (4)
- ウエハをダイシングして得られたペレット群を、前記ウエハの中心で直交するX軸及びY軸のうち少なくともX軸により複数の領域に分割し、この分割した領域毎に前記ペレットを取り出すペレットピックアップ装置において、
前記ウエハを載置するウエハステージと、
このウエハステージ上の各ペレットを突き上げる突上げユニットと、
この突上げユニットを前記ウエハの中心と、前記ウエハの外周とY軸との交点との間で移動させる突上げユニット移動手段と、
前記領域毎に、前記ウエハステージ上の各ペレットを、前記ウエハの中心または前記ウエハの外周とY軸との交点のいずれかに位置付けられた前記突上げユニットによる突き上げ対象位置に順次移動させるようにウエハステージを移動させるウエハステージ移動手段と、
前記突き上げ対象位置に順次移動させられた各ペレットをピックアップするために前記突上げユニットを駆動する突上げユニット駆動手段とを具備することを特徴とするペレットピックアップ装置。 - ウエハステージを回転するウエハステージ回転手段を具備することを特徴とする請求項1記載のペレットピックアップ装置。
- ウエハをダイシングして得られたペレット群を、前記ウエハの中心で直交するX軸及びY軸のうち少なくともX軸により複数の領域に分割し、この分割した領域毎に突上げユニットを用いてペレットを取り出すペレットピックアップ方法であって、
前記ペレットを取り出す領域を分割した複数の領域における一の領域から他の領域に切り換える際の前記突き上げユニットの移動方向及び移動量を、前記Y方向、及び、前記ウエハの中心と、前記ウエハの外周とY軸との交点との間の距離によって決定することを特徴とするペレットピックアップ方法。 - ウエハをダイシングして得られた各ペレットを前記ウエハの中心で直交するX軸とY軸とにより4つの領域に分割し、この分割した領域毎に前記各ペレットを突上げユニットを用いてピックアップする方法であって、
前記突上げユニットを前記ウエハの中心に位置させ、
前記ウエハを移動させることにより、第1の領域内の各ペレットを前記突上げユニットによる突き上げ対象位置に順次移動させ、
前記突上げユニットにより前記第1の領域内のペレットを順次ピックアップし、
次に、前記突上げユニットを前記ウエハ中心から、前記X軸又はY軸と前記ウエハ外周との交点であって前記第1の領域に接しない点へ移動させ、
前記ウエハを、前記第1の領域内のペレットをピックアップした場合と略同様に移動させることにより、第2の領域内に存在する各ペレットを前記突上げユニットによる突き上げ対象位置に順次移動させ、
前記突上げユニットにより前記第2の領域内のペレットを順次ピックアップし、
次に、前記ウエハを180度回転させ、
前記第2の領域内のペレットをピックアップした場合と同様にして、第3の領域内のペレットを順次ピックアップし、
次に、前記突上げユニットをウエハ中心に戻し、
前記第1の領域内のペレットをピックアップした場合と同様にして、第4の領域内のペレットを順次ピックアップすることを特徴とするペレットピックアップ方法。
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