JP4262762B2 - 電磁界解析プログラム - Google Patents
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Description
(本発明の概要)
特許文献1で提案されるFDTD−MAS法においては、IAS解析では、全体の解析領域のうち微小な構造を含み放射源となる部分を囲む閉曲面(変換面)の外部は一様な媒質が周囲に満たされているものとして、変換面上の電磁界分布(電磁界値)u0を求める。そして、EAS解析では、IASを含む一様な媒質によって満たされるとして全空間を解析するが、この際、変換面上及び変換面外部の電磁界値uをIAS解析で求めた変換面上の電磁界値u0に上書きする処理を行なっていた。
図1は、本発明に係る電磁界解析方法において、変換面内部と変換面外部との処理を説明するための図である。
図2は、本発明に係る電磁界解析プログラムを実行するコンピュータ100の一例を示す概念図である。
(2.1 FDTD法)
実施の形態に係る電磁界解析方法の説明に先立って、FDTD法について簡単に説明する。
式(1)はnタイムステップの電界E(ベクトル)、式(2)は(n+1/2)タイムステップの磁界H(ベクトル)についての関係式である。ただし、Δtem,μ,ε,σは、それぞれ、タイムステップの刻み幅、透磁率、誘電率、導電率とする。
タイムステップの刻み幅Δtemが式(9)を満たさない場合は、算出された値が発散されてしまうことが一般に知られている。
ここでは、実施の形態に係る電磁界解析における解析空間について説明する。
図3を参照して、全体解析領域内には3つの波源Soがあり、波源Soの周囲には詳細なセルサイズで解析されるべき領域に属する構造物Sd(以下、「微細な構造物Sd」と呼ぶ)が存在している。さらにその周辺には粗いセルサイズで解析されるべき領域に属する構造物Ss(以下、「粗い構造物Ss」と呼ぶ)が存在している。粗い構造物Ssの周囲は、構造物の存在しない空間Svが存在する。このような想定は、波源SoをLSI(Large Scale Integration)、微細な構造物Sdを回路基板、粗い構造物Ssをシールドケース・筐体として考えることができ、実際の精密機器製品によく合致する。
(2.3 用語の定義)
ここでは、変換面および変換面を設定した場合の電界セル、変数について定義する。
図4は、電界セルにおける電界変数、磁界変数の配置を示す図である。
図5を参照して、変換面、変換面内部電界セルおよび変換面外部電界セルについて説明する。ただし、以下の説明では、解析空間はセルインデックス(i,j,k)を用いて、0≦i≦15,0≦j≦15,0≦k≦15で示される範囲とする。
図6を参照して、x方向の変換面内部電界変数Ex(i,j,k)について説明する。
図7を参照して、y方向の変換面内部電界変数Ey(i,j,k)について説明する。
図8を参照して、z方向の変換面内部電界変数Ez(i,j,k)について説明する。
図9を参照して、x方向の変換面内部磁界変数Hx(i,j,k)について説明する。
図10を参照して、y方向の変換面内部磁界変数Hy(i,j,k)について説明する。
図11を参照して、z方向の変換面内部磁界変数Hz(i,j,k)について説明する。
変換面上の電界変数Exは、図6で示した変換面内部電界変数Ex(i,j,k)(ただし、10≦i≦12,10≦j≦12,10≦k≦12)のうち、図12(a)で示される最近傍の磁界Hy,Hzのいずれかが変換面外部磁界変数になるような電界変数である。そのインデックス(i,j,k)を列挙すると、
(10,10,10),(11,10,10),(12,10,10),
(10,10,11),(11,10,11),(12,10,11),
(10,10,12),(11,10,12),(12,10,12),
(10,11,10),(11,11,10),(12,11,10),
(10,11,12),(11,11,12),(12,11,12),
(10,12,10),(11,12,10),(12,12,10),
(10,12,11),(11,12,11),(12,12,11),
(10,12,12),(11,12,12),(12,12,12),
の24個が、図5で示した変換面における変換面上の電界変数Exとなる。つまり、図6で示した変換面内部電界変数Ex(i,j,k)のうち、インデックスが(10,11,11),(11,11,11),(12,11,11)以外のものが変換面上の電界変数Exとなる。
(10,10,10),(11,10,10),(12,10,10),(13,10,10),
(10,10,11),(13,10,11),
(10,10,12),(11,10,12),(12,10,12),(13,10,12),
(10,11,10),(11,11,10),(12,11,10),(13,11,10),
(10,11,11),(13,11,11),
(10,11,12),(11,11,12),(12,11,12),(13,11,12),
の20個が、図5で示した変換面における変換面上の電界変数Eyとなる。つまり、図7で示した変換面内部電界変数Ey(i,j,k)のうち、インデックスが(11,10,11),(12,10,11),(11,11,11),(12,11,11)以外のものが変換面上の電界変数Eyとなる。
(10,10,10),(11,10,10),(12,10,10),(13,10,10),
(10,10,11),(11,10,11),(12,10,11),(13,10,11),
(10,11,10),(13,11,10),
(10,11,11),(13,11,11),
(10,12,10),(11,12,10),(12,12,10),(13,12,10),
(10,12,11),(11,12,11),(12,12,11),(13,12,11),
の20個がこの変換面における変換面上の電界変数Ezとなる。つまり、図8で示した変換面内部電界変数Ez(i,j,k)のうち、インデックスが(11,11,10),(12,11,10),(11,11,11),(12,11,11)以外のものが変換面上の電界変数Ezとなる。
図13(a)に示すように、変換面近傍の磁界変数Hxは、変換面外部磁界変数Hxのうち、変換面上の電界変数Eyの最近傍になる磁界変数および変換面上の電界変数Ezの最近傍になる磁界変数である。
図14を参照して、変換面上の電界変数Eyの最近傍になる磁界変数Hxのインデックス(i,j,k)を列挙すると、
(10,10,9),(11,10,9),(12,10,9),(13,10,9),
(10,10,12),(11,10,12),(12,10,12),(13,10,12),
(10,11,9),(11,11,9),(12,11,9),(13,11,9),
(10,11,12),(11,11,12),(12,11,12),(13,11,12)
の16個である。また、変換面上の電界変数Ezの最近傍になる磁界変数Hxのインデックス(i,j,k)を列挙すると、
(10,9,10),(11,9,10),(12,9,10),(13,9,10),
(10,9,11),(11,9,11),(12,9,11),(13,9,11),
(10,12,10),(11,12,10),(12,12,10),(13,12,10),
(10,12,11),(11,12,11),(12,12,11),(13,12,11)
の16個である。つまり、上記磁界変数の合計32個が、図5で示した変換面における変換面近傍の磁界変数Hxとなる。
図15を参照して、変換面上の電界変数Exの最近傍になる磁界変数Hyのインデックス(i,j,k)を列挙すると、
(10,10,9),(11,10,9),(12,10,9),
(10,10,12),(11,10,12),(12,10,12),
(10,11,9),(11,11,9),(12,11,9),
(10,11,12),(11,11,12),(12,11,12),
(10,12,9),(11,12,9),(12,12,9),
(10,12,12),(11,12,12),(12,12,12)
の18個である。また、変換面上の電界変数Ezの最近傍になる磁界変数Hyのインデックス(i,j,k)を列挙すると、
(9,10,10),(13,10,10),
(9,10,11),(13,10,11),
(9,11,10),(13,11,10),
(9,11,11),(13,11,11),
(9,12,10),(13,12,10),
(9,12,11),(13,12,11),
の12個である。つまり、上記磁界変数の合計30個が、図5で示した変換面における変換面近傍の磁界変数Hyとなる。
図16を参照して、変換面上の電界変数Exの最近傍になる磁界変数Hzのインデックス(i,j,k)を列挙すると、
(10,9,10),(11,9,10),(12,9,10),
(10,9,11),(11,9,11),(12,9,11),
(10,9,12),(11,9,12),(12,9,12),
(10,12,10),(11,12,10),(12,12,10),
(10,12,11),(11,12,11),(12,12,11),
(10,12,12),(11,12,12),(12,12,12)
の18個である。また、変換面上の電界変数Eyの最近傍になる磁界変数Hyのインデックス(i,j,k)を列挙すると、
(9,10,10),(13,10,10),
(9,10,11),(13,10,11),
(9,10,12),(13,10,12),
(9,11,10),(13,11,10),
(9,11,11),(13,11,11),
(9,11,12),(13,11,12),
の12個である。つまり、上記磁界変数の合計30個が、図5で示した変換面における変換面近傍の磁界変数Hzとなる。
EAS解析、IAS解析、および精度改善のための追加解析で用いる解析モデルについて説明する。
図20を参照して、図3で示される解析空間におけるEAS解析モデルについて説明する。EAS解析では、まず、EASにおけるFDTD解析のセルサイズ(EASセルサイズ)を、粗い構造物Ssの構造の微細度に基づいて決定する。
図21に示すように、変換面1の内部に、波源So(符号13)および微細な構造物Sd(符号16)を配置する。また、変換面1の外部は、構造物の存在しない空間Svとして真空層および吸収境界6を配置する。
図23は、IAS解析を説明するための図である。
図22に示すように、変換面2の内部に、2つ以上の波源So(符号14,15)および微細な構造物Sd(符号17)を配置する。また、変換面2の外部は、構造物の存在しない空間Svとして真空層および吸収境界7を配置する。
IAS解析では、上記のIAS解析モデルを用いて、FDTD計算を行なう。この際、EAS上で定義された、EAS解析における変換面上の電界変数に対応する変換面上の電界変数の値を、EAS解析における電界計算時刻ごとに変換面上の電界ファイル(IAS電界ファイル132)に保存する。また、精度改善のための追加解析を行わない場合は、EAS上で定義された、EAS解析における変換面近傍の磁界変数に対応する変換面近傍の磁界変数の値をEAS解析における磁界計算時刻ごとに変換面近傍の磁界ファイル(IAS磁界ファイル133)に保存する。
精度改善のための追加解析では、上記の精度改善のための追加解析モデルを用いて、FDTD−MAS法による解析計算を行なう。EAS解析における変換面近傍の磁界変数に1対1対応する変換面近傍の磁界変数の値をEAS解析における磁界計算時刻ごとに変換面近傍の磁界ファイル(IAS磁界ファイル133)に保存する。
次にEAS解析について説明する。
ただし、tは現在の解析時刻、t0はEASにおけるタイムステップの非負整数倍となる値、αは任意の実数とする。なお、t−t0≦0となる場合、f’(t)=0とする。
(初期状態)
初期状態(時刻t<0)においては、全ての電磁界変数の値について、u0(r)=u=e(r)=0とする。このとき、すべての変換面rについて電磁界分布u,u0(r),e(r)の間には、以下の式(11)で示される関係が成り立っている。
また、タイムステップΔt単位の時刻を表わす変数nをゼロに初期化する。
時刻t=nΔtにおける電界値の計算を行なう。
ここで、変換面近傍の磁界変数値Hn-1/2(u0(r))は、IAS解析で変換面近傍磁界値として保存されている値である。また、変換面近傍の磁界変数値Hn-1/2(u)は、EAS解析で、時刻t=(n−1/2)Δtにおいて計算された全電磁界分布uである。したがって、式(12)から導かれる以下の式(13)により変換面近傍の磁界変数値Hn-1/2(e(r))が計算できる。
これにより、上述したように式(3)、式(4)、式(5)のようにしてEn(e(r))を計算する。
時刻t=(n+1/2)Δtにおける磁界値の計算を行なう。
ここで、変換面上の電界変数値En(u0(r))は、IAS解析で変換面上の電界値として保存されている値である。また、変換面上の電界変数値En(e(r))は、t=nΔtにおける電界計算で計算されている。したがって、式(14)から変換面上の電界変数値En(u)が計算できる。
図29に示すように、図20で示すEAS上での粗い構造物Ssに開口部40が設けられている。この場合であっても、上述の方法によれば、図3で示す解析空間において解析したIAS解析の結果および精度改善のための追加解析の結果を利用できる。このため、再度IAS解析および精度改善のための追加解析を行なう必要がない。
[第1の実施の形態]
以上の発明である電磁界解析方法は、以下の手続によってコンピュータソフトウェアとして実装できる。以下ではまず精度改善のための追加解析を行わない場合について、その手続について第1の実施の形態としてまとめる。
図30を参照して、IAS解析処理の流れについて説明する。なお、CPU120は、以下の処理を電磁界解析を実行するプログラム131に従って行なう。
式(1)、式(2)で示すようなFDTD法の電界、磁界変数の更新計算のための係数を、解析条件130に書き込まれた各電界、磁界変数の存在位置での媒質情報およびセルサイズ、タイムステップ幅などから計算する。
各電界・磁界変数をゼロに初期化する。
nを初期値ゼロで初期化する。
次いで、ステップS21において、CPU120は、予め指定された解析終了条件情報に基づき解析終了判定を行なう。たとえば、解析条件130によって指定したステップ数Nと変数nとを比較し、n>Nとなった場合に終了と判定する。終了条件を満たさないと判断した場合は(ステップS21において、NO)、ステップS3の処理に戻る。一方、終了条件を満たすと判断した場合は(ステップS21において、YES)、処理を終了する。
図31は、EAS解析処理の流れを具体的に示したフローチャートである。
式(1)、式(2)で示すようなFDTD法の電界、磁界変数の更新計算のための係数を、解析条件130に書き込まれた各電界、磁界変数の存在位置での媒質情報およびセルサイズ、タイムステップ幅などから計算する。
各電界・磁界変数をゼロに初期化する。また、各変換面の変換面上の電界変数値、変換面近傍の磁界変数値をゼロに初期化する。
nを初期値ゼロで初期化する。
次いで、ステップS46において、CPU120は、予め指定された解析終了条件情報に基づき解析終了判定を行なう。たとえば、解析条件130によって指定したステップ数Nと変数nとを比較し、n>Nとなった場合に終了と判定する。終了条件を満たさないと判断した場合は(ステップS46において、NO)、ステップS32の処理に戻る。一方、終了条件を満たすと判断した場合は(ステップS46において、YES)、処理を終了する。
図32は、EAS解析処理の一例を詳細に示した図である。
次に、図34で説明したような精度改善のための追加解析モデルを用いて、精度改善のための追加解析を行う場合について、その手続について第2の実施の形態としてまとめる。
図35を参照して、IAS解析処理の流れについて説明する。なお、CPU120は、以下の処理を電磁界解析を実行するプログラム131に従って行なう。
式(1)、式(2)で示すようなFDTD法の電界、磁界変数の更新計算のための係数を、解析条件130に書き込まれた各電界、磁界変数の存在位置での媒質情報およびセルサイズ、タイムステップ幅などから計算する。
各電界・磁界変数をゼロに初期化する。
nを初期値ゼロで初期化する。
次いで、ステップS21において、CPU120は、予め指定された解析終了条件情報に基づき解析終了判定を行なう。たとえば、解析条件130によって指定したステップ数Nと変数nとを比較し、n>Nとなった場合に終了と判定する。終了条件を満たさないと判断した場合は(ステップS21において、NO)、ステップS3の処理に戻る。一方、終了条件を満たすと判断した場合は(ステップS21において、YES)、処理を終了する。
図36は、精度改善のための追加解析処理の流れを具体的に示したフローチャートである。
式(1)、式(2)で示すようなFDTD法の電界、磁界変数の更新計算のための係数を、解析条件130に書き込まれた各電界、磁界変数の存在位置での媒質情報およびセルサイズ、タイムステップ幅などから計算する。
各電界・磁界変数をゼロに初期化する。
nを初期値ゼロで初期化する。
次いで、ステップS62において、CPU120は、予め指定された解析終了条件情報に基づき解析終了判定を行なう。たとえば、解析条件130によって指定したステップ数Nと変数nとを比較し、n>Nとなった場合に終了と判定する。終了条件を満たさないと判断した場合は(ステップS62において、NO)、ステップS52の処理に戻る。一方、終了条件を満たすと判断した場合は(ステップS62において、YES)、処理を終了する。
EAS解析処理については第1の実施の形態と同一であるため省略する。
Claims (7)
- 演算処理部を有するコンピュータに電磁界解析を実行させるための電磁界解析プログラムであって、
前記演算処理部は、電磁界の波源を含む閉曲面で囲まれた第1の解析空間を第1のセルサイズで分割して、前記閉曲面内部、前記閉曲面上、および前記閉曲面外部の近傍における第1の電磁界分布を求める第1の電磁界解析ステップと、
前記演算処理部は、前記第1の解析空間を含む第2の解析空間を前記第1のセルサイズより大きな第2のセルサイズで分割して、前記閉曲面内部、前記閉曲面上における第2の電磁界分布および前記閉曲面外部における第3の電磁界分布を求める第2の電磁界解析ステップとを備え、
前記第2の電磁界解析ステップは、前記閉曲面内部および閉曲面上については、前記閉曲面外部の近傍の前記第3の電磁界分布と前記第1の電磁界分布との差分の電磁界分布を波源とした第2の電磁界分布を求め、前記閉曲面外部については、前記閉曲面上の前記第1の電磁界分布と前記第2の電磁界分布とを合成した電磁界分布を波源とした第3の電磁界分布を求める、電磁界解析をコンピュータに実行させるための電磁界解析プログラム。 - 演算処理部を有するコンピュータに電磁界解析を実行させるための電磁界解析プログラムであって、
前記演算処理部は、電磁界の波源を含む閉曲面で囲まれた第1の解析空間を第1のセルサイズで分割して、前記閉曲面内部、前記閉曲面上における第1の電磁界分布を求める第1の電磁界解析ステップと、
前記演算処理部は、前記第1の解析空間を含む第2の解析空間を前記第1のセルサイズより大きな第2のセルサイズで分割して前記閉曲面外部の近傍における第2の電磁界分布を求める第2の電磁界解析ステップと、
前記演算処理部は、前記第1の解析空間を含む第3の解析空間を前記第2のセルサイズで分割して、前記閉曲面内部、前記閉曲面上における第3の電磁界分布および前記閉曲面外部における第4の電磁界分布を求める第3の電磁界解析ステップとを備え、
前記第3の電磁界解析ステップは、前記閉曲面内部および閉曲面上については、前記閉曲面外部の近傍の前記第4の電磁界分布と前記第2の電磁界分布との差分の電磁界分布を波源とした第3の電磁界分布を求め、前記閉曲面外部については、前記閉曲面上の前記第1の電磁界分布と前記第3の電磁界分布とを合成した電磁界分布を波源とした第4の電磁界分布を求める、電磁界解析をコンピュータに実行させるための電磁界解析プログラム。 - 前記第1の電磁界解析ステップは、前記閉曲面の外側には構造物がないと仮定して電磁界解析を行なう、請求項1記載の電磁界解析プログラム。
- 前記第2の電磁界解析ステップは、前記閉曲面の外側には構造物があると仮定して電磁界解析を行なう、請求項3記載の電磁界解析プログラム。
- 前記第1の電磁界解析ステップは、前記閉曲面の外側には構造物がないと仮定して電磁界解析を行なう、請求項2記載の電磁界解析プログラム。
- 前記第2の電磁界解析ステップは、前記閉曲面の外側には構造物がないと仮定して電磁界解析を行なう、請求項5記載の電磁界解析プログラム。
- 前記第3の電磁界解析ステップは、前記閉曲面の外側には構造物があると仮定して電磁界解析を行なう、請求項6記載の電磁界解析プログラム。
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