JP4252674B2 - レンズ付き光ファイバ - Google Patents
レンズ付き光ファイバ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4252674B2 JP4252674B2 JP16571599A JP16571599A JP4252674B2 JP 4252674 B2 JP4252674 B2 JP 4252674B2 JP 16571599 A JP16571599 A JP 16571599A JP 16571599 A JP16571599 A JP 16571599A JP 4252674 B2 JP4252674 B2 JP 4252674B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- optical fiber
- core
- positioning wall
- lens portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、端面にレンズ部が設けられ、光通信等に用いられるレンズ付き光ファイバに関する。
【０００２】
【従来の技術】
光通信システムに用いられる発光素子モジュールは、光源である半導体レーザ（以下、「ＬＤ」という）、光ファイバ及びレンズを備えている。前記レンズは、ＬＤから出射されるレーザ光を光ファイバのコア端面に効率良く集光させるために使用される。このとき、発光素子モジュールは、高い光結合効率を得るために、ＬＤ，光ファイバ及びレンズの間で光軸合わせ、即ち、調心を行い、光結合パワーが最大となる位置で相互に固定される。
【０００３】
このような発光素子モジュールとして、例えば、端部にレンズ部となる球状突起部を形成した先球光ファイバを受発光素子の作用面と光結合させた光モジュールが提案されている（特開平６−３２４２３６号公報）。
上記光モジュールは、球状突起部（レンズ部）の外側に、前記球状突起部より突出する外周縁部が形成され、ＬＤの出射端面の周囲に外周縁部を当接させることで、球状突起部とＬＤとの短時間における安定した粗調心を達成している。そして、球状突起部とＬＤとを粗調心した後、精密調心によって球状突起部とＬＤとの光伝送方向における最終位置を求め、その位置で先球光ファイバとＬＤとを相互に固定している。このとき、先球光ファイバは、球状突起部の円周方向における方向依存性がないので、円周方向における位置調整は不要である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ＬＤは、出射されるレーザ光のファーフィールドパターンが楕円形状であるのに対して、光ファイバは、レーザ光が入射するコアの断面形状が円形である。このため、ＬＤと光ファイバとを光結合させる発光素子モジュールにおいては、ＬＤから出射されたレーザ光を光ファイバのコアに低いロスの下に高効率で結合させるためには、レーザ光をファーフィールドパターンにおいて短径方向よりも長径方向において強く屈折させる非球面レンズが必要である。即ち、楕円形状のレーザ光は、前記非球面レンズを通過すると、ファーフィールドパターンが楕円形状から円形に集束し、光ファイバのコアに高効率で結合するからである。
【０００５】
但し、前記非球面レンズは、光軸に対して回転対称ではない。このため、上記発光素子モジュールにおいては、ＬＤから出射されるレーザ光に対し、非球面レンズを光軸回りに回転させて最適位置に調整する必要がある。
従って、上記公報に開示された光モジュールは、レーザ光と先球光ファイバとの結合効率の点で満足すべきものではない。
【０００６】
しかも、上記光モジュールは、球状突起部を単に非球面レンズに置き換えたとしても、その周囲に外周縁部が形成されている。このため、上記光モジュールは、製造に際してＬＤに対して外周縁部を当接させると、外周縁部に邪魔されて非球面レンズを外部から見ることができず、ＬＤに対する非球面レンズの向きがわからない。
【０００７】
従って、上記光モジュールの製造においては、レーザ光に対する非球面レンズの光軸回りの位置を粗調芯することが難しく、安定した粗調心ができないうえ、粗調心に長時間を要するという問題があった。
本発明は上記の点に鑑みてなされたもので、レーザ光との結合効率に優れ、ＬＤに対するレンズ部の向きを観察しながら簡単に粗調心をすることが可能なレンズ付き光ファイバを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明においては上記目的を達成するため、光ファイバ端面のコア及びクラッドの部分に、前記コアの光軸と直交する突条で、かつ、該突条の長手方向と直交する面における断面形状が楕円または非球面の一部であるレンズ部が形成されている構成としたのである。
【０００９】
好ましくは、前記レンズ部の周囲には、前記レンズ部よりも僅かに突出する部分の端面が平面に形成された位置決め壁と、前記位置決め壁と前記レンズ部との間に形成された側面視凹状の隙間であって前記レンズ部の向きを視認できる観察部とを備える。ここで、本明細書の特許請求の範囲で使用する「断面形状が実質的な円の一部」とは、レンズ部となる突条の断面形状が円，楕円等の一部あるいは双曲線や非球面の一部等であることを言うものとし、以下の説明においても上記意味で使用する。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のレンズ付き光ファイバに係る一実施形態を図１乃至図１５に基づいて詳細に説明する。
レンズ付き光ファイバ１は、図１に示すように、コア１ａとクラッド１ｂとを有し、ファイバ端面１ｃのコア１ａ及びクラッド１ｂの部分に、コア１ａの光軸と直交する突条からなるレンズ部１ｄが直径方向に形成されている。レンズ部１ｄは、ＬＤから出射されたファーフィールドパターンが楕円形状のレーザ光を、長径方向において強く屈折させることで円形に集束させるために使用される。従って、レンズ部１ｄは、図２に示すように、少なくともコア１ａの部分に形成する。そして、レンズ部１ｄは、上記機能を発揮させるために、レンズ部１ｄの長手方向と直交する面における断面形状が、円，楕円等の一部あるいは双曲線や非球面の一部等、実質的な円の一部となるように形成する。
【００１１】
このとき、レンズ部１ｄは、例えば、図３（ａ）に示すように、開口２ａに双曲線形状の突起部２ｂが形成された金属マスク２を用いて形成される。即ち、鏡面にカットした光ファイバＦの端面に図３（ａ）に示す金属マスク２を配置し、突起部２ｂの頂点が光ファイバＦのコア中心を通るように、金属マスク２を図中矢印方向に往復動させながら、光ファイバＦの端面にドライエッチングを施して形成する。金属マスク２は、例えば、ニッケル等が使用され、以下に説明する他の実施形態においても同様である。
【００１２】
また、レンズ部１ｄは、図３（ｂ）に示すように、光ファイバＦ端面のコア中心に光ファイバＦと実質的に同一のエッチング速度を有する石英ガラス製の線材３を配置し、同様にドライエッチングを施して形成することができる。このとき、光ファイバＦは、図４（ａ）に示すように石英ガラス製の線材３を配置することで、端面が図４（ｂ）に点線で示すようにエッチングされ、図１に示すファイバ端面１ｃにレンズ部１ｄが形成されたレンズ付き光ファイバ１に加工される。ここで、石英ガラス製の線材は、以下に説明する他の実施形態においても同じ素材のものを使用する。
【００１３】
ここで、ドライエッチングの手段としては、プラズマエッチング，スパッタエッチング，イオンビームエッチング，中性ビームエッチング等を使用することができる。
このようにしてファイバ端面１ｃにレンズ部１ｄが形成されたレンズ付き光ファイバ１は、図５に示すように、ＬＤキャリア５に載置されたＬＤ６の出射面６ａと対向配置し、出射されるレーザ光のファーフィールドパターンにおける長径と直交するようにレンズ部１ｄを位置決めしながら、レンズ部１ｄを出射面６ａに当接させ、ＬＤと粗調心した状態で突き合わされる。従って、レンズ付き光ファイバ１は、レーザ光との結合効率に優れているうえ、レンズ部１ｄを見ながらＬＤ６に対して位置決めすることができるので、ＬＤ６に対する粗調心を短時間、かつ、容易に行うことができる。
【００１４】
ここで、レンズ付き光ファイバは、図６に示すレンズ付き光ファイバ８のように、コア８ａとクラッド８ｂとを有し、ファイバ端面のコア８ａ及びクラッド８ｂの部分に、コア８ａの光軸と直交する突条からなり、断面形状が、円，楕円の一部あるいは双曲線や非球面の一部等、実質的な円の一部となるレンズ部８ｄが直径方向に形成されると共に、レンズ部８ｄの両側に位置決め壁８ｅが形成されていてもよい。
【００１５】
各位置決め壁８ｅは、レンズ付き光ファイバ８をＬＤと突き合わせるときに、突き合わせ方向における位置決めを容易に行うためのもので、レンズ部８ｄよりも僅かに突出し、両端でレンズ部８ｄとの間にレンズ部８ｄの向きを観察する隙間状の観察部８ｆを形成し、端面が平面に形成されている。
このとき、レンズ部８ｄ及び位置決め壁８ｅは、レンズ付き光ファイバ１のレンズ部１ｄと同様に、例えば、図７に示すように、開口９ａに楕円形状の突起部９ｂが形成された金属マスク９を用いて形成される。即ち、鏡面にカットした光ファイバＦの端面に図７に示す金属マスク９を配置し、突起部９ｂの頂点が光ファイバＦのコア中心を通るように、金属マスク９を図中矢印方向に往復動させながら、光ファイバＦの端面にドライエッチングを施して形成する。
【００１６】
従って、レンズ付き光ファイバ８は、各位置決め壁８ｅによって突き合わせ方向の位置を位置決めされてＬＤと突き合わされ、レンズ部８ｄと位置決め壁８ｅとの間に形成された観察部８ｆによってレンズ部８ｄの向きを観察しながらＬＤに対して粗調心される。このため、レンズ付き光ファイバ８は、レンズ付き光ファイバ１と同様に、レーザ光との結合効率に優れているうえ、観察部８ｆによってレンズ部８ｄの向きを見ながらＬＤに対して位置決めすることができるので、ＬＤに対する粗調心を短時間、かつ、容易に行うことができる。
【００１７】
以下、断面形状が、円，楕円の一部あるいは双曲線や非球面の一部等、実質的な円の一部となるように形成されたレンズ部単独あるいは当該レンズ部と位置決め壁とを有し、レンズ付き光ファイバ１やレンズ付き光ファイバ８と同様の効果を発揮することができるレンズ付き光ファイバの変形例について説明する。
先ず、図８（ａ）に示すレンズ付き光ファイバ１０のように、コア１０ａとクラッド１０ｂとを有し、ファイバ端面のコア１０ａ及びクラッド１０ｂの部分に、コア１０ａの光軸と直交する突条からなるレンズ部１０ｄが凹溝１０ｅを介して直径方向に形成されると共に、レンズ部１０ｄの両側に位置決め壁１０ｆが形成されていてもよい。そして、レンズ付き光ファイバ１０は、各凹溝１０ｅの両端のレンズ部１０ｄと位置決め壁１０ｆとの隙間が、ＬＤに対して粗調心するときの観察部１０ｇとなる。
【００１８】
このとき、レンズ部１０ｄ，凹溝１０ｅ及び位置決め壁１０ｆは、図８（ｂ）に示すように、鏡面にカットした光ファイバＦの端面に、中央に長手状の開口１１ａが形成され、開口１１ａの中央に長手方向に跨るように石英ガラス製の線材１１ｂを固定した金属マスク１１を配置し、ドライエッチングを施して形成する。
【００１９】
また、図９（ａ）に示すレンズ付き光ファイバ１２のように、コア１２ａとクラッド１２ｂとを有し、ファイバ端面のコア１２ａ及びクラッド１２ｂの部分に、コア１２ａの光軸と直交する突条からなるレンズ部１２ｄが直径方向に形成されると共に、レンズ部１２ｄを囲む周囲に凹溝１２ｅを介して位置決め壁１２ｆが形成されていてもよい。そして、レンズ付き光ファイバ１２は、各凹溝１２ｅ端部のレンズ部１２ｄと位置決め壁１２ｆとの隙間が、ＬＤに対して粗調心するときの観察部１２ｇとなる。
【００２０】
この場合、レンズ部１２ｄ，凹溝１２ｅ及び位置決め壁１２ｆは、図９（ｂ）に示すように、鏡面にカットした光ファイバＦの端面に、中央に位置決め壁１２ｆの形状に対応した長手状の開口１３ａが形成され、開口１３ａの中央に長手方向に跨るように石英ガラス製の線材１３ｂを固定した金属マスク１３を配置し、ドライエッチングを施して形成する。
【００２１】
更に、図１０（ａ）に示すレンズ付き光ファイバ１４のように、コア１４ａとクラッド１４ｂとを有し、ファイバ端面のコア１４ａ及びクラッド１４ｂの部分に、コア１４ａの光軸と直交する突条からなるレンズ部１４ｄが直径方向に形成されると共に、レンズ部１４ｄを囲む周囲に凹溝１４ｅを介して馬蹄形状の位置決め壁１４ｆが形成されていてもよい。このとき、レンズ付き光ファイバ１４は、各凹溝１４ｅ端部のレンズ部１４ｄと位置決め壁１４ｆとの隙間が、ＬＤに対して粗調心するときの観察部１４ｇとなる。
【００２２】
レンズ部１４ｄ，凹溝１４ｅ及び位置決め壁１４ｆは、図１０（ｂ）に示す金属マスク１５を用い、光ファイバＦの端面にドライエッチングを施して形成する。金属マスク１５は、位置決め壁１４ｆの形状に対応した鍵穴状の開口１５ａが中央に形成され、開口１５ａの中央に長手方向に跨るように石英ガラス製の線材１５ｂが固定されている。
【００２３】
一方、レンズ付き光ファイバは、図１１（ａ）に示すレンズ付き光ファイバ１６のように、コア１６ａとクラッド１６ｂとを有し、ファイバ端面１６ｃのコア１６ａ及びクラッド１６ｂの部分に、突条からなるレンズ部１６ｄを形成した構成としてもよい。このとき、レンズ部１６ｄは、コア１６ａの光軸と直交し、図１２（ａ）に示すように外周側が幅広、図１２（ｂ）に示すようにコア１６ａの部分が幅狭で、かつ、断面形状が、円，楕円，双曲線等の一部あるいは非球面の一部等、実質的な円の一部となるように形成されている。
【００２４】
このとき、レンズ部１６ｄは、図１１（ｂ）に示すように、三角形の突出片１７ａ，１８ａを有する２枚の金属マスク１７，１８を、突出片１７ａ，１８ａの頂点が光ファイバＦのコア中心を通るように突き合わせて光ファイバＦの端面上に配置し、図中矢印方向に往復動させながら、光ファイバＦの端面にドライエッチングを施して形成する。
【００２５】
また、レンズ付き光ファイバは、図１３（ａ）に示すレンズ付き光ファイバ２０のように、コア２０ａとクラッド２０ｂとを有し、ファイバ端面のコア２０ａ及びクラッド２０ｂの部分に、突条からなるレンズ部２０ｄを直径方向に形成すると共に、レンズ部２０ｄを囲む３個所に凹溝２０ｅを介して位置決め壁２０ｆを形成した構成としてもよい。このとき、レンズ付き光ファイバ２０は、各凹溝２０ｅ端部の隙間が、ＬＤに対して粗調心するときの観察部２０ｇとなる。
【００２６】
ここで、レンズ部２０ｄ，凹溝２０ｅ及び位置決め壁２０ｆは、図１３（ｂ）に示す金属マスク２１を用い、光ファイバＦの端面にドライエッチングを施して形成する。金属マスク２１は、凹溝２０ｅの形状に対応したＹ字形のスリット２１ａが中央に形成され、スリット２０ａの中央に長手方向に跨るように石英ガラス製の線材２０ｂが固定されている。金属マスク２１は、線材２０ｂがコア上に位置するように配置して光ファイバＦをエッチングする。
【００２７】
更に、レンズ付き光ファイバは、図１４（ａ）に示すレンズ付き光ファイバ２２のように、コア２２ａとクラッド２２ｂとを有し、ファイバ端面のコア２２ａ及びクラッド２２ｂの部分に、突条からなるレンズ部２２ｄを直径方向に形成し、レンズ部２２ｄの両側に凹溝２２ｅを、レンズ部２２ｄの両端に位置決め壁２２ｆを、それぞれ形成した構成としてもよい。このとき、レンズ付き光ファイバ２２は、各凹溝２２ｅ端部の隙間が、ＬＤに対して粗調心するときの観察部となる。
【００２８】
ここで、レンズ部２２ｄ，凹溝２２ｅ及び位置決め壁２２ｆは、図１４（ｂ）に示す金属マスク２３を用い、光ファイバＦの端面にドライエッチングを施して形成する。金属マスク２３は、凹溝２２ｅの形状に対応した矩形状の開口２３ａが中央に形成され、開口２３ａの長手方向中央に、開口２３ａを跨るように石英ガラス製の線材２３ｂが固定されている。金属マスク２３は、線材２３ｂがコア上に位置するように配置して光ファイバＦをエッチングする。
【００２９】
上記のように本発明のレンズ付き光ファイバは、光ファイバの端面に突条からなるレンズ部が形成され、必要に応じてレンズ部の廻りに位置決め壁が設けられている。このとき、レンズ付き光ファイバは、形成するレンズ部や位置決め壁の形状は上記のものに限定されるものではなく、本発明の目的に合致し、金属マスクを用いて形成することができれば、種々の形状のものがある。
【００３０】
例えば、図１５（ａ）に示すレンズ付き光ファイバ２４のように、コア２４ａとクラッド２４ｂとを有し、ファイバ端面のコア２４ａ及びクラッド２４ｂの部分に、突条からなるレンズ部２４ｄを直径方向に形成し、レンズ部２４ｄに沿って及びレンズ部２４ｄの形成方向と直交する方向に凹溝２４ｅを形成すると共に、凹溝２４ｅによって分割された４個所に位置決め壁２４ｆを、それぞれ形成した構成としてもよい。このとき、レンズ付き光ファイバ２４は、各凹溝２４ｅ端部の隙間が、ＬＤに対して粗調心するときの観察部となる。
【００３１】
また、図１５（ｂ）〜（ｄ）に示すレンズ付き光ファイバ２６，２８，３０のように、コア２６ａ，２８ａ，３０ａとクラッド２６ｂ，２８ｂ，３０ｂとを有し、ファイバ端面のコア２６ａ，２８ａ，３０ａ及びクラッド２６ｂ，２８ｂ，３０ｂの部分に、突条からなるレンズ部２６ｄ，２８ｄ，３０ｄを直径方向に形成し、レンズ部２６ｄ，２８ｄ，３０ｄの周囲に凹溝２６ｅ，２８ｅ，３０ｅを介して複数の位置決め壁２６ｆ，２８ｆ，３０ｆを、それぞれ形成した構成としてもよい。このとき、レンズ付き光ファイバ２６，２８，３０は、各凹溝２６ｅ，２８ｅ，３０ｅ端部の隙間が、ＬＤに対して粗調心するときの観察部となる。
【００３２】
【発明の効果】
請求項１の発明によれば、レーザ光との結合効率に優れ、ＬＤに対するレンズ部の向きを観察しながら簡単に粗調心をすることが可能なレンズ付き光ファイバを提供することができる。
請求項２の発明によれば、粗調心に先立ってレンズ付き光ファイバをＬＤと突き合わせるときに、突き合わせ方向における位置決めを容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のレンズ付き光ファイバの斜視図である。
【図２】図１のレンズ付き光ファイバの正面図である。
【図３】図１のレンズ付き光ファイバにレンズ部を形成する際に用いる金属マスクの正面図（ａ）及び石英ガラス製の線材と光ファイバとの配置を示す斜視図（ｂ）である。
【図４】光ファイバに石英ガラス製の線材を配置した側面図（ａ）及び光ファイバにドライエッチングを施した後の状態を示す側面図（ｂ）である。
【図５】図１のレンズ付き光ファイバをＬＤと突き合わせて粗調心する状態を説明する斜視図である。
【図６】本発明のレンズ付き光ファイバの他の実施形態を示す斜視図である。
【図７】図６のレンズ付き光ファイバにレンズ部及び位置決め壁を形成する際に用いる金属マスクの正面図である。
【図８】本発明のレンズ付き光ファイバの更に他の実施形態を示す斜視図（ａ）及びレンズ部，凹溝及び位置決め壁の形成に用いる金属マスクの正面図（ｂ）である。
【図９】本発明のレンズ付き光ファイバの他の実施形態を示す斜視図（ａ）及びレンズ部，凹溝及び位置決め壁の形成に用いる金属マスクの正面図（ｂ）である。
【図１０】本発明のレンズ付き光ファイバの更に他の実施形態を示す斜視図（ａ）及びレンズ部，凹溝及び位置決め壁の形成に用いる金属マスクの正面図（ｂ）である。
【図１１】本発明のレンズ付き光ファイバの他の実施形態を示す斜視図（ａ）及びレンズ部の形成に用いる２枚の金属マスクを組み合わせた状態を示す正面図（ｂ）である。
【図１２】図１１（ａ）のレンズ付き光ファイバのレンズ部を、光ファイバの外周側で切断した断面図（ａ）及びコアの部分で切断した断面図（ｂ）である。
【図１３】本発明のレンズ付き光ファイバの更に他の実施形態を示す斜視図（ａ）及びレンズ部及び位置決め壁の形成に用いる金属マスクの正面図（ｂ）である。
【図１４】本発明のレンズ付き光ファイバの他の実施形態を示す斜視図（ａ）及びレンズ部及び位置決め壁の形成に用いる金属マスクの正面図（ｂ）である。
【図１５】本発明のレンズ付き光ファイバに形成されるレンズ部及び位置決め壁の他の種々の変形例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１ レンズ付き光ファイバ
１ａ コア
１ｂ クラッド
１ｃ ファイバ端面
１ｄ レンズ部
２ 金属マスク
３ 線材（石英ガラス製の）
８ レンズ付き光ファイバ
８ａ コア
８ｂ クラッド
８ｄ レンズ部
８ｅ 位置決め壁
９ 金属マスク
１０，１２ レンズ付き光ファイバ
１０ａ，１２ａ コア
１０ｂ，１２ｂ クラッド
１０ｄ，１２ｄ レンズ部
１０ｆ，１２ｆ 位置決め壁
１１，１３ 金属マスク
１４，１６ レンズ付き光ファイバ
１４ａ，１６ａ コア
１４ｂ，１６ｂ クラッド
１４ｄ，１６ｄ レンズ部
１４ｆ 位置決め壁
１５，１７，１８ 金属マスク
２０，２２ レンズ付き光ファイバ
２０ａ，２２ａ コア
２０ｂ，２２ｂ クラッド
２０ｄ，２２ｄ レンズ部
２０ｆ，２２ｆ 位置決め壁
２１，２３ 金属マスク
２４，２６ レンズ付き光ファイバ
２４ａ，２６ａ コア
２４ｂ，２６ｂ クラッド
２４ｄ，２６ｄ レンズ部
２４ｆ，２６ｆ 位置決め壁
２８，３０ レンズ付き光ファイバ
２８ａ，３０ａ コア
２８ｂ，３０ｂ クラッド
２８ｄ，３０ｄ レンズ部
２８ｆ，３０ｆ 位置決め壁
【発明の属する技術分野】
本発明は、端面にレンズ部が設けられ、光通信等に用いられるレンズ付き光ファイバに関する。
【０００２】
【従来の技術】
光通信システムに用いられる発光素子モジュールは、光源である半導体レーザ（以下、「ＬＤ」という）、光ファイバ及びレンズを備えている。前記レンズは、ＬＤから出射されるレーザ光を光ファイバのコア端面に効率良く集光させるために使用される。このとき、発光素子モジュールは、高い光結合効率を得るために、ＬＤ，光ファイバ及びレンズの間で光軸合わせ、即ち、調心を行い、光結合パワーが最大となる位置で相互に固定される。
【０００３】
このような発光素子モジュールとして、例えば、端部にレンズ部となる球状突起部を形成した先球光ファイバを受発光素子の作用面と光結合させた光モジュールが提案されている（特開平６−３２４２３６号公報）。
上記光モジュールは、球状突起部（レンズ部）の外側に、前記球状突起部より突出する外周縁部が形成され、ＬＤの出射端面の周囲に外周縁部を当接させることで、球状突起部とＬＤとの短時間における安定した粗調心を達成している。そして、球状突起部とＬＤとを粗調心した後、精密調心によって球状突起部とＬＤとの光伝送方向における最終位置を求め、その位置で先球光ファイバとＬＤとを相互に固定している。このとき、先球光ファイバは、球状突起部の円周方向における方向依存性がないので、円周方向における位置調整は不要である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ＬＤは、出射されるレーザ光のファーフィールドパターンが楕円形状であるのに対して、光ファイバは、レーザ光が入射するコアの断面形状が円形である。このため、ＬＤと光ファイバとを光結合させる発光素子モジュールにおいては、ＬＤから出射されたレーザ光を光ファイバのコアに低いロスの下に高効率で結合させるためには、レーザ光をファーフィールドパターンにおいて短径方向よりも長径方向において強く屈折させる非球面レンズが必要である。即ち、楕円形状のレーザ光は、前記非球面レンズを通過すると、ファーフィールドパターンが楕円形状から円形に集束し、光ファイバのコアに高効率で結合するからである。
【０００５】
但し、前記非球面レンズは、光軸に対して回転対称ではない。このため、上記発光素子モジュールにおいては、ＬＤから出射されるレーザ光に対し、非球面レンズを光軸回りに回転させて最適位置に調整する必要がある。
従って、上記公報に開示された光モジュールは、レーザ光と先球光ファイバとの結合効率の点で満足すべきものではない。
【０００６】
しかも、上記光モジュールは、球状突起部を単に非球面レンズに置き換えたとしても、その周囲に外周縁部が形成されている。このため、上記光モジュールは、製造に際してＬＤに対して外周縁部を当接させると、外周縁部に邪魔されて非球面レンズを外部から見ることができず、ＬＤに対する非球面レンズの向きがわからない。
【０００７】
従って、上記光モジュールの製造においては、レーザ光に対する非球面レンズの光軸回りの位置を粗調芯することが難しく、安定した粗調心ができないうえ、粗調心に長時間を要するという問題があった。
本発明は上記の点に鑑みてなされたもので、レーザ光との結合効率に優れ、ＬＤに対するレンズ部の向きを観察しながら簡単に粗調心をすることが可能なレンズ付き光ファイバを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明においては上記目的を達成するため、光ファイバ端面のコア及びクラッドの部分に、前記コアの光軸と直交する突条で、かつ、該突条の長手方向と直交する面における断面形状が楕円または非球面の一部であるレンズ部が形成されている構成としたのである。
【０００９】
好ましくは、前記レンズ部の周囲には、前記レンズ部よりも僅かに突出する部分の端面が平面に形成された位置決め壁と、前記位置決め壁と前記レンズ部との間に形成された側面視凹状の隙間であって前記レンズ部の向きを視認できる観察部とを備える。ここで、本明細書の特許請求の範囲で使用する「断面形状が実質的な円の一部」とは、レンズ部となる突条の断面形状が円，楕円等の一部あるいは双曲線や非球面の一部等であることを言うものとし、以下の説明においても上記意味で使用する。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のレンズ付き光ファイバに係る一実施形態を図１乃至図１５に基づいて詳細に説明する。
レンズ付き光ファイバ１は、図１に示すように、コア１ａとクラッド１ｂとを有し、ファイバ端面１ｃのコア１ａ及びクラッド１ｂの部分に、コア１ａの光軸と直交する突条からなるレンズ部１ｄが直径方向に形成されている。レンズ部１ｄは、ＬＤから出射されたファーフィールドパターンが楕円形状のレーザ光を、長径方向において強く屈折させることで円形に集束させるために使用される。従って、レンズ部１ｄは、図２に示すように、少なくともコア１ａの部分に形成する。そして、レンズ部１ｄは、上記機能を発揮させるために、レンズ部１ｄの長手方向と直交する面における断面形状が、円，楕円等の一部あるいは双曲線や非球面の一部等、実質的な円の一部となるように形成する。
【００１１】
このとき、レンズ部１ｄは、例えば、図３（ａ）に示すように、開口２ａに双曲線形状の突起部２ｂが形成された金属マスク２を用いて形成される。即ち、鏡面にカットした光ファイバＦの端面に図３（ａ）に示す金属マスク２を配置し、突起部２ｂの頂点が光ファイバＦのコア中心を通るように、金属マスク２を図中矢印方向に往復動させながら、光ファイバＦの端面にドライエッチングを施して形成する。金属マスク２は、例えば、ニッケル等が使用され、以下に説明する他の実施形態においても同様である。
【００１２】
また、レンズ部１ｄは、図３（ｂ）に示すように、光ファイバＦ端面のコア中心に光ファイバＦと実質的に同一のエッチング速度を有する石英ガラス製の線材３を配置し、同様にドライエッチングを施して形成することができる。このとき、光ファイバＦは、図４（ａ）に示すように石英ガラス製の線材３を配置することで、端面が図４（ｂ）に点線で示すようにエッチングされ、図１に示すファイバ端面１ｃにレンズ部１ｄが形成されたレンズ付き光ファイバ１に加工される。ここで、石英ガラス製の線材は、以下に説明する他の実施形態においても同じ素材のものを使用する。
【００１３】
ここで、ドライエッチングの手段としては、プラズマエッチング，スパッタエッチング，イオンビームエッチング，中性ビームエッチング等を使用することができる。
このようにしてファイバ端面１ｃにレンズ部１ｄが形成されたレンズ付き光ファイバ１は、図５に示すように、ＬＤキャリア５に載置されたＬＤ６の出射面６ａと対向配置し、出射されるレーザ光のファーフィールドパターンにおける長径と直交するようにレンズ部１ｄを位置決めしながら、レンズ部１ｄを出射面６ａに当接させ、ＬＤと粗調心した状態で突き合わされる。従って、レンズ付き光ファイバ１は、レーザ光との結合効率に優れているうえ、レンズ部１ｄを見ながらＬＤ６に対して位置決めすることができるので、ＬＤ６に対する粗調心を短時間、かつ、容易に行うことができる。
【００１４】
ここで、レンズ付き光ファイバは、図６に示すレンズ付き光ファイバ８のように、コア８ａとクラッド８ｂとを有し、ファイバ端面のコア８ａ及びクラッド８ｂの部分に、コア８ａの光軸と直交する突条からなり、断面形状が、円，楕円の一部あるいは双曲線や非球面の一部等、実質的な円の一部となるレンズ部８ｄが直径方向に形成されると共に、レンズ部８ｄの両側に位置決め壁８ｅが形成されていてもよい。
【００１５】
各位置決め壁８ｅは、レンズ付き光ファイバ８をＬＤと突き合わせるときに、突き合わせ方向における位置決めを容易に行うためのもので、レンズ部８ｄよりも僅かに突出し、両端でレンズ部８ｄとの間にレンズ部８ｄの向きを観察する隙間状の観察部８ｆを形成し、端面が平面に形成されている。
このとき、レンズ部８ｄ及び位置決め壁８ｅは、レンズ付き光ファイバ１のレンズ部１ｄと同様に、例えば、図７に示すように、開口９ａに楕円形状の突起部９ｂが形成された金属マスク９を用いて形成される。即ち、鏡面にカットした光ファイバＦの端面に図７に示す金属マスク９を配置し、突起部９ｂの頂点が光ファイバＦのコア中心を通るように、金属マスク９を図中矢印方向に往復動させながら、光ファイバＦの端面にドライエッチングを施して形成する。
【００１６】
従って、レンズ付き光ファイバ８は、各位置決め壁８ｅによって突き合わせ方向の位置を位置決めされてＬＤと突き合わされ、レンズ部８ｄと位置決め壁８ｅとの間に形成された観察部８ｆによってレンズ部８ｄの向きを観察しながらＬＤに対して粗調心される。このため、レンズ付き光ファイバ８は、レンズ付き光ファイバ１と同様に、レーザ光との結合効率に優れているうえ、観察部８ｆによってレンズ部８ｄの向きを見ながらＬＤに対して位置決めすることができるので、ＬＤに対する粗調心を短時間、かつ、容易に行うことができる。
【００１７】
以下、断面形状が、円，楕円の一部あるいは双曲線や非球面の一部等、実質的な円の一部となるように形成されたレンズ部単独あるいは当該レンズ部と位置決め壁とを有し、レンズ付き光ファイバ１やレンズ付き光ファイバ８と同様の効果を発揮することができるレンズ付き光ファイバの変形例について説明する。
先ず、図８（ａ）に示すレンズ付き光ファイバ１０のように、コア１０ａとクラッド１０ｂとを有し、ファイバ端面のコア１０ａ及びクラッド１０ｂの部分に、コア１０ａの光軸と直交する突条からなるレンズ部１０ｄが凹溝１０ｅを介して直径方向に形成されると共に、レンズ部１０ｄの両側に位置決め壁１０ｆが形成されていてもよい。そして、レンズ付き光ファイバ１０は、各凹溝１０ｅの両端のレンズ部１０ｄと位置決め壁１０ｆとの隙間が、ＬＤに対して粗調心するときの観察部１０ｇとなる。
【００１８】
このとき、レンズ部１０ｄ，凹溝１０ｅ及び位置決め壁１０ｆは、図８（ｂ）に示すように、鏡面にカットした光ファイバＦの端面に、中央に長手状の開口１１ａが形成され、開口１１ａの中央に長手方向に跨るように石英ガラス製の線材１１ｂを固定した金属マスク１１を配置し、ドライエッチングを施して形成する。
【００１９】
また、図９（ａ）に示すレンズ付き光ファイバ１２のように、コア１２ａとクラッド１２ｂとを有し、ファイバ端面のコア１２ａ及びクラッド１２ｂの部分に、コア１２ａの光軸と直交する突条からなるレンズ部１２ｄが直径方向に形成されると共に、レンズ部１２ｄを囲む周囲に凹溝１２ｅを介して位置決め壁１２ｆが形成されていてもよい。そして、レンズ付き光ファイバ１２は、各凹溝１２ｅ端部のレンズ部１２ｄと位置決め壁１２ｆとの隙間が、ＬＤに対して粗調心するときの観察部１２ｇとなる。
【００２０】
この場合、レンズ部１２ｄ，凹溝１２ｅ及び位置決め壁１２ｆは、図９（ｂ）に示すように、鏡面にカットした光ファイバＦの端面に、中央に位置決め壁１２ｆの形状に対応した長手状の開口１３ａが形成され、開口１３ａの中央に長手方向に跨るように石英ガラス製の線材１３ｂを固定した金属マスク１３を配置し、ドライエッチングを施して形成する。
【００２１】
更に、図１０（ａ）に示すレンズ付き光ファイバ１４のように、コア１４ａとクラッド１４ｂとを有し、ファイバ端面のコア１４ａ及びクラッド１４ｂの部分に、コア１４ａの光軸と直交する突条からなるレンズ部１４ｄが直径方向に形成されると共に、レンズ部１４ｄを囲む周囲に凹溝１４ｅを介して馬蹄形状の位置決め壁１４ｆが形成されていてもよい。このとき、レンズ付き光ファイバ１４は、各凹溝１４ｅ端部のレンズ部１４ｄと位置決め壁１４ｆとの隙間が、ＬＤに対して粗調心するときの観察部１４ｇとなる。
【００２２】
レンズ部１４ｄ，凹溝１４ｅ及び位置決め壁１４ｆは、図１０（ｂ）に示す金属マスク１５を用い、光ファイバＦの端面にドライエッチングを施して形成する。金属マスク１５は、位置決め壁１４ｆの形状に対応した鍵穴状の開口１５ａが中央に形成され、開口１５ａの中央に長手方向に跨るように石英ガラス製の線材１５ｂが固定されている。
【００２３】
一方、レンズ付き光ファイバは、図１１（ａ）に示すレンズ付き光ファイバ１６のように、コア１６ａとクラッド１６ｂとを有し、ファイバ端面１６ｃのコア１６ａ及びクラッド１６ｂの部分に、突条からなるレンズ部１６ｄを形成した構成としてもよい。このとき、レンズ部１６ｄは、コア１６ａの光軸と直交し、図１２（ａ）に示すように外周側が幅広、図１２（ｂ）に示すようにコア１６ａの部分が幅狭で、かつ、断面形状が、円，楕円，双曲線等の一部あるいは非球面の一部等、実質的な円の一部となるように形成されている。
【００２４】
このとき、レンズ部１６ｄは、図１１（ｂ）に示すように、三角形の突出片１７ａ，１８ａを有する２枚の金属マスク１７，１８を、突出片１７ａ，１８ａの頂点が光ファイバＦのコア中心を通るように突き合わせて光ファイバＦの端面上に配置し、図中矢印方向に往復動させながら、光ファイバＦの端面にドライエッチングを施して形成する。
【００２５】
また、レンズ付き光ファイバは、図１３（ａ）に示すレンズ付き光ファイバ２０のように、コア２０ａとクラッド２０ｂとを有し、ファイバ端面のコア２０ａ及びクラッド２０ｂの部分に、突条からなるレンズ部２０ｄを直径方向に形成すると共に、レンズ部２０ｄを囲む３個所に凹溝２０ｅを介して位置決め壁２０ｆを形成した構成としてもよい。このとき、レンズ付き光ファイバ２０は、各凹溝２０ｅ端部の隙間が、ＬＤに対して粗調心するときの観察部２０ｇとなる。
【００２６】
ここで、レンズ部２０ｄ，凹溝２０ｅ及び位置決め壁２０ｆは、図１３（ｂ）に示す金属マスク２１を用い、光ファイバＦの端面にドライエッチングを施して形成する。金属マスク２１は、凹溝２０ｅの形状に対応したＹ字形のスリット２１ａが中央に形成され、スリット２０ａの中央に長手方向に跨るように石英ガラス製の線材２０ｂが固定されている。金属マスク２１は、線材２０ｂがコア上に位置するように配置して光ファイバＦをエッチングする。
【００２７】
更に、レンズ付き光ファイバは、図１４（ａ）に示すレンズ付き光ファイバ２２のように、コア２２ａとクラッド２２ｂとを有し、ファイバ端面のコア２２ａ及びクラッド２２ｂの部分に、突条からなるレンズ部２２ｄを直径方向に形成し、レンズ部２２ｄの両側に凹溝２２ｅを、レンズ部２２ｄの両端に位置決め壁２２ｆを、それぞれ形成した構成としてもよい。このとき、レンズ付き光ファイバ２２は、各凹溝２２ｅ端部の隙間が、ＬＤに対して粗調心するときの観察部となる。
【００２８】
ここで、レンズ部２２ｄ，凹溝２２ｅ及び位置決め壁２２ｆは、図１４（ｂ）に示す金属マスク２３を用い、光ファイバＦの端面にドライエッチングを施して形成する。金属マスク２３は、凹溝２２ｅの形状に対応した矩形状の開口２３ａが中央に形成され、開口２３ａの長手方向中央に、開口２３ａを跨るように石英ガラス製の線材２３ｂが固定されている。金属マスク２３は、線材２３ｂがコア上に位置するように配置して光ファイバＦをエッチングする。
【００２９】
上記のように本発明のレンズ付き光ファイバは、光ファイバの端面に突条からなるレンズ部が形成され、必要に応じてレンズ部の廻りに位置決め壁が設けられている。このとき、レンズ付き光ファイバは、形成するレンズ部や位置決め壁の形状は上記のものに限定されるものではなく、本発明の目的に合致し、金属マスクを用いて形成することができれば、種々の形状のものがある。
【００３０】
例えば、図１５（ａ）に示すレンズ付き光ファイバ２４のように、コア２４ａとクラッド２４ｂとを有し、ファイバ端面のコア２４ａ及びクラッド２４ｂの部分に、突条からなるレンズ部２４ｄを直径方向に形成し、レンズ部２４ｄに沿って及びレンズ部２４ｄの形成方向と直交する方向に凹溝２４ｅを形成すると共に、凹溝２４ｅによって分割された４個所に位置決め壁２４ｆを、それぞれ形成した構成としてもよい。このとき、レンズ付き光ファイバ２４は、各凹溝２４ｅ端部の隙間が、ＬＤに対して粗調心するときの観察部となる。
【００３１】
また、図１５（ｂ）〜（ｄ）に示すレンズ付き光ファイバ２６，２８，３０のように、コア２６ａ，２８ａ，３０ａとクラッド２６ｂ，２８ｂ，３０ｂとを有し、ファイバ端面のコア２６ａ，２８ａ，３０ａ及びクラッド２６ｂ，２８ｂ，３０ｂの部分に、突条からなるレンズ部２６ｄ，２８ｄ，３０ｄを直径方向に形成し、レンズ部２６ｄ，２８ｄ，３０ｄの周囲に凹溝２６ｅ，２８ｅ，３０ｅを介して複数の位置決め壁２６ｆ，２８ｆ，３０ｆを、それぞれ形成した構成としてもよい。このとき、レンズ付き光ファイバ２６，２８，３０は、各凹溝２６ｅ，２８ｅ，３０ｅ端部の隙間が、ＬＤに対して粗調心するときの観察部となる。
【００３２】
【発明の効果】
請求項１の発明によれば、レーザ光との結合効率に優れ、ＬＤに対するレンズ部の向きを観察しながら簡単に粗調心をすることが可能なレンズ付き光ファイバを提供することができる。
請求項２の発明によれば、粗調心に先立ってレンズ付き光ファイバをＬＤと突き合わせるときに、突き合わせ方向における位置決めを容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のレンズ付き光ファイバの斜視図である。
【図２】図１のレンズ付き光ファイバの正面図である。
【図３】図１のレンズ付き光ファイバにレンズ部を形成する際に用いる金属マスクの正面図（ａ）及び石英ガラス製の線材と光ファイバとの配置を示す斜視図（ｂ）である。
【図４】光ファイバに石英ガラス製の線材を配置した側面図（ａ）及び光ファイバにドライエッチングを施した後の状態を示す側面図（ｂ）である。
【図５】図１のレンズ付き光ファイバをＬＤと突き合わせて粗調心する状態を説明する斜視図である。
【図６】本発明のレンズ付き光ファイバの他の実施形態を示す斜視図である。
【図７】図６のレンズ付き光ファイバにレンズ部及び位置決め壁を形成する際に用いる金属マスクの正面図である。
【図８】本発明のレンズ付き光ファイバの更に他の実施形態を示す斜視図（ａ）及びレンズ部，凹溝及び位置決め壁の形成に用いる金属マスクの正面図（ｂ）である。
【図９】本発明のレンズ付き光ファイバの他の実施形態を示す斜視図（ａ）及びレンズ部，凹溝及び位置決め壁の形成に用いる金属マスクの正面図（ｂ）である。
【図１０】本発明のレンズ付き光ファイバの更に他の実施形態を示す斜視図（ａ）及びレンズ部，凹溝及び位置決め壁の形成に用いる金属マスクの正面図（ｂ）である。
【図１１】本発明のレンズ付き光ファイバの他の実施形態を示す斜視図（ａ）及びレンズ部の形成に用いる２枚の金属マスクを組み合わせた状態を示す正面図（ｂ）である。
【図１２】図１１（ａ）のレンズ付き光ファイバのレンズ部を、光ファイバの外周側で切断した断面図（ａ）及びコアの部分で切断した断面図（ｂ）である。
【図１３】本発明のレンズ付き光ファイバの更に他の実施形態を示す斜視図（ａ）及びレンズ部及び位置決め壁の形成に用いる金属マスクの正面図（ｂ）である。
【図１４】本発明のレンズ付き光ファイバの他の実施形態を示す斜視図（ａ）及びレンズ部及び位置決め壁の形成に用いる金属マスクの正面図（ｂ）である。
【図１５】本発明のレンズ付き光ファイバに形成されるレンズ部及び位置決め壁の他の種々の変形例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１ レンズ付き光ファイバ
１ａ コア
１ｂ クラッド
１ｃ ファイバ端面
１ｄ レンズ部
２ 金属マスク
３ 線材（石英ガラス製の）
８ レンズ付き光ファイバ
８ａ コア
８ｂ クラッド
８ｄ レンズ部
８ｅ 位置決め壁
９ 金属マスク
１０，１２ レンズ付き光ファイバ
１０ａ，１２ａ コア
１０ｂ，１２ｂ クラッド
１０ｄ，１２ｄ レンズ部
１０ｆ，１２ｆ 位置決め壁
１１，１３ 金属マスク
１４，１６ レンズ付き光ファイバ
１４ａ，１６ａ コア
１４ｂ，１６ｂ クラッド
１４ｄ，１６ｄ レンズ部
１４ｆ 位置決め壁
１５，１７，１８ 金属マスク
２０，２２ レンズ付き光ファイバ
２０ａ，２２ａ コア
２０ｂ，２２ｂ クラッド
２０ｄ，２２ｄ レンズ部
２０ｆ，２２ｆ 位置決め壁
２１，２３ 金属マスク
２４，２６ レンズ付き光ファイバ
２４ａ，２６ａ コア
２４ｂ，２６ｂ クラッド
２４ｄ，２６ｄ レンズ部
２４ｆ，２６ｆ 位置決め壁
２８，３０ レンズ付き光ファイバ
２８ａ，３０ａ コア
２８ｂ，３０ｂ クラッド
２８ｄ，３０ｄ レンズ部
２８ｆ，３０ｆ 位置決め壁
Claims (2)
- 光ファイバ端面のコア及びクラッドの部分に、前記コアの光軸と直交する突条で、かつ、該突条の長手方向と直交する面における断面形状が楕円または非球面の一部であるレンズ部が形成されていることを特徴とするレンズ付き光ファイバ。
- 前記レンズ部の周囲には、前記レンズ部よりも僅かに突出する部分の端面が平面に形成された位置決め壁と、前記位置決め壁と前記レンズ部との間に形成された側面視凹状の隙間であって前記レンズ部の向きを視認できる観察部とを備えた請求項１のレンズ付き光ファイバ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16571599A JP4252674B2 (ja) | 1999-06-11 | 1999-06-11 | レンズ付き光ファイバ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16571599A JP4252674B2 (ja) | 1999-06-11 | 1999-06-11 | レンズ付き光ファイバ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000352629A JP2000352629A (ja) | 2000-12-19 |
| JP4252674B2 true JP4252674B2 (ja) | 2009-04-08 |
Family
ID=15817698
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16571599A Expired - Fee Related JP4252674B2 (ja) | 1999-06-11 | 1999-06-11 | レンズ付き光ファイバ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4252674B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6822190B2 (en) | 2002-12-12 | 2004-11-23 | 3M Innovative Properties Company | Optical fiber or waveguide lens |
-
1999
- 1999-06-11 JP JP16571599A patent/JP4252674B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000352629A (ja) | 2000-12-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3375213B2 (ja) | レンズ付ファイバ | |
| AU725883B2 (en) | Flat top, double-angled, wedge-shaped fiber endface | |
| EP0872747B1 (en) | Optical module | |
| US20050259918A1 (en) | Optical fiber coupler having a relaxed alignment tolerance | |
| JP2005519343A (ja) | マルチプルレンズ装置を備えた光ファイバおよびその製造方法 | |
| JP2004518157A (ja) | 光ファイバまたは導波路用のレーザ切断方法および装置 | |
| KR20020032564A (ko) | 광 파이버/마이크로 렌즈, 광 파이버 및 광 파이버의 배치방법 | |
| KR20040015261A (ko) | 가열 제작된 렌즈 섬유 | |
| JP5935465B2 (ja) | 光学装置 | |
| JP2001242357A (ja) | 光半導体装置 | |
| US5701373A (en) | Method for improving the coupling efficiency of elliptical light beams into optical waveguides | |
| JP4252674B2 (ja) | レンズ付き光ファイバ | |
| JPH09218324A (ja) | 発光モジュール | |
| JP3495493B2 (ja) | 発光モジュール | |
| JPH01307707A (ja) | 光結合回路 | |
| JPH11160569A (ja) | 光結合回路 | |
| JPS63164386A (ja) | 半導体レ−ザ | |
| JPH05107428A (ja) | 光フアイバの端部構造及びその製造方法 | |
| JPH07281054A (ja) | 光ファイバー端末 | |
| CN102109645A (zh) | 半导体条形激光二极管与单模光纤的耦合装置 | |
| JP2001264586A (ja) | 光通信用モジュール | |
| JPH08146250A (ja) | 集光レンズおよびその製造方法 | |
| JPH04264409A (ja) | 光学結合回路 | |
| JP2957189B2 (ja) | 半導体レーザモジュールの製造方法 | |
| JP3821576B2 (ja) | 光モジュール |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425 Effective date: 20051003 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060601 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20060601 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080121 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080129 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080331 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080930 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20081031 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081127 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090106 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090122 |
|
| R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4252674 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120130 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130130 Year of fee payment: 4 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130130 Year of fee payment: 4 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |