JP4243573B2 - Bonding apparatus and method, and electronic component cleaning apparatus - Google Patents
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Description
本発明は、回路を形成した回路部材と電子部品とをボンディングするボンディング装置であって、上記電子部品及び回路部材の少なくとも一方の洗浄を行う洗浄装置を備えたボンディング装置、及び該ボンディング装置にて実行されるボンディング方法、さらに上記ボンディング装置に備わり上記回路部材及び電子部品の洗浄を行う洗浄装置に関する。 The present invention relates to a bonding apparatus for bonding a circuit member on which a circuit is formed and an electronic component, the bonding apparatus having a cleaning device for cleaning at least one of the electronic component and the circuit member, and the bonding apparatus. The present invention relates to a bonding method to be executed, and further relates to a cleaning apparatus provided in the bonding apparatus for cleaning the circuit members and electronic components.
半導体部品の製造において、該半導体部品への塵埃の混入は、該部品の歩留まりや、該部品の信頼性等を劣化させる原因となることから、塵埃の排除が重要となる。よって、従来から、半導体製造工場内全体の雰囲気を高清浄度化したり、さらには、このようなクリーンルーム内に設置されている半導体製造装置内へ清浄空気を供給するような構成が採られている。
又、半導体チップを基板へフリップチップ実装する場合においても、実装されるチップと基板との間に塵埃が介在すると、両者の接合状態が不完全となり電気的接続が不十分となったり、両者間で位置ズレが生じたりして、不具合が発生する。よって、例えば、上記チップにエアーを吹き付けて塵埃を吹き飛ばし清浄にした後、実装を行う、等の工夫が施されている(例えば、特許文献1及び特許文献2参照)。
In the manufacture of semiconductor components, dust contamination into the semiconductor components becomes a cause of deterioration of the yield of the components, reliability of the components, and the like. Therefore, conventionally, a configuration has been adopted in which the atmosphere in the entire semiconductor manufacturing factory is made highly clean, and further, clean air is supplied into the semiconductor manufacturing apparatus installed in such a clean room. .
Also, when flip chip mounting a semiconductor chip on a substrate, if dust is interposed between the chip to be mounted and the substrate, the bonding state between the two will be incomplete and the electrical connection will be insufficient. In this case, the position may be misaligned. Therefore, for example, after the air is blown to the chip and dust is blown away to be cleaned, mounting is performed (for example, refer to
又、回路を形成した基板にCCD(電荷結合素子)を実装してなる撮像素子の製造において、従来、撮像素子における画素数が少なく、塵埃を厳しく管理する必要は余り無かった。しかしながら、近年、画素数が非常に多くなり、撮像素子の製造装置においても塵埃の影響を無視することはできない状況になっている。
しかしながら、上述の各特許文献1、2のいずれの場合も、装置内において上記エアーの吹き付け動作が行われている。噴射したエアーを吸引する吸引装置を備えたものも開示されているが、たとえ上記吸引装置を設けたとしても、装置内でエアーを噴射することで、噴射エアーにより当該装置内の気流が乱され、逆に、塵埃を舞い上がらせる恐れがある。したがって、上述の不具合の発生は否めない。
このような課題の解決案として、必要なときのみエアーを噴射するように、噴射をオン、オフする方法が考えられる。しかしながら、エアー噴射用の配管にオン、オフ用の弁を設けた場合、その構成が長大化するという問題がある。又、エアー噴射用の送風機をオン、オフする方法もあるが、所定の風量、風圧が得られる安定状態に達するまでに時間を要するという問題が生じる。
However, in any of the above-described
As a solution to such a problem, a method of turning on and off the injection so as to inject air only when necessary can be considered. However, when an on / off valve is provided in the air injection pipe, there is a problem that the configuration becomes long. There is also a method of turning on and off the air jet blower, but there is a problem that it takes time to reach a stable state where a predetermined air volume and pressure can be obtained.
本発明は、このような問題点を解決するためになされたもので、回路を形成した部材と電子部品とをボンディングするとき、塵埃による悪影響を低減可能なボンディング装置及び方法、並びに上記ボンディング装置に備わる電子部品洗浄装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve such problems, and in bonding a member having a circuit formed thereon to an electronic component, a bonding apparatus and method capable of reducing the adverse effects of dust, and the above bonding apparatus. An object of the present invention is to provide an electronic component cleaning apparatus.
上記目的を達成するため、本発明は以下のように構成する。
即ち、本発明の第1態様のボンディング装置は、部品保持部材を有し該部品保持部材にて電子部品を保持して回路部材へ供給する電子部品供給装置と、
上記電子部品と上記回路部材とをボンディングするボンディング部と、
上記ボンディング部へ上記回路部材を供給する回路部材供給装置と、
上記電子部品供給装置にて供給される上記電子部品、及び上記回路部材供給装置にて供給される上記回路部材の少なくとも一方に対して気体を吹き付けて塵埃の除去を行う洗浄装置であって、
上記気体を連続的に噴出する吹出口を有する送風部、
上記気体及び上記塵埃を吸引する吸引口を有する吸引部、並びに、
塵埃除去動作以外の通常状態において上記吹出口及び上記吸引口を覆い上記吹出口から噴出する上記気体の放散を防止するとともに上記気体の上記吸引口への吸引を容易にする遮蔽部材、
を有する洗浄装置と、
を備えたことを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention is configured as follows.
That is, the bonding apparatus according to the first aspect of the present invention includes an electronic component supply device that has a component holding member and holds the electronic component with the component holding member and supplies the electronic component to the circuit member.
A bonding part for bonding the electronic component and the circuit member;
A circuit member supply device for supplying the circuit member to the bonding unit;
A cleaning device for removing dust by blowing gas to at least one of the electronic component supplied by the electronic component supply device and the circuit member supplied by the circuit member supply device,
A blower unit having a blowout port for continuously ejecting the gas;
A suction part having a suction port for sucking the gas and the dust, and
A shielding member that covers the air outlet and the suction port in a normal state other than the dust removing operation, prevents the gas from being ejected from the air outlet, and facilitates the suction of the gas to the air inlet;
A cleaning device having
It is provided with.
上述の第1態様の構成によれば、洗浄装置は、電子部品及び回路部材の少なくとも一方における塵埃除去を行うことができる。尚、電子部品及び回路部材の両方の洗浄を行う場合、それぞれに対応して計2台の洗浄装置を設けても良いし、1台の洗浄装置から気体噴出及び気体吸引を分岐する構成を採ることもできる。但し、1台の洗浄装置を設けた場合、遮蔽部材はそれぞれに対応して設ける必要がある。
洗浄装置は、遮蔽部材を有することから、塵埃除去動作以外の通常状態において、吹出口から噴出される気体が当該ボンディング装置内に放散され、塵埃を舞い上がらせてしまうという状態を防止することができる。よって、電子部品と回路部材とをボンディングする際における塵埃に起因する不具合の発生を低減、防止することができる。又、送風部は、上記吹出口から連続的に気体を噴出することから、気体噴出をオン、オフする必要がない。よって、気体噴出をオン、オフすることに起因する上述の問題点が生じることはない。
又、吹出口から噴射される気体は、フィルターを通した清浄な空気や、窒素ガス等のような不活性ガス等の気体が相当する。
According to the configuration of the first aspect described above, the cleaning device can perform dust removal on at least one of the electronic component and the circuit member. In the case of cleaning both electronic parts and circuit members, a total of two cleaning devices may be provided corresponding to each, and a structure in which gas ejection and gas suction are branched from one cleaning device is adopted. You can also However, when one cleaning device is provided, it is necessary to provide a shielding member corresponding to each.
Since the cleaning device has the shielding member, in a normal state other than the dust removing operation, it is possible to prevent a state in which the gas ejected from the air outlet is diffused into the bonding device and causes the dust to rise. . Therefore, it is possible to reduce or prevent the occurrence of problems caused by dust when bonding electronic components and circuit members. Further, since the air blowing unit continuously ejects gas from the air outlet, it is not necessary to turn on and off the gas ejection. Therefore, the above-mentioned problem caused by turning on / off the gas ejection does not occur.
Further, the gas injected from the outlet corresponds to a gas such as clean air that has passed through a filter or an inert gas such as nitrogen gas.
又、本発明の第2態様のボンディング装置は、部品保持部材を有し該部品保持部材にて電子部品を保持して回路部材へ供給する電子部品供給装置と、
上記電子部品と上記回路部材とをボンディングするボンディング部と、
上記回路部材に上記電子部品がボンディングされる前に上記電子部品供給装置にて供給される上記電子部品に対して気体を吹き付けて当該電子部品の塵埃を除去する電子部品洗浄装置であって、
上記気体を連続的に噴出する吹出口を有する送風部、
上記気体及び上記塵埃を吸引する吸引口を有する吸引部、並びに、
上記吹出口及び上記吸引口を覆う送風遮断位置と、上記吹出口及び上記吸引口から外れた位置であって上記電子部品への送風を可能とする送風位置との間を移動し、上記送風遮断位置では上記吹出口から連続的に噴出される上記気体の放散を防止するとともに上記吸引口への吸引を容易にするシャッター、
を有する電子部品洗浄装置と、
上記送風遮断位置に配置されている上記シャッターを、上記電子部品洗浄装置と上記部品保持部材とが対向したときに上記送風位置へ移動させ、上記送風位置に配置されている上記シャッターを、上記部品保持部材が上記電子部品洗浄装置から外れる直前に上記送風遮断位置へ移動させるシャッター制御装置と、
を有することを特徴とする。
In addition, the bonding apparatus according to the second aspect of the present invention includes an electronic component supply device that has a component holding member and holds the electronic component by the component holding member and supplies the electronic component to the circuit member.
A bonding part for bonding the electronic component and the circuit member;
An electronic component cleaning device that blows gas to the electronic component supplied by the electronic component supply device before the electronic component is bonded to the circuit member to remove dust from the electronic component,
A blower unit having a blowout port for continuously ejecting the gas;
A suction part having a suction port for sucking the gas and the dust, and
The blower blocking position that covers the blower outlet and the suction port, and the blower position that is located away from the blower outlet and the suction port and that allows blowing air to the electronic component, is blocked by the blower. A shutter that prevents the gas continuously blown out from the outlet in the position and facilitates suction to the suction port;
An electronic component cleaning apparatus comprising:
The shutter disposed at the blower blocking position is moved to the blower position when the electronic component cleaning device and the component holding member face each other, and the shutter disposed at the blower position is moved to the component. A shutter control device for moving the holding member to the blow-off blocking position immediately before the holding member is detached from the electronic component cleaning device;
It is characterized by having.
上述の第2態様の構成によれば、電子部品洗浄装置のシャッターは、シャッター制御装置にてその駆動を制御され、電子部品の塵埃除去動作以外の通常状態では、送風遮断位置に配置される。このようなシャッターを設けたことで、吹出口から噴出される気体が当該ボンディング装置内へ放散され、塵埃を舞い上がらせてしまうという状態を防止することができる。よって、第2態様のボンディング装置は、電子部品と回路部材とをボンディングする際における塵埃に起因する不具合の発生を低減、防止することができる。又、送風部は、上記吹出口から連続的に気体を噴出することから、気体噴出をオン、オフする必要がない。よって、気体噴出をオン、オフすることに起因する上述の問題点が生じることはない。尚、吹出口から噴射される気体は、フィルターを通した清浄な空気や、窒素ガス等のような不活性ガス等の気体が相当する。 According to the configuration of the second aspect described above, the shutter of the electronic component cleaning device is controlled to be driven by the shutter control device, and is disposed in the air blowing blocking position in a normal state other than the dust removal operation of the electronic component. By providing such a shutter, it is possible to prevent a state in which the gas ejected from the air outlet is diffused into the bonding apparatus and causes dust to rise. Therefore, the bonding apparatus according to the second aspect can reduce or prevent the occurrence of problems caused by dust when bonding electronic components and circuit members. Further, since the air blowing unit continuously ejects gas from the air outlet, it is not necessary to turn on and off the gas ejection. Therefore, the above-mentioned problem caused by turning on / off the gas ejection does not occur. Note that the gas injected from the outlet corresponds to a gas such as clean air that has passed through a filter or an inert gas such as nitrogen gas.
シャッター制御装置は、部品保持部材と電子部品洗浄装置との位置関係に基づいて、電子部品洗浄装置のシャッターを送風遮断位置と送風位置とのいずれかに配置させる。即ち、一構成例として、電子部品洗浄装置は固定され、その上方を部品保持部材に保持されて電子部品が通過する構成が考えられるが、逆に、電子部品洗浄装置を移動させる構成を採ることもできる。要するに、電子部品洗浄装置と部品保持部材とは相対的に移動すればよい。このような状態において、部品保持部材と電子部品洗浄装置とが対向したときのみ、つまり吹出口から噴出した気体が部品保持部材及び電子部品に当たる状態にあるときのみ、上記気体が電子部品に向けて噴出されることになる。よって、上述のように、塵埃除去動作以外の通常状態では、吹出口から噴出される気体が当該ボンディング装置内に放散され、塵埃を舞い上がらせてしまうという状態を防止することができる。
尚、電子部品供給装置における電子部品の供給形態は、一般的には上述したように電子部品を保持している部品保持部材を搬送することによる供給形態であるが、搬送動作に限定するものではない。例えば上述のように、電子部品洗浄装置を移動させる構成を採ったときには、上記搬送以外の動作、例えば単に電子部品を保持する供給形態を採ることもできる。
The shutter control device causes the shutter of the electronic component cleaning device to be disposed at either the blower blocking position or the blower position based on the positional relationship between the component holding member and the electronic component cleaning device. That is, as one configuration example, the electronic component cleaning device is fixed, and the upper part is held by the component holding member and the electronic component passes therethrough, but conversely, the electronic component cleaning device is moved. You can also. In short, the electronic component cleaning device and the component holding member may be relatively moved. In such a state, the gas is directed toward the electronic component only when the component holding member and the electronic component cleaning device are opposed to each other, that is, only when the gas ejected from the outlet is in contact with the component holding member and the electronic component. It will be ejected. Therefore, as described above, in a normal state other than the dust removing operation, it is possible to prevent a state in which the gas ejected from the air outlet is diffused into the bonding apparatus and causes the dust to rise.
In addition, the supply form of the electronic component in the electronic component supply apparatus is generally a supply form by transferring the component holding member holding the electronic component as described above, but is not limited to the transfer operation. Absent. For example, as described above, when the configuration for moving the electronic component cleaning apparatus is employed, an operation other than the above-described conveyance, for example, a supply form in which the electronic component is simply held can be employed.
上記部品保持部材は、つば部を有するのが好ましい。該つば部は、部品保持部材の周辺に設けられる部材であって、上記シャッターが上記送風位置に配置され上記吹出口から噴出し上記電子部品に当たった気体の放散を防止し上記吸引口による上記気体の吸引を容易にする部材である。電子部品以外の不要な場所への気体の放散を防止する観点から、つば部は、部品保持部材と一体的に成形されているのが好ましいが、部品保持部材と別体にて、一つ若しくは複数にて設けることもできる。
つば部を設けることで、シャッターが送風位置に配置され吹出口を覆っていない状態であっても、吹出口から噴出し電子部品に当たった気体が当該ボンディング装置内に放散することを防止でき、さらに吸引口による上記気体の吸引を容易にすることができる。よって、上記放散による塵埃の舞い上がりを防止することができ、電子部品と回路部材とをボンディングする際における塵埃に起因する不具合の発生を低減、防止することができる。
The component holding member preferably has a collar portion. The collar portion is a member provided around the component holding member, and the shutter is disposed at the blowing position to prevent the gas blown out from the blowout port and hitting the electronic component and the suction port to It is a member that facilitates gas suction. From the viewpoint of preventing gas from being diffused to an unnecessary place other than the electronic component, the collar portion is preferably formed integrally with the component holding member. A plurality of them can be provided.
By providing the collar portion, even when the shutter is disposed at the air blowing position and does not cover the air outlet, it is possible to prevent the gas blown out from the air outlet and hitting the electronic components from being diffused into the bonding apparatus. Furthermore, the gas can be easily sucked by the suction port. Therefore, it is possible to prevent the dust from rising due to the above-mentioned diffusion, and it is possible to reduce and prevent the occurrence of problems caused by dust when bonding the electronic component and the circuit member.
部品保持部材がつば部を有する構成において、部品保持部材と電子部品洗浄装置とが対向するときとは、部品保持部材の周辺に設けられるつば部の一端が電子部品洗浄装置に対向し始めるときから、電子部品を保持した部品保持部材が電子部品洗浄装置の上方を通過し、さらにつば部の他端が電子部品洗浄装置から外れるまでの期間となる。 In the configuration in which the component holding member has a collar portion, when the component holding member and the electronic component cleaning device face each other, the end of the collar portion provided around the component holding member starts to face the electronic component cleaning device. This is a period until the component holding member holding the electronic component passes above the electronic component cleaning device and the other end of the collar portion is detached from the electronic component cleaning device.
又、上記吸引口を中央に、その両側に上記吹出口を配置し、それぞれの吹出口は上記吸引口の上方に向かい斜めに上記気体を噴出するように構成してもよい。該構成によれば、電子部品に向けて2カ所から気体を当てることができ、さらに気体が当たっている電子部品の下方に吸引口が位置することから、上記気体及び除去された塵埃を効果的に吸引することができる。ひいては、当該ボンディング装置内における塵埃の舞い上がりを防止することができ、電子部品と回路部材とをボンディングする際における塵埃に起因する不具合の発生を低減、防止することができる。 Further, the suction port may be arranged in the center, and the air outlets may be arranged on both sides thereof, and each of the air outlets may be configured to eject the gas obliquely toward the upper side of the suction port. According to this configuration, gas can be applied from two locations toward the electronic component, and the suction port is located below the electronic component that is in contact with the gas, so that the gas and the removed dust are effectively removed. Can be aspirated. As a result, it is possible to prevent the dust from rising in the bonding apparatus, and it is possible to reduce and prevent the occurrence of problems caused by dust when bonding electronic components and circuit members.
さらに、電子部品がボンディングされる前に上記回路部材に気体を吹き付けて当該回路部材の塵埃除去を行う部材洗浄装置を備えることもできる。該部材洗浄装置に備わる遮蔽部材は、吹出口及び吸引口を覆い吹出口から噴出する気体の放散を防止するとともに上記気体の上記吸引口への吸引を容易にする。よって、当該ボンディング装置内における塵埃の舞い上がりを防止することができ、電子部品と回路部材とをボンディングする際における塵埃に起因する不具合の発生を低減、防止することができる。 Furthermore, it is possible to provide a member cleaning device that removes dust from the circuit member by blowing gas onto the circuit member before the electronic component is bonded. The shielding member provided in the member cleaning device covers the air outlet and the suction port, prevents the gas ejected from the air outlet, and facilitates the suction of the gas into the suction port. Therefore, it is possible to prevent the dust from rising in the bonding apparatus, and it is possible to reduce and prevent the occurrence of problems caused by dust when bonding the electronic component and the circuit member.
又、本発明の第3態様のボンディング方法は、部品保持部材にて電子部品を保持した後、保持されている上記電子部品に対して電子部品洗浄装置から気体を吹き付けて当該電子部品の塵埃除去を行った後、当該電子部品を回路部材にボンディングするボンディング方法において、
上記電子部品洗浄装置は連続的に上記気体の噴出を行い、塵埃除去以外の通常状態ではシャッターを閉じて当該電子部品洗浄装置外への上記気体の噴出を抑え、上記部品保持部材及び上記電子部品への上記気体の吹き付けが可能な状態のときのみ、上記シャッターを開けて上記気体の吹き付けを行い上記塵埃除去を行うことを特徴とする。
In the bonding method according to the third aspect of the present invention, after the electronic component is held by the component holding member, dust is removed from the electronic component by blowing gas from the electronic component cleaning device to the held electronic component. In the bonding method for bonding the electronic component to the circuit member after performing
The electronic component cleaning device continuously ejects the gas, and in a normal state other than dust removal, the shutter is closed to suppress the ejection of the gas to the outside of the electronic component cleaning device, and the component holding member and the electronic component The dust is removed only by opening the shutter and spraying the gas only when the gas can be sprayed on.
又、本発明の第4態様の電子部品洗浄装置は、電子部品と回路部材とをボンディングするボンディング装置に備わり、上記電子部品及び上記回路部材の少なくとも一方に対して気体を吹き付けて塵埃の除去を行う洗浄装置であって、
上記気体を連続的に噴出する吹出口と、
上記気体及び上記塵埃を吸引する吸引口と、
塵埃除去以外の通常状態において上記吹出口及び上記吸引口を覆い上記吹出口から噴出する上記気体の放散を防止するとともに上記気体の上記吸引口への吸引を容易にする遮蔽部材と、
を備えたことを特徴とする。
An electronic component cleaning apparatus according to a fourth aspect of the present invention is provided in a bonding apparatus for bonding an electronic component and a circuit member, and removes dust by blowing gas to at least one of the electronic component and the circuit member. A cleaning device to perform,
A blowout port for continuously ejecting the gas;
A suction port for sucking the gas and the dust;
A shielding member that covers the air outlet and the suction port in a normal state other than dust removal and prevents the gas from being ejected from the air outlet and facilitating the suction of the gas to the suction port;
It is provided with.
上述の第1態様及び第2態様のボンディング装置、並びに第3態様のボンディング方法によれば、洗浄装置には、吹出口から噴出する気体が当該ボンディング装置内に放散されるのを防止する、遮蔽部材、シャッター等の部材を設けた。よって、吹出口及び吸引口を覆い吹出口から噴出する気体の放散を防止するとともに上記気体の上記吸引口への吸引を容易にすることができる。したがって、当該ボンディング装置内における塵埃の舞い上がりを防止することができ、電子部品と回路部材とをボンディングする際における塵埃に起因する不具合の発生を低減、防止することができる。 According to the bonding apparatus of the first aspect and the second aspect described above and the bonding method of the third aspect, the cleaning apparatus prevents the gas ejected from the air outlet from being diffused into the bonding apparatus. Members such as members and shutters were provided. Therefore, it is possible to cover the air outlet and the suction port and prevent the gas ejected from the air outlet from being diffused and facilitate the suction of the gas to the suction port. Therefore, it is possible to prevent the dust from rising in the bonding apparatus, and it is possible to reduce or prevent the occurrence of problems caused by dust when bonding the electronic component and the circuit member.
又、上述の第4態様の洗浄装置によれば、吹出口は連続的に気体を噴出するが、遮蔽部材を設けたことで、吹出口から噴出する気体が放散するのを防止することができる。 Moreover, according to the washing | cleaning apparatus of the above-mentioned 4th aspect, although a blower outlet spouts gas continuously, it can prevent that the gas spouted from a blower outlet diffuses by providing the shielding member. .
本発明の実施形態であるボンディング装置、該ボンディング装置にて実行されるボンディング方法、及び上記ボンディング装置に備わる洗浄装置について、図を参照しながら以下に説明する。尚、各図において同じ構成部分については同じ符号を付している。 A bonding apparatus which is an embodiment of the present invention, a bonding method executed by the bonding apparatus, and a cleaning apparatus provided in the bonding apparatus will be described below with reference to the drawings. In addition, the same code | symbol is attached | subjected about the same component in each figure.
図11に示すように、本実施形態のボンディング装置101の全体構成は、一つの筐体110内に、回路部材供給部120と、部品供給部130と、ボンディング部140と、搬出部150と、ペースト塗布部160と、部材洗浄装置210と、電子部品洗浄装置220とが収納されかつ配置されている。尚、部材洗浄装置210及び電子部品洗浄装置220を総称して洗浄装置と呼ぶ場合もある。又、変形例として、少なくとも、部品供給部130、ボンディング部140、及び電子部品洗浄装置220を備えてボンディング装置を構成することもでき、又、少なくとも、回路部材供給部120、ボンディング部140、及び部材洗浄装置210を備えてボンディング装置を構成することもできる。
又、筐体110内は、外部に比べて清浄な環境であり、いわゆるクリーンルームのような状態である。
このようなボンディング装置101は、ボンディング部140において、図12に示すように、回路部材121に形成された回路1211部分と電子部品122とをボンディングして、図13に示す電子素子123を作製する装置である。
As shown in FIG. 11, the overall configuration of the
Further, the inside of the
In such a
上記回路部材供給部120は、当該ボンディング装置101に搬入されてくる回路部材121を上記ボンディング部140へ供給する回路部材供給装置125を備える。本実施形態では、回路部材供給装置125は、回路部材121を搬送することにより回路部材121の供給を行う装置であり、又、回路部材121の搬送動作は、複数の回路部材121を載置したパレットを搬送することで行われる。尚、回路部材供給装置125は、部材洗浄装置210と協働することから、後述の部材洗浄装置210の説明と共に詳しく説明する。
The circuit
上記部品供給部130は、当該ボンディング装置101に搬入されてくる電子部品122を上記ボンディング部140へ供給する電子部品供給装置135を備える。尚、本実施形態では、電子部品供給装置135は、電子部品122の搬送により電子部品122の供給を行う装置である。尚、電子部品供給装置135は、電子部品洗浄装置220の構造及び動作に関連することから、後述の電子部品洗浄装置220の説明と共に詳しく説明する。
The
上記ボンディング部140は、図1及び図12に示すように、回路部材供給部120により供給された、複数の回路部材121を載置した上記パレットを載置し各回路部材121を支持する回路部材支持部141と、部品供給部130にて供給された電子部品122を保持しかつボンディング動作を行うボンディング用ヘッド142とを備える。
尚、図12に示すように電子部品122の電極部分に形成されているバンプ1221には接着ペーストが塗布されており、当該ボンディング装置101におけるボンディング動作は、接着ペースト付きの電子部品122を、回路部材支持部141に支持されている回路部材121の規定位置に載置する動作であり、よって、電子部品122と回路部材121とを固定する動作ではない。又、図12に示すように、回路部材支持部141は、回路部材121を単に支持しているだけであり、例えば吸着動作等により積極的に回路部材121を保持していない。
As shown in FIGS. 1 and 12, the
Note that, as shown in FIG. 12, an adhesive paste is applied to the
上記ペースト塗布部160は、上記接着ペーストをバンプ1221に塗布するための装置であり、ボンディング部140に隣接して設置されている。尚、接着ペーストは、導電性物質、例えば銀粒子等を含んだ導電性樹脂材にてなる。
上記搬出部150は、ボンディング部140にて回路部材121に電子部品122が載置された電子素子123を当該ボンディング装置101から次工程へ搬出する搬出装置を有する。
The
The carry-out
尚、回路部材121及び電子部品122の種類は、特に限定されないが、本実施形態では、電子素子123は、例えば携帯電話等に使用される撮像素子に相当し、電子部品122は、CCD(電荷結合素子)に相当する。又、回路部材121の大きさの一例としては、一辺が約10mmのほぼ正方形状であり、約1〜2mm程度の厚みを有する。よって、電子部品122としてのCCDは、回路部材121よりも遙かに小さいサイズにてなる。よって、非常に微細な大きさの塵埃も、電子部品122と回路部材121とのボンディングに悪影響を与えることになる。
The types of the
上記部材洗浄装置210及び上記電子部品洗浄装置220は、当該ボンディング装置101において特徴的な構成部分であり、洗浄装置の機能を果たす例に相当する装置である。部材洗浄装置210は、回路部材供給部120とボンディング部140との境界部分に設けられ、回路部材供給装置125にて回路部材供給部120からボンディング部140へ供給される回路部材121の洗浄を行う装置である。電子部品洗浄装置220は、部品供給部130とボンディング部140との境界部分に設けられ、電子部品供給装置135にて部品供給部130からボンディング部140へ搬送される電子部品122の洗浄を行う装置である。それぞれについて、以下でさらに詳しく説明する。
The
電子部品洗浄装置220について説明するが、電子部品洗浄装置220と構造及び動作上で関係する電子部品供給装置135について、図1及び図2を参照してまず説明する。
電子部品供給装置135は、部品供給部130からボンディング部140に向かって部品搬送方向1351に沿って電子部品122を搬送する装置であり、図1及び図11に示すように、本実施形態では、当該電子部品供給装置135にて搬送される電子部品122が電子部品洗浄装置220の上方を通過するように配置される。
電子部品供給装置135は、電子部品122を例えば吸着動作にて保持する部品保持部材136と、該部品保持部材136を、部品供給部130からボンディング部140へ向かって部品搬送方向1351に沿って移動させる移動機構137とを有する。該移動機構137は、一例として約200mm/秒の速度にて部品保持部材136を部品搬送方向1351へ移動させることができる。又、部品保持部材136は、ノズル形状にてなり電子部品122を吸着する部分である本体部1361と、該本体部1361を中心として当該本体部1361の周辺に設けられるつば部1362とを有する。つば部1362は、後述する電子部品洗浄装置220に備わるシャッターが送風位置に配置されたとき、電子部品洗浄装置220の送風部221により噴出する気体が当該ボンディング装置101内へ放散するのを防止し、電子部品洗浄装置220の吸引部222による上記気体の吸引を容易にする部材である。つば部1362の一実施形態として、図1に示すように、部品搬送方向1351に延在する長方形の板材であり、本実施形態では、本体部1361と一体的に形成されている。又、本体部1361は、つば部1362の中央に位置する。
The electronic
The electronic
The electronic
上述した、気体の放散を防止し吸引を容易にするという、つば部1362の機能を達成するため、つば部1362は次のような大きさを有する。つまり、部品搬送方向1351に平面上で直交する直交方向1352における、つば部1362の幅寸法A1は、部品洗浄装置220の送風部221の気体吹出口2211、及び吸引部222の吸引口2221の上記直交方向1352における長さA2と同一若しくはそれ以上とし、部品搬送方向1351におけるつば部1362の全長の半分の長さA3は、部品搬送方向1351における気体吹出口2211の配置距離A4と同一若しくはそれ以上としている。尚、つば部1362の幅寸法A1及び長さA3の最大寸法は、上記長さA2、A4のそれぞれ約1.1〜1.3倍程度である。
In order to achieve the above-described function of the
次に、電子部品洗浄装置220は、送風部221と、吸引部222と、シャッター部223とを有し、電子部品供給装置135にて供給される電子部品122に対して、送風部221により気体を吹き付けて電子部品の塵埃除去を行い、該塵埃及び噴出した気体を吸引部222にて吸引する装置である。
送風部221は、上記気体を連続的に噴出する部分であり、上記気体吹出口2211、及び該気体吹出口2211に接続される送風装置2212を有する。送風装置2212は、フィルター等を通した清浄な空気、又は窒素ガス等の不活性ガス等を送出する装置であり、ボンディング装置101の制御装置180にて動作制御される。気体吹出口2211は、電子部品洗浄装置220を構成する筐体224の上面2241にて、部品搬送方向1351に直交する直交方向1352に沿って互いに平行に設けた一対の開口であり、各気体吹出口2211は、上記直交方向1352に沿って上述の長さA2にて延在する細長い開口である。各気体吹出口2211は同じ風量の気体を噴出する。上記長さA2は、被洗浄物である電子部品122の大きさに対応して設定されるが、本実施形態では、一例として約25〜30mmである。又、各気体吹出口2211の部品搬送方向1351に沿った幅寸法は、本実施形態では約1〜2mmである。又、2つの気体吹出口2211を設けたことで複雑な気流が発生しないように、又、電子部品122に対して効果的に気体が噴射されるように、本実施形態では、図2に示すように、上面2241の上方を通過する電子部品122が部品搬送方向1351において上面2241の中央部分に到達したときに、該電子部品122に向かって気体が噴射されるように、各気体吹出口2211は、互いに向き合うようにして傾斜して形成されている。上記傾斜の角度としては、例えば約4.5〜10度程度である。又、送風装置2212は、筐体224内に設けても良いし、外部に設置しても良い。
Next, the electronic
The
吸引部222は、各気体吹出口2211から噴出した気体、及び塵埃、特に上記気体により電子部品122から除去された塵埃を連続的に吸引する部分であり、上記吸引口2221、及び該吸引口2221に接続され制御装置180にて動作制御される吸引装置2222を有する。吸引口2221は、部品搬送方向1351において両気体吹出口2211の中間位置に、気体吹出口2211と平行で、かつ上記直交方向1352に位置ズレすることなく設けた一つの開口であり、上記直交方向1352に沿って上述の長さA2にて延在する開口である。又、吸引口2221の部品搬送方向1351に沿った幅寸法は、本実施形態では一例として約10〜15mm程度であり、気体吹出口2211に比べて非常に大きく設定している。よって、吸引部222は、送風部221が送出する気体量以上の容量の気体を吸引可能である。吸引装置2222は、筐体224内に設けても良いし、外部に設置しても良い。
気体吹出口2211及び吸引口2221の、上記直交方向1352における中央部分の上方を部品保持部材136に保持された電子部品122が通過する。尚、一実施例として、筐体224における上面2241と、電子部品122との、図2に示す、隙間B1は、約2.5〜約3.5mm程度である。
The
The
上述のように、送風部221及び吸引部222は、連続して気体の送風及び吸引を行うことから、例えば、エアー噴射用の配管にオン、オフ用の弁を設ける構成に起因して装置が長大化するという問題や、エアー噴射用の送風機をオン、オフ動作させることに起因して、所定の風量、風圧が得られる安定状態に達するまでに時間を要するという問題は、生じない。
As described above, since the
シャッター部223は、図1及び図2に示すように、遮蔽部材の機能を果たす一例としてのシャッター材2231と、該シャッター材2231を駆動するシャッター駆動装置2232とを有する。シャッター材2231は、電子部品洗浄装置220の筐体224における上面2241に対して、図2に示す僅かな隙間B2を介して、送風遮断位置2233と送風位置2234との間を、シャッター駆動装置2232にて直交方向1352に沿ってスライド可能な板材である。送風遮断位置2233では、シャッター材2231は、各気体吹出口2211及び吸引口2221を覆い、送風部221にて連続的に噴出される気体が当該ボンディング装置101内に放散されるのを防止しかつ上記噴出される気体を吸引部222にて容易に吸引可能とする。送風位置2234は、各気体吹出口2211及び吸引口2221から外れた位置であり、シャッター材2231が該送風位置2234に配置されたときには、シャッター材2231は、電子部品122への送風を可能とする。
尚、一実施例として、シャッター材2231は厚さ約1mmの板材であり、上記隙間B2は、約1mmである。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
As an example, the
このように構成されるシャッター部223は、送風部221にて連続的に噴出される気体が不必要に当該ボンディング装置101内へ放散されないように、つまり電子部品供給装置135にて電子部品122が電子部品洗浄装置220の上方に位置し気体の噴出による電子部品122の洗浄が必要なときのみ当該電子部品122へ上記気体が噴射されるように、シャッター制御装置にて動作制御される。本実施形態では、上記シャッター制御装置は、当該ボンディング装置101の動作制御を行う制御装置180がその機能を有する。
The
制御装置180によるシャッター部223の動作制御、及び電子部品洗浄装置220による電子部品122の洗浄方法について、さらに図3を参照して説明する。尚、制御装置180は、電子部品供給装置135の移動機構137の動作制御を行うことから、部品保持部材136の位置を把握している。
上述したように、部品供給部130において電子部品供給装置135の部品保持部材136にて保持された、本実施形態では吸着動作にて保持された電子部品122が、部品供給部130からボンディング部140へ電子部品供給装置135にて部品搬送方向1351へ搬送される途中にて、気体吹出口2211及び吸引口2221の、直交方向1352における中央部分の上方を通過する。尚、本実施形態では、電子部品122は、停止することなく連続的に、電子部品洗浄装置220の上方を搬送される。
The operation control of the
As described above, the
図3の(a)は、部品保持部材136に吸着された電子部品122が未だ電子部品洗浄装置220の上方に到達していない状態を示している。該状態では、シャッター材2231は、送風遮断位置2233に配置される。上述したように吸引部222の気体吸引能力は、送風部221の気体送風能力を超えることから、一対の気体吹出口2211から噴出した気体の全ては、シャッター材2231にて進行が遮られかつ吸引口2221から吸引される。さらに、余剰の吸引能力により、上記隙間B2を通して、当該ボンディング装置101内の気体さらには塵埃も吸引部222にて吸引可能である。
FIG. 3A shows a state in which the
図3の(b)は、図3の(a)の状態からさらに電子部品122が部品搬送方向1351に移送され、つば部1362の前半分が一対の気体吹出口2211及び吸引口2221を覆い始めたカバー開始位置1363につば部1362が到達した状態を示している。該状態では、一対の気体吹出口2211及び吸引口2221の上方には、つば部1362が配置されており、かつ上述のように、つば部1362の幅寸法A1は、一対の気体吹出口2211及び吸引口2221の長さA2以上にて構成していることから、シャッター材2231が存在しなくても、一対の気体吹出口2211から噴出した気体の全ては、つば部1362にて進行が遮られかつ吸引口2221にて吸引可能である。よって、噴出される気体をシャッター材2231にて遮る必要はなくなり、シャッター材2231は、シャッター駆動装置2232にて、送風遮断位置2233から送風位置2234へ移動され、電子部品122の洗浄動作にそなえる。
3B, the
図3の(c)は、図3の(b)の状態からさらに電子部品122が部品搬送方向1351に移送され、電子部品122が吸引口2221の直上に位置している状態を示している。シャッター材2231は、送風位置2234に配置された状態を維持しており、一対の気体吹出口2211から噴出した気体は、電子部品122に当たり、吸引口2221へ吸引される。このとき、電子部品122に塵埃が付着しているときには、上記噴出気体にて塵埃が除去され、吸引口2221へ吸引される。又、当該ボンディング装置101内を浮遊している塵埃も吸引口2221へ吸引される場合もある。
このような塵埃除去動作のときでも、上述したような幅寸法A1を有するつば部1362を設けていることから、電子部品122に向かって噴出された気体が不必要に当該ボンディング装置101内へ放散されるのを防止することができる。
FIG. 3C shows a state in which the
Even in such a dust removing operation, since the
図3の(d)は、図3の(c)の状態からさらに電子部品122が部品搬送方向1351に移送され、つば部1362の後半分が一対の気体吹出口2211及び吸引口2221を覆い終わるカバー終了位置1364につば部1362が到達した状態を示している。該状態においても、一対の気体吹出口2211及び吸引口2221の上方には、未だ、つば部1362が存在することから、シャッター材2231は、送風位置2234に配置されている。
電子部品122の上記搬送に伴い、つば部1362が上記カバー終了位置1364を通過すると同時に、シャッター材2231は、シャッター駆動装置2232にて、送風位置2234から送風遮断位置2233へ移動される。このように、シャッター材2231は、つば部1362がカバー開始位置1363からカバー終了位置1364まで配置されている間、送風位置2234に配置され、このような塵埃除去動作以外の通常状態では、送風遮断位置2233に配置される。
3D, the
As the
図3の(e)は、つば部1362が上記カバー終了位置1364を通過した後、さらに電子部品122が部品搬送方向1351に移送され、つば部1362が電子部品洗浄装置220の上方から外れる直前の状態を示している。シャッター材2231は、送風遮断位置2233に配置された状態を維持している。よって図3の(a)の状態と同様に、一対の気体吹出口2211から噴出した気体の全ては、シャッター材2231にて進行が遮られかつ吸引口2221から吸引され、さらに、余剰の吸引能力により、上記隙間B2を通して、当該ボンディング装置101内の気体さらには塵埃も吸引部222にて吸引可能である。
FIG. 3E shows that after the
上述した、制御装置180によるシャッター部223の動作制御によれば、送風部221により連続的に噴出される気体により電子部品122の洗浄が必要なときのみ当該電子部品122へ上記気体が噴射され、さらに電子部品122へ上記気体が噴射されている状態においても、つば部1362により上記気体が当該ボンディング装置101内へ放散されるのが防止される。よって、送風部221により連続的に噴出される気体が不必要に当該ボンディング装置101内へ放散されることはない。従って、送風部221にて噴射される気体により当該ボンディング装置101内の気流が乱され、塵埃を舞い上がらせる恐れはなく、電子部品122と回路部材121との間に塵埃が介在することに起因して、両者の接合状態が不完全となり電気的接続が不十分となったり、両者間で位置ズレが生じたりするという、不具合の発生を防止できる。
According to the operation control of the
尚、つば部1362の形状は、図1に示す形状に限定するものではなく、上述したような、送風位置2234にシャッター材2231が配置されている状態において気体吹出口2211から噴出した気体の放散を防止し吸引部222により当該気体の吸引を容易にするという、つば部1362の機能を果たす限り、当業者が容易想到な形状を採ることができる。又、部品保持部材136の本数も1本に限定するものではない。
例えば、上述した実施形態では、電子部品122を保持した状態で部品保持部材136は、その軸周り方向には回転しない構成を例に採っているが、実際には部品保持部材136をその軸周り方向に回転させる構成を採る場合もある。このような場合、図4に示すように、つば部と部品保持部材136とを分離した構成を有するつば部1365を設けることもできる。該つば部1365では、電子部品122を保持している部品保持部材136が上記回転可能なように、開口1366を形成し該開口1366内の領域にて電子部品122を回転自在とした。又、図4に示す構成では、部品保持部材136が2本の場合を示している。尚、複数本の部品保持部材136を設ける伴い、つば部1362の上記幅寸法A1に対応するつば部1365の幅寸法は、当然に大きくなり、又、気体吹出口2211及び吸引口2221における長さA2も大きくなる。但し、上述した、幅寸法A1と長さA2との大小関係は変わらない。
さらに、つば部1365の変形例として、図5に示すように、つば部を2分割しつば部1365−1、1365−2を有する構成を採ることもできる。
The shape of the
For example, in the above-described embodiment, the
Furthermore, as a modification of the
又、電子部品洗浄装置220について以下のような変形例を構成することもできる。即ち、上述の実施形態では、一枚のシャッター材2231を設けた構成であるが、図6及び図7に示すように、電子部品洗浄装置220の筐体224に固定された固定シャッター材2235と、該固定シャッター材2235に対して直交方向1352に沿って可動な、上記シャッター材2231に相当する移動シャッター材2236とを有する構成を採ることもできる。尚、該変形例では、気体吹出口2211及び吸引口2221における長さA2は、電子部品供給装置135における部品保持部材136のつば部1362の上記幅寸法A1と関連づける必要はなくなり、下記の開口2235aにおける直交方向1352に沿う寸法C1を超える長さを有すればよい。電子部品洗浄装置220におけるその他の構成部分について、変更はない。
Moreover, the following modifications can also be configured for the electronic
固定シャッター材2235及び移動シャッター材2236には、ともに、部品搬送方向1351に沿って細長い開口2235a、開口2236aが形成されている。該変形例では、開口2235a及び開口2236aは同一サイズにてなり、直交方向1352に沿う寸法C1は、気体吹出口2211及び吸引口2221における長さA2に対応する大きさである。よって、寸法C1は、電子部品122の大きさに対応して設定され、又、上述のように、つば部1362の幅寸法A1未満の大きさである。又、固定シャッター材2235の開口2235aは、部品搬送方向1351に沿って搬送される電子部品122の経路の直下に位置決めされる。
移動シャッター材2236は、開口2236aを有し、電子部品122の塵埃除去動作以外の通常状態では、固定シャッター材2235の開口2235aを覆う非開口形成部分を有する。
開口2235a及び開口2236aにおいて、移動シャッター材2236の移動により、開口2235aに対して開口2236aが重なったときには、電子部品122に対して送風部221及び吸引部222による気体の送風及び吸引が可能となり、開口2235a及び開口2236aが重なっていない状態では、送風部221及び吸引部222は連続して送気及び吸気を行っているが電子部品122に対する気体の送風及び吸引は遮られる。
具体的に説明すると、上記カバー開始位置1363につば部1362が到達したときから、上記カバー終了位置1364につば部1362が到達するまで、つまり塵埃除去動作時には、移動シャッター材2236の開口2236aを固定シャッター材2235の開口2235aに重ならせ、つば部1362がそれ以外に位置する通常状態のときには、開口2235a及び開口2236aが重なっていない状態とする。
Both the fixed
The moving
When the
More specifically, the
上記変形例によれば、電子部品洗浄装置220における上述した効果を奏することができるとともに、さらに以下の効果を奏する。即ち、電子部品洗浄装置220の場合、電子部品122の大きさに応じて、気体吹出口2211及び吸引口2221における長さA2を変更する必要がある。一方、上記変形例では、移動シャッター材2236における開口2236aの寸法C1を、洗浄を要する電子部品122の最大サイズ以上の寸法に設定しておけば、最低限、開口2235aの寸法C1を変更した固定シャッター材2235を交換するだけで良い。よって、設備変更を容易に行うことができる。
According to the modified example, the above-described effects in the electronic
さらに又、部品搬送方向1351に沿って搬送される電子部品122が電子部品洗浄装置220に差し掛かる前の場所であって、電子部品洗浄装置220に隣接した場所に、図1に示すように、イオナイザー290を設置してもよい。該イオナイザー290は、部品保持部材136に保持されている電子部品122における帯電を除去するものである。イオナイザー290を設けることで、電子部品122の帯電が除去され、静電気により電子部品122に付着している塵埃を除去したり、又は除去可能な状態としたりすることができる。よって、電子部品洗浄装置220による、より効果的な洗浄動作を実行可能とする。
尚、イオナイザー290は、電子部品洗浄装置220の筐体224内に組み込んで構成してもよく、本実施形態の上述の設置場所に限定するものではない。
Furthermore, as shown in FIG. 1, the
The
次に、上記部材洗浄装置210について説明するが、当該部材洗浄装置210による回路部材121の洗浄動作において協働する回路部材供給装置125についてまず簡単に説明する。
本実施形態では、図8に示すように、回路部材121は、例えば100×130mm程度の大きさにてなる板状のパレット1251上に格子状に配列され載置された状態で、パレット1251ごと、回路部材供給装置125により、回路部材供給部120からボンディング部140へ搬送される。回路部材供給装置125は、図8及び図10に示すように、上記パレット1251を載置し移送する移送部材1254と、該移送部材1254を回路部材搬送方向1252へ移動させる移動装置1255と、移送部材1254を上下方向に昇降させる昇降装置1256とを有する。ここで、移動装置1255及び昇降装置1256は、制御装置180にて動作制御される。又、部材洗浄装置210による回路部材121の洗浄動作のときには、図8に示すように、回路部材121を載置したパレット1251は、昇降装置1256にて下記の遮蔽部材2131に押圧された状態で、移動装置1255にて遮蔽部材2131とともに回路部材搬送方向1252へ搬送される。
Next, the
In the present embodiment, as shown in FIG. 8, the
部材洗浄装置210は、図8に示すように、電子部品洗浄装置220と同様に、送風部211と、吸引部212と、部材移動部213を有し、部材移動部213に備わる遮蔽部材2131に形成された洗浄用開口2133を通して上記パレット1251上の回路部材121に対して気体を吹き付けかつ該気体を吸引し、上記回路部材121の洗浄を行う装置である。
As shown in FIG. 8, the
送風部211は、上記気体を連続的に噴出する部分であり、気体吹出口2111、及び該気体吹出口2111に接続される送風装置2112を有する。送風装置2112は、フィルター等を通した清浄な空気、又は窒素ガス等の不活性ガス等を送出する装置であり、ボンディング装置101の制御装置180にて動作制御される。気体吹出口2111は、部材洗浄装置210の筐体214における面2141にて、回路部材搬送方向1252に直交する直交方向1253に沿って互いに平行に設けた一対の開口であり、図9に示すように、各気体吹出口2111は、上記直交方向1253に沿って長さA5にて延在する細長い開口である。各気体吹出口2111からは同じ風量にて気体が噴出される。上記長さA5は、上記部材移動部213を構成する遮蔽部材2131の、上記直交方向1253に沿う幅寸法A6未満で、かつ後述の洗浄用開口2133が形成された領域の直交方向1253における範囲A7以上の大きさに設定される。又、各気体吹出口2111の回路部材搬送方向1252に沿った幅寸法は、本実施形態では約1〜2mmである。又、2つの気体吹出口2111を設けたことで複雑な気流が発生しないように、又、回路部材121に対して効果的に気体が噴射されるように、本実施形態では、図8に示すように、各気体吹出口2111は、互いに向き合うようにして傾斜して形成されている。尚、本実施形態では、図8に示すようにパレット1251に載置された回路部材121の搬送形態に伴い、気体吹出口2111からは下向きに気体を噴出する形態を採ることから、部材洗浄装置210は、上述した電子部品洗浄装置220の設置形態とは上下反転した設置形態となる。よって、電子部品洗浄装置220の設置形態は、回路部材121の搬送形態に応じて設定される。又、送風装置2112は、筐体214内に設けても良いし、外部に設置しても良い。
The
吸引部212は、各気体吹出口2111から噴出した気体、及び塵埃、特に上記気体により回路部材121から除去された塵埃を連続的に吸引する部分であり、吸引口2121、及び該吸引口2121に接続され制御装置180にて動作制御される吸引装置2122を有する。吸引口2121は、回路部材搬送方向1252において両気体吹出口2111の中間位置に、気体吹出口2111と平行で、かつ上記直交方向1253に位置ズレすることなく設けた一つの開口であり、上記直交方向1253に沿って上述の長さA5にて延在する開口である。又、吸引口2121の回路部材搬送方向1252に沿った幅寸法は、本実施形態では一例として約10〜15mm程度であり、気体吹出口2111に比べて非常に大きく設定している。よって、吸引部212は、送風部211が送出する気体量以上の容量の気体を吸引可能である。吸引装置2122は、筐体214内に設けても良いし、外部に設置しても良い。
The suction part 212 is a part that continuously sucks the gas and dust ejected from each
上述のように、送風部211及び吸引部212は、連続して気体の送風及び吸引を行うことから、例えば、エアー噴射用の配管にオン、オフ用の弁を設ける構成に起因して装置が長大化するという問題や、エアー噴射用の送風機をオン、オフ動作させることに起因して、所定の風量、風圧が得られる安定状態に達するまでに時間を要するという問題は、生じない。
As described above, since the
上記部材移動部213には、遮蔽部材2131と、本実施形態では遮蔽部材2131を回路部材搬送方向1252に沿って移動させる遮蔽部材駆動装置2132とが備わる。遮蔽部材2131は、図9に示すように、回路部材搬送方向1252に沿って細長い板材である。遮蔽部材2131は、一実施例として約150×約300mmのサイズにてなる。又、遮蔽部材2131の、回路部材搬送方向1252における中央部分には、当該遮蔽部材2131を貫通し、かつ上記パレット1251に配置される回路部材121に対応するように例えば格子状に配列された洗浄用開口2133が形成されている。又、遮蔽部材2131は、部材洗浄装置210の筐体214の面2141に対して隙間B3を空けて配置される。隙間B3は、一実施例として約0.5〜約3mm、より好ましくは約1.5〜約2.5mmである。又、図8から図10に示した、洗浄用開口2133及び回路部材121の数は、一例を示したもので、図示の数に限定するものではない。
The
本実施形態では、送風部211及び吸引部212を設けた上記筐体214は、固定されていることから、遮蔽部材駆動装置2132は、遮蔽部材2131を、洗浄開始位置2134と洗浄終了位置2135との間で、回路部材搬送方向1252に沿って往復移動させる。後述するように、遮蔽部材2131は、回路部材供給装置125の上記移送部材1254とともに移動することから、遮蔽部材駆動装置2132は、制御装置180にて、移送部材1254の移動装置1255の動作と同期するように制御される。
又、遮蔽部材2131が洗浄開始位置2134に位置するときには、遮蔽部材2131の一端部2131−1が筐体214の面2141に対向し、一対の気体吹出口2111、及び吸引口2121を覆っている。又、遮蔽部材2131が洗浄終了位置2135に位置するときには、遮蔽部材2131の他端部2131−2が筐体214の面2141に対向し、一対の気体吹出口2111、及び吸引口2121を覆う。このように、遮蔽部材2131は、洗浄開始位置2134と洗浄終了位置2135との間で往復移動するとき、常に、面2141に対向して気体吹出口2111及び吸引口2121を覆っている。
尚、本実施形態では上述のように上記筐体214を固定し、遮蔽部材2131を移動させたが、これに限定されるものではない。
In the present embodiment, since the
When the shielding
In the present embodiment, the
制御装置180による、回路部材供給装置125の移送部材1254の動作制御、及び部材洗浄装置210による回路部材121の洗浄方法について、さらに図10を参照して説明する。
上述したように、パレット1251に載置された回路部材121は、回路部材供給部120からボンディング部140へ回路部材供給装置125にて回路部材搬送方向1252へ搬送されながら、部材洗浄装置210にて洗浄される。尚、本実施形態では、回路部材121は、洗浄時に停止することなく連続的に搬送されていく。
The operation control of the
As described above, the
まず、図10の(a)に示すように、回路部材供給装置125の移送部材1254に、回路部材121を載置したパレット1251を、回路部材供給装置125に備わる他の移送装置にて載置するため、部材洗浄装置210の遮蔽部材駆動装置2132により、遮蔽部材2131を洗浄終了位置2135に配置する。これにより、移送部材1254の上方には障害物がなくなり、移送部材1254へのパレット1251の載置が可能となる。そして、図10の(b)に示すように、上記他の移送装置にてパレット1251が移送部材1254に載置される。
First, as shown in FIG. 10A, the
次に、図10の(c)に示すように、遮蔽部材駆動装置2132により遮蔽部材2131を洗浄開始位置2134に配置し、該配置後、回路部材供給装置125の昇降装置1256により、移送部材1254上のパレット1251が遮蔽部材2131に接触するまで上昇させる。パレット1251と遮蔽部材2131とが接触したとき、回路部材121は、遮蔽部材2131の洗浄用開口2133に対応する。
Next, as shown in FIG. 10C, the shielding
次に、遮蔽部材駆動装置2132及び移動装置1255が互いに同期して作動し、図10の(d)に示すように、移送部材1254上のパレット1251と遮蔽部材2131とが接触した状態を維持しながら、同時に、回路部材搬送方向1252へ、遮蔽部材2131が洗浄開始位置2134から洗浄終了位置2135へ向かって移動される。該移動中において、部材洗浄装置210の気体吹出口2111から噴出する気体は、遮蔽部材2131の洗浄用開口2133を介してパレット1251上の回路部材121に当たり、回路部材121に塵埃が付着しているときには該塵埃を除去する。これと同時に、噴出した気体及び塵埃は、部材洗浄装置210の吸引口2121から吸引される。このようにして回路部材121の洗浄が行われる。尚、該洗浄動作の際、遮蔽部材2131は、パレット1251上の回路部材121が上記気体の噴出により例えば飛散してしまうのを防止するように、回路部材121を保護する。
Next, the shielding
上述の洗浄動作後、図10の(e)に示すように、回路部材供給装置125の昇降装置1256により移送部材1254を下降させて、移送部材1254上のパレット1251を遮蔽部材2131から離す。その後、遮蔽部材駆動装置2132により遮蔽部材2131を、洗浄終了位置2135から洗浄開始位置2134へ戻す。該動作により、移送部材1254上のパレット1251の上方には、障害物が無い状態となる。
次に、図10の(f)に示すように、回路部材供給装置125に備わる他の移送装置にて、パレット1251が移送部材1254からボンディング部140へ搬送される。
After the above-described cleaning operation, as shown in FIG. 10E, the
Next, as shown in (f) of FIG. 10, the
以上説明した動作により、回路部材121の洗浄動作が実行される。
又、上述したように、遮蔽部材2131が洗浄開始位置2134から洗浄終了位置2135へ移動するとき、気体吹出口2111及び吸引口2121と遮蔽部材2131とは常時、互いに対向している。さらに、上述したように、遮蔽部材2131の幅寸法A6の方が気体吹出口2111及び吸引口2121の長さA5よりも大きく、さらに、吸引部212の気体吸引能力の方が送風部211の送風能力より大きい。これらのことから、気体吹出口2111から噴出された気体は、全て吸引口2121にて吸引され、当該ボンディング装置101の他の部分へ放散されることはない。よって、送風部211により、常時、気体は気体吹出口2111から噴出されているが、上述の電子部品洗浄装置220の場合と同様に、不必要に当該ボンディング装置101内へ上記気体が放散されることはない。従って、送風部211にて噴射される気体により当該ボンディング装置101内の気流が乱され、塵埃を舞い上がらせる恐れはなく、電子部品122と回路部材121との間に塵埃が介在することに起因して、両者の接合状態が不完全となり電気的接続が不十分となったり、両者間で位置ズレが生じたりするという、不具合の発生を防止できる。
尚、本実施形態では、回路部材121の洗浄動作は、遮蔽部材2131を洗浄開始位置2134から洗浄終了位置2135へ片道移動させるときの1回だけであるが、これに限定するものではなく、予想される回路部材121の塵埃付着程度に応じて、複数回の洗浄動作を行うこともできる。
The cleaning operation of the
Further, as described above, when the shielding
In the present embodiment, the cleaning operation of the
尚、図10に示す動作では、(c)や(f)の動作のように、パレット1251と伴にではなく遮蔽部材2131が単独で移動するとき、部材洗浄装置210からの噴出気体が遮蔽部材2131の開口2133を通して若干装置内に噴射される。該状況を回避するため、例えば、開口2133を塞ぐように、パレット1251を載置していない移送部材1254を配置したり、あるいはパレット1251を載置した移送部材1254を配置して、遮蔽部材2131及び移送部材1254を同時に移動させることもできる。
In the operation shown in FIG. 10, when the shielding
又、図8に示すように、部材洗浄装置210は、上述のイオナイザー290をさらに備えることもできる。尚、該イオナイザー290は、筐体214に内蔵されてもよい。
又、電子部品洗浄装置220及び部材洗浄装置210において、湿気により塵埃が電子部品122及び回路部材121に付着するのを防止するため、各送風部221,211は、温風を送出するように構成してもよい。
又、上述の実施形態では、ボンディング装置101は、電子部品洗浄装置220及び部材洗浄装置210の両方を備えた場合を説明したが、いずれか一方のみを備えることもできる。
In addition, as shown in FIG. 8, the
Further, in the electronic
In the above-described embodiment, the
以上説明したように構成されるボンディング装置101における動作、即ちボンディング方法について、簡単に説明する。尚、当該ボンディング装置101の動作制御は、当該ボンディング装置101に備わり当該ボンディング装置101の動作制御を司る制御装置180にて実行される。
当該ボンディング装置101には、前工程より、回路部材121及び電子部品122が供給される。回路部材121は、上述のように、回路部材供給装置125によりボンディング部140へ搬送されるが、該搬送途中にて、部材洗浄装置210による気体噴射により塵埃除去が行われ、洗浄済みの回路部材121がボンディング部140へ供給される。又、電子部品122は、上述のように、電子部品供給装置135によりボンディング部140へ搬送されるが、該搬送途中にて、電子部品洗浄装置220による気体噴射により塵埃除去が行われ、洗浄済みの電子部品122がボンディング部140へ供給される。
ボンディング部140では、ボンディング用ヘッドにて保持された電子部品122に対して、ペースト塗布装置を利用して接着ペーストを塗布した後、当該電子部品122が上記ボンディング用ヘッドにて回路部材121へボンディングされる。
上記ボンディング動作にて作製された電子素子123は、搬出部150により、ボンディング部140から搬出され、さらに次工程へ搬送される。これにて、一連のボンディング工程は終了する。
An operation in the
The
In the
The
本発明は、回路を形成した部材へ電子部品を載置するボンディング装置に適用可能である。 The present invention is applicable to a bonding apparatus that places electronic components on a member on which a circuit is formed.
101…ボンディング装置、121…回路部材、122…電子部品、
125…回路部材供給装置、135…電子部品供給装置、136…部品保持部材、
140…ボンディング部、180…制御装置、
210…部材洗浄装置、220…電子部品洗浄装置、290…イオナイザー、
1361…本体部、1362…つば部、
2111…気体吹出口、2121…吸引口、2131…シャッター材、
2211…気体吹出口、2221…吸引口、2231…遮蔽部材、
2233…送風遮断位置、2234…送風位置。
101 ... bonding device, 121 ... circuit member, 122 ... electronic component,
125 ... Circuit member supply device, 135 ... Electronic component supply device, 136 ... Component holding member,
140 ... bonding unit, 180 ... control device,
210 ... member cleaning device, 220 ... electronic component cleaning device, 290 ... ionizer,
1361 ... body part, 1362 ... collar part,
2111 ... Gas outlet, 2121 ... Suction port, 2131 ... Shutter material,
2211 ... Gas outlet, 2221 ... Suction port, 2231 ... Shielding member,
2233: Air blow blocking position, 2234: Air blow position.
Claims (10)
上記電子部品と上記回路部材とをボンディングするボンディング部と、
上記ボンディング部へ上記回路部材を供給する回路部材供給装置と、
上記電子部品供給装置にて供給される上記電子部品、及び上記回路部材供給装置にて供給される上記回路部材の少なくとも一方に対して気体を吹き付けて塵埃の除去を行う洗浄装置であって、
上記気体を連続的に噴出する吹出口を有する送風部、
上記気体及び上記塵埃を吸引する吸引口を有する吸引部、並びに、
塵埃除去動作以外の通常状態において上記吹出口及び上記吸引口を覆い上記吹出口から噴出する上記気体の放散を防止するとともに上記気体の上記吸引口への吸引を容易にする遮蔽部材、
を有する洗浄装置と、
を備えたことを特徴とするボンディング装置。 An electronic component supply device having a component holding member and holding the electronic component with the component holding member and supplying the electronic component to the circuit member;
A bonding part for bonding the electronic component and the circuit member;
A circuit member supply device for supplying the circuit member to the bonding unit;
A cleaning device for removing dust by blowing gas to at least one of the electronic component supplied by the electronic component supply device and the circuit member supplied by the circuit member supply device,
A blower unit having a blowout port for continuously ejecting the gas;
A suction part having a suction port for sucking the gas and the dust, and
A shielding member that covers the air outlet and the suction port in a normal state other than the dust removing operation, prevents the gas from being ejected from the air outlet, and facilitates the suction of the gas to the air inlet;
A cleaning device having
A bonding apparatus comprising:
上記電子部品と上記回路部材とをボンディングするボンディング部と、
上記回路部材に上記電子部品がボンディングされる前に上記電子部品供給装置にて供給される上記電子部品に対して気体を吹き付けて当該電子部品の塵埃を除去する電子部品洗浄装置であって、
上記気体を連続的に噴出する吹出口を有する送風部、
上記気体及び上記塵埃を吸引する吸引口を有する吸引部、並びに、
上記吹出口及び上記吸引口を覆う送風遮断位置と、上記吹出口及び上記吸引口から外れた位置であって上記電子部品への送風を可能とする送風位置との間を移動し、上記送風遮断位置では上記吹出口から連続的に噴出される上記気体の放散を防止するとともに上記吸引口への吸引を容易にするシャッター、
を有する電子部品洗浄装置と、
上記送風遮断位置に配置されている上記シャッターを、上記電子部品洗浄装置と上記部品保持部材とが対向したときに上記送風位置へ移動させ、上記送風位置に配置されている上記シャッターを、上記部品保持部材が上記電子部品洗浄装置から外れる直前に上記送風遮断位置へ移動させるシャッター制御装置と、
を有することを特徴とするボンディング装置。 An electronic component supply device having a component holding member and holding the electronic component with the component holding member and supplying the electronic component to the circuit member;
A bonding part for bonding the electronic component and the circuit member;
An electronic component cleaning device that blows gas to the electronic component supplied by the electronic component supply device before the electronic component is bonded to the circuit member to remove dust from the electronic component,
A blower unit having a blowout port for continuously ejecting the gas;
A suction part having a suction port for sucking the gas and the dust, and
The blower blocking position that covers the blower outlet and the suction port, and the blower position that is located away from the blower outlet and the suction port and that allows blowing air to the electronic component, is blocked by the blower. A shutter that prevents the gas continuously blown out from the outlet in the position and facilitates suction to the suction port;
An electronic component cleaning apparatus comprising:
The shutter disposed at the blower blocking position is moved to the blower position when the electronic component cleaning device and the component holding member face each other, and the shutter disposed at the blower position is moved to the component. A shutter control device for moving the holding member to the blow-off blocking position immediately before the holding member is detached from the electronic component cleaning device;
A bonding apparatus comprising:
上記電子部品がボンディングされる前に上記回路部材に気体を吹き付けて当該回路部材の塵埃を除去する部材洗浄装置であって、
上記気体を連続的に噴出する吹出口、
上記気体及び上記塵埃を吸引する吸引口、
上記吹出口及び上記吸引口を覆い上記吹出口から連続的に噴出される上記気体の放散を防止するとともに上記気体の上記吸引口への吸引を容易にし、かつ上記回路部材供給装置に保持されている上記回路部材を保護する遮蔽部材、
を有する部材洗浄装置と、をさらに備えた請求項2から4のいずれかに記載のボンディング装置。 A circuit member supply device for supplying the circuit member to the bonding unit;
A member cleaning device that removes dust from the circuit member by blowing gas to the circuit member before the electronic component is bonded,
A blowout port for continuously ejecting the gas;
A suction port for sucking the gas and the dust;
Covering the air outlet and the suction port to prevent the gas continuously discharged from the air outlet and facilitating the suction of the gas into the suction port and being held by the circuit member supply device. A shielding member for protecting the circuit member,
The bonding apparatus according to claim 2, further comprising: a member cleaning apparatus having
上記電子部品洗浄装置は連続的に上記気体の噴出を行い、塵埃除去以外の通常状態ではシャッターを閉じて当該電子部品洗浄装置外への上記気体の噴出を抑え、上記部品保持部材及び上記電子部品への上記気体の吹き付けが可能な状態のときのみ、上記シャッターを開けて上記気体の吹き付けを行い上記塵埃除去を行うことを特徴とするボンディング方法。 After holding the electronic component with the component holding member, dust is removed from the electronic component by blowing gas from the electronic component cleaning device to the held electronic component, and then bonding the electronic component to the circuit member In the bonding method to
The electronic component cleaning device continuously ejects the gas, and in a normal state other than dust removal, the shutter is closed to suppress the ejection of the gas to the outside of the electronic component cleaning device, and the component holding member and the electronic component A bonding method characterized in that the dust is removed by opening the shutter and blowing the gas only when the gas can be sprayed onto the surface.
上記気体を連続的に噴出する吹出口と、
上記気体及び上記塵埃を吸引する吸引口と、
塵埃除去以外の通常状態において上記吹出口及び上記吸引口を覆い上記吹出口から噴出する上記気体の放散を防止するとともに上記気体の上記吸引口への吸引を容易にする遮蔽部材と、
を備えたことを特徴とする洗浄装置。
A cleaning device provided in a bonding apparatus for bonding an electronic component and a circuit member, and removing dust by blowing gas on at least one of the electronic component and the circuit member,
A blowout port for continuously ejecting the gas;
A suction port for sucking the gas and the dust;
A shielding member that covers the air outlet and the suction port in a normal state other than dust removal and prevents the gas from being ejected from the air outlet and facilitating the suction of the gas to the suction port;
A cleaning apparatus comprising:
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