JP4232950B2 - 半透過型カラー液晶表示素子の基板製造方法 - Google Patents
半透過型カラー液晶表示素子の基板製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4232950B2 JP4232950B2 JP2002314064A JP2002314064A JP4232950B2 JP 4232950 B2 JP4232950 B2 JP 4232950B2 JP 2002314064 A JP2002314064 A JP 2002314064A JP 2002314064 A JP2002314064 A JP 2002314064A JP 4232950 B2 JP4232950 B2 JP 4232950B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- liquid crystal
- crystal display
- substrate
- color filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、内面に光透過部と光反射部とを有する半透過型カラー液晶表示素子の基板製造方法に関し、さらに詳しく言えば、光透過時・光反射時ともに色純度・明るさを両立させる技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半透過型カラー液晶表示素子においては、通常、その液晶表示素子を構成するその一方の透明基板の内面に、例えばアルミニウムなどの薄膜からなる半透過反射膜を配置し、その半透過反射膜上もしくは他方の透明基板側にカラーフィルタを形成するようにしている。
【0003】
また、上記の半透過反射膜に代えて完全反射膜を使用し、その完全反射膜の一部に開口を設けて光透過部とする方法も知られている。これを図5により説明すると、液晶表示素子を構成する一方の透明基板1上に完全反射膜2を成膜し、その一部分をエッチングにより除去して光透過部2aと光反射部2bとを形成した後、その上にカラーフィルタ3を形成する。
【0004】
周辺が暗い状況では、バックライトを点灯させて、光透過部2aからの照射光により明るい表示を得、周辺が明るい状況では、外光を完全反射膜2による光反射部2bで反射させて明るい表示を得る。
【0005】
このように、部分的に光透過部2aを有する完全反射膜2を利用する場合、カラーフィルタを形成する際に、その色再現特性を光反射部2bに合わせようとすると、明るさを重視する反射用の設計となるため、光透過部2aでの色純度が悪くなる。これに対して、カラーフィルタの色再現特性を光透過部2aに合わせようとすると、色純度を重視する透過用の設計となるため、光反射部2bでの表示が暗くなる。
【0006】
これを解決する方法の一つとして、透過用カラーフィルタと反射用カラーフィルタを塗り分ける方法があるが、これによると、カラーフィルタの作成工程が別々になるため、コスト的に好ましくない。
【0007】
また、完全反射膜2の厚みを厚くして、光透過部2aと光反射部2bとの間に十分な段差を設けてカラーフィルタ3の厚みを異ならせ、透過・反射のいずれの場合でも、カラーフィルタ3内を通過する光路長をほぼ同じとすることにより、透過・反射の特性を両立させることも考えられるが、通常、完全反射膜2の厚みは0.2μm程度であり、これを厚くすると応力が大きくなり剥がれの問題が発生するおそれがあるので、好ましい方法とは言えない。
【0008】
また、別の方法として、光拡散層の凹凸面にカラーフィルタを形成する際、その凸部に反射膜を設けるとともに、凹部には穴を穿設して、透過・反射のいずれの場合でもカラーフィルタ内を通過する光路長をほぼ同じとする方法が知られているが、これにはきわめて精度の高いフォトリソグラフィ技術を要し実用的ではない。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、本発明の課題は、完全反射膜を使用する半透過型液晶表示素子において、光透過時・光反射時ともに色純度・明るさを両立させることができる経済的かつ実用的な手段を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は、液晶表示素子に含まれる一方の透明基板の内面に、完全反射膜からなる光反射部と、上記完全反射膜のない開口よりなる光透過部とを設け、上記光反射部および上記光透過部の各々にカラーフィルタを形成してなる半透過型カラー液晶表示素子の基板製造方法において、上記一方の透明基板の内面に上記光反射部と上記光透過部とを形成した後、上記光反射部と上記光透過部とを覆うように上記一方の透明基板の内面に感光性樹脂を塗布し、上記一方の透明基板の背面側から上記光反射部の完全反射膜をフォトマスクとして上記感光性樹脂に紫外線を照射し、上記光反射部にのみ上記感光性樹脂よりなる透明レジストを形成し、焼成してから、上記光反射部および上記光透過部の各々にカラーフィルタを形成することを特徴としている。
【0011】
この場合において、上記光透過部のカラーフィルタ厚みを上記光反射部のカラーフィルタ厚みの1.2〜4.5倍とすることが好ましい。特に、2倍となるようにすれば、透過時および反射時のカラーフィルタ内を通過する光路長が等しくなるが、この倍率をさらに大きい2.2〜4.5倍とすることが、光透過時の色純度と、光反射時の明るさの両立を図る上で好ましい。
【0012】
【発明の実施の形態】
液晶表示素子は、その基本的な構成として一対の透明基板、すなわち、表示観察面側の基板と裏面側(反表示観察面側)の基板とを備えるが、本発明の実施形態を説明するにあたって、図1にその一方の基板として用いられる裏面側基板10の3画素(R,G,B)分の構成を拡大して示す。なお、本発明において、他方の表示観察面側の基板には特徴的要素がないため、その図示は省略する。
【0013】
裏面側基板10は、ガラスもしくは合成樹脂基板であってよく、その内面側(図示しない表示観察面側基板と対向する面)には、各画素ごとに、完全反射膜11aよりなる光反射部11と、その完全反射膜を例えばエッチングにて除去して開口とした光透過部12とが設けられている。
【0014】
各光反射部11の完全反射膜11a上には、透明レジスト13が所定の厚みをもって形成されている。この透明レジスト13は完全反射膜11aよりも十分厚い厚みを有し、これにより、光透過部12には透明レジスト13の厚みとほぼ等しい穴が形成される。
【0015】
R,G,Bの各画素ごとに、光反射部11および光透過部12の各々に、カラーフィルタ14がその表面を平滑として形成されるが、光反射部11には透明レジスト13が設けられているため、カラーフィルタ14の厚みは光反射部11で薄く、光透過部12で厚くなる。
【0016】
周辺から入射される外光は光反射部11にて反射され、図示しないバックライトから照射される光は光透過部12を透過する。この場合、反射光はその部分のカラーフィルタ14の厚みが薄いため明るい表示に寄与する。また、透過光はその部分のカラーフィルタ14の厚みが厚いため色純度のよい表示に寄与する。
【0017】
この光反射時の明るさと、光透過時の色純度を両立させるには、光透過部12でのカラーフィルタ14の厚みが、光反射部11でのカラーフィルタ14の厚みの2.2〜4.5倍となるように、透明レジスト13の厚みを選択することが好ましい。
【0018】
次に、図2を参照して、本発明による裏面側基板10の製造方法について説明する。例えばガラスからなる透明基板の内面となる一方の面に完全反射膜11aを成膜した後、フォトレジストを塗布し、光透過部分を形成するためのパターンを有するフォトマスクを介して露光し、現像を行い、完全反射膜の所定の一部を露出させる。そして、エッチングにより光透過部分の完全反射膜11aを除去した後、不要なフォトレジストを除去する。
【0019】
このようにして、透明基板に光反射部11と光透過部12とを形成した後、透明なポジ型感光性樹脂13aを表面が平坦となるように所定の厚みをもって塗布する。そして、光反射部11の完全反射膜11aをフォトマスクとして利用して、透明基板の他方の面(背面)側から露光して現像する。
【0020】
ポジ型感光性脂は露光された部分が可溶となるため、現像により光透過部12の樹脂が除去され、残されたポジ型感光性樹脂13aを焼成することにより、透明レジスト13が形成される。その後、光反射部11と光透過部12とにカラーフィルタ14を形成する。このようにして、本発明の製造方法によれば、特にフォトマスクを用いることなく、透明レジスト13を形成することができる。
【0021】
図3を用いて裏面側基板10の製造方法を詳しく説明すると、裏面側基板10の一方の面に銀とパラジウムの合金からなる完全反射膜11aをスパッタして成膜する(a)。その後、その上にフォトレジスト16を塗布、露光、現像して、完全反射膜11aを一部露出させる(b)。そして、露出している部分をエッチングして完全反射膜11aを除去する(c)。そして、除去されていない完全反射膜11aの上のフォトレジスト16を除去し、スピンコート法にて裏面側基板全面にポジ型感光性樹脂13aを塗布し、その後裏面側基板10の背面側から紫外線を照射する(d)。そして、紫外線が照射された部分を現像液で除去し、焼成して透明レジスト13を完全反射膜11aの上に形成する(e)。その後、光反射部11と光透過部12にカラーフィルタ14を形成する(f)。
【0022】
なお、上記の態様では、完全反射膜のパターニング時の影響を避けるために、この工程に用いたフォトレジストを一旦除去したが、この影響を無視できる場合には、このフォトレジストをそのまま段差形成用の透明レジスト13として利用することができる。このようにすると、工程がさらに簡便になる。
【0023】
次に、参考例として、透明レジスト13を完全反射膜を除去するための膜と共用する場合について図4を用いて説明する。裏面側基板10の一方の面に、銀とパラジウムの合金からなる完全反射膜11aをスパッタして成膜する(a)。その上に、スピンコート法を用いて透明なポジ型感光性樹脂13aを塗布する(b)。そして、ポジ型感光性樹脂13aを露光、現像して所定のパターンを形成し、焼成する(c)。その後、完全反射膜11aが露出している部分をエッチングして完全反射膜11aを除去する(d)。その後、光反射部11と光透過部12にカラーフィルタ14を形成する(e)。ここで、透明レジスト13を形成する材料として、ポジ型感光性樹脂13aを例示したが、ネガ型感光性樹脂であってもよい。
【0024】
なお、図示されていないが、この裏面側基板10のカラーフィルタ14上に好ましくは平滑化層を設けた後、その上に透明電極および配向膜を形成する。また、他方の表示観察面側基板にも、その内面に透明電極および配向膜を形成し、表示観察面側基板と裏面側基板10とを周辺シール材を介して圧着し、そのセルギャップ内にTN,STNなどの液晶を封入することにより、半透過カラー液晶表示素子が得られる。
【0025】
【実施例】
〔実施例1〕ガラス基板に全反射ミラー(完全反射膜)を成膜した後、ミラーパターニング用のフォトレジストを塗布し、目的の部分が光透過部となるように露光・現像を行い、エッチングにより光透過部のミラーを除去した後、不要のフォトレジストを除去した。このようにして、全反射ミラーに部分的に光透過部を形成した後、透明なポジ型感光性樹脂としてJSR社製ポジ型感光性レジストPC403を厚みを変えて塗布し、光反射部に残されたミラーをフォトマスクとして基板背面側から全面露光し、現像して光透過部に深さ1.0μm,2.0μmおよび3.0μmの穴をそれぞれ有する基板を用意した。しかる後、各基板にカラーフィルタ材(三菱化学社製RERR0402,REGG0402およびREBB0402)を塗布して、光反射部での厚みがいずれも1.0μm,光透過部での厚みが2.0μm,3.0μmおよび4.0μmであるカラーフィルタを形成した。以後は、通常の液晶表示素子と同じく、平滑化層,透明電極および配向膜をこの順序で形成した後、透明電極および配向膜を有する対向基板と周辺シール材を介して圧着して、半透過型カラー液晶表示素子を作製した。光反射部のカラーフィルタの厚みが薄いため、いずれの場合もその反射光により明るい表示が得られ、光反射部の色面積はいずれも30であった。また、光透過部のカラーフィルタの厚みが厚いため、その透過光により色純度のよい表示が得られ、厚みが大きくなるにつれて色面積は30,50,67と増加し、一方透過率は48%,41%,36%と低下した。さらに、半透過型カラー液晶表示素子の光透過時のコントラストはそれぞれ同様の値の7:1であった。
【0026】
〔参考例〕ガラス基板に全反射ミラー(完全反射膜)を成膜した後、ミラーパターニングのためと光反射部の膜厚調整のために新日鉄化学社製の透明なネガ型感光性レジスト(V2301PR)を塗布し、目的の部分が光透過部となるように露光・現像を行った。そして、ネガ型感光性樹脂を焼成して硬化した後、エッチングにより露出しているミラー(光透過部のミラー)を除去した。このとき、ネガ型感光性レジストV2301PRの厚みを1.0μmとなるように形成した。そして、各基板にカラーフィルタ材(三菱化学社製RERR0402,REGG0402およびREBB0402)を塗布して、光反射部での厚みがいずれも1.0μm,光透過部での厚みが1.2,1.5μmとなるカラーフィルタを形成した。以後は、通常の液晶表示素子と同じく、平滑化層、透明電極および配向膜をこの順序で形成した後、透明電極および配向膜を有する対向基板と周辺シール材を介して圧着して、半透過型カラー液晶表示素子を作成した。作成した半透過型カラー液晶表示素子の光反射部の色面積はいずれも30であった。また、光透過部の色面積は14、20であった。一方、透過率は58%、53%と非常に明るい表示であった。さらに、半透過型カラー液晶表示素子の光透過時のコントラストを測定すると、透過部でのカラーフィルタの厚みが1.2μmのものが10:1で、1.5μmのものが9:1であった。
【0027】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、一方の透明基板の内面に、完全反射膜からなる光反射部と、完全反射膜のない開口よりなる光透過部とを設け、その光反射部および光透過部の各々にカラーフィルタを形成するにあたって、光反射部の完全反射膜上に所定の厚みを有する透明レジストを設けて光透過部を所定深さの穴とすることにより、光反射部と光透過部とでカラーフィルタの厚みを異ならせることにより、光透過時・光反射時ともに色純度・明るさの両立を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半透過型カラー液晶表示素子が備える裏面側基板の実施形態を示す要部拡大断面図。
【図2】上記裏面側基板の製造方法を説明するための要部拡大断面図。
【図3】本発明の裏面側基板を作成する工程を示す説明図。
【図4】本発明の参考例として裏面側基板を作成する図3とは異なる工程を示す説明図。
【図5】従来例におけるカラーフィルタの構成を示す断面図。
【符号の説明】
10 裏面側基板
11 光反射部
11a 完全反射膜
12 光透過部
13 透明レジスト
13a ポジ型感光性樹脂
14 カラーフィルタ
Claims (5)
- 液晶表示素子に含まれる一方の透明基板の内面に、完全反射膜からなる光反射部と、上記完全反射膜のない開口よりなる光透過部とを設け、上記光反射部および上記光透過部の各々にカラーフィルタを形成してなる半透過型カラー液晶表示素子の基板製造方法において、
上記一方の透明基板の内面に上記光反射部と上記光透過部とを形成した後、上記光反射部と上記光透過部とを覆うように上記一方の透明基板の内面に感光性樹脂を塗布し、上記一方の透明基板の背面側から上記光反射部の完全反射膜をフォトマスクとして上記感光性樹脂に紫外線を照射し、上記光反射部にのみ上記感光性樹脂よりなる透明レジストを形成し、焼成してから、上記光反射部および上記光透過部の各々にカラーフィルタを形成することを特徴とする半透過型カラー液晶表示素子の基板製造方法。 - 上記感光性樹脂がポジ型感光性樹脂である請求項1に記載の半透過型カラー液晶表示素子の基板製造方法。
- 上記感光性樹脂に紫外線を照射した後に、上記光透過部の紫外線が照射された感光性樹脂を現像液で除去する請求項1に記載の半透過型カラー液晶表示素子の基板製造方法。
- 上記光透過部のカラーフィルタ厚みが、上記光反射部のカラーフィルタ厚みの1.2〜4.5倍である請求項1ないし3のいずれか1項に記載の半透過型カラー液晶表示素子の基板製造方法。
- 上記光透過部のカラーフィルタ厚みが、上記光反射部のカラーフィルタ厚みの2.2〜4.5倍である請求項1ないし3のいずれか1項に記載の半透過型カラー液晶表示素子の基板製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002314064A JP4232950B2 (ja) | 2001-10-31 | 2002-10-29 | 半透過型カラー液晶表示素子の基板製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001335206 | 2001-10-31 | ||
JP2001-335206 | 2001-10-31 | ||
JP2002314064A JP4232950B2 (ja) | 2001-10-31 | 2002-10-29 | 半透過型カラー液晶表示素子の基板製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003202566A JP2003202566A (ja) | 2003-07-18 |
JP4232950B2 true JP4232950B2 (ja) | 2009-03-04 |
Family
ID=27666745
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002314064A Expired - Fee Related JP4232950B2 (ja) | 2001-10-31 | 2002-10-29 | 半透過型カラー液晶表示素子の基板製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4232950B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4882337B2 (ja) * | 2005-10-20 | 2012-02-22 | 大日本印刷株式会社 | 半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ |
CN112859458A (zh) * | 2021-03-01 | 2021-05-28 | 武汉华星光电技术有限公司 | 显示面板及显示装置 |
-
2002
- 2002-10-29 JP JP2002314064A patent/JP4232950B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003202566A (ja) | 2003-07-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3590737B2 (ja) | 液晶表示素子 | |
US4220705A (en) | Process for manufacturing a multi-colored display polarizer | |
KR100306546B1 (ko) | 액정 표시 장치의 제조 방법 | |
WO2013159537A1 (zh) | 半透射半反射彩膜基板及其制造方法和液晶显示装置 | |
JP2000171794A (ja) | 液晶表示装置の製造方法 | |
KR100970524B1 (ko) | 포토리소그래피용 마스크, 박막 형성 방법, 및 액정 표시 장치의 제조 방법 | |
KR20030007137A (ko) | 컬러 필터 기판 및 전기 광학 장치, 컬러 필터 기판의제조 방법 및 전기 광학 장치의 제조 방법 및 전자 기기 | |
TWI326491B (en) | Trans-reflective liquid crystal display and manufacturing method thereof | |
JP2004004602A (ja) | カラー液晶表示装置およびカラー液晶表示装置の製造方法 | |
JP4232950B2 (ja) | 半透過型カラー液晶表示素子の基板製造方法 | |
JP4117551B2 (ja) | カラーホイール、その製造方法、およびそれを備えた分光装置並びに画像表示装置 | |
KR20030036058A (ko) | 반투과형 칼라 액정 디스플레이 및 그 기판의 제조방법 | |
JP3748760B2 (ja) | 反射型lcdおよびその製造方法 | |
TW200416427A (en) | Manufacturing method of electro-optical device substrate and manufacturing method of electro-optical device | |
JP2004212676A (ja) | 半透過型カラー液晶表示装置用カラーフィルタ | |
JP4743571B2 (ja) | カラーフィルタの作製方法およびカラーフィルタ | |
US7224505B2 (en) | Manufacturing method of electro-optical apparatus substrate, manufacturing method of electro-optical apparatus, electro-optical apparatus substrate, electro-optical apparatus, and electronic instrument | |
JP4206209B2 (ja) | 金属パターン付き基板の製造方法、金属パターン付き基板、液晶表示装置用金属パターン付き基板の製造方法、液晶表示装置用金属パターン付き基板および液晶表示装置 | |
JP2007121484A (ja) | 液晶表示装置用のカラーフィルタ形成基板の製造方法および該製造方法に用いられる露光用マスク | |
JP4192512B2 (ja) | 半透過型lcd用カラーフイルタ及びその製造方法 | |
JP3800189B2 (ja) | 半透過反射基板、その製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JPH11194338A (ja) | 液晶表示装置とその反射層製造方法 | |
JP2005215642A (ja) | フォトマスク及び拡散反射板の製造方法 | |
JP3610060B2 (ja) | 液晶表示装置の製造方法 | |
JP2000193951A (ja) | 半透過性基板およびその製造方法と半透過型液晶表示素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051025 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20080218 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080402 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080709 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080908 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081203 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081204 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111219 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141219 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141219 Year of fee payment: 6 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141219 Year of fee payment: 6 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |