JP4228636B2

JP4228636B2 - Crimping and electro-optical device manufacturing equipment

Info

Publication number: JP4228636B2
Application number: JP2002265735A
Authority: JP
Inventors: 久男大澤
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2002-09-11
Filing date: 2002-09-11
Publication date: 2009-02-25
Anticipated expiration: 2022-09-11
Also published as: JP2004102052A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、テープを加圧する過程が含まれる場合にこのテープを加圧対象物から上手に引き離すことができるテープ送り装置、テープ送り方法、電気光学装置の製造装置および電気光学装置の製造方法、並びにテープリサイクル方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１０は、従来の圧着装置の一例を示す構成図である（例えば、特許文献１参照）。この圧着装置５００は、ニトフロンテープ１を供給するテープ供給リール５０１と、インデックステーブル５０２上に載せた液晶表示パネルＬの面に対して平行にニトフロンテープ１を送るガイドローラ５０３およびピッチローラ５０４と、使用済みのニトフロンテープ１を回収するテープ回収リール５０５と、テープ供給リール５０１及びガイドローラ５０３、テープ回収リール５０５及びピッチローラ５０４との間に夫々設けたテンションローラ５０６，５０７と、ガイドローラ５０３を上下移動させるためのアクチュエータ５０８と、ドライバＩＣ７を加圧する加圧装置５０９とを有する。
【０００３】
加圧装置５０９は、エアシリンダー５１０のピストンロッド端部に圧着ヘッド５１１を設けた構成である。圧着ヘッド５１１には、ガラス基板ＧとドライバＩＣ７との間に介在するＡＣＦ（異方導電性フィルム:Anisotoropic Conductive Film）を加熱するためのヒータが内蔵されている（図示省略）。テープ回収リール５０５は、リールを回転させてニトフロンテープ１を回収するためのモータ５１２を備えている。また、テープ送りは、液晶表示パネルＬの下流に設けた一対のピッチローラ５０４により行う。ピッチローラ５０４は、ステッピングモータ５１３により駆動制御され、ニトフロンテープ１を所定量送る。
【０００４】
この圧着装置５００は、テープ供給リール５０１から供給されたニトフロンテープ１を液晶表示パネルＬのドライバＩＣ７上に位置させ、圧着ヘッド５１１によりニトフロンテープ１を介してドライバＩＣ７を加圧加熱する。ドライバＩＣ７の本圧着が完了したら、上流側のガイドローラ５０３を上方に一旦持ち上げ、ドライバＩＣ７上に密着したニトフロンテープ１を当該ドライバＩＣ７から引き離す。そして、インデックステーブル５０２により新たな液晶表示パネルＬを加圧位置に移動させると共に、ピッチローラ５０４により所定量ニトフロンテープ１を送り、加圧に供していない部分を当該液晶表示パネルＬのドライバＩＣ７上に位置させる。移動したニトフロンテープ１は、テープ回収リール５０５により回収される。この圧着装置５００では、ガイドローラ５０３の上下移動によりニトフロンテープ１をドライバＩＣ７から引き離すと共にニトフロンテープ１の送り動作を行うようにしている。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１０−２５６３１６号公報（第３頁―第４頁、[図１]―[図２]）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の圧着装置５００では、ガイドローラ５０３の上下移動によりニトフロンテープ１をドライバＩＣ７の上面から引き離しているが、ガイドローラ５０３が液晶表示パネルＬと平行な位置に在り、この位置からニトフロンテープ１を引き離すとなれば、ドライバＩＣ７に密着しているニトフロンテープ１がはがれ難いという問題点がある。具体的には、図１１に示すように、ガイドローラ５０３を上方に移動しても密着力が強いと、離れ難く或いは離れないままになる。その場合、ニトフロンテープ１を送る際やインデックステーブル５０２により液晶表示パネルを移送する際に、ドライバＩＣ７がガラス基板Ｇから剥がれてしまう。
【０００７】
そこで、この発明は、上記に鑑みてなされたものであって、加圧対象物からテープを上手く引き離すことを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、この発明によるテープ送り装置は、加圧対象物の加圧面と加圧部の加圧ヘッドとの間に介在させるテープを供給するテープ供給リールと、加圧ヘッドにより加圧対象物を加圧する加圧部と、加圧対象物の加圧面と略水平に移動すると共に、移動方向に対して曲げた方向にテープを送る移動ローラと、移動ローラと共に移動し且つ移動ローラの下流でテープを挟持する第一挟持部と、移動ローラ及び第一挟持部の下流で前記テープを挟持する第二挟持部と、第二挟持部の下流に前記テープをリールに巻くことなく送り出すテープ送出手段とを備えたことを特徴とする。
【０００９】
この発明では、まず、テープ供給リールから加圧対象物の加圧面上にテープを供給し、加圧部の加圧ヘッドにより前記加圧対象物を、前記テープを介して加圧する。そして、第二挟持部により前記テープを挟持し、移動ローラによって移動方向に対して曲げた方向にテープを送りながら、当該移動ローラを加圧対象物の加圧面と略水平に且つ第一挟持部と共に移動させる。これにより、移動ローラの移動に伴い、前記加圧面から前記曲げ方向にテープが引き離される。次に、所定のテープの送り量を確保するのに必要な量だけ、前記移動ローラ及び第一挟持部を戻す。そして、第一挟持部によりテープを挟持し且つ第二挟持部によるテープの前記挟持を解いた状態で、前記移動ローラを第一挟持部と共にもとの位置に戻す。これにより、テープを加圧面から引き離すと共に所定方向に送ることができる。なお、前記第二挟持部とテープ送出手段は、一体構成であっても良い。
【００１０】
つぎの発明によるテープ送り装置は、テープを巻回したテープ供給リールと、テープ供給リールの下流に設けられ、加圧ステージと加圧ヘッドの間に加圧対象物を挟んで加圧する加圧部と、テープを案内しつつ加圧対象物の加圧面と略水平に移動する移動ローラと、移動ローラにて移動方向に対して曲げた方向に送られたテープをアクチュエータにより動作する部材で挟むと共に、その挟持部分の下流に案内ローラを設けた第一挟持部と、前記第一挟持部の案内ローラで案内されたテープの下流にて、当該テープをアクチュエータにより動作する部材で挟む第二挟持部と、前記移動ローラおよび第一挟持部を、固定状態の前記第二挟持部に対して前記加圧面と略水平方向に移動させる直動装置と、第二挟持部の下流に設けられ、前記テープをリールに巻くことなく送り出すテープ送出手段とを備えたことを特徴とする。
【００１１】
つぎの発明によるテープ送り装置は、上記構成において、更に、加圧対象物の加圧面に対して気体を吐出する吐出手段と、吐出した気体を吸引する吸引手段とを備えたことを特徴とする。加圧対象物の間にテープを挟んで加圧する場合、加圧面にパーティクルが付着していると、パーティクルの付着部分で加圧面に荷重が集中する。このため、気体によりパーティクルを飛ばし、これを吸引することで加圧面上のパーティクルを除去する。これにより、良好な加圧を行うことができる。
【００１２】
つぎの発明によるテープ送り装置は、上記構成において、更に、前記テープ送出手段の下流に、テープのみを回収するテープ回収箱を設けたことを特徴とする。テープのみ回収することで、従来のようにリールからテープを取り外す手間がなくなるので、テープのリサイクルが簡単になる。なお、テープ回収箱は、テープを受け入れることができれば、どのようなものでも良い。
【００１３】
また、上記いずれか一つに記載の加圧装置を用いて電気光学装置の製造を行うこともできる。
【００１４】
つぎの発明によるテープ送り方法は、テープ供給リールから加圧対象物の加圧面上にテープを供給し、加圧部の加圧ヘッドにより前記加圧対象物を、前記テープを介して加圧する手順と、移動ローラ及び第一挟持部の下流に設けた第二挟持部により前記テープを挟持する手順と、移動ローラにより移動方向に対して曲げた方向に前記テープを送りながら、当該移動ローラを加圧対象物の加圧面と略水平に且つテープ挟持してない状態の第一挟持部と共に移動する手順と、前記移動ローラを第一挟持部と共に、テープ送り量に基づいて必要量だけもとの方向に戻す手順と、移動ローラの下流にて第一挟持部によりテープを挟持し、且つ第二挟持部によるテープの前記挟持を解く手順と、前記移動ローラを第一挟持部と共にもとの位置に戻すことで、テープを送る手順とを含むことを特徴とする。
【００１５】
つぎの発明によるテープ送り方法は、上記構成において、前記テープ送り方法により送られたテープをこのテープが巻かれていたリールと分別して回収することを特徴とする。
【００１６】
つぎの発明によるテープリサイクル方法は、テープ供給リールから加圧対象物の加圧面上にテープを供給し、加圧部の加圧ヘッドにより前記加圧対象物を、前記テープを介して加圧する手順と、移動ローラ及び第一挟持部の下流に設けた第二挟持部により前記テープを挟持する手順と、移動ローラにより移動方向に対して曲げた方向に前記テープを送りながら、当該移動ローラを加圧対象物の加圧面と略水平に且つテープ挟持してない状態の第一挟持部と共に移動する手順と、前記移動ローラを第一挟持部と共に、テープ送り量に基づいて必要量だけもとの方向に戻す手順と、移動ローラの下流にて第一挟持部によりテープを挟持し、且つ第二挟持部によるテープの前記挟持を解く手順と、前記移動ローラを第一挟持部と共にもとの位置に戻すことで、テープを送る手順と、テープ送り方法により送られたテープをこのテープが巻かれていたリールと分別して回収する手順と、前記回収したテープをリサイクルする手順とを含むことを特徴とする。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、この発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。また、この実施の形態の構成要件には、当業者により置換可能かつ容易なもの、或いは実質的に同一のものが含まれる。
【００１８】
（実施の形態１）
図１は、この発明の実施の形態１に係る圧着装置を示す構成図である。この圧着装置は、ニトフロンテープ１を巻回し且つテープを送り出すテープ供給リール２と、ニトフロンテープ１に張力を与えるテンションローラ３と、加圧面と平行にテープを送るためのガイドローラ４と、液晶表示パネルＬを加圧位置Ｔ１に順次移動させるインデックステーブル５と、液晶表示パネルＬを順番にインデックステーブル５に供給し且つ加圧後の液晶表示パネルＬを運び出す液晶表示パネル移送機構６と、ドライバＩＣ７を加圧する加圧装置８と、ニトフロンテープ１を一定間隔で送るテープ送り装置９と、送り出したニトフロンテープ１を回収するテープ回収箱１０とを有する。
【００１９】
ニトフロンテープ１は、例えばテフロン（登録商標）・ビニール・ゴム等の樹脂系、紙、繊維などの材料からなるテープ状のものであり、通常リールに巻かれた状態で市場供給されている。また、ニトフロンテープ１は使用済みであっても、リサイクルにより再利用できる。
【００２０】
インデックステーブル５には、テーブル面に開口した吸引口１１と、これに繋がる真空ポンプ１２とを有する真空吸着装置１３が設けられている。また、インデックステーブル５には、駆動用のアクチュエータ１４が設けられている。アクチュエータ１４の動作により、上面に載せられた液晶表示パネルＬが一定間隔で送られる。加圧装置８は、エアシリンダー１５のピストンロッド端部に圧着ヘッド１６を設けた構成である。圧着ヘッド１６には、ガラス基板ＧとドライバＩＣ７との間に介在するＡＣＦ１７を加熱するためのヒータ１８が内蔵されている。
【００２１】
テープ送り装置９は、２つの移動ローラ２０，２１および２つのガイドローラ２２，２２を夫々４点に設置し、ニトフロンテープ１をテープ送り方向に対して凸形状に案内する。移動ローラ２０，２１は、上流側に位置され且つこの移動ローラ２０，２１の間には、ニトフロンテープ１を挟持する第一挟持部２３が設けられている。第一挟持部２３は、エアシリンダー２４と、その先端に設けたクランプヘッド２５とから構成されている。移動ローラ２０，２１および第一挟持部２３は、移動装置２６により移動される。具体的には、これら移動ローラ２０，２１および第一挟持部２３は移動プレート２７上に固定されており、この移動プレート２７は、ボールねじ２８及びサーボモータ２９（又はステッピングモータ）と、図示しない直動案内とにより液晶表示パネルＬの面に平行に移動する。
【００２２】
第二挟持部３０は、ニトフロンテープ１を挟持すると共に、２つのガイドローラ２２，２２の下流に設けられる。第二挟持部３０は、エアシリンダー３１と、その先端に設けたクランプヘッド３２とから構成されている。この第二挟持部３０およびガイドローラ２２，２２は、装置の図示しないベッド側に固定されている。また、第二挟持部３０の下流には、ニトフロンテープ１を送り出す送出ローラ３３が設けられている。送出ローラ３３は、ニトフロンテープ１を間に挟んでテープ回収箱１０内にニトフロンテープ１を落とし込む。前記サーボモータ２９やエアシリンダー３１等は、制御装置３４により制御される。
【００２３】
図２は、この加圧装置の動作を示す説明図である。まず、同図（ａ）に示すように、インデックステーブル５上に載置した液晶表示パネルＬのドライバＩＣ７を圧着ヘッド１６により加圧加熱する。なお、加圧前の状態では、液晶表示パネルＬのガラス基板Ｇ上にはＡＣＦ１７を介してドライバＩＣ７が仮圧着されている。また、インデックステーブル５上の液晶表示パネルＬは、真空吸着装置１３により加圧面に対して真空吸着されている。
【００２４】
次に、同図（ｂ）に示すように、所定時間加圧および加熱を行った後、圧着ヘッド１６を上方に退避させ、引き続き、第二挟持部３０のクランプヘッド３２によりニトフロンテープ１を挟持すると共に、移動装置９により移動ローラ２０，２１及び第一挟持部２３を液晶表示パネルＬの上まで移動させる。このとき、圧着ヘッド１６は、移動ローラ２０，２１及び第一挟持部２３と干渉しない位置まで上昇する。一方、移動ローラ２０，２１及び第一挟持部２３の移動に先立ち、第二挟持部３０はニトフロンテープ１をクランプしておく。上下に設けた移動ローラ２０，２１が移動することで、当該移動ローラ２０，２１によりニトフロンテープ１が上方に送られ、ドライバＩＣ７の上面に若干密着した状態（加圧により若干吸着した状態）から引き離される。
【００２５】
即ち、図３に示すように、移動ローラ２０，２１は、ドライバＩＣ７の上面を移動し、且つこの移動ローラ２０，２１にガイドされつつニトフロンテープ１が上方に送られるため、ドライバＩＣ７の面に対するニトフロンテープ１の送り角度を大きくとることができる（この実施の形態では９０度）。また、ニトフロンテープ１を引き離すときの力が、ドライバＩＣ７とガラス基板Ｇとの間（具体的にはＡＣＦ１７）に加わり難い。経験的には、この角度が大きいほうが引き離しやすいので、好ましくは３０度以上、更に好ましくは７０度以上とする。また、移動ローラ２０，２１は、ドライバＩＣ７に無理な荷重を与えないように、ドライバＩＣ７上を移動するときは、多少上方に逃げられるように設計しておくほうが良い。逆に、移動ローラ２０，２１がドライバＩＣ７に対してニトフロンテープ１を介して接触しない場合は、引き離す力がドライバＩＣ７とガラス基板Ｇとの間に加わる傾向になるので、なるべく移動ローラ２０，２１を接触させるか或いは支障のない程度離すようにするのが好ましい。
【００２６】
次に、同図（ｃ）に示すように、ニトフロンテープ１を引き離した後、インデックステーブル５を駆動し、別の液晶表示パネルＬを加圧位置Ｔ１まで移動させる。そして、第二挟持部３０によりニトフロンテープ１をクランプしたまま、移動ローラ２０，２１及び第一挟持部２３を元の方向に戻し、所定位置Ｔ２で停止させる。この状態でニトフロンテープ１は、液晶表示パネルＬのドライバＩＣ７上に位置し、且つこのドライバＩＣ７上のニトフロンテープ１は、先の工程で加圧に供した部分である。続いて、同図（ｄ）および（ｅ）に示すように、第一挟持部２３はクランプヘッド２５によりニトフロンテープ１を挟持し、そのまま同方向に移動ローラ２０，２１および第一挟持部２３を移動させることで、ニトフロンテープ１をその移動量だけ送る。即ち、前記所定位置Ｔ２は、移動ローラ２０，２１の待機位置Ｔ３からテープ送り量離れた位置であり、この所定位置Ｔ２を設定変更することでニトフロンテープ１のテープ送り量を決定できる。
【００２７】
なお、このテープ送り時には、第二挟持部３０のクランプヘッド３２はニトフロンテープ１を開放した状態となる。使用済みのニトフロンテープ１は、送出ローラ３３により送り出され、下方に設置したテープ回収箱１０内に落とされる。なお、送出ローラ３３は、第一挟持部２３の挟持力を超えない程度のトルクをもって回転し、テープ送り系統にテンションを加えつつ当該ニトフロンテープ１の送り出しを行う。そして、上記同様に圧着ヘッド１６によりニトフロンテープ１を介してドライバＩＣ７を加圧加熱する。なお、この後は上記した手順を繰り返すことで、仮圧着状態のドライバＩＣ７の本圧着を連続的に行うことができる。また、テープ回収箱１０内に落とされたニトフロンテープ１は、そのままリサイクル工程に移すことができる。即ち、従来のように使用済みのニトフロンテープ１をリールに巻きつけながら回収する方式ではないため、リールからニトフロンテープ１を分離する手間が省け、リサイクル工程が簡単になる。
【００２８】
以上の圧着装置１００によれば、移動ローラ２０，２１がドライバＩＣ７上を移動することで、ドライバＩＣ７に密着したニトフロンテープ１を引き離すことができ、且つ第一挟持部２３によりニトフロンテープ１を所定位置Ｔ２にてクランプし、更に元の待機位置Ｔ３に戻すことでニトフロンテープ１を送ることができる。このため、ニトフロンテープ１の引き離し及び送りを移動ローラ２０，２１の往復過程で連続的に行うことができる。
【００２９】
なお、上記実施の形態１において、ニトフロンテープ１のテープ送り基準高より高い位置に移動ローラ２１およびガイドローラ２２が配置されているが、図４の（ａ）に示すように、移動ローラ２１を省略しても良いし、（ｂ）に示すように、ガイドローラ２２を省略しても良い。また、テープ送り基準高より高い位置に、更に別の移動ローラ２１及びガイドローラ２２を設けても良い（図示省略）。即ち、テープ送り基準高の移動ローラ２０から上方にニトフロンテープ１を送るようにすれば、ドライバＩＣ７上面から当該ニトフロンテープ１を所定角度で引き離すことができるので、テープ送り基準高より高い位置のローラ数は上記数に限定されない。
【００３０】
また、上記実施の形態１では送出ローラ３３は単にテープ送りのみの機能を有しているが、図５に示すように、送出ローラ３３のローラ表面にニトフロンテープ１を噛み込むような凹凸３５を設け、このローラ３３をサーボモータ３６またはステッピングモータにより回転制御することで、第二挟持部３０の機能を持たせるようにしても良い。即ち、ニトフロンテープ１の送り時は、所定トルクで送出ローラ３３を回転させ、上記移動ローラ２０，２１及び第一挟持部２３の移動中は、この送出ローラ３３を図示しないブレーキ装置により回転しないように固定する。これにより、事実上、第二挟持部３０と同じ機能を持ち合わせることができる。
【００３１】
（実施の形態２）
図６は、この発明の実施の形態２に係る圧着装置を示す構成図である。この圧着装置２００は、移動プレート２７に液晶表示パネルＬのドライバＩＣ７上に付着したゴミや塵等の付着物Ｐを除去する付着物除去装置４０を設けた点が特徴であり、その他の構成は上記実施の形態１と同様でありその説明は省略する。この圧着装置２００の移動プレート２７は、エアの噴出口４１が液晶表示パネルＬのドライバＩＣ７面に対して向いているエア噴出装置４２と、噴出したエアを吸引するエア吸引装置４３を有している。エア吸引装置４３は、ドライバＩＣ７の面に向かって吸引口４４が開口しており、噴出口４１から噴出したエアを吸引する。
【００３２】
エア噴出装置４２は、周囲の空気を取り入れて圧縮する圧縮機４５と、フレキシブルに変形し、圧縮空気を送るエアノズル４６から構成される。一方、エア吸引装置４３は、ポンプ４７とエアノズル４８とから構成される。このエア噴出装置４２と、エア吸引装置４３のそれぞれのエアノズル４６，４８は、移動プレート２７に固定されており、移動ローラ２０，２１及び第一挟持部２３と共に移動する。図６に示すように、ニトフロンテープ１をドライバＩＣ７の上面から引き離し、次の液晶表示パネルＬを移送した場合において、ドライバＩＣ７の面上にゴミ等の付着物Ｐが存在するとき、この付着物Ｐの部分に荷重が集中してしまう。このため、当該手順において、エア噴出装置４２の噴出口４１から、ドライバＩＣ７の面上に向かって噴出し、そのエアを吸引口４４から吸引する。これにより、ドライバＩＣ７面上の付着物Ｐがエアと共にエア吸引装置４３で吸引され、図示しないフィルターで補足される。
【００３３】
このようにエア吸引装置４３により吸引すれば、吹き飛ばした塵等の付着物Ｐが圧着装置２００の周囲に飛散して再びドライバＩＣ７上に付着するのを防止できる。更に、エア噴出装置４２の噴出口４１およびエア吸引装置４３の吸引口４４は、移動プレート２７に固定されており、移動プレート２７の移動に伴ってドライバＩＣ７の面上を移動する。即ち、噴出口４１のノズル先端を小さく絞って流速を高めることでスポット的に強力な噴出を行うと共に、ドライバＩＣ７の面を走査することで当該ドライバＩＣ７全面に対して強力なエア噴出を行うことができる。また、この噴出口４１と共に吸引口４４が移動するので、エア吸引も確実に行える。
【００３４】
以上より、この圧着装置２００によれば、付着物Ｐに起因してドライバＩＣ７の一部分に荷重が集中する状態を回避できる。このため、圧着過程でドライバＩＣ７が破損するのを防止できる。このエア噴出装置４２の噴出口４１およびエア吸引装置４３の吸引口４４は、移動プレート２７に固定して移動ローラ２０，２１等と共に移動するようにしたが、移動しないように固定しても良い。
【００３５】
（実施の形態３）
図７は、この発明の実施の形態３に係るＡＣＦ貼り付け装置を示す構成図である。このＡＣＦ貼り付け装置３００は、上記実施の形態１の圧着装置１００と略同様の構成であるが、図８に示すような、セパレータ３０３上にＡＣＦ層３０４を設けた層状テープ３０１を所定の長さにカットするテープカッター３０２が設けられている点に特徴がある。この圧着装置３００では、層状テープ３０１をテープ供給リール２に巻回し、ＡＣＦ３０４ａごと液晶表示パネルＬのガラス基板Ｇ上に供給する。このＡＣＦ層３０４は、液晶表示パネルＬの上流側に設けたテープカッター３０２により所定長さにカットされる。テープカッター３０２は、ピストン運動するアクチュエータ３０５の軸の先端にカッター３０６を設けた構成である。
【００３６】
図９は、このＡＣＦ貼り付け装置の動作を示す説明図である。このＡＣＦ貼り付け装置３００では、同図（ａ）に示すように、テープ供給リール２から層状テープ３０１が供給され、ガイドローラ４を通過したところで、前記テープカッター３０２によりハーフカット処理され、ＡＣＦ層３０４のみが所定長さに分断される（ＡＣＦ３０４ａ）。続いて、同図（ｂ）に示すように、層状テープ３０１を送り、加圧位置Ｔ１にて加圧ヘッド１６による加圧を行う。これにより、ＡＣＦ３０４ａがセパレータ３０３からガラス基板Ｇに移り、ガラス基板Ｇ上にＡＣＦ３０４ａが張着された状態になる。この状態では、ＡＣＦ３０４ａがガラス基板Ｇおよびセパレータ３０３の両方に張り付いており、このセパレータ３０３をＡＣＦ３０４ａから引き離す必要がある。次に、同図（ｃ）に示すように、移動ローラ２０，２１及び第一挟持部２３をガラス基板Ｇの方向に移動させ、セパレータ３０３をテープ送り基準高から上方に移動させる。このとき、移動ローラ２０のローラ径は比較的小さくするのが好ましい。セパレータ３０３には、次にガラス基板Ｇに貼り付ける分断されたＡＣＦ３０４ａが保持されており、ローラ径が大きいと隣接するＡＣＦ３０４ａまで剥がれてしまうからである。移動ローラ２０のローラ径は、例えば３ｍｍ程度である。
【００３７】
次に、インデックステーブル５を回転させ、新しいガラス基板Ｇを加圧位置に移送する。引き続き、同図（ｄ）に示すように、移動ローラ２０及び第一挟持部２３を元の方向に戻し、所定位置Ｔ２にて第一挟持部２３によりセパレータ３０３をクランプする。これと共に、第二挟持部３０を開放する。そして、同図（ｅ）に示すように、移動ローラ２０，２１及び第一挟持部２３をテープ送り量だけ移動させ、層状テープ３０１を送る。送出ローラ３３は所定のトルクで回転し、セパレータ３０３を外部に送出する。これにより、新しい液晶表示パネルＬのガラス基板Ｇ上に次のＡＣＦ３０４ａが位置するので、上記同様、加圧ヘッド１６によりセパレータ３０３ごと加圧してＡＣＦ３０４ａをガラス基板Ｇ上に貼り付ける。
【００３８】
以上、このＡＣＦ貼り付け装置３００によれば、ガラス基板Ｇに対するＡＣＦ３０４ａの貼り付け及び層状テープ３０１の送りを移動ローラ２０，２１の往復過程で連続的に行うことができる。
【００３９】
以上、この実施の形態１〜３では、ニトフロンテープ及びＡＣＦの層状テープを例示して説明したが、テープの種類はこれに限定されない。例えば上記図１に記載の加圧装置は、熱及び圧力を必要とする装置に適用することもできる。
また、本発明のテープ送り装置およびテープ送り方法ならびにテープリサイクル方法は、上述した液晶装置の製造方法および製造装置に限定されず、その他の電気光学装置の製造方法及び製造装置にも適用可能であり、例えば、エレクトロルミネッセンス装置、特に、有機エレクトロルミネッセンス装置、無機エレクトロルミネッセンス装置等や、プラズマディスプレイ装置、ＦＥＤ（フィールドエミッションディスプレイ）装置、ＬＥＤ（発光ダイオード）表示装置、電気泳動表示装置、薄型のブラウン管、液晶シャッター等を用いた小型テレビ、デジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）を用いた装置などの各種の電気光学装置の製造方法および製造装置に用いることができる。
【００４０】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明のテープ送り装置および方法では、一度にテープを加圧面から引き離すと共に所定方向に送ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態１に係る圧着装置を示す構成図である。
【図２】この加圧装置の動作を示す説明図である。
【図３】ニトフロンテープの引き離し状態を示す説明図である。
【図４】図１に示した圧着装置の変形例を示す構成図である。
【図５】図１に示した圧着装置の変形例を示す構成図である。
【図６】この発明の実施の形態２に係る圧着装置を示す構成図である。
【図７】この発明の実施の形態３に係るＡＣＦ貼り付け装置を示す構成図である。
【図８】層状テープの構成を示す断面図である。
【図９】ＡＣＦ貼り付け装置の動作を示す説明図である。
【図１０】従来の圧着装置の一例を示す構成図である。
【図１１】ニトフロンテープの引き離し状態を示す説明図である。
【符号の説明】
１ニトフロンテープ
２テープ供給リール
４ガイドローラ
７ドライバＩＣ
８加圧装置
９移動装置
１０テープ回収箱
１６圧着ヘッド（加圧ヘッド）
２０，２１移動ローラ
２２ガイドローラ
２３第一挟持部
２６移動装置
２７移動プレート
２９サーボモータ
３０第二挟持部
３３送出ローラ
３４制御装置
Ｌ液晶表示パネル
Ｔ１加圧位置
Ｔ２所定位置
Ｔ３待機位置[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a tape feeding device, a tape feeding method, an electro-optical device manufacturing apparatus, and an electro-optical device manufacturing method capable of successfully pulling the tape away from an object to be pressed when a process of pressing the tape is included. And a tape recycling method.
[0002]
[Prior art]
FIG. 10 is a configuration diagram illustrating an example of a conventional crimping apparatus (see, for example, Patent Document 1). The crimping apparatus 500 includes a tape supply reel 501 that supplies the nitroflon tape 1, a guide roller 503 that feeds the nitroflon tape 1 parallel to the surface of the liquid crystal display panel L placed on the index table 502, and a pitch roller 504. A tape recovery reel 505 for recovering the used nitoflon tape 1, tension rollers 506 and 507 provided between the tape supply reel 501 and the guide roller 503, the tape recovery reel 505 and the pitch roller 504, and a guide, respectively. An actuator 508 for moving the roller 503 up and down and a pressure device 509 for pressing the driver IC 7 are included.
[0003]
The pressurizing device 509 has a configuration in which a crimping head 511 is provided at the end of the piston rod of the air cylinder 510. The crimping head 511 has a built-in heater (not shown) for heating an ACF (anisotropic conductive film) interposed between the glass substrate G and the driver IC 7. The tape collection reel 505 includes a motor 512 for collecting the nitoflon tape 1 by rotating the reel. The tape feeding is performed by a pair of pitch rollers 504 provided downstream of the liquid crystal display panel L. The pitch roller 504 is driven and controlled by a stepping motor 513 and feeds the nitoflon tape 1 by a predetermined amount.
[0004]
The crimping apparatus 500 positions the nitroflon tape 1 supplied from the tape supply reel 501 on the driver IC 7 of the liquid crystal display panel L, and pressurizes and heats the driver IC 7 through the nitoflon tape 1 by the crimping head 511. When the main pressing of the driver IC 7 is completed, the upstream guide roller 503 is once lifted upward, and the nitroflon tape 1 adhered on the driver IC 7 is separated from the driver IC 7. Then, the new liquid crystal display panel L is moved to the pressurizing position by the index table 502, and a predetermined amount of nitroflon tape 1 is fed by the pitch roller 504, and the portion not subjected to pressurization is the driver IC 7 of the liquid crystal display panel L. Position on top. The moved nitoflon tape 1 is collected by the tape collection reel 505. In this pressure bonding apparatus 500, the nitroflon tape 1 is separated from the driver IC 7 by the vertical movement of the guide roller 503 and the nitoflon tape 1 is fed.
[0005]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Laid-Open No. 10-256316 (page 3 to page 4, [FIG. 1] to [FIG. 2])
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the conventional crimping device 500, the nitroflon tape 1 is separated from the upper surface of the driver IC 7 by the vertical movement of the guide roller 503. However, the guide roller 503 is in a position parallel to the liquid crystal display panel L, and from this position. If the nitflon tape 1 is separated, there is a problem that the nitflon tape 1 that is in close contact with the driver IC 7 is difficult to peel off. Specifically, as shown in FIG. 11, even if the guide roller 503 is moved upward, if the adhesion is strong, it is difficult to leave or not leave. In that case, the driver IC 7 is peeled off from the glass substrate G when the nitroflon tape 1 is sent or when the liquid crystal display panel is transferred by the index table 502.
[0007]
Therefore, the present invention has been made in view of the above, and an object thereof is to successfully pull the tape away from the object to be pressed.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, a tape feeder according to the present invention comprises a tape supply reel for supplying a tape interposed between a pressure surface of a pressure object and a pressure head of a pressure unit, and a pressure head. And a pressure roller that pressurizes the pressure object, a moving roller that moves substantially horizontally with the pressure surface of the pressure object, and that moves along with the moving roller, A first clamping unit for clamping the tape downstream of the moving roller, a second clamping unit for clamping the tape downstream of the moving roller and the first clamping unit, and winding the tape on a reel downstream of the second clamping unit And a tape feeding means for feeding out without any problem.
[0009]
In the present invention, first, a tape is supplied from the tape supply reel onto the pressing surface of the pressurizing object, and the pressurizing object is pressurized via the tape by the pressurizing head of the pressurizing unit. Then, while holding the tape by the second holding part and feeding the tape in the direction bent with respect to the moving direction by the moving roller, the first holding part is substantially horizontal to the pressing surface of the pressing object. Move with. Thereby, the tape is pulled away from the pressure surface in the bending direction as the moving roller moves. Next, the moving roller and the first clamping unit are returned by an amount necessary to ensure a predetermined tape feed amount. Then, the movable roller is returned to the original position together with the first clamping unit while the tape is clamped by the first clamping unit and the clamping of the tape by the second clamping unit is released. Thus, the tape can be pulled away from the pressing surface and sent in a predetermined direction. The second clamping unit and the tape feeding means may be integrated.
[0010]
A tape feeder according to the next invention includes a tape supply reel wound with a tape, and a pressure unit that is provided downstream of the tape supply reel and presses an object to be pressed between a pressure stage and a pressure head. And a moving roller that moves substantially horizontally with the pressing surface of the object to be pressed while guiding the tape, and the tape that is fed in a direction bent with respect to the moving direction by the moving roller is sandwiched between members that are operated by an actuator. A first clamping part provided with a guide roller downstream of the clamping part, and a second clamping part for clamping the tape with a member operated by an actuator downstream of the tape guided by the guide roller of the first clamping part A linear motion device that moves the moving roller and the first clamping part in a substantially horizontal direction with respect to the pressing surface with respect to the fixed second clamping part, and a tape provided downstream of the second clamping part, The Characterized in that a tape feed unit feeding without wrapped Lumpur.
[0011]
The tape feeder according to the next invention is characterized in that, in the above-described configuration, the tape feeder further comprises a discharge means for discharging gas to the pressure surface of the object to be pressed and a suction means for sucking the discharged gas. . When pressure is applied by sandwiching a tape between objects to be pressurized, if particles adhere to the pressure surface, the load concentrates on the pressure surface at the particle adhesion portion. For this reason, the particles on the pressure surface are removed by blowing particles with gas and sucking them. Thereby, favorable pressurization can be performed.
[0012]
The tape feeder according to the next invention is characterized in that, in the above configuration, a tape collection box for collecting only the tape is further provided downstream of the tape delivery means. By collecting only the tape, there is no need to remove the tape from the reel as in the conventional case, so that the tape can be easily recycled. The tape collection box may be anything as long as it can accept tape.
[0013]
In addition, an electro-optical device can be manufactured using any one of the pressure devices described above.
[0014]
In the tape feeding method according to the next invention, the tape is supplied from the tape supply reel onto the pressing surface of the pressing object, and the pressing object is pressed through the tape by the pressing head of the pressing unit. And a procedure of clamping the tape by the second clamping unit provided downstream of the moving roller and the first clamping unit, and adding the moving roller while feeding the tape in a direction bent with respect to the moving direction by the moving roller. The procedure of moving together with the first clamping unit that is substantially horizontal to the pressing surface of the object to be pressed and is not clamped with the tape, and the moving roller together with the first clamping unit is based on the tape feed amount and only the necessary amount A procedure of returning to the direction, a procedure of clamping the tape by the first clamping unit downstream of the moving roller and releasing the clamping of the tape by the second clamping unit, and the original position of the moving roller together with the first clamping unit To return to , Characterized in that it comprises a procedure for sending a tape.
[0015]
The tape feeding method according to the next invention is characterized in that, in the above configuration, the tape fed by the tape feeding method is separated and collected from the reel on which the tape is wound.
[0016]
In the tape recycling method according to the next invention, a tape is supplied from a tape supply reel onto a pressure surface of a pressure object, and the pressure object is pressurized via the tape by a pressure head of a pressure unit. And a procedure of clamping the tape by the second clamping unit provided downstream of the moving roller and the first clamping unit, and adding the moving roller while feeding the tape in a direction bent with respect to the moving direction by the moving roller. The procedure of moving together with the first clamping unit that is substantially horizontal to the pressing surface of the object to be pressed and is not clamped with the tape, and the moving roller together with the first clamping unit is based on the tape feed amount and only the necessary amount A procedure of returning to the direction, a procedure of clamping the tape by the first clamping unit downstream of the moving roller and releasing the clamping of the tape by the second clamping unit, and the original position of the moving roller together with the first clamping unit Back to Thus, it includes a procedure for feeding the tape, a procedure for collecting the tape sent by the tape feeding method separately from the reel on which the tape is wound, and a procedure for recycling the collected tape. .
[0017]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Note that the present invention is not limited to the embodiments. The constituent elements of this embodiment include those that can be easily replaced by those skilled in the art or those that are substantially the same.
[0018]
(Embodiment 1)
1 is a block diagram showing a crimping apparatus according to Embodiment 1 of the present invention. The crimping apparatus includes a tape supply reel 2 that winds and feeds the nitroflon tape 1, a tension roller 3 that applies tension to the nitroflon tape 1, a guide roller 4 that feeds the tape parallel to the pressing surface, An index table 5 for sequentially moving the liquid crystal display panel L to the pressurizing position T1, a liquid crystal display panel transfer mechanism 6 for sequentially supplying the liquid crystal display panel L to the index table 5 and carrying out the liquid crystal display panel L after pressurization; A pressurizing device 8 that pressurizes the driver IC 7, a tape feeding device 9 that sends the nitroflon tape 1 at regular intervals, and a tape collection box 10 that collects the sent nitflon tape 1.
[0019]
The nitoflon tape 1 is a tape-shaped tape made of a resin material such as Teflon (registered trademark), vinyl, rubber, paper, fiber, etc., and is usually supplied to the market in a state of being wound on a reel. Moreover, even if the nitflon tape 1 has been used, it can be reused by recycling.
[0020]
The index table 5 is provided with a vacuum suction device 13 having a suction port 11 opened on the table surface and a vacuum pump 12 connected to the suction port 11. The index table 5 is provided with a driving actuator 14. By the operation of the actuator 14, the liquid crystal display panel L placed on the upper surface is sent at regular intervals. The pressurizing device 8 has a configuration in which a crimping head 16 is provided at the end of the piston rod of the air cylinder 15. The crimping head 16 incorporates a heater 18 for heating the ACF 17 interposed between the glass substrate G and the driver IC 7.
[0021]
The tape feeding device 9 has two moving rollers 20 and 21 and two guide rollers 22 and 22 installed at four points, respectively, to guide the nitflon tape 1 in a convex shape with respect to the tape feeding direction. The moving rollers 20 and 21 are positioned on the upstream side, and a first holding part 23 for holding the nitoflon tape 1 is provided between the moving rollers 20 and 21. The first clamping part 23 is composed of an air cylinder 24 and a clamp head 25 provided at the tip thereof. The moving rollers 20 and 21 and the first clamping unit 23 are moved by the moving device 26. Specifically, the moving rollers 20 and 21 and the first clamping unit 23 are fixed on a moving plate 27. The moving plate 27 includes a ball screw 28 and a servo motor 29 (or a stepping motor), not shown. It moves parallel to the surface of the liquid crystal display panel L by the linear motion guidance.
[0022]
The second clamping unit 30 clamps the nitoflon tape 1 and is provided downstream of the two guide rollers 22 and 22. The 2nd clamping part 30 is comprised from the air cylinder 31 and the clamp head 32 provided in the front-end | tip. This 2nd clamping part 30 and the guide rollers 22 and 22 are being fixed to the bed side which is not illustrated of an apparatus. A delivery roller 33 that feeds the nitflon tape 1 is provided downstream of the second clamping unit 30. The delivery roller 33 drops the nitroflon tape 1 into the tape collection box 10 with the nitroflon tape 1 in between. The servo motor 29, the air cylinder 31 and the like are controlled by a control device 34.
[0023]
FIG. 2 is an explanatory view showing the operation of this pressurizing apparatus. First, as shown in FIG. 2A, the driver IC 7 of the liquid crystal display panel L placed on the index table 5 is pressurized and heated by the pressure bonding head 16. In the state before pressurization, the driver IC 7 is temporarily pressed onto the glass substrate G of the liquid crystal display panel L via the ACF 17. Further, the liquid crystal display panel L on the index table 5 is vacuum-sucked to the pressure surface by the vacuum suction device 13.
[0024]
Next, as shown in FIG. 2B, after pressurizing and heating for a predetermined time, the crimping head 16 is retracted upward, and the nitoflon tape 1 is subsequently removed by the clamp head 32 of the second clamping unit 30. At the same time, the moving device 9 moves the moving rollers 20 and 21 and the first clamping unit 23 to above the liquid crystal display panel L. At this time, the pressure-bonding head 16 moves up to a position where it does not interfere with the moving rollers 20 and 21 and the first clamping unit 23. On the other hand, prior to the movement of the moving rollers 20 and 21 and the first clamping unit 23, the second clamping unit 30 clamps the nitoflon tape 1. When the moving rollers 20 and 21 provided on the upper and lower sides are moved, the nitroflon tape 1 is sent upward by the moving rollers 20 and 21 and is in close contact with the upper surface of the driver IC 7 (a state where it is slightly adsorbed by pressure). Pulled away from.
[0025]
That is, as shown in FIG. 3, the moving rollers 20 and 21 move on the upper surface of the driver IC 7, and the nitroflon tape 1 is fed upward while being guided by the moving rollers 20 and 21. The feeding angle of the nitoflon tape 1 can be made large (90 degrees in this embodiment). Further, it is difficult to apply a force when pulling the nitoflon tape 1 between the driver IC 7 and the glass substrate G (specifically, the ACF 17). Empirically, the larger the angle, the easier it is to separate, so the angle is preferably 30 degrees or more, more preferably 70 degrees or more. Further, the moving rollers 20 and 21 should be designed so that they can escape somewhat upward when moving on the driver IC 7 so as not to apply an excessive load to the driver IC 7. On the contrary, when the moving rollers 20 and 21 do not contact the driver IC 7 via the nitroflon tape 1, the pulling force tends to be applied between the driver IC 7 and the glass substrate G. It is preferable that 21 be brought into contact or separated so as not to hinder.
[0026]
Next, as shown in FIG. 3C, after the nitroflon tape 1 is pulled away, the index table 5 is driven, and another liquid crystal display panel L is moved to the pressure position T1. Then, while the nitflon tape 1 is clamped by the second clamping unit 30, the moving rollers 20, 21 and the first clamping unit 23 are returned to their original directions and stopped at a predetermined position T2. In this state, the nitroflon tape 1 is positioned on the driver IC 7 of the liquid crystal display panel L, and the nitroflon tape 1 on the driver IC 7 is a portion subjected to pressure in the previous step. Subsequently, as shown in FIGS. 4D and 4E, the first clamping unit 23 clamps the nitflon tape 1 by the clamp head 25 and moves the moving rollers 20 and 21 and the first clamping unit 23 in the same direction as they are. , The nitoflon tape 1 is sent by the amount of movement. That is, the predetermined position T2 is a position away from the standby position T3 of the moving rollers 20 and 21, and the tape feed amount of the nitroflon tape 1 can be determined by changing the predetermined position T2.
[0027]
At the time of feeding the tape, the clamp head 32 of the second clamping unit 30 is in a state where the nitoflon tape 1 is opened. The used nitoflon tape 1 is fed out by the feed roller 33 and dropped into the tape collection box 10 installed below. The feeding roller 33 rotates with a torque that does not exceed the clamping force of the first clamping unit 23, and feeds the nitoflon tape 1 while applying tension to the tape feeding system. Then, the driver IC 7 is pressurized and heated by the pressure bonding head 16 through the nitroflon tape 1 in the same manner as described above. After that, by repeating the above-described procedure, the main pressing of the driver IC 7 in the temporarily press-bonded state can be continuously performed. Moreover, the nitoflon tape 1 dropped in the tape collection box 10 can be transferred to the recycling process as it is. In other words, since it is not a method of collecting the used nitroflon tape 1 while being wound around the reel as in the prior art, the labor of separating the nitoflon tape 1 from the reel is saved, and the recycling process is simplified.
[0028]
According to the above crimping apparatus 100, the moving rollers 20, 21 move on the driver IC 7, whereby the nitoflon tape 1 that is in close contact with the driver IC 7 can be pulled away, and the nitoflon tape 1 can be separated by the first clamping portion 23. Is clamped at a predetermined position T2, and then returned to the original standby position T3, the nitoflon tape 1 can be fed. For this reason, the nitoflon tape 1 can be continuously pulled and fed during the reciprocation of the moving rollers 20 and 21.
[0029]
In the first embodiment, the moving roller 21 and the guide roller 22 are disposed at a position higher than the tape feed reference height of the nitoflon tape 1. However, as shown in FIG. May be omitted, or the guide roller 22 may be omitted as shown in FIG. Further, another moving roller 21 and guide roller 22 may be provided at a position higher than the tape feed reference height (not shown). That is, if the nitroflon tape 1 is fed upward from the moving roller 20 having the tape feed reference height, the nitoflon tape 1 can be pulled away from the upper surface of the driver IC 7 by a predetermined angle. The number of rollers is not limited to the above number.
[0030]
Further, in the first embodiment, the feeding roller 33 has a function of only tape feeding. However, as shown in FIG. 5, the unevenness 35 that bites the nitroflon tape 1 into the roller surface of the feeding roller 33. The roller 33 may be controlled to rotate by a servo motor 36 or a stepping motor so that the function of the second clamping unit 30 is provided. That is, when the nitflon tape 1 is fed, the feeding roller 33 is rotated with a predetermined torque, and the feeding roller 33 is not rotated by a brake device (not shown) while the moving rollers 20 and 21 and the first clamping unit 23 are moving. To fix. Thereby, it is possible to have substantially the same function as the second clamping unit 30.
[0031]
(Embodiment 2)
FIG. 6 is a block diagram showing a crimping apparatus according to Embodiment 2 of the present invention. The crimping apparatus 200 is characterized in that an attached matter removing device 40 for removing attached matter P such as dust and dust attached to the moving plate 27 on the driver IC 7 of the liquid crystal display panel L is provided. This is the same as in the first embodiment, and a description thereof is omitted. The moving plate 27 of the crimping apparatus 200 includes an air ejection device 42 in which the air ejection port 41 faces the surface of the driver IC 7 of the liquid crystal display panel L, and an air suction device 43 that sucks the ejected air. Yes. The air suction device 43 has a suction port 44 that opens toward the surface of the driver IC 7, and sucks air ejected from the ejection port 41.
[0032]
The air ejection device 42 includes a compressor 45 that takes in and compresses ambient air, and an air nozzle 46 that is deformed flexibly and sends compressed air. On the other hand, the air suction device 43 includes a pump 47 and an air nozzle 48. The air nozzles 46 and 48 of the air ejection device 42 and the air suction device 43 are fixed to the moving plate 27 and move together with the moving rollers 20 and 21 and the first clamping unit 23. As shown in FIG. 6, when the Nittofuron tape 1 is pulled away from the upper surface of the driver IC 7 and the next liquid crystal display panel L is transferred, there is an attachment P such as dust on the surface of the driver IC 7. The load concentrates on the portion of the kimono P. Therefore, in this procedure, the air is ejected from the ejection port 41 of the air ejection device 42 toward the surface of the driver IC 7 and the air is sucked from the suction port 44. Thereby, the deposit P on the surface of the driver IC 7 is sucked together with the air by the air suction device 43 and supplemented by a filter (not shown).
[0033]
Thus, if it attracts | sucks with the air suction device 43, it can prevent that the deposits P, such as the dust blown off, scatter around the crimping | compression-bonding apparatus 200, and adhere again on the driver IC7. Further, the ejection port 41 of the air ejection device 42 and the suction port 44 of the air suction device 43 are fixed to the moving plate 27 and move on the surface of the driver IC 7 as the moving plate 27 moves. That is, the nozzle tip of the jet nozzle 41 is squeezed small to increase the flow velocity, thereby performing spot-like powerful jetting, and scanning the surface of the driver IC 7 to perform powerful air jetting over the entire surface of the driver IC 7. Can do. Further, since the suction port 44 moves together with the jet port 41, air suction can be performed reliably.
[0034]
As mentioned above, according to this crimping | compression-bonding apparatus 200, the state where a load concentrates on a part of driver IC7 resulting from the deposit P can be avoided. For this reason, it is possible to prevent the driver IC 7 from being damaged during the crimping process. The ejection port 41 of the air ejection device 42 and the suction port 44 of the air suction device 43 are fixed to the moving plate 27 and moved together with the moving rollers 20 and 21, but may be fixed so as not to move. .
[0035]
(Embodiment 3)
FIG. 7 is a block diagram showing an ACF attaching apparatus according to Embodiment 3 of the present invention. The ACF adhering apparatus 300 has substantially the same configuration as that of the crimping apparatus 100 of the first embodiment, but a layered tape 301 having an ACF layer 304 provided on a separator 303 as shown in FIG. It is characterized in that a tape cutter 302 for cutting is provided. In this pressure bonding apparatus 300, the layered tape 301 is wound around the tape supply reel 2, and the ACF 304a is supplied onto the glass substrate G of the liquid crystal display panel L. The ACF layer 304 is cut to a predetermined length by a tape cutter 302 provided on the upstream side of the liquid crystal display panel L. The tape cutter 302 has a configuration in which a cutter 306 is provided at the tip of the shaft of an actuator 305 that moves in a piston motion.
[0036]
FIG. 9 is an explanatory diagram showing the operation of this ACF pasting apparatus. In this ACF adhering apparatus 300, as shown in FIG. 5A, when the layered tape 301 is supplied from the tape supply reel 2 and passes through the guide roller 4, it is half-cut by the tape cutter 302, and the ACF layer Only 304 is divided into a predetermined length (ACF 304a). Subsequently, as shown in FIG. 5B, the layered tape 301 is fed and pressure is applied by the pressure head 16 at the pressure position T1. As a result, the ACF 304a moves from the separator 303 to the glass substrate G, and the ACF 304a is stuck on the glass substrate G. In this state, the ACF 304a is attached to both the glass substrate G and the separator 303, and it is necessary to separate the separator 303 from the ACF 304a. Next, as shown in FIG. 3C, the moving rollers 20 and 21 and the first clamping unit 23 are moved in the direction of the glass substrate G, and the separator 303 is moved upward from the tape feed reference height. At this time, the diameter of the moving roller 20 is preferably relatively small. This is because the separator 303 holds the divided ACF 304a to be attached to the glass substrate G next, and if the roller diameter is large, the adjacent ACF 304a is peeled off. The roller diameter of the moving roller 20 is, for example, about 3 mm.
[0037]
Next, the index table 5 is rotated, and a new glass substrate G is transferred to the pressure position. Subsequently, as shown in FIG. 4D, the moving roller 20 and the first clamping part 23 are returned to their original directions, and the separator 303 is clamped by the first clamping part 23 at a predetermined position T2. At the same time, the second clamping unit 30 is opened. Then, as shown in FIG. 5E, the moving rollers 20 and 21 and the first clamping unit 23 are moved by the tape feed amount, and the layered tape 301 is fed. The delivery roller 33 rotates with a predetermined torque and delivers the separator 303 to the outside. As a result, the next ACF 304a is positioned on the glass substrate G of the new liquid crystal display panel L. Thus, the ACF 304a is stuck on the glass substrate G by pressing the separator 303 together with the pressure head 16 as described above.
[0038]
As described above, according to the ACF adhering apparatus 300, the ACF 304 a can be adhered to the glass substrate G and the layered tape 301 can be continuously fed in the reciprocating process of the moving rollers 20 and 21.
[0039]
As described above, in Embodiments 1 to 3, the nitoflon tape and the ACF layered tape have been exemplified and described, but the type of the tape is not limited thereto. For example, the pressurizing apparatus described in FIG. 1 can be applied to an apparatus that requires heat and pressure.
In addition, the tape feeding device, the tape feeding method, and the tape recycling method of the present invention are not limited to the above-described liquid crystal device manufacturing method and manufacturing device, but can be applied to other electro-optical device manufacturing methods and manufacturing apparatuses. , For example, electroluminescence devices, especially organic electroluminescence devices, inorganic electroluminescence devices, plasma display devices, FED (field emission display) devices, LED (light emitting diode) display devices, electrophoretic display devices, thin cathode ray tubes, It can be used for manufacturing methods and manufacturing apparatuses of various electro-optical devices such as a small television using a liquid crystal shutter or the like, and a device using a digital micromirror device (DMD).
[0040]
【The invention's effect】
As described above, in the tape feeding apparatus and method of the present invention, the tape can be pulled away from the pressing surface at a time and fed in a predetermined direction.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration diagram showing a crimping apparatus according to Embodiment 1 of the present invention.
FIG. 2 is an explanatory view showing the operation of this pressurizing device.
FIG. 3 is an explanatory view showing a state where the nitoflon tape is pulled away.
4 is a configuration diagram showing a modification of the crimping apparatus shown in FIG. 1. FIG.
FIG. 5 is a configuration diagram showing a modification of the crimping apparatus shown in FIG. 1;
FIG. 6 is a configuration diagram showing a crimping apparatus according to Embodiment 2 of the present invention.
FIG. 7 is a configuration diagram showing an ACF pasting apparatus according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a cross-sectional view showing a configuration of a layered tape.
FIG. 9 is an explanatory diagram showing the operation of the ACF pasting apparatus.
FIG. 10 is a configuration diagram showing an example of a conventional crimping apparatus.
FIG. 11 is an explanatory view showing a state where the nitoflon tape is pulled away.
[Explanation of symbols]
1 Nitoflon tape
2 Tape supply reel
4 Guide roller
7 Driver IC
8 Pressurizer
9 Mobile device
10 Tape collection box
16 Crimping head (pressure head)
20, 21 Moving roller
22 Guide roller
23 First clamping part
26 Mobile device
27 Moving plate
29 Servo motor
30 Second clamping part
33 Sending roller
34 Control device
L LCD panel
T1 pressure position
T2 predetermined position
T3 standby position

Claims

A tape supply reel for supplying a tape to be interposed between a pressure surface of a pressure object and a pressure head;
A pressure unit that pressurizes the object to be pressed by the pressure head;
A moving roller that moves substantially horizontally with the pressing surface of the pressing object and that feeds the tape in a direction bent with respect to the moving direction;
A first clamping unit that moves with the moving roller and clamps the tape downstream of the moving roller;
A second clamping unit for clamping the tape downstream of the moving roller and the first clamping unit;
A tape delivery means for delivering the tape downstream of the second clamping unit without winding it on a reel;
A crimping apparatus comprising:

A tape supply reel wound with a tape;
A pressure unit that is provided downstream of the tape supply reel and pressurizes an object to be pressed between a pressure stage and a pressure head;
A moving roller that moves substantially horizontally with the pressure surface of the pressure object while guiding the tape;
A first clamping unit provided with a guide roller provided downstream of the sandwiched portion, with the tape fed in a direction bent with respect to the moving direction by the moving roller being sandwiched between members operated by an actuator;
Downstream of the tape guided by the guide roller of the first clamping unit, a second clamping unit that clamps the tape with a member that operates by an actuator;
A linear motion device that moves the moving roller and the first clamping unit in a substantially horizontal direction with respect to the pressing surface with respect to the fixed second clamping unit;
A tape delivery means provided downstream of the second sandwiching portion and delivering the tape without winding it on a reel;
A crimping apparatus comprising:

The pressure bonding apparatus according to claim 1, further comprising: a discharge unit that discharges gas to a pressurizing surface of the pressurization target; and a suction unit that sucks the discharged gas.

The crimping apparatus according to any one of claims 1 to 3, further comprising a tape collection box for collecting only the tape downstream of the tape feeding means.

An electro-optical device manufacturing apparatus using the crimping device according to claim 1.