JP2004102052A

JP2004102052A - Tape feeder, tape feeding method, manufacturing method and manufacture equipment of electro-optical device, and tape recycle method

Info

Publication number: JP2004102052A
Application number: JP2002265735A
Authority: JP
Inventors: Hisao Osawa; 大澤　久男
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2002-09-11
Filing date: 2002-09-11
Publication date: 2004-04-02
Anticipated expiration: 2022-09-11
Also published as: JP4228636B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To pull and separate a tape well from a pressurization object. <P>SOLUTION: A Nitflon (R) tape 1 is supplied onto a pressurization surface of a driver IC 7 from a tape supplying reel 2 and the driver IC 7 is pressurized via the Nitflon tape 1 by a pressing head 16. The Nitflon tape 1 is held by transfer rollers 20 and 21 and a second holding part 30 provided on a downstream side of a first holding part 23 and the transfer rollers 20 and 21 are transferred to be nearly parallel to the pressurization surface of the driver IC 7 together with the first holding part 23 in a state that the first holding part does not hold the tape while the tape is fed in the direction curved from the transfer direction by the transfer rollers 20 and 21. The transfer rollers 20 and 21 are transferred back in the original direction together with the first holding part 23 by the required quantity based on a tape feeding quantity and the Nitflon tape 1 is held by the first holding part 23 at the position. Holding of the second holding part 30 is released and the transfer rollers 20 and 21 are transferred back to the original position together with the first holding part 23 to feed the Nitflon tape 1. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、テープを加圧する過程が含まれる場合にこのテープを加圧対象物から上手に引き離すことができるテープ送り装置、テープ送り方法、電気光学装置の製造装置および電気光学装置の製造方法、並びにテープリサイクル方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１０は、従来の圧着装置の一例を示す構成図である（例えば、特許文献１参照）。この圧着装置５００は、ニトフロンテープ１を供給するテープ供給リール５０１と、インデックステーブル５０２上に載せた液晶表示パネルＬの面に対して平行にニトフロンテープ１を送るガイドローラ５０３およびピッチローラ５０４と、使用済みのニトフロンテープ１を回収するテープ回収リール５０５と、テープ供給リール５０１及びガイドローラ５０３、テープ回収リール５０５及びピッチローラ５０４との間に夫々設けたテンションローラ５０６，５０７と、ガイドローラ５０３を上下移動させるためのアクチュエータ５０８と、ドライバＩＣ７を加圧する加圧装置５０９とを有する。
【０００３】
加圧装置５０９は、エアシリンダー５１０のピストンロッド端部に圧着ヘッド５１１を設けた構成である。圧着ヘッド５１１には、ガラス基板ＧとドライバＩＣ７との間に介在するＡＣＦ（異方導電性フィルム：Ａｎｉｓｏｔｏｒｏｐｉｃ　Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ　Ｆｉｌｍ）を加熱するためのヒータが内蔵されている（図示省略）。テープ回収リール５０５は、リールを回転させてニトフロンテープ１を回収するためのモータ５１２を備えている。また、テープ送りは、液晶表示パネルＬの下流に設けた一対のピッチローラ５０４により行う。ピッチローラ５０４は、ステッピングモータ５１３により駆動制御され、ニトフロンテープ１を所定量送る。
【０００４】
この圧着装置５００は、テープ供給リール５０１から供給されたニトフロンテープ１を液晶表示パネルＬのドライバＩＣ７上に位置させ、圧着ヘッド５１１によりニトフロンテープ１を介してドライバＩＣ７を加圧加熱する。ドライバＩＣ７の本圧着が完了したら、上流側のガイドローラ５０３を上方に一旦持ち上げ、ドライバＩＣ７上に密着したニトフロンテープ１を当該ドライバＩＣ７から引き離す。そして、インデックステーブル５０２により新たな液晶表示パネルＬを加圧位置に移動させると共に、ピッチローラ５０４により所定量ニトフロンテープ１を送り、加圧に供していない部分を当該液晶表示パネルＬのドライバＩＣ７上に位置させる。移動したニトフロンテープ１は、テープ回収リール５０５により回収される。この圧着装置５００では、ガイドローラ５０３の上下移動によりニトフロンテープ１をドライバＩＣ７から引き離すと共にニトフロンテープ１の送り動作を行うようにしている。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１０−２５６３１６号公報（第３頁―第４頁、［図１］―［図２］）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の圧着装置５００では、ガイドローラ５０３の上下移動によりニトフロンテープ１をドライバＩＣ７の上面から引き離しているが、ガイドローラ５０３が液晶表示パネルＬと平行な位置に在り、この位置からニトフロンテープ１を引き離すとなれば、ドライバＩＣ７に密着しているニトフロンテープ１がはがれ難いという問題点がある。具体的には、図１１に示すように、ガイドローラ５０３を上方に移動しても密着力が強いと、離れ難く或いは離れないままになる。その場合、ニトフロンテープ１を送る際やインデックステーブル５０２により液晶表示パネルを移送する際に、ドライバＩＣ７がガラス基板Ｇから剥がれてしまう。
【０００７】
そこで、この発明は、上記に鑑みてなされたものであって、加圧対象物からテープを上手く引き離すことを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、この発明によるテープ送り装置は、加圧対象物の加圧面と加圧部の加圧ヘッドとの間に介在させるテープを供給するテープ供給リールと、加圧ヘッドにより加圧対象物を加圧する加圧部と、加圧対象物の加圧面と略水平に移動すると共に、移動方向に対して曲げた方向にテープを送る移動ローラと、移動ローラと共に移動し且つ移動ローラの下流でテープを挟持する第一挟持部と、移動ローラ及び第一挟持部の下流で前記テープを挟持する第二挟持部と、第二挟持部の下流に前記テープをリールに巻くことなく送り出すテープ送出手段とを備えたことを特徴とする。
【０００９】
この発明では、まず、テープ供給リールから加圧対象物の加圧面上にテープを供給し、加圧部の加圧ヘッドにより前記加圧対象物を、前記テープを介して加圧する。そして、第二挟持部により前記テープを挟持し、移動ローラによって移動方向に対して曲げた方向にテープを送りながら、当該移動ローラを加圧対象物の加圧面と略水平に且つ第一挟持部と共に移動させる。これにより、移動ローラの移動に伴い、前記加圧面から前記曲げ方向にテープが引き離される。次に、所定のテープの送り量を確保するのに必要な量だけ、前記移動ローラ及び第一挟持部を戻す。そして、第一挟持部によりテープを挟持し且つ第二挟持部によるテープの前記挟持を解いた状態で、前記移動ローラを第一挟持部と共にもとの位置に戻す。これにより、テープを加圧面から引き離すと共に所定方向に送ることができる。なお、前記第二挟持部とテープ送出手段は、一体構成であっても良い。
【００１０】
つぎの発明によるテープ送り装置は、テープを巻回したテープ供給リールと、テープ供給リールの下流に設けられ、加圧ステージと加圧ヘッドの間に加圧対象物を挟んで加圧する加圧部と、テープを案内しつつ加圧対象物の加圧面と略水平に移動する移動ローラと、移動ローラにて移動方向に対して曲げた方向に送られたテープをアクチュエータにより動作する部材で挟むと共に、その挟持部分の下流に案内ローラを設けた第一挟持部と、前記第一挟持部の案内ローラで案内されたテープの下流にて、当該テープをアクチュエータにより動作する部材で挟む第二挟持部と、前記移動ローラおよび第一挟持部を、固定状態の前記第二挟持部に対して前記加圧面と略水平方向に移動させる直動装置と、第二挟持部の下流に設けられ、前記テープをリールに巻くことなく送り出すテープ送出手段とを備えたことを特徴とする。
【００１１】
つぎの発明によるテープ送り装置は、上記構成において、更に、加圧対象物の加圧面に対して気体を吐出する吐出手段と、吐出した気体を吸引する吸引手段とを備えたことを特徴とする。加圧対象物の間にテープを挟んで加圧する場合、加圧面にパーティクルが付着していると、パーティクルの付着部分で加圧面に荷重が集中する。このため、気体によりパーティクルを飛ばし、これを吸引することで加圧面上のパーティクルを除去する。これにより、良好な加圧を行うことができる。
【００１２】
つぎの発明によるテープ送り装置は、上記構成において、更に、前記テープ送出手段の下流に、テープのみを回収するテープ回収箱を設けたことを特徴とする。テープのみ回収することで、従来のようにリールからテープを取り外す手間がなくなるので、テープのリサイクルが簡単になる。なお、テープ回収箱は、テープを受け入れることができれば、どのようなものでも良い。
【００１３】
また、上記いずれか一つに記載の加圧装置を用いて電気光学装置の製造を行うこともできる。
【００１４】
つぎの発明によるテープ送り方法は、テープ供給リールから加圧対象物の加圧面上にテープを供給し、加圧部の加圧ヘッドにより前記加圧対象物を、前記テープを介して加圧する手順と、移動ローラ及び第一挟持部の下流に設けた第二挟持部により前記テープを挟持する手順と、移動ローラにより移動方向に対して曲げた方向に前記テープを送りながら、当該移動ローラを加圧対象物の加圧面と略水平に且つテープ挟持してない状態の第一挟持部と共に移動する手順と、前記移動ローラを第一挟持部と共に、テープ送り量に基づいて必要量だけもとの方向に戻す手順と、移動ローラの下流にて第一挟持部によりテープを挟持し、且つ第二挟持部によるテープの前記挟持を解く手順と、前記移動ローラを第一挟持部と共にもとの位置に戻すことで、テープを送る手順とを含むことを特徴とする。
【００１５】
つぎの発明によるテープ送り方法は、上記構成において、前記テープ送り方法により送られたテープをこのテープが巻かれていたリールと分別して回収することを特徴とする。
【００１６】
つぎの発明によるテープリサイクル方法は、テープ供給リールから加圧対象物の加圧面上にテープを供給し、加圧部の加圧ヘッドにより前記加圧対象物を、前記テープを介して加圧する手順と、移動ローラ及び第一挟持部の下流に設けた第二挟持部により前記テープを挟持する手順と、移動ローラにより移動方向に対して曲げた方向に前記テープを送りながら、当該移動ローラを加圧対象物の加圧面と略水平に且つテープ挟持してない状態の第一挟持部と共に移動する手順と、前記移動ローラを第一挟持部と共に、テープ送り量に基づいて必要量だけもとの方向に戻す手順と、移動ローラの下流にて第一挟持部によりテープを挟持し、且つ第二挟持部によるテープの前記挟持を解く手順と、前記移動ローラを第一挟持部と共にもとの位置に戻すことで、テープを送る手順と、テープ送り方法により送られたテープをこのテープが巻かれていたリールと分別して回収する手順と、前記回収したテープをリサイクルする手順とを含むことを特徴とする。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、この発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。また、この実施の形態の構成要件には、当業者により置換可能かつ容易なもの、或いは実質的に同一のものが含まれる。
【００１８】
（実施の形態１）
図１は、この発明の実施の形態１に係る圧着装置を示す構成図である。この圧着装置は、ニトフロンテープ１を巻回し且つテープを送り出すテープ供給リール２と、ニトフロンテープ１に張力を与えるテンションローラ３と、加圧面と平行にテープを送るためのガイドローラ４と、液晶表示パネルＬを加圧位置Ｔ１に順次移動させるインデックステーブル５と、液晶表示パネルＬを順番にインデックステーブル５に供給し且つ加圧後の液晶表示パネルＬを運び出す液晶表示パネル移送機構６と、ドライバＩＣ７を加圧する加圧装置８と、ニトフロンテープ１を一定間隔で送るテープ送り装置９と、送り出したニトフロンテープ１を回収するテープ回収箱１０とを有する。
【００１９】
ニトフロンテープ１は、例えばテフロン（登録商標）・ビニール・ゴム等の樹脂系、紙、繊維などの材料からなるテープ状のものであり、通常リールに巻かれた状態で市場供給されている。また、ニトフロンテープ１は使用済みであっても、リサイクルにより再利用できる。
【００２０】
インデックステーブル５には、テーブル面に開口した吸引口１１と、これに繋がる真空ポンプ１２とを有する真空吸着装置１３が設けられている。また、インデックステーブル５には、駆動用のアクチュエータ１４が設けられている。アクチュエータ１４の動作により、上面に載せられた液晶表示パネルＬが一定間隔で送られる。加圧装置８は、エアシリンダー１５のピストンロッド端部に圧着ヘッド１６を設けた構成である。圧着ヘッド１６には、ガラス基板ＧとドライバＩＣ７との間に介在するＡＣＦ１７を加熱するためのヒータ１８が内蔵されている。
【００２１】
テープ送り装置９は、２つの移動ローラ２０，２１および２つのガイドローラ２２，２２を夫々４点に設置し、ニトフロンテープ１をテープ送り方向に対して凸形状に案内する。移動ローラ２０，２１は、上流側に位置され且つこの移動ローラ２０，２１の間には、ニトフロンテープ１を挟持する第一挟持部２３が設けられている。第一挟持部２３は、エアシリンダー２４と、その先端に設けたクランプヘッド２５とから構成されている。移動ローラ２０，２１および第一挟持部２３は、移動装置２６により移動される。具体的には、これら移動ローラ２０，２１および第一挟持部２３は移動プレート２７上に固定されており、この移動プレート２７は、ボールねじ２８及びサーボモータ２９（又はステッピングモータ）と、図示しない直動案内とにより液晶表示パネルＬの面に平行に移動する。
【００２２】
第二挟持部３０は、ニトフロンテープ１を挟持すると共に、２つのガイドローラ２２，２２の下流に設けられる。第二挟持部３０は、エアシリンダー３１と、その先端に設けたクランプヘッド３２とから構成されている。この第二挟持部３０およびガイドローラ２２，２２は、装置の図示しないベッド側に固定されている。また、第二挟持部３０の下流には、ニトフロンテープ１を送り出す送出ローラ３３が設けられている。送出ローラ３３は、ニトフロンテープ１を間に挟んでテープ回収箱１０内にニトフロンテープ１を落とし込む。前記サーボモータ２９やエアシリンダー３１等は、制御装置３４により制御される。
【００２３】
図２は、この加圧装置の動作を示す説明図である。まず、同図（ａ）に示すように、インデックステーブル５上に載置した液晶表示パネルＬのドライバＩＣ７を圧着ヘッド１６により加圧加熱する。なお、加圧前の状態では、液晶表示パネルＬのガラス基板Ｇ上にはＡＣＦ１７を介してドライバＩＣ７が仮圧着されている。また、インデックステーブル５上の液晶表示パネルＬは、真空吸着装置１３により加圧面に対して真空吸着されている。
【００２４】
次に、同図（ｂ）に示すように、所定時間加圧および加熱を行った後、圧着ヘッド１６を上方に退避させ、引き続き、第二挟持部３０のクランプヘッド３２によりニトフロンテープ１を挟持すると共に、移動装置９により移動ローラ２０，２１及び第一挟持部２３を液晶表示パネルＬの上まで移動させる。このとき、圧着ヘッド１６は、移動ローラ２０，２１及び第一挟持部２３と干渉しない位置まで上昇する。一方、移動ローラ２０，２１及び第一挟持部２３の移動に先立ち、第二挟持部３０はニトフロンテープ１をクランプしておく。上下に設けた移動ローラ２０，２１が移動することで、当該移動ローラ２０，２１によりニトフロンテープ１が上方に送られ、ドライバＩＣ７の上面に若干密着した状態（加圧により若干吸着した状態）から引き離される。
【００２５】
即ち、図３に示すように、移動ローラ２０，２１は、ドライバＩＣ７の上面を移動し、且つこの移動ローラ２０，２１にガイドされつつニトフロンテープ１が上方に送られるため、ドライバＩＣ７の面に対するニトフロンテープ１の送り角度を大きくとることができる（この実施の形態では９０度）。また、ニトフロンテープ１を引き離すときの力が、ドライバＩＣ７とガラス基板Ｇとの間（具体的にはＡＣＦ１７）に加わり難い。経験的には、この角度が大きいほうが引き離しやすいので、好ましくは３０度以上、更に好ましくは７０度以上とする。また、移動ローラ２０，２１は、ドライバＩＣ７に無理な荷重を与えないように、ドライバＩＣ７上を移動するときは、多少上方に逃げられるように設計しておくほうが良い。逆に、移動ローラ２０，２１がドライバＩＣ７に対してニトフロンテープ１を介して接触しない場合は、引き離す力がドライバＩＣ７とガラス基板Ｇとの間に加わる傾向になるので、なるべく移動ローラ２０，２１を接触させるか或いは支障のない程度離すようにするのが好ましい。
【００２６】
次に、同図（ｃ）に示すように、ニトフロンテープ１を引き離した後、インデックステーブル５を駆動し、別の液晶表示パネルＬを加圧位置Ｔ１まで移動させる。そして、第二挟持部３０によりニトフロンテープ１をクランプしたまま、移動ローラ２０，２１及び第一挟持部２３を元の方向に戻し、所定位置Ｔ２で停止させる。この状態でニトフロンテープ１は、液晶表示パネルＬのドライバＩＣ７上に位置し、且つこのドライバＩＣ７上のニトフロンテープ１は、先の工程で加圧に供した部分である。続いて、同図（ｄ）および（ｅ）に示すように、第一挟持部２３はクランプヘッド２５によりニトフロンテープ１を挟持し、そのまま同方向に移動ローラ２０，２１および第一挟持部２３を移動させることで、ニトフロンテープ１をその移動量だけ送る。即ち、前記所定位置Ｔ２は、移動ローラ２０，２１の待機位置Ｔ３からテープ送り量離れた位置であり、この所定位置Ｔ２を設定変更することでニトフロンテープ１のテープ送り量を決定できる。
【００２７】
なお、このテープ送り時には、第二挟持部３０のクランプヘッド３２はニトフロンテープ１を開放した状態となる。使用済みのニトフロンテープ１は、送出ローラ３３により送り出され、下方に設置したテープ回収箱１０内に落とされる。なお、送出ローラ３３は、第一挟持部２３の挟持力を超えない程度のトルクをもって回転し、テープ送り系統にテンションを加えつつ当該ニトフロンテープ１の送り出しを行う。そして、上記同様に圧着ヘッド１６によりニトフロンテープ１を介してドライバＩＣ７を加圧加熱する。なお、この後は上記した手順を繰り返すことで、仮圧着状態のドライバＩＣ７の本圧着を連続的に行うことができる。また、テープ回収箱１０内に落とされたニトフロンテープ１は、そのままリサイクル工程に移すことができる。即ち、従来のように使用済みのニトフロンテープ１をリールに巻きつけながら回収する方式ではないため、リールからニトフロンテープ１を分離する手間が省け、リサイクル工程が簡単になる。
【００２８】
以上の圧着装置１００によれば、移動ローラ２０，２１がドライバＩＣ７上を移動することで、ドライバＩＣ７に密着したニトフロンテープ１を引き離すことができ、且つ第一挟持部２３によりニトフロンテープ１を所定位置Ｔ２にてクランプし、更に元の待機位置Ｔ３に戻すことでニトフロンテープ１を送ることができる。このため、ニトフロンテープ１の引き離し及び送りを移動ローラ２０，２１の往復過程で連続的に行うことができる。
【００２９】
なお、上記実施の形態１において、ニトフロンテープ１のテープ送り基準高より高い位置に移動ローラ２１およびガイドローラ２２が配置されているが、図４の（ａ）に示すように、移動ローラ２１を省略しても良いし、（ｂ）に示すように、ガイドローラ２２を省略しても良い。また、テープ送り基準高より高い位置に、更に別の移動ローラ２１及びガイドローラ２２を設けても良い（図示省略）。即ち、テープ送り基準高の移動ローラ２０から上方にニトフロンテープ１を送るようにすれば、ドライバＩＣ７上面から当該ニトフロンテープ１を所定角度で引き離すことができるので、テープ送り基準高より高い位置のローラ数は上記数に限定されない。
【００３０】
また、上記実施の形態１では送出ローラ３３は単にテープ送りのみの機能を有しているが、図５に示すように、送出ローラ３３のローラ表面にニトフロンテープ１を噛み込むような凹凸３５を設け、このローラ３３をサーボモータ３６またはステッピングモータにより回転制御することで、第二挟持部３０の機能を持たせるようにしても良い。即ち、ニトフロンテープ１の送り時は、所定トルクで送出ローラ３３を回転させ、上記移動ローラ２０，２１及び第一挟持部２３の移動中は、この送出ローラ３３を図示しないブレーキ装置により回転しないように固定する。これにより、事実上、第二挟持部３０と同じ機能を持ち合わせることができる。
【００３１】
（実施の形態２）
図６は、この発明の実施の形態２に係る圧着装置を示す構成図である。この圧着装置２００は、移動プレート２７に液晶表示パネルＬのドライバＩＣ７上に付着したゴミや塵等の付着物Ｐを除去する付着物除去装置４０を設けた点が特徴であり、その他の構成は上記実施の形態１と同様でありその説明は省略する。この圧着装置２００の移動プレート２７は、エアの噴出口４１が液晶表示パネルＬのドライバＩＣ７面に対して向いているエア噴出装置４２と、噴出したエアを吸引するエア吸引装置４３を有している。エア吸引装置４３は、ドライバＩＣ７の面に向かって吸引口４４が開口しており、噴出口４１から噴出したエアを吸引する。
【００３２】
エア噴出装置４２は、周囲の空気を取り入れて圧縮する圧縮機４５と、フレキシブルに変形し、圧縮空気を送るエアノズル４６から構成される。一方、エア吸引装置４３は、ポンプ４７とエアノズル４８とから構成される。このエア噴出装置４２と、エア吸引装置４３のそれぞれのエアノズル４６，４８は、移動プレート２７に固定されており、移動ローラ２０，２１及び第一挟持部２３と共に移動する。図６に示すように、ニトフロンテープ１をドライバＩＣ７の上面から引き離し、次の液晶表示パネルＬを移送した場合において、ドライバＩＣ７の面上にゴミ等の付着物Ｐが存在するとき、この付着物Ｐの部分に荷重が集中してしまう。このため、当該手順において、エア噴出装置４２の噴出口４１から、ドライバＩＣ７の面上に向かって噴出し、そのエアを吸引口４４から吸引する。これにより、ドライバＩＣ７面上の付着物Ｐがエアと共にエア吸引装置４３で吸引され、図示しないフィルターで補足される。
【００３３】
このようにエア吸引装置４３により吸引すれば、吹き飛ばした塵等の付着物Ｐが圧着装置２００の周囲に飛散して再びドライバＩＣ７上に付着するのを防止できる。更に、エア噴出装置４２の噴出口４１およびエア吸引装置４３の吸引口４４は、移動プレート２７に固定されており、移動プレート２７の移動に伴ってドライバＩＣ７の面上を移動する。即ち、噴出口４１のノズル先端を小さく絞って流速を高めることでスポット的に強力な噴出を行うと共に、ドライバＩＣ７の面を走査することで当該ドライバＩＣ７全面に対して強力なエア噴出を行うことができる。また、この噴出口４１と共に吸引口４４が移動するので、エア吸引も確実に行える。
【００３４】
以上より、この圧着装置２００によれば、付着物Ｐに起因してドライバＩＣ７の一部分に荷重が集中する状態を回避できる。このため、圧着過程でドライバＩＣ７が破損するのを防止できる。このエア噴出装置４２の噴出口４１およびエア吸引装置４３の吸引口４４は、移動プレート２７に固定して移動ローラ２０，２１等と共に移動するようにしたが、移動しないように固定しても良い。
【００３５】
（実施の形態３）
図７は、この発明の実施の形態３に係るＡＣＦ貼り付け装置を示す構成図である。このＡＣＦ貼り付け装置３００は、上記実施の形態１の圧着装置１００と略同様の構成であるが、図８に示すような、セパレータ３０３上にＡＣＦ層３０４を設けた層状テープ３０１を所定の長さにカットするテープカッター３０２が設けられている点に特徴がある。この圧着装置３００では、層状テープ３０１をテープ供給リール２に巻回し、ＡＣＦ３０４ａごと液晶表示パネルＬのガラス基板Ｇ上に供給する。このＡＣＦ層３０４は、液晶表示パネルＬの上流側に設けたテープカッター３０２により所定長さにカットされる。テープカッター３０２は、ピストン運動するアクチュエータ３０５の軸の先端にカッター３０６を設けた構成である。
【００３６】
図９は、このＡＣＦ貼り付け装置の動作を示す説明図である。このＡＣＦ貼り付け装置３００では、同図（ａ）に示すように、テープ供給リール２から層状テープ３０１が供給され、ガイドローラ４を通過したところで、前記テープカッター３０２によりハーフカット処理され、ＡＣＦ層３０４のみが所定長さに分断される（ＡＣＦ３０４ａ）。続いて、同図（ｂ）に示すように、層状テープ３０１を送り、加圧位置Ｔ１にて加圧ヘッド１６による加圧を行う。これにより、ＡＣＦ３０４ａがセパレータ３０３からガラス基板Ｇに移り、ガラス基板Ｇ上にＡＣＦ３０４ａが張着された状態になる。この状態では、ＡＣＦ３０４ａがガラス基板Ｇおよびセパレータ３０３の両方に張り付いており、このセパレータ３０３をＡＣＦ３０４ａから引き離す必要がある。次に、同図（ｃ）に示すように、移動ローラ２０，２１及び第一挟持部２３をガラス基板Ｇの方向に移動させ、セパレータ３０３をテープ送り基準高から上方に移動させる。このとき、移動ローラ２０のローラ径は比較的小さくするのが好ましい。セパレータ３０３には、次にガラス基板Ｇに貼り付ける分断されたＡＣＦ３０４ａが保持されており、ローラ径が大きいと隣接するＡＣＦ３０４ａまで剥がれてしまうからである。移動ローラ２０のローラ径は、例えば３ｍｍ程度である。
【００３７】
次に、インデックステーブル５を回転させ、新しいガラス基板Ｇを加圧位置に移送する。引き続き、同図（ｄ）に示すように、移動ローラ２０及び第一挟持部２３を元の方向に戻し、所定位置Ｔ２にて第一挟持部２３によりセパレータ３０３をクランプする。これと共に、第二挟持部３０を開放する。そして、同図（ｅ）に示すように、移動ローラ２０，２１及び第一挟持部２３をテープ送り量だけ移動させ、層状テープ３０１を送る。送出ローラ３３は所定のトルクで回転し、セパレータ３０３を外部に送出する。これにより、新しい液晶表示パネルＬのガラス基板Ｇ上に次のＡＣＦ３０４ａが位置するので、上記同様、加圧ヘッド１６によりセパレータ３０３ごと加圧してＡＣＦ３０４ａをガラス基板Ｇ上に貼り付ける。
【００３８】
以上、このＡＣＦ貼り付け装置３００によれば、ガラス基板Ｇに対するＡＣＦ３０４ａの貼り付け及び層状テープ３０１の送りを移動ローラ２０，２１の往復過程で連続的に行うことができる。
【００３９】
以上、この実施の形態１〜３では、ニトフロンテープ及びＡＣＦの層状テープを例示して説明したが、テープの種類はこれに限定されない。例えば上記図１に記載の加圧装置は、熱及び圧力を必要とする装置に適用することもできる。
また、本発明のテープ送り装置およびテープ送り方法ならびにテープリサイクル方法は、上述した液晶装置の製造方法および製造装置に限定されず、その他の電気光学装置の製造方法及び製造装置にも適用可能であり、例えば、エレクトロルミネッセンス装置、特に、有機エレクトロルミネッセンス装置、無機エレクトロルミネッセンス装置等や、プラズマディスプレイ装置、ＦＥＤ（フィールドエミッションディスプレイ）装置、ＬＥＤ（発光ダイオード）表示装置、電気泳動表示装置、薄型のブラウン管、液晶シャッター等を用いた小型テレビ、デジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）を用いた装置などの各種の電気光学装置の製造方法および製造装置に用いることができる。
【００４０】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明のテープ送り装置および方法では、一度にテープを加圧面から引き離すと共に所定方向に送ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態１に係る圧着装置を示す構成図である。
【図２】この加圧装置の動作を示す説明図である。
【図３】ニトフロンテープの引き離し状態を示す説明図である。
【図４】図１に示した圧着装置の変形例を示す構成図である。
【図５】図１に示した圧着装置の変形例を示す構成図である。
【図６】この発明の実施の形態２に係る圧着装置を示す構成図である。
【図７】この発明の実施の形態３に係るＡＣＦ貼り付け装置を示す構成図である。
【図８】層状テープの構成を示す断面図である。
【図９】ＡＣＦ貼り付け装置の動作を示す説明図である。
【図１０】従来の圧着装置の一例を示す構成図である。
【図１１】ニトフロンテープの引き離し状態を示す説明図である。
【符号の説明】
１　ニトフロンテープ
２　テープ供給リール
４　ガイドローラ
７　ドライバＩＣ
８　加圧装置
９　移動装置
１０　テープ回収箱
１６　圧着ヘッド（加圧ヘッド）
２０，２１　移動ローラ
２２　ガイドローラ
２３　第一挟持部
２６　移動装置
２７　移動プレート
２９　サーボモータ
３０　第二挟持部
３３　送出ローラ
３４　制御装置
Ｌ　液晶表示パネル
Ｔ１　加圧位置
Ｔ２　所定位置
Ｔ３　待機位置[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention provides a tape feeder, a tape feed method, an electro-optical device manufacturing device, and an electro-optical device manufacturing method that can appropriately separate the tape from an object to be pressed when a process of pressing the tape is included. And a tape recycling method.
[0002]
[Prior art]
FIG. 10 is a configuration diagram showing an example of a conventional crimping device (for example, see Patent Document 1). The pressure bonding apparatus 500 includes a tape supply reel 501 for supplying the Nitoflon tape 1, a guide roller 503 and a pitch roller 504 for feeding the Nitoflon tape 1 in parallel to the surface of the liquid crystal display panel L placed on the index table 502. A tape collection reel 505 for collecting used Nitoflon tape 1; tension rollers 506 and 507 provided between the tape supply reel 501 and the guide roller 503; the tape collection reel 505 and the pitch roller 504; An actuator 508 for moving the roller 503 up and down and a pressing device 509 for pressing the driver IC 7 are provided.
[0003]
The pressurizing device 509 has a configuration in which a pressure bonding head 511 is provided at an end of a piston rod of an air cylinder 510. The crimping head 511 has a built-in heater (not shown) for heating an ACF (Anisotropic Conductive Film) interposed between the glass substrate G and the driver IC 7. The tape collection reel 505 includes a motor 512 for rotating the reel to collect the Nitoflon tape 1. The tape feed is performed by a pair of pitch rollers 504 provided downstream of the liquid crystal display panel L. The pitch roller 504 is driven and controlled by a stepping motor 513, and feeds the Nitoflon tape 1 by a predetermined amount.
[0004]
The crimping device 500 positions the nitroflon tape 1 supplied from the tape supply reel 501 on the driver IC 7 of the liquid crystal display panel L, and presses and heats the driver IC 7 via the nitroflon tape 1 by the crimping head 511. When the final pressure bonding of the driver IC 7 is completed, the guide roller 503 on the upstream side is once lifted up, and the nitroflon tape 1 closely contacting the driver IC 7 is separated from the driver IC 7. Then, the new liquid crystal display panel L is moved to the pressing position by the index table 502, and the predetermined amount of the nitroflon tape 1 is sent by the pitch roller 504, and the portion not used for pressing is replaced by the driver IC 7 of the liquid crystal display panel L. On top. The moved nitroflon tape 1 is collected by the tape collection reel 505. In the crimping device 500, the guide roller 503 is moved up and down to separate the nitroflon tape 1 from the driver IC 7 and to perform the feeding operation of the nitroflon tape 1.
[0005]
[Patent Document 1]
JP-A-10-256316 (Pages 3-4, [FIG. 1]-[FIG. 2])
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the above-described conventional pressure bonding apparatus 500, although the Nitoflon tape 1 is separated from the upper surface of the driver IC 7 by the vertical movement of the guide roller 503, the guide roller 503 is located at a position parallel to the liquid crystal display panel L. If the Nitoflon tape 1 is to be separated, there is a problem that the Nitoflon tape 1 that is in close contact with the driver IC 7 is difficult to peel off. Specifically, as shown in FIG. 11, even if the guide roller 503 is moved upward, if the adhesion is strong, the guide roller 503 is hard to separate or does not separate. In this case, the driver IC 7 is peeled off from the glass substrate G when the Nitoflon tape 1 is sent or when the liquid crystal display panel is transferred by the index table 502.
[0007]
Then, this invention is made | formed in view of the above, Comprising: It aims at separating a tape from an object to be pressurized well.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, a tape feeding device according to the present invention includes a tape supply reel that supplies a tape interposed between a pressing surface of a pressing target and a pressing head of a pressing unit; A pressing unit that presses the pressing object, a moving roller that moves substantially horizontally with the pressing surface of the pressing object, and a moving roller that feeds the tape in a direction bent with respect to the moving direction; A first holding portion for holding the tape downstream of the moving roller, a second holding portion for holding the tape downstream of the moving roller and the first holding portion, and winding the tape on a reel downstream of the second holding portion. And a tape sending means for sending out the tapes without any error.
[0009]
In the present invention, first, a tape is supplied from the tape supply reel onto the pressing surface of the pressing target, and the pressing target of the pressing unit presses the pressing target via the tape. Then, while holding the tape by the second holding portion and feeding the tape in a direction bent with respect to the moving direction by the moving roller, the moving roller is moved substantially horizontally with the pressing surface of the pressing object and in the first holding portion. Move with. Thereby, the tape is separated from the pressing surface in the bending direction with the movement of the moving roller. Next, the moving roller and the first holding portion are returned by an amount necessary to secure a predetermined tape feeding amount. Then, the moving roller is returned to the original position together with the first holding portion in a state where the tape is held by the first holding portion and the holding of the tape by the second holding portion is released. This allows the tape to be separated from the pressing surface and fed in a predetermined direction. In addition, the second holding portion and the tape sending means may be formed integrally.
[0010]
A tape feeder according to the next invention is a tape supply reel on which a tape is wound, and a pressurizing unit provided downstream of the tape supply reel and pressing a pressurized object between a pressurizing stage and a pressurizing head. And a moving roller that moves substantially horizontally with the pressing surface of the pressing object while guiding the tape, and sandwiches the tape sent in a direction bent by the moving roller with respect to the moving direction with a member operated by an actuator. A first holding portion provided with a guide roller downstream of the holding portion, and a second holding portion for holding the tape with a member operated by an actuator downstream of the tape guided by the guide roller of the first holding portion. A linear motion device for moving the moving roller and the first holding portion in a substantially horizontal direction with respect to the pressing surface with respect to the fixed second holding portion; and a tape provided downstream of the second holding portion, wherein the tape is provided. To Characterized in that a tape feed unit feeding without wrapped Lumpur.
[0011]
The tape feeder according to the next invention is characterized in that, in the above-described configuration, the tape feeder further includes a discharge unit that discharges a gas to the pressurized surface of the pressurized object, and a suction unit that suctions the discharged gas. . In a case where pressure is applied by sandwiching a tape between objects to be pressed, if particles adhere to the pressing surface, the load concentrates on the pressing surface at the portion where the particles adhere. For this reason, particles are blown off by gas, and the particles on the pressurized surface are removed by suction. Thereby, good pressurization can be performed.
[0012]
The tape feeder according to the next invention is characterized in that, in the above configuration, a tape collecting box for collecting only the tape is further provided downstream of the tape sending means. By collecting only the tape, it is not necessary to remove the tape from the reel as in the related art, so that the tape can be easily recycled. The tape collection box may be of any type as long as it can receive the tape.
[0013]
Further, the electro-optical device can be manufactured using the pressurizing device according to any one of the above.
[0014]
A tape feeding method according to the next invention is a step of supplying a tape from a tape supply reel onto a pressing surface of a pressing target, and pressing the pressing target via a tape by a pressing head of a pressing unit. And a procedure of nipping the tape by a moving roller and a second nipping portion provided downstream of the first nipping portion, and applying the moving roller while feeding the tape in a direction bent with respect to the moving direction by the moving roller. A procedure of moving the pressing roller substantially horizontally with the pressing surface of the pressing object and the first holding portion in a state where the tape is not held, and moving the moving roller together with the first holding portion by a necessary amount based on the tape feeding amount. Returning to the direction, a procedure of nipping the tape by the first nipping portion downstream of the moving roller, and releasing the nipping of the tape by the second nipping portion, and moving the moving roller to the original position together with the first nipping portion. Back to , Characterized in that it comprises a procedure for sending a tape.
[0015]
A tape feeding method according to the next invention is characterized in that, in the above configuration, the tape fed by the tape feeding method is collected separately from the reel on which the tape is wound.
[0016]
A tape recycling method according to the next invention comprises a step of supplying a tape from a tape supply reel onto a pressing surface of a pressing target, and pressing the pressing target through a tape by a pressing head of a pressing unit. And a procedure of nipping the tape by a moving roller and a second nipping portion provided downstream of the first nipping portion, and applying the moving roller while feeding the tape in a direction bent with respect to the moving direction by the moving roller. A procedure of moving the pressing roller substantially horizontally with the pressing surface of the pressing object and the first holding portion in a state where the tape is not held, and moving the moving roller together with the first holding portion by a necessary amount based on the tape feeding amount. Returning to the direction, a procedure of nipping the tape by the first nipping portion downstream of the moving roller, and releasing the nipping of the tape by the second nipping portion, and moving the moving roller to the original position together with the first nipping portion. Back to The method includes a step of feeding the tape, a step of collecting the tape sent by the tape feeding method separately from a reel around which the tape is wound, and a step of recycling the collected tape. .
[0017]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. It should be noted that the present invention is not limited by the embodiment. The constituent elements of this embodiment include those that can be easily replaced by those skilled in the art or those that are substantially the same.
[0018]
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a configuration diagram showing a crimping device according to Embodiment 1 of the present invention. This pressure bonding apparatus includes a tape supply reel 2 for winding the Nitoflon tape 1 and sending out the tape, a tension roller 3 for applying tension to the Nitoflon tape 1, a guide roller 4 for sending the tape in parallel with the pressing surface, An index table 5 for sequentially moving the liquid crystal display panel L to the pressing position T1, a liquid crystal display panel transfer mechanism 6 for sequentially supplying the liquid crystal display panel L to the index table 5 and carrying out the pressurized liquid crystal display panel L; It has a pressurizing device 8 for pressing the driver IC 7, a tape feeding device 9 for feeding the Nitoflon tape 1 at regular intervals, and a tape collecting box 10 for collecting the sent out Nitoflon tape 1.
[0019]
The nitroflon tape 1 is in the form of a tape made of a resin such as Teflon (registered trademark), vinyl, rubber, or the like, or made of a material such as paper or fiber, and is usually supplied on the market in a state wound on a reel. Even if the Nitoflon tape 1 has been used, it can be reused by recycling.
[0020]
The index table 5 is provided with a vacuum suction device 13 having a suction port 11 opened on the table surface and a vacuum pump 12 connected to the suction port 11. The index table 5 is provided with a driving actuator 14. The operation of the actuator 14 causes the liquid crystal display panel L placed on the upper surface to be sent at regular intervals. The pressure device 8 has a configuration in which a pressure bonding head 16 is provided at an end of a piston rod of an air cylinder 15. The pressure bonding head 16 has a built-in heater 18 for heating the ACF 17 interposed between the glass substrate G and the driver IC 7.
[0021]
The tape feeding device 9 has two moving rollers 20 and 21 and two guide rollers 22 and 22 at four points, respectively, and guides the nitroflon tape 1 in a convex shape in the tape feeding direction. The moving rollers 20 and 21 are located on the upstream side, and between the moving rollers 20 and 21, there is provided a first holding portion 23 for holding the nitroflon tape 1. The first holding portion 23 includes an air cylinder 24 and a clamp head 25 provided at a tip of the air cylinder 24. The moving rollers 20 and 21 and the first holding portion 23 are moved by the moving device 26. Specifically, the moving rollers 20, 21 and the first holding portion 23 are fixed on a moving plate 27. The moving plate 27 is connected to a ball screw 28 and a servomotor 29 (or a stepping motor), not shown. It moves parallel to the surface of the liquid crystal display panel L by the linear motion guide.
[0022]
The second holding portion 30 holds the nitroflon tape 1 and is provided downstream of the two guide rollers 22. The second holding portion 30 includes an air cylinder 31 and a clamp head 32 provided at a tip of the air cylinder 31. The second holding portion 30 and the guide rollers 22 are fixed to a bed (not shown) of the apparatus. Further, a delivery roller 33 that delivers the Nitoflon tape 1 is provided downstream of the second holding portion 30. The delivery roller 33 drops the Nitoflon tape 1 into the tape collection box 10 with the Nitoflon tape 1 interposed therebetween. The servomotor 29 and the air cylinder 31 are controlled by a control device 34.
[0023]
FIG. 2 is an explanatory diagram showing the operation of the pressurizing device. First, as shown in FIG. 3A, the driver IC 7 of the liquid crystal display panel L placed on the index table 5 is heated by the pressure bonding head 16 under pressure. Note that, before pressurization, the driver IC 7 is temporarily pressure-bonded to the glass substrate G of the liquid crystal display panel L via the ACF 17. Further, the liquid crystal display panel L on the index table 5 is vacuum-sucked on the pressing surface by the vacuum suction device 13.
[0024]
Next, as shown in FIG. 2B, after pressurizing and heating for a predetermined time, the pressure bonding head 16 is retracted upward, and then the Nitoflon tape 1 is moved by the clamp head 32 of the second holding portion 30. At the same time, the moving rollers 9 and 21 and the first holding portion 23 are moved above the liquid crystal display panel L by the moving device 9. At this time, the pressure bonding head 16 moves up to a position where it does not interfere with the moving rollers 20 and 21 and the first holding portion 23. On the other hand, prior to the movement of the moving rollers 20, 21 and the first holding portion 23, the second holding portion 30 clamps the Nitoflon tape 1 in advance. As the movable rollers 20 and 21 provided above and below move, the Nitoflon tape 1 is sent upward by the movable rollers 20 and 21 and slightly adhered to the upper surface of the driver IC 7 (a state where the tape is slightly attracted by pressure). Pulled away from.
[0025]
That is, as shown in FIG. 3, the moving rollers 20, 21 move on the upper surface of the driver IC 7, and the nitroflon tape 1 is fed upward while being guided by the moving rollers 20, 21, so that the surface of the driver IC 7 is Can be increased (90 degrees in this embodiment). Further, the force when separating the Nitoflon tape 1 is unlikely to be applied between the driver IC 7 and the glass substrate G (specifically, the ACF 17). Empirically, the larger the angle, the easier it is to separate, so it is preferably at least 30 degrees, more preferably at least 70 degrees. Further, the moving rollers 20 and 21 are preferably designed so as to slightly escape upward when moving on the driver IC 7 so as not to apply an excessive load to the driver IC 7. Conversely, when the moving rollers 20 and 21 do not contact the driver IC 7 via the Nitoflon tape 1, a separating force tends to be applied between the driver IC 7 and the glass substrate G. It is preferable that the contact members 21 be in contact with each other or be separated from each other without any trouble.
[0026]
Next, as shown in FIG. 3C, after the Nitoflon tape 1 is separated, the index table 5 is driven to move another liquid crystal display panel L to the pressing position T1. Then, the moving rollers 20, 21 and the first holding portion 23 are returned to the original directions while the nitrophlon tape 1 is clamped by the second holding portion 30, and stopped at the predetermined position T2. In this state, the Nitoflon tape 1 is located on the driver IC 7 of the liquid crystal display panel L, and the Nitoflon tape 1 on the driver IC 7 is a portion subjected to pressure in the previous step. Subsequently, as shown in FIGS. 3D and 3E, the first holding portion 23 holds the nitroflon tape 1 by the clamp head 25, and moves the moving rollers 20, 21 and the first holding portion 23 in the same direction. Is moved, the Nitoflon tape 1 is fed by the moving amount. That is, the predetermined position T2 is a position apart from the standby position T3 of the moving rollers 20 and 21 by a tape feed amount. By changing the setting of the predetermined position T2, the tape feed amount of the Nitoflon tape 1 can be determined.
[0027]
At the time of this tape feeding, the clamp head 32 of the second holding section 30 is in a state where the Nitoflon tape 1 is opened. The used nitroflon tape 1 is sent out by the sending roller 33 and dropped into the tape collecting box 10 installed below. The delivery roller 33 rotates with a torque that does not exceed the holding force of the first holding portion 23, and sends out the Nitoflon tape 1 while applying tension to the tape feeding system. Then, the driver IC 7 is pressurized and heated by the pressure bonding head 16 via the nitroflon tape 1 in the same manner as described above. Thereafter, by repeating the above-described procedure, the final pressure bonding of the driver IC 7 in the temporary pressure bonding state can be continuously performed. Further, the nitroflon tape 1 dropped in the tape collection box 10 can be directly transferred to a recycling process. That is, since it is not the conventional method of collecting the used Nitoflon tape 1 while winding it around the reel, the labor for separating the Nitoflon tape 1 from the reel can be omitted, and the recycling process can be simplified.
[0028]
According to the pressure bonding apparatus 100 described above, the moving rollers 20 and 21 move on the driver IC 7, whereby the Nitoflon tape 1 that is in close contact with the driver IC 7 can be separated. Is clamped at a predetermined position T2 and then returned to the original standby position T3, whereby the Nitoflon tape 1 can be fed. Therefore, the separation and feeding of the Nitoflon tape 1 can be continuously performed in the reciprocating process of the moving rollers 20 and 21.
[0029]
In the first embodiment, the moving roller 21 and the guide roller 22 are arranged at a position higher than the tape feeding reference height of the Nitoflon tape 1, but as shown in FIG. May be omitted, or the guide roller 22 may be omitted as shown in FIG. Further, another moving roller 21 and guide roller 22 may be provided at a position higher than the tape feeding reference height (not shown). That is, if the Nitoflon tape 1 is fed upward from the moving roller 20 having the tape feeding reference height, the Nitoflon tape 1 can be separated from the upper surface of the driver IC 7 at a predetermined angle. Is not limited to the above number.
[0030]
Further, in the first embodiment, the delivery roller 33 has a function of merely feeding the tape. However, as shown in FIG. The rotation of the roller 33 may be controlled by a servo motor 36 or a stepping motor so that the function of the second holding portion 30 may be provided. That is, when the Nitoflon tape 1 is fed, the delivery roller 33 is rotated at a predetermined torque, and the delivery roller 33 is not rotated by the brake device (not shown) while the moving rollers 20, 21 and the first holding portion 23 are moving. To fix it. Thus, the same function as the second holding portion 30 can be provided.
[0031]
(Embodiment 2)
FIG. 6 is a configuration diagram showing a crimping device according to Embodiment 2 of the present invention. The crimping device 200 is characterized in that the moving plate 27 is provided with an extraneous matter removing device 40 for removing extraneous matter P such as dust and dirt attached to the driver IC 7 of the liquid crystal display panel L. This is the same as the first embodiment, and a description thereof will be omitted. The moving plate 27 of the crimping device 200 has an air ejection device 42 in which the air ejection port 41 faces the driver IC 7 surface of the liquid crystal display panel L, and an air suction device 43 that sucks the ejected air. I have. The air suction device 43 has a suction port 44 opened toward the surface of the driver IC 7, and sucks air jetted from the jet port 41.
[0032]
The air ejection device 42 includes a compressor 45 that takes in and compresses ambient air, and an air nozzle 46 that flexibly deforms and sends compressed air. On the other hand, the air suction device 43 includes a pump 47 and an air nozzle 48. The air nozzles 46 and 48 of the air ejection device 42 and the air suction device 43 are fixed to the moving plate 27 and move together with the moving rollers 20 and 21 and the first holding portion 23. As shown in FIG. 6, when the Nitoflon tape 1 is separated from the upper surface of the driver IC 7 and the next liquid crystal display panel L is transferred, if there is an attached matter P such as dust on the surface of the driver IC 7, The load concentrates on the portion of the kimono P. Therefore, in the procedure, the air is ejected from the ejection port 41 of the air ejection device 42 toward the surface of the driver IC 7, and the air is sucked from the suction port 44. Thereby, the deposit P on the surface of the driver IC 7 is sucked together with the air by the air suction device 43 and is captured by a filter (not shown).
[0033]
By sucking the air with the air suction device 43 in this manner, it is possible to prevent the attached matter P such as dust blown off from being scattered around the pressure bonding device 200 and attached to the driver IC 7 again. Further, the ejection port 41 of the air ejection device 42 and the suction port 44 of the air suction device 43 are fixed to the moving plate 27, and move on the surface of the driver IC 7 as the moving plate 27 moves. That is, the nozzle tip of the ejection port 41 is narrowed down to increase the flow velocity, thereby performing a strong ejection in a spot manner, and scanning the surface of the driver IC 7 to perform a strong air ejection on the entire surface of the driver IC 7. Can be. In addition, since the suction port 44 moves together with the ejection port 41, air suction can be reliably performed.
[0034]
As described above, according to the crimping device 200, it is possible to avoid a state where the load is concentrated on a part of the driver IC 7 due to the deposit P. For this reason, it is possible to prevent the driver IC 7 from being damaged during the crimping process. The ejection port 41 of the air ejection device 42 and the suction port 44 of the air suction device 43 are fixed to the moving plate 27 and move together with the moving rollers 20, 21 and the like, but may be fixed so as not to move. .
[0035]
(Embodiment 3)
FIG. 7 is a configuration diagram showing an ACF attaching apparatus according to Embodiment 3 of the present invention. This ACF adhering device 300 has substantially the same configuration as the crimping device 100 of the first embodiment, except that a layered tape 301 having an ACF layer 304 provided on a separator 303 as shown in FIG. It is characterized in that a tape cutter 302 for cutting is provided. In the crimping device 300, the layered tape 301 is wound around the tape supply reel 2, and supplied together with the ACF 304a onto the glass substrate G of the liquid crystal display panel L. This ACF layer 304 is cut to a predetermined length by a tape cutter 302 provided on the upstream side of the liquid crystal display panel L. The tape cutter 302 has a configuration in which a cutter 306 is provided at a tip of a shaft of an actuator 305 that moves by a piston.
[0036]
FIG. 9 is an explanatory diagram showing the operation of the ACF attaching device. In this ACF adhering device 300, as shown in FIG. 3A, a layered tape 301 is supplied from a tape supply reel 2 and, after passing through a guide roller 4, is subjected to a half-cut process by the tape cutter 302 to form an ACF layer. Only 304 is cut into a predetermined length (ACF 304a). Subsequently, as shown in FIG. 3B, the layered tape 301 is fed, and pressure is applied by the pressure head 16 at the pressure position T1. As a result, the ACF 304a moves from the separator 303 to the glass substrate G, and the ACF 304a is stuck on the glass substrate G. In this state, the ACF 304a is attached to both the glass substrate G and the separator 303, and it is necessary to separate the separator 303 from the ACF 304a. Next, as shown in FIG. 3C, the moving rollers 20, 21 and the first holding portion 23 are moved in the direction of the glass substrate G, and the separator 303 is moved upward from the tape feeding reference height. At this time, it is preferable that the roller diameter of the moving roller 20 be relatively small. This is because the separator 303 holds the divided ACF 304a to be attached to the glass substrate G next, and if the roller diameter is large, the adjacent ACF 304a is peeled off. The roller diameter of the moving roller 20 is, for example, about 3 mm.
[0037]
Next, the index table 5 is rotated to transfer the new glass substrate G to the pressing position. Subsequently, as shown in FIG. 3D, the moving roller 20 and the first holding portion 23 are returned to the original directions, and the separator 303 is clamped by the first holding portion 23 at the predetermined position T2. At the same time, the second holding portion 30 is opened. Then, as shown in FIG. 3E, the moving rollers 20, 21 and the first holding portion 23 are moved by the tape feed amount to feed the layered tape 301. The delivery roller 33 rotates with a predetermined torque, and delivers the separator 303 to the outside. As a result, the next ACF 304a is positioned on the glass substrate G of the new liquid crystal display panel L. Thus, the ACF 304a is attached to the glass substrate G by pressing the separator 303 together with the pressing head 16 as described above.
[0038]
As described above, according to the ACF attaching apparatus 300, the attaching of the ACF 304a to the glass substrate G and the feeding of the layered tape 301 can be continuously performed in the reciprocating process of the moving rollers 20, 21.
[0039]
As described above, in the first to third embodiments, the layered tape of the Nitoflon tape and the ACF has been described as an example, but the type of the tape is not limited thereto. For example, the pressurizing device shown in FIG. 1 can be applied to a device requiring heat and pressure.
In addition, the tape feeding device, the tape feeding method, and the tape recycling method of the present invention are not limited to the above-described liquid crystal device manufacturing method and manufacturing device, and can be applied to other electro-optical device manufacturing methods and manufacturing devices. For example, an electroluminescence device, particularly an organic electroluminescence device, an inorganic electroluminescence device, a plasma display device, an FED (field emission display) device, an LED (light emitting diode) display device, an electrophoretic display device, a thin cathode ray tube, The present invention can be applied to a method and an apparatus for manufacturing various electro-optical devices such as a small television using a liquid crystal shutter and an apparatus using a digital micromirror device (DMD).
[0040]
【The invention's effect】
As described above, in the tape feeding device and method of the present invention, the tape can be simultaneously pulled away from the pressing surface and fed in a predetermined direction.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration diagram showing a crimping device according to Embodiment 1 of the present invention.
FIG. 2 is an explanatory diagram showing the operation of the pressurizing device.
FIG. 3 is an explanatory view showing a state in which a nitroflon tape is separated.
FIG. 4 is a configuration diagram showing a modified example of the crimping device shown in FIG.
FIG. 5 is a configuration diagram showing a modified example of the crimping device shown in FIG.
FIG. 6 is a configuration diagram showing a crimping device according to Embodiment 2 of the present invention.
FIG. 7 is a configuration diagram showing an ACF attaching apparatus according to Embodiment 3 of the present invention.
FIG. 8 is a sectional view showing a configuration of a layered tape.
FIG. 9 is an explanatory diagram showing the operation of the ACF attaching device.
FIG. 10 is a configuration diagram illustrating an example of a conventional crimping device.
FIG. 11 is an explanatory diagram showing a state in which a nitroflon tape is separated.
[Explanation of symbols]
1 Nitoflon tape
2 Tape supply reel
4 Guide roller
7 Driver IC
8 Pressurizing device
9 Moving device
10 Tape collection box
16 Crimping head (pressure head)
20,21 Moving roller
22 Guide roller
23 First clamping part
26 Moving device
27 Moving plate
29 Servo motor
30 Second clamping part
33 sending roller
34 control unit
L LCD panel
T1 Pressing position
T2 predetermined position
T3 standby position

Claims

A tape supply reel that supplies a tape to be interposed between a pressing surface of a pressing object and a pressing head of a pressing unit,
A pressurizing unit for pressing the pressurized object by the pressurizing head,
A moving roller that moves substantially horizontally with the pressing surface of the pressing object and feeds the tape in a direction bent with respect to the moving direction,
A first holding portion that moves with the moving roller and holds the tape downstream of the moving roller;
A second holding portion for holding the tape downstream of the moving roller and the first holding portion,
Tape sending means for sending the tape downstream of the second holding portion without winding the tape on a reel,
A tape feeder comprising:

A tape supply reel wound with a tape,
A pressurizing unit provided downstream of the tape supply reel and pressing the pressurized object between the pressurizing stage and the pressurizing head;
A moving roller that moves substantially horizontally with the pressing surface of the pressing object while guiding the tape,
A first nipping portion provided with a guide roller downstream of the nipping portion, while nipping the tape sent in a direction bent with respect to the moving direction by the moving roller with a member operated by an actuator,
Downstream of the tape guided by the guide roller of the first holding portion, a second holding portion for holding the tape with a member operated by an actuator,
A linear motion device that moves the moving roller and the first holding portion in a substantially horizontal direction with the pressing surface with respect to the second holding portion in a fixed state;
Tape sending means provided downstream of the second holding portion and sending out the tape without winding it on a reel,
A tape feeder comprising:

3. The tape feeding device according to claim 1, further comprising a discharge unit configured to discharge gas to a pressing surface of the object to be pressed, and a suction unit configured to suction the discharged gas.

The tape feeder according to any one of claims 1 to 3, further comprising a tape collection box for collecting only the tape downstream of the tape sending means.

An electro-optical device manufacturing apparatus using the pressurizing device according to claim 1.

A procedure in which a tape is supplied from a tape supply reel onto a pressing surface of a pressing object, and the pressing object is pressed by a pressing head of a pressing unit via the tape,
A procedure in which the tape is nipped by a moving roller and a second nipping part provided downstream of the first nipping part,
A procedure in which, while feeding the tape in a direction bent with respect to the moving direction by the moving roller, the moving roller is moved substantially horizontally with the pressing surface of the pressing object and with the first holding portion in a state where the tape is not held; ,
A procedure for returning the moving roller to the original direction by a necessary amount based on the tape feed amount together with the first holding portion,
A procedure of nipping the tape by the first nipping portion downstream of the moving roller, and releasing the nipping of the tape by the second nipping portion,
A procedure for feeding the tape by returning the moving roller to the original position together with the first holding portion,
A tape feeding method comprising:

The tape feeding method according to claim 6, wherein the tape fed by the tape feeding method is collected separately from a reel on which the tape is wound.

A procedure in which a tape is supplied from a tape supply reel onto a pressing surface of a pressing object, and the pressing object is pressed by a pressing head of a pressing unit via the tape,
A procedure in which the tape is nipped by a moving roller and a second nipping part provided downstream of the first nipping part,
A procedure in which, while feeding the tape in a direction bent with respect to the moving direction by the moving roller, the moving roller is moved substantially horizontally with the pressing surface of the pressing object and with the first holding portion in a state where the tape is not held; ,
A procedure for returning the moving roller to the original direction by a necessary amount based on the tape feed amount together with the first holding portion,
A procedure of nipping the tape by the first nipping portion downstream of the moving roller, and releasing the nipping of the tape by the second nipping portion,
A procedure for feeding the tape by returning the moving roller to the original position together with the first holding portion,
A procedure for separating and collecting the tape sent by the tape feeding method from a reel around which the tape is wound,
Recycling the collected tape.

A method for manufacturing an electro-optical device, comprising the tape feeding method according to claim 6 as a step.