JP4223324B2 - 光学式エンコーダ - Google Patents
光学式エンコーダ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4223324B2 JP4223324B2 JP2003145968A JP2003145968A JP4223324B2 JP 4223324 B2 JP4223324 B2 JP 4223324B2 JP 2003145968 A JP2003145968 A JP 2003145968A JP 2003145968 A JP2003145968 A JP 2003145968A JP 4223324 B2 JP4223324 B2 JP 4223324B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- phase
- light
- component
- circuit
- detection circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Optical Transform (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、光学式エンコーダに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
光学式エンコーダは、移動体の変位と連動して変位する回折格子が受光素子の受光面に形成する干渉縞の通過本数に基づき移動体の移動量や位置の測定を行うように構成される測定装置である。この光学式エンコーダは、例えば、数値制御装置においてサーボモータ等の駆動系の移動量を検出するのに使用されている。
【0003】
ところで、光学式エンコーダでは、光源としてLED(発光ダイオード)やLD(レーザダイオード)が使用されるが、その光源の光出力が印加する電圧や周囲温度の変化に応じて変動すること、また、製造過程において回折格子の線幅や膜圧にばらつきが生じることが知られている。これらの変動やばらつきは、受光光量や干渉縞のコントラストを変動させるので、測定精度の低下を招来する。
【0004】
そこで、この問題を解決すべく、例えば特許文献1では、互いに90度位相が異なる受光信号(A相、B相)の交流成分の2乗和と、予め設定した基準電圧値とが等しくなるように、光量のフィードバック制御を行う光量制御に関する技術が開示されている。
【0005】
また、上記の特許文献1では、A相およびB相の受光素子をそれぞれ逆位相の受光素子、すなわちa相とa’相、b相とb’相とによって構成し、a相とa’相の受光量を加算し、b相とb’相の受光量を加算することによりそれぞれの交流成分が打ち消された直流成分の和を求め、その和の電圧値が予め設定した基準電圧値と等しくなるように、光量のフィードバック制御を行う技術が開示されている。これによれば、エンコーダの信号処理を行うデジタル回路内のフィードバック制御によって、A相、B相の交流成分の振幅ピーク値を一定にすることができる。
【0006】
【特許文献1】
特開2001−311630号公報(0013〜0019、図1,2)
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特許文献1に開示された光量制御方法では、交流成分の振幅ピーク値が最適化されるので、A相、B相の交流成分をA/D変換する際の量子化誤差は殆ど無いが、それぞれの交流成分を2乗する回路が必要である。この2乗演算回路をアナログ回路で構成すると、回路自体が複雑になる。また、温度変化等の影響でアナログ回路を構成する部品の特性が変化するので、演算値の変動が起こり易く安定性が低くなる。
【0008】
また、回折格子が形成される基材に外気温度や湿度等の環境変化の影響で反り等の変形が生じた場合には、その回折格子からの受光量が変化してしまう。この場合、上記特許文献1に開示された制御技術では、予め設定した基準電圧値が、信号処理を行っているデジタル回路におけるA相、B相の交流成分の振幅変動許容範囲を超えてしまうことが生ずる。そして、その基準電圧値が振幅変動許容範囲よりも大きいと、A/D変換入力の上限値を超えてしまい、一方小さいとA/D変換の分解能の影響を受けるので、量子化誤差が増え、その結果、演算精度が低下するという問題がある。
【0009】
この発明は、上記に鑑みてなされたもので、印加する電圧や周囲温度により光源光量が変動したり、回折格子が形成される基材に反り等の変形が生じたりしても、その影響を受けることなく高精度な位置測定が行える光学式エンコーダを得ることを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、この発明にかかる光学式エンコーダは、出射光量の調節が行える光源と、移動体の変位に連動して変位するように配置され、前記光源からの光を回折して干渉縞を形成する回折格子と、前記干渉縞を受光して互いに位相が異なるA相とB相の受光信号をそれぞれ出力するA相受光素子およびB相受光素子と、前記A相とB相の各受光信号の直流成分の和電圧値がリサージュ波形の円中心となり、半径が前記A相とB相の各受光信号の交流成分の振幅ピーク値で与えられるリサージュ波形の大きさが変動許容範囲内に収まるように前記光源の出射光量を制御する光量制御手段とを備えることを特徴とする。
【0011】
具体的には、前記A相受光素子およびB相受光素子は、それぞれ、逆位相の受光信号を出力する2つの受光素子で構成し、前記光量制御手段は、前記A相とB相の各受光信号の直流成分を前記逆位相の受光信号を加算して求め、その和が予め設定した受光量指令値と等しくなるように前記光源の出射光量を制御する第1光量制御手段と、前記A相とB相の各受光信号の交流成分を前記逆位相の受光信号を減算して求め、その振幅ピーク値が前記変動許容範囲の上限値以下となるように前記受光量指令値に補正を加える第2光量制御手段とで構成することができる。また、前記第2光量制御手段は、所定のリセット条件が満たされたとき、前記補正動作を実行するようにしてもよい。
【0012】
この発明によれば、互いに位相が異なるA相とB相の各受光信号の直流成分の和電圧値がリサージュ波形の円中心となり、半径が前記A相とB相の各受光信号の交流成分の振幅ピーク値で与えられるリサージュ波形の大きさが変動許容範囲内に収まるように光源の出射光量を制御する。具体的には、前記A相とB相の各受光信号の直流成分を前記逆位相の受光信号を加算して求め、その和が予め設定した受光量指令値と等しくなるように前記光源の出射光量を制御する過程で、前記A相とB相の各受光信号の交流成分を前記逆位相の受光信号を減算して求め、その振幅ピーク値が前記変動許容範囲の上限値以下となるように前記受光量指令値に補正を加えるようにしたので、リサージュ波形の大きさを一定に保つことができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下に添付図面を参照して、この発明にかかる光学式エンコーダの好適な実施の形態を詳細に説明する。
【0014】
実施の形態1.
図1は、この発明の実施の形態1である光学式エンコーダの制御回路の構成を示す系統図である。図1において、光学式エンコーダでは、光源(図示例ではLED)101と受光素子102との間に、基材であるコードディスク103が移動体の変位に連動して変位(回転または移動)するように配置される。コードディスク103には、回折格子として機能する遮光スリット104が設けられ、通過する光源101の出射光が受光素子102の受光面に干渉縞を形成するようになっている。
【0015】
すなわち、光学式エンコーダでは、コードディスク103が変位(回転または移動)すると遮光スリット104を通過する光量、つまり受光素子102に到達する光量が変化するので、この光量の変化数である干渉縞の本数を計数することによって、コードディスク103の変位位置、つまり移動体の変位位相の測定が行える。
【0016】
ここで、受光素子102は、4つの受光素子a,a’,b,b’で構成されている。受光素子a,a’は、A相用の受光素子であり、互いに逆位相の受光信号を出力する。また、受光素子b,b’は、B相用の受光素子であり、互いに逆位相の受光信号を出力する。そして、干渉縞の1周期内の位置が精度良く計測できるようにするために、A相用の受光素子とB相用の受光素子とは、一般には、干渉縞の1/4周期ずらした位置に配置される。つまり、90度の位相差を持つA相とB相の受光信号が得られるようにしている。
【0017】
受光素子(a相、a’相、b相、b’相)102の検出信号は、受光量検出回路105とリサージュ波形検出回路109とに与えられる。なお、後の信号処理においてA相とB相の受光信号が90度の位相差を持つようにすることができるので、A相とB相の受光信号は当初から90度の位相差を持つ必要性は必ずしも無いと言える。
【0018】
図1に示すように、この実施の形態1である光学式エンコーダにおける制御系は、受光素子102→受光量検出回路105→差分検出回路106→指令値変換器107→光源駆動回路(定電流LEDドライバ)108→光源101と一巡する制御系121と、受光素子102→リサージュ波形検出回路109→差分検出回路110→指令値変換器111→受光量指令回路112→差分検出回路106に至る制御系131とで構成されている。
【0019】
制御系121は、従来から行われている受光量を一定にするフィードバック制御系である。制御系131は、この実施の形態によるリサージュ波形の大きさを一定にするフィードバック制御系である。
【0020】
まず、受光量を一定にするフィードバック制御系121での制御内容を概略説明する。すなわち、受光量検出回路105では、a相とa’相の受光量を加算してA相の交流成分を打ち消し、b相とb’相の受光量を加算してB相の交流成分を打ち消し、得られたA相直流成分とB相直流成分の和を求める。
【0021】
差分検出回路106では、受光量検出回路105にて求められた直流成分の和と受光量指令値(図1では受光量指令回路112の一方の入力になっている)との差分を求める。指令値変換器107では、差分検出回路106にて求められた差分を電流指令値に変換して光源駆動回路108に与え、光源駆動回路108に、受光量検出回路105にて求められた直流成分の和と受光量指令値とが等しくなるように光源101を駆動制御させる。
【0022】
次に、この実施の形態によるリサージュ波形の大きさを一定にするフィードバック制御系131について説明する。リサージュ波形検出回路109では、受光素子102から得られるA相受光信号とB相受光信号とから交流成分をそれぞれ取り出し、それらの合成信号点の軌跡が直交座標系の原点を中心に一定の半径を持つ円上を移動するリサージュ波形の大きさ(半径または直径)を検出する。
【0023】
差分検出回路110では、リサージュ波形検出回路109にて求められたリサージュ波形と理想的なリサージュ波形の大きさ(つまり、リサージュ波形の変動許容範囲の上限値)を与えるリサージュ指令値との差分を求める。リサージュ波形の変動許容範囲の上限値とは、A/D変換レンジの最大値である。
【0024】
指令値変換器111では、差分検出回路110にて差分されたリサージュ波形の大きさを対応する光量値に変換する。受光量指令回路112では、指令値変換器111にて変換された光量値を予め設定された受光量指令値に加算し、差分検出回路106に与える。
【0025】
要するに、制御系131では、検出したリサージュ波形の大きさがリサージュ波形の変動許容範囲内に収まるように、制御系121における制御基準値である受光量指令値に補正を加えるフィードバック制御を行うようになっている。
【0026】
以下、図2〜図6を参照して具体的に説明する。なお、図2は、図1に示すリサージュ波形検出回路の構成例を示すブロック図である。図3は、図2に示す交流成分検出回路の構成例を示す回路図である。図4は、図2に示すリサージュ半径検出回路およびリサージュ直径検出回路の構成例を示す回路図である。図5は、図4に示すリサージュ半径検出回路でのA相振幅とB相振幅の検出動作を説明する波形図である。図6は、図1に示すリサージュ波形の大きさを一定に保つフィードバック制御系の動作を説明する概略回路図である。
【0027】
リサージュ波形検出回路109は、例えば図2に示すように、交流成分検出回路201と、リサージュ半径検出回路202と、リサージュ直径検出回路203とで構成されている。
【0028】
交流成分検出回路201に受光素子a,a’,b,b’から入力されるa相受光信号、a’相受光信号、b相受光信号およびb’相受光信号は、図5(1)に示すように、ある直流電圧レベルに交流電圧成分が重畳された信号である。そして、a相受光信号とa’相受光信号における交流電圧成分は、逆相の関係にある。同様に、b相受光信号とb’相受光信号における交流電圧成分は、逆相の関係にある。
【0029】
交流成分検出回路201では、a相受光信号とa’相受光信号とがa相交流成分検出回路211とa’交流成分検出回路212とに並列に入力される。また、b相受光信号とb’相受光信号とがb相交流成分検出回路213とb’交流成分検出回路214とに並列に入力される。
【0030】
図3は、a相交流成分検出回路211の構成を示すが、各相の交流成分検出回路は、同様に図3に示すように、逆相関係にある2相の受光信号が入力される直流成分抽出回路301と、逆相関係にある2相の受光信号のうちの正相受光信号と直流成分抽出回路301の出力とが入力される交流成分検出回路302とで構成されている。
【0031】
図3において、直流成分抽出回路301では、a相受光信号とa’相受光信号とを加算して直流成分を取り出し、抵抗分圧して半分の値を求める。交流成分検出回路302では、a相受光信号から直流成分抽出回路301にて求めた直流成分を引き算して交流成分を取り出す。このようにしてa相,a’相,b相,b’相の各交流成分が抽出される(図5(2))。a相交流成分とa’相交流成分とはリサージュ半径検出回路202におけるA相振幅検出回路221に入力され、b相交流成分とb’相交流成分とはB相振幅検出回路222に入力される。
【0032】
リサージュ半径検出回路202におけるA相振幅検出回路221とB相振幅検出回路222は、図4に示すように構成され、所定のタイミングで発生するリセット信号に応答してA相振幅ピーク値およびB相振幅ピーク値の検出動作を実行するようになっている。ここで検出されるA相振幅ピーク値およびB相振幅ピーク値は、それぞれリサージュ波形の半径を与える。
【0033】
リサージュ直径検出回路203は、A相振幅検出回路221とB相振幅検出回路222が検出したA相振幅ピーク値とB相振幅ピーク値との和を求める。その結果、リサージュ波形の半径の平均値を2倍した値、つまりリサージュ波形の直径が検出される(図5(13))。
【0034】
次に、図4を参照して、リサージュ半径検出回路202の構成と動作について説明する。図4において、a相交流成分は、サンプルホールド回路401を介して全波整流回路402とヒステリシス付きのコンパレータ405と反転増幅器407の一方の入力端とに入力される。a’相交流成分は、サンプルホールド回路406を介して反転増幅器407の他方の入力端に入力される。反転増幅器407の出力は、サンプルホールド回路408に入力される。サンプルホールド回路408の出力は、同期回路409およびリセット回路410を介してリサージュ直径検出回路203に与えられる。
【0035】
また、b相交流成分は、サンプルホールド回路411を介して全波整流回路412とヒステリシス付きのコンパレータ415と反転増幅器417の一方の入力端とに入力される。b’相交流成分は、サンプルホールド回路416を介して反転増幅器417の他方の入力端に入力される。反転増幅器417の出力は、サンプルホールド回路418に入力される。サンプルホールド回路418の出力は、同期回路419およびリセット回路420を介してリサージュ直径検出回路203に与えられる。
【0036】
全波整流回路402の出力は、反転増幅器403,ヒステリシス付きのコンパレータ404を介してサンプルホールド回路418の制御端に接続される。サンプルホールド回路418の制御端には、コンパレータ415の出力も接続されている。
【0037】
また、全波整流回路412の出力は、反転増幅器413,ヒステリシス付きのコンパレータ414を介してサンプルホールド回路408の制御端に接続される。サンプルホールド回路408の制御端には、コンパレータ405の出力も接続されている。
【0038】
外部から入力されるリセット(RESET)信号は、リセット回路410,421とインバータ回路421,422とに与えられている。インバータ回路421は、リセット(RESET)信号が入力されたとき、サンプルホールド回路401,406をリセットするようになっている。同様に、インバータ回路422は、リセット(RESET)信号が入力されたとき、サンプルホールド回路411,416をリセットするようになっている。
【0039】
同期回路409,419は、RCの時定数回路で構成され、サンプルホールド回路408,418の出力を同期を取ってリサージュ直径検出回路203に与える働きをする。リセット回路410は、リセット(RESET)信号が入力されたとき、同期回路409,419をリセットするようになっている。
【0040】
以上の構成において、リセット(RESET)信号が入力されると、サンプルホールド回路401,406,411,416が動作を開始し、a相、a’相、b相、b’相の各交流成分信号(図5(2))が取り込まれる。
【0041】
a相交流成分信号は、全波整流回路402にて全波整流される(図5(3))。反転増幅器403では、全波整流された信号とa相のピーク電圧に等しい直流電圧との差分を取る(図5(3)(4))。そして、ヒステリシス付きのコンパレータ404では、反転増幅器403で得た信号波形(図5(4))と直流電圧との差を取り、信号波形(図5(4))のピーク部分でパルスを出力する(図5(5))。
【0042】
一方、ヒステリシス付きのコンパレータ415では、b相交流成分信号が正の値を取るときに矩形波パルスを出力する(図5(6))。このとき、反転増幅器417では、b相交流成分信号とb’相交流成分信号との差分を取り、B相信号の振幅値(つまり、リサージュ波形のB相成分の半径)をサンプルホールド回路418に出力している。
【0043】
そこで、コンパレータ404,415が発生するパルスが重なるタイミングにおいて、サンプルホールド418をオン動作させ、反転増幅器417の出力を取り込ませる(図5(7))。
【0044】
また、b相交流成分信号は、全波整流回路412にて全波整流される(図5(8))。反転増幅器413では、全波整流された信号とb相のピーク電圧に等しい直流電圧との差分を取る(図5(8)(9))。そして、ヒステリシス付きのコンパレータ414では、反転増幅器413で得た信号波形(図5(9))と直流電圧との差分を取り、信号波形(図5(9))のピーク部分でパルスを出力する(図5(10))。
【0045】
一方、ヒステリシス付きのコンパレータ405では、a相交流成分信号が正の値を取るときに矩形波パルスを出力する(図5(11))。このとき、反転増幅器407では、a相交流成分信号とa’相交流成分信号との差分を取り、A相信号の振幅値(つまり、リサージュ波形のA相成分の半径)をサンプルホールド回路408に出力している。
【0046】
そこで、コンパレータ414,405が発生するパルスが重なるタイミングにおいて、サンプルホールド408をオン動作させ、反転増幅器407の出力を取り込ませる(図5(12))。
【0047】
このようにして得られたリサージュ波形のA相成分の半径(図5(12))とB相成分の半径(図5(7))に対して、同期回路409,419にて同期を取り、リサージュ直径検出回路202に与える。リサージュ直径検出回路202では、各半径値を加算する。その結果、次式で示すように、A相成分とB相成分の直径の平均が得られる(図5(13))。
【0048】
すなわち、A相成分の半径値をra、B相成分の半径値をrbとすれば、
A相成分の直径値=ra×2 ・・・(1)
B相成分の直径値=rb×2 ・・・(2)
となる。そして、各相成分の直径値の平均値は、
となり、各半径値を加算することによってA相成分とB相成分の直径の平均が得られることが解る。このようにして得られるA相成分とB相成分の各直径の平均に基づき、リサージュ波形が求められる。なお、A相成分とB相成分の各半径を求めるようにしてもよい。これによってもリサージュ波形が求められる。
【0049】
その後、リセット(RESET)信号が入力し(図5(14)、同期回路409,419は、リセット回路410,420によって半径値の信号がリセットされ、次の入力に備えるようにしている。また、インバータ回路421では、サンプルホールド回路410,406をオフ動作させ、インバータ回路422では、サンプルホールド回路411,416をオフ動作させ、リセット(RESET)信号による各相交流成分の短絡を回避するようにしている。
【0050】
そして、図6において、差分検出回路110において、このリサージュ波形を構成するA相成分とB相成分の直径平均値の実測値(リサージュ波形検出回路109の出力)と、各相交流成分の信号をA/D変換するのに最適なリサージュ波形(リサージュ指令値)の大きさとの差分を求める。
【0051】
受光量指令回路112では、差分検出回路110において求められた理想値であるリサージュ指令値とリサージュ波形検出回路109における実測値との差分と、受光量指令値発生回路601における半固定抵抗器にて予め設定された受光量指令値とを加算する。つまり、受光量を一定にするフィードバック制御系121での受光量指令値を補正する。
【0052】
差分検出回路106では、受光量指令回路112にて求められた値と受光量検出回路105にて実測されたA相、B相の直流成分の和との差分を取り、受光量を一定にするフィードバック制御系121の制御値とする。その結果、フィードバック制御系131では、リサージュ波形を最適な大きさに保つ受光量を得続けることになる。
【0053】
このときのリサージュ波形は、A相直流成分とB相直流成分の和の電圧値が円の中心となり、半径がA相交流成分とB相交流成分の振幅ピーク値となる円になる。したがって、リサージュ波形の変動許容範囲は、A相、B相交流成分の振幅ピーク値の変動許容範囲と同じ意味を持つことになる。
【0054】
このように、実施の形態1によれば、受光量を一定にするフィードバック制御系の受光量指令値に、A相、B相の交流成分の振幅ピーク値が変動許容範囲の上限値以下となるように補正を加えるようにしたので、リサージュ波形を最適な大きさに安定的に保つことができる。
【0055】
したがって、外気温度や湿度等の環境変化の影響で生じるコードディスクの反り等の影響を受けて、予め設定した受光量指令値によるA相、B相の交流成分の振幅が最適値からずれてしまい、A相、B相交流成分のA/D変換における量子化誤差が発生するということがなくなる。
【0056】
また、リサージュ波形の大きさを求める回路の構成として2乗演算回路を採用しないので、リサージュ波形の補正にアナログの2乗演算回路を使用する従来例では、温度変化等の影響を受け、アナログ2乗演算回路を構成する部品の特性が変化し、演算値が変動してしまうことが起こるが、そのような不安定性が無くなる。
【0057】
また、従来の回路構成では、特性が変化したエンコーダの基準電圧値を調整するため、エンコーダを使用している機器の作業を中断しなければならなかったのが、この実施の形態1では、運転中は、受光量指令値の変動をリサージュ波形の大きさの変動として補正しているので、機器を取り巻く環境の温度や湿度の変化に影響されず、機器の作業中断もなくなる。
【0058】
実施の形態2.
図7は、この発明の実施の形態2である光学式エンコーダの制御回路におけるリサージュ波形検出回路の構成例を示すブロック図である。なお、図7では、図2に示した構成と同一ないしは同等である構成要素には、同一の符号が付されている。ここでは、この実施の形態2に関わる部分を中心に説明する。
【0059】
実施の形態2によるリサージュ波形検出回路701は、図2に示した構成において、リサージュ半径検出回路202に代えて、ピークホールド検出回路702が設けられている。
【0060】
ピークホールド検出回路702は、a相交流成分検出回路211およびa’相交流成分検出回路211の出力を受けるA相振幅検出回路721と、b相交流成分検出回路213およびb’相交流成分検出回路214の出力を受けるB相振幅検出回路722とを備えている。
【0061】
このピークホールド検出回路702におけるA相振幅検出回路721とB相振幅検出回路722は、図8に示すように構成され、所定のタイミングで発生するリセット信号に応答してA相振幅ピーク値およびB相振幅ピーク値の検出動作を実行し、リサージュ直径検出回路203に与えるようになっている。ここで検出されるA相振幅ピーク値およびB相振幅ピーク値は、それぞれリサージュ波形の半径を与える。これによって、実施の形態1と同様に、リサージュ直径検出回路203は、リサージュ波形の直径の平均を求めることができる。
【0062】
図8は、図7に示すピークホールド検出回路およびリサージュ直径検出回路の構成例を示す回路図である。図8において、a相交流成分とa’相交流成分は、サンプルホールド回路801,802を介して加算回路803に入力され、加算される。ピーク値検出回路804は、加算回路803が出力するA相交流成分信号の上限ピーク値と下限ピーク値とを求める。
【0063】
ピーク値検出回路804が検出したA相のピーク値は、リサージュ直径検出回路203に与えられるとともに、サンプルホールド回路815に対し、そのままトリガパルスとして送り込まれる。
【0064】
また、b相交流成分とb’相交流成分は、サンプルホールド回路811,812を介して加算回路813に入力され、加算される。ピーク値検出回路814は、加算回路813が出力するB相交流成分信号の上限ピーク値と下限ピーク値とを求める。ピーク値検出回路814が検出したB相のピーク値は、リサージュ直径検出回路203に与えられるとともに、サンプルホールド回路815の入力となっている。サンプルホールド回路815の出力は、リサージュ直径検出回路203に与えられている。
【0065】
このようにA相とB相の交流成分のピーク値を同時に検出するので、リサージュ直径検出回路203では、同期の取れた状態で入力するA相のピーク値とB相のピーク値とを加算し、それを半分にしてリサージュ波形の直径の平均を求めることができる。
【0066】
なお、ピーク値検出回路804とリサージュ直径検出回路203との接続ラインと接地(グランド)との間には、リセット(RESET)信号に応じてリセット操作を行うリセット回路410が設けられている。同様に、サンプルホールド回路815とリサージュ直径検出回路203との接続ラインと接地(グランド)との間には、リセット(RESET)信号に応じてリセット操作を行うリセット回路410が設けられている。
【0067】
また、サンプルホールド回路801,802をリセット(RESET)信号に応じてリセット操作を行うリセット操作するインバータ回路411が設けられている。同様に、サンプルホールド回路811,812をリセット(RESET)信号に応じてリセット操作するインバータ回路422とが設けられている。
【0068】
この実施の形態2では、実施の形態1と同様に、各相交流成分の振幅を安定化させることができる。したがって、周囲環境等によるエンコーダの特性変化が引き起こす機器の作業中断を回避することが可能となる等、実施の形態1と同様の作用効果が得られる。
【0069】
実施の形態3.
実施の形態3では、実施の形態1,2による光学式エンコーダをレーザ加工機に搭載し、加工作業の過程でリサージュ波形の大きさを補正する場合について説明する。
【0070】
レーザ加工に使用するガルバノスキャナの位置決め精度は、高精度が要求されるので、角度分解能の非常に高いエンコーダが必要となる。このエンコーダがガルバノスキャナの周囲環境によって特性が変化した場合、ガルバノスキャナをレーザ加工機から取り外し、ガルバノスキャナを分解して基準電圧値を調整しなければならない。さらに、その調整後に再びガルバノスキャナをレーザ加工機に取り付け、被加工物へのレーザの光路を再調整する必要がある。これらの調整作業は、レーザ加工機を使った加工作業時間に加算されるロスタイムである。
【0071】
実施の形態1,2による光学式エンコーダを使用すれば、上述したように周囲環境の変化に応じて自動的にリサージュ波形の補正ができるので、そのようなロスタイムの発生を無くすことができる。実施の形態1,2による光学式エンコーダの適用方法には、図9と図10に示す二通りの方法が考えられる。なお、図9は、この発明の光学式エンコーダをレーザビア加工機に適用した場合のリサージュ波形補正動作を説明するフローチャートである(その1)。図10は、この発明の光学式エンコーダをレーザビア加工機に適用した場合のリサージュ波形補正動作を説明するフローチャートである(その2)。
【0072】
図9において、レーザビア加工機にて加工を行う際の加工位置を決定するために光学式エンコーダを使用する場合、被加工物が載置されるワークを動かして、被加工物の加工指定箇所をガルバノスキャナが1度にスキャンできる範囲に持っていき、レーザ加工するように加工機に指令を与える加工プログラムを読み込み、一連の加工作業がスタートすると(ステップST901)、リセット指令条件を満たすか否かを判断する(ステップST902)。図4や図8に示したリセット(RESET)信号の入力条件ないしは発生条件である。
【0073】
ここで、リセット指令条件には、各種のものが考えられる。加工プログラムに基づく一連の作業途中においては、ある加工エリアから他の加工エリアにその被加工物を載せたテーブルを移動させる間は、被加工物に対してレーザ出力が停止することから、加工プログラム作動中でも加工作業自体は停止状態にある。
【0074】
そこで、まず(1)「非加工時であるか否か」をリセット指令条件とすることが考えられる。また、リセット指令条件には、(2)光学式エンコーダを使用するにあたっての温度や湿度などの推奨環境値と比較して実際の環境が外れているか否か、(3)光学式エンコーダを連続運転させる際にその運転スタート時からある一定時間が経過したか否かなども挙げることができる。
【0075】
要するに、ステップST902では、(1)〜(3)などのリセット指令条件を満たすか否かを判断する。それらのリセット指令条件を満たす場合は(ステップST902:Yes)、図4や図8示したリセット(RESET)信号の短パルスが入力され(ステップST903)、上述したリセット操作が行われる。
【0076】
その後、コードディスク103を1度〜2度程度の特定の微小角度だけ回転させるように数値制御装置から指令を送り(ステップST903)、加工プログラムのなかで被加工物に対する全ての加工指令が終了したか否かを判断する(ステップST905)。
【0077】
全ての加工指令が終了した場合は(ステップST905:Yes)、リサージュ波形の補正は行わないが、まだ加工指令が残っている場合は(ステップST905:No)、コードディスクを微小角度振ることで得られるリサージュ波形の直径又は半径の大きさを検出し(ステップST906)、リサージュ波形の大きさを一定にするフィードバック制御系131によるリサージュ波形の補正をかける。このように、加工が終了するまでの間、リセット条件を満たす場合は、コードディスクを微小角度振ってリサージュ波形の補正を行うことを繰り返すのが一つの使用方法である。
【0078】
図10において、加工プログラムを読み込み、一連の加工作業がスタートすると(ステップST1001)、リセット指令条件を満たすか否かを判断する(ステップST1002)。上記(1)〜(3)などのリセット指令条件を満たす場合は(ステップST1002:Yes)、図4や図8示したリセット(RESET)信号の短パルスが入力され(ステップST1003)、上述したリセット操作が行われる。
【0079】
引き続いて、常に発生するリサージュ波形の直径又は半径の大きさを検出し(ステップST1004)、リサージュ波形の大きさを一定にするフィードバック制御系131によるリサージュ波形の補正をかける。全ての加工指令が終了した場合は(ステップST1005:Yes)、リサージュ波形補正を行わないが、まだ加工指令が残っている場合は(ステップST1005:No)、ステップST1002に戻り、リサージュ波形の補正動作を連続的に行う。このように、加工が終了するまでの間、リセット条件を満たす場合は、加工時に発生するリサージュ波形を用いてその大きさ(直径または半径)の補正を連続して行うのがもう一つの使用方法である。
【0080】
以上のように、実施の形態1,2による光学式エンコーダでは、リサージュ波形の補正を加工プログラム進行中に自動的に行い、しかもレーザ加工を停止させることがないため、加工プログラムを進行させるにあたり、時間的ロスは全く生じない。
【0081】
また、レーザビア加工機のように光学式エンコーダを使用する機械を動作させる場合は、外気温度や湿度が変化する環境変化等の発生に備えて、例えば、図4や図8にて説明した回路におけるa相、a’相、b相、b’相交流成分の信号入力端子の直後に、温度や湿度の検出器からパルスを出すスイッチを設置し、リセット指令条件が満たされると、図9や図10に示す手順で加工作業を実行する加工プログラムを用意すれば、エンコーダの手動調整を不要にすることができる。
【0082】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、互いに位相が異なるA相とB相の各受光信号の直流成分の和電圧値がリサージュ波形の円中心となり、半径が前記A相とB相の各受光信号の交流成分の振幅ピーク値で与えられるリサージュ波形の大きさが変動許容範囲内に収まるように光源の出射光量を制御する。具体的には、前記A相とB相の各受光信号の直流成分を前記逆位相の受光信号を加算して求め、その和が予め設定した受光量指令値と等しくなるように前記光源の出射光量を制御する過程で、前記A相とB相の各受光信号の交流成分を前記逆位相の受光信号を減算して求め、その振幅ピーク値が前記変動許容範囲の上限値以下となるように前記受光量指令値に補正を加えるようにしたので、リサージュ波形の大きさを一定に保つことができる。したがって、印加する電圧や周囲温度により光源光量が変動したり、回折格子が形成される基材に反り等の変形が生じたりしても、その影響を受けることなく高精度な位置測定が行えるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1である光学式エンコーダの制御回路の構成を示す系統図である。
【図2】 図1に示すリサージュ波形検出回路の構成例を示すブロック図である。
【図3】 図2に示す交流成分検出回路の構成例を示す回路図である。
【図4】 図2に示すリサージュ半径検出回路およびリサージュ直径検出回路の構成例を示す回路図である。
【図5】 図4に示すリサージュ半径検出回路でのA相振幅とB相振幅の検出動作を説明する波形図である。
【図6】 図1に示すリサージュ波形の大きさを一定に保つフィードバック制御系の動作を説明する概略回路図である。
【図7】 この発明の実施の形態2である光学式エンコーダの制御回路におけるリサージュ波形検出回路の構成例を示すブロック図である。
【図8】 図7に示すピークホールド検出回路およびリサージュ直径検出回路の構成例を示す回路図である。
【図9】 この発明の光学式エンコーダをレーザビア加工機に適用した場合のリサージュ波形補正動作を説明するフローチャートである(その1)。
【図10】 この発明の光学式エンコーダをレーザビア加工機に適用した場合のリサージュ波形補正動作を説明するフローチャートである(その2)。
【符号の説明】
101 光源、102 受光素子、a,a’ A相用の逆位相受光素子、b,b’ B相用の逆位相受光素子、103 コードディスク(基材)、104 遮光スリット(回折格子)、105 受光量検出回路、106,110 差分検出回路、107,111 指令値変換器、108 光源駆動回路、112 受光量指令回路、109,701 リサージュ波形検出回路、201 交流成分検出回路、211 a交流成分検出回路、212 a’交流成分検出回路、213 b交流成分検出回路、214 b’交流成分検出回路、202 リサージュ半径検出回路、221,721 A相振幅検出回路、222,722 B相振幅検出回路、203 リサージュ直径検出回路、301 直流成分抽出回路、302 交流成分抽出回路、401,406,408,411,416,418,801,802,811,812,815 サンプルホールド回路、402,412 全波整流回路、403,407,413,417 反転増幅器、404,405,414,415 コンパレータ、409,419 同期回路、410,420 リセット回路、421,422 インバータ回路、601 受光量指令値発生回路、702 ピークホールド検出回路、803,813 加算回路、804,814 ピーク値検出回路。
Claims (3)
- 出射光量の調節が行える光源と、
移動体の変位に連動して変位するように配置され、前記光源からの光を回折して干渉縞を形成する回折格子と、
前記干渉縞を受光して互いに位相が異なるA相とB相の受光信号をそれぞれ出力するA相受光素子およびB相受光素子と、
前記A相とB相の各受光信号の直流成分の和電圧値がリサージュ波形の円中心となり、半径が前記A相とB相の各受光信号の交流成分の振幅ピーク値で与えられるリサージュ波形の大きさが変動許容範囲内に収まるように前記光源の出射光量を制御する光量制御手段と、
を備えることを特徴とする光学式エンコーダ。 - 前記A相受光素子およびB相受光素子は、それぞれ、逆位相の受光信号を出力する2つの受光素子で構成され、
前記光量制御手段は、
前記A相とB相の各受光信号の直流成分を前記逆位相の受光信号を加算して求め、その和が予め設定した受光量指令値と等しくなるように前記光源の出射光量を制御する第1光量制御手段と、
前記A相とB相の各受光信号の交流成分を前記逆位相の受光信号を減算して求め、その振幅ピーク値が前記変動許容範囲の上限値以下となるように前記受光量指令値に補正を加える第2光量制御手段と、
を備えることを特徴とする請求項1に記載の光学式エンコーダ。 - 前記第2光量制御手段は、所定のリセット条件が満たされたとき、前記補正動作を実行することを特徴とする請求項2に記載の光学式エンコーダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003145968A JP4223324B2 (ja) | 2003-05-23 | 2003-05-23 | 光学式エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003145968A JP4223324B2 (ja) | 2003-05-23 | 2003-05-23 | 光学式エンコーダ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004347504A JP2004347504A (ja) | 2004-12-09 |
JP4223324B2 true JP4223324B2 (ja) | 2009-02-12 |
Family
ID=33532965
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003145968A Expired - Lifetime JP4223324B2 (ja) | 2003-05-23 | 2003-05-23 | 光学式エンコーダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4223324B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008261760A (ja) * | 2007-04-13 | 2008-10-30 | Koyo Electronics Ind Co Ltd | ロータリエンコーダにおける投光素子の光量調整方法および該ロータリエンコーダ |
JP5857347B2 (ja) * | 2011-10-28 | 2016-02-10 | 株式会社ミツトヨ | エンコーダ |
KR102011443B1 (ko) * | 2012-10-19 | 2019-08-19 | 삼성전자주식회사 | 위치 검출 장치 및 제어 방법 |
JP6636769B2 (ja) * | 2015-10-29 | 2020-01-29 | オークマ株式会社 | リラクタンスレゾルバのロータ芯出し方法 |
JP6932425B2 (ja) * | 2016-12-06 | 2021-09-08 | 株式会社ミツトヨ | エンコーダおよびその調整方法 |
-
2003
- 2003-05-23 JP JP2003145968A patent/JP4223324B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004347504A (ja) | 2004-12-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
USRE46899E1 (en) | Displacement sensing method and motor control apparatus | |
JP5038861B2 (ja) | 位置測定装置 | |
US9766096B2 (en) | Encoder for producing position information using positions of a first and second sensor, tilt angles, period of a pattern on a scale | |
CN105700297B (zh) | 振幅监测系统、调焦调平装置及离焦量探测方法 | |
JP6971822B2 (ja) | エンコーダ、ロボット及びギャップ測定方法 | |
KR102364166B1 (ko) | 레이저 스캐닝 장비의 자동 위치 보정 장치 | |
JP4223324B2 (ja) | 光学式エンコーダ | |
US9557730B2 (en) | Driving apparatus and article processing apparatus | |
JP4979988B2 (ja) | デジタルスケールの出力信号補正装置及び出力信号補正方法 | |
US11835370B2 (en) | Method for calculating position or angle of inspection target, storage medium, apparatus, and system | |
KR101540709B1 (ko) | 모터의 엔코더 신호처리장치 및 방법 | |
JP2004219333A (ja) | エンコーダ出力信号補正装置 | |
JP2009139099A (ja) | 変位測定装置及び変位測定方法 | |
JP2000065970A (ja) | Xyステージ | |
JP6388384B2 (ja) | 計測装置、および処理装置 | |
JP2016065719A (ja) | 絶対角測定装置及び絶対角測定方法 | |
JP2018128350A (ja) | 位置検出装置、ステージ装置、および形状測定装置 | |
JP7001451B2 (ja) | エンコーダおよびそれを備えた装置 | |
JPH03195915A (ja) | 光走査型変位センサ | |
JP2986023B2 (ja) | 変位センサ | |
JP2002054952A (ja) | リニヤスケールにおけるリサージュ信号の自動調整装置及び自動調整方法 | |
JP4693213B2 (ja) | リニヤスケールにおける原点信号のピークレべルの調整装置及び調整方法 | |
JP2005009952A (ja) | Xyステージ | |
RU2097690C1 (ru) | Оптико-электронное измерительное устройство | |
CN116203892A (zh) | 用于加工装置的控制系统和方法、电子设备及存储介质 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051109 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081118 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081119 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4223324 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111128 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121128 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121128 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131128 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |