JP4212152B2 - 素子搬送装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、電子回路基板に、IC、抵抗等の電子部品チップと称される素子をマウンタにより搭載する際に、素子を、マウンタによって吸着され得る位置に1個ずつ搬送するための素子搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のこの種の素子搬送装置は、マウンタに着脱自在であって、ベルト式の場合は、ベルトを回転して素子をマウンタのピックポジション(素子吸着位置)へ搬送するようにしている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような素子搬送装置によって搬送される素子は、通常、樹脂モールドにより封止されていて、その端面にいわゆるバリが発生していることがある。
【0004】
このように、端面にバリを有する素子がベルト上に連続して載置され、搬送されるとき、隣接する素子の端面間において、前記バリが引掛かって、先頭の素子をマウンタ側の素子吸着ノズルによって吸着し持ち上げようとするときに、これに引掛かっている次の素子までもが持ち上げられ、先頭素子の吸着ミス、ベルト外への落下を生じることがあるという問題点があった。
【0005】
この発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたものであって、素子を吸着ノズルによって吸着する際に、次の素子まで持ち上げられないようにした素子搬送装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
この発明は、請求項1のように、ベルトによりマウンタの素子吸着位置まで素子を順次搬送する素子搬送装置において、前記ベルト上にあって、前記素子吸着位置にまで搬送される先頭素子の次の素子を、前記ベルトによる素子搬送時に押圧して強制的に停止させる素子押圧装置と、前記素子吸着位置近傍で、先頭素子に当接してこれを素子吸着位置に停止させる停止位置、及び、これよりも素子搬送方向上流の当接位置の間で、前記ベルトに沿って往復動自在の位置決めストッパとを設け、前記位置決めストッパは、揺動により前記ベルトを、素子送り方向に駆動するように構成されたノックレバーによって、リンク機構を介して前記ベルトに沿って往復動可能に設けられ、前記ベルトによる素子送り時に、前記位置決めストッパを、前記当接位置で先頭素子に当接させ、当接後に先頭素子と共に停止位置まで移動可能としてなり、前記ベルトによる素子の送りを2回に分け、1回目の送りの後に、前記素子押圧装置を作動させ、先頭素子の次の素子を強制的に停止させ、2回目の送りにより先頭素子のみを素子吸着位置に搬送するように構成したことにより、上記目的を達成するものである。
【0007】
前記素子搬送装置において、前記ベルトを、平行な2本の線状ベルトにより構成すると共に、前記素子押圧装置を、前記2本の線状ベルトの間の隙間を通って下方から上方に突出する押圧ストッパを含んで構成し、この押圧ストッパの上方に、前記線状ベルト上の素子の脱落を防止する搬送カバーを取り付け、前記押圧ストッパにより前記ベルト上の素子を押し上げたとき、該素子を前記搬送カバーに押し付けるように構成してもよい。
【0008】
又、前記素子押圧装置は、カム部材及びこれに追従するフォロアを含んで構成され、これらカム部材及びフォロアの一方が前記ベルトに同期して変位され、他方が前記一方の変位を、前記押圧ストッパに、その押圧タイミングで押圧力を伝達するように構成してもよい。
【0009】
又、前記ベルトは、アイドラプーリと駆動用の大プーリとに巻き掛けられていて、前記素子吸着位置の下方において、ベルト持上げ部材により、前記アイドラプーリ及び大プーリの上端を結ぶ水平面よりも上方位置に支持されるようにしてもよい。
【0010】
この発明においては、先頭素子の次の素子を押圧して強制的に停止させた状態で先頭素子のみをベルトによって素子吸着位置にまで搬送するように構成しているので、先頭素子と次の素子がバリ等によって引掛かっていても、これらを分離して、先頭素子のみをマウンタに吸着させることができる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態の例を図面を参照して詳細に説明する。
【0012】
図1及び図2に示されるように、この実施の形態の例に係る素子の搬送装置10は、ドライブシリンダ12を備えるマウンタ14(全体図示省略)を着脱自在であり、ベルト16により、素子吸着位置Pまで素子20を順次搬送するものであり、前記マウンタ14への装着状態で、前記ドライブシリンダ12により揺動され得るノックレバー22と、このノックレバー22の揺動を、前記ベルト16が巻回される大プーリ24及び小プーリ26の一定角度の回転運動に変換する変換機構28とを設け、前記ドライブシリンダ12を、素子20の搬送駆動源としたものであり、前記ベルト16によって先頭の素子20Aを素子吸着位置まで搬送する際に、素子押圧装置18によって、前記先頭素子20Aの次の素子20Bを、ベルト16によって搬送されないように押圧し、先頭素子20Aを次の素子(2番目の素子)20Bから分離するようにしたものである。
【0013】
なお、通常、ドライブシリンダは、搬送装置における素子の出口を開閉するシャッターや、素子を間欠的に送るためのラチェット機構の制御のために用いられる。
【0014】
前記大プーリ24及び小プーリ26は、共に素子送り方向にのみ回転するワンウェイクラッチ24A、26Aを備え、前者が大径プーリ、後者がこれより直径の小さい小径プーリとされている。
【0015】
前記変換機構28は、前記ノックレバー22の図1において時計方向の往動を、大プーリ24の素子送り方向への回転として変換し、且つ、反時計方向の復動を小プーリ26の素子送り方向への回転として変換するようにされている。
【0016】
前記大プーリ24及び変換機構28は、前記ノックレバー22の1回の往動に対応して、前記ベルト16に、素子1個分弱の送りを与えるようにされ、前記小径プーリ26及び変換機構28は、前記ノックレバー22の1回の復動に対応して、前記ベルト16に、素子1個分送り量から大プーリ24による送り量を差し引いた送りを与えるようにされている。
【0017】
具体的には、ノックレバー22の往動時に大プーリ24によってベルト16を介して、先頭素子20Aを素子吸着位置Pの近くまで、大きく急速に送り、ノックレバー22の復動時に小プーリ26によって、ベルト16をわずかに動かして、先頭素子20Aを最終的に素子吸着位置Pにゆっくりと位置決めするようにされている。図1の符号14Aはマウンタ14側の吸着ノズルを示す。この吸着ノズル14Aは、素子吸着位置Pにある先頭素子20Aを吸着するようにされている。
【0018】
前記素子吸着位置Pの近傍には、ベルト16によって送られる先頭素子20Aが素子吸着位置Pに位置決め停止されるように、ストッパ30が配置されている。
【0019】
このストッパ30は、図3に示されるように、前記ノックレバー22によってリンク機構32を介してベルト16に沿って往復駆動されるようになっている(詳細後述)。
【0020】
前記ノックレバー22は、略L字形状であって、その角部において揺動中心軸22Aにより鉛直面内で揺動自在に支持されている。
【0021】
このノックレバー22のL字の一方の端部には、搬送装置10がマウンタ14に装着されたとき、前記ドライブシリンダ12の上方位置となり、このドライブシリンダ12が上方に突出したとき押上げられる被動ローラ23が取り付けられていて、ノックレバー22は、被動ローラ23がドライブシリンダ12によって押し上げられたとき、前記揺動中心軸22Aを中心として、図1において時計方向に揺動するようにされている。又、ドライブシリンダ12が下降したときは、リターンスプリング34によって図1において反時計方向に戻るようにされている。
【0022】
前記ノックレバー22の、被動ローラ23と反対側の辺の中間位置には、略水平方向に長い駆動リンク36の一端がピン36Aによって揺動自在に連結されている。
【0023】
前記駆動リンク36は変換機構28の一部を構成し、大プーリ24にノックレバー22の揺動を伝達するようにされ、その他端は、図2に示されるように、被動リンク38の先端に取り付けられたピン36Bに長孔36Cを介して揺動自在に連結されている。
【0024】
この被動リンク38は、ワンウェイクラッチ24Aを介して前記大プーリ24に連結され、反時計方向の揺動のみを大プーリ24に伝達するようにされている。
【0025】
ここで、前記被動リンク38には、図2に示されるように、大プーリ24の半径方向の複数箇所にピン孔38Aが設けられ、駆動リンク36側の長孔36Cを挿通した状態で、ピン36Bを複数のピン孔38Aのいずれかに嵌合させることによって、駆動リンク36の移動量に対して大プーリ24の回転角度を調整できるようにされている。又、長孔36Cとピン36Bとの位置関係によって、大プーリ24の回動開始タイミングを調節する。
【0026】
前記変換機構28は、前記駆動リンク36及び被動リンク38と、小プーリ26側の駆動リンク40及び被動リンク42と共に構成されている。
【0027】
前記駆動リンク40の一端は、前記ノックレバー22における、前記駆動リンク36よりも更に先端側に、ピン40Aによって揺動自在に連結されている。又、駆動リンク40の他端は、ピン40Bにより、前記被動リンク42の先端に揺動自在に連結されている。この被動リンク42は、ワンウェイクラッチ26Aを介して小プーリ26に連結されている。
【0028】
前述の如く、ワンウェイクラッチ26Aは、ノックレバー22の、図1において反時計方向に揺動する復動時にのみ、小プーリ26を駆動するようにされている。
【0029】
図1の符号44はアイドラプーリであり、このアイドラプーリ44の上端と前記大プーリ24の上端との間で、前記ベルト16が水平状態となるように張渡されている。
【0030】
前記ベルト16は、図4に示されるように、平行に配置された断面が円形の2本の線状ベルト16A、16Aから構成されている。従って、前記大プーリ24、小プーリ26、及び、アイドラプーリ44は線状ベルト16Aが巻回できるように略半円形の2本の溝が円周上に形成されている。
【0031】
前記アイドラプーリ44の上流側に隣接した、前記素子吸着位置Pにおけるベルト16の下方には、ベルト16を、前記大プーリ24及びアイドラプーリ44によって形成される水平なベルト通過面よりも高くベルト16を持上げるベルト持上げ部材46が配置されている(図1、図5参照)。
【0032】
図4に示されるように、前記ベルト16は、前記ベルト持上げ部材46と前記大プーリ24との間では、フレーム48上に、凹円弧状に平行に形成された一対のガイド溝48A、48Bに沿って摺動するようにされている。
【0033】
前記ベルト持上げ部材46の上面にも、前記ベルト16が水平に案内されるように、前記ガイド溝48A、48Bに連続する、同様のガイド溝46A、46Bが形成されている。
【0034】
図4の符号50A、50Bはガイド溝48A、48Bの両側に配置され、ベルト16上の素子20が側方に落下しないようにするためのガイドプレート、52はガイドプレート50A、50Bの上端を、ベルト16上方を覆うようにして取り付けられた搬送カバーをそれぞれ示す。
【0035】
前記素子押圧装置18は、図6に示されるように、前記ノックレバー22に連動する駆動リンク62(詳細後述)の運動を素子押圧運動に変換するカム機構66と、このカム機構66によって素子20を下方から押圧するように駆動される押圧ストッパ68と、を備えて構成されている。
【0036】
前記押圧ストッパ68は、前記ベルト16上を搬送される素子のうち、先頭素子20Aが素子吸着位置Pに搬送される直前の状態での2番目の素子20Bの下方位置であって、且つ前記線状ベルト16A、16Aの間の位置で、前記フレーム48を、図4に示されるように、下方から貫通する貫通孔49内に突出して配置され、素子押圧時には、線状ベルト16A、16Aの間から更に上方に突出して、素子20Bを搬送カバー52の下面に押し付ける押圧位置と、ベルト16上の素子20と干渉しないように下側に引き込んだ待機位置との間で上下方向に駆動されるようになっている。
【0037】
更に詳細には、図6に示されるように、前記カム機構66は、前記駆動リンク62に取り付けられたプランジャシャフト66Aと、前記押圧ストッパ68をその先端に支持する揺動リンク70に形成されたカム部材70A及び別体として取り付けられた第2カム部材70Bと、から構成され、前記プランジャシャフト66Aが、ノックレバー22の揺動に従って駆動リンク62が略水平方向に往復動するとき、その往動時にカム部材70Aを押し下げたり、又復動時に解放したりすることによって、押圧ストッパ68が待機位置及び押圧位置との間で変位するようにされている。
【0038】
前記プランジャシャフト66Aは、プランジャブラケット66Bを介して前記駆動リンク62に、前記揺動リンク70の鉛直方向の揺動面と直交する水平方向に配置され、その突出先端が前記カム部材70Aの斜面に上方から接触するようにされている(図7(A)参照)。図6の符号70Cは、前記揺動リンク70を下方から付勢して、押圧ストッパ68を上方に押すようにされた圧縮ばねを示す。
【0039】
従って、揺動リンク70は、そのカム部材70Aの傾斜面にプランジャシャフト66Aが上方から当接することによって、該プランジャシャフト66Aにより、圧縮ばね70Cの付勢力に抗して押し下げられていることになる。
【0040】
前記カム部材70Aの傾斜面は、図6、図7に示されるように、前記揺動リンク70と同一の鉛直面から図6において手前側である駆動リンク62側に突出屈曲されていて、プランジャシャフト66Aがカム部材70Aの傾斜面を登り切って、更に図6、図7において右方向に移動すると、カム部材70Aの傾斜面から外れ、これにより、図7(C)、(D)に示されるように、揺動リンク64は圧縮ばね70Cによって、押圧ストッパ68の突出方向に揺動され得るようになっている。
【0041】
前記プランジャシャフト66Aがカム部材70Aの傾斜面を登り切って揺動リンク70が上方に揺動するとき、プランジャシャフト66Aにより、図6、図7において押圧ストッパ68による素子20Bへの押圧寸前で、衝撃的な押圧を避けるために前記第2カム部材70Bによって規制するようにされている。
【0042】
図6において符号70Dは、揺動リンク70を前記フレーム48に揺動自在に支持するための揺動中心軸、70Eは、押圧ストッパ68側の長孔68Aに挿通され、これを取付長さ可変に支持するためのねじをそれぞれ示す。
【0043】
又、符号62Cは、前記駆動リンク62に水平方向に形成された長孔、62Dはこの長孔62Cに挿通され、駆動リンク62がノックレバー22によって往復動されるとき、これを水平方向に案内するための摺動ピン、62Eは駆動リンク62を図6において左方向に戻すためのリターンスプリングをそれぞれ示す。又、符号66Cは、プランジャブラケット66Bに形成された水平方向の長孔66Dに挿通され、プランジャブラケット66Bを位置調節自在に駆動リンク62に固定するためのねじを示す。
【0044】
又、図1の符号54は搬送装置のフレーム48に揺動自在に取り付けられ、素子の搬送装置10をマウンタ14に装着するときに、マウンタ14側の係止部材11に係合して搬送装置10をマウンタ14に固定するためのロックレバーを示す。
【0045】
前記フレーム48の前端及び前部下側の位置には、位置決めピン56A、56Bが取り付けられ、搬送装置10をマウンタ14に装着する時の位置決めとなるようにされている。
【0046】
又、図2の符号58はロック解除レバーを示す。このロック解除レバー58は、リンク60を介して前記ロックレバー54をロック解除方向に駆動できるようにされている。
【0047】
前記リンク機構32は、図3に示されるように、前記ストッパ30と一体の水平摺動部材60と、前記ノックレバー22の揺動運動を水平方向に変換して伝達する前記駆動リンク62と、揺動リンク64とから構成されている。
【0048】
前記揺動リンク64は、略上下方向に配置され、中間位置を揺動中心軸64Aにより前記フレーム48に揺動自在に支持されている。
【0049】
この揺動リンク64の図において下端はピン64Bを介して、前記駆動リンク62の中間部分に揺動自在に連結されている。又、駆動リンク62の一端は、ピン62Aを介して、前記ノックレバー22の、前記ピン36Aと揺動中心軸22Aとの中間位置に揺動自在に連結されている。
【0050】
前記揺動リンク64の前記揺動中心軸64Aとピン64Bとの間の位置には、前記水平摺動部材60から長さ調節自在に延在された一端部が、ピン64Cにより揺動自在に係合されている。
【0051】
この水平摺動部材60は、水平方向に一対の長孔60A、60Bを有し、フレーム48側に水平に配置された一対の摺動ピン31A、31Bに摺動自在に支持されることによって、ノックレバー22及びこれと連動する揺動リンク64の揺動によって水平方向に往復摺動できるようにされている。
【0052】
次に、上記素子の搬送装置10の作用について図7、図9及び図10を参照して説明する。
【0053】
搬送装置10をマウンタ14に装着した状態で、前記ガイド溝48A、48B上のベルト16上に素子20を連続して供給できるようにし(構成は図示省略)、前記マウンタ14におけるドライブシリンダ12を上昇させると、ノックレバー22が図8に示されるように時計方向に揺動される。なお、ノックレバー22は、ドライブシリンダ12により、例えば図9のタイムチャートで示されるように揺動されるものとする。
【0054】
前記揺動によりノックレバー22に連動する変換機構28における駆動リンク36が、図1に示される状態から右方向に駆動され、これにより、図2において二点鎖線で示されるように、被動リンク38が大プーリ24を反時計方向に所定角度揺動させる。
【0055】
この大プーリ24の揺動により、ベルト16は素子20を所定量、素子吸着位置P方向に搬送する。この搬送量は、ベルト16上に載置された複数の素子のうちの先頭素子20Aが、図10(B)から図10(C)に示されるように、ストッパ30の先端に当接する位置にまで搬送されるように設定される。
【0056】
ここで、前記ストッバ30は、ノックレバー22の時計方向の往動時にリンク機構32を介してベルト16の送り方向と反対方向に水平に移動されている。
【0057】
又、このとき、ノックレバー22により駆動リンク62を介して駆動されるプランジャシャフト66Aは、図7(A)に示される位置から図7(B)の状態を経て、図7(C)に示される位置となる。
【0058】
従って、ノックレバー22の往動の最終工程で、プランジャシャフト66Aは図7(C)に示されるように、カム部材70Aの斜面から外れるので、図7(D)に示されるように、揺動リンク70全体が圧縮ばね70Cによって、揺動中心軸70Dを中心に図6、図7において時計方向に揺動される。
【0059】
なお、ノックレバー22の揺動開始直前には、図10(A)に示されるように、プランジャシャフト66Aがカム部材70Aの傾斜面の上側にあって、押圧ストッパ68が素子20を下方から押圧している状態であり、ノックレバー22の揺動開始直後に、駆動リンク62が図7において右行すると、プランジャシャフト66Aによってカム部材70Aが押し下げられ、図10(B)のように、押圧ストッパ68は押圧していた素子20を解放し、これによって押圧されていた先頭素子20A及び2番目の素子20Bがベルト16によって搬送され得る状態となる。
【0060】
そして、このノックレバー22の往動時のベルト16による搬送の最終工程で、前述のように、揺動リンク70が図6において時計方向に揺動することによって、図10(D)に示されるように、上昇した押圧ストッパ68によって、先頭素子20Aの次の素子20Bが押し上げられ、搬送カバー52に押し付けられることによって、強制的に送りが停止される状態となる。
【0061】
なお、ノックレバー22が時計方向に揺動する時、駆動リンク40により被動リンク42が時計方向に揺動されるが、この揺動はワンウェイクラッチ26Aによってキャンセルされるので、小プーリ26が回動されることはない。
【0062】
次に、ドライブシリンダ12が下降すると、ノックレバー22はリターンスプリング34によって図8の位置から図1に示される位置にまで反時計方向に揺動される。
【0063】
このとき、大プーリ24に設けられた被動リンク38も、駆動リンク36が図3において左行することにより、反時計方向に揺動されるが、この揺動はワンウェイクラッチ24Aによってキャンセルされるので、大プーリ24がベルト16を引き戻す方向に回動されることはない。
【0064】
一方、ノックレバー22が反時計方向に戻る時、小プーリ26は、駆動リンク40及び被動リンク42を介して反時計方向に回動される。これにより、ベルト16は素子送り方向に駆動される。
【0065】
このときのベルト16による素子20の送り量は、素子20を素子吸着位置Pまで搬送できる程度とする。これにより、ベルト16はゆっくりと素子20を搬送する。
【0066】
同時に、ノックレバー22に、リンク機構32を介して連動されるストッパ30も、先頭の素子20Aと接触した状態のまま、図1、図3の左方向に移動され、素子20Aが素子吸着位置Pに到達した時点でストッパ30が停止される。
【0067】
これによって素子20Aは素子吸着位置Pに位置決めされ、マウンタ14の吸着ノズル14Aによる吸着が可能となる。
【0068】
上記小プーリ26によるベルト16の送りの際に、前記プランジャシャフト66Aは、図7(D)に示される状態から図7(E)に示される状態を経て、図7(A)に示される初期状態に戻る。
【0069】
この間、揺動リンク70は圧縮ばね70Cによって図6において時計方向に揺動した状態に維持されるので、前記押圧ストッパ68は2番目の素子20Bを押圧して強制的に送りを停止した状態が維持される。
【0070】
従って、先頭素子20Aは図10(D)〜(F)に示されるように、ベルト16によって2番目の素子20Bから離間する方向に送られることになり、これによって、両素子がバリ等によって絡まっていたとしても、確実に分離される。
【0071】
ここで、上記素子吸着位置Pの下方には、前記のようにベルト持上げ部材46が配置されていて、ベルト16をアイドラプーリ44と大プーリ24の上端を結ぶ水平面よりも上方位置に支持している。
【0072】
通常、プーリに巻回されるベルト12を、プーリを間欠的に回動させることによって送りをかけると、ベルトが波状に振動して、ベルトに載置されている素子が跳ね上がって外部に落下したりすることがあるが、この搬送装置10においては、アイドラプーリ44の手前の素子吸着位置Pの下方で、ベルト16がベルト持上げ部材46によってアイドラプーリ44の上端よりも高く持ち上げられているので、ベルト16の間欠的な駆動によって波状の振動が発生することがない。
【0073】
更に、上記波状の振動は、ベルト16の剛性が高い場合により発生し易いが、この搬送装置10においては、ベルト16が2本の線状ベルト16Aから構成されているので、剛性が小さく、プーリによる間欠的駆動によっても振動が発生することは少ない。
【0074】
【発明の効果】
本発明は上記のように構成したので、素子を連続的にベルトによって搬送する際に、素子吸着位置に位置決めする先頭の素子に対して2番目の素子を強制的に分離することができ、これによって素子の吸着ミスを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る素子搬送装置の前半部を示す側面図
【図2】同後半部を示す側面図
【図3】同素子搬送装置におけるストッパの連動機構を示す側面図
【図4】図1のIV−IV線に沿う拡大断面図
【図5】同素子搬送装置における素子吸着位置近傍でのベルト案内構造を示す略示側面図
【図6】同素子搬送装置における素子押圧装置を示す分解斜視図
【図7】同素子押圧装置におけるカム機構の作用を示す工程図
【図8】同搬送装置における前半部のノックレバー往動時の状態を示す側面図
【図9】素子搬送工程と押圧工程の関係を示すタイムチャート
【図10】同断面図
【符号の説明】
10…素子搬送装置
12…ドライブシリンダ
14…マウンタ
16…ベルト
16A…線状ベルト
18…素子押圧装置
20…素子
20A…先頭素子
20B…次(2番目)の素子
22…ノックレバー
22A…揺動中心軸
24…大プーリ
26…小プーリ
24A、26A…ワンウェイクラッチ
28…変換機構
30…ストッパ
32…リンク機構
36…駆動リンク
38…被動リンク
52…搬送カバー
66…カム機構
66A…プランジャシャフト
68…押圧ストッパ
70A…カム部材
P…素子の吸着位置

Claims (4)

  1. ベルトによりマウンタの素子吸着位置まで素子を順次搬送する素子搬送装置において、
    前記ベルト上にあって、前記素子吸着位置にまで搬送される先頭素子の次の素子を、前記ベルトによる素子搬送時に押圧して強制的に停止させる素子押圧装置と、
    前記素子吸着位置近傍で、先頭素子に当接してこれを素子吸着位置に停止させる停止位置、及び、これよりも素子搬送方向上流の当接位置の間で、前記ベルトに沿って往復動自在の位置決めストッパとを設け、
    前記位置決めストッパは、揺動により前記ベルトを、素子送り方向に駆動するように構成されたノックレバーによって、リンク機構を介して前記ベルトに沿って往復動可能に設けられ、前記ベルトによる素子送り時に、前記位置決めストッパを、前記当接位置で先頭素子に当接させ、当接後に先頭素子と共に停止位置まで移動可能としてなり、前記ベルトによる素子の送りを2回に分け、1回目の送りの後に、前記素子押圧装置を作動させ、先頭素子の次の素子を強制的に停止させ、2回目の送りにより先頭素子のみを素子吸着位置に搬送するように構成したことを特徴とする素子搬送装置。
  2. 請求項1において、前記ベルトを、平行な2本の線状ベルトにより構成すると共に、前記素子押圧装置を、前記2本の線状ベルトの間の隙間を通って下方から上方に突出する押圧ストッパを含んで構成し、この押圧ストッパの上方に、前記線状ベルト上の素子の脱落を防止する搬送カバーを取り付け、前記押圧ストッパにより前記ベルト上の素子を押し上げたとき、該素子を前記搬送カバーに押し付けるようにされたことを特徴とする素子搬送装置。
  3. 請求項1又において、前記素子押圧装置は、カム部材及びこれに追従するフォロアを含んで構成され、これらカム部材及びフォロアの一方が前記ベルトに同期して変位され、他方が前記一方の変位を、前記押圧ストッパに、その押圧タイミングで押圧力を伝達するようにされたことを特徴とする素子搬送装置。
  4. 請求項1乃至のいずれかにおいて、前記ベルトは、アイドラプーリと駆動用の大プーリとに巻き掛けられていて、前記素子吸着位置の下方において、ベルト持上げ部材により、前記アイドラプーリ及び大プーリの上端を結ぶ水平面よりも上方位置に支持されたことを特徴とする素子搬送装置。
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