JP4211837B2 - 光導波路、光導波路アレイ及びレーザ集光装置 - Google Patents
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例えば、半導体レーザをレーザ加工装置の光源として用いる場合、加工に用いるレーザ光の高出力化が必要であるが、単一の発光部から出射されるレーザ光では、出力強度に限界がある。そこで、レンズ群等を用いて複数の発光部から出射されるレーザ光を集光して、レーザ光の出力を増大させている。
従来の半導体レーザ集光装置の技術として、例えば、特開2000−98191号公報では、図14に示すように、レンズ群と光ファイバ30を備え、レーザ光の発光部12から光ファイバ30までの間に、長軸方向コリメートレンズアレイ70、長軸方向集光レンズ80、短軸方向集光レンズアレイ90、の順にレンズを配置してレーザ光を光ファイバ30に集光し、レーザ光の出力を増大させることを提案している。
ここで、発光部12から出射されたレーザ光は、長軸方向及び短軸方向に拡がりながら進行する。拡がりながら進行するレーザ光を集光する場合、レンズ自身に非常に高い精度が要求され、そのレンズの配置位置も、非常に高い精度が要求される。
従来の半導体レーザ集光装置(例えば、特開2000−98191号公報)は、発光部の間隔が比較的広い長軸方向においては、一旦、平行光に変換してから集光しているが、発光部の間隔が比較的狭い短軸方向においては、レンズの径が非常に小さく、配置も困難であるため、平行光にしてから集光することをせず、集光のみを行っている。
なお、全ての図面において、座標軸は、レーザ光の進行方向をZ軸、fast軸方向(長軸方向)をX軸、slow軸方向(短軸方向)をY軸としている。
なお、全ての図面は、説明を容易にするため、あるいは比較等を容易にするために、実際の寸法とは異なる寸法で記載している部分を含んでいる。
一般的によく用いられる半導体レーザアレイでは、短軸方向においては、各発光部12の幅(図15(A)中のDw)は約0.2mmであり、発光部と発光部の間隔(図15(A)中のDp)は約0.2mmである。よって、短軸方向において隣り合う2個の発光部をグループとした場合の幅(図15(A)中のDin)は約0.6mmである。また、各発光部から出射されるレーザ光の短軸方向の拡がり角(図15(A)中のθiny)は約3.5°である。
また、長軸方向において隣り合う発光部の間隔(図15(B)中のDh)は約1.75mmであり、各発光部の厚さ(図15(B)中のDt)は約0.002mmである。また、各発光部から出射されるレーザ光の長軸方向の拡がり角(図15(B)中のθinx)は約40°である。
この場合、最も効率良く集光するためには、図15(A)において、短軸方向に隣り合う発光部12から出射されるレーザ光が重なる前に短軸方向集光レンズアレイ90を配置する必要がある。レーザ光が重なる位置は、上記の数値の場合は、発光部12から約1.6mmの位置である。また、長軸方向は、拡がり角が大きいので、発光部12により近い位置で平行光にすることが好ましい(距離を大きくして幅がより大きくなったレーザ光を集光すると、光ファイバへの入射角(θoutx)が大きくなるため)。よって、発光部12にほぼ隣接して長軸方向コリメートレンズアレイ70を配置している。
しかし、例えば長軸方向に1.75mm間隔で配列された5個の発光部から出射されるレーザ光を、長軸方向の入射角を10°未満とするためには、約19.85mm以上の距離が必要であり、必要な数のレーザ光を集光することが非常に困難である。
短軸方向集光レンズアレイ90と発光部12との間の距離が短い。このため、所定距離の間に、長軸方向コリメートレンズアレイ70と短軸方向集光レンズアレイ90を適切に配置することが困難である。また、光ファイバ30の位置も発光部12から短い距離になり、長軸方向の入射角(θoutx)を小さく設定すると、長軸方向に集光できるレーザ光の本数が少なくなる。
本発明は、このような点に鑑みて創案されたものであり、半導体レーザアレイの複数の発光部から出射された各レーザ光を、より効率良く集光でき、且つより容易に実現できる光導波路、レンズアレイ及びレーザ集光装置を提供することを課題とする。
請求項1に記載の光導波路を用いれば、レーザ光の入射面における長軸方向の寸法よりも、レーザ光の出射面における長軸方向の寸法の方が小さいので、長軸方向に配列された複数の発光部からのレーザ光を入射すれば、入射されたレーザ光を光導波路内で反射させながら長軸方向に集めることができる。
このため、半導体レーザアレイの複数の発光部から出射された各レーザ光を、効率良く集光できる。また、当該光導波路は、容易に実現できる。
請求項2または3に記載の光導波路を用いれば、各レーザ光は、対応する第1レンズに入射される。そして、各第1レンズの光軸が、各々光導波路の出射面側に傾斜しているため、各レーザ光毎に、長軸方向において出射面側に集めることができる。また、光軸の傾斜だけでなく、各第1レンズの位置を、対応するレーザ発光部に対して進行方向の距離及び長軸方向の距離を適切に設定することで、レーザ光を更に適切に長軸方向において出射面側に集めることができる。
このため、半導体レーザアレイの複数の発光部から出射された各レーザ光を、長軸方向において、光導波路内で反射させることなく、あるいはより反射角を小さくすることで、より効率良く集光できる。また、当該複数の第1レンズを備えた光導波路は、容易に実現できる。
請求項4に記載の光導波路では、第3発明に対して、各第1レンズの光軸は、各々光導波路の出射面側に傾斜させることなく、レーザ光の進行方向とほぼ平行である。しかし、各第1レンズの位置を、対応するレーザ発光部に対して進行方向の距離及び長軸方向の距離を適切に設定する(第3発明とは異なる距離に設定する)ことで、レーザ光を適切に長軸方向において出射面側に集めることができる。
このため、半導体レーザアレイの複数の発光部から出射された各レーザ光を、長軸方向において、光導波路内で反射させることなく、あるいはより反射角を小さくすることで、より効率良く集光できる。また、当該複数の第1レンズを備えた光導波路は、容易に実現できる。
請求項8に記載の光導波路アレイを用いれば、長軸方向及び短軸方向に複数配列されたレーザ発光部から出射された複数のレーザ光を、長軸方向毎の長軸グループ毎に複数配列した光導波路アレイを用いて、より効率良く集光することができる。例えば、長軸方向及び短軸方向に、5行(長軸方向)、4列(短軸方向)の合計20個のレーザ発光部が有る場合は、5行1列毎に、合計4個の光導波路を並列に配列して集光する。また、各光導波路を短軸方向に配列されたレーザ発光部のほぼ中心間の距離より小さく、且つレーザ発光部の短軸方向の長さよりも大きく構成することは容易である。
請求項9に記載の光導波路アレイでは、第8発明に対して、各光導波路の短軸方向の寸法を更に小さくして、各長軸グループ毎に複数の光導波路を配列する。例えば、長軸方向及び短軸方向に、5行(長軸方向)、4列(短軸方向)の合計20個のレーザ発光部が有る場合は、5行1列毎に、1列当たりに2個ずつの光導波路を並列して配置し、合計8個の光導波路を並列に配列して集光する。
このため、各光導波路の出射面を小さくできる(短軸方向に更に小さくできる)ので、より細いレーザ光として集めることができる。
請求項10に記載の光導波路アレイを用いれば、各光導波路内に入射されたレーザ光が、当該光導波路内で全反射し易くし、効率良く集光することができる。また、光導波路と当該光導波路の屈折率よりも小さな屈折率を有する低屈折率部材を交互に配列した一体構造とすることで、各光導波路を長軸グループ毎の発光部に対応させて、1個ずつ配置させる必要がなく、光導波路の配置の調整が容易となる。
請求項14に記載のレーザ集光装置を用いれば、長軸方向及び短軸方向に複数配列されたレーザ発光部から出射される複数のレーザ光を、まず光導波路アレイを用いて長軸方向に集光して複数の光ファイバに入射し、更に、複数の光ファイバから出射されたレーザ光を集光レンズで集光して加工等に用いることができる。
このように、発光部から出射されたレーザ光を光ファイバに入射するまでの経路中に、複数のレンズ群の代わりに、光導波路アレイを用いる。
複数のレンズ群の個々の加工精度及び配置位置の精度を調整等するよりも、光導波路(単体)の加工精度及び配置位置の精度を調整等する方が、誤差等をより小さくできるので、レーザ光をより効率良く集光でき、且つより容易に実現でき、レーザ光の出力を増大させることができる。
このため、半導体レーザアレイの複数の発光部から出射された各レーザ光を、長軸方向において、当該レンズアレイを用いれば、長軸方向コリメートレンズアレイと長軸方向集光レンズを用いることなく、効率良く集光できる。また、当該複数の第2レンズを備えたレンズアレイは、容易に実現できる。
このため、半導体レーザアレイの複数の発光部から出射された各レーザ光を、長軸方向において、当該レンズアレイを用いれば、長軸方向コリメートレンズアレイと長軸方向集光レンズを用いることなく、効率良く集光できる。また、当該複数の第2レンズを備えたレンズアレイは、容易に実現できる。
請求項6または7に記載の光導波路、または請求項11または12に記載の光導波路アレイを用いれば、全反射部材で所定の面を覆う(蒸着、貼り付け等)ことにより、全反射部材で覆った面からのレーザ光の漏れ量を抑制することができるので、レーザ光の集光効率をより向上させることができる。
請求項13に記載の光導波路アレイを用いれば、短軸方向に配列した一体構造の光導波路アレイについて、各光導波路において、全反射部材の層を形成した面からのレーザ光の漏れ量を抑制することができるので、各光導波路におけるレーザ光の集光効率をより向上させることができる。
請求項5に記載の光導波路を用いれば、光導波路のレーザ光の光伝搬層と、光ファイバ30の入射面にて発生する屈折の角度を適切に調節することができるので、光ファイバに入射されたレーザ光の漏れ量を抑制することができ、レーザ光の集光効率をより向上させることができる。
請求項15に記載のレーザ集光装置を用いれば、請求項14に記載のレーザ集光装置よりも集光効率をより向上させることができる光導波路を用いることで、レーザ光を更に効率良く集光でき、且つより容易に実現でき、レーザ光の出力を、より増大させることができる。
◆[第1の実施の形態]
図1は、本発明のレンズアレイを用いたレーザ集光装置の第1の実施の形態の概略構成図を示している。
図1に示す第1の実施の形態では、図14に示す従来のレーザ集光装置に対して、半導体レーザアレイ10と光ファイバ30との距離を非常に大きくできる(従来では約3.2mmのところを、第1の実施の形態では短軸方向幅均一化レンズ50と短軸方向集光レンズ60の各焦点距離に応じて、数cm以上(本実施の形態の例では、約20cm)に設定することも可能)。このため、各レンズの配置が容易であるとともに、光ファイバ30への入射角を小さくできるので、より効率良くレーザ光を集光することができる。
半導体レーザアレイ10は、複数の発光部12を有し、単一の発光部を有する半導体レーザを2次元的に配列して、あるいは一列に複数の発光部を有するアレイ型半導体レーザを積層または配列して、あるいは2次元配列されたスタック型半導体レーザで、構成されている。本実施の形態では、スタック型レーザダイオードを用いている。
レンズアレイ40は、発光部12(m,n)の短軸方向毎の各第2グループ毎に対応するレンズ(第2レンズ)が、長軸方向に複数配列されて構成されている。レンズアレイ40は、半導体レーザアレイ10の各発光部12から入射された複数のレーザ光を、長軸方向に対して各光ファイバ30の入射面に集まるように、長軸方向に集光(束ね、あるいは集約)する。
なお、以下、「束ねる」とは、各レーザ光の径をほぼ縮めることなく複数のレーザ光を集めることをいい、「集約する」とは、各レーザ光の径を縮めるあるいは径を縮めるとともに複数のレーザ光を集めることをいう。また、「集光する」とは、「束ねる」あるいは「集約する」方法を用いて、レーザ光の出力を高めることをいう。
短軸方向集光レンズ60は、短軸方向幅均一化レンズ50から入射されたレーザ光を、各光ファイバ30の入射面に集まるように、短軸方向に集光する(この場合は集約する)。光ファイバ30の入射面は、半導体レーザアレイ10の複数のレーザ発光部12を含む発光面から所定の距離の面上の所定の直線上、且つ短軸方向にほぼ平行な所定の直線上(レーザ集光位置)に配置されている。図1に示す例では、短軸方向集光レンズ60は、複数のレンズで構成されることなく、単体(単一)のレンズで構成されている。
光ファイバ30には、長軸方向及び短軸方向に集光されたレーザ光が入射される。そして、集光レンズ100は、任意の形状に束ねられた光ファイバ30の出射面から出射されたレーザ光を、各々所定の位置に集光する。これにより、半導体レーザアレイ10の複数の発光部から出射された複数のレーザ光は、所定の位置に集光され、加工等に用いることができるように、レーザ光の出力を増大させることができる。
次に、図2を用いてレンズアレイ40の概略構造について説明する。レンズアレイ40は、短軸方向毎に用意された複数のレンズ(例えば、ほぼ短軸方向に中心軸を有するシリンドリカル状のレンズ(第2レンズ))を長軸方向に複数配列して構成されている。
図2(A)に示すレンズアレイ40aでは、1枚のレンズ基板に複数のレンズ42a〜42e(第2レンズ)を形成した例を示している。
図2(B)に示すレンズアレイ40bでは、各レンズ44a〜44e(第2レンズ)を積層して形成した例を示している。レンズアレイ40の構成は、種々の構成方法がある。
次に、図3(A)及び(B)を用いて、発光部12、レンズアレイ40、短軸方向幅均一化レンズ50、短軸方向集光レンズ60、光ファイバ30の配置位置と、レーザ光の集光状態について説明する。図3(A)は、長軸(fast軸)方向から見た図であり、レーザ光を短軸(slow軸)方向に屈折及び集光する様子を示している。また、図3(B)は、短軸(slow軸)方向から見た図であり、レーザ光を長軸(fast軸)方向に屈折及び集光する様子を示している。
ここで、半導体レーザアレイ10の各発光部12(m、n)は、短軸方向の幅(図3(A)中のDw)が約0.2mmであり、短軸方向の間隔(図3(A)中のDp)が約0.2mmである。
このため、短軸方向において隣り合う2つの発光部から出射されるレーザ光を1本の光ファイバに集光させるためには、出射の時点でDin(約0.6mm)の幅を有するレーザ光を、Dout(例えば、0.2mm)の径の光ファイバ80(s、t)に集光する。
そして、短軸方向幅均一化レンズ50を「発光部12(m、n)からほぼ(f50)の距離の位置」に配置し、短軸方向集光レンズ60を「発光部12(m、n)からほぼ(f50+f50+f60)の距離の位置」に配置し、光ファイバ30(s、t)を「発光部12(m、n)からほぼ(f50+f50+f60+f60)の距離の位置」に配置する。このとき、各位置は誤差により微妙に位置が修正される。また、発光部12(m、n)から出射された各レーザ光において、短軸方向の拡がり角度をθiny(例えば、3.5°)とする。また、光ファイバ30(s、t)に入射されるレーザ光において、短軸方向の入射角をθouty(例えば、10°)とする。
各光ファイバ30(s,t)の入射面は、複数の発光部12(m,n)を含む発光面から所定の距離(この場合、f50+f50+f60+f60の距離)の面上の直線上にあり、且つ短軸方向にほぼ平行な直線上にある。以下、この光ファイバ30(s,t)の入射面を並べた位置を「レーザ集光位置(図3(A)中のSPの位置)」という。
なお、この場合、レンズアレイ40は、短軸方向において、ほとんど影響を及ぼさないので説明を省略する。
そして、短軸方向幅均一化レンズ50を通過した各レーザ光は、短軸方向集光レンズ60を通過すると、各レーザ光がほぼ均一の幅であり、且つ短軸方向集光レンズがF50から焦点距離(F60)の位置に配置されているため、短軸方向集光レンズ60からf60の距離(短軸方向集光レンズ60の焦点距離)に各々集光される。
なお、図3(A)においては、以下の式が成立する。
Dout=(f60/f50)*Din
θouty=arctan[(f50/f60)*tan(θiny)]
Dout/Din=tan(θiny)/tan(θouty)=f60/f50
このため、短軸方向幅均一化レンズ50の焦点距離(f50)と、短軸方向集光レンズ60の焦点距離(f60)との比を適切に選択することで、Dout及びθoutyを任意に設定できる。
この「各レーザ光が短軸方向集光レンズ60で集光される位置(レーザ集光位置)」に、長軸方向においても集光する。
レンズアレイ40は、発光部12(m、n)における、Dh、θinxから、目標とする光ファイバ30(s、t)の長軸方向の本数(s)及び径(Dout)とθoutxを満足するように形成及び配置する必要がある。
なお、この場合、短軸方向幅均一化レンズ50と短軸方向集光レンズ60は、長軸方向において、ほとんど影響を及ぼさないので説明を省略する。
そして、レンズアレイ40を通過した各レーザ光は、レンズアレイ40を通過すると、所定の位置に集光される。
各レーザ光がレンズアレイ40で集光される位置(複数のレーザ発光部を含む発光面から所定の距離の面上の直線上、且つ短軸方向にほぼ平行な直線の中の所定の直線(レーザ集光位置)であり、この位置は、短軸方向集光レンズ60からf60の距離の位置でもある)に、光ファイバ30(s、t)を配置して集光されたレーザ光を入射する。このとき、長軸方向のグループ毎(図1中の「第2グループ」毎)のレーザ光が、各グループ毎に集光される。例えば、光ファイバ30(1、1)には、発光部12(1、1)、(2、1)、(3、1)、(4、1)、(5、1)のレーザ光が集光される。
図3(A)及び(B)の例では、1本の光ファイバ30に、短軸方向に2本のレーザ光を、長軸方向に5本のレーザ光を集光し、合計10本のレーザ光を集光している。
なお、実現した半導体レーザ集光装置では、目標とするレーザ光の出力を得るために、短軸方向に2本のレーザ光を、長軸方向に10本のレーザ光を集光し、合計20本のレーザ光を集光して実用可能な出力を有するレーザ光を得た。
また、光ファイバ30(s、t)の長軸方向の本数(この場合は「s」本であり、これにより、長軸方向に集光するレーザ光の数も決まる)、及び光ファイバ30(s、t)の径(この場合は「Dout」)、及びθoutxにより、レンズアレイ40焦点距離(f)、及びレンズアレイ40の配置位置及び各第2レンズの形成位置について、詳細を図4で説明する。
次に、図4(A)及び(B)、図5(A)及び(B)に、レンズアレイ40(この場合、図2(B)に示すレンズアレイ40b)における、各第2レンズ(ここでは、第2レンズ42b、42c)の構造(光軸)及び配置について、詳細を説明する。
図4(A)及び(B)に示す図では、各第2レンズの光軸をほぼレーザ集光位置の方向に向けるとともに、各第2レンズの位置をレーザ光の進行方向(Z軸方向)と長軸方向(X軸方向)に移動させて配置している(対応する発光部からの距離を第3の所定距離に設定している)。
また、図5(A)及び(B)に示す図では、各第2レンズの光軸はレーザ光の進行方向とほぼ平行であり、各第2レンズの位置をレーザ光の進行方向(Z軸方向)と長軸方向(X軸方向)に移動させて配置している(対応する発光部からの距離を第4の所定距離に設定している)。
以下、図4(A)を用いて説明する。
第2レンズ42cは、発光部12(3、1)と、レーザ集光位置(この場合、光ファイバ30(1、1)の入射面のほぼ中心)を結んだ直線と、第2レンズ42cの光軸(Kc)が一致するように配置する。また、対応する発光部12(3、1)から第2レンズ42cの中心(Cc)までの距離が、第2レンズ42cの焦点距離(f)となる位置に配置する。
これにより、発光部12(3、1)から出射されたレーザ光は、第2レンズ42cを通過すると、幅がほぼ均一なレーザ光となる。また、焦点距離(f)の選定は、光ファイバ30(1、1)の径を考慮して選定する(焦点距離(f)を大きくすると、通過後のレーザ光の幅が大きくなるため)。
まず、光ファイバ30において、入射可能な最大受光角の正弦で表される開口数(以下、NAという)より、光ファイバ30への入射角(θ)を、以下のように設定する。
θ<arcsin(NA)
発光部12(2,1)と発光部12(3,1)の長軸方向の距離を(d)として、第2レンズ42bの中心(Cb)が、対応する発光部12(2、1)から、長軸方向の距離(Lx1)、レーザ光の進行方向の距離(Lz1)を、以下のように設定する。
Lx1=f*sinθ
Lz1=f*cosθ
Mz1=d/tanθ
Nz1=b/sinθ
なお、発光部12(3、1)から光ファイバ30(1、1)までの距離(L)は、図3(A)に示すように、短軸方向幅均一化レンズ50の焦点距離(f50)と短軸方向集光レンズ60の焦点距離(f60)により設定されているため、以下の式が成立するように、f60、f50、θ等を選定する。
d/tanθ+b/sinθ=f60+f60+f50+f50
その他の発光部12(m,n)に対しても同様に設定することができる。
以下、図4(B)を用いて説明する。
第2レンズ42cは、発光部12(3,1)と、レーザ集光位置(この場合、光ファイバ30(1、1)の入射面のほぼ中心)を結んだ直線と、第2レンズ42cの光軸(Kc)が一致するように配置する。また、対応する発光部12(3、1)から第2レンズ42cの中心(Cc)までの距離が、第2レンズ42cの焦点距離(f)よりも長い距離(S)となる位置に配置する。また、第2レンズ42cの中心(Cc)から光ファイバ30(1,1)の入射面までの距離を(T)として、以下の式が成立するようにf、S、Tを設定する。
1/f=1/S+1/T
また、S+T=Lであるため、S、Tは以下となる。
S=[L−√(L2−4*L*f)]/2
T=[L+√(L2−4*L*f)]/2(なお、S<Tとする)
これにより、発光部12(3、1)から出射されたレーザ光は、第2レンズ42cを通過すると、幅が集約されていく。
まず、光ファイバ30への入射角(θ)を、以下のように設定する。
θ<arcsin(NA)
発光部12(2,1)から光ファイバ30(1,1)の入射面までの距離を(L1)、発光部12(2,1)から第2レンズ42bの中心(Cb)までの距離を(S1)、第2レンズ42bの中心(Cb)から光ファイバ30(1,1)の入射面までの距離を(T1)とすると、以下の式が成立する。
L1=d/sinθ
S1=[L1−√(L1 2−4*L1*f)]/2
T1=[L1+√(L1 2−4*L1*f)]/2
Lx2=S1*sinθ
Lz2=S1*cosθ
そして、発光部12(3,1)から光ファイバ30(1,1)の入射面までの距離(L)を以下のように設定する。
L=d/tanθ
なお、発光部12(3、1)から光ファイバ30(1、1)までの距離(L)は、図3(A)に示すように、短軸方向幅均一化レンズ50の焦点距離(f50)と短軸方向集光レンズ60の焦点距離(f60)により設定されているため、以下の式が成立するように、f60、f50、θ等を選定する。
d/tanθ=f60+f60+f50+f50
その他の発光部12(m,n)に対しても同様に設定することができる。
この場合、距離(S1)を一定として、焦点距離(f)及び距離(T1)を以下のように設定する。
f=S1−(S1)2/L1
T1=L1−S1
この場合、各第2レンズ毎に焦点距離(f)が異なるため、各第2レンズ毎に曲率が異なる。発光部が中心から離れる程(光ファイバへの入射角が大きくなる程)、距離(L1)が大きくなり、対応する第2レンズの焦点距離(f)が大きくなるため、曲率が大きくなる。従って、距離(S1)を一定にすることによって第2レンズの有効径をほぼ一定にできるため、各第2レンズの間隔に制約がある場合等において、第2レンズの設計の自由度が増す。
以下、図5(A)を用いて、図4(A)との相違点について説明する。
第2レンズ42cの配置位置は、図4(A)の配置位置と同じであるので、説明を省略する。
次に、第2レンズ42bの配置を説明する。図4(A)との相違点は、光軸(Kb)を傾斜させることなく、入射されるレーザ光とほぼ平行にしている点である。
第2レンズの断面が真円である場合、第2レンズのレンズ面が、当該真円の中心まわりに回転しても、その特性は変わらない。そこで、図4(A)に示した光軸を傾斜させた第2レンズにおいて、入射されるレーザ光の進行方向に対して、当該光軸がほぼ平行になるように回転させれば、光軸を傾斜させることなく、図4(A)と同じ効果を実現できる。ただし、この場合、第2レンズに入射されたレーザ光が出射面に到達したとき、出射面に対する入射角が0(ゼロ)でないので、出射面においてレーザ光が屈折する。この出射面における屈折を考慮すればよい。
まず、光ファイバ30への入射角(θ)を、以下のように設定する。
θ<arcsin(NA)
第2レンズ42bの出射面における屈折より、以下の式が成立する。
ψ=arcsin[(n1/n2)*sinθ](n1:大気の屈折率、n2:第2レンズ42bの屈折率)
第2レンズ42bの中心(Cb)から、当該第2レンズ42bを含む真円の中心までの距離を(k)として、第2レンズ42bの中心(Cb)が、対応する発光部12(2,1)から、長軸方向の距離(Lx3)、レーザ光の進行方向の距離(Lz3)を、以下のように設定する。
Lx3=(f+k)*sinψ
Lz3=(f+k)*cosψ−k
Mz3=a+(d−a/tanψ)/tanθ
Nz3=b/sinθ
なお、発光部12(3、1)から光ファイバ30(1、1)までの距離(L)は、図3(A)に示すように、短軸方向幅均一化レンズ50の焦点距離(f50)と短軸方向集光レンズ60の焦点距離(f60)により設定されているため、以下の式が成立するように、f60、f50、θ等を選定する。
a+(d−a/tanψ)/tanθ+b/sinθ
=f60+f60+f50+f50
その他の発光部12(m,n)に対しても同様に設定することができる。
以下、図5(B)を用いて、図4(B)との相違点について説明する。
第2レンズ42cの配置位置は、図4(B)の配置位置と同じであるので、説明を省略する。
次に、第2レンズ42bの配置を説明する。図4(B)との相違点は、光軸(Kb)を傾斜させることなく、入射されるレーザ光とほぼ平行にしている点である。
図4(B)に対して回転させれば、光軸を傾斜させることなく、図4(B)と同じ効果を実現できることは上記と同様である。また、この出射面における屈折を考慮すればよいことも同様である。
光ファイバ30への入射角(θ)より、以下のように設定する。
θ<arcsin(NA)
また、第2レンズ42bの出射面における屈折より、以下の式がが成立する。
ψ=arcsin[(n1/n2)*sinθ]
以下、図5(A)及び図4(B)と同様であるので説明を省略する。
なお、図4(A)及び(B)では、各第2レンズの光軸及び配置位置を各第2レンズ毎に適切に設定し、図5(A)及び(B)では、各第2レンズの配置位置のみを各第2レンズ毎に適切に設定しているが、光軸のみを各第2レンズ毎に適切に設定するようにしてもよい。
また、収差の影響をより少なくするために、第2レンズの凸部の曲面の曲率を部分的に変更してもよい。この場合、収差を少なくして、更に効率良くレーザ光を集光できる。
なお、以上に説明した第2レンズを形成するためには、超精密加工装置が必要である。当該超精密加工装置には、特開平7−100752あるいは特開平7−299746に記載の加工装置を用いることができる。
第2の実施の形態は、第1の実施の形態から短軸方向幅均一化レンズ50を省略したものである。
図6に示す第2の実施の形態では、図14に示す従来のレーザ集光装置に対して、半導体レーザアレイ10と光ファイバ30との距離を非常に大きくできる(第1の実施の形態と同様)。このため、各レンズの配置が容易であるとともに、光ファイバ30への入射角を小さくできるので、より効率良くレーザ光を集光することができる。
また、図1に示す第1の実施の形態に対して、短軸方向幅均一化レンズ50を省略しているので、構成が簡素化され、組み付け時の調整等(各レンズ等の配置位置の微調整等)が第1の実施の形態に比して容易である。
図6は、本発明のレンズアレイを用いたレーザ集光装置の第2の実施の形態の概略構成図を示している。
図6では、図1に示す第1の実施の形態と比して、短軸方向幅均一化レンズ50が省略されていることと、光ファイバ30の本数が異なる。ここで、光ファイバ30の本数は、短軸方向集光レンズ60の焦点距離(f60)等によって、種々変更することができる。他は第1の実施の形態と同様であるので説明を省略する。また、[レンズアレイの概略構造]も第1の実施の形態と同様であるので説明を省略する。
次に、図7を用いて、発光部12、レンズアレイ40、短軸方向集光レンズ60、光ファイバ30の配置位置と、レーザ光の集光状態について説明する。図7(A)は、長軸(fast軸)方向から見た図であり、レーザ光を短軸(slow軸)方向に屈折及び集光する様子を示している。また、図7(B)は、短軸(slow軸)方向から見た図であり、レーザ光を長軸(fast軸)方向に屈折及び集光する様子を示している。
次に、図7(A)を用いて、各発光部12(m、n)から出射された各レーザ光を、短軸方向において光ファイバ30(s、t)の入射面に集光することを説明する。図7(A)において、短軸方向集光レンズ60の焦点距離をf60(この場合、例えば、30mm)とする。
そして、短軸方向集光レンズ60を「発光部12(m、n)から距離(S4)の位置」に配置し、光ファイバ30(m,n)を「短軸方向集光レンズ60から距離(T4)の位置」に配置する。なお、このとき以下のように、S4及びT4を設定する。(図7の例では、(S4、T4)=(60mm、60mm))
1/S4+1/T4=1/f60
このとき、各位置は誤差により微妙に位置が修正される。また、発光部12(m、n)から出射された各レーザ光において、短軸方向の拡がり角度をθiny(例えば、3.5°)とする。また、光ファイバ30(s、t)に入射されるレーザ光において、短軸方向の入射角をθouty(例えば、10°)とする。
各光ファイバ30(s,t)の入射面は、複数の発光部12(m,n)を含む発光面から所定の距離(この場合、S4+T4の距離)の面上の直線上にあり、且つ短軸方向にほぼ平行な直線上にある。以下、この光ファイバ30(s,t)の入射面を並べた位置を「レーザ集光位置」という。
なお、この場合、レンズアレイ40は、短軸方向において、ほとんど影響を及ぼさないので説明を省略する。
そして、各レーザ光が短軸方向集光レンズ60で集光される位置(発光部12(m,n)から距離S4+T4の位置)に、光ファイバ30(s、t)の入射面を配置して集光されたレーザ光を入射する。
この「各レーザ光が短軸方向集光レンズ60で集光される位置(レーザ集光位置)」に、長軸方向においても集光する。
なお、図7(B)は、図3(B)と同様であるので、説明を省略する。
[光軸を傾斜させるとともにレーザ光を束ねる配置]
[光軸を傾斜させるとともにレーザ光を集約する配置]
[光軸を傾斜させることなくレーザ光を束ねる配置]
[光軸を傾斜させることなくレーザ光を集約する配置]
は、第1の実施の形態と同様であるので、説明を省略する。
第3の実施の形態では、第2の実施の形態から、更にレンズアレイ40と短軸方向集光レンズ60とを省略して光導波路20に置き換えたものである。
図8に示す第3の実施の形態では、図14に示す従来のレーザ集光装置に対して、半導体レーザアレイ10と光ファイバ30との距離を非常に大きくできる(第1の実施の形態と同様)。このため、各レンズの配置が容易であるとともに、光ファイバ30への入射角を小さくできるので、より効率良くレーザ光を集光することができる。
また、図6に示す第2の実施の形態に対して、レンズアレイ40と短軸方向集光レンズ60とを省略し、その代わりに光導波路20を設けているので、第2の実施の形態よりも更に構成が簡素化され、組み付け時の調整等(各レンズ等の配置位置の微調整等)が第1の実施の形態及び第2の実施の形態に比して、更に容易である。
図8は、本発明の光導波路20(s,t)を用いたレーザ集光装置の第3の実施の形態の概略構成図を示している。
図8に示す第3の実施の形態では、発光部12(m,n)を、長軸方向毎の複数の第1グループに分割し、各第1グループ毎のレーザ光を各光導波路20(s,t)で集光して、各光ファイバ30(s,t)に入射する。他は第1の実施の形態と同様であるので説明を省略する。
次に、図9を用いて光導波路20の概略構造について説明する。光導波路20は、複数のレンズ(例えば、ほぼ短軸方向に中心軸を有するシリンドリカル状のレンズ22a〜22e(第1レンズ))を長軸方向に複数配列して構成されている。
また、図9に示す光導波路20の例では、第1レンズ22a〜22eが配置された面をレーザ光の入射面として、当該入射面と対向する面をレーザ光の出射面としている。そして、入射されたレーザ光を集光して出射面から出射するために、図9に示す例では、長軸方向(X軸方向)において、入射面の寸法よりも出射面の寸法の方が小さくなるように構成されている(テーパ形状に構成されている)。なお、本実施の形態では、入射面と出射面の短軸方向(Y軸方向)における寸法はほぼ同じであるが、出射面の方が小さな寸法となるように構成してもよい。
なお、光導波路20は、ガラス等様々な材質を用いることができる。
次に、図10(A)及び(B)を用いて、発光部12、光導波路20、光ファイバ30の配置位置と、レーザ光の集光状態について説明する。
図10(A)は、長軸(fast軸)方向から見た図である。各発光部12から出射されたレーザ光は、各光導波路20の入射面に入射されると、各光導波路20内に入射され、短軸方向においては各光導波路20内を反射しながら当該光導波路20からほとんど外部に漏れることなく進行し、(当該光導波路20の出射面に到達し、)光ファイバ30の入射面に入射される。
図10(B)において、光導波路20(s,t)の各第1レンズ22a〜22eの焦点距離を(f)とする。
なお、図10(B)において、光導波路20(s,t)を、発光部12(m、n)から当該光導波路20(s,t)の第1レンズの焦点距離(f)の位置に配置すると、光導波路20(s,t)を通過したレーザ光は、幅がほぼ均一化され、図10(B)中に2aで示すように集光される(この場合は束ねられる)。
また、光導波路20(s,t)を発光部12(m、n)から当該光導波路20(s,t)の焦点距離(f)よりもやや遠い(S6)の位置に配置し、(1/S6+1/T6=1/f)が成立するS6及びT6を設定し、発光部12からS6+T6の距離に光ファイバ30(s、t)の入射面を配置すると、光導波路20(s,t)を通過したレーザ光は、図10(B)中に2c〜2eで示すように集光される(この場合は集約される)。
次に、図11(A)及び(B)に、光導波路20における、各第1レンズ(ここでは、第1レンズ22b、22c)の構造(光軸)及び配置について、詳細を説明する。
各第1レンズの光軸を傾斜させる場合は、各第1レンズの光軸をほぼ光導波路20の出射面の方向に向けるとともに、各第1レンズの位置をレーザ光の進行方向(Z軸方向)と長軸方向(X軸方向)に移動させる(対応する発光部からの距離を第1の所定距離に設定する)。
また、図11(A)及び(B)に示す図では、各第1レンズの光軸はレーザ光の進行方向とほぼ平行であり、各第1レンズの位置をレーザ光の進行方向(Z軸方向)と長軸方向(X軸方向)に移動させて配置している。
図11(A)と図5(A)とは、光軸(Kb)を傾斜させることなく、入射されるレーザ光とほぼ平行にしている点は同じである。また、図5(A)では、入射されたレーザ光が出射される際に、出射面で屈折するが、図11(A)でも同様に、出射面で屈折する。このとき、屈折後の角度が、arcsin(NA)を越えないように設定する。また、第1レンズの断面が真円である場合、当該真円の中心まわりに回転しても、その特性は変わらないことは、既に説明したとおりである。
したがって、図11(A)は、図4(A)とほぼ同様であり、図11(B)は、図4(B)とほぼ同様である。
この場合、各第1レンズの光軸を、各第1レンズ毎に異なる角度で、ほぼ光ファイバ30の入射面(つまり、光導波路の出射面)の方向に傾斜するように構成する。また、各第1レンズの位置を、レーザ光の進行方向における距離(Lz1、Lz2)、及びレーザ光の長軸方向における距離(Lx1、Lx2)を、各第1レンズの焦点距離(f)、及び各第1レンズと光ファイバの入射面(光導波路の出射面)とを結んだ線と発光面との垂線とのなす角度(出射面と各第1レンズとのなす角度を示すθ)に基づいて、各第1レンズ毎に、各レーザ発光部に対して所定の距離(第1の所定距離)に設定する。
この場合、図11(A)及び(B)では、各第1レンズの光軸を、発光部から出射されるレーザ光の進行方向とほぼ平行に設定する。また、各第1レンズの位置を、レーザ光の進行方向における距離(Lz5、Lz6)、及びレーザ光の長軸方向における距離(Lx5、Lx6)を、各第1レンズの焦点距離(f)、及び各第1レンズと光ファイバの入射面(光導波路の出射面)とを結んだ線と発光面との垂線とのなす角度(出射面と各第1レンズとのなす角度を示すθ)に基づいて、各第1レンズ毎に、各レーザ発光部に対して所定の距離(第2の所定距離)に設定する。
この構成の場合は、反射角をより小さくして集光効率を向上させるために(各発光部からの入射角をより小さくするために)、レーザ光の進行方向において光導波路の長さを長くする。
次に、図12(A)及び(B)を用いて、図10(A)に示した各光導波路を一体化した光導波路の例について説明する。なお、図12(A)及び(B)は、どちらも長軸方向から見た図であり、理解を容易にするために、図10(A)とは異なる寸法で記載している。
図12(A)では、各光導波路20(s,t)の短軸方向の寸法を、発光部12(m,n)の短軸方向における中心間の距離より小さく、且つ発光部12(m,n)の短軸方向の長さよりも大きく設定している。これにより、短軸方向においては、1個の発光部12(m,n)から出射されたレーザ光を、当該発光部12(m,n)に対応する1個の光導波路20(s,t)に適切に入射することができる。また、各光導波路20(s,t)が、短軸方向において、互いに干渉することがない。
更に、各光導波路20(s,t)の間の間隙を、当該光導波路20(s,t)よりも小さな屈折率を有する低屈折率部材25、25aで埋めて、短軸方向に複数配列した光導波路20を一体構造とすることは、図12(A)と同様である。
なお、各光導波路20(s,t)と向かい合う部分の低屈折率部材25aは、レーザ光を効率的に集光するために、できるだけ薄い方が好ましい。
図13(A)は、19本の光ファイバ30を束ねたケーブルの断面である。一般的に、光ファイバ30の断面は円であるので、図13(A)に示すように、各光ファイバが隙間なく配列された状態で束ねられる。この例では、束ねた光ファイバの直径方向の本数は5本である。
また、図13(B)は、複数の光ファイバを束ねた場合の、「光ファイバ総本数」と「直径方向の本数」を示すグラフである。当該グラフより、光ファイバの総本数が2倍になっても、直径方向の本数は2倍よりも小さい。従って、複数の発光部12から出射されるレーザ光を、複数の光ファイバ30に集光する場合、例えば図12(A)に示す方法で200本の光ファイバを用いるよりも、図12(B)に示す方法で400本の光ファイバ(この場合、各光ファイバの径は約半分)を用いる方が、全光ファイバを束ねたケーブルの直径が小さくなり、ビーム半径と広がり角(半角)との積により表されるBeam Parameter Product(ビーム品質)が向上し、且つ取りまわし等が容易である。
第4の実施の形態では、第3の実施の形態に対して、各光導波路20の側面(短軸方向と交わる面)を、レーザ光を全反射する全反射部材100yで覆う(図16)。これにより、光導波路20内に入射されたレーザ光は、短軸方向においては光導波路20の外部に漏れることなく、入射された全レーザ光が出射面に到達する。このため、短軸方向における集光効率をより向上させることができる。
全反射部材100yで覆う方法としては、例えば、銀等を蒸着させたり、表面を鏡面仕上げした銀等の金属板を貼り付けたりする。なお、全反射部材100yはレーザ光を全反射可能であれば、どのような材質であってもよい。また、どのような厚さであってもよい(膜状、板状に限定されない)。
全体構成は、図8に示す第3の実施の形態と同様であるので説明を省略する。以下、第3の実施の形態との相違点について説明する。
[光導波路の構成と、レーザ光の集光状態]
図17(A)に、第4の実施の形態の光導波路20を複数配列して構成した例を示す。図12で説明した第3の実施の形態と同様に、短軸方向におけるレーザ発光部12毎に光導波路20を配置し、短軸方向における各光導波路20と光導波路20との間隙の層は、レーザ光を全反射する全反射部材100yの層を含んでいる。
また、間隙の層は、全反射部材100yのみで形成してもよいし、間隙部材110で全反射部材100yを挟み込む構造にしてもよい。間隙部材110で全反射部材100yを挟み込む構造にする場合、間隙部材110はレーザ光を通過させることができれば屈折率は問わない。
以上のように、短軸方向における光導波路20と光導波路20との間隙の層には、レーザ光を全反射する全反射部材100yの層が少なくとも形成されていればよい。
しかし、光導波路20と光導波路20との間隙の層に全反射部材100yの層を形成した第4の実施の形態(図17(A))では、レーザ光の進行方向(Z軸方向)に対して短軸方向(Y軸方向)における角度が比較的大きなレーザ光(図17(A)中のレーザ光2β)が発生しても、入射された光導波路20の外部に漏れることがなく、当該光導波路20の出射面まで確実に伝搬させることができる。このため、短軸方向における集光効率をより向上させることができる。
第5の実施の形態では、第3の実施の形態あるいは第4の実施の形態に対して、光導波路20aが少なくとも第1レンズ部分で構成されており、当該第1レンズ部分を通過したレーザ光が進行する光伝搬層が空洞に形成されている。なお、レーザ光が第1レンズを通過して空洞部分に達した時点で屈折するため、この屈折の角度を考慮して第1レンズの位置を調節する。
図18(A)〜(C)は、第4の実施の形態に対して光導波路20aの光伝搬層を空洞に形成した例を示している。空洞の形成方法は、これらに限定されず、種々の形成方法が考えられる。
また、第3の実施の形態に対する空洞の形成方法は、第4の実施の形態に対する形成方法と同様であるので説明を省略する。
全体構成は、図8に示す第3の実施の形態と同様であるので説明を省略する。以下、第3の実施の形態との相違点について説明する。
[光導波路の構成と、短軸方向におけるレーザ光の集光状態]
図18(C)に、第5の実施の形態の光導波路20aを複数配列して構成した例を示す。レーザ光の進行方向(Z軸方向)に対して短軸方向(Y軸方向)における角度が比較的大きなレーザ光(図18(C)中のレーザ光2β)が発生しても、入射された光導波路20a(この例では、第1レンズ部分の光導波路20aと全反射部材100yで覆われている、光ファイバ30までの空間120)の外部に漏れることがなく、当該光導波路20aから空間120の終端部分まで(光ファイバ30の入射面まで)確実に伝搬させることができる。このため、短軸方向における集光効率を、第4の実施の形態と同様に、より向上させることができる。
次に図19を用いて第5の実施の形態について、長軸方向におけるレーザ光の集光状態について説明する。図19(A)は第5の実施の形態の、長軸方向におけるレーザ光の集光状態を説明する図であり、図19(B)は第3の実施の形態及び第4の実施の形態の、長軸方向におけるレーザ光の集光状態を説明する図である。
まず、図19(A)について説明する。空間(空洞)120部分は、この例では大気であり、屈折率をn1とする。また、光ファイバ30の屈折率をn2とすると、通常は、屈折率n1<屈折率n2である。そして、空間(空洞)120内を進行するレーザ光の1つをレーザ光2αとして、当該レーザ光2αと光ファイバ30の長手方向とのなす角度をθ1とする。そして、光ファイバ30に入射したレーザ光2αの進行方向と光ファイバ30の長手方向とのなす角度をθ2とする。
間隙が設けられてしまう場合、その間隙は大気であり、その屈折率をn1とする。また、光導波路20の屈折率をn3として、光ファイバ30の屈折率をn2とすると、通常は、屈折率n1<屈折率n2、且つ屈折率n1<屈折率n3である。
図19(A)と(B)を比較すれば、θ1<θ3であるため、θ2<θ20であることが容易に理解できる。つまり、第5の実施の形態(図19(A))の方が、長軸方向(X軸方向)における集光効率をより向上させることができる。
光導波路20、20aにおける長軸方向(X軸方向)と交わる面に全反射部材100yを形成した場合は、当該光導波路20、20aに入射されたレーザ光の長軸方向の漏れ量を抑制することができるので、長軸方向(X軸方向)における集光効率をより向上させることができる。
本発明の光導波路、レンズアレイ及びレーザ集光装置は、レーザ加工装置等、レーザ光を用いた種々の装置に適用することが可能である。
本実施の形態の説明に用いた数値は一例であり、この数値に限定されるものではない。
また、各レンズの形状、サイズ等は、実施の形態の説明及び図に限定されるものではない。本発明で使用される各レンズは、一方面が曲面であれば、他方面は平面でも曲面でもよい。
本実施の形態で説明した光導波路は、長軸方向において複数の発光部から出射されるレーザ光を集光する構成としたが、短軸方向において複数の発光部から出射されるレーザ光を集光する構成とすることも可能である。
また、以上(≧)、以下(≦)、より大きい(>)、未満(<)等は、等号を含んでも含まなくてもよい。
12 発光部
20 光導波路
22a〜22e 第1レンズ
25、25a 低屈折率部材
30 光ファイバ
40、40a、40b レンズアレイ
42a〜42e、44a〜44e 第2レンズ
50 短軸方向幅均一化レンズ
60 短軸方向集光レンズ
70 長軸方向コリメートレンズアレイ
80 長軸方向集光レンズ
90 短軸方向集光レンズアレイ
Claims (15)
- 楕円状に広がりながら進行する複数のレーザ光を入射面から入射して、入射された複数のレーザ光を所定の方向に集光して出射面から出射する光導波路であって、
複数の前記レーザ光のそれぞれは、前記楕円の長軸方向及び短軸方向に配列された複数のレーザ発光部から出射され、
前記光導波路は、同一屈折率の材料にて形成され、入射面の長軸方向の寸法よりも出射面の長軸方向の寸法のほうが小さく形成されているとともに、短軸方向の寸法は短軸方向に配列されたレーザ発光部のほぼ中心間の距離より小さく、且つレーザ発光部の短軸方向の長さより大きく設定されており、
前記光導波路の入射面の長軸方向の寸法は、長軸方向に配列された複数のレーザ発光部に対応した長さであり、
長軸方向に配列された複数のレーザ発光部から出射される複数のレーザ光が入射面から入射され、入射された複数のレーザ光を長軸方向及び短軸方向に閉じ込めて導光して出射面から出射する、
ことを特徴とする光導波路。 - 楕円状に広がりながら進行する複数のレーザ光を入射面から入射して、入射された複数のレーザ光を所定の方向に集光して出射面から出射する光導波路であって、
複数の前記レーザ光のそれぞれは、前記楕円の長軸方向及び短軸方向に配列された複数のレーザ発光部から出射され、
前記光導波路は、同一屈折率の材料にて形成され、入射面の長軸方向の寸法よりも出射面の長軸方向の寸法のほうが小さく形成されているとともに、短軸方向の寸法は短軸方向に配列されたレーザ発光部のほぼ中心間の距離より小さく、且つレーザ発光部の短軸方向の長さより大きく設定されており、入射されたレーザ光を短軸方向に対して閉じ込め、
長軸方向に配列された複数のレーザ発光部の数、及び各レーザ発光部のほぼ中心間における前記長軸方向の間隔は予め確認されており、
レーザ光が入射される光導波路の入射面には、各レーザ発光部に対応させて、入射された各レーザ光を各々長軸方向に屈折させて長軸方向に集光する、複数の第1レンズが設けられており、
入射されたレーザ光のそれぞれが光導波路の出射面に導光されるように、各第1レンズの光軸が第1レンズ毎に異なる角度でほぼ光導波路の出射面の方向に傾斜するように形成されている、
ことを特徴とする光導波路。 - 請求項2に記載の光導波路であって、
前記光導波路における各第1レンズの位置は、前記短軸方向の側から見て、各レーザ発光部から対応する第1レンズの中心までにおける、前記レーザ光の進行方向の距離と前記長軸方向の距離とをそれぞれ所定距離とすることで位置決めされ、
前記進行方向の距離及び前記長軸方向の距離は、各第1レンズの焦点距離、及び出射面と各第1レンズとを結んだ線と前記レーザ光の進行方向とのなす角度に基づいて、前記第1レンズ毎に設定されている、
ことを特徴とする光導波路。 - 請求項2に記載の光導波路であって、
各第1レンズの光軸が第1レンズ毎に異なる角度でほぼ光導波路の出射面の方向に傾斜するように形成されている代わりに、
各第1レンズの光軸が、入射される各レーザ光の進行方向とほぼ平行になるように形成されており、
前記光導波路における各第1レンズの位置は、前記短軸方向の側から見て、各レーザ発光部から対応する第1レンズの中心までにおける、前記レーザ光の進行方向の距離と前記長軸方向の距離とをそれぞれ所定距離とすることで位置決めされ、
前記進行方向の距離及び前記長軸方向の距離は、各第1レンズの焦点距離、及び出射面と各第1レンズとを結んだ線と前記レーザ光の進行方向とのなす角度に基づいて、前記第1レンズ毎に設定されている、
ことを特徴とする光導波路。 - 請求項2〜4のいずれかに記載の光導波路であって、
各光導波路において、第1レンズを通過したレーザ光が進行する光伝搬層が空洞に形成されている、
ことを特徴とする光導波路。 - 請求項1〜5のいずれかに記載の光導波路であって、
前記光導波路における、前記短軸方向と交わる面が、前記レーザ光を全反射する全反射部材で覆われている、
ことを特徴とする光導波路。 - 請求項1〜6のいずれかに記載の光導波路であって、
前記光導波路における、前記長軸方向と交わる面が、前記レーザ光を全反射する全反射部材で覆われている、
ことを特徴とする光導波路。 - 請求項1〜5のいずれかに記載の光導波路を複数用いた光導波路アレイであって、
前記楕円の長軸方向及び短軸方向に配列された複数のレーザ発光部の数、及び各レーザ発光部のほぼ中心間における前記長軸方向の間隔と前記短軸方向の間隔は予め確認されており、
複数の前記レーザ発光部を、前記長軸方向毎の複数の長軸グループに分割し、
各光導波路の入射面が、各長軸グループのレーザ発光部に対応するように、複数の前記光導波路が前記短軸方向に並べて配置されている、
ことを特徴とする光導波路アレイ。 - 請求項8に記載の光導波路アレイであって、
各光導波路の短軸方向の寸法が、短軸方向に配列されたレーザ発光部のほぼ中心間の距離より小さく、且つレーザ発光部の短軸方向の長さより大きく設定されている代わりに、
各光導波路の短軸方向の寸法が、レーザ発光部の短軸方向の長さより小さく設定されており、各長軸グループのレーザ発光部に対して、少なくとも2つ以上の光導波路が短軸方向に配列されている、
ことを特徴とする光導波路アレイ。 - 請求項8または9に記載の光導波路アレイであって、
各光導波路と光導波路との間に、当該光導波路の屈折率よりも小さな屈折率を有する低屈折率部材を挟み込み、当該低屈折率部材と光導波路とを交互に配列して一体構造とされている、
ことを特徴とする光導波路アレイ。 - 請求項8〜10のいずれかに記載の光導波路アレイであって、
前記光導波路における、前記短軸方向と交わる面が、前記レーザ光を全反射する全反射部材で覆われている、
ことを特徴とする光導波路アレイ。 - 請求項8〜10のいずれかに記載の光導波路アレイであって、
前記光導波路における、前記長軸方向と交わる面が、前記レーザ光を全反射する全反射部材で覆われている、
ことを特徴とする光導波路アレイ。 - 請求項8または9に記載の光導波路アレイであって、
前記短軸方向における、各光導波路と光導波路との間隙の層に、少なくとも前記レーザ光を全反射する全反射部材の層を形成し、前記光導波路と前記間隙の層とを交互に配列して一体構造とする、
ことを特徴とする光導波路アレイ。 - 請求項8〜10または13のいずれかに記載の光導波路アレイと、光ファイバと、集光レンズとを備え、
複数のレーザ発光部から出射されるレーザ光を集光するレーザ集光装置であって、
各光導波路の出射面には、各々、光ファイバの入射面が配置されており、
前記光ファイバのそれぞれの出射面は任意の形状に束ねられ、任意の形状に束ねられた前記光ファイバの出射面側に前記集光レンズが配置されており、
複数の前記レーザ発光部から出射される複数の前記レーザ光を、前記光導波路を用いて前記長軸グループ毎に集光して前記光ファイバに入射し、前記光ファイバの出射面から出射されるレーザ光を前記集光レンズで集光する、
ことを特徴とするレーザ集光装置。 - 請求項6または7に記載の光導波路を複数用いた光導波路アレイと、光ファイバと、集光レンズとを備え、
長軸方向及び短軸方向に配列された複数のレーザ発光部の数、及び各レーザ発光部のほぼ中心間における前記長軸方向の間隔と前記短軸方向の間隔は予め確認されており、
複数のレーザ発光部から出射されるレーザ光を集光するレーザ集光装置であって、
複数のレーザ発光部を前記長軸方向毎の複数の長軸グループに分割し、
各長軸グループのレーザ発光部に対応させて光導波路が配置されており、
各光導波路の出射面には、各々、光ファイバの入射面が配置されており、
前記光ファイバのそれぞれの出射面は任意の形状に束ねられ、任意の形状に束ねられた前記光ファイバの出射面側に前記集光レンズが配置されており、
複数の前記レーザ発光部から出射される複数の前記レーザ光を、前記光導波路を用いて前記長軸グループ毎に集光して前記光ファイバに入射し、前記光ファイバの出射面から出射されるレーザ光を前記集光レンズで集光する、
ことを特徴とするレーザ集光装置。
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