JP5507837B2 - レーザビームを形成するための装置 - Google Patents

Description

本発明は、レーザビームの進展方向に対して垂直な第１の方向において互いに離間された、特に、レーザビームを形成するための、レーザダイオードバーから出射する部分ビームを有するレーザビームを形成するための装置に関する。

定義：影響が及ぼされるべき光の進展方向においてとは、特に、この光が平面波でない場合、または少なくとも部分的に収束または発散する場合には、光の中位の進展方向を意味する。光ビーム、部分ビーム、またはビームとは、明示的に他のことを述べていない場合には、幾何学的光学装置の理想的ビームを意味するのではなく、たとえばガウスプロフィールを有するレーザビームなどの現実上の光ビームであって、無限に小さくなるのではなく、広いビーム断面を有する光ビームを意味する。

レーザダイオードバーは、複数の発光素子、たとえば、いわゆる遅軸方向において互いに離間されて設けられた１９の発光素子を含む。遅軸は、冒頭において挙げた第１の方向であって、この方向に半導体ダイオードの活性層が延び、速軸はこれに垂直な方向である。たとえば、各発光素子は遅軸方向に約１５０μｍの長さを有し、この場合、この方向における互いに隣接する２つの発光素子間の距離は、約４００μｍである。結果として、各発光素子から出射される部分ビーム間に暗い領域が存在することになり、これは、レーザビームの輝度（比強度（specific intensity））にとって短所となる。

技術の水準においては、各発光素子のビームの周期は調整されずに、レーザダイオードバーの、各発光素子から出射される部分ビームはマイクロ光学素子によって速軸方向にコリメートされ、一部は、遅軸方向においてもコリメートされる。この例が特許文献１にある。この技術の水準においては、各適用目的に応じて、一定のビームプロフィールを達成するために、さらなるビーム形成光学素子が利用される。この場合、発光素子間の暗い領域を甘受せねばならず、これが目的とする輝度に限界を生じせしめる。バー構造のために、レーザシステム全体の輝度について、構造上の点から限界がある。

さらにまた、ビームを形成する光学素子の例は、特許文献２にもある。そこにはレーザダイオードバーから出射されるレーザビームは、遅軸方向において２つの部分に分割され、次いで、これらの部分は速軸方向に互いに重なり合って配列される。それによって、細長長方形状のレーザビームの断面は、光ファイバ端部により一層うまく集光される細長形状が劣る長方形形状に転換される。

本発明の基礎となる課題は、冒頭で挙げたタイプの装置を提供することであって、かかる装置によって、レーザダイオードバーから出射されるレーザビームを、より高い輝度を有するように、および／または一層よく集光されるように形成することができる。

ＷＯ２００５／０８５９３４Ａ１ ＤＥ１０１０６１５５Ａ１

本発明は、レーザビームを形成するための装置であって、レーザビームの進展方向（Ｚ）に対して垂直な第１の方向（Ｘ）において互いに離間された、レーザビームを形成するための、レーザダイオードバー（１）から出射する部分ビーム（３）を有するレーザビームを形成するための装置において、
第１の反射界面（８）であって、第１の反射界面（８）を通過する前よりも、第１の反射界面（８）を通過した後に、少なくとも部分的には互いに一層収束されて進行するように、形成されるレーザビームの少なくとも複数の部分ビーム（３）を異なって回折させることが可能である第１の反射界面（８）と、
第２の反射界面（９）であって、第１の反射界面（８）を通過して入射するレーザビームが通過することが可能であり、少なくともいくつかの部分ビームを、それらの収束が低下させられるように回折させることが可能である第２の反射界面（９）と、を有することを特徴とするレーザビームを形成するための装置である。

本発明において、第１の反射界面（８）は、形成されるレーザビームの少なくとも複数の部分ビーム（３）を、第１の反射界面を通過した後に、レーザビームの進展方向（Ｚ）において第２の反射界面（９）より後段に設けられる点上で整列されるように異なって回折させることが可能であることを特徴とする。

本発明において、該装置はコリメーション手段を有し、該コリメーション手段は、レーザビームを、第１の方向（Ｘ）に関しておよび／または第１の方向（Ｘ）に対しておよびレーザビームの進展方向（Ｚ）に対して垂直な第２の方向（Ｙ）に関して、少なくとも部分的にコリメートすることが可能であり、コリメーション手段は、第２の方向（Ｙ）におけるコリメーションを行い、レーザビームの進展方向（Ｚ）において、第１の反射界面（８）の前段に配置されることを特徴とする。

本発明において、第２の反射界面（９）は、少なくともいくつかの部分ビーム（３）を、これらの部分ビーム（３）が、±１０％、好ましくは±５％、特に好ましくは±１％の誤差で互いに平行に進行するように、これらの部分ビームの収束が抑制されるように回折させることが可能であることを特徴とする。

本発明において、第１の反射界面および／または第２の反射界面（８，９）は、それぞれ少なくとも複数の互いに傾斜した面（１４，１７）を有し、少なくとも部分ビーム（３）の１つがこれらの各面（１４，１７）を通過することが可能であることを特徴とする。

本発明において、互いに傾斜した面（１４，１７）は、少なくとも部分的に平坦であることを特徴とする。

本発明において、互いに傾斜した面（１４，１７）は、少なくとも部分的に第１の方向（Ｘ）において互いに連接していることを特徴とする。

本発明において、前記２つの反射界面（８，９）のそれぞれの互いに傾斜した面（１４，１７）は、それぞれ少なくとも１つの円筒状輪郭（１２,１３，１５，１６）上に配置されていることを特徴とする。

本発明において、少なくとも１つの円筒状輪郭（１２，１３，１５，１６）のシリンダ軸は、第２の方向（Ｙ）に延びていることを特徴とする。

本発明において、第１の反射界面（８）上の少なくとも１つの円筒状輪郭（１２，１３）は、凸状に形成されてなることを特徴とする。

本発明において、第２の反射界面（９）上の少なくとも１つの円筒状輪郭（１５，１６）は、凹状に形成されることを特徴とする。

本発明において、第１の反射界面（８）の第１の方向（Ｘ）において互いに連接する面（１４）は、少なくとも部分的に、１５０°〜１８０°、特に１６５°〜１８０°、好ましくは１７５°〜１７９°の角度を互いに形成することを特徴とする。

本発明において、第２の反射界面（９）の第１の方向（Ｘ）において互いに連接している面（１７）は、少なくとも部分的に１８０°〜２１０°の角度、特に、１８０°〜１９５°の角度、好ましくは１８１°〜１８５°の角度を互いに形成することを特徴とする。

本発明において、第１の反射界面および／または第２の反射界面（８，９）は、少なくとも２つの群の互いに傾斜した面（１４，１７）を有し、各群はそれぞれ用の円筒状輪郭（１２，１３，１５，１６）上に配置されることを特徴とする。

本発明において、少なくとも２つの円筒状輪郭（１２，１３）は、第１の反射界面上（８）に第１の方向（Ｘ）に配置されることを特徴とする。

本発明において、第２の反射界面上（９）の少なくとも２つの円筒状輪郭（１５，１６）は、第１の方向（Ｘ）に互いに離間していることを特徴とする。

本発明において、レーザビームの進展方向（Ｚ）に順に配置される、特に互いに離間されて配置される２つの基板（６，７）を有することを特徴とする。

本発明において、基板（６，７）のそれぞれ上に、反射界面（８，９）の１つが配置されていることを特徴とする。

本発明において、第１の反射界面（８）は、第１の基板（６）の入射面であり、および／または第２の反射界面（９）は、第２の基板（７）の出射面であることを特徴とする。

本発明において、第１の基板（６）の出射面は平坦であり、および／または第２の基板（７）の入射面は、平坦であることを特徴とする。

これは、本発明に従えば、請求項１の特徴を有する装置によって達成される。下位の請求項は、本発明の好ましい実施形態に該当する。

請求項１に従えば、かかる装置は、第１の反射界面を有し、第１の反射界面は、第１の反射界面を通過する前よりも、第１の反射界面を通過した後に、少なくとも部分的には互いに一層収束されて進行するように、形成されるレーザビームの少なくとも複数の部分ビームを異なって回折させることが可能であって、さらにまた、かかる装置は、第２の反射界面を有し、第１の反射界面を通過して入射するレーザビームは該第２の反射界面を通過することが可能であり、この場合、第２の反射界面は、少なくとも複数の部分ビームを、それらの収束が低下させられるように回折させることが可能であるように構成されてなる。

第１の反射界面は、形成されるレーザビームの少なくとも複数の部分ビームを、第１の反射界面を通過した後に、レーザビームの進展方向において第２の反射界面より後段に設けられる点上で整列されるように異なって回折させることが可能であるように構成されてなる。

さらにまた、かかる装置はコリメーション手段を有し、該コリメーション手段は、レーザビームを、第１の方向に関しておよび／または第１の方向に対しておよびレーザビームの進展方向に対して垂直な第２の方向に関して、少なくとも部分的にコリメートすることが可能であり、この場合、特に、コリメーション手段は、レーザビームの進展方向において、第１の反射界面の前段に配置される。

特に、第２の反射界面は、少なくともいくつかの部分ビームを、これらの部分ビームが、±１０％、好ましくは±５％、特に好ましくは±１％の誤差で互いに平行に進行するように、これらの部分ビームの収束が抑制されるように回折させることが可能である。したがって、各部分ビームは、第２の反射界面を通過した後、再び平行にされる。この場合、周期と暗い領域が調整される。

第１の反射界面および／または第２の反射界面は、それぞれ複数の互いに傾斜した面を有している。少なくとも部分ビームの１つがこれらの各面を通過することが可能である。したがって、個々の部分ビームが、特に、全ての部分ビームが、互いに異なる角度で屈折する。たとえば、第１の反射界面の各面を通過して入射する部分ビームの回折角は、全ての部分ビームが、第１の反射界面を通過した後、レーザビームの進展方向において第２の反射界面の後段に配置される点上に導かれるように異ならせることが可能である。特に、第２の反射界面の各面を通過して入射する部分ビームの回折角は、全ての部分ビームが、第２の反射界面を通過した後互いに平行に進行するように異ならせることが可能であり、特に、第１の方向における部分ビーム間の距離は、小さくなっている、または実質的にもはや距離はなくなっている。

互いに傾斜した面は、少なくとも部分的には平坦であって、少なくとも部分的には、第１の方向において互いに連接している。

これら２つの反射界面のそれぞれの互いに傾斜した面は、それぞれ少なくとも１つの円筒状輪郭上に配置されてなる。

特に、第１の反射界面上の少なくとも１つの円筒状輪郭は、凸状に形成されてなることが可能である。この場合、第２の反射界面上の少なくとも１つの円筒状輪郭は、凹状に形成することが可能である。したがって、第１の反射界面上と第２の反射界面上との平坦な面の屈折角が対応することになる。特に、第１の反射界面の第１の方向において互いに連接する面は、少なくとも部分的に、１５０°〜１８０°、特に１６５°〜１８０°、好ましくは１７５°〜１７９°の角度を互いに形成することが可能である。それに対して、第２の反射界面の第１の方向において互いに連接する面は、少なくとも部分的に１８０°〜２１０°の角度、特に、１８０°〜１９５°の角度、好ましくは１８１°〜１８５°の角度を互いに形成することが可能である。この場合特に、第２の反射界面は同じ数の平坦な面を有しており、これらの面は、各部分ビームを、第１の反射界面と比べて、負の角度で、それらが方向づけられる点に到達する前に屈折させるように構成させてなる。

代わりに、第１の反射界面上の平坦な面間の角度は、第２の反射界面上の平坦な面間の角度とは異なって構成することも可能である。第１の反射界面および第２の反射界面の部分ビームの回折角は互いに対応しているけれども、第１の反射界面が形成される材料を、第２の反射界面が形成される材料の屈折率と異ならせてもよい。

さらにまた、第１の反射界面および／または第２の反射界面は、少なくとも２つの群の互いに傾斜した面を有し、各群はそれぞれのための円筒状輪郭上に配置される構成とすることも可能である。

さらにまた、少なくとも２つの円筒状輪郭は、第１の反射界面上、第１の方向に配置される構成とすることも可能である。

第２の反射界面上の少なくとも２つの円筒状輪郭は、第１の方向に互いに離間させてもよい。これによって、部分ビームを２つの別個の群にまとめることも可能であって、目標として対称的なビームプロフィールの形成を助けるために、幾何学的カップリング、極性カップリング、または波長カップリングによってコンパクトに重層させることが可能である。このようなプロフィールは、たとえば対称的な前面を有する光ファイバにレーザビームを結合するためである。

前述したように、分配のためのこれまでの解決方法は、別個の光学素子を用いている。本発明に従った装置によって、各ビームを２または複数の群に分配するという課題だけを追求した別個の光学素子は不要となる。むしろ、本発明に従った装置の場合、暗い領域を削除することによって輝度を高めることを、各群に部分ビームを分布させることと組合わせることができる。この第２の機能の成果は、ビーム進展がより短く、複雑さが緩和されることである。光源として線条光源（ＢＡＬＢ）を有するレーザダイオードバーを用いる場合、コア径５０μｍ、開口数（ＮＡ）＝０．２２またはコア径１００μｍ、ＮＡ＝０．１２のファイバとファイバ結合されたレーザシステムを作製してもよい。また、複数のバーシステムに広げることも可能である。

本発明の装置は、レーザビームの進展方向に順に配置される、特に互いに離間されて配置される２つの基板を有してもよい。

さらにまた、各基板上に反射界面の内の１つが配置される構成としてもよい。
第１の反射界面は、第１の基板の入射面であってもよく、および／または第２の反射界面は、第２の基板の出射面であってもよい。

さらにまた、第１の基板の出射面は平坦であってもよく、および／または第２の基板の入射面は、平坦であってもよい。

本発明のさらなる特徴と利点は、添付の図を参照して、好ましい実施形態についての以下の説明によって明らかになるであろう。

図においては、分かり易くするためにデカルト座標が利用されている。
図１において、レーザダイオードバーは参照符号１で、レーザダイオードバー１の各発光素子は参照符号２で示され、発光素子２は、いわゆる遅軸方向に、すなわち図におけるＸ方向に、互いに離間されて配置されている。たとえば、各発光素子２は、遅軸方向に約１５０μｍの長さを有し、この方向に互いに隣接する２つの発光素子間の距離は、約４００μｍである。各発光素子２は、レーザダイオードバー１のレーザビームの部分ビーム３を出射する。

本発明に従った装置の図１に示される実施形態は、発光素子２の後段であって、進展方向Ｚに速軸コリメーションレンズ４を有し、かかる速軸コリメーションレンズ４は、各部分ビーム３をいわゆる速軸方向に、すなわち図におけるＹ方向にコリメートする。

速軸コリメーションレンズ４後段の進展方向Ｚに、ビーム変換装置５が設けられ、かかるビーム変換装置５は各部分ビームそれぞれを進展方向Ｚに関して９０°回転させる。したがって、速軸方向の部分ビームのダイバージェンスは、遅軸方向におけるものと交換され、ビーム変換装置５を通過した後、部分ビーム３は、遅軸すなわち図中Ｘ方向にコリメートされる。このようなビーム変換装置５は、長く知られており、たとえば、Ｘ方向に順に配置されたシリンドリカルレンズを有し、これらのシリンドリカルレンズは、Ｘ−Ｙ平面においてＹ方向に対して４５°の角度をなして配されている。

ビーム変換装置５の後段の進展方向Ｚにおいて、発明に従った装置は、さらに２つの基板６，７を有し、これらの基板は、進展方向Ｚにおいて互いに間隔をあけて配置されている。第１の基板６は、ビーム変換装置５に向けられた側に、第１の反射界面８を有する。第２の基板７は、第１の基板６とは反対側に第２の反射界面９を有する。基板６，７の互いに対向する側面１０，１１は、平坦に形成されている。

第１の基板６の入射面として働く第１の反射界面８は、Ｘ方向に互いに連接する凸状の円筒状輪郭１２，１３を有し、それらのシリンダ軸は、Ｙ方向に延びている。凸状の輪郭１２，１３のそれぞれの上には、Ｘ方向に、互いに連接する平坦な面１４が設けられ、これらはそれぞれ角度αを互いになしている（図２ａ参照）。これらの面間の角度αは、Ｘ方向において外から内に向かって増加し、たとえば、凸状の円筒状輪郭１２，１３のより外方の縁領域では約１７５．５°であり、凸状の円筒状輪郭１２，１３の中央では約１７９°である。この場合、平坦な面１４は、部分ビーム３の１つが常に平坦な面１４の内の１つに入射するような大きさと配置にされる。部分ビーム３は互いに収束し、全体が第２の基板７後段の想定上の点に集まるように、平坦な面１４を通過して回折される。

第２の基板７の出射面として作用する第２の反射界面９は、Ｘ方向に互いに離間して配置された、凹状の円筒状輪郭１５，１６を有し、それら凹状の円筒状輪郭１５，１６のシリンダ軸もＹ方向に延びている。凹状の輪郭１５，１６それぞれの上には、Ｘ方向に互いに連接する平坦な面１７が設けられ、これらはそれぞれ角度βを互いになしている（図２ｂ参照）。これらの面間の角度βは、Ｘ方向において外から内に向かって弱まり、たとえば、凹状の円筒状輪郭１５，１６のより外方の縁領域では約１８４．５°であり、凹状の円筒状輪郭１５，１６の中央では約１８１°である。この場合、平坦な面１７は、第１の反射界面８の平坦な面１４によって回折された部分ビーム３の１つが、第２の反射界面９の平坦な面１７の１つに常に入射するような大きさと配置にされる。互いに収束された部分ビーム３、平坦な面１７を通過して、第２の反射界面９を通過した後再び互いに平行に進行するように回折される。

図２ａおよび図２ｂの比較によって、Ｘ方向における両反射界面８,９を通過する前の部分ビーム３間の暗い領域１８は、両反射界面８,９を通過した後の部分ビーム３間の暗い領域１９よりも拡がっていることがわかる。理想的な場合には、両反射界面８,９を通過した後の部分ビーム３間の暗い領域１９は、Ｘ方向においておおよそ０である。

両基板の後ろには、図示された、部分ビーム３の残るＹ方向におけるダイバージェンスを低下させることが可能な遅軸コリメーション手段を設けなくてもよい。

レーザダイオードバーを有する、例示のビーム進展が示された、本発明に従った装置の平面図である。 図１の矢符ＩＩａに従った詳細図である。 図１の矢符ＩＩｂに従った詳細図である。 図１に従った装置の形成に寄与する２つの基板の斜視図である。

符号の説明

１ レーザダイオードバー
２ 発光素子
３ 部分ビーム
４ 速軸コリメーションレンズ
５ ビーム変換装置
６ 第１の基板
７ 第２の基板
８ 第１の反射界面
９ 第２の反射界面
１２，１３，１５，１６ 円筒状輪郭

Claims (23)

1. レーザビーム形成装置であって、レーザダイオードバー（１）から出射され、レーザビームの伝播方向（Ｚ）に対して垂直な第１の方向（Ｘ）において互いに離間された部分ビーム（３）を有するレーザビームを形成する、レーザビーム形成装置において、
   第１の屈折面（８）であって、形成されるべきレーザビームの少なくとも複数の部分ビーム（３）が、第１の屈折面（８）を通過する前よりも、第１の屈折面（８）を通過した後に、互いに一層収束されて進行するように、形成されるべきレーザビームの少なくとも複数の部分ビーム（３）を異なって屈折させることが可能である第１の屈折面（８）と、
   第２の屈折面（９）であって、第１の屈折面（８）を通過して入射するレーザビームが通過することが可能であり、少なくともいくつかの部分ビームを、それらの相互の収束が低下するように屈折させることが可能である第２の屈折面（９）と、を有し、
   第１の屈折面（８）および第２の屈折面（９）は、複数の互いに傾斜した平坦面（１４，１７）を有し、複数の互いに傾斜した平坦面（１４，１７）は、少なくとも部分的に第１の方向（Ｘ）において互いに連接しているとともに、少なくとも１つの円筒状輪郭（１２,１３，１５，１６）上に配置されており、
   複数の互いに傾斜した平坦面（１４，１７）間の角度が、少なくとも１つの円筒状輪郭（１２，１３，１５，１６）の外縁部から中央部に向う第１の方向（Ｘ）において、増加または減少することを特徴とするレーザビーム形成装置。
2. コリメーション手段を有し、該コリメーション手段は、第１の方向（Ｘ）、ならびに、第１の方向（Ｘ）およびレーザビームの伝播方向（Ｚ）の両方に垂直な第２の方向（Ｙ）のうちの少なくとも一方の方向において、レーザビームをコリメートすることが可能であることを特徴とする請求項１に記載の装置。
3. コリメーション手段は、第１の屈折面（８）の前段に配置され、第２の方向（Ｙ）におけるコリメーションを行うことを特徴とする請求項２に記載の装置。
4. 第２の屈折面（９）は、少なくともいくつかの部分ビーム（３）を、これらの部分ビーム（３）が、±１０％の誤差で互いに平行に進行するように、これらの部分ビームの収束が抑制されるように屈折させることが可能であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の装置。
5. 第２の屈折面（９）は、少なくともいくつかの部分ビーム（３）を、これらの部分ビーム（３）が、±５％の誤差で互いに平行に進行するように、これらの部分ビームの収束が抑制されるように屈折させることが可能であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の装置。
6. 第２の屈折面（９）は、少なくともいくつかの部分ビーム（３）を、これらの部分ビーム（３）が、±１％の誤差で互いに平行に進行するように、これらの部分ビームの収束が抑制されるように屈折させることが可能であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の装置。
7. 少なくとも部分ビーム（３）の１つが、第１の屈折面および／または第２の屈折面（８，９）の、複数の互いに傾斜した平坦面（１４，１７）の各面を通過することが可能であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の装置。
8. 第１の屈折面（８）の複数の互いに傾斜した平坦面（１４）、および第２の屈折面（９）の複数の互いに傾斜した平坦面（１７）は、それぞれ少なくとも１つの円筒状輪郭（１２，１３，１５，１６）上に配置されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の装置。
9. 少なくとも１つの円筒状輪郭（１２，１３，１５，１６）のシリンダ軸は、第１の方向（Ｘ）およびレーザビームの伝播方向（Ｚ）の両方に垂直な第２の方向（Ｙ）に延びていることを特徴とする請求項８に記載の装置。
10. 第１の屈折面（８）の複数の互いに傾斜した平坦面（１４）が配置される少なくとも１つの円筒状輪郭（１２，１３）は、凸状に形成されてなることを特徴とする請求項８または９に記載の装置。
11. 第２の屈折面（９）の複数の互いに傾斜した平坦面（１７）が配置される少なくとも１つの円筒状輪郭（１５，１６）は、凹状に形成されることを特徴とする請求項８〜１０のいずれか１項に記載の装置。
12. 第１の屈折面（８）の、複数の互いに傾斜した平坦面（１４）の第１の方向（Ｘ）において互いに連接する面は、少なくとも部分的に、１５０°〜１８０°の角度を互いに形成することを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１項に記載の装置。
13. 第１の屈折面（８）の、複数の互いに傾斜した平坦面（１４）の第１の方向（Ｘ）において互いに連接する面は、少なくとも部分的に、１６５°〜１８０°の角度を互いに形成することを特徴とする請求項１２に記載の装置。
14. 第１の屈折面（８）の、複数の互いに傾斜した平坦面（１４）の第１の方向（Ｘ）において互いに連接する面は、少なくとも部分的に、１７５°〜１７９°の角度を互いに形成することを特徴とする請求項１３に記載の装置。
15. 第２の屈折面（９）の、複数の互いに傾斜した平坦面（１７）の第１の方向（Ｘ）において互いに連接している面は、少なくとも部分的に１８０°〜２１０°の角度を互いに形成することを特徴とする請求項１〜１４のいずれか１項に記載の装置。
16. 第２の屈折面（９）の、複数の互いに傾斜した平坦面（１７）の第１の方向（Ｘ）において互いに連接している面は、少なくとも部分的に１８０°〜１９５°の角度を互いに形成することを特徴とする請求項１５に記載の装置。
17. 第２の屈折面（９）の、複数の互いに傾斜した平坦面（１７）の第１の方向（Ｘ）において互いに連接している面は、少なくとも部分的に１８１°〜１８５°の角度を互いに形成することを特徴とする請求項１６に記載の装置。
18. 第１の屈折面および／または第２の屈折面（８，９）は、少なくとも２つの群の互いに傾斜した平坦面（１４，１７）を有し、各群はそれぞれのための円筒状輪郭（１２，１３，１５，１６）上に配置されることを特徴とする請求項１〜１７のいずれか１項に記載の装置。
19. 第１の屈折面（８）は、少なくとも２つの群の互いに傾斜した平坦面（１４）を有し、少なくとも２つの円筒状輪郭（１２，１３）は、第１の方向（Ｘ）に配置されることを特徴とする請求項１８に記載の装置。
20. 第２の屈折面（９）は、少なくとも２つの群の互いに傾斜した平坦面（１７）を有し、少なくとも２つの円筒状輪郭（１５，１６）は、第１の方向（Ｘ）に互いに離間していることを特徴とする請求項１８または１９に記載の装置。
21. レーザビームの伝播方向（Ｚ）において互いに離間されて配置される第１および第２の基板（６，７）を有し、第１の屈折面（８）は、第１の基板（６）上に形成され、第２の屈折面（９）は、第２の基板（７）上に形成されていることを特徴とする請求項１〜２０のいずれか１項に記載の装置。
22. 第１の屈折面（８）は、第１の基板（６）の入射面であり、および／または第２の屈折面（９）は、第２の基板（７）の出射面であることを特徴とする請求項２１に記載の装置。
23. 第１の基板（６）の出射面は平坦であり、および／または第２の基板（７）の入射面は、平坦であることを特徴とする請求項２１または２２に記載の装置。

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