JP4204304B2

JP4204304B2 - Filter inspection scanning device

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Publication number: JP4204304B2
Application number: JP2002323924A
Authority: JP
Inventors: 靖弘吉留
Original assignee: Taikisha Ltd
Current assignee: Taikisha Ltd
Priority date: 2002-11-07
Filing date: 2002-11-07
Publication date: 2009-01-07
Anticipated expiration: 2022-11-07
Also published as: JP2004157038A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フィルタ検査用スキャン装置に関し、詳しくは、装置基台に支持した第１フレームに第２フレームを第１方向への走行移動が自在な状態に支持し、その第２フレームにフィルタ検査具の取付部を前記第１方向と直交する第２方向への走行移動が自在な状態に支持してあるフィルタ検査用スキャン装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のこの種のフィルタ検査用スキャン装置は、図７に示すように、制御装置を内蔵してある装置基台１００の上面に固定された第１フレーム１０１の上を第１方向へのみ走行移動が可能な第２フレーム１０２と、その第２フレーム１０２の上を第１方向と直交する第２方向へのみ走行移動が可能でかつ高さ調整可能なフィルタ検査具取付部１０３とから構成されていて、そのフィルタ検査具取付部１０３の上方先端に、手作業による長さ調整が可能なアーム１０４をフィルタ検査具取付部１０３に対し回動自在に挟持する保持部１０３ａが設けられているとともに、アーム１０４の先端にはプローブ１０５ａと吸引チューブ１０６とから構成されるフィルタ検査具１０５を取り付けている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
意匠登録第１０２８４９６号
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、この構成では、図８に示すように第１方向における第１フレーム１０１の長さと第２方向における第２フレーム１０２の長さとから形成される範囲がフィルタ検査具取付部１０３の移動域（すなわち、装置の最大フィルタ検査可能域Ｓ）となることから、大きなフィルタを検査するには、必然的に第１フレーム１０１及び第２フレーム１０２を大きくする必要があり、それによって装置が全体として大型化してしまい、多数の機材が存在する場所での使用が困難である。
また、第１フレーム１０１及び第２フレーム１０２の大型化に伴ってそれら第１フレーム１０１と第２フレーム１０２の剛性も強化する必要が生じ、それによって、装置が重量化してしまうことから装置の移動性が低下するとともに、剛性の高い材料で製作することで製作コストが高騰化してしまう。
なお、装置基台１００の位置から離間した位置にある検査対象のフィルタに対してフィルタ検査具１０５を位置させるためにアーム１０４を伸長させても、フィルタ検査時は一定長さで固定されているので、装置の最大フィルタ検査可能域Ｓを拡大することにはならない。
【０００５】
この実情に鑑み、本発明の主たる課題は、上記問題を合理的な改良を以って効果的に解消する点にある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
〔１〕請求項１に係る発明はフィルタ検査用スキャン装置に係り、その特徴は、
装置基台に支持した第１フレームに第２フレームを第１方向への走行移動が自在な状態に支持し、その第２フレームにフィルタ検査具の取付部を前記第１方向と直交する第２方向への走行移動が自在な状態に支持してあるフィルタ検査用スキャン装置において、
前記第１フレームを前記装置基台に対し前記第１方向への走行移動が自在な状態に支持し、前記第２フレームを前記第１フレームに対し前記第１方向への走行移動とは独立して前記第２方向への走行移動が自在な状態に支持し、
前記第１フレーム、前記第２フレーム、前記フィルタ検査具取付部それぞれの走行移動を制御する制御手段を、
前記第１フレーム及び前記第２フレームの前記第１方向への走行移動において、前記装置基台の中央部からの偏りが大きくなる側への走行移動については、第１フレームの走行移動よりも第２フレームの走行移動を優先的に駆動手段に実行させ、
かつ、前記装置基台の中央部からの偏りが小さくなる側への走行移動については、逆に第２フレームの走行移動よりも第１フレームの走行移動を優先的に駆動手段に実行させる構成にするとともに、
前記第２フレーム及び前記フィルタ検査具取付部の前記第２方向への走行移動において、前記装置基台の中央部からの偏りが大きくなる側への走行移動については、第２フレームの走行移動よりもフィルタ検査具取付部の走行移動を優先的に駆動手段に実行させ、
かつ、前記装置基台の中央部からの偏りが小さくなる側への走行移動については、逆にフィルタ検査具取付部の走行移動よりも第２フレームの走行移動を優先的に駆動手段に実行させる構成にしてある点にある。
【０００７】
つまり、この構成によれば、第１フレームが装置基台に対し第１方向へ走行移動できるので、装置基台に対する第１フレームの第１方向への移動分と第１フレームに対する第２フレームの第１方向への移動分とをもって第１方向における第２フレームの移動域を長く確保でき、また、第２フレームが第１フレームに対し第１方向への走行移動とは独立して第２方向へ走行移動できるので、第１フレームに対する第２フレームの第２方向への移動分と第２フレームに対するフィルタ検査具取付部の移動分とをもって第２方向におけるフィルタ検査具取付部の移動域を長く確保できる。
従って、従来装置に比べ、第１フレーム及び第２フレームを短尺にして装置全体を小型化しながら、フィルタ検査具取付部の移動域（すなわち、装置の最大フィルタ検査可能域）を大きくすることができるので、装置を重量化することもなく、よって、汎用性及び移動性も良好で、製造コスト面においても有利なものにすることができる。
しかも、第１方向への第１フレームの走行移動と第２フレームの走行移動、及び、第２方向への第２フレームの走行移動とフィルタ検査具取付部の走行移動において、例えばそれらを継続的に同時進行させることなく、装置基台の中央部からの偏りが大きくなる側への走行移動については、第１フレームよりも第２フレームを、第２フレームよりもフィルタ検査具取付部を優先的に走行移動させ、装置基台の中央部からの偏りが小さくなる側への走行移動については、フィルタ検査具取付部よりも第２フレームを、第２フレームよりも第１フレームを優先的に走行移動させるので、フィルタの検査時において、常に第１フレーム、第２フレーム及び装置基台のそれぞれにかかるモーメントを極力小さくすることができ、装置を安定させた状態でフィルタ検査を実施することができる。
【０００８】
〔２〕請求項２に係る発明は、請求項１に係る発明の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記第１方向に延びる姿勢で平行に配置した一対の第１フレーム部材を前記装置基台に対し前記第１方向への走行移動が自在な状態に支持して、これら第１フレーム部材により前記第１フレームを構成し、前記第２フレームを前記第１フレームに対し前記第１方向への走行移動と前記第２方向への走行移動とが自在な状態に支持するのに、一対の前記第１フレーム部材に対し中間フレームを前記第１方向への走行移動が自在な状態に横架して、この中間フレームに第２フレームを前記第２方向への走行移動が自在な状態に支持してある点にある。
【０００９】
つまり、この構成によれば、第２フレームを第２方向への走行移動が自在な状態に支持する中間フレームを一対の第１フレーム部材に対して第１方向への走行移動が自在な状態に横架する状態に設けることで、第２フレームが支持しているフィルタ検査具取付部により第２フレームにかかる荷重を中間フレームによって二つのフレーム部材に分散させることができ、よって、装置全体を安定させた状態で精度よくフィルタ検査を実施することができる。
【００１０】
〔３〕請求項３に係る発明は、請求項１又は２に係る発明の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記制御手段を、
前記第１フレームの前記第１方向への走行移動と前記第２フレームの第１方向への走行移動との同時進行を許可する状態で、それら第１フレーム及び第２フレームの第１方向への走行移動を駆動手段に実行させ、
かつ、前記第２フレームの前記第２方向への走行移動と前記フィルタ検査具取付部の前記第２方向への走行移動との同時進行を許可する状態で、それら第２フレーム及びフィルタ検査具取付部の第２方向への走行移動を駆動手段に実行させる構成にしてある点にある。
【００１１】
つまり、第１フレームの第１方向への走行移動と第２フレームの第１方向への走行移動との同時進行を許可すれば、その同時進行を完全に禁止した状態で第１フレーム及び第２フレームのそれぞれを第１方向へ走行移動させるのに比べ、第１フレーム及び第２フレームのそれぞれをどのような相互関係で第１方向に走行移動させるかの選択範囲を広くすることができて、その分、第１フレームの第１方向への走行移動と第２フレームの第１方向への走行移動とを１つの駆動手段で実施する駆動手段の単一化など、走行移動構成の簡素化を容易にすることができる。
また同様に、第２フレームの第２方向への走行移動とフィルタ検査具取付部の第２方向への走行移動との同時進行を許可すれば、その同時進行を完全に禁止した状態で第２フレーム及びフィルタ検査具取付部のそれぞれを第２方向へ走行移動させるのに比べ、第２フレーム及びフィルタ検査具取付部のそれぞれをどのような相互関係で第２方向に走行移動させるかの選択範囲を広くすることができて、その分、第２フレームの第２方向への走行移動とフィルタ検査具取付部の第２方向への走行移動とを１つの駆動手段で実施する駆動手段の単一化など、走行移動構成の簡素化を容易にすることができ、これらのことにより、装置全体とし製造コストの低廉化を図ることができる。
【００１２】
〔４〕請求項４に係る発明は、請求項１〜３のいずれか１項に係る発明の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記制御手段を、
前記第１フレームの前記第１方向への走行移動と前記第２フレームの前記第１方向への走行移動との相互間での走行移動の受け継ぎを、前記フィルタ検査具取付部の前記第１方向への一定速度の移動を保つ状態で前記駆動手段に実行させる、
又は、前記第２フレームの前記第２方向への走行移動と前記フィルタ検査具取付部の前記第２方向への走行移動との相互間での走行移動の受け継ぎを、前記フィルタ検査具取付部の前記第２方向への一定速度の移動を保つ状態で前記駆動手段に実行させる構成にしてある点にある。
【００１３】
フィルタ検査において、正確な検査結果を求めるためには、フィルタ検査具を取り付けてあるフィルタ検査具取付部を一定速度に保った状態で第１方向又は第２方向へ移動させなければならないが、この構成によれば、制御手段が、第１方向への第１フレームの走行移動と第２フレームの走行移動との相互間での走行移動の受け継ぎをフィルタ検査具取付部の第１方向への移動を一定速度に保つように駆動手段に実行させる、又は、第２方向への第２フレームの走行移動とフィルタ検査具取付部の走行移動との相互間での走行移動の受け継ぎをフィルタ検査具取付部の第２方向への移動を一定速度に保つように駆動手段に実行させるので、フィルタ検査において、測定精度を向上させることができ、正確な検査を実施することができる。
【００１４】
〔５〕請求項５に係る発明は、請求項１〜４のいずれか１項に係る発明の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記第２方向視でＳ字形状に屈曲させた多関節構造のケーブルキャリアの一端部を前記装置基台に連結し、かつ、他端部を前記第２フレームの側に連結するとともに、そのＳ字形状における中央部を前記第１フレームに連結し、
前記装置基台から前記第２フレームの側にわたらせる第２ケーブル類を前記ケーブルキャリアの一端部から他端部にかけて収納するとともに、前記装置基台から前記第１フレームにわたらせる第１ケーブル類を前記ケーブルキャリアの一端部から中央部にかけて前記第２ケーブル類と共に収納してある点にある。
【００１５】
つまり、この構成によれば、第１ケーブル類と第２ケーブル類を第２方向視でＳ字状に屈曲させたケーブルキャリアに収納してあることで、第１及び第２ケーブル類を個別のケーブルキャリアに収納するのに比べ、第１及び第２ケーブル類をコンパクトに収納することができるとともに、第１フレーム及び第２フレームの走行移動に対して第１及び第２ケーブル類が邪魔になることを回避し、スムーズなフィルタ検査を実施することができる。
【００１６】
〔６〕請求項６に係る発明は、請求項１〜５のいずれか１項に係る発明の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記装置基台を、その装置基台の設置高さの調整を行なう高さ調整手段に対して取り付け可能な構成にしてある点にある。
【００１７】
つまり、この構成によれば、装置基台を高さ調整手段に取り付けることで、高い天井面のフィルタを検査する場合でも、フィルタ検査具と検査対象フィルタとの間を検査最適間隔に調整することができる。
なお、装置が軽量化されているので、高さ調整手段を小型化することができ、よって、装置全体としての床面の設置面積を小さくすることができ、床面上にある機材を取り払う必要性も少なくなり、汎用性や移動性の面においても装置が軽量化されているので良好である。
【００１８】
【発明の実施の形態】
図１は内部室用の空気浄化フィルタに対する検査機能を備えさせたクリーンブースを示し、ブース１内に形成する浄化対象室２の天井部に格子状のフィルタ支持フレーム３を設け、このフィルタ支持フレーム３によるフィルタ支持で、多数のフィルタ４（例えば、ＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタ）を天井部に並列に配置することにより、浄化対象室２の天井面の全面を並置フィルタ群Ｇの出口面からなる清浄空気吹出口にしてある。
【００１９】
ブース１内において、並置フィルタ群Ｇの上方空間（換言すれば天井裏空間）は、並置フィルタ群Ｇを介して空気を浄化対象室２へ供給する給気チャンバ５にし、また、浄化対象室２の隣には、室壁６を仕切りとして、その室壁６の下部に設けた排気口７と給気チャンバ５とを連通させる還気路８を形成し、この還気路８に、給気チャンバ５−浄化対象室２−還気路８の順で空気循環させる循環ファン９を内装してある。つまり、この空気循環においてフィルタ４により浄化した清浄空気を並置フィルタ群Ｇの出口面の全面（すなわち、天井面の全面）から下向き層流状に室内に吹き出させることで、浄化対象室２の室内を、例えば薬品の製造や半導体部品の製造などに適した高清浄度空間にする。
【００２０】
排気口７は、一連の長尺開口構造ないし複数口の列状配置により浄化対象室２の長辺方向（図１における紙面奥行き方向）の全長に亘って設けられ、また、還気路８も浄化対象室２の長辺方向の全長に亘る風路幅にし、更に、循環ファン９は浄化対象室２の長辺方向に並べて複数台を還気路８に内装し、これにより、浄化対象室２の室内における気流状態を浄化対象室２の長辺方向で均一化して、室内の高清浄度化を促進する。
【００２１】
室内清浄度の保証のためフィルタ４に対しては適時検査を実施するが、このフィルタ検査には、図１に示すように、フィルタ検査用スキャン装置Ｍを用いる。
【００２２】
１０はフィルタ検査用スキャン装置Ｍの装置基台、１１，１２，１３はその装置基台１０の上部に設けられた複数のフレーム、１４はフィルタ検査具取付部、１５はフィルタ検査具であり、１６は各フレーム１１，１２，１３及びフィルタ検査具取付部１４の走行移動を制御しフィルタ検査具１５によるフィルタ検査を実行する制御手段である制御装置である。
【００２３】
図１〜図４に示すように、装置基台１０は、矩形に枠組みされた二つの長辺部１０ａ，１０ｂと二つの短辺部１０ｃ，１０ｄとから構成され、二つの長辺部１０ａ，１０ｂのそれぞれの枠内側近傍には、装置基台１０に支持された長辺方向（第１方向であるＹ方向）に長い一対のレール部１０Ａ，１０Ｂが設けられ、それらレール部１０Ａ，１０ＢのＹ方向でかつ上下方向周りにはベルト１７が巻装されている。
【００２４】
１８は両レール部１０Ａ，１０Ｂに巻装されたベルト１７をＹ方向に回転移動させるための駆動手段である第１モータ、１９はその第１モータ１８の動力を両レール部１０Ａ，１０Ｂのベルト１７に伝達するための第１シャフトである。
【００２５】
第１フレーム１１は、装置基台１０に設けられているレール部１０Ａ，１０Ｂ上をレール部１０Ａ，１０Ｂに沿ってＹ方向に移動可能で、その第１フレーム１１の両長辺部を構成する第１フレーム部材１１ａ，１１ｂのＹ方向中央部分には、装置基台１０の各レール部１０Ａ，１０Ｂに対し上方から抱込む状態で係合し、各レール部１０Ａ，１０Ｂのベルト１７に対して噛合する支持部１１ｓが設けられている。
つまり、第１モータ１８を作動しベルト１７を回転移動させることで、装置基台１０のレール部１０Ａ，１０Ｂ上の第１フレーム１１をＹ方向に移動させることができ、しかも、支持部１１ｓが第１フレーム１１の両第１フレーム部材１１ａ，１１ｂのＹ方向中央部分に設けられているので、第１フレーム１１をＹ方向における装置基台１０の枠外に延出させることができる。
【００２６】
２０は第１フレーム１１の両第１フレーム部材１１ａ，１１ｂにＹ方向でかつ上下方向に巻装されたベルト２１をＹ方向に回転移動させるための駆動手段である第２モータ、２２はその第２モータ２０の動力を各第１フレーム部材１１ａ，１１ｂのベルト２１に伝達するための第２シャフトである。
【００２７】
中間フレーム１２は第１フレーム１１の両第１フレーム部材１１ａ，１１ｂ上をＹ方向に移動可能で、この中間フレーム１２は第１フレーム１１の長辺方向（Ｙ方向）に対し直交する短辺方向（第２方向であるＸ方向）で第１フレーム１１の両長辺部に跨る状態で設けられている。２３は第１フレームの各第１フレーム部材１１ａ，１１ｂに対し上方から抱込む状態で係合し、第１フレーム部材１１ａ，１１ｂのベルト２１に対して噛合する支持部である。
つまり、第２モータ２０を作動し第１フレーム部材１１ａ，１１ｂのベルト２１を回転移動させることで、第１フレーム部材１１ａ，１１ｂ上の中間フレーム１２をＹ方向に移動させることができる。
【００２８】
２４は中間フレーム１２にＸ方向でかつ上下方向に巻装されたベルト２５をＸ方向に回転移動させるための駆動手段である第３モータである。
【００２９】
第２フレーム１３は中間フレーム１２上をＸ方向に移動可能で、その第２フレーム１３のＸ方向中央部分には、中間フレーム１２に対し上方から抱込む状態で係合し、中間フレーム１２のベルト２５に対して噛合する支持部２６が設けられている。
つまり、第３モータ２４を作動し中間フレーム１２のベルト２５を回転移動させることで、中間フレーム１２上の第２フレーム１３をＸ方向に移動させることができ、しかも、支持部２６が第２フレーム１３のＸ方向中央部分に設けられているので、第２フレーム１３がＸ方向における中間フレーム１２の枠外に延出することができる。
【００３０】
２７は第２フレーム１３にＸ方向でかつ上下方向に巻装されたベルト２８をＸ方向に回転移動させるための駆動手段である第４モータである。
【００３１】
フィルタ検査具取付部１４は第２フレーム１３の上をＸ方向に移動可能で、フィルタ検査具取付部１４には、第２フレーム１３に対し上方から抱込む状態で係合し、第２フレーム１３のベルト２８に対して噛合する支持部２９が設けられているとともに、フィルタ検査具１５をその先端に付設した支持アーム１４ａを挟持する挟持部１４ｂが設けられていて、挟持部１４ｂは支持アーム１４ａをＸ方向又はＹ方向のいずれの方向にも延設させることができるように構成されている。
そして、第４モータ２７を作動し第２フレーム１３のベルト２８を回転移動させることで、第２フレーム１３上のフィルタ検査具取付部１４をＸ方向に移動させることができる。
【００３２】
フィルタ検査具１５は、制御装置１６と接続してある微粒子計数器３０Ａ，３０Ｂに繋がってある吸引チューブ３１の先端に矩形でロート状のプローブ１５ａを取り付けたものである。
【００３３】
３２Ａは一端を装置基台１０と連結し、他端を中間フレーム１２と連結し、中央部を第１フレーム１１と連結してあるＸ方向視Ｓ字形状に屈曲した多関節構造の第１ケーブルキャリア、３２Ｂは一端を中間フレーム１２と連結し、他端を第２フレーム１３と連結してあるＹ方向視横向きＵ字形状に屈曲した多関節構造の第２ケーブルキャリア、３２Ｃは一端を中間フレーム１２と連結し、他端をフィルタ検査具取付部１４と連結してあるＹ方向視横向きＵ字形状に屈曲した多関節構造の第３ケーブルキャリアである。
【００３４】
３３は装置基台１０から第１フレーム１１にわたらせる第１ケーブル類であり、その第１ケーブル類３３は第１フレーム１１に設けた第２モータ２０を制御装置１６による制御により駆動させるためのケーブルＣから構成されている。
【００３５】
３４は装置基台１０から中間フレーム１２にわたらせる第２ケーブル類であり、その第２ケーブル類３４は中間フレーム１２に設けた第３モータ２４を制御装置１６による制御により駆動させるためのケーブルＣから構成されている。
【００３６】
３５は中間フレーム１２から第２フレーム１３にわたらせる第３ケーブル類であり、その第３ケーブル類３５は第２フレーム１３に設けられた第４モータ２７を制御装置１６による制御により駆動させるためのケーブルＣから構成されている。
【００３７】
第１ケーブルキャリア３２Ａ内には、第１ケーブル類３３と、第２ケーブル類３４と、第３ケーブル類３５と、フィルタ検査具１５のプローブ１５ａにおいて吸引された粉状体Ｐを微粒子計数器３０Ａ，３０Ｂに送る吸引チューブ３１とが収納され、第２ケーブルキャリア３２Ｂ内には、第３ケーブル類３５と、吸引チューブ３１とが収納され、第３ケーブルキャリア３２Ｃ内には吸引チューブ３１が収納されていることで、第１フレーム１１，中間フレーム１２，第２フレーム１３及びフィルタ検査具取付部１４と制御装置１６を接続するケーブルＣがそれら各々の走行移動の妨げになることを回避する。
【００３８】
制御装置１６は、フィルタ検査よる検査結果の整理や表示または保管などの処理を行うとともに、フィルタ検査時において、第１フレーム１１のＹ方向への走行移動と中間フレーム１２のＹ方向への走行移動との継続的な同時進行と、第２フレームのＸ方向への走行移動とフィルタ検査具取付部１４のＸ方向への走行移動との継続的な同時進行とを禁止しながら、第２フレーム１３のＸ方向への走行移動とフィルタ検査具取付部１４のＸ方向への走行移動との相互間での走行移動の受け継ぎをフィルタ検査具取付部１４のＸ方向への移動を一定速度に保った状態で実行するように装置基台１０のレール部１０Ａ，１０Ｂ及び第１フレーム１１，中間フレーム１２，第３フレーム１３に設けられた第１モータ１８，第２モータ２０，第３モータ２４，第４モータ２７の切り替え制御を行なう。
なお、装置基部１０のレール部１０Ａ，１０Ｂ及び第１フレーム１１，中間フレーム１２，第２フレーム１３にセンサＳＳを設けて、その検出信号に基づいて制御を行なうようにしてもよい。
【００３９】
また、制御装置１６は、第１フレーム１１及び第２フレーム１３のＹ方向への走行移動において、装置基台１０の中央部からの偏りが大きくなる側への走行移動については、第１フレーム１１の走行移動よりも第２フレーム１３の走行移動を優先的に実行させ、かつ、装置基台１０の中央部からの偏りが小さくなる側への走行移動については、逆に第２フレーム１３の走行移動よりも第１フレーム１１の走行移動を優先的に実行させるとともに、第２フレーム１３及びフィルタ検査具取付部１４のＸ方向への走行移動において、装置基台１０の中央部からの偏りが大きくなる側への走行移動については、第２フレーム１３の走行移動よりもフィルタ検査具取付部１４の走行移動を優先的に実行させ、かつ、装置基台１０の中央部からの偏りが小さくなる側への走行移動については、逆にフィルタ検査具取付部１４の走行移動よりも第２フレーム１３の走行移動を優先的に実行させることで、如何なる面積のフィルタ４に対しても検査時の装置全体を安定させることができる。
【００４０】
１６ａは制御装置１６に接続されたフィルタ検査具１５の位置を操作するコントローラである。
【００４１】
３６は装置基台１０に対して取り付け自在でフィルタ検査用スキャン装置Ｍ全体の高さ位置を調整することができ、かつ、設置場所の変更が可能な可搬式の高さ調整手段である支持架台であり、その支持架台３６は、装置基台戴置部３７と、高さ調整部３８と、その高さ調整部３８を操作する高さ調整操作部３８ａと、基部３９とから構成され、その基部３９には４つのキャスター３９ａが取り付けられている。
【００４２】
上記構成のフィルタ検査用スキャン装置Ｍを用いることで、図５に示すように、装置Ｍの最大フィルタ検査可能域Ｓを装置基台１０の面積よりも広域にすることができるので、種々の大きさのフィルタ４に対応して使用することができる。
【００４３】
そして、フィルタ検査としては、フィルタ検査具１５を検査対象フィルタの出口面に沿う姿勢で位置させるとともに、循環ファン９の運転下で、給気チャンバ５内においてフィルタリーク検査用の粉状体Ｐ（例えば、エアロゾル化したフタル酸ジオプチル（ＤＯＰ）など）を煙状の分散状態で充満させ、この状態で、フィルタ検査具１５により吸引捕集したサンプリング空気中の粉状体Ｐの粒子量（すなわち、検査用粉状体Ｐの室内側へのリーク量）を測定してフィルタのリーク検査を行なう。
【００４４】
浄化対象室２のリーク検査におけるフィルタ検査用スキャン装置Ｍの検査動作を説明する。
【００４５】
はじめに、装置Ｍを支持架台３６に取付け、フィルタ検査具１５が装置基台１０よりも広域の検査対象フィルタ４に対して約２．５ｃｍの位置に支持されるように高さ調整をし、次に、コントローラ１６ａを操作してプローブ１５ａの位置を検査対象フィルタ４の検査対象域Ｓの３頂点の位置に合わせてそれらの位置を指定することで、制御装置１６にフィルタ４の検査対象域Ｓを設定入力する。また、制御装置１６にはプローブ１５ａの口径サイズを入力してある。
なお、フィルタ４に対するプローブ１５ａの位置合わせにおいて、フィルタ検査具１５のプローブ１５ａにレーザーポインタを取付けて、そのレーザー指標を目視しながら合わせるように構成してもよい。
【００４６】
リーク検査開始を指示すると、制御装置１６が第１モータ１８，第２モータ２０，第３モータ２４，第４モータ２７を駆動させて、第１フレーム１１と中間フレーム１２をＹ方向に走行移動させ、第２フレーム１３とフィルタ検査具１５を取付けたフィルタ検査具取付部１４をＸ方向に走行移動させて、フィルタ検査具１５を検査スタート位置Ｐ１（ｘ１，ｙ１）に配置して、リーク検査を開始する。この時、フィルタ検査具取付部１４は第２フレーム１３のＸ方向における一側端上に位置し、第２フレーム１３及び中間フレーム１２は第１フレーム１１のＹ方向における一側端上に位置する。
【００４７】
リーク検査が開始すると、図６の（イ），（ロ）に示すように、先ず制御装置１６が第３モータ２４を作動させて、第２フレーム１３をＸ方向における中間フレーム１２の他側端側に中間フレーム１２と完全重合する状態にまで走行移動させる。そして、この第２フレーム１３の走行移動が完了（すなわち、第２フレーム１３と中間フレーム１２とがＸ方向において完全重合する状態）する直前に、制御装置１６がフィルタ検査具取付部１４を走行移動させる第４モータ２７を作動させ、第３モータ２４の回転速度の減速に反比例する形態で第４モータ２７の回転速度を加速してフィルタ検査具取付部１４を走行移動させることで、Ｘ方向における第２フレーム１３からフィルタ検査具取付部１４への走行移動の受け継ぎを一定速度でスムーズに実行できる。
【００４８】
次に、図６の（ロ），（ハ）に示すように、第４モータ２７により第２フレーム１３上をＸ方向における第２フレーム１３の他側端側へ走行移動しているフィルタ検査具取付部１４が第２フレーム１３の他側端まで走行移動すると、そのフィルタ検査具取付部１４の走行移動が完了する直前に、制御装置１６が第３モータ２４を作動させ、第４モータ２７の回転速度の減速に反比例する形態で第３モータ２４の回転速度を加速させることで、Ｘ方向におけるフィルタ検査具取付部１４から第２フレーム１３への走行移動の受け継ぎをスムーズに一定速度で実行することができ、従って、フィルタ検査具１５のＸ方向への移動を一定速度で行なうことができる。
【００４９】
そして、フィルタ検査具１５のＸ方向への移動がフィルタ検査対象域ＳにおけるＸ方向の他側端ｘ２に到着すると、制御装置１６が第３モータ２４を停止させるとともに第２モータ２０を作動させて中間フレーム１２をＹ方向における第１フレーム１１の他側端側に走行移動させる。この時の中間フレーム１２の移動幅は、検査漏れがないようプローブ１５ａのＹ方向幅よりもやや小さい幅である。
【００５０】
中間フレーム１２のＹ方向への移動後、図６の（ニ），（ホ）に示すように、制御装置１６が第２モータ２０を停止させるとともに第３モータ２４を作動させて、第２フレーム１３をＸ方向における一側端側（すなわち、Ｘ方向における検査スタート位置側）に中間フレーム１２と完全重合するまで走行移動させ、その第２フレーム１３の走行移動が完了する直前に、制御装置１６が再び第４モータ２７を作動させ、第３モータ２４の回転速度の減速に反比例する形態で第４モータ２７の回転速度を加速させて、Ｘ方向における第２フレーム１３からフィルタ検査具取付部１４への走行移動の受け継ぎをスムーズに一定速度で行なう。
【００５１】
続いて、フィルタ検査具取付部１４をＸ方向における第２フレーム１３の一側端側へ第２フレーム１３の一側端まで走行移動させ、このフィルタ検査具取付部１４の走行移動が完了する直前に、制御装置１６が再び第３モータ２４を作動させて、第４モータ２７の回転速度の減速に反比例する形態で第３モータ２４の回転速度を加速させて、Ｘ方向におけるフィルタ検査具取付部１４から第２フレーム１３への走行移動の受け継ぎをスムーズに一定速度で行なう。
【００５２】
そして、フィルタ検査具１５のＸ方向への移動がフィルタ検査対象域ＳにおけるＸ方向の一側端ｘ１に到着すると、他側端に到着したときと同様に、制御装置１６が第３モータ２４を停止させるとともに第２モータ２０を作動させて、プローブ１５ａのＹ方向幅よりもやや小さい幅分、中間フレーム１２をＹ方向における第１フレーム１１の他側端側に走行移動させる。
【００５３】
上記の動作を繰り返し行い、中間フレーム１２がＹ方向における第１フレーム１１の他側端ｙ２に到着したとき、制御装置１６が第２モータ２０を停止させ、第１モータ１８を作動させて第１フレーム１１をＹ方向に走行移動させることで、フィルタ検査具１５のＹ方向への移動を行ない、フィルタ検査具１５が検査スタート位置Ｐ１の対角にある検査終了位置Ｐ２（ｘ２，ｙ２）に到着することで検査を終了する。
【００５４】
このようにすることで、フィルタ検査具１５をフィルタ４に対し一定の移動速度で検査を行うことができ、正確なフィルタ検査が可能となる。
【００５５】
４０はリーク検査時において、還気路８の通過空気にフィルタリーク検査用の粉状体Ｐを混入する粉状体混入装置、４１はリーク検査時に給気チャンバ５内の各部の空気を選択的に吸引捕集するように並置フィルタ群Ｇのフィルタ並置方向で給気チャンバ内部の全域にわたらせて分散配置した複数の吸引具、４２はリーク検査時に吸引具４１で吸引捕集した給気チャンバ５内の空気を制御装置１６に取り入れる取入口である。
【００５６】
微粒子計数器３０Ａ，３０Ｂは、フィルタ検査具１５で吸引捕集したフィルタ４の下流側サンプリング空気中における粉状体粒子量を測定する下流側微粒子計数器３０Ａと、複数の吸引具４１で吸引捕集したフィルタ４の上流側サンプリング空気中の粉状体粒子量を測定する上流側微粒子計数器３０Ｂとがあり、これらの微粒子計数器３０Ａ，３０Ｂの測定により、フィルタ４の上流側（すなわち、給気チャンバ５内）の空気中における粉状体Ｐの濃度のバラツキを原因とするリーク検査の誤差を防止するとともに、これらによる検査結果に基づき、制御装置１６はフィルタ４のリーク判定を実行し、検査終了後、フィルタ４の陽性判定箇所については自動的に再検査を行なって、極めて正確な検査結果を得る。
【００５７】
〔別の実施形態〕
次に別実施形態を列記する。
【００５８】
前記実施形態では、第１フレーム１１を一対の第１フレーム部材１１ａ，１１ｂから構成し、第１フレーム１１と第２フレーム１３との間に中間フレーム１２を介したが、第１フレーム１１を一本の第１フレーム部材から構成してもよく、その場合、中間フレーム１２を第１フレーム１１と第２フレーム１３との間に設けなくてもよい。
【００５９】
前記実施形態では、駆動手段として４つのモータ１８，２０，２４，２７を設けて、各フレーム１１，１２，１３及びフィルタ検査具取付部１４を各別に走行移動させていたが、本発明の請求項３に記載の発明を実施するにあたり、第１フレーム１１の第１方向への走行移動と中間フレーム１２の第１方向への走行移動とを１つのモータで実行させ、第２フレーム１３の第２方向への走行移動とフィルタ検査具取付部１４の第２方向への走行移動とを１つのモータで実行させる構成にしてもよい。
【００６０】
前記実施形態では、フィルタ検査用スキャン装置Ｍを支持架台３６に取付けて浄化対象室２のフィルタ検査を行なうが、例えば半導体部品製造工場等内のベルトコンベアに設けられるクリーントンネル等の高さの低い位置に設置されたフィルタに対しては、装置Ｍを支持架台３６から取り外して使用することができる。
【００６１】
前記実施形態では、浄化対象室２の天井面に並列配置した複数のフィルタ４を検査対象とする場合を示したが、検査対象のフィルタ４は複数のものでなくてもよく、単数のフィルタであってもよい。
【００６２】
前記実施形態では、フィルタ４の検査対象域Ｓの設定入力方法として、検査対象域Ｓの３頂点を指定する方法を採用したが、４頂点を指定する方法やフィルタ４のサイズが既知である場合における２頂点と対角方向を指定する方法など種々の方法でフィルタ４の検査対象域Ｓを設定してもよい。
【００６３】
給気チャンバ５に対する空気供給風路は、還気路８のような風路構造に限定されるものではなく、どのような風路構造のものであってもよい。
【００６４】
フィルタリーク検査用の粉状体Ｐは、エアロゾル化したフタル酸ジオプチル（ＤＯＰ）に限定されるものではなく、その他にも種々のものを適用できる。
【００６５】
浄化対象室２の用途は、薬品や食品の製造室、あるいは、半導体部品の製造室に限られるものではなく、どのような用途であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】クリーンブースの全体構造を示す正面視断面図
【図２】フィルタ検査用スキャン装置の平面図
【図３】フィルタ検査用スキャン装置の側面図
【図４】フィルタ検査用スキャン装置の正面図
【図５】フィルタ検査用スキャン装置の最大フィルタ検査可能域を示す図
【図６】フィルタ検査用スキャン装置の検査時における動作を示す図
【図７】従来のフィルタ検査用スキャン装置の斜視図
【図８】従来のフィルタ検査用スキャン装置の最大フィルタ検査可能域を示す図
【符号の説明】
１０装置基台
１１第１フレーム
１１ａ，１１ｂ第１フレーム部材
１２中間フレーム
１３第２フレーム
１４フィルタ検査具取付部
１５フィルタ検査具
１６制御手段
１８，２０，２４，２７駆動手段
３２Ａケーブルキャリア
３３第１ケーブル類
３４第２ケーブル類
３６高さ調整手段[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
  The present invention relates to a filter inspection scanning device. More specifically, the second frame is supported on a first frame supported on the device base so that the traveling movement in the first direction can be freely performed, and the second frame is subjected to filter inspection. The present invention relates to a scanning device for filter inspection in which a mounting portion of a tool is supported in a state in which traveling in a second direction orthogonal to the first direction is possible.
[0002]
[Prior art]
  As shown in FIG. 7, this type of conventional scanning apparatus for filter inspection travels only in the first direction on the first frame 101 fixed on the upper surface of the apparatus base 100 incorporating the control apparatus. And a filter inspection tool mounting portion 103 that can be moved and moved on the second frame 102 only in the second direction orthogonal to the first direction and the height can be adjusted. In addition, a holding portion 103a is provided at the upper end of the filter inspection tool mounting portion 103 so that the arm 104, which can be manually adjusted in length, is rotatably held with respect to the filter inspection tool mounting portion 103. A filter inspection tool 105 including a probe 105a and a suction tube 106 is attached to the tip of the arm 104 (see, for example, Patent Document 1).
[0003]
[Patent Document 1]
  Design registration No. 1028496
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
  However, in this configuration, as shown in FIG. 8, the range formed by the length of the first frame 101 in the first direction and the length of the second frame 102 in the second direction is the moving range ( That is, since the maximum filter inspection possible area S) of the apparatus is used, in order to inspect a large filter, it is inevitably necessary to enlarge the first frame 101 and the second frame 102, and thereby the apparatus is large as a whole. It is difficult to use in places where there are many equipment.
  Further, as the size of the first frame 101 and the second frame 102 increases, it is necessary to strengthen the rigidity of the first frame 101 and the second frame 102, thereby increasing the weight of the device. In addition to a decrease in performance, the production cost increases due to the production of a highly rigid material.
  Even if the arm 104 is extended to position the filter inspection tool 105 with respect to the filter to be inspected at a position separated from the position of the apparatus base 100, it is fixed at a fixed length during the filter inspection. Therefore, the maximum filter testable area S of the apparatus is not expanded.
[0005]
  In view of this situation, the main problem of the present invention is to effectively solve the above problem with a reasonable improvement.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
  [1] The invention according to claim 1 relates to a scanning device for filter inspection.
  The second frame is supported by the first frame supported by the apparatus base so that the traveling movement in the first direction is free, and the second frame is provided with a mounting portion for the filter inspection tool orthogonal to the first direction. In the scanning device for filter inspection that is supported in a state in which traveling movement in the direction is free,
  The first frame is supported so as to be freely movable in the first direction with respect to the apparatus base, and the second frame is independent of the traveling movement in the first direction with respect to the first frame. To support travel in the second direction.And
  Control means for controlling the traveling movement of each of the first frame, the second frame, and the filter inspection tool mounting portion,
  In the travel movement of the first frame and the second frame in the first direction, the travel movement toward the side where the deviation from the central portion of the device base becomes larger is greater than the travel movement of the first frame. The driving means preferentially executes the traveling movement of 2 frames,
  In addition, with respect to the traveling movement toward the side where the deviation from the central portion of the device base is reduced, the driving means is configured to preferentially execute the traveling movement of the first frame over the traveling movement of the second frame. And
  In the traveling movement of the second frame and the filter inspection tool mounting portion in the second direction, the traveling movement to the side where the deviation from the central portion of the device base becomes larger than the traveling movement of the second frame. Also, the driving means preferentially executes the traveling movement of the filter inspection tool mounting portion,
  In addition, as for the traveling movement toward the side where the deviation from the central portion of the device base is reduced, the driving means is caused to preferentially execute the traveling movement of the second frame over the traveling movement of the filter inspection tool mounting portion. ConfiguredIn the point.
[0007]
  In other words, according to this configuration, the first frame can travel and move in the first direction with respect to the apparatus base, and therefore, the movement of the first frame relative to the apparatus base in the first direction and the second frame relative to the first frame. The movement range of the second frame in the first direction can be secured long with the movement amount in the first direction, and the second frame is independent of the traveling movement in the first direction relative to the first frame in the second direction. Since the travel of the second frame relative to the first frame in the second direction and the movement of the filter inspection tool attachment relative to the second frame, the movement range of the filter inspection tool attachment in the second direction is increased. It can be secured.
  Therefore, compared with the conventional apparatus, the moving range of the filter inspection tool mounting portion (that is, the maximum filter inspection possible area of the apparatus) can be increased while reducing the size of the entire apparatus by shortening the first frame and the second frame. Therefore, the weight of the apparatus is not increased, and therefore versatility and mobility are good, and the manufacturing cost can be improved.
  Moreover, in the travel movement of the first frame and the travel of the second frame in the first direction, and the travel movement of the second frame in the second direction and the travel movement of the filter inspection tool mounting portion, for example, they are continuously performed. For the traveling movement to the side where the deviation from the central part of the apparatus base becomes large without proceeding simultaneously, the second frame is given priority over the first frame, and the filter inspection tool mounting part is given priority over the second frame. As for the travel movement to the side where the deviation from the central part of the apparatus base becomes smaller, the second frame is preferentially traveled over the filter inspection tool mounting part, and the first frame is preferentially traveled over the second frame. Since it is moved, the moment applied to each of the first frame, the second frame, and the device base can be reduced as much as possible during the inspection of the filter, and the device is stabilized. It can be carried out filter inspection.
[0008]
  [2] The invention according to claim 2 specifies a preferred embodiment for carrying out the invention according to claim 1, and its features are as follows:
  A pair of first frame members arranged in parallel in a posture extending in the first direction are supported so as to be movable in the first direction with respect to the apparatus base, and the first frame members support the first frame members. A pair of the first frame is configured to support the second frame so that the traveling movement in the first direction and the traveling movement in the second direction can be freely performed with respect to the first frame. The intermediate frame is horizontally mounted on the frame member in a state where the traveling movement in the first direction can be freely performed, and the second frame is supported on the intermediate frame so that the traveling movement in the second direction can be performed freely. In the point.
[0009]
  In other words, according to this configuration, the intermediate frame that supports the second frame in a state in which the second frame can be freely moved in the second direction can be moved in the first direction with respect to the pair of first frame members. By providing in a horizontal state, the load applied to the second frame can be distributed to the two frame members by the intermediate frame by the filter inspection tool mounting portion supported by the second frame, so that the entire apparatus can be stabilized. In this state, the filter inspection can be performed with high accuracy.
[0010]
  [3] The invention according to claim 3 specifies a preferred embodiment for carrying out the invention according to claim 1 or 2, and its features are as follows:
  SaidControl means,
  The first frame and the second frame in the first direction in a state in which the traveling movement of the first frame in the first direction and the traveling movement of the second frame in the first direction are permitted. Causing the driving means to execute the traveling movement,
  In addition, the second frame and the filter inspection tool mounting in a state in which the traveling movement of the second frame in the second direction and the travel movement of the filter inspection tool mounting portion in the second direction are allowed to proceed simultaneously. The driving means is configured to execute the traveling movement of the part in the second direction.
[0011]
  In other words, if the simultaneous travel of the travel movement of the first frame in the first direction and the travel movement of the second frame in the first direction is permitted, the first frame and the second frame in a state in which the simultaneous travel is completely prohibited. Compared with moving each frame in the first direction, the first frame and the second frame are moved and moved in the first direction in any relation.TheThe selection range can be widened, and accordingly, a single driving means that carries out the traveling movement of the first frame in the first direction and the traveling movement of the second frame in the first direction by a single driving means. It is possible to facilitate the simplification of the travel movement configuration, for example.
  Similarly, if the simultaneous movement of the traveling movement of the second frame in the second direction and the traveling movement of the filter inspection tool mounting portion in the second direction is permitted, the second traveling is performed in a state where the simultaneous traveling is completely prohibited. Compared with the case where each of the frame and the filter inspection tool mounting portion is moved and moved in the second direction, the selection range of how the second frame and the filter inspection tool mounting portion are moved and moved in the second direction. The driving means for carrying out the traveling movement of the second frame in the second direction and the traveling movement of the filter inspection tool mounting portion in the second direction by a single driving means. It is possible to easily simplify the traveling movement configuration, such as reducing the manufacturing cost. As a result, the manufacturing cost of the entire apparatus can be reduced.
[0012]
  [4Claim4The invention according toAny one of Claims 1-3The preferred embodiment for carrying out the invention according to the present invention is specified,
  The control means;
  The inheritance of the traveling movement between the traveling movement of the first frame in the first direction and the traveling movement of the second frame in the first direction is the first direction of the filter inspection tool mounting portion. Causing the drive means to execute while maintaining a constant speed movement to
  Alternatively, the inheritance of the traveling movement between the traveling movement of the second frame in the second direction and the traveling movement of the filter inspection tool mounting portion in the second direction is determined by the filter inspection tool mounting portion. The driving means is configured to be executed while maintaining a constant speed movement in the second direction.
[0013]
  In the filter inspection, in order to obtain an accurate inspection result, the filter inspection tool mounting portion to which the filter inspection tool is attached must be moved in the first direction or the second direction while maintaining a constant speed. According to the configuration, the control means moves the filter movement of the filter inspection tool mounting portion in the first direction to inherit the traveling movement between the traveling movement of the first frame in the first direction and the traveling movement of the second frame. The driving means is executed so as to maintain a constant speed, or the traveling movement inheritance between the traveling movement of the second frame in the second direction and the traveling movement of the filter inspection tool mounting portion is attached to the filter inspection tool. Drive means to keep the movement of the part in the second direction at a constant speedInSince it is performed, in the filter inspection, the measurement accuracy can be improved, and an accurate inspection can be performed.
[0014]
  [5Claim5The invention according to claim 1 to claim 14The embodiment suitable for carrying out the invention according to any one of the above is specified, and its features are as follows:
  One end of an articulated cable carrier bent in an S-shape when viewed in the second direction is connected to the apparatus base, and the other end is connected to the second frame side. Connecting the central part of the letter shape to the first frame;
  Second cables that extend from the device base to the second frame side are accommodated from one end to the other end of the cable carrier, and first cables that extend from the device base to the first frame. Is stored together with the second cables from one end to the center of the cable carrier.
[0015]
  That is, according to this configuration, the first cable and the second cable are housed in the cable carrier bent in an S shape when viewed in the second direction. Compared to storing in the cable carrier, the first and second cables can be stored compactly, and the first and second cables interfere with the traveling movement of the first and second frames. This makes it possible to carry out a smooth filter inspection.
[0016]
  [6Claim6The invention according to claim 1 to claim 15The embodiment suitable for carrying out the invention according to any one of the above is specified, and its features are as follows:
  The apparatus base is configured to be attachable to a height adjusting means for adjusting the installation height of the apparatus base.
[0017]
  That is, according to this configuration, by attaching the device base to the height adjusting means, even when inspecting a filter on a high ceiling surface, the interval between the filter inspection tool and the inspection target filter can be adjusted to the optimal inspection interval. Can do.
  In addition, since the device is lighter, the height adjusting means can be reduced in size, so that the installation area of the floor surface as a whole device can be reduced, and it is necessary to remove the equipment on the floor surface. This is favorable because the device is lighter in terms of versatility and mobility.
[0018]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
  FIG. 1 shows a clean booth having an inspection function for an air purification filter for an internal chamber. A lattice-like filter support frame 3 is provided on the ceiling of a purification target chamber 2 formed in the booth 1, and this filter support frame. With the filter support by 3, a large number of filters 4 (for example, HEPA filters and ULPA filters) are arranged in parallel on the ceiling, so that the entire ceiling surface of the purification target chamber 2 is cleaned by the outlet surface of the juxtaposed filter group G. It is an air outlet.
[0019]
  In the booth 1, the space above the juxtaposed filter group G (in other words, the space behind the ceiling) serves as an air supply chamber 5 that supplies air to the purification target chamber 2 via the juxtaposed filter group G. Next, a chamber wall 6 is used as a partition, and a return air passage 8 that communicates the exhaust port 7 provided at the lower portion of the chamber wall 6 and the air supply chamber 5 is formed. A circulation fan 9 that circulates air in the order of the chamber 5, the purification target chamber 2, and the return air passage 8 is provided. In other words, the clean air purified by the filter 4 in this air circulation is blown into the room in a downward laminar flow from the entire outlet face of the juxtaposed filter group G (that is, the entire ceiling face), so Are made into a high cleanliness space suitable for manufacturing chemicals and semiconductor parts, for example.
[0020]
  The exhaust port 7 is provided over the entire length of the purification target chamber 2 in the long side direction (the depth direction in the drawing in FIG. 1) by a series of long opening structures or a plurality of row-like arrangements. The air passage width extends over the entire length in the long side direction of the purification target chamber 2, and the circulation fan 9 is arranged in the long side direction of the purification target chamber 2 and a plurality of units are installed in the return air passage 8. The air flow state in the second room is made uniform in the long side direction of the purification target room 2 to promote higher cleanliness in the room.
[0021]
  In order to guarantee the cleanliness of the room, the filter 4 is inspected in a timely manner. For this filter inspection, a filter inspection scanning device M is used as shown in FIG.
[0022]
  10 is a device base of the scanning device M for filter inspection, 11, 12 and 13 are a plurality of frames provided on the upper portion of the device base 10, 14 is a filter inspection tool mounting portion, and 15 is a filter inspection tool. Reference numeral 16 denotes a control device which is a control means for controlling the traveling movement of each of the frames 11, 12, 13 and the filter inspection tool mounting portion 14 and executing the filter inspection by the filter inspection tool 15.
[0023]
  As shown in FIGS.The apparatus base 10 is composed of two long side portions 10a and 10b and two short side portions 10c and 10d that are framed in a rectangular shape, and in the vicinity of the inside of each of the two long side portions 10a and 10b, A pair of rail portions 10A and 10B which are long in the long side direction (Y direction which is the first direction) supported by the apparatus base 10 are provided, and a belt is provided in the Y direction of these rail portions 10A and 10B and around the vertical direction. 17 is wound.
[0024]
  Reference numeral 18 denotes a first motor which is a driving means for rotating the belt 17 wound around the rail portions 10A and 10B in the Y direction, and reference numeral 19 denotes a belt of the rail portions 10A and 10B. 17 is a first shaft for transmitting to 17.
[0025]
  The first frame 11 is movable in the Y direction along the rail portions 10A and 10B on the rail portions 10A and 10B provided on the apparatus base 10, and constitutes both long side portions of the first frame 11. The first frame members 11a and 11b are engaged at the center in the Y direction with the rail portions 10A and 10B of the apparatus base 10 from above, and are engaged with the belts 17 of the rail portions 10A and 10B. Meshing support11sIs provided.
  That is, by operating the first motor 18 and rotating the belt 17, the first frame 11 on the rail portions 10 </ b> A and 10 </ b> B of the apparatus base 10 can be moved in the Y direction, and the support portion11sIs provided at the center in the Y direction of both the first frame members 11a and 11b of the first frame 11, so that the first frame 11 can be extended out of the frame of the device base 10 in the Y direction.
[0026]
  Reference numeral 20 denotes a second motor which is a driving means for rotating the belt 21 wound around the first frame members 11a and 11b of the first frame 11 in the Y direction and in the vertical direction in the Y direction. 2 is a second shaft for transmitting the power of the motor 20 to the belts 21 of the first frame members 11a and 11b.
[0027]
  The intermediate frame 12 is movable in the Y direction on both the first frame members 11 a and 11 b of the first frame 11, and the intermediate frame 12 has a short side direction orthogonal to the long side direction (Y direction) of the first frame 11. It is provided in a state straddling both long side portions of the first frame 11 in the (X direction which is the second direction). Reference numeral 23 denotes a support portion that engages with each of the first frame members 11a and 11b of the first frame from above and meshes with the belt 21 of the first frame members 11a and 11b.
  That is, by operating the second motor 20 and rotating the belt 21 of the first frame members 11a and 11b, the intermediate frame 12 on the first frame members 11a and 11b can be moved in the Y direction.
[0028]
  Reference numeral 24 denotes a third motor which is a driving means for rotating the belt 25 wound around the intermediate frame 12 in the X direction and in the vertical direction in the X direction.
[0029]
  The second frame 13 is movable in the X direction on the intermediate frame 12, and is engaged with the intermediate frame 12 in a state of being held from above with respect to the middle portion of the second frame 13. A support portion 26 that meshes with 25 is provided.
  That is, by operating the third motor 24 and rotating the belt 25 of the intermediate frame 12, the second frame 13 on the intermediate frame 12 can be moved in the X direction, and the support portion 26 is connected to the second frame. 13, the second frame 13 can extend out of the frame of the intermediate frame 12 in the X direction.
[0030]
  Reference numeral 27 denotes a fourth motor which is a driving means for rotating the belt 28 wound around the second frame 13 in the X direction and in the vertical direction in the X direction.
[0031]
  The filter inspection tool mounting portion 14 is movable in the X direction on the second frame 13. The filter inspection tool mounting portion 14 is engaged with the second frame 13 in a state of being held from above, and the second frame 13. A support portion 29 that meshes with the belt 28 is provided, and a clamping portion 14b that clamps a support arm 14a with the filter inspection tool 15 attached to the tip thereof is provided. The clamping portion 14b is a support arm 14a. Is configured to extend in either the X direction or the Y direction.
  The filter inspection tool mounting portion 14 on the second frame 13 can be moved in the X direction by operating the fourth motor 27 and rotating the belt 28 of the second frame 13.
[0032]
  The filter inspection tool 15 is a particle counter connected to the control device 16.30A, 30BA rectangular and funnel-shaped probe 15a is attached to the tip of the suction tube 31 connected to the.
[0033]
  32A is a multi-joint structure first cable having one end connected to the apparatus base 10, the other end connected to the intermediate frame 12, and a central portion connected to the first frame 11 and bent in an S-shape when viewed in the X direction. The carrier 32B is connected to the intermediate frame 12 at one end, and is connected to the second frame 13 at the other end. 12 is a third cable carrier having a multi-joint structure bent in a U shape when viewed in the Y direction and connected to the filter inspection tool mounting portion 14 at the other end.
[0034]
  Reference numeral 33 denotes first cables that extend from the apparatus base 10 to the first frame 11, and the first cables 33 are provided on the first frame 11.First2 It is comprised from the cable C for driving the motor 20 by control by the control apparatus 16. FIG.
[0035]
  Reference numeral 34 denotes second cables extending from the apparatus base 10 to the intermediate frame 12, and the second cables 34 are cables C for driving the third motor 24 provided on the intermediate frame 12 under the control of the control device 16. It is composed of
[0036]
  Reference numeral 35 denotes third cables extending from the intermediate frame 12 to the second frame 13, and the third cables 35 are fourth motors provided on the second frame 13.27Is constituted by a cable C for driving the device under the control of the control device 16.
[0037]
  In the first cable carrier 32A, the first cable 33, the second cable 34, the third cable 35, and the powder P sucked by the probe 15a of the filter inspection tool 15 are contained in the fine particle counter.30A, 30BThe third cable 35 and the suction tube 31 are accommodated in the second cable carrier 32B, and the suction tube 31 is accommodated in the third cable carrier 32C. Thus, the first frame 11, the intermediate frame 12, the second frame 13, the filter inspection tool mounting portion 14, and the control device.16Is prevented from obstructing the traveling movement of each of them.
[0038]
  The control device 16 performs processing such as organizing, displaying or storing the inspection result by the filter inspection, and at the time of the filter inspection, the traveling movement of the first frame 11 in the Y direction and the traveling movement of the intermediate frame 12 in the Y direction. The second frame 13 while prohibiting the continuous simultaneous progress of the second frame 13 and the continuous movement of the second frame in the X direction and the continuous movement of the filter inspection tool mounting portion 14 in the X direction. Of the traveling movement between the traveling movement in the X direction and the traveling movement of the filter inspection tool mounting portion 14 in the X direction.14The rail portion of the apparatus base 10 is executed so that the movement in the X direction is maintained at a constant speed.10A, 10BFurther, switching control of the first motor 18, the second motor 20, the third motor 24, and the fourth motor 27 provided in the first frame 11, the intermediate frame 12, and the third frame 13 is performed.
  The rails 10A and 10B and the first frame 11, the intermediate frame 12, and the second frame 13 of the device base 10 are sensors.SSMay be provided, and control may be performed based on the detection signal.
[0039]
  Further, the controller 16 moves the first frame 11 and the second frame 13 in the Y-direction for the movement to the side where the deviation from the central portion of the apparatus base 10 becomes large. The traveling movement of the second frame 13 is executed preferentially over the traveling movement of the second frame 13 and the traveling movement to the side where the deviation from the central portion of the device base 10 becomes smaller is reversed. The traveling movement of the first frame 11 is preferentially executed over the movement, and the traveling movement in the X direction of the second frame 13 and the filter inspection tool mounting portion 14 is greatly biased from the central portion of the apparatus base 10. The traveling movement of the filter inspection tool mounting portion 14 is preferentially executed over the traveling movement of the second frame 13 and the deviation from the central portion of the device base 10 is performed. Contrary to the traveling movement to the side where it becomes short, the traveling movement of the second frame 13 is preferentially executed over the traveling movement of the filter inspection tool mounting portion 14, so that the filter 4 of any area can be inspected. The entire apparatus can be stabilized.
[0040]
  Reference numeral 16 a denotes a controller that operates the position of the filter inspection tool 15 connected to the control device 16.
[0041]
  Reference numeral 36 denotes a support base which is a portable height adjusting means which can be attached to the apparatus base 10 and can adjust the height position of the entire filter inspection scanning apparatus M and which can change the installation location. The support frame 36 is composed of an apparatus base mounting portion 37, a height adjusting portion 38, a height adjusting operation portion 38a for operating the height adjusting portion 38, and a base 39. Four casters 39 a are attached to the base 39.
[0042]
  By using the filter inspection scanning device M configured as described above, the maximum filter inspection possible area S of the apparatus M can be made wider than the area of the apparatus base 10 as shown in FIG. It can be used corresponding to the filter 4.
[0043]
  For filter inspection, the filter inspection tool 15 is positioned in a posture along the outlet face of the inspection target filter, and the powder P (for filter leak inspection in the supply chamber 5 under the operation of the circulation fan 9). For example, aerosolized dioptyl phthalate (DOP) or the like is filled in a smoke-like dispersion state, and in this state, the amount of particles of the powdery substance P in the sampling air sucked and collected by the filter inspection tool 15 (that is, A leak inspection of the filter is performed by measuring the amount of leakage of the inspection powder P into the room.
[0044]
  The inspection operation of the filter inspection scanning device M in the leak inspection of the purification target chamber 2 will be described.
[0045]
  First, the apparatus M is attached to the support frame 36, and the height is adjusted so that the filter inspection tool 15 is supported at a position of about 2.5 cm with respect to the inspection target filter 4 in a wider area than the apparatus base 10. In addition, the controller 16a is operated to change the position of the probe 15a to the inspection target area of the inspection target filter 4.SBy designating these positions according to the positions of the three vertices of theSEnter the setting. The diameter of the probe 15a is input to the control device 16.
  It should be noted that in positioning the probe 15a with respect to the filter 4, a laser pointer may be attached to the probe 15a of the filter inspection tool 15, and the laser index may be aligned while visually observing.
[0046]
  When instructing to start the leak inspection, the control device 16 drives the first motor 18, the second motor 20, the third motor 24, and the fourth motor 27 to move the first frame 11 and the intermediate frame 12 in the Y direction. Then, the filter inspection tool mounting portion 14 to which the second frame 13 and the filter inspection tool 15 are attached is moved in the X direction, and the filter inspection tool 15 is disposed at the inspection start position P1 (x1, y1) to perform the leak inspection. Start. At this time, the filter inspection tool mounting portion 14 is located on one side end in the X direction of the second frame 13, and the second frame 13 and the intermediate frame 12 are located on one side end in the Y direction of the first frame 11. .
[0047]
  When the leak inspection is started, as shown in FIGS. 6A and 6B, the control device 16 first operates the third motor 24 to move the second frame 13 to the other end of the intermediate frame 12 in the X direction. The vehicle is moved to the side where it completely overlaps with the intermediate frame 12. Then, immediately before the travel movement of the second frame 13 is completed (that is, the state where the second frame 13 and the intermediate frame 12 are completely overlapped in the X direction), the control device 16 travels the filter inspection tool mounting portion 14. The fourth motor 27 is operated, and the rotational speed of the fourth motor 27 is accelerated in a form that is inversely proportional to the reduction of the rotational speed of the third motor 24 to move the filter inspection tool mounting portion 14 in the X direction. The inheritance of the traveling movement from the second frame 13 to the filter inspection tool mounting portion 14 can be executed smoothly at a constant speed.
[0048]
  Next, as shown in FIGS. 6 (B) and 6 (C), a filter inspection tool that travels on the second frame 13 toward the other end of the second frame 13 in the X direction by the fourth motor 27. When the mounting portion 14 travels to the other end of the second frame 13, the control device 16 operates the third motor 24 immediately before the travel movement of the filter inspection tool mounting portion 14 is completed, and the fourth motor 27 By accelerating the rotational speed of the third motor 24 in a manner that is inversely proportional to the deceleration of the rotational speed, the inheritance of the traveling movement from the filter inspection tool mounting portion 14 to the second frame 13 in the X direction is executed smoothly at a constant speed. Therefore, the movement of the filter inspection tool 15 in the X direction can be performed at a constant speed.
[0049]
  Then, the movement of the filter inspection tool 15 in the X direction is the filter inspection target area.S, The control device 16 stops the third motor 24 and activates the second motor 20 to drive the intermediate frame 12 to the other end side of the first frame 11 in the Y direction. Move. At this time, the movement width of the intermediate frame 12 is slightly smaller than the Y-direction width of the probe 15a so that there is no omission of inspection.
[0050]
  After the movement of the intermediate frame 12 in the Y direction, the controller 16 stops the second motor 20 and activates the third motor 24 as shown in FIGS. 13 is moved to one end in the X direction (that is, the inspection start position side in the X direction) until it completely overlaps with the intermediate frame 12, and immediately before the moving movement of the second frame 13 is completed, the control device 16 Activates the fourth motor 27 again, accelerates the rotational speed of the fourth motor 27 in a manner that is inversely proportional to the reduction in the rotational speed of the third motor 24, and starts the filter inspection tool mounting portion 14 from the second frame 13 in the X direction. Smoothly and continuously at the constant speed.
[0051]
  Subsequently, the filter inspection tool mounting portion 14 is moved to one side end of the second frame 13 in the X direction to the one side end of the second frame 13, and immediately before the travel movement of the filter inspection tool mounting portion 14 is completed. In addition, the control device 16 operates the third motor 24 again to accelerate the rotation speed of the third motor 24 in a manner that is inversely proportional to the deceleration of the rotation speed of the fourth motor 27, and the filter inspection tool mounting portion in the X direction. The traveling movement from 14 to the second frame 13 is smoothly transferred at a constant speed.
[0052]
  Then, the movement of the filter inspection tool 15 in the X direction is the filter inspection target area.SWhen arriving at the one side end x1 in the X direction, the control device 16 stops the third motor 24 and activates the second motor 20 in the same manner as when arriving at the other end, so that the Y direction width of the probe 15a The intermediate frame 12 is moved to the other side end side of the first frame 11 in the Y direction by a slightly smaller width.
[0053]
  The above operation is repeated, and when the intermediate frame 12 arrives at the other side end y2 of the first frame 11 in the Y direction, the control device 16 stops the second motor 20 and operates the first motor 18 to perform the first operation. By moving the frame 11 in the Y direction, the filter inspection tool 15 is moved in the Y direction, and the filter inspection tool 15 arrives at the inspection end position P2 (x2, y2) opposite to the inspection start position P1. To finish the inspection.
[0054]
  By doing in this way, the filter test | inspection tool 15 can be test | inspected with the fixed moving speed with respect to the filter 4, and an exact filter test | inspection is attained.
[0055]
  40 is a powder mixing device that mixes the powder P for filter leak inspection into the air passing through the return air passage 8 at the time of leak inspection, and 41 is a device that selectively selects the air in each part of the air supply chamber 5 at the time of leak inspection. A plurality of suction tools 42 distributed and arranged over the entire area of the air supply chamber in the juxtaposition direction of the filters of the juxtaposed filter group G so as to be sucked and collected. This is an intake port for taking in the air into the control device 16.
[0056]
  Fine particle counter30A, 30BIs a downstream side particle counter 30A for measuring the amount of powder particles in the sampling air downstream of the filter 4 sucked and collected by the filter inspection tool 15, and upstream of the filter 4 sucked and collected by the plurality of suction tools 41. There is an upstream fine particle counter 30B for measuring the amount of powdery particles in the side sampling air, and the upstream side of the filter 4 (that is, in the air supply chamber 5) is measured by the fine particle counters 30A and 30B. In addition to preventing errors in the leak inspection due to variations in the concentration of the powder P in the air, the control device 16 performs the leak determination of the filter 4 based on the inspection results, and after the inspection is finished, the filter 4 A positive test location is automatically retested to obtain a very accurate test result.
[0057]
  [Another embodiment]
  Next, another embodiment will be listed.
[0058]
  In the above embodiment, the first frame 11 is composed of a pair of first frame members 11 a and 11 b and the intermediate frame 12 is interposed between the first frame 11 and the second frame 13. In this case, the intermediate frame 12 may not be provided between the first frame 11 and the second frame 13.
[0059]
  In the above embodiment, four motors 18, 20, 24, and 27 are provided as drive means, and the frames 11, 12, and 13 and the filter inspection tool mounting portion 14 are moved and moved separately. In carrying out the invention described in Item 3, the traveling movement of the first frame 11 in the first direction and the traveling movement of the intermediate frame 12 in the first direction are executed by one motor, and the second frame 13 is moved in the first direction. The traveling movement in the two directions and the traveling movement of the filter inspection tool mounting portion 14 in the second direction may be performed by one motor.
[0060]
  In the above-described embodiment, the filter inspection scanning device M is attached to the support frame 36 to perform the filter inspection of the purification target chamber 2. For example, the height of a clean tunnel provided on a belt conveyor in a semiconductor component manufacturing factory or the like is low. For the filter installed at the position, the device M can be removed from the support frame 36 and used.
[0061]
  In the said embodiment, although the case where the some filter 4 arrange | positioned in parallel on the ceiling surface of the purification | cleaning object chamber 2 was made into a test object was shown, the filter 4 of a test object does not need to be plural, and it is a single filter. There may be.
[0062]
  In the embodiment, the inspection target area of the filter 4SAs the setting input method,SAlthough the method of designating the three vertices of the filter 4 is adopted, the inspection target area of the filter 4 can be determined by various methods such as the method of designating the four vertices and the method of designating the two vertices and the diagonal direction when the filter 4 size is knownSMay be set.
[0063]
  The air supply air passage for the air supply chamber 5 is not limited to the air passage structure such as the return air passage 8 and may be of any air passage structure.
[0064]
  The powder P for filter leak inspection is not limited to aerosolized dioptyl phthalate (DOP), and various other types can be applied.
[0065]
  The use of the purification target chamber 2 is not limited to a medicine or food production room or a semiconductor parts production room, and may be any use.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a front sectional view showing the entire structure of a clean booth.
FIG. 2 is a plan view of a scanning device for filter inspection.
FIG. 3 is a side view of a scanning device for filter inspection.
FIG. 4 is a front view of a scanning device for filter inspection.
FIG. 5 is a diagram showing a maximum filter inspection possible area of a filter inspection scanning device;
FIG. 6 is a diagram showing an operation at the time of inspection of the scanning device for filter inspection.
FIG. 7 is a perspective view of a conventional filter inspection scanning device.
FIG. 8 is a diagram showing a maximum filter inspection possible area of a conventional filter inspection scanning device;
[Explanation of symbols]
  10 Device base
  11 First frame
  11a, 11b first frame member
  12 Intermediate frame
  13 Second frame
  14 Filter inspection tool mounting part
  15 Filter inspection tool
  16 Control means
  18, 20, 24, 27 Driving means
  32A cable carrier
  33 First cables
  34 Second cables
  36 Height adjustment means

Claims

The second frame is supported by the first frame supported by the apparatus base so that the traveling movement in the first direction is free, and the second frame is provided with a mounting portion for the filter inspection tool orthogonal to the first direction. A scanning device for filter inspection that is supported in a freely movable state in the direction,
The first frame is supported so as to be freely movable in the first direction with respect to the apparatus base, and the second frame is independent of the traveling movement in the first direction with respect to the first frame. And supporting the travel movement in the second direction freely ,
Control means for controlling the traveling movement of each of the first frame, the second frame, and the filter inspection tool mounting portion,
In the travel movement of the first frame and the second frame in the first direction, the travel movement toward the side where the deviation from the central portion of the device base becomes larger is greater than the travel movement of the first frame. The driving means preferentially executes the traveling movement of 2 frames,
In addition, with respect to the traveling movement toward the side where the deviation from the central portion of the device base is reduced, the driving means is configured to preferentially execute the traveling movement of the first frame over the traveling movement of the second frame. And
In the traveling movement of the second frame and the filter inspection tool mounting portion in the second direction, the traveling movement to the side where the deviation from the central portion of the device base becomes larger than the traveling movement of the second frame. Also, the driving means preferentially executes the traveling movement of the filter inspection tool mounting portion,
In addition, as for the traveling movement toward the side where the deviation from the central portion of the device base is reduced, the driving means is caused to preferentially execute the traveling movement of the second frame over the traveling movement of the filter inspection tool mounting portion. A scanning device for filter inspection which is configured .

A pair of first frame members arranged in parallel in a posture extending in the first direction are supported so as to be movable in the first direction with respect to the apparatus base, and the first frame members support the first frame members. One frame,
An intermediate frame for the pair of first frame members to support the second frame in a state in which the traveling movement in the first direction and the traveling movement in the second direction can be freely performed with respect to the first frame. 2. The filter according to claim 1, wherein the second frame is supported by the intermediate frame so as to be freely movable in the second direction. Inspection scanning device.

The control means;
The first frame and the second frame in the first direction in a state in which the traveling movement of the first frame in the first direction and the traveling movement of the second frame in the first direction are permitted. the traveling movement is executed by the driving means,
In addition, the second frame and the filter inspection tool mounting in a state in which the traveling movement of the second frame in the second direction and the travel movement of the filter inspection tool mounting portion in the second direction are allowed to proceed simultaneously. The scanning apparatus for filter inspection according to claim 1, wherein the driving unit is configured to cause the driving unit to travel in the second direction.

The control means;
The inheritance of the traveling movement between the traveling movement of the first frame in the first direction and the traveling movement of the second frame in the first direction is the first direction of the filter inspection tool mounting portion. Causing the drive means to execute while maintaining a constant speed movement to
Alternatively, the inheritance of the traveling movement between the traveling movement of the second frame in the second direction and the traveling movement of the filter inspection tool mounting portion in the second direction is determined by the filter inspection tool mounting portion. The scanning apparatus for filter inspection according to any one of claims 1 to 3 , wherein the driving unit is configured to perform the movement while maintaining a constant speed movement in the second direction.

One end of an articulated cable carrier bent in an S-shape when viewed in the second direction is connected to the apparatus base, and the other end is connected to the second frame side. Connecting the central part of the letter shape to the first frame;
The second cables that extend from the device base to the second frame side are accommodated from one end to the other end of the cable carrier, and the first cables that extend from the device base to the first frame. The scanning device for filter inspection according to any one of claims 1 to 4 , wherein the cable carrier is housed together with the second cables from one end portion to a central portion of the cable carrier.

The scanning apparatus for filter inspection according to any one of claims 1 to 5 , wherein the apparatus base is configured to be attachable to a height adjusting means for adjusting an installation height of the apparatus base. .