JPH07243696A - Leakage sensing device for dust-proof filter - Google Patents
Leakage sensing device for dust-proof filterInfo
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- JPH07243696A JPH07243696A JP6031376A JP3137694A JPH07243696A JP H07243696 A JPH07243696 A JP H07243696A JP 6031376 A JP6031376 A JP 6031376A JP 3137694 A JP3137694 A JP 3137694A JP H07243696 A JPH07243696 A JP H07243696A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2273/00—Operation of filters specially adapted for separating dispersed particles from gases or vapours
- B01D2273/18—Testing of filters, filter elements, sealings
Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Air Filters, Heat-Exchange Apparatuses, And Housings Of Air-Conditioning Units (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルーム等の空
調吹出口に設けられている防塵フィルターの破損等によ
るリークを検出するための装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a device for detecting a leak due to damage of a dustproof filter provided at an air conditioning outlet of a clean room or the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】米国食品薬品庁(Food and Drug Adminis
tration)制定による医薬品製造基準(Good Manufacturin
g Practice : ＧＭＰ)の適用を受ける製造作業所、保管
場所、試験・検査作業所等のクリーンルームでは、空調
装置の吹出口に９９．９９９％以上の精度で塵等の異物
を除去し得る防塵フィルターが設けられている。これら
の防塵フィルターは、設置直後及びその後１年ごとにリ
ーク検査の実施が義務付けられている。前記ＧＭＰに規
定するリーク検査法では、捕集ロートをフィルター面か
ら３０ｍｍ以内に近づけ、５０ｍｍ／秒以内の速度で、
かつ捕集ロートの走査軌跡が部分的に重なるようにして
フィルター全面を走査しなければならない。[Prior Art] US Food and Drug Administration
(Manufacturin
(G Practice: GMP) In a clean room such as a manufacturing work place, a storage place, a test / inspection work place, etc., a dustproof filter capable of removing foreign matters such as dust with an accuracy of 99.999% or more at the outlet of an air conditioner. Is provided. These dustproof filters are obliged to perform a leak test immediately after installation and every year thereafter. In the leak inspection method specified in the GMP, the collecting funnel is brought closer to within 30 mm from the filter surface and at a speed of less than 50 mm / sec.
In addition, the entire surface of the filter must be scanned so that the scanning loci of the collecting funnel partially overlap.
【０００３】しかし、作業者が棒の先端等に捕集ロート
を取付けて、上記条件を満たしつつ防塵フィルターの全
面のリーク検査を行うことは事実上不可能である。その
ため、例えば特公平３−５０２１０号公報に示されてい
るように、防塵フィルターの前面に所定の方向（Ｘ方
向）にＸ方向レイルと、Ｘ方向レイル上を移動可能なＹ
方向レイルとＹ方向レイル上をＸ方向に直交するＹ方向
に移動可能な捕集ロートを設け、防塵フィルターの全面
をＸ−Ｙ方向に走査してリーク検査を行う装置が提案さ
れている。However, it is virtually impossible for an operator to attach a collecting funnel to the tip of a rod or the like and perform a leak test on the entire surface of the dustproof filter while satisfying the above conditions. Therefore, as disclosed in, for example, Japanese Patent Publication No. 3-50210, an X-direction rail in a predetermined direction (X direction) and a Y movable on the X-direction rail are provided on the front surface of the dustproof filter.
An apparatus has been proposed in which a collecting funnel that is movable in the Y direction that is orthogonal to the X direction on the direction rail and the Y direction rail is provided, and the entire surface of the dustproof filter is scanned in the XY direction to perform a leak test.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】従来の防塵フィルター
のリーク検査装置では、Ｘ方向レイルにＹ方向レイルを
駆動するためのモーター、プーリー及びタイミングベル
ト等で構成されたＹ方向レイル駆動機構が設けられてお
り、またＹ方向レイル自体にも捕集ロートをＹ方向に駆
動するためのモーター、プーリー及びタイミングベルト
等で構成された捕集ロート駆動機構が設けられている。
さらに、防塵フィルターの全面をもれなく検査するため
には、Ｙ方向レイルのＸ方向レイル上における停止位置
の精度が必要となり、位置検出装置やサーボ機構も精度
の高いものが要求される。そのため、従来の防塵フィル
ターのリーク検出装置は、装置全体の構造が複雑とな
り、また重量が増加及び製造コストが高くなるという問
題点を有していた。A conventional dust-proof filter leak inspection apparatus is provided with a Y-direction rail drive mechanism including a motor for driving the Y-direction rail in the X-direction rail, a pulley, a timing belt, and the like. Further, the Y direction rail itself is also provided with a collecting funnel drive mechanism including a motor for driving the collecting funnel in the Y direction, a pulley, a timing belt and the like.
Further, in order to inspect the entire surface of the dustproof filter without fail, it is necessary to accurately determine the stop position of the Y-direction rail on the X-direction rail, and the position detection device and the servo mechanism are also required to have high accuracy. Therefore, the conventional leak detection device for the dustproof filter has a problem that the structure of the entire device is complicated, and the weight is increased and the manufacturing cost is increased.
【０００５】また、従来の防塵フィルターのリーク検出
装置では、駆動機構が直接Ｘ方向レイル及びＹ方向レイ
ルに設けられているため、これらＸ方向レイル及びＹ方
向レイルの長さが限定されてしまう。ところが、防塵フ
ィルターの大きさは、小さいものでは４０ｃｍ×４０ｃ
ｍ程度のものから、大きいものでは４ｍ×４ｍ程度のも
のまで、設置される場所や目的に応じて千差万別であ
る。従って、従来の防塵フィルターのリーク検出装置で
は、防塵フィルターの大きさに合せて大きさ（レイルの
長さ）の異なる装置を何種類も用意しなければならず不
経済である。また、防塵フィルターのリーク検出装置
は、例えば年１回等、定期的に使用されるにすぎず、常
時使用されるものではない。そのため、複数の装置を保
管するために広い場所を必要とするという問題点を有し
ていた。Further, in the conventional leak detection device for the dustproof filter, since the drive mechanism is directly provided on the X-direction rail and the Y-direction rail, the lengths of the X-direction rail and the Y-direction rail are limited. However, the size of the dust filter is 40 cm x 40 c for small ones.
Depending on the place and purpose of installation, there are various things ranging from about m to about 4 m x 4 m for large ones. Therefore, in the conventional leak detection device for the dustproof filter, it is uneconomical to prepare many types of devices having different sizes (rail lengths) according to the size of the dustproof filter. Further, the leak detection device of the dustproof filter is only used regularly, such as once a year, and is not always used. Therefore, there is a problem that a large space is required to store a plurality of devices.
【０００６】一般的に、防塵フィルターはクリーンルー
ム等の天井部分に設けられているため、防塵フィルター
のリーク検査装置も天井部分に釣り下げられる場合が多
い。ところが、天井部分は床面と異なり、それほど強固
には構成されていない。そのため、防塵フィルターのリ
ーク検出装置の重量は、より軽い方が望ましい。また、
防塵フィルターのリーク検出装置は常時防塵フィルター
の前面に取り付けられているものではなく、防塵フィル
ターのリーク検出に際して、防塵フィルターの前面に取
り付けられている保護部材を撤去し、その後に取り付け
られる。従って、防塵フィルターのリーク検出に要する
手間や時間は、捕集ロートにより防塵フィルターの前面
を走査する手間や時間だけでなく、防塵フィルターのリ
ーク検出装置の取り付け及び取り外しに要する手間や時
間も加味されなければならない。そのため、防塵フィル
ターのリーク検出装置としては、軽量で、取り付け及び
取り扱い操作が簡単なものが望ましい。ところが、従来
の防塵フィルターのリーク検出装置は、捕集ロートのＸ
−Ｙ方向の走査は自動的に行うことができ、取り扱い操
作は比較的簡単であるが、装置全体の重量が重く、取り
付け操作が困難であり、取り付け及び取り外しに時間を
要するという問題点を有していた。Generally, since the dustproof filter is provided on the ceiling portion of a clean room or the like, the leak inspection device for the dustproof filter is often hung on the ceiling portion. However, unlike the floor, the ceiling is not so rigid. Therefore, it is desirable that the weight of the leak detection device of the dustproof filter is lighter. Also,
The leak detection device of the dustproof filter is not always attached to the front surface of the dustproof filter, but when detecting the leak of the dustproof filter, the protection member attached to the front surface of the dustproof filter is removed and then attached. Therefore, the time and effort required to detect the leak of the dust filter are not only the time and effort required to scan the front surface of the dust filter with the collection funnel, but also the time and effort required to install and remove the leak detection device of the dust filter. There must be. Therefore, as the leak detection device for the dustproof filter, it is desirable that the device be lightweight and easy to install and handle. However, the conventional dust detection filter leak detection device uses the collection funnel X
The scanning in the Y direction can be performed automatically, and the handling operation is relatively simple, but the weight of the entire device is heavy, the mounting operation is difficult, and it takes time to mount and dismount. Was.
【０００７】本発明は以上のような従来例の問題点を解
決するためになされたものであり、第１に、構造が簡単
かつ軽量であり、取り付け及び取り外しが容易であり、
さらに取り扱い操作の容易な防塵フィルターのリーク検
出装置を提供することを目的としている。第２に、汎用
的に様々な大きさの防塵フィルターのリーク検出が可能
な装置を提供することを目的としている。第３に、分解
及び組立が容易であり、不使用時の保管に場所をとらな
い防塵フィルターのリーク検出装置を提供することを目
的としている。The present invention has been made in order to solve the problems of the conventional examples as described above. Firstly, the structure is simple and lightweight, and the mounting and dismounting are easy,
Another object is to provide a leak detection device for a dustproof filter that is easy to handle. Secondly, it is an object of the present invention to provide a device that can detect leaks of dustproof filters of various sizes for general use. Thirdly, it is an object of the present invention to provide a leak detection device for a dustproof filter that is easy to disassemble and assemble and does not take up much space for storage when not in use.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の防塵フィルターのリーク検出装置は、防塵
フィルターのフィルター面に平行な面上で第１の所定方
向設けられた一対の平行な第１のレイルと、前記第１の
所定方向に直交する第２の所定方向に設けられ前記第１
のレイル上を摺動する第２のレイルと、前記第２のレイ
ル上を前記第２の所定方向に自力走行可能な捕集ロート
と、前記捕集ロートと塵埃検出装置とを連結する可撓性
チューブとを具備するように構成されている。上記構成
において、前記捕集ロートはモーター及び車輪を有し、
前記第２のレイル上を所定の速度で走行するように構成
することが好ましい。また、上記構成において、前記第
１のレイルは所定の間隔で設けられた複数の位置決め機
構を有し、前記第２のレイルは前記位置決め機構と係合
することにより所定の位置に停止するように構成するこ
とが好ましい。また、上記構成において、前記第２のレ
イルは前記第１の方向に設けられた牽引ロープに連結さ
れ、前記牽引ロープを牽引することにより前記第２のレ
イルを前記第１の方向に移動させるように構成すること
が好ましい。また、上記構成において、前記第１のレイ
ル及び／又は前記第２のレイルの長さを調節可能である
ように構成することが好ましい。In order to achieve the above object, a leak detection device for a dustproof filter according to the present invention comprises a pair of parallel parallelism provided in a first predetermined direction on a plane parallel to the filter plane of the dustproof filter. The first rail is provided in a second predetermined direction orthogonal to the first predetermined direction, and the first rail is provided.
Second rail that slides on the rail, a collection funnel capable of traveling on the second rail in the second predetermined direction by itself, and a flexible connecting the collection funnel and the dust detection device. And a sex tube. In the above configuration, the collecting funnel has a motor and wheels,
It is preferable that the second rail is configured to travel at a predetermined speed. Further, in the above structure, the first rail has a plurality of positioning mechanisms provided at predetermined intervals, and the second rail is stopped at a predetermined position by engaging with the positioning mechanism. It is preferable to configure. In the above structure, the second rail is connected to a tow rope provided in the first direction, and the second rail is moved in the first direction by towing the tow rope. It is preferable to configure Further, in the above configuration, it is preferable that the length of the first rail and / or the second rail is adjustable.
【０００９】本発明の別の防塵フィルターのリーク検出
装置は、防塵フィルターのフィルター面に平行な面上で
第１の所定方向設けられた長さ調節可能な一対の平行な
第１のレイルと、前記第１の所定方向に直交する第２の
所定方向に設けられ前記第１のレイル上を摺動する長さ
調節可能な第２のレイルと、前記第２のレイル上を前記
第２の所定方向に移動可能な捕集ロートと、前記捕集ロ
ートと塵埃検出装置とを連結する可撓性チューブと、前
記第２の方向に設けられ前記捕集ロートを前記第２の方
向に牽引するための牽引ロープとを具備するように構成
されている。上記構成において、前記第２のレイルは前
記第１の方向に設けられた牽引ロープに連結され、前記
牽引ロープを牽引することにより前記第２のレイルを前
記第１の方向に移動させるように構成されていることが
好ましい。According to another aspect of the present invention, there is provided a leak detecting device for a dustproof filter, comprising: a pair of parallel first rails having a length adjustable and provided in a first predetermined direction on a plane parallel to the filter surface of the dustproof filter. A second rail provided in a second predetermined direction orthogonal to the first predetermined direction and having a length adjustable to slide on the first rail, and the second predetermined rail on the second rail. A collection funnel movable in a direction, a flexible tube connecting the collection funnel and the dust detection device, and a towing the collection funnel provided in the second direction in the second direction. And a tow rope. In the above structure, the second rail is connected to a tow rope provided in the first direction, and the second rail is moved in the first direction by towing the tow rope. Is preferably provided.
【００１０】本発明のさらに別の防塵フィルターのリー
ク検出装置は、防塵フィルターのフィルター面と実質的
に同一の面に取り付けられ、第１のレイルと嵌合する嵌
合溝を有し、一対の第１のレイルを前記フィルター面に
平行な面上で第１の所定方向に並行に任意の間隔及び長
さで保持する保持ブロックと、前記一対の第１のレイル
にそれぞれ摺動可能に嵌合する一対の摺動ブロックと、
前記第１の所定方向に直交する第２の所定方向に前記一
対の摺動ブロックに固定された第２のレイルと、前記第
２のレイル上を前記第２の所定方向に自走する捕集ロー
トと、前記捕集ロートと塵埃検出装置とを連結する可撓
性チューブとを具備するように構成されている。上記構
成において、前記保持ブロックは前記防塵フィルターの
前面に取り付けられていた保護部材を取り外した後のネ
ジ穴に螺合するものであることが好ましい。また、上記
構成において、前記捕集ロートはモーター及び車輪を有
し、前記第２のレイル上を所定の速度で走行するように
構成されていることが好ましい。また、上記構成におい
て、前記第１のレイルは所定の間隔で設けられた複数の
位置決め機構を有し、前記第２のレイルは前記位置決め
機構と係合することにより所定の位置に停止するように
構成されていることが好ましい。また、上記構成におい
て、前記第２のレイルは前記第１の方向に設けられた牽
引ロープに連結され、前記牽引ロープを牽引することに
より前記第２のレイルを前記第１の方向に移動させるよ
うに構成されていることが好ましい。A further dustproof filter leak detection device of the present invention has a pair of fitting grooves which are mounted on substantially the same surface as the filter surface of the dustproof filter and which fits with the first rail. A holding block for holding the first rail parallel to the filter surface in the first predetermined direction at an arbitrary interval and length, and slidably fitted to the pair of first rails, respectively. A pair of sliding blocks,
A second rail fixed to the pair of sliding blocks in a second predetermined direction orthogonal to the first predetermined direction, and a self-propelled collection on the second rail in the second predetermined direction. It is configured to include a funnel and a flexible tube that connects the collecting funnel and the dust detection device. In the above-mentioned structure, it is preferable that the holding block is screwed into a screw hole after removing the protective member attached to the front surface of the dustproof filter. Further, in the above configuration, it is preferable that the collection funnel has a motor and wheels, and is configured to travel on the second rail at a predetermined speed. Further, in the above structure, the first rail has a plurality of positioning mechanisms provided at predetermined intervals, and the second rail is stopped at a predetermined position by engaging with the positioning mechanism. It is preferably configured. In the above structure, the second rail is connected to a tow rope provided in the first direction, and the second rail is moved in the first direction by towing the tow rope. Is preferably configured.
【００１１】[0011]
【作用】以上のように、本発明の防塵フィルターのリー
ク検出装置によれば、第２のレイルは第１のレイル上を
第１の所定方向に摺動可能であり、また捕集ロートは第
２のレイル上で第２の所定方向に走行可能である。その
ため、捕集ロートは第１及び第２のレイルで構成される
いわゆるＸ−Ｙテーブル上で任意の位置を走査すること
が可能である。その結果、本装置を防塵フィルターの前
面に装着することにより、防塵フィルターの全面を漏れ
なく走査することが可能である。As described above, according to the leak detecting device for the dustproof filter of the present invention, the second rail is slidable on the first rail in the first predetermined direction, and the collecting funnel is the first. It is possible to travel in a second predetermined direction on two rails. Therefore, the collecting funnel can scan an arbitrary position on a so-called XY table composed of the first and second rails. As a result, by mounting this apparatus on the front surface of the dustproof filter, it is possible to scan the entire surface of the dustproof filter without omission.
【００１２】一対の第１のレイルは、防塵フィルターの
フィルター面（例えば、クリーンルームの天井面）に対
して所定距離を隔てた平行な面上において、第１の所定
方向（例えば、防塵フィルターの一辺に平行な方向）に
平行に固定されている。第１のレイルは単なるレイルで
あり、それ自体には第２のレイルを駆動するための駆動
機構は設けられていない。第２のレイルも単なるレイル
であり、例えば第１の所定方向に設けられた牽引ロープ
に連結され、例えば手動等により第１の所定方向に所定
距離だけ平行移動される。第１のレイル上における第２
のレイルの位置決めは、第１のレイルに所定の間隔で設
けられた複数の位置決め機構（例えば所定形状の切り欠
き）と第２のレイル側に設けられたラッチとが係合する
ことにより行われる。第２のレイルにも捕集ロートを駆
動するための駆動機構は設けられていない。一方、捕集
ロートは、それ自体にモーター及び車輪が設けられてお
り、モーターの駆動力により自力走行する。そのため、
第１及び第２のレイルは構造がひじょうに簡単であり、
かつ軽量である。さらに、捕集ロートは自力走行可能で
あるため、第１及び第２のレイルを所定の位置に取り付
けた後、捕集ロートを第２のレイルの上に載せることが
可能である。従って、本発明の防塵フィルターのリーク
検出装置全体としても構造が簡単かつ軽量であり、取り
付け及び取り外しもいたって容易である。The pair of first rails are arranged in a first predetermined direction (for example, one side of the dust filter) on a plane parallel to the filter surface of the dust filter (for example, the ceiling surface of a clean room) at a predetermined distance. It is fixed in parallel with the direction parallel to. The first rail is merely a rail, and the drive mechanism for driving the second rail is not provided by itself. The second rail is also a mere rail, and is connected to, for example, a tow rope provided in the first predetermined direction, and is translated by a predetermined distance in the first predetermined direction, for example, manually. Second on the first rail
The positioning of the rail is performed by engaging a plurality of positioning mechanisms (for example, notches having a predetermined shape) provided at a predetermined interval on the first rail with a latch provided on the second rail side. . The second rail is also not provided with a drive mechanism for driving the collecting funnel. On the other hand, the collection funnel is provided with a motor and wheels on its own, and travels by itself by the driving force of the motor. for that reason,
The first and second rails are very simple in construction,
And it is lightweight. Further, since the collecting funnel can run by itself, it is possible to mount the collecting funnel on the second rail after mounting the first and second rails at predetermined positions. Therefore, the entire structure of the leak detection device for the dustproof filter of the present invention is simple and lightweight, and is easy to install and remove.
【００１３】捕集ロートの走行速度制御は、モーターに
印加する電圧を制御することにより行う。また、走行方
向の切り替えは、モーターに印加する電流の向きを切り
替えることにより行う。一般に、防塵フィルターのリー
ク検出装置はクリーンルームの天井部分に取り付けられ
ることが多いため、捕集ロートの走行制御はリモートコ
ントロールにより行う。捕集ロートの底部に可撓性のチ
ューブを取り付け、このチューブの一端を例えば可動台
車の上に載置された塵埃検出装置に接続する。実際に塵
埃の存否を検出する部分は捕集ロートとは切り離されて
いるため、第２のレイル上を走行するのは捕集ロートの
部分だけである。捕集ロートそのものの重量はさほど重
くはないため、捕集ロートを駆動するためのモーターも
それほど強力なものでなくてよい。捕集ロートを駆動す
るための電源は、捕集ロート本体にバッテリーを搭載し
てもよいし、外部から第２のレイル及び車輪等あるいは
可撓電線等を介して供給してもよい。後者の場合、捕集
ロート本体の重量はさらに軽くなる。The traveling speed of the collecting funnel is controlled by controlling the voltage applied to the motor. The traveling direction is switched by switching the direction of the current applied to the motor. In general, the leak detection device for the dustproof filter is often mounted on the ceiling of a clean room, so the traveling control of the collection funnel is performed by remote control. A flexible tube is attached to the bottom of the collection funnel, and one end of this tube is connected to, for example, a dust detection device mounted on a movable carriage. Since the part that actually detects the presence or absence of dust is separated from the collecting funnel, only the collecting funnel runs on the second rail. Since the weight of the collection funnel itself is not so heavy, the motor for driving the collection funnel does not have to be so powerful. As a power source for driving the collecting funnel, a battery may be mounted on the collecting funnel main body or may be supplied from the outside through the second rail and the wheel or the like or a flexible electric wire. In the latter case, the weight of the collecting funnel body is further reduced.
【００１４】第１のレイルを、第１のレイルと嵌合する
嵌合溝を有する保持ブロックと、防塵フィルターの一辺
の長さよりも長いレイルとで構成する。保持ブロック
は、防塵フィルターの前面に設けられていた保護部材を
除去した後のネジ穴などに螺合させて取り付ける。同様
に、第２のレイルを、第１のレイルに摺動可能に嵌合す
る一対の摺動ブロックと、一対の摺動ブロック間に長さ
調節可能なように固定されたレイルとで構成する。この
ような構成により、大きさの異なる複数種類の防塵フィ
ルターに対応してリーク検出を行うことができる。同時
に、本発明の防塵フィルターのリーク検出装置を使用し
ない場合、第１のレイルを保持ブロックとレイルに分解
し、また第２のレイルを摺動ブロックとレイルに分解す
ることができ、保管に場所をとらない。The first rail is composed of a holding block having a fitting groove for fitting with the first rail and a rail longer than the length of one side of the dustproof filter. The holding block is attached by screwing it into a screw hole after removing the protective member provided on the front surface of the dustproof filter. Similarly, the second rail is composed of a pair of sliding blocks slidably fitted to the first rail, and a rail fixed in a length adjustable manner between the pair of sliding blocks. . With such a configuration, it is possible to perform leak detection corresponding to a plurality of types of dustproof filters having different sizes. At the same time, when the leak detection device of the dustproof filter of the present invention is not used, the first rail can be disassembled into a holding block and a rail, and the second rail can be disassembled into a sliding block and a rail, which is a place for storage. Do not take.
【００１５】また、本発明の別の防塵フィルターのリー
ク検出装置においては、捕集ロート自体にモーター等の
駆動源を設けず、捕集ロートを第２の方向に設けられた
牽引ロープに連結し、例えば手動により捕集ロートを一
定の速度で第２の方向に移動させる。このような構成に
より、装置全体の構成がさらに簡単になり、また重量も
さらに軽量になる。Further, in another leak detecting device for the dustproof filter of the present invention, the collecting funnel itself is not provided with a drive source such as a motor, and the collecting funnel is connected to the tow rope provided in the second direction. , The collecting funnel is moved in the second direction at a constant speed, for example, manually. With such a structure, the structure of the entire apparatus is further simplified and the weight is further reduced.
【００１６】[0016]
【実施例】本発明の防塵フィルターのリーク検出装置
の、その好適な第１の実施例を図１を参照しつつ説明す
る。図１は第１の実施例の構成を示す斜視図である。図
１において、防塵フィルター１は、例えばクリーンルー
ム等の天井部２に設けられた開口部３の部分に設けられ
ているものとする。一般に、防塵フィルターは紙等で作
成されているため、清掃用具等の接触による破損を防止
するため、防塵フィルターの前面には保護部材が設けら
れている。図１では、当該保護部材を取り外し、その後
に防塵フィルターのリーク検出装置を取り付けた状態を
示している。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A preferred first embodiment of the leak detection device for a dustproof filter of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a perspective view showing the configuration of the first embodiment. In FIG. 1, the dustproof filter 1 is assumed to be provided in a portion of an opening 3 provided in a ceiling 2 of a clean room or the like. Generally, since the dustproof filter is made of paper or the like, a protective member is provided on the front surface of the dustproof filter in order to prevent damage due to contact with a cleaning tool or the like. FIG. 1 shows a state in which the protection member is removed and then a leak detection device for a dust filter is attached.
【００１７】保持ブロック５０は、前記保護部材を取り
付けていたネジ穴にネジ部１２を螺合することにより、
天井部２に固定されている。この実施例では、矩形状の
防塵フィルター１の四隅にそれぞれ保持ブロック５０が
取り付けられている。保持ブロック５０はそれぞれ２個
１組として、一対の第１のレイル６１及び６２を互いに
平行に、図中矢印Ｘで示す第１の所定方向、例えば防塵
フィルター１の一辺に平行な方向に保持する。各保持ブ
ロック５０はそれぞれと第１のレイル６１及び６２と嵌
合可能な嵌合溝を有しており、一対の第１のレイル６１
及び６２を任意の位置で保持することが可能である。一
方、第１のレイル６１及び６２の長さはそれぞれ、図中
６１ａ及び６２ａで示すように、防塵フィルター１の最
長の辺よりも長い。そのため、この実施例の装置はこの
防塵フィルター１よりも大きな他の防塵フィルターのリ
ーク検出にも使用可能である。The holding block 50 is formed by screwing the screw portion 12 into the screw hole in which the protection member is attached.
It is fixed to the ceiling 2. In this embodiment, holding blocks 50 are attached to the four corners of the rectangular dustproof filter 1, respectively. Each of the holding blocks 50 holds two pairs of first rails 61 and 62 in parallel with each other in a first predetermined direction indicated by an arrow X in the drawing, for example, in a direction parallel to one side of the dust filter 1. . Each holding block 50 has a fitting groove capable of fitting with each of the first rails 61 and 62, and each holding block 50 has a pair of first rails 61 and 62.
And 62 can be held in any position. On the other hand, the lengths of the first rails 61 and 62 are longer than the longest side of the dustproof filter 1, as indicated by 61a and 62a in the figure, respectively. Therefore, the device of this embodiment can also be used for leak detection of other dust filters larger than the dust filter 1.
【００１８】第１のレイル６１及び６２にはそれぞれ、
第１のレイル６１及び６２と摺動可能な一対の摺動ブロ
ック６０が嵌合されている。また、一方の第１のレイ
ル、例えば６１には所定間隔で設けられた複数の位置決
め用の切り欠き６３が設けられている。切り欠き６３を
有する第１のレイル６１を保持する保持ブロック５０に
は、第１の所定方向Ｘに貫通穴５１が設けられている。
また、貫通穴５１を貫通するように牽引ロープ５１が第
１の所定方向に設けられており、第１のレイル６１と嵌
合する摺動ブロック６０に牽引ロープ５２が接続されて
いる。作業者は、手動により牽引ロープ５２を所定の方
向に牽引する。一方、摺動ブロック６０にも切り欠き６
３と係合するためのラッチ機構（図示せず）等が設けら
れており、摺動ブロック６０のラッチ機構が第１のレイ
ル６１に設けられた切り欠き６３に対向する位置に到達
したとき、ラッチ機構と切り欠き６３とが係合し、摺動
ブロック６０に設けられた第２のレイル６４が所定の位
置に停止する。The first rails 61 and 62 respectively include
A pair of slide blocks 60 slidable with the first rails 61 and 62 are fitted. Further, one first rail, for example, 61 is provided with a plurality of positioning notches 63 provided at predetermined intervals. A through hole 51 is provided in the first predetermined direction X in the holding block 50 that holds the first rail 61 having the cutout 63.
Further, the tow rope 51 is provided in the first predetermined direction so as to pass through the through hole 51, and the tow rope 52 is connected to the sliding block 60 that fits with the first rail 61. The operator manually pulls the tow rope 52 in a predetermined direction. On the other hand, the sliding block 60 also has a notch 6
3 is provided with a latch mechanism (not shown) or the like, and when the latch mechanism of the sliding block 60 reaches a position facing the notch 63 provided in the first rail 61, The latch mechanism and the notch 63 engage with each other, and the second rail 64 provided on the sliding block 60 stops at a predetermined position.
【００１９】各摺動ブロック６０の間には、前記第１の
所定方向Ｘに直交する第２の所定方向Ｙに第２のレイル
６４が設けられている。なお、特に図示していないが、
第２のレイル６４は摺動ブロック６０に対して摺動可能
に保持されており、防塵フィルター１の大きさに対応し
てその長さが調節可能なように構成されている。第２の
レイル６４上には、自力走行可能なキャリヤー７０が載
せられており、第２のレイル６４上を第２の所定方向Ｙ
に所定速度（例えば、５ｃｍ／秒以下の速度）で往復す
る。キャリヤー７０の上部には、所定の吸引力で防塵フ
ィルター１の表面からリークしてきた塵を吸引するため
の捕集ロート７１が設けられている。捕集ロート７１の
下部には可撓性の樹脂チューブ３２が接続されている。
また、樹脂チューブ３２の他端部は、床面を走行可能な
台車４１上に載置された塵埃検出装置４０に接続されて
いる。A second rail 64 is provided between the sliding blocks 60 in a second predetermined direction Y which is orthogonal to the first predetermined direction X. Although not particularly shown,
The second rail 64 is held slidably with respect to the sliding block 60, and its length is adjustable according to the size of the dustproof filter 1. A carrier 70 capable of traveling by itself is placed on the second rail 64, and moves on the second rail 64 in a second predetermined direction Y.
And reciprocates at a predetermined speed (for example, a speed of 5 cm / sec or less). A collection funnel 71 for sucking dust leaking from the surface of the dustproof filter 1 with a predetermined suction force is provided on the upper portion of the carrier 70. A flexible resin tube 32 is connected to the lower part of the collecting funnel 71.
The other end of the resin tube 32 is connected to a dust detection device 40 mounted on a carriage 41 that can travel on the floor.
【００２０】例えば、捕集ロート７１の幅を５０ｍｍと
すると、第１のレイル６１に設けられた切り欠き６３の
間隔を４０ｍｍとする。これによって、第２のレイル６
４は４０ｍｍずつ移動され、捕集ロート７１の両端から
５ｍｍずつがそれぞれオーバーラップして吸引測定され
ることになる。その結果、防塵フィルター１の全面を漏
れなくリーク測定することができる。一方、捕集ロート
７１の開口部上端は、常に防塵フィルター１のフィルタ
ー面から３０ｍｍ以内になければならない。そのため、
第２のレイル６４からキャリヤー７０の捕集ロート７１
の開口部上端までの高さを考慮して、第１のレイル６１
及び６２を保持する保持ブロック５０の高さを調節す
る。例えば、保持ブロック５０にはネジ部１２が設けら
れているため、このネジ部１２を保持ブロック５０の高
さ調節に用いてもよい。For example, assuming that the width of the collecting funnel 71 is 50 mm, the interval between the notches 63 provided in the first rail 61 is 40 mm. This makes the second rail 6
4 is moved by 40 mm, and 5 mm is overlapped from both ends of the collection funnel 71, and suction measurement is performed. As a result, the entire surface of the dustproof filter 1 can be leak-measured without leakage. On the other hand, the upper end of the opening of the collection funnel 71 must always be within 30 mm from the filter surface of the dustproof filter 1. for that reason,
Collection funnel 71 of carrier 70 from second rail 64
Considering the height to the upper end of the opening of the first rail 61
Adjust the height of the holding block 50 holding the and 62. For example, since the holding block 50 is provided with the screw portion 12, the screw portion 12 may be used for adjusting the height of the holding block 50.
【００２１】なお、第１のレイル６１及び６２及び第２
のレイル６４はそれぞれ、重力の作用により中央部分が
下向きに湾曲する。そのため、捕集ロート７１が第１の
レイル６１及び６２及び／又は第２のレイル６４の中央
部にあるときと端部にあるときとでは、捕集ロート７１
の開口部上端と防塵フィルター１のフィルター面との距
離が異なる。しかし、捕集ロート７１の開口部上端と防
塵フィルター１のフィルター面との距離が最も離れた場
合でも３０ｍｍ以下でなければならない。そのため、第
１のレイル６１及び６２及び第２のレイル６４がそれぞ
れ最大限に撓んだ場合でも、捕集ロート７１の開口部上
端と防塵フィルター１のフィルター面との距離が３０ｍ
ｍ以下となるような剛性を有していなければならない。
または、最初から撓むことを考慮に入れて、第１のレイ
ル６１及び６２及び第２のレイル６４をそれぞれ上向き
に湾曲させておいてもよい。The first rails 61 and 62 and the second rail
Each of the rails 64 has a central portion curved downward due to the effect of gravity. Therefore, when the collecting funnel 71 is located at the center of the first rails 61 and 62 and / or the second rail 64 and at the end thereof, the collecting funnel 71 is located.
The distance between the upper end of the opening and the filter surface of the dustproof filter 1 is different. However, even if the distance between the upper end of the opening of the collection funnel 71 and the filter surface of the dustproof filter 1 is the longest, it must be 30 mm or less. Therefore, even when the first rails 61 and 62 and the second rail 64 are bent to the maximum extent, the distance between the upper end of the opening of the collecting funnel 71 and the filter surface of the dustproof filter 1 is 30 m.
It must have rigidity such that it is not more than m.
Alternatively, the first rails 61 and 62 and the second rail 64 may be respectively curved upward in consideration of bending from the beginning.
【００２２】キャリヤー７０は、第２のレイル６４上を
自力走行するように、モーター及び車輪を有している
（モーター等の駆動機構は自明につき図示せず）。キャ
リヤー７０の走行速度が所定の速度となるように、あら
かじめモーターの回転数（又はモーターに印加する電
圧）、減速比及び車輪の直径等を決定しておく。モータ
ーを駆動するための電源としては、バッテリーをキャリ
ヤー７０自体に搭載してもよいし、外部から電力を供給
してもよい。外部から電力を供給する場合、第２のレイ
ル６４及び車輪を導電性のものとし、これら第２のレイ
ル６４及び車輪などを介してモーターに電力を供給する
方法が考えられる。または、捕集ロート７１の底部に接
続されている可撓性チューブ３２に可撓電線を併設し、
当該可撓電線を介してモーターに電力を供給するように
構成してもよい。防塵フィルターのリーク検出装置の重
量を軽くするという本発明の目的及び第１及び第２のレ
イル６１、６２、６４の湾曲を小さくすること等を考慮
すれば、キャリヤー７０自体の重量が軽くなる、外部か
らモーターに電力を供給する方式の方が好ましいといえ
る。また、キャリヤー７０の走行方向の切り替えは、モ
ーターに印加する直流電流の方向を切り替えることによ
り行う。キャリヤー７０の発進及び停止及び走行方向の
切り替え等は、リモートコントロールにより制御する。The carrier 70 has a motor and wheels so as to run on the second rail 64 by itself (a drive mechanism such as a motor is not shown for obvious reasons). The rotation speed of the motor (or the voltage applied to the motor), the reduction ratio, the diameter of the wheels, and the like are determined in advance so that the traveling speed of the carrier 70 becomes a predetermined speed. As a power source for driving the motor, a battery may be mounted on the carrier 70 itself, or electric power may be supplied from the outside. When power is supplied from the outside, a method is conceivable in which the second rail 64 and the wheels are made conductive and power is supplied to the motor via the second rail 64 and the wheels. Alternatively, a flexible electric wire is attached to the flexible tube 32 connected to the bottom of the collecting funnel 71,
The electric power may be supplied to the motor via the flexible electric wire. Considering the purpose of the present invention to reduce the weight of the leak detection device of the dustproof filter and the reduction of the curvature of the first and second rails 61, 62, 64, the weight of the carrier 70 itself is reduced. It can be said that the method of supplying electric power to the motor from the outside is preferable. Further, the traveling direction of the carrier 70 is switched by switching the direction of the direct current applied to the motor. Starting and stopping of the carrier 70, switching of the traveling direction, and the like are controlled by a remote control.
【００２３】以上のように構成された本発明の第１の実
施例の防塵フィルターのリーク検出装置は、４個の保持
ブロック５０と、２本の第１のレイル６１及び６２と、
２個の摺動ブロック６０と、１本又は２本の第２のレイ
ル６４と、キャリヤー７０と、塵埃検出装置４０と、牽
引ロープ５１と、可撓性チューブ３２とに分解すること
ができる。従って、本発明の防塵フィルターのリーク検
出装置の取り付け及び取り外しに際しても、各部品又は
ブロックごとに組立及び分解を行えばよい。さらに、本
発明の防塵フィルターのリーク検出装置を保管する場合
でも、各部品又はブロックに分解して保管することがで
き、保管のためのスペースをあまり必要としない。The leak detecting device for the dustproof filter of the first embodiment of the present invention constructed as above has four holding blocks 50, two first rails 61 and 62,
It can be disassembled into two sliding blocks 60, one or two second rails 64, a carrier 70, a dust detection device 40, a tow rope 51, and a flexible tube 32. Therefore, when attaching and detaching the leak detection device for the dustproof filter of the present invention, it is sufficient to assemble and disassemble each component or block. Furthermore, even when the leak detection device for the dustproof filter of the present invention is stored, it can be disassembled into individual parts or blocks for storage, and does not require much space for storage.
【００２４】次に、本発明の防塵フィルターのリーク検
出装置の、その好適な第２の実施例を図２を参照しつつ
説明する。図２は第２の実施例の構成を示す斜視図であ
る。なお、上記第１の実施例における符号と同一の符号
を付した部材は実質的に同一のものであるため、その説
明を省略する。Next, a preferred second embodiment of the leak detecting device for the dustproof filter of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a perspective view showing the configuration of the second embodiment. The members designated by the same reference numerals as those in the first embodiment are substantially the same, and the description thereof will be omitted.
【００２５】図２において、保持ブロック１０は、それ
ぞれ２個１組として、一対の第１のレイル１１を互いに
平行に第１の所定方向Ｘに保持する。各保持ブロック１
０はそれぞれと第１のレイル１１と嵌合可能な嵌合溝を
有しており、一対の第１のレイル１１を任意の位置で保
持することが可能である。第１のレイル１１にはそれぞ
れ、第１のレイル１１と摺動可能な一対の摺動ブロック
２０が嵌合されている。各保持ブロック１０にはそれぞ
れ、第１の所定方向Ｘに貫通穴１４が設けられている。
貫通穴１４を貫通するように牽引ロープ１３が第１の所
定方向に設けられており、各摺動ブロック２０にはそれ
ぞれ牽引ロープ１３が接続されている。作業者は、手動
により牽引ロープ１３を所定の方向に牽引する。In FIG. 2, the holding blocks 10 each hold two pairs of the first rails 11 in parallel in the first predetermined direction X as one set. Each holding block 1
0 has fitting grooves that can be fitted to the first rails 11 and 0, respectively, and can hold the pair of first rails 11 at arbitrary positions. A pair of sliding blocks 20 slidable with the first rails 11 are fitted to the first rails 11, respectively. Each holding block 10 is provided with a through hole 14 in the first predetermined direction X.
A tow rope 13 is provided in the first predetermined direction so as to penetrate the through hole 14, and the tow rope 13 is connected to each of the sliding blocks 20. The operator manually pulls the tow rope 13 in a predetermined direction.
【００２６】各摺動ブロック２０の間には、第２の所定
方向Ｙに第２のレイル２１が設けられている。なお、特
に図示していないが、第２のレイル２１は摺動ブロック
２０に対して摺動可能に保持されており、防塵フィルタ
ー１の大きさに対応してその長さが調節可能なように構
成されている。第２のレイル２１上には、捕集ロート３
０が摺動可能に載置されている。各摺動ブロック２０に
は第２の所定方向Ｙに溝２２が設けられており、この溝
２２を貫通するように牽引ロープ２３が設けられてい
る。牽引ロープ２３は捕集ロート３０に接続されてお
り、作業者が牽引ロープ２３を所定の速度で牽引するこ
とにより、捕集ロート３０は第２のレイル２１上を第２
の所定方向Ｙに所定速度（例えば、５ｃｍ／秒以下の速
度）で移動する。捕集ロート３０の下部には可撓性の樹
脂チューブ３２が接続されている。A second rail 21 is provided between the sliding blocks 20 in the second predetermined direction Y. Although not shown in particular, the second rail 21 is slidably held with respect to the sliding block 20 so that the length thereof can be adjusted according to the size of the dust filter 1. It is configured. On the second rail 21, the collection funnel 3
0 is slidably mounted. Each sliding block 20 is provided with a groove 22 in the second predetermined direction Y, and a tow rope 23 is provided so as to penetrate the groove 22. The tow rope 23 is connected to the collecting funnel 30, and when the worker pulls the towing rope 23 at a predetermined speed, the catching funnel 30 makes a second movement on the second rail 21.
In a predetermined direction Y at a predetermined speed (for example, a speed of 5 cm / sec or less). A flexible resin tube 32 is connected to the lower portion of the collection funnel 30.
【００２７】第２の実施例では、作業性を若干犠牲にし
ても、防塵フィルターのリーク検出装置の構成をさらに
簡単にし、かつ重量をさらに軽くするようにしたもので
ある。すなわち、第２の実施例では、捕集ロート３０は
自力走行できず、作業者が時計を見ながら一定の速度で
牽引ロープ２３を牽引することにより捕集ロート３０を
移動させる。そのかわり、第１の実施例では必要であっ
たキャリヤー７０のモーターや駆動機構が不要となり、
構造がきわめて簡単になる。また、第２の実施例の捕集
ロート３０の重量は、第１の実施例のキャリヤー７０の
重量と比較してきわめて軽量であり、それに対応して第
１及び第２のレイル１１及び２１の剛性も小さくてす
み、また重量も軽くなる。In the second embodiment, even if the workability is slightly sacrificed, the structure of the leak detection device for the dustproof filter is further simplified and the weight is further reduced. That is, in the second embodiment, the collecting funnel 30 cannot run by itself, and the worker moves the collecting funnel 30 by pulling the tow rope 23 at a constant speed while watching the clock. Instead, the motor and drive mechanism of the carrier 70, which were necessary in the first embodiment, are no longer required,
The structure is extremely simple. In addition, the weight of the collecting funnel 30 of the second embodiment is extremely light compared with the weight of the carrier 70 of the first embodiment, and correspondingly, the weight of the first and second rails 11 and 21. The rigidity is small and the weight is light.
【００２８】以上のように構成された本発明の第２の実
施例の防塵フィルターのリーク検出装置は、４個の保持
ブロック１０と、２本の第１のレイル１１と、２個の摺
動ブロック２０と、２本の第２のレイル２１と、捕集ロ
ート３０と、塵埃検出装置４０と、牽引ロープ１３及び
２３と、可撓性チューブ３２とに分解することができ
る。従って、本発明の防塵フィルターのリーク検出装置
の取り付け及び取り外しに際しても、各部品又はブロッ
クごとに組立及び分解を行えばよい。さらに、本発明の
防塵フィルターのリーク検出装置を保管する場合でも、
各部品又はブロックに分解して保管することができ、保
管のためのスペースをあまり必要としない。The leak detecting device for the dustproof filter according to the second embodiment of the present invention constructed as described above has four holding blocks 10, two first rails 11 and two sliding blocks. It can be disassembled into a block 20, two second rails 21, a collecting funnel 30, a dust detecting device 40, tow ropes 13 and 23, and a flexible tube 32. Therefore, when attaching and detaching the leak detection device for the dustproof filter of the present invention, it is sufficient to assemble and disassemble each component or block. Furthermore, even when storing the leak detection device of the dustproof filter of the present invention,
It can be disassembled into individual parts or blocks for storage, and does not require much space for storage.
【００２９】[0029]
【発明の効果】以上のように、本発明の防塵フィルター
のリーク検出装置は、防塵フィルターのフィルター面に
平行な面上で第１の所定方向に設けられた一対の平行な
第１のレイルと、第１の所定方向に直交する第２の所定
方向に設けられ第１のレイル上を摺動する第２のレイル
と、第２のレイル上を第２の所定方向に自力走行可能な
捕集ロートと、捕集ロートと塵埃検出装置とを連結する
可撓性チューブとを具備するように構成したので、捕集
ロートは第１及び第２のレイルで構成されるいわゆるＸ
−Ｙテーブル上で任意の位置を走査することが可能であ
る。その結果、本装置を防塵フィルターの前面に装着す
ることにより、防塵フィルターの全面を漏れなく走査す
ることができる。また、捕集ロートは自力走行可能であ
るため、第２のレイルに捕集ロートを駆動するための機
構を設ける必要がなくなり、第２のレイルの構造が簡単
になり、重量も軽くなる。また、捕集ロートはモーター
及び車輪を有し、前記第２のレイル上を所定の速度で走
行するように構成したので、リモートコントロールによ
り捕集ロートを任意の位置に走査させることができ、作
業性が向上する。また、第１のレイルは所定の間隔で設
けられた複数の位置決め機構を有し、第２のレイルは前
記位置決め機構と係合することにより所定の位置に停止
するように構成したので、第２のレイルの第１の所定方
向における位置決めがきわめて容易になる。また、第２
のレイルは第１の方向に設けられた牽引ロープに連結さ
れ、牽引ロープを牽引することにより第２のレイルを第
１の方向に移動させるように構成したので、第１のレイ
ルに第２のレイルを駆動するための駆動機構を設ける必
要がなくなり、第１のレイルの構造が簡単になり、重量
も軽くなる。また、第１のレイル及び／又は第２のレイ
ルの長さを調節可能であるように構成したので、大きさ
の異なる複数種類の防塵フィルターに対応してリーク検
出を行うことができる。As described above, the leak detection device for the dustproof filter of the present invention includes the pair of parallel first rails provided in the first predetermined direction on the plane parallel to the filter surface of the dustproof filter. A second rail that is provided in a second predetermined direction orthogonal to the first predetermined direction and slides on the first rail, and a collection that can travel by itself on the second rail in the second predetermined direction. Since the funnel is configured to include the flexible tube that connects the collecting funnel and the dust detection device, the collecting funnel is a so-called X-shaped tube including the first and second rails.
-It is possible to scan any position on the Y table. As a result, by mounting this apparatus on the front surface of the dustproof filter, the entire surface of the dustproof filter can be scanned without omission. Further, since the collecting funnel can travel by itself, it is not necessary to provide a mechanism for driving the collecting funnel on the second rail, the structure of the second rail is simplified, and the weight is reduced. Further, since the collecting funnel has a motor and wheels and is configured to travel on the second rail at a predetermined speed, the collecting funnel can be scanned to an arbitrary position by remote control. The property is improved. Further, the first rail has a plurality of positioning mechanisms provided at predetermined intervals, and the second rail is configured to stop at a predetermined position by engaging with the positioning mechanism. Positioning of the rails in the first predetermined direction becomes very easy. Also, the second
The second rail is connected to the tow rope provided in the first direction, and the second rail is moved to the first direction by towing the tow rope. It is not necessary to provide a drive mechanism for driving the rail, the structure of the first rail is simplified, and the weight is reduced. Further, since the length of the first rail and / or the second rail is adjustable, it is possible to detect leaks corresponding to a plurality of types of dustproof filters having different sizes.
【００３０】本発明の別の防塵フィルターのリーク検出
装置によれば、防塵フィルターのフィルター面に平行な
面上で第１の所定方向に設けられた長さ調節可能な一対
の平行な第１のレイルと、第１の所定方向に直交する第
２の所定方向に設けられ第１のレイル上を摺動する長さ
調節可能な第２のレイルと、第２のレイル上を第２の所
定方向に移動可能な捕集ロートと、捕集ロートと塵埃検
出装置とを連結する可撓性チューブと、第２の方向に設
けられ捕集ロートを第２の方向に牽引するための牽引ロ
ープとを具備するように構成したので、捕集ロートを自
力走行させるためのモーターや駆動機構が不要となり、
防塵フィルターのリーク検出装置の構成をさらに簡単に
することができ、かつ重量もさらに軽くすることができ
る。また、捕集ロートの重量はきわめて軽量であり、そ
れに対応して第１及び第２のレイルの剛性も小さくてす
み、重量を軽くすることができる。また、第２のレイル
は第１の方向に設けられた牽引ロープに連結され、牽引
ロープを牽引することにより第２のレイルを第１の方向
に移動させるように構成したので、第１のレイルに第２
のレイルを駆動するための駆動機構を設ける必要がなく
なり、第１のレイルの構造が簡単になり、重量も軽くな
る。また、第１のレイル及び／又は第２のレイルの長さ
を調節可能であるので、大きさの異なる複数種類の防塵
フィルターに対応してリーク検出を行うことができる。According to another leak detection device for a dustproof filter of the present invention, a pair of parallel first adjustable lengths provided in a first predetermined direction on a plane parallel to the filter surface of the dustproof filter. A rail, a second rail provided in a second predetermined direction orthogonal to the first predetermined direction and sliding on the first rail, and having a length adjustable; and a second predetermined direction on the second rail. A collection funnel that is movable to the inside, a flexible tube that connects the collection funnel and the dust detection device, and a tow rope that is provided in the second direction and that pulls the collection funnel in the second direction. Since it is configured to be equipped, there is no need for a motor or drive mechanism to drive the collection funnel by itself,
The structure of the leak detection device of the dustproof filter can be further simplified and the weight can be further reduced. In addition, the weight of the collecting funnel is extremely light, and the rigidity of the first and second rails can be correspondingly small, and the weight can be reduced. The second rail is connected to the tow rope provided in the first direction, and the second rail is moved in the first direction by towing the tow rope. To the second
It is not necessary to provide a drive mechanism for driving the first rail, the structure of the first rail is simplified, and the weight is reduced. Moreover, since the length of the first rail and / or the second rail can be adjusted, it is possible to detect leaks corresponding to a plurality of types of dustproof filters having different sizes.
【００３１】本発明のさらに別の防塵フィルターのリー
ク検出装置によれば、防塵フィルターのフィルター面と
実質的に同一の面に取り付けられ、第１のレイルと嵌合
する嵌合溝を有し、一対の第１のレイルをフィルター面
に平行な面上で第１の所定方向に並行に任意の間隔及び
長さで保持する保持ブロックと、一対の第１のレイルに
それぞれ摺動可能に嵌合する一対の摺動ブロックと、第
１の所定方向に直交する第２の所定方向に一対の摺動ブ
ロックに固定された第２のレイルと、第２のレイル上を
第２の所定方向に自走する捕集ロートと、捕集ロートと
塵埃検出装置とを連結する可撓性チューブとを具備する
ように構成したので、各構成部品又はブロックに分解す
ることができる。従って、本発明の防塵フィルターのリ
ーク検出装置の取り付け及び取り外しに際しても、各部
品又はブロックごとに組立及び分解を行うことができ
る。さらに、本発明の防塵フィルターのリーク検出装置
を保管する場合でも、各部品又はブロックに分解して保
管することができ、保管のためのスペースを小さくする
ことができる。また、保持ブロックは防塵フィルターの
前面に取り付けられていた保護部材を取り外した後のネ
ジ穴に螺合することにより、特別な取り付け構造等が不
要となり、構造がきわめて簡単になる。According to still another dust proof filter leak detection apparatus of the present invention, the dust proof filter has a fitting groove which is mounted on substantially the same surface as the filter surface of the dust proof filter and fits with the first rail. A holding block for holding the pair of first rails in parallel in the first predetermined direction on the surface parallel to the filter surface at an arbitrary interval and length, and slidably fitted to the pair of first rails, respectively. A pair of sliding blocks, a second rail fixed to the pair of sliding blocks in a second predetermined direction orthogonal to the first predetermined direction, and a second rail on the second rail in the second predetermined direction. Since the collecting funnel and the flexible tube connecting the collecting funnel and the dust detecting device are provided, the constituent funnels or blocks can be disassembled. Therefore, even when the leak detection device for the dustproof filter of the present invention is attached and detached, it is possible to assemble and disassemble each component or block. Further, even when the leak detection device for the dustproof filter of the present invention is stored, it can be disassembled and stored in each component or block, and the space for storage can be reduced. Further, the holding block is screwed into the screw hole after removing the protective member attached to the front surface of the dustproof filter, so that a special attachment structure is not required and the structure is extremely simple.
【図１】本発明の防塵フィルターのリーク検出装置の、
好適な第１の実施例の構成を示す斜視図FIG. 1 shows a leak detection device for a dust filter of the present invention,
Perspective view showing the configuration of the preferred first embodiment
【図２】本発明の防塵フィルターのリーク検出装置の、
好適な第２の実施例の構成を示す斜視図FIG. 2 shows a leak detection device for a dust filter of the present invention,
Perspective view showing the configuration of the preferred second embodiment
１ ：防塵フィルター ２ ：天井部 ３ ：開口部 １０ ：保持ブロック １１ ：第１のレイル １２ ：ネジ部 １３ ：牽引ロープ １４ ：貫通穴 ２０ ：摺動ブロック ２１ ：第２のレイル ２２ ：溝 ２３ ：牽引ロープ ３０ ：捕集ロート ３２ ：可撓性チューブ ４０ ：塵埃検出装置 ４１ ：台車 ５０ ：保持ブロック ５１ ：貫通穴 ５２ ：牽引ロープ ６０ ：摺動ブロック ６１ ：第１のレイル ６２ ：第１のレイル ６３ ：切り欠き ６４ ：第２のレイル ７０ ：キャリヤー ７１ ：捕集ロート 1: Dustproof filter 2: Ceiling part 3: Opening part 10: Holding block 11: First rail 12: Screw part 13: Traction rope 14: Through hole 20: Sliding block 21: Second rail 22: Groove 23: Traction rope 30: Collection funnel 32: Flexible tube 40: Dust detection device 41: Truck 50: Holding block 51: Through hole 52: Traction rope 60: Sliding block 61: First rail 62: First rail 63: Notch 64: Second rail 70: Carrier 71: Collection funnel
Claims (12)
面上で第１の所定方向に設けられた一対の平行な第１の
レイルと、前記第１の所定方向に直交する第２の所定方
向に設けられ前記第１のレイル上を摺動する第２のレイ
ルと、前記第２のレイル上を前記第２の所定方向に自力
走行可能な捕集ロートと、前記捕集ロートと塵埃検出装
置とを連結する可撓性チューブとを具備する防塵フィル
ターのリーク検出装置。1. A pair of parallel first rails provided in a first predetermined direction on a surface parallel to the filter surface of the dustproof filter, and a second predetermined direction orthogonal to the first predetermined direction. A second rail that is provided and slides on the first rail; a collection funnel that can travel on the second rail in the second predetermined direction by itself; the collection funnel and a dust detection device; A leak detecting device for a dustproof filter, comprising:
し、前記第２のレイル上を所定の速度で走行する請求項
１記載の防塵フィルターのリーク検出装置。2. The leak detection device for a dust filter according to claim 1, wherein the collecting funnel has a motor and wheels, and travels on the second rail at a predetermined speed.
れた複数の位置決め機構を有し、前記第２のレイルは前
記位置決め機構と係合することにより所定の位置に停止
する請求項１又は２に記載の防塵フィルターのリーク検
出装置。3. The first rail has a plurality of positioning mechanisms provided at predetermined intervals, and the second rail stops at a predetermined position by engaging with the positioning mechanism. Alternatively, the leak detection device for the dustproof filter according to item 2.
けられた牽引ロープに連結され、前記牽引ロープを牽引
することにより前記第２のレイルを前記第１の方向に移
動させる請求項１から３のいずれかに記載の防塵フィル
ターのリーク検出装置。4. The second rail is connected to a tow rope provided in the first direction, and the second rail is moved in the first direction by towing the tow rope. The leak detection device for a dust filter according to any one of 1 to 3.
レイルの長さが調節可能である請求項１から４のいずれ
かに記載の防塵フィルターのリーク検出装置。5. The leak detection device for a dust filter according to claim 1, wherein the length of the first rail and / or the second rail is adjustable.
面上で第１の所定方向に設けられた長さ調節可能な一対
の平行な第１のレイルと、前記第１の所定方向に直交す
る第２の所定方向に設けられ前記第１のレイル上を摺動
する長さ調節可能な第２のレイルと、前記第２のレイル
上を前記第２の所定方向に移動可能な捕集ロートと、前
記捕集ロートと塵埃検出装置とを連結する可撓性チュー
ブと、前記第２の方向に設けられ前記捕集ロートを前記
第２の方向に牽引するための牽引ロープとを具備する防
塵フィルターのリーク検出装置。6. A pair of parallel length-adjustable first rails provided in a first predetermined direction on a plane parallel to the filter surface of the dustproof filter and a first rail orthogonal to the first predetermined direction. A second rail provided in two predetermined directions and sliding on the first rail and having an adjustable length; and a collecting funnel movable on the second rail in the second predetermined direction. A dustproof filter comprising: a flexible tube connecting the collection funnel and the dust detection device; and a towing rope provided in the second direction for pulling the collection funnel in the second direction. Leak detection device.
けられた牽引ロープに連結され、前記牽引ロープを牽引
することにより前記第２のレイルを前記第１の方向に移
動させる請求項６記載の防塵フィルターのリーク検出装
置。7. The second rail is connected to a tow rope provided in the first direction, and the second rail is moved in the first direction by towing the tow rope. 6. A leak detection device for a dustproof filter according to item 6.
に同一の面に取り付けられ、第１のレイルと嵌合する嵌
合溝を有し、一対の第１のレイルを前記フィルター面に
平行な面上で第１の所定方向に並行に任意の間隔及び長
さで保持する保持ブロックと、前記一対の第１のレイル
にそれぞれ摺動可能に嵌合する一対の摺動ブロックと、
前記第１の所定方向に直交する第２の所定方向に前記一
対の摺動ブロックに固定された第２のレイルと、前記第
２のレイル上を前記第２の所定方向に自走する捕集ロー
トと、前記捕集ロートと塵埃検出装置とを連結する可撓
性チューブとを具備する防塵フィルターのリーク検出装
置。8. A surface of the dustproof filter, which is mounted on substantially the same surface as the filter surface and has a fitting groove for fitting with the first rail, wherein the pair of first rails are parallel to the filter surface. A holding block for holding the above in parallel to the first predetermined direction at an arbitrary interval and a length, and a pair of sliding blocks slidably fitted to the pair of first rails, respectively.
A second rail fixed to the pair of sliding blocks in a second predetermined direction orthogonal to the first predetermined direction, and a self-propelled collection on the second rail in the second predetermined direction. A leak detecting device for a dust filter, comprising: a funnel; and a flexible tube connecting the collecting funnel and the dust detecting device.
の前面に取り付けられていた保護部材を取り外した後の
ネジ穴に螺合するものである請求項８記載の防塵フィル
ターのリーク検出装置。9. The leak detection device for a dustproof filter according to claim 8, wherein the holding block is screwed into a screw hole after removing a protective member attached to the front surface of the dustproof filter.
有し、前記第２のレイル上を所定の速度で走行する請求
項８又は９記載の防塵フィルターのリーク検出装置。10. The leak detection device for a dust filter according to claim 8, wherein the collection funnel has a motor and wheels, and travels on the second rail at a predetermined speed.
られた複数の位置決め機構を有し、前記第２のレイルは
前記位置決め機構と係合することにより所定の位置に停
止する請求項８から１０のいずれかに記載の防塵フィル
ターのリーク検出装置。11. The first rail has a plurality of positioning mechanisms provided at predetermined intervals, and the second rail stops at a predetermined position by engaging with the positioning mechanism. 11. The leak detection device for a dust filter according to any one of 1 to 10.
設けられた牽引ロープに連結され、前記牽引ロープを牽
引することにより前記第２のレイルを前記第１の方向に
移動させる請求項８から１１のいずれかに記載の防塵フ
ィルターのリーク検出装置。12. The second rail is connected to a tow rope provided in the first direction, and the second rail is moved in the first direction by towing the tow rope. The leak detection device for a dust filter according to any one of 8 to 11.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03137694A JP3305094B2 (en) | 1994-03-01 | 1994-03-01 | Dust-proof filter leak detector |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP03137694A JP3305094B2 (en) | 1994-03-01 | 1994-03-01 | Dust-proof filter leak detector |
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| JPH07243696A true JPH07243696A (en) | 1995-09-19 |
| JP3305094B2 JP3305094B2 (en) | 2002-07-22 |
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ID=12329541
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|---|---|---|---|
| JP03137694A Expired - Fee Related JP3305094B2 (en) | 1994-03-01 | 1994-03-01 | Dust-proof filter leak detector |
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|---|---|
| JP (1) | JP3305094B2 (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1994
- 1994-03-01 JP JP03137694A patent/JP3305094B2/en not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| JP3305094B2 (en) | 2002-07-22 |
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