JP3675165B2

JP3675165B2 - Filter performance evaluation device

Info

Publication number: JP3675165B2
Application number: JP08295398A
Authority: JP
Inventors: 隆司岡; 潔下田; 卓栗林; 修一海上; 明丹羽; 雄三金子
Original assignee: 日立プラント建設株式会社
Priority date: 1998-03-13
Filing date: 1998-03-13
Publication date: 2005-07-27
Anticipated expiration: 2018-03-13
Also published as: JPH11253731A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はフィルタ性能評価装置に係り、特にクリーンルームの天井面に設置されてクリーンルームにエアを吹き出すフィルタユニットのフィルタ性能評価装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造工場等のクリーンルームの天井面には、複数のフィルタユニットが敷設され、これらのフィルタユニットによってエア中の塵埃が捕集されて、クリーンルーム内に清浄エアが供給される。従って、フィルタユニットの不良、例えば、フィルタとそれを支える枠との間に接着不良等が発生すると、エア中の塵埃が多量にクリーンルームに流入し、クリーンルームの清浄度は低下する。そこで、フィルタユニットから吹き出されるエアの流量や塵埃濃度等の評価項目を測定することにより、フィルタユニットの現在の性能を評価し、許容値から外れたフィルタユニットを修繕するようにしている。
【０００３】
従来のフィルタ性能評価装置は、前記評価項目を測定するセンサーを汎用ロボットのアーム先端で取り付け、このセンサーをフィルタユニットのエア吹出面に沿って水平移動させて前記評価項目を測定している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のフィルタ性能評価装置は、ロボットを使用しているため、非常に高価且つ重量物となり、また、ロボットのアーム先端をフィルタユニットのエア吹出面に沿って水平移動させるためのティーチング作業に手間がかかるという欠点があった。
【０００５】
また、従来装置では、測定位置によってセンサーに対するアームの位置が異なるために測定位置ごとにセンサーの周囲の気流が変化したり、センサーの近辺に設けられたアーム移動用の駆動ケーブルや駆動源がノイズを発生させたりし、フィルタユニットの評価精度が悪くなるという欠点があった。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、ロボットを使用せずに簡素な機構でセンサーを移動でき、且つ正確な評価ができるフィルタ性能評価装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決する為の手段】
本発明は前記目的を達成する為に、クリーンルームの天井面に設置されてクリーンルームにエアを吹き出すフィルタユニットのフィルタ性能評価装置において、前記フィルタユニットから吹き出されたエアの流量、塵埃濃度等のフィルタ性能を測定するセンサーと、前記フィルタユニットのエア吹出面と平行な水平面を画成する枠体と、前記枠体で画成された水平面内で前記センサーを移動させる面内移動手段と、前記枠体を昇降させる昇降手段と、前記センサーの測定値に基づいて前記フィルタ性能を評価する評価手段と、前記面内移動手段と前記評価手段とが搭載された台車と、から成り、前記面内移動手段は、交差して配置されるとともに、前記枠体に形成されたレールに沿って移動自在に設けられたＸロッド及びＹロッドと、前記Ｘロッド及びＹロッドの交差位置に設けられ、前記Ｘロッド及びＹロッドに摺動自在に設けられるとともに、前記センサーが取り付けられた移動駒と、前記枠体に設けられ、前記Ｘロッド、前記Ｙロッドを移動させて前記交差位置を変えることにより前記移動駒を介して前記センサーを前記枠体の水平面内で移動させる駆動手段と、から成ることを特徴とする。
【０００７】
また、本発明は前記目的を達成する為に、クリーンルームに設置されたフィルタユニットから吹き出されるエアの流量、塵埃濃度等を測定するセンサーと、該センサーをフィルタユニットのエア吹出面に沿って水平移動させる水平移動手段とを備えたフィルタ性能評価装置において、前記水平移動手段は、前記フィルタユニットのエア吹出面と平行な水平面を画成する枠体と、前記枠体で画成された水平面内で前記センサーを移動させる面内移動手段と、を備え、前記面内移動手段は、交差して配置されるとともに、前記枠体に形成されたレールに沿って移動自在に設けられたＸロッド及びＹロッドと、前記Ｘロッド及びＹロッドの交差位置に設けられ、前記Ｘロッド及びＹロッドに摺動自在に設けられるとともに、前記センサーが取り付けられた移動駒と、前記枠体に設けられ、前記Ｘロッド、前記Ｙロッドを移動させて前記交差位置を変えることにより前記移動駒を介して前記センサーを前記枠体の水平面内で移動させる駆動手段と、から成ることを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、フィルタユニットの吹出面と平行な水平面を画成する枠体を設け、エアの流量や塵埃濃度等を測定するセンサーを前記枠体の水平面内で移動させる。これにより、前記センサーは、前記枠体の水平面内で移動させるだけで、確実にフィルタユニットのエア吹出面と平行に移動できる。従って、ロボットを使用しなくても、簡素な機構によりセンサーを前記枠体の水平面内で移動することができる。
【０００９】
また、本発明によれば、前記枠体に移動自在に支持されると共に直交するＸ、Ｙの２軸を有する移動部材を設け、前記移動部材の２軸が交差する交差位置に前記センサーが取り付けられる移動駒をＸ軸及びＹ軸に摺動自在に設置する。そして、前記移動部材のＸ軸をＹ軸方向に、前記移動部材のＹ軸をＸ軸方向に移動して、前記交差位置を変えることにより、移動駒を介してセンサーを移動する。従って、本発明は、センサーの近辺に駆動源を設けずにセンサーを移動することができ、ノイズ等による測定誤差を抑えることができる。また、センサーは常にＸ軸、Ｙ軸を有する移動部材に支持され、センサーの位置によってセンサー周囲の気流が大きく異なることは無いので、フィルタ性能を正確に評価することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下添付図面に従って、本発明に係るフィルタ性能評価装置の好ましい実施の形態について詳説する。本実施の形態では、クリーンルームの天井面に敷設されたフィルタユニットを評価する例で説明する。
図１は、本発明に係るフィルタ性能評価装置１０の斜視図である。
【００１１】
同図に示すように、フィルタ性能評価装置１０は主として、エア流量センサー１４、枠体１２、水圧シリンダ１６、評価装置１８及び台車２０で構成される。台車２０には、水圧シリンダ１６が、ロッド１７を鉛直方向に伸縮するように設置される。ポンプ５７は、台車２０に設置され、図示しないホースを介して水圧シリンダ１６及び水タンク５６に連結される。これにより、ポンプ５７を駆動すると、水タンク５６の水が水圧シリンダ１６に送り込まれてロッド１７が伸長し、ポンプ５７を停止すると水圧シリンダ１６の水が水タンク５６に戻ってロッド１７が収縮する。また、ポンプ５７は、信号ケーブルを介して制御装置５８に接続される。制御装置５８は、ポンプ５７の駆動又は停止信号をポンプに出力するように構成される。これにより、制御装置５８は、水圧シリンダ１６のロッド１７を伸縮することができる。
【００１２】
ロッド１７の上端には、凹状に形成された支持部材３０を介して枠体１２が設置される。枠体１２は、矩形に形成されると共に、その枠内で画成される平面がクリーンルームの天井面に敷設されたフィルタユニットのエア吹出面と平行に設置される。枠体１２の外部の一角部には、フィルタユニットに対する枠体１２の位置決め用のレーザーポインター５４が設置される。即ち、レーザーポインター５４からの出射光を天井面の所定のポイントに一致させると、フィルタユニットの一角と枠体１２の一角とを垂直方向に重ね合わせることができる。尚、フィルタユニットに対する枠体１２の位置決め機器としてレーザーポインター５４を用いたが、これに限定するものではない。
【００１３】
ここで、枠体１２の長辺１２Ａが示す方向をＸ軸、短辺１２Ｂが示す方向をＹ軸に設定する。長辺１２Ａ及び短辺１２Ｂの内側には、それぞれスライドレール２２Ａ及びスライドレール２２Ｂが設けられる。スライドレール２２Ａには、ライナー２４ＡがＸ軸方向にスライド自在に支持され、スライドレール２２Ｂには、ライナー２４ＢがＹ軸方向にスライド自在に支持される。また、対向するライナー２４Ａ、２４Ａには、２本のＹロッド（移動部材）２６ＡがＹ軸方向に架設され、対向するライナー２４Ｂ、２４Ｂには、２本のＸロッド（移動部材）２６ＢがＸ軸方向に架設される。これにより、Ｙロッド２６Ａは、Ｘ軸方向に移動することができ、Ｘロッド２６ＢはＹ軸方向に移動することができる。尚、スライドレール２２Ａとスライドレール２２Ｂは、Ｙロッド２６ＡとＸロッド２６Ｂが移動する際に干渉しないように設置され、例えば図１に示したように上下方向に位置をずらして設置される。
【００１４】
また、Ｙロッド２６ＡとＸロッド２６Ｂの交差位置には、移動駒２８が前記Ｙロッド２６Ａ及びＸロッド２６Ｂに摺動自在に設置される。これにより、Ｙロッド２６ＡやＸロッド２６Ｂを移動させて前記交差位置を変えると、移動駒２８が枠体１２で画成された水平面内で移動することができる。
移動駒２８には、エア流量センサー１４がエア吸気口を垂直上方に向けて取り付けられ、このエア流量センサー１４によってフィルタユニットから吹き出されるエアの流量が測定される。従って、エア流量センサー１４は、Ｙロッド２６ＡやＸロッド２６Ｂを移動することにより、移動駒２８を介して移動する。また、エア流量センサー１４は、信号ケーブルを介して評価装置１８に接続され、エア流量センサー１４で測定した測定値のデータが評価装置１８に出力される。
【００１５】
評価装置１８は、台車２０に設置され、信号ケーブルを介して制御装置５８に接続される。評価装置１８では、エア流量センサー１４の測定値が、評価装置１８に予め記録された許容値と比較される。そして、測定値が許容値を超えた際には、評価装置１８がアラームを発して作業者に知らせると共に、評価装置１８からエア流量センサー１４の移動を停止させる信号が制御装置５８に出力され、制御装置５８がエア流量センサー１４の移動を停止する。
【００１６】
図２は、エア流量センサー１４が枠体１２の水平面内を移動する面内移動機構の説明図である。図中、実線矢印は、Ｙロッド２６Ａを移動させるロープ３２Ａの移動方向を示し、点線矢印は、Ｘロッド２６Ｂを移動させるロープ３２Ｂの移動方向を示している。
図２に示すように、エア流量センサー１４の面内移動機構は、２本のロープ３２Ａ、３２Ｂ、２個のリール３４Ａ、３４Ｂ、２個のモーター３５Ａ、３５Ｂ及び複数のプーリから構成される。リール３４Ａに巻きかけられたロープ３２Ａは、プーリ３６、２段プーリ３８の下段プーリ、プーリ４０、３段プーリ４２の下段プーリ、２段プーリ４４の下段プーリ、２段プーリ４６の下段プーリ、３段プーリ４８の下段プーリ、プーリ５０、２段プーリ５２の下段プーリに巻きかけられた後、再びリール３４Ｂに巻き付けられる。
【００１７】
一方、リール３４Ｂに巻き付けられたロープ３２Ｂは、３段プーリ４２の上段プーリ、２段プーリ５２の上段プーリ、３段プーリ４２の中段プーリ、２段プーリ４４の上段プーリ、２段プーリ４６の上段プーリ、３段プーリ４８の上段プーリ、２段プーリ３８の上段プーリ及び３段プーリ４８の中段プーリに巻きかけられた後、リール３４Ｂに再び巻き付けらる。
【００１８】
リール３４Ａ、３４Ｂは、それぞれモーター３５Ａ、３５Ｂに連結され、モーター３５Ａ、３５Ｂの回転に連動するように構成される。モーター３５Ａ、３５Ｂは、正回転及び逆回転することが可能であり、例えば、モーター３５Ａを正回転するとロープ３２Ａは実線矢印方向に移動し、モーター３５Ｂを正回転するとロープ３２Ｂは点線方向に移動するように構成される。
【００１９】
また、前述したライナー２４Ａは、ロープＡの内側部分に固定され、対向する一対のライナー２４Ａ、２４Ａが同方向に移動するように構成される。同様に、ライナー２４Ｂは、ロープＢの内側部分に固定され、対向する一対のライナー２４Ｂ、２４Ｂが同方向に移動するように構成される。これにより、モーター３５Ａを回転させると、ライナー２４Ａ、２４Ａ及びロープ３２Ａを介してＹロッド２６ＡがＸ軸方向にスライドし、モーター３５Ｂを回転させると、ライナー２４Ｂ、２４Ｂ及びロープ３２Ｂを介してＸロッド２６ＢがＹ軸方向にスライドする。
【００２０】
従って、モーター３５Ａ、３５Ｂを駆動することにより、Ｙロッド２６ＡとＸロッド２６Ｂの交差位置が変わり、移動駒２８を介してエア流量センサー１４の位置が移動する。このように、フィルタ性能評価装置１０では、エア流量センサー１４の回りに駆動源を設けることなく、エア流量センサー１４を移動させることができる。尚、ライナー２４Ａとロープ３２Ａ、及びライナー２４Ｂとロープ３２Ｂとの固定方法は何でも良いが、例えば、ロープ３２Ａの一端を直接ライナー２４Ａに結び付け、他端をスプリングを介してライナー２４Ａに接続する。これにより、ロープ２４Ａの弛みを防止することも可能である。
【００２１】
また、モーター３５Ａ、３５Ｂは、信号ケーブルを介して制御装置５８に接続される。制御装置５８は、モーター３５Ａ、３５Ｂを正回転、逆回転又は停止させ、エア流量センサー１４を移動又は停止させる。また、制御装置５８には、エア流量センサー１４の移動経路が予めプログラムされ、エア流量センサー１４がフィルタユニットの測定に適した移動経路を自動的に通過するように設定される。即ち、枠体１２をレーザーポインタ５４によりフィルタユニットに対して位置決めした後に、フィルタユニットの長辺長さＬ及び短辺長さＷを制御装置５８に入力すると、制御装置５８がモーター３５Ａ及びモーター３５Ｂの回転量を操作して、エア流量センサー１４が自動的に移動するように構成される。
【００２２】
次に上記の如く構成されたフィルタ性能評価装置１０の作用を図面に沿って説明する。
先ず、台車２０を移動して、枠体１２をフィルタユニットに対して位置決めする。即ち、台車２０を移動してレーザーポインタ５４からの出射光を天井面の所定のポイントに一致させ、枠体１２の一角がフィルタユニットの一角と垂直方向に重なるようにする。
【００２３】
次に、制御装置５８でポンプ５７を制御して水圧シリンダ１６のロッド１７を伸長し、エア流量センサー１４が測定に適した高さになるまで枠体１２を上昇する。
次に、フィルタユニットの長辺長さＬと短辺長さＷを制御装置５８に入力した後、エア流量センサー１４の移動とエア流量センサー１４による流量測定を開始する。エア流量センサー１４は、前述したように制御装置５８がモーター３５Ａ、３５Ｂを駆動させることにより移動する。即ち、モーター３５Ａ、３５Ｂが駆動してリール３４Ａ、３４Ｂが回転すると、ロープ３２Ａ、３２Ｂを介してライナー２４Ａ、２４Ｂがスライドし、Ｙロッド２６ＡとＸロッド２６Ｂが移動する。これにより、Ｙロッド２６ＡとＸロッド２６Ｂの交差位置が変わり、移動駒２８に取り付けられたエア流量センサー１４が移動する。また、制御装置５８には、予めエア流量センサー１４の移動経路がプログラムされているので、エア流量センサー１４は、エア流量を測定しながら自動的にフィルタ性能の測定に適した経路を通過する。
【００２４】
ところで、エア流量センサー１４の移動中、評価装置１８は、常にエア流量センサー１４の測定値を評価している。そして、前記測定値が予め設定した許容値を超えると、評価装置１８が、アラームを発して作業者にフィルタユニットの不良を知らせると共に、制御装置５８がエア流量センサー１４の移動を停止する。これにより、正常なフィルタ部分よりもエア流量が大きいフィルタユニットの不良箇所を特定することができる。
【００２５】
このように、本発明の実施の形態のフィルタ性能評価装置１０では、フィルタユニットのエア吹出面に水平に枠体１２を設置し、この枠体１２で画成される水平面内でエア流量センサー１４を移動させたので、ロボットを使用しなくても簡素な機構でエア流量センサー１４を移動することができる。従って、フィルタ性能評価装置１０を小型化及び軽量化することができる。
【００２６】
また、エア流量センサー１４を取り付けた移動駒２８をＹロッド２６ＡとＸロッド２６Ｂにより支持したので、エア流量センサー１４の位置によってセンサー２８近辺の気流が大きく変わることなく、正確にフィルタを評価することができる。更に、Ｙロッド２６ＡとＸロッド２６Ｂを介してエア流量センサー１４を移動させるので、駆動源をエア流量センサー１４の近辺に設置せず、ノイズ等による測定誤差を減らすことができる。
【００２７】
尚、上述した実施の形態ではエア流量センサー１４を用いたが、これに限定するものではない。また、エア流量センサー１４は、軽量且つ小型であるので移動駒２８に取り付けられたが、塵埃濃度センサーのように重量物のセンサーや大型のセンサーを移動駒２８に取り付けると、移動駒２８がスムーズに動かなくなったり、センサー近辺に乱流が生じたりし、正確な測定ができない。そこで、これらの場合には、センサーを台車２０に設置し、そのエア吸引ノズルのみを移動駒２８に取り付ける。図３は、塵埃濃度センサー６２を用いた場合のフィルタ性能評価装置６０である。
【００２８】
図３に示すように、移動駒２８には、漏斗状に形成されたノズル６４が取り付けられる。塵埃濃度センサー６２は台車２０上に設置され、エアホース６６を介してノズル６４に連結される。これにより、フィルタユニットから吹き出されるエアは、ノズル６４から吸引され、塵埃濃度センサー６２で測定される。また、塵埃濃度センサー６２は信号ケーブルを介して評価装置１８に接続され、評価装置１８は、塵埃濃度センサー６２の測定値によってフィルタユニットを評価するように構成される。尚、他の構成は、上述したエア流量センサー１４を取り付けた場合のフィルタ性能評価装置１０と同様であり、説明を省略する。
【００２９】
上記の如く構成されたフィルタ評価装置６０では、フィルタ性能評価装置１０の場合と同様に操作することにより、フィルタユニットの不良箇所を特定することができる。即ち、フィルタユニットの不良箇所まで塵埃濃度センサー６２が移動すると塵埃濃度が急激に大きくなり、評価装置１８がアラームを発してフィルタの不良を作業者に知らせると共に、制御装置５８が塵埃濃度センサー６２の移動を停止する。
【００３０】
このように、塵埃濃度センサー６２を設置したフィルタ性能評価装置６０では、エア吸引用ノズルのみを移動駒２８に取り付けるので、移動駒２８にかかる負荷が軽減され、スムーズに移動することができ、作業効率を向上させることができる。尚、大型のセンサーを用いる場合にもフィルタ性能評価装置６０と同様に構成することで、センサー近辺の気流を大きく乱すことなく、正確にフィルタ性能を評価することができる。
【００３１】
また、上述した実施の形態では、移動駒２８をＹロッド２６ＡとＸロッド２６Ｂで支持したが、これに限定するものではない。例えば、移動駒２８をＹ軸方向に設置されたＹロッド２６Ａのみで支持し、移動駒２８がＸ軸方向にのみ移動するようにしてもよい。図４は、移動駒２８をＹロッド２６Ａのみで支持したフィルタ性能評価装置７０の枠体１２の斜視図である。尚、フィルタ性能評価装置７０では、フィルタ性能評価装置６０と同様に、塵埃濃度センサーを取り付けている。
【００３２】
同図に示すように、移動駒２８は、Ｙロッド２６Ａの中央に固定支持され、移動駒２８には、吸引口がスリット状に形成されたノズル７２が取り付けられる。ノズル７２は、その長辺が、Ｙ軸方向を示すと共にフィルタユニットの短辺よりも長くなるように形成される。また、ノズル７２は、エアホース７４を介して塵埃濃度センサー６２（図３参照）に連結される。また、Ｙロッド２６Ａは、図２に示した面内移動機構と同様に、ロープ３２Ａ、リール３４Ａ及びモーター３５Ａ等によってＸ軸方向にスライド自在に設置される。尚、他の構成は、フィルタ性能評価装置６０と同様であり、説明を省略する。
【００３３】
上記の如く構成されたフィルタ性能評価装置７０では、制御装置５８がリール３４Ａを回転させることにより、Ｙロッド２６Ａ及び移動駒２８を介してノズル７２がＸ軸方向に移動する。ノズル７２がフィルタユニットの不良箇所の真下まで移動すると、塵埃濃度が上昇するので、評価装置１８がアラームを発生して、ノズル７２が停止する。これにより、フィルタユニットの不良箇所をフィルタユニットの短辺方向で特定することができる。
【００３４】
このように、フィルタ性能評価装置７０では、スリット形状のノズル７２を移動駒２８に取り付け、移動駒２８をＸ軸方向に移動するので、より簡単な制御操作でフィルタユニットを評価でき、作業効率を向上させることができる。
尚、上述した実施の形態では、センサーやノズルを取り付けた移動駒２８を１個だけ設けたが、これに限定するものではなく、複数設置して同時に動かすことにより作業時間を短縮することができる。図５は、フィルタ性能評価装置７０においてノズル７２ををＸ軸方向に２個並設したフィルタ性能評価装置８０の枠体１２の斜視図である。
【００３５】
図５に示すように、フィルタ性能評価装置８０では、２個のノズル７２がＸ軸方向に並設される。ノズル７２、７２は、フィルタ性能評価装置７０と同様に、その長辺がＹ軸方向を示すと共にフィルタユニットの短辺よりも長くなるように形成される。ノズル７２、７２が取り付けられた移動駒２８、２８は、それぞれＹロッド２６Ａ、２６Ａの中央に固定され、ライナー２４Ａ、２４Ａ…を介してＸ軸方向に移動自在に設置される。枠体１２の内部には、図２で示した面内移動機構のうち、Ｙロッド２６Ａを移動させるための機構が設けられる。即ち、ライナー２４Ａ、２４Ａ…は、ロープ３２Ａに固定され、リール３４Ａの回転によりＸ軸方向に移動するように構成される。また、ライナー２４Ａ、２４Ａ…は、ロープ３２Ａに固定されているので、Ｙロッド２６Ａ、２６Ａ、は、一定間隔を保ったままＸ軸方向に移動するように構成されている。なお、ノズル７２、７２は、ノズル７２、７２同士の間隔が天井部に敷設されたフィルタユニットの間隔と一致するように設置される。
【００３６】
また、台車２０上には、２個の塵埃濃度センサー６２、６２が設置され、それぞれエアホース７４、７４を介してノズル７２、７２に連通すると共に、信号ケーブルを介して評価装置１８に接続される。評価装置１８は、塵埃濃度センサー６２、６２の２つの測定値のうちどちらか一方が許容値を超えると、アラームを発してどちらのフィルタユニットに不良が有るかを作業者に知らせると共に、ノズル７２、７２の移動を停止するように構成される。尚、他の構成は、フィルタ性能評価装置７０と同様であり、説明を省略する。
【００３７】
上記の如く構成されたフィルタ性能評価装置８０では、リール３４Ａを回転すると、ノズル７２、７２が同時にＸ軸方向に移動する。２個のノズル７２、７２の間隔はフィルタユニットの間隔と等しいので、塵埃濃度センサー６２、６２は、それぞれ別のフィルタユニットから吹き出されるエアの塵埃濃度を測定する。従って、２つのフィルタユニットを同時に評価することができる。即ち、どちらかのフィルタユニットに不良があると、評価装置１８がアラームを発して作業者に知らせると共に、ノズル７２、７２を同時に停止する。このとき、どちらのフィルタユニットに不良があるか分かるように構成されているので、フィルタユニットの不良箇所を特定することができる。
【００３８】
このように、フィルタ性能評価装置８０では、２つのフィルタユニットを同時に評価できるので、作業効率を向上させることができる。
尚、上述した実施の形態では、本発明にかかるフィルタ性能評価装置を、フィルタユニットの不良箇所を発見するために用いたが、これに限定するものではない。例えば、フィルタユニットから吹き出されるエアの流量分布や濃度分布を作成する場合に用いてもよい。この場合、評価装置１８はセンサーの測定値を記録するように構成すると、効率よく行うことができる。
【００３９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のフィルタ性能評価装置では、フィルタユニットの吹出面に水平に枠体を設置し、この枠体の水平面内でセンサーを移動させたので、ロボットを使用しなくても簡素な機構でセンサーを移動することができる。また、センサーを取り付ける移動駒をＸ、Ｙの直交２軸を有する移動部材により支持したので、センサーの位置によって気流が大きく変わることはなく、正確にフィルタを評価することができる。更に、移動部材を移動させることによりセンサーを移動させるので、センサー近辺に駆動源を必要とせず、ノイズによる測定誤差を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るフィルタ性能評価装置の斜視図
【図２】図１のエア流量センサーの面内移動機構説明図
【図３】塵埃濃度センサーを用いたフィルタ性能評価装置の斜視図
【図４】図３のフィルタ性能評価装置において移動駒を１つの移動軸で支持した枠体の斜視図
【図５】図４においてノズルを２個並設したフィルタ性能評価装置の枠体の斜視図
【符号の説明】
１０…フィルタ性能評価装置
１２…枠体
１４…エア流量センサー
１６…水圧シリンダ
１８…評価装置
２０…台車
２６Ａ…Ｙロッド
２６Ｂ…Ｘロッド
２８…移動駒
５８…制御装置[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a filter performance evaluation apparatus, and more particularly to a filter performance evaluation apparatus for a filter unit that is installed on a ceiling surface of a clean room and blows air into the clean room.
[0002]
[Prior art]
A plurality of filter units are laid on the ceiling surface of a clean room such as a semiconductor manufacturing factory, and dust in the air is collected by these filter units, and clean air is supplied into the clean room. Accordingly, when a defect in the filter unit, for example, a poor adhesion between the filter and the frame that supports the filter unit, a large amount of dust in the air flows into the clean room, and the cleanliness of the clean room decreases. Therefore, the current performance of the filter unit is evaluated by measuring evaluation items such as the flow rate of air blown out from the filter unit and the dust concentration, and the filter unit deviating from the allowable value is repaired.
[0003]
In the conventional filter performance evaluation apparatus, a sensor for measuring the evaluation item is attached at the tip of an arm of a general-purpose robot, and the sensor is horizontally moved along the air blowing surface of the filter unit to measure the evaluation item.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, since the conventional filter performance evaluation apparatus uses a robot, it is very expensive and heavy, and it is also used for teaching work to horizontally move the tip of the robot arm along the air blowing surface of the filter unit. There was a drawback that it took time and effort.
[0005]
Also, with the conventional device, the position of the arm relative to the sensor differs depending on the measurement position, so the airflow around the sensor changes at each measurement position, or the arm moving drive cable or drive source provided near the sensor is noisy. And the evaluation accuracy of the filter unit deteriorates.
The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a filter performance evaluation apparatus that can move a sensor with a simple mechanism without using a robot and can perform accurate evaluation.
[0006]
[Means for solving the problems]
In order to achieve the above object, the present invention provides a filter performance evaluation apparatus for a filter unit that is installed on a ceiling surface of a clean room and blows air to the clean room. In the filter performance evaluation apparatus, the filter performance such as the flow rate of air blown from the filter unit, the dust concentration, etc. A frame that defines a horizontal plane parallel to the air blowing surface of the filter unit, an in-plane moving means that moves the sensor in a horizontal plane defined by the frame, and the frame Elevating means for elevating, evaluating means for evaluating the filter performance based on the measured value of the sensor, a carriage on which the in-plane moving means and the evaluating means are mounted, The in-plane moving means is arranged so as to intersect with each other, and an X rod and a Y rod provided so as to be movable along a rail formed on the frame, and the intersection of the X rod and the Y rod. Provided at a position, slidably provided on the X rod and the Y rod, and provided on a moving piece to which the sensor is attached, and the frame body, and moving the X rod and the Y rod to the intersection. Drive means for moving the sensor in the horizontal plane of the frame body through the moving piece by changing the position; It is characterized by that.
[0007]
In order to achieve the above object, the present invention provides a sensor for measuring the flow rate of air blown from a filter unit installed in a clean room, the concentration of dust, etc., and the sensor horizontally along the air blowing surface of the filter unit. In the filter performance evaluation apparatus comprising the horizontal moving means for moving, the horizontal moving means includes a frame defining a horizontal plane parallel to the air blowing surface of the filter unit, and a horizontal plane defined by the frame. In-plane moving means for moving the sensor In addition, the in-plane moving means is arranged at the intersection of the X rod and the Y rod, and the X rod and the Y rod, which are arranged so as to be movable along the rail formed on the frame. Provided, slidably provided on the X rod and Y rod, and provided on the moving piece to which the sensor is attached, and the frame, and moving the X rod and the Y rod to determine the intersection position. Drive means for moving the sensor in a horizontal plane of the frame body through the moving piece by changing It is characterized by that.
[0008]
According to the present invention, a frame that defines a horizontal plane parallel to the blow-out surface of the filter unit is provided, and a sensor that measures the air flow rate, dust concentration, and the like is moved within the horizontal plane of the frame. Thereby, the sensor can be reliably moved in parallel with the air blowing surface of the filter unit only by moving in the horizontal plane of the frame. Therefore, the sensor can be moved within the horizontal plane of the frame by a simple mechanism without using a robot.
[0009]
Further, according to the present invention, a moving member having two axes X and Y that are movably supported by the frame body and orthogonal to each other is provided, and the sensor is mounted at an intersecting position where the two axes of the moving member intersect. The movable piece to be slidably installed on the X axis and the Y axis. Then, by moving the X axis of the moving member in the Y axis direction and the Y axis of the moving member in the X axis direction and changing the crossing position, the sensor is moved through the moving piece. Therefore, the present invention can move the sensor without providing a drive source in the vicinity of the sensor, and can suppress measurement errors due to noise or the like. In addition, the sensor is always supported by a moving member having an X axis and a Y axis, and the airflow around the sensor does not vary greatly depending on the position of the sensor, so that the filter performance can be accurately evaluated.
[0010]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, preferred embodiments of a filter performance evaluation apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the present embodiment, an example in which a filter unit laid on the ceiling surface of a clean room is evaluated will be described.
FIG. 1 is a perspective view of a filter performance evaluation apparatus 10 according to the present invention.
[0011]
As shown in the figure, the filter performance evaluation apparatus 10 mainly includes an air flow sensor 14, a frame body 12, a hydraulic cylinder 16, an evaluation apparatus 18, and a carriage 20. A hydraulic cylinder 16 is installed on the carriage 20 so as to extend and contract the rod 17 in the vertical direction. The pump 57 is installed in the carriage 20 and is connected to the hydraulic cylinder 16 and the water tank 56 via a hose (not shown). As a result, when the pump 57 is driven, the water in the water tank 56 is sent to the hydraulic cylinder 16 and the rod 17 extends, and when the pump 57 is stopped, the water in the hydraulic cylinder 16 returns to the water tank 56 and the rod 17 contracts. . The pump 57 is connected to the control device 58 via a signal cable. The controller 58 is configured to output a drive or stop signal for the pump 57 to the pump. Thereby, the control device 58 can expand and contract the rod 17 of the hydraulic cylinder 16.
[0012]
The frame body 12 is installed on the upper end of the rod 17 via a support member 30 formed in a concave shape. The frame 12 is formed in a rectangular shape, and a plane defined in the frame is installed in parallel with the air blowing surface of the filter unit laid on the ceiling surface of the clean room. A laser pointer 54 for positioning the frame body 12 with respect to the filter unit is installed at a corner portion outside the frame body 12. That is, when the light emitted from the laser pointer 54 is made to coincide with a predetermined point on the ceiling surface, one corner of the filter unit and one corner of the frame 12 can be superposed in the vertical direction. Although the laser pointer 54 is used as a positioning device for the frame 12 with respect to the filter unit, the present invention is not limited to this.
[0013]
Here, the direction indicated by the long side 12A of the frame 12 is set as the X axis, and the direction indicated by the short side 12B is set as the Y axis. A slide rail 22A and a slide rail 22B are provided inside the long side 12A and the short side 12B, respectively. The liner 24A is supported by the slide rail 22A so as to be slidable in the X-axis direction, and the liner 24B is supported by the slide rail 22B so as to be slidable in the Y-axis direction. Further, two Y rods (moving members) 26A are installed in the Y-axis direction on the opposing liners 24A and 24A, and two X rods (moving members) 26B are X on the opposing liners 24B and 24B. It is installed in the axial direction. Thereby, the Y rod 26A can move in the X-axis direction, and the X rod 26B can move in the Y-axis direction. Note that the slide rail 22A and the slide rail 22B are installed so as not to interfere when the Y rod 26A and the X rod 26B move. For example, as shown in FIG.
[0014]
A moving piece 28 is slidably installed on the Y rod 26A and the X rod 26B at the intersection of the Y rod 26A and the X rod 26B. Accordingly, when the Y rod 26A and the X rod 26B are moved to change the crossing position, the moving piece 28 can move within the horizontal plane defined by the frame body 12.
An air flow rate sensor 14 is attached to the moving piece 28 with the air intake port directed vertically upward, and the flow rate of air blown from the filter unit is measured by the air flow rate sensor 14. Therefore, the air flow sensor 14 moves through the moving piece 28 by moving the Y rod 26A and the X rod 26B. The air flow rate sensor 14 is connected to the evaluation device 18 via a signal cable, and data of measurement values measured by the air flow rate sensor 14 is output to the evaluation device 18.
[0015]
The evaluation device 18 is installed on the carriage 20 and connected to the control device 58 via a signal cable. In the evaluation device 18, the measured value of the air flow sensor 14 is compared with an allowable value recorded in advance in the evaluation device 18. When the measured value exceeds the allowable value, the evaluation device 18 issues an alarm to notify the operator, and a signal for stopping the movement of the air flow sensor 14 is output from the evaluation device 18 to the control device 58. The controller 58 stops the movement of the air flow sensor 14.
[0016]
FIG. 2 is an explanatory diagram of an in-plane moving mechanism in which the air flow rate sensor 14 moves in the horizontal plane of the frame body 12. In the drawing, the solid line arrow indicates the moving direction of the rope 32A for moving the Y rod 26A, and the dotted line arrow indicates the moving direction of the rope 32B for moving the X rod 26B.
As shown in FIG. 2, the in-plane moving mechanism of the air flow sensor 14 includes two ropes 32A and 32B, two reels 34A and 34B, two motors 35A and 35B, and a plurality of pulleys. The rope 32A wound around the reel 34A includes a pulley 36, a lower pulley of the two-stage pulley 38, a pulley 40, a lower pulley of the third pulley 42, a lower pulley of the second pulley 44, a lower pulley of the second pulley 46, After being wound around the lower pulley of the step pulley 48, the pulley 50, and the lower pulley of the second pulley 52, the pulley is wound around the reel 34B again.
[0017]
On the other hand, the rope 32B wound around the reel 34B is an upper pulley of the three-stage pulley 42, an upper pulley of the two-stage pulley 52, an intermediate pulley of the three-stage pulley 42, an upper pulley of the two-stage pulley 44, and an upper stage of the two-stage pulley 46. After being wound around the pulley of the pulley, the upper pulley of the third pulley 48, the upper pulley of the second pulley 38, and the intermediate pulley of the third pulley 48, the reel 34B is wound again.
[0018]
The reels 34A and 34B are connected to the motors 35A and 35B, respectively, and are configured to interlock with the rotation of the motors 35A and 35B. The motors 35A and 35B can rotate forward and backward. For example, when the motor 35A rotates forward, the rope 32A moves in the direction of the solid arrow, and when the motor 35B rotates forward, the rope 32B moves in the dotted line direction. Configured as follows.
[0019]
The liner 24A described above is fixed to the inner portion of the rope A, and a pair of opposing liners 24A and 24A are configured to move in the same direction. Similarly, the liner 24B is fixed to the inner portion of the rope B, and a pair of opposing liners 24B and 24B are configured to move in the same direction. Thus, when the motor 35A is rotated, the Y rod 26A slides in the X-axis direction via the liners 24A and 24A and the rope 32A, and when the motor 35B is rotated, the X rod is passed through the liners 24B and 24B and the rope 32B. 26B slides in the Y-axis direction.
[0020]
Therefore, by driving the motors 35A and 35B, the crossing position of the Y rod 26A and the X rod 26B changes, and the position of the air flow sensor 14 moves via the moving piece 28. Thus, in the filter performance evaluation apparatus 10, the air flow sensor 14 can be moved without providing a drive source around the air flow sensor 14. The liner 24A and the rope 32A and the liner 24B and the rope 32B can be fixed by any method. For example, one end of the rope 32A is directly connected to the liner 24A and the other end is connected to the liner 24A via a spring. Thereby, it is possible to prevent the slack of the rope 24A.
[0021]
Further, the motors 35A and 35B are connected to the control device 58 via a signal cable. The controller 58 causes the motors 35A and 35B to rotate forward, reverse, or stop, and move or stop the air flow sensor 14. In addition, the movement path of the air flow sensor 14 is programmed in the controller 58 in advance, and the air flow sensor 14 is set so as to automatically pass through a movement path suitable for the measurement of the filter unit. That is, after the frame 12 is positioned with respect to the filter unit by the laser pointer 54, when the long side length L and the short side length W of the filter unit are input to the control unit 58, the control unit 58 causes the motor 35A and the motor 35B. The air flow rate sensor 14 is configured to automatically move by manipulating the amount of rotation.
[0022]
Next, the operation of the filter performance evaluation apparatus 10 configured as described above will be described with reference to the drawings.
First, the carriage 20 is moved to position the frame body 12 with respect to the filter unit. That is, the carriage 20 is moved so that the light emitted from the laser pointer 54 coincides with a predetermined point on the ceiling surface so that one corner of the frame 12 overlaps with one corner of the filter unit.
[0023]
Next, the control device 58 controls the pump 57 to extend the rod 17 of the hydraulic cylinder 16 and raise the frame 12 until the air flow sensor 14 reaches a height suitable for measurement.
Next, after the long side length L and the short side length W of the filter unit are input to the control device 58, the movement of the air flow sensor 14 and the flow measurement by the air flow sensor 14 are started. As described above, the air flow sensor 14 moves when the control device 58 drives the motors 35A and 35B. That is, when the motors 35A and 35B are driven to rotate the reels 34A and 34B, the liners 24A and 24B slide through the ropes 32A and 32B, and the Y rod 26A and the X rod 26B move. As a result, the crossing position of the Y rod 26A and the X rod 26B changes, and the air flow rate sensor 14 attached to the moving piece 28 moves. Further, since the movement path of the air flow sensor 14 is programmed in the control device 58 in advance, the air flow sensor 14 automatically passes through a path suitable for measuring the filter performance while measuring the air flow rate.
[0024]
By the way, during the movement of the air flow sensor 14, the evaluation device 18 always evaluates the measured value of the air flow sensor 14. When the measured value exceeds a preset allowable value, the evaluation device 18 issues an alarm to notify the operator of the filter unit failure, and the control device 58 stops the movement of the air flow sensor 14. Thereby, the defective location of the filter unit whose air flow rate is larger than that of the normal filter portion can be specified.
[0025]
As described above, in the filter performance evaluation apparatus 10 according to the embodiment of the present invention, the frame body 12 is installed horizontally on the air blowing surface of the filter unit, and the air flow rate sensor 14 is within a horizontal plane defined by the frame body 12. Therefore, the air flow sensor 14 can be moved with a simple mechanism without using a robot. Therefore, the filter performance evaluation apparatus 10 can be reduced in size and weight.
[0026]
Further, since the moving piece 28 to which the air flow sensor 14 is attached is supported by the Y rod 26A and the X rod 26B, the airflow in the vicinity of the sensor 28 is not greatly changed depending on the position of the air flow sensor 14, and the filter can be evaluated accurately. Can do. Furthermore, since the air flow rate sensor 14 is moved via the Y rod 26A and the X rod 26B, a drive source is not installed near the air flow rate sensor 14, and measurement errors due to noise or the like can be reduced.
[0027]
In the above-described embodiment, the air flow sensor 14 is used. However, the present invention is not limited to this. The air flow sensor 14 is light and small, so it is attached to the moving piece 28. However, if a heavy object sensor or a large sensor such as a dust concentration sensor is attached to the moving piece 28, the moving piece 28 is smooth. Or the turbulent flow is generated near the sensor, making accurate measurement impossible. Therefore, in these cases, the sensor is installed on the carriage 20 and only the air suction nozzle is attached to the moving piece 28. FIG. 3 shows a filter performance evaluation apparatus 60 when the dust concentration sensor 62 is used.
[0028]
As shown in FIG. 3, a nozzle 64 formed in a funnel shape is attached to the moving piece 28. The dust concentration sensor 62 is installed on the carriage 20 and is connected to the nozzle 64 via the air hose 66. Thereby, the air blown out from the filter unit is sucked from the nozzle 64 and measured by the dust concentration sensor 62. The dust concentration sensor 62 is connected to the evaluation device 18 via a signal cable, and the evaluation device 18 is configured to evaluate the filter unit based on the measurement value of the dust concentration sensor 62. Other configurations are the same as those of the filter performance evaluation apparatus 10 when the above-described air flow sensor 14 is attached, and the description thereof is omitted.
[0029]
In the filter evaluation device 60 configured as described above, the defective portion of the filter unit can be identified by operating in the same manner as in the case of the filter performance evaluation device 10. That is, when the dust concentration sensor 62 moves to a defective portion of the filter unit, the dust concentration rapidly increases, the evaluation device 18 issues an alarm to notify the operator of the filter failure, and the control device 58 detects the dust concentration sensor 62. Stop moving.
[0030]
As described above, in the filter performance evaluation apparatus 60 in which the dust concentration sensor 62 is installed, only the air suction nozzle is attached to the moving piece 28. Therefore, the load applied to the moving piece 28 is reduced and the moving piece 28 can move smoothly. Efficiency can be improved. Even when a large sensor is used, it is possible to accurately evaluate the filter performance without greatly disturbing the airflow in the vicinity of the sensor by configuring similarly to the filter performance evaluation device 60.
[0031]
In the above-described embodiment, the moving piece 28 is supported by the Y rod 26A and the X rod 26B. However, the present invention is not limited to this. For example, the moving piece 28 may be supported only by the Y rod 26A installed in the Y-axis direction, and the moving piece 28 may move only in the X-axis direction. FIG. 4 is a perspective view of the frame 12 of the filter performance evaluation apparatus 70 in which the moving piece 28 is supported only by the Y rod 26A. In the filter performance evaluation device 70, as in the filter performance evaluation device 60, a dust concentration sensor is attached.
[0032]
As shown in the figure, the moving piece 28 is fixedly supported at the center of the Y rod 26A, and a nozzle 72 having a suction port formed in a slit shape is attached to the moving piece 28. The nozzle 72 is formed such that its long side indicates the Y-axis direction and is longer than the short side of the filter unit. The nozzle 72 is connected to a dust concentration sensor 62 (see FIG. 3) via an air hose 74. Similarly to the in-plane moving mechanism shown in FIG. 2, the Y rod 26A is slidable in the X-axis direction by a rope 32A, a reel 34A, a motor 35A, and the like. Other configurations are the same as those of the filter performance evaluation apparatus 60, and the description thereof is omitted.
[0033]
In the filter performance evaluation device 70 configured as described above, the control device 58 rotates the reel 34A, whereby the nozzle 72 moves in the X-axis direction via the Y rod 26A and the moving piece 28. When the nozzle 72 moves to a position just below the defective part of the filter unit, the dust concentration increases, so that the evaluation device 18 generates an alarm and the nozzle 72 stops. Thereby, the defective location of the filter unit can be specified in the short side direction of the filter unit.
[0034]
In this way, in the filter performance evaluation apparatus 70, the slit-shaped nozzle 72 is attached to the moving piece 28 and the moving piece 28 is moved in the X-axis direction. Therefore, the filter unit can be evaluated with a simpler control operation, and work efficiency can be improved. Can be improved.
In the above-described embodiment, only one moving piece 28 to which a sensor and a nozzle are attached is provided. However, the present invention is not limited to this, and the working time can be shortened by installing a plurality of moving pieces 28 and moving them simultaneously. . FIG. 5 is a perspective view of the frame 12 of the filter performance evaluation apparatus 80 in which two nozzles 72 are arranged in the X-axis direction in the filter performance evaluation apparatus 70.
[0035]
As shown in FIG. 5, in the filter performance evaluation apparatus 80, two nozzles 72 are arranged in parallel in the X-axis direction. As with the filter performance evaluation apparatus 70, the nozzles 72, 72 are formed such that their long sides indicate the Y-axis direction and are longer than the short sides of the filter unit. The moving pieces 28 and 28 to which the nozzles 72 and 72 are attached are fixed to the centers of the Y rods 26A and 26A, respectively, and are installed to be movable in the X-axis direction via the liners 24A, 24A. Of the in-plane moving mechanism shown in FIG. 2, a mechanism for moving the Y rod 26 </ b> A is provided inside the frame body 12. That is, the liners 24A, 24A... Are fixed to the rope 32A and are configured to move in the X-axis direction by the rotation of the reel 34A. Further, since the liners 24A, 24A,... Are fixed to the rope 32A, the Y rods 26A, 26A are configured to move in the X-axis direction while maintaining a constant interval. In addition, the nozzles 72 and 72 are installed so that the space | interval of the nozzles 72 and 72 may correspond with the space | interval of the filter unit laid in the ceiling part.
[0036]
Further, two dust concentration sensors 62, 62 are installed on the carriage 20, and communicate with the nozzles 72, 72 via air hoses 74, 74, respectively, and are connected to the evaluation device 18 via a signal cable. . When one of the two measured values of the dust concentration sensors 62 and 62 exceeds the allowable value, the evaluation device 18 issues an alarm to notify the operator which filter unit is defective, and at the same time, the nozzle 72 , 72 is configured to stop moving. Other configurations are the same as those of the filter performance evaluation apparatus 70, and the description thereof is omitted.
[0037]
In the filter performance evaluation apparatus 80 configured as described above, when the reel 34A is rotated, the nozzles 72 and 72 are simultaneously moved in the X-axis direction. Since the interval between the two nozzles 72, 72 is equal to the interval between the filter units, the dust concentration sensors 62, 62 measure the dust concentration of the air blown out from different filter units. Therefore, two filter units can be evaluated simultaneously. That is, if any one of the filter units is defective, the evaluation device 18 issues an alarm to notify the operator and simultaneously stops the nozzles 72 and 72. At this time, since it is configured so as to know which filter unit is defective, it is possible to identify a defective portion of the filter unit.
[0038]
Thus, since the filter performance evaluation apparatus 80 can evaluate two filter units simultaneously, work efficiency can be improved.
In the above-described embodiment, the filter performance evaluation apparatus according to the present invention is used to find a defective portion of the filter unit. However, the present invention is not limited to this. For example, you may use, when producing the flow volume distribution and density distribution of the air which blows off from a filter unit. In this case, if the evaluation device 18 is configured to record the measurement value of the sensor, it can be efficiently performed.
[0039]
【The invention's effect】
As described above, in the filter performance evaluation apparatus of the present invention, the frame is installed horizontally on the outlet surface of the filter unit, and the sensor is moved in the horizontal plane of the frame, so that a robot is not used. The sensor can be moved with a simple mechanism. Further, since the moving piece to which the sensor is attached is supported by the moving member having two orthogonal axes of X and Y, the airflow does not change greatly depending on the position of the sensor, and the filter can be evaluated accurately. Furthermore, since the sensor is moved by moving the moving member, a drive source is not required in the vicinity of the sensor, and measurement errors due to noise can be suppressed.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view of a filter performance evaluation apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is an explanatory diagram of an in-plane movement mechanism of the air flow sensor in FIG.
FIG. 3 is a perspective view of a filter performance evaluation apparatus using a dust concentration sensor.
4 is a perspective view of a frame body in which a moving piece is supported by one moving shaft in the filter performance evaluation apparatus of FIG. 3;
5 is a perspective view of a frame body of a filter performance evaluation apparatus in which two nozzles are arranged side by side in FIG. 4;
[Explanation of symbols]
10. Filter performance evaluation device
12 ... Frame
14 ... Air flow sensor
16 ... Hydraulic cylinder
18 ... Evaluation device
20 ... cart
26A ... Y rod
26B ... X rod
28 ... Moving piece
58 ... Control device

Claims

In the filter performance evaluation device of the filter unit that is installed on the ceiling surface of the clean room and blows air to the clean room,
A sensor for measuring filter performance such as a flow rate of air blown out from the filter unit and a dust concentration; and a frame that defines a horizontal plane parallel to the air blowing surface of the filter unit;
In-plane moving means for moving the sensor in a horizontal plane defined by the frame;
Elevating means for elevating and lowering the frame;
Evaluation means for evaluating the filter performance based on the measured value of the sensor;
A carriage on which the in-plane moving means and the evaluation means are mounted,
The in-plane moving means are arranged so as to intersect with each other, and an X rod and a Y rod provided movably along rails formed on the frame,
A movable piece provided at an intersection of the X rod and the Y rod, slidably provided on the X rod and the Y rod, and attached with the sensor;
A driving means provided on the frame body, for moving the sensor in a horizontal plane of the frame body through the moving piece by moving the X rod and the Y rod to change the crossing position;
A filter performance evaluation apparatus comprising:

A sensor that measures the flow rate of air blown from the filter unit installed in the clean room, the dust concentration, etc.
In a filter performance evaluation apparatus comprising a horizontal moving means for horizontally moving the sensor along the air blowing surface of the filter unit,
The horizontal moving means includes a frame that defines a horizontal plane parallel to the air blowing surface of the filter unit;
An in-plane moving means for moving the sensor in a horizontal plane defined by the frame body, and the in-plane moving means are arranged so as to intersect with each other along a rail formed on the frame body. An X rod and a Y rod that are movably provided,
A movable piece provided at an intersection of the X rod and the Y rod, slidably provided on the X rod and the Y rod, and attached with the sensor;
A driving means provided on the frame body, for moving the sensor in a horizontal plane of the frame body through the moving piece by moving the X rod and the Y rod to change the crossing position;
Filter performance evaluation apparatus characterized by comprising a.