JP3942539B2 - Filter inspection scanning device - Google Patents

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Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フィルタ検査用スキャン装置に関し、詳しくは、設置フィルタの開口部における矩形の検査対象部の位置を特定するのに用いる情報の入力手段と、
この入力手段により入力した情報に基づき前記検査対象部の位置を特定して、走査検査具を前記検査対象部に対し走査動作させる制御手段とを備えるフィルタ検査用スキャン装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来における上記形式のフィルタ検査用スキャン装置では、入力手段として、検査対象部の矩形形状における４頂点のうちの少なくとも３頂点のそれぞれに対し、走査検査具を移動させて対応位置させる人為操作により、それら頂点それぞれの位置情報を入力するトレース入力手段を設け、そして、制御手段を、このトレース入力手段により入力した各頂点それぞれの位置情報に基づいて検査対象部の位置を特定（具体的には、検査対象部の大きさ、形、姿勢の特定を含む位置の特定）を行なわせる構成にしていた。
【０００３】
【特許文献１】
意匠登録第１０２８４９６号
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、この種の装置を用いたフィルタ検査における作業のうち、走査検査具を移動させて検査対象部の矩形形状における各頂点に対し対応位置させる上記の人為入力操作は特に手間がかかり、従来装置では、検査対象部の矩形形状における４頂点のうち少なくとも３頂点のそれぞれに対し走査検査具を対応位置させなければならないため、作業能率が悪い問題があった。
【０００５】
この実情に鑑み、本発明の主たる課題は、上記問題を合理的な改良をもって効果的に解消する点にある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
〔１〕請求項１に係る発明はフィルタ検査用スキャン装置に係り、その特徴は、
設置フィルタの開口部における矩形の検査対象部の位置を特定するのに用いる情報の入力手段と、
この入力手段により入力した情報に基づき前記検査対象部の位置を特定して、走査検査具を前記検査対象部に対し走査動作させる制御手段とを備えるフィルタ検査用スキャン装置において、
前記入力手段として、前記走査検査具を前記検査対象部の矩形形状における対角２頂点のそれぞれに対し順次に対応位置させる人為操作により、それら対角２頂点それぞれの位置情報を順次に入力するトレース入力手段と、
前記矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報を、前記走査検査具の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段とを設け、
前記制御手段を、前記トレース入力手段により入力した前記対角２頂点それぞれの位置情報と、それら対角２頂点それぞれの位置情報の入力の順序と、前記補助入力手段により入力した前記形状情報とに基づいて、前記検査対象部の位置を特定する構成にしてある点にある。
【０００７】
つまり、検査対象部の矩形形状における対角２頂点それぞれの位置、及び、その矩形形状の大きさと形を特定すれば、検査対象部の位置の候補として２つの候補、すなわち、検査対象部の矩形形状について言えば、位置特定した対角２頂点を結ぶ対角線に対して線対称となる２つの矩形形状により各別に特定される２つの位置候補を特定することができる。
また、上記対角２頂点の位置情報をトレース入力手段により人為的に入力するのに、例えば、それら対角２頂点のうち先行して走査検査具を対応位置させる側の頂点から所定の周り向きで上記矩形形状の２辺を辿って他方の頂点に向かう場合に長辺と短辺とを所定の順序に辿ることになる順序で、対角２頂点のそれぞれに対し走査検査具を順次に対応位置させてそれら対角２頂点の位置情報を順次に入力するといった操作条件を予め規定しておくようにすれば、対角２頂点それぞれの位置情報の入力の順序に基づき、上記２つの位置候補のうち実際の検査対象部の位置を制御手段に特定させる（すなわち、互いに姿勢が異なる上記２つの矩形形状のうち実際の検査対象部に即した１つの矩形形状を制御手段に特定させる）ことができる。
これらのことから、上記構成を採れば、トレース入力手段により入力した対角２頂点それぞれの位置情報と、それら対角２頂点それぞれの位置情報の入力の順序と、補助入力手段により入力した形状情報とに基づき、検査対象部の位置を的確に制御手段に特定させることができて、その位置特定に基づき走査検査具による検査対象部の検査において走査検査具を制御手段により適切に走査動作させることができる。
そして、請求項１に係る発明の上記構成によれば、走査検査具を移動させて検査対象部の矩形形状における各頂点に対応位置させることで各頂点の位置情報を入力するという手間のかかる人為入力操作を、検査対象部の矩形形状における対角２頂点の２点について行うだけで済ませることができ、これにより、その手間のかかる人為入力操作を検査対象部の矩形形状における４頂点のうちの少なくとも３頂点について実施する先述の従来装置に比べ、作業能率を効果的に向上させることができる。
【０００８】
〔２〕請求項２に係る発明はフィルタ検査用スキャン装置に係り、その特徴は、
設置フィルタの開口部における矩形の検査対象部の位置を特定するのに用いる情報の入力手段と、
この入力手段により入力した情報に基づき前記検査対象部の位置を特定して、走査検査具を前記検査対象部に対し走査動作させる制御手段とを備えるフィルタ検査用スキャン装置において、
前記入力手段として、前記走査検査具を前記検査対象部の矩形形状における対角２頂点のそれぞれに対し対応位置させる人為操作により、それら対角２頂点それぞれの位置情報を入力するトレース入力手段と、
前記矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報、及び、前記矩形形状の姿勢の特定に用いる姿勢情報を、前記走査検査具の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段とを設け、
前記制御手段を、前記トレース入力手段により入力した前記対角２頂点それぞれの位置情報と、前記補助入力手段により入力した前記形状情報と、同じく前記補助入力手段により入力した前記姿勢情報とに基づいて、前記検査対象部の位置を特定する構成にしてある点にある。
【０００９】
つまり、前述のように、検査対象部の矩形形状における対角２頂点それぞれの位置、及び、その矩形形状の大きさと形を特定すれば、検査対象部の位置の候補として２つの候補（検査対象部の矩形形状について言えば、位置特定した対角２頂点を結ぶ対角線に対して線対称になる２つの矩形形状により各別に特定される２つの位置候補）を特定することができる。
また、検査対象部の矩形形状がどのような姿勢かを特定するための姿勢情報を制御手段に与えてやれば、その姿勢情報に基づき、上記２つの位置候補のうち実際の検査対象部の位置を制御手段に特定させる（すなわち、互いに姿勢が異なる上記２つの矩形形状のうち実際の検査対象部に即した１つの矩形形状を制御手段に特定させる）ことができる。
これらのことから、上記構成を採れば、トレース入力手段により入力した対角２頂点それぞれの位置情報と、補助入力手段により入力した形状情報と、同じく補助入力手段により入力した姿勢情報とに基づき、検査対象部の位置を的確に制御手段に特定させることができて、その位置特定の基づき走査検査具による検査対象部における検査において走査検査具を制御手段により適切に走査動作させることができる。
そして、請求項２に係る発明の上記構成によれば、請求項１に係る発明と同様、走査検査具を移動させて検査対象部の矩形形状における各頂点に対応位置させることで各頂点の位置情報を入力するという手間のかかる人為入力操作を、検査対象部の矩形形状における対角２頂点の２点について行うだけで済ませることができ、これにより、先述の従来装置に比べ、作業能率を効果的に向上させることができる。
【００１０】
〔３〕請求項３に係る発明はフィルタ検査用スキャン装置に係り、その特徴は、
設置フィルタの開口部における矩形の検査対象部の位置を特定するのに用いる情報の入力手段と、
この入力手段により入力した情報に基づき前記検査対象部の位置を特定して、走査検査具を前記検査対象部に対し走査動作させる制御手段とを備えるフィルタ検査用スキャン装置でおいて、
前記入力手段として、前記走査検査具を前記フィルタ開口部に対して直交する軸芯周りで回転させて走査検査具を前記検査対象部の矩形形状に対し所定の相対姿勢にする人為操作により、その矩形形状の姿勢の特定に用いる姿勢情報を入力するとともに、前記走査検査具を前記矩形形状における対角２頂点のそれぞれに対し対応位置させる人為操作により、それら対角２頂点それぞれの位置情報を入力するトレース入力手段と、
前記矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報を、前記走査検査具の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段とを設け、
前記制御手段を、前記トレース入力手段により入力した前記姿勢情報と、同じく前記トレース入力手段により入力した前記対角２頂点それぞれの位置情報と、前記補助入力手段により入力した前記形状情報とに基づいて，前記検査対象部の位置を特定する構成にしてある点にある。
【００１１】
つまり、前述のように、検査対象部の矩形形状における対角２頂点それぞれの位置、及び、その矩形形状の大きさと形を特定すれば、検査対象部の位置の候補として２つの候補（検査対象部の矩形形状について言えば、位置特定した対角２頂点を結ぶ対角線に対して線対称になる２つの矩形形状により各別に特定される２つの位置候補）を特定することができ、また、検査対象部の矩形形状がどのような姿勢かを特定するための姿勢情報を制御手段に与えてやれば、その姿勢情報に基づき、上記２つの位置候補のうち実際の検査対象部の位置を制御手段に特定させる（すなわち、互いに姿勢が異なる上記２つの矩形形状のうち実際の検査対象部に即した１つの矩形形状を制御手段に特定させる）ことができる。
これらのことから、上記構成を採れば、走査検査具の回転走査を伴う形態でトレース入力手段により入力した姿勢情報と、同じくトレース入力手段により入力した対角２頂点それぞれの位置情報と，補助入力手段により入力した形状譲渡に基づき、検査対象部の位置を的確に制御手段に特定させることができて、その位置特定に基づき走査検査具による検査対象部の検査において走査検査具を制御手段により適切に走査動作させることができる。
そして、請求項３に係る発明の上記構成によれば、請求項１，２に係る発明と同様、走査検査具を移動させて検査対象部の矩形形状における各頂点に対応位置させることで各頂点の位置情報を入力するという手間のかかる人為入力操作を、検査対象部の矩形形状における対角２頂点の２点について行うだけで済ませることができ、これにより、先述の従来装置に比べ、作業能率を効果的に向上させることができる。
【００１２】
〔４〕請求項４に係る発明はフィルタ検査用スキャン装置に係り、その特徴は、
設置フィルタの開口部における矩形の検査対象部の位置を特定するのに用いる情報の入力手段と、
この入力手段により入力した情報に基づき前記検査対象部の位置を特定して、走査検査具を前記検査対象部に対し走査動作させる制御手段とを備えるフィルタ検査用スキャン装置において、
前記入力手段として、前記走査検査具を前記検査対象部の矩形形状における１辺の両端のそれぞれに対し順次に対応位置させる人為操作により、その１辺の両端それぞれの位置情報を順次に入力するトレース入力手段と、
前記矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報を、前記走査検査具の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段とを設け、
前記制御手段を、前記トレース入力手段により入力した前記１辺の両端それぞれの位置情報と、その１辺の両端それぞれの位置情報の入力の順序と、前記補助入力手段により入力した前記形状情報とに基づいて、前記検査対象部の位置を特定する構成にしてある点にある。
【００１３】
つまり、検査対象部の矩形形状における１辺の両端それぞれの位置、及び、その矩形形状の大きさと形を特定すれば、検査対象部の位置の候補として２つの候補、すなわち、検査対象部の矩形形状について言えば、両端の位置特定した上記１辺の両側にできる２つの矩形形状により各別に特定される２つの位置候補を特定することができる。
また、上記１辺の両端の位置情報をトレース入力手段により人為的に入力するのに、例えば、その１辺の両端のうち先行して走査検査具を対応位置させる側の端部から他方の端部を臨む場合に検査対象部の矩形形状が上記１辺に対し所定の側に位置することになる順序で、１辺の両端のそれぞれに対し走査検査具を順次に対応位置させてその１辺の両端の位置情報を順次に入力するといった操作条件を予め規定しておくよういすれば、１辺の両端それぞれの位置情報の入力の順序に基づき、上記２つの位置候補のうち実際の検査対象部の位置を制御手段に特定させる（すなわち、上記１辺に対して一方側と他方側とに位置する上記２つの矩形形状のうち実際の検査対象部に即した１つの矩形形状を制御手段に特定させる）ことができる。
これらのことから、上記構成を採れば、トレース入力手段により入力した１辺の両端それぞれの位置情報と、その１辺の両端それぞれの位置情報の入力の順序と、補助入力手段により入力した形状情報とに基づき、検査対象部の位置を的確に制御手段に特定させることができて、その位置特定に基づき、走査検査具による検査対象部の検査において走査検査具を制御手段により適切に走査動作させることができる。
そして、請求項４に係る発明の上記構成によれば、走査検査具を移動させて検査対象部の矩形形状における各頂点に対応位置させることで各頂点の位置情報を入力するという手間のかかる人為入力操作を、検査対象部の矩形形状における１辺の両端の２点について行うだけで済ませることができ、これにより、その手間のかかる人為入力操作を検査対象部の矩形形状における４頂点のうち少なくとも３頂点について実施する先述の従来装置に比べ、作業能率を効果的に向上させることができる。
【００１４】
〔５〕請求項５に係る発明はフィルタ検査用スキャン装置に係り、その特徴は、
設置フィルタの開口部における矩形の検査対象部の位置を特定するのに用いる情報の入力手段と、
この入力手段により入力した情報に基づき前記検査対象部の位置を特定して、走査検査具を前記検査対象部に対し走査動作させる制御手段とを備えるフィルタ検査用スキャン装置において、
前記入力手段として、前記走査検査具を前記検査対象部の矩形形状における１辺の両端のそれぞれに対し対応位置させる人為操作により、その１辺の両端それぞれの位置情報を入力するトレース入力手段と、
前記矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報、及び、前記１辺に対して前記矩形形状がいずれの側に存在するかの特定に用いる姿勢情報を、前記走査検査具の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段とを設け、
前記制御手段を、前記トレース入力手段により入力した前記１辺の両端それぞれの位置情報と、前記補助入力手段により入力した前記形状情報と、同じく前記補助入力手段により入力した前記姿勢情報とに基づいて、前記検査対象部の位置を特定する構成にしてある点にある。
【００１５】
つまり、前述のように、検査対象部の矩形形状における１辺の両端それぞれの位置、及び、その矩形形状の大きさと形を特定すれば、検査対象部の位置の候補として２つの候補（検査対象部の矩形形状について言えば、両端の位置特定した上記１辺の両側にできる２つの矩形形状により各別に特定される２つの位置候補）を特定することができる。
また、検査対象部の矩形形状が上記１辺に対していずれの側に存在するかを特定するための姿勢情報を制御手段に与えてやれば、その姿勢情報に基づき、上記２つの位置候補のうち実際の検査対象部の位置を制御手段に特定させる（すなわち、上記１辺に対して一方側と他方側とに位置する上記２つの矩形形状のうち実際の検査対象部に即した１つの矩形形状を制御手段に特定させる）ことができる。
これらのことから、上記構成を採れば、トレース入力手段により入力した１辺の両端それぞれの位置情報と、補助入力手段により入力した形状情報と、同じく補助入力手段により入力した姿勢情報とに基づき、検査対象部の位置を的確に制御手段に特定させることができて、その位置特定に基づき走査検査具による検査対象部の検査において走査検査具を制御手段により適切に走査動作させることができる。
そして、請求項５に係る発明の上記構成によれば、請求項４に係る発明と同様、走査検査具を移動させて検査対象部の矩形形状における各頂点に対応位置させることで各頂点の位置情報を入力するという手間のかかる人為入力操作を、検査対象部の矩形形状における１辺の両端の２点について行うだけで済ませることができ、これにより、先述の従来装置に比べ、作業能率を効果的に向上させることができる。
【００１６】
〔６〕請求項６に係る発明はフィルタ検査用スキャン装置に係り、その特徴は、
設置フィルタの開口部における矩形の検査対象部の位置を特定するのに用いる情報の入力手段と、
この入力手段により入力した情報に基づき前記検査対象部の位置を特定して、走査検査具を前記検査対象部に対し走査動作させる制御手段とを備えるフィルタ検査用スキャン装置において、
前記入力手段として、前記走査検査具を前記検査対象部の矩形形状における１辺の両端のそれぞれに対し対応位置させる人為操作により、その１辺の両端それぞれの位置情報を入力するとともに、その１辺に対していずれか一方側に前記走査検査具を対応位置させる人為操作により、前記１辺に対して前記矩形形状がいずれの側に存在するかの特定に用いる姿勢情報を入力するトレース入力手段と、
前記矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報を、前記走査検査具の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段とを設け、
前記制御手段を、前記トレース入力手段により入力した前記１辺の両端それぞれの位置情報と、同じく前記トレース入力手段により入力した前記姿勢情報と、前記補助入力手段により入力した前記形状情報とに基づいて、前記検査対象部の位置を特定する構成にしてある点にある。
【００１７】
つまり、前述のように、検査対象部の矩形形状における１辺の両端それぞれの位置、及び、その矩形形状の大きさと形を特定すれば、検査対象部の位置の候補として２つの候補（検査対象部の矩形形状について言えば、両端の位置特定した上記１辺の両側にできる２つの矩形形状により各別に特定される２つの位置候補）を特定することができ、また、検査対象部の矩形形状が上記１辺に対していずれの側に存在するかを特定するための姿勢情報を制御手段に与えてやれば、その姿勢情報に基づき、上記２つの位置候補のうち実際の検査対象部の位置を制御手段に特定させる（すなわち、上記１辺に対して一方側と他方側とに位置する上記２つの矩形形状のうち実際の検査対象部に即した１つの矩形形状を制御手段に特定させる）ことができる。
これらのことから、上記構成を採れば、トレース入力手段により入力した１辺の両端それぞれの位置情報と、その１辺に対していずれか一方側に走査検査具を対応位置させる形態で同じくトレース入力手段により入力した姿勢情報と、補助入力手段により入力した形状情報とに基づき、検査対象部の位置を的確に制御手段に特定させることができて、その位置特定に基づき走査検査具による検査対象部の検査において走査検査具を制御手段により適切に走査動作させることができる。
そして、請求項６に係る発明の上記構成によれば、請求項４，５に係る発明と同様、走査検査具を移動させて検査対象部の矩形形状における各頂点に対応位置させることで各頂点の位置情報を入力するという手間のかかる人為入力操作を、検査対象部の矩形形状における１辺の両端の２点について行うだけで済ませることができ、これにより、先述の従来装置に比べ、作業能率を効果的に向上させることができる。
【００１８】
〔７〕請求項７に係る発明は、請求項１〜６のいずれか１項に係る発明の実施に好適な実施形態を特定するものであり，その特徴は、
前記トレース入力手段は、前記走査検査具の移動又は回転を伴う前記位置情報又は前記姿勢情報の人為入力操作を携帯式の遠隔操作器により行う構成にしてある点にある。
【００１９】
つまり、この構成によれば、作業者は携帯式の遠隔操作器を携えて、走査検査具の移動位置や回転状態を極力正確に目視確認できる位置に位置した状態で、走査検査具の移動又は回転を伴う位置情報や姿勢情報の人為入力操作を、その遠隔操作器により行うことができ、これにより、例えば、それらの人為入力操作を固定の操作器により行うのに比べ、入力操作を容易にして、作業能率を一層向上させることができる。
また、走査検査具の移動位置や回転状態を一層正確に目視確認できることにより、入力する位置情報や姿勢情報の正確さも高めることができ、そのことにより、それらの入力情報に基づき検査対象部の位置を制御手段に特定させて実施するフィルタ検査の正確さも効果的に向上させることができる。
【００２０】
〔８〕請求項８に係る発明は、請求項１〜７のいずれか１項に係る発明の実施に好適な実施形態を特定するものであり，その特徴は、
前記トレース入力手段は、前記フィルタの矩形開口部における４コーナー部のうち前記対角２頂点のそれぞれ又は前記１辺の両端それぞれに対応するコーナー部に対し、矩形の前記走査検査具を、前記矩形開口部に対する直交方向視において開口部側コーナー部のＬ字形状と検査具側コーナー部のＬ字形状とが同姿勢で合致する状態に対応位置させる人為操作により、前記対角２頂点のそれぞれ又は前記１辺の両端それぞれの位置情報を入力する構成にしてある点にある。
【００２１】
つまり、この構成によれば、走査検査具を検査対象部の矩形形状における対角２頂点のそれぞれや１辺の両端それぞれに対応位置させてそれら対角２頂点それぞれの位置情報や１辺の両端それぞれの位置情報を入力するのに、フィルタの矩形開口部における４コーナー部のうち上記対角２頂点のそれぞれや上記１辺の両端それぞれに対応するコーナー部において、その矩形開口部に対する直交方向視で矩形開口部の側のコーナー部のＬ字形状と走査検査具の側のコーナー部のＬ字形状とが同姿勢で合致する状態に走査検査具を位置させればよいから、例えば、フィルタの矩形開口部に対する直交方向視で矩形開口部の側のコーナー部の頂点と走査検査具の中央とが合致する状態に走査検査具を位置させて上記対角２頂点それぞれの位置情報や上記１辺の両端それぞれの位置情報を入力するのに比べ、矩形開口部の側のコーナー部のＬ字形状、及び、走査検査具の側のコーナー部のＬ字形状を位置合わせのための指標に利用した形態で、走査検査具を上記対角２頂点のそれぞれや１辺の両端それぞれに対し対応位置させる際の走査検査具の位置合わせ操作を容易にすることができ、これにより、作業能率を一層向上させることができ、また、入力する位置情報の正確さも高めることができて、フィルタ検査の正確さも向上させることができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
〔第１実施形態〕
本発明の第１実施形態は、請求項１に係る発明の実施に好適な実施形態であり、図１は内部室用の空気浄化フィルタに対する検査機能を備えさせたクリーンブースを示し、ブース１内に形成する浄化対象室２の天井部に釣り掛け型のフィルタ支持部３を設け、このフィルタ支持部３に対し、図２に示すように、フィルタ掛止部４ａで掛止して、多数の矩形形状のフィルタ４（例えば、ＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタ）を天井部に並列に配置することにより、浄化対象室２の天井面の全面を並置フィルタ群Ｇの出口面からなる清浄空気吹出口（フィルタ開口部）にしてある。
【００２３】
ブース１内において、並置フィルタ群Ｇの上方空間（換言すれば天井裏空間）は、並置フィルタ群Ｇを介して空気を浄化対象室２へ供給する給気チャンバ５にし、また、浄化対象室２の隣には、室壁６を仕切りとして、その室壁６の下部に設けた排気口７と給気チャンバ５とを連通させる還気路８を形成し、この還気路８に、給気チャンバ５−浄化対象室２−還気路８の順で空気循環させる循環ファン９を内装してある。つまり、この空気循環においてフィルタ４により浄化した清浄空気を並置フィルタ群Ｇの出口面の全面（すなわち、天井面の全面）から下向き層流状に室内に吹き出させることで、浄化対象室２の室内を、例えば薬品の製造や半導体部品の製造などに適した高清浄度空間にする。
【００２４】
排気口７は、一連の長尺開口構造ないし複数口の列状配置により浄化対象室２の長辺方向（図１における紙面奥行き方向）の全長に亘って設けられ、また、還気路８も浄化対象室２の長辺方向の全長に亘る風路幅にし、更に、循環ファン９は浄化対象室２の長辺方向に並べて複数台を還気路８に内装し、これにより、浄化対象室２の室内における気流状態を浄化対象室２の長辺方向で均一化して、室内の高清浄度化を促進する。
【００２５】
室内清浄度の保証のためフィルタ４に対しては適時検査を実施するが、このフィルタ検査には、図１に示すように、可搬式のフィルタ検査用スキャン装置Ｍを用いる。
【００２６】
検査対象のフィルタ４の出口面を図２に基づき詳しく説明すると、１０はフィルタ支持部３に対しフィルタ４を掛止するフィルタ掛止部４ａと、隣接フィルタ４間における給気チャンバ５からの空気漏出を封止しているシリコンコーキングＣとからなるデッド部、１１は検査対象の各フィルタ４における矩形形状の検査対象部であり、フィルタ検査は各フィルタ４についてこの検査対象部１１に対して実施される。
【００２７】
フィルタ検査用スキャン装置Ｍは、中央制御器１２、走査検査具１３、走査検査具１３を支持するフレーム部１５、携帯式の遠隔操作器であるコントローラ１６、モニター１７、キーボード１８及びマウス１９とから構成され、走査検査具１３は、中央制御器１２と接続してある微粒子計数器２０に繋がってある吸引チューブ２１の先端に対し矩形に開口したロート状のプローブ１４を取り付けたものであり、プローブ１４は人為操作により清浄空気吹出口に対し直交する軸芯周りで相対回転自在に構成されている。
【００２８】
図３に示すように、本実施形態において、コントローラ１６は、方向操作キー２２、スタートボタン２３、及び、４つのアクションボタン２４ａ〜２４ｄから構成された一般的に市販されているコントローラを採用し、これらのアクションボタン２４ａ〜２４ｄは、矩形形状である検査対象部１１の各頂点１１ａ〜１１ｄに対応するように設定されている。
【００２９】
そして、このフィルタ検査用スキャン装置Ｍには、走査検査具１３を検査対象部１１の矩形形状における対角２頂点１１ａ，１１ｃのそれぞれに対し順次に対応位置させる人為操作により、それら対角２頂点１１ａ，１１ｃそれぞれの位置情報を順次に入力するトレース入力手段ｘ１と、矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報を、走査検査具１３の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段ｙ１と、トレース入力手段ｘ１により入力した対角２頂点１１ａ，１１ｃそれぞれの位置情報、同じくトレース入力手段ｘ１によるそれら対角２頂点１１ａ，１１ｃそれぞれの位置情報の入力の順序、及び、補助入力手段ｙ１により入力した形状情報に基づき、検査対象部１１の位置を特定して走査検査具１３を検査対象部１１に対し走査動作させる制御手段とを設けてあり、本実施形態においてトレース入力手段ｘ１は、中央制御器１２、走査検査具１３、フレーム部１５及びコントローラ１６で構成され、補助入力手段ｙ１は、中央制御器１２、キーボード１８及びマウス１９で構成され、制御手段は中央制御器１２で構成されている。
【００３０】
このフィルタ検査用スキャン装置Ｍを用いてフィルタ検査を行うための初期設定として、走査検査具１３のプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについてのプローブ形状情報と、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）が矩形形状の検査対象部１１の短辺１１Ｂ（１１Ｄ）に沿う姿勢（すなわち、プローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）が検査対象部１１の長辺１１Ａ（１１Ｃ）に沿う姿勢）になるようにプローブ１４を回転させて検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃに対応位置させることを条件とした姿勢条件と、位置入力した対角２頂点１１ａ，１１ｃのうち先行して位置入力した第１頂点１１ａを基点として、矩形形状において時計回りに短辺１１Ｂから長辺１１Ａの順で第３頂点１１ｃに向かうことを検査対象部１１の位置特定の特定要素とすることとを、中央制御器１２に予め設定しておく。
【００３１】
なお、プローブ１４の姿勢条件は、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）が検査対象部１１の長辺１１Ａ（１１Ｃ）に沿う姿勢（すなわち、プローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）が検査対象部１１の短辺１１Ｂ（１１Ｄ）に沿う姿勢）になるようにプローブ１４を回転させて検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃに対応位置させるものであってもよい。
そして、この特定要素として先行入力した頂点から後行入力した頂点に向かうのに、矩形形状において反時計回りに短辺１１Ｂ（１１Ｄ）から長辺１１Ａ（１１Ｃ）、時計回りに長辺１１Ａ（１１Ｃ）から短辺１１Ｂ（１１Ｄ）、反時計回りに長辺１１Ａ（１１Ｃ）から短辺１１Ｂ（１１Ｄ）のいずれの順に辿って向かうように定めてもよい。
また、この特定要素は、検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃの位置を特定しその位置情報を入力した後に中央制御器１２に設定する構成にしてもよい。
【００３２】
フィルタ検査を実行するのに、中央制御器１２に検査対象部１１の位置を特定させる。
【００３３】
先ず、中央制御器１２に、矩形形状である検査対象部１１の大きさと形の形状情報を、人為操作によりキーボード１８及びマウス１９を用いて入力する。
【００３４】
次に、前述のプローブ１４の姿勢条件に従って、プローブ１４のコーナー部１４ａ〜１４ｄのＬ字形状が検査対象部１１の頂点のＬ字形状と同姿勢で合致するように人為操作にてプローブ１４を相対回転させ、検査対象部１１とプローブ１４とを見上げた姿勢で目視確認しながらコントローラ１６を用いてプローブ１４を移動操作して、プローブ１４の第１コーナー部１４ａを検査対象部１１の対角２頂点の第１頂点１１ａに対応位置させた状態でコントローラ１６の第１アクションボタン２４ａを押すことで、第１頂点１１ａの位置を特定しその位置情報を中央制御器１２に入力する。
【００３５】
続いて、人為操作にてコントローラ１６を用いてプローブ１４の第３コーナー部１４ｃを移動操作し検査対象部１１の第３頂点１１ｃに対応位置させた状態で、コントローラ１６の第３アクションボタン２４ｃを押すことで、第３頂点１１ｃの位置を特定しその位置情報を中央制御器１２に入力する。
そして、その後スタートボタン２３を押すことで、検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃの位置情報の入力を完了する。
【００３６】
なお、検査対象部１１の対角２頂点として、第２頂点１１ｂと第４頂点１１ｄとの組み合わせであってもよく、その場合、第２頂点１１ｂに対し第２アクションボタン２４ｂ、第４頂点１１ｄに対しては第４アクションボタン２４ｄを押して、それら頂点１１ｂ、１１ｄの位置を特定しそれらの位置情報を入力する。
【００３７】
図４に示すように、これら検査対象部１１の形状情報、及び、検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃの位置情報から、中央制御器１２によりそれら対角２頂点１１ａ，１１ｃを結ぶ対角線Ｄに対して線対称となる２つの矩形形状ａ１、ａ２が検査対象部１１の位置候補として特定される。
【００３８】
そして、初期設定してあった特定要素（すなわち、位置入力した対角２頂点１１ａ，１１ｃのうち先行して位置入力した第１頂点１１ａを基点として、矩形形状において時計回りに短辺１１Ｂから長辺１１Ａの順で第３頂点１１ｃに向かうことを検査対象部１１の位置を特定すること）に基づいて、２つの矩形形状ａ１、ａ２から矩形形状ａ１が検査対象部１１の実際の位置として中央制御器１２により特定される。
【００３９】
更に、検査対象部１１の位置が特定されたことと、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについての形状情報とに基づいて、中央制御器１２が走査検査具１３の検査移動域２５を算出して特定する。
【００４０】
検査移動域２５の算出方法は、位置特定された検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃ（１１ｂ，１１ｄ）それぞれから外方に、検査対象部１１の短辺方向に対するプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）の長さの１／２の長さ分と、検査対象部１１の長辺方向に対するプローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さの１／２の長さ分とを移動させた点を結ぶことで算出する。
【００４１】
そして、中央制御器１２は、フィルタ検査において、プローブ１４をこの検査移動域２５に沿って走査移動させ、フィルタ掛止部４ａとシリコンコーキングＣとの間における空気漏洩に対する検査を実行する。
【００４２】
２６はリーク検査時において、還気路８の通過空気にフィルタリーク検査用の粉状体Ｐを混入する粉状体混入装置、２７はリーク検査時に給気チャンバ５内の各部の空気を選択的に吸引捕集するように並置フィルタ群Ｇのフィルタ並置方向で給気チャンバ内部の全域にわたらせて分散配置した複数の吸引具、２８はリーク検査時に吸引具２７で吸引捕集した給気チャンバ５内の空気を中央制御器１２に取り入れる取入口である。
【００４３】
〔第２実施形態〕
本発明における第２実施形態は、請求項２に係る発明の実施に好適な実施形態であり、このフィルタ検査用スキャン装置Ｍには、走査検査具１３を検査対象部１１の矩形形状における対角２頂点１１ａ，１１ｃのそれぞれに対し対応位置させる人為操作により、それら対角２頂点１１ａ，１１ｃそれぞれの位置情報を入力するトレース入力手段ｘ２と、矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報、及び、矩形形状の姿勢の特定に用いる姿勢情報を、走査検査具１３の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段ｙ２と、トレース入力手段ｘ２により入力した対角２頂点１１ａ，１１ｃそれぞれの位置情報、補助入力手段ｙ２により入力した形状情報、及び、同じく補助入力手段ｙ２により入力した姿勢情報に基づき、検査対象部１１の位置を特定して走査検査具１３を検査対象部１１に対し走査動作させる制御手段とを設けてあり、本実施形態においてトレース入力手段ｘ２は、中央制御器１２、走査検査具１３、フレーム部１５及びコントローラ１６で構成され、補助入力手段ｙ２は、中央制御器１２、キーボード１８及びマウス１９で構成され、制御手段は中央制御器１２で構成されている。
【００４４】
このフィルタ検査用スキャン装置Ｍを用いてフィルタ検査を行うための初期設定として、走査検査具１３のプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについてのプローブ形状情報と、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）が矩形形状の検査対象部１１の短辺１１Ｂ（１１Ｄ）に沿う姿勢（すなわち、プローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）が検査対象部１１の長辺１１Ａ（１１Ｃ）に沿う姿勢）になるようにプローブ１４を回転させて検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃに対応位置させることを条件とした姿勢条件と、コントローラ１６で位置入力した対角２頂点１１ａ，１１ｃのうちいずれか一方の頂点を基点として、時計回りに短辺１１Ｂから長辺１１Ａの順で他方の頂点に向かうことを検査対象部１１の位置の特定要素とすることを、中央制御器１２に予め設定しておく。
【００４５】
なお、プローブ１４の姿勢条件は、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）が検査対象部１１の長辺１１Ａ（１１Ｃ）に沿う姿勢（すなわち、プローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）が検査対象部１１の短辺１１Ｂ（１１Ｄ）に沿う姿勢）になるようにプローブ１４を回転させて検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃに対応位置させるものであってもよい。
そして、この特定要素として基点とした一方の頂点から他方の頂点に向かうのに、矩形形状において反時計回りに短辺１１Ｂ（１１Ｄ）から長辺１１Ａ（１１Ｃ）、時計回りに長辺１１Ａ（１１Ｃ）から短辺１１Ｂ（１１Ｄ）、反時計回りに長辺１１Ａ（１１Ｃ）から短辺１１Ｂ（１１Ｄ）のいずれの順に辿って向かうように定めてもよい。
また、この特定要素は、検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃの位置を特定しその位置情報を入力した後に中央制御器１２に設定する構成にしてもよい。
【００４６】
フィルタ検査を実行するのに、中央制御器１２に検査対象部１１の位置を特定させる。
【００４７】
先ず、中央制御器１２に、矩形形状である検査対象部１１の大きさと形の形状情報を、人為操作によりキーボード１８及びマウス１９を用いて入力する。
【００４８】
次に、前述のプローブ１４の姿勢条件に従って、プローブ１４のコーナー部１４ａ〜１４ｄのＬ字形状が検査対象部１１の頂点のＬ字形状と同姿勢で合致するように人為操作にてプローブ１４を相対回転させ、検査対象部１１とプローブ１４とを見上げた姿勢で目視確認しながらコントローラ１６を用いてプローブ１４を移動操作して、プローブ１４の第１コーナー部１４ａを検査対象部１１の対角２頂点の第１頂点１１ａに対応位置させた状態でコントローラ１６の第１アクションボタン２４ａを押すことで、第１頂点１１ａの位置を特定しその位置情報を中央制御器１２に入力する。
【００４９】
続いて、人為操作にてコントローラ１６を用いてプローブ１４の第３コーナー部１４ｃを移動操作し検査対象部１１の第３頂点１１ｃに対応位置させた状態で、コントローラ１６の第３アクションボタン２４ｃを押すことで、第３頂点の位置を特定しその位置情報を中央制御器１２に入力する。
そして、その後スタートボタン２３を押すことで、検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃの位置情報の入力を完了する。
【００５０】
なお、検査対象部１１の対角２頂点として、第２頂点１１ｂと第４頂点１１ｄとの組み合わせであってもよく、その場合、第２頂点１１ｂに対し第２アクションボタン２４ｂ、第４頂点１１ｄに対しては第４アクションボタン２４ｄを押して、それら頂点１１ｂ，１１ｄの位置を特定しそれらの位置情報を入力する。
また、対角２頂点の位置情報の入力順序は任意の順序でよい。
【００５１】
図４に示すように、これら検査対象部１１の形状情報、及び、検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃの位置情報から、中央制御器１２によりそれら対角２頂点１１ａ，１１ｃを結ぶ対角線Ｄに対して線対称となる２つの矩形形状ａ１、ａ２が検査対象部１１の位置候補として特定される。
【００５２】
そして、人為操作によりキーボード１８を用いて、コントローラ１６で位置入力した対角２頂点１１ａ，１１ｃのうち第１頂点１１ａを基点と選択することで、初期設定してあった特定要素（すなわち、基点とする一方の頂点から時計回りに短辺１１Ｂから長辺１１Ａの順で他方の頂点に向かうことを検査対象部１１の位置の特定要素）に基づいて、２つの矩形形状ａ１、ａ２から矩形形状ａ１が検査対象部１１の実際の位置として中央制御器１２により特定される。
【００５３】
なお、この特定要素として一方の頂点から他方の頂点に向かうのに、反時計回りに短辺１１Ｂ（１１Ｄ）から長辺１１Ａ（１１Ｃ）、時計回りに長辺１１Ａ（１１Ｃ）から短辺１１Ｂ（１１Ｄ）、反時計回りに長辺１１Ａ（１１Ｃ）から短辺１１Ｂ（１１Ｄ）のいずれの順に辿って向かうように定めてもよい。
また、この特定要素の入力は、検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃの位置情報を入力する前に行なってもよい（すなわち、検査対象部１１の形状情報、及び、走査検査具１３のプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについての形状情報の入力と同時に行なってもよい。）。
【００５４】
更に、検査対象部１１の位置が特定されたことと、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについての形状情報とに基づいて、中央制御器１２が走査検査具１３の検査移動域２５を算出して特定する。
【００５５】
検査移動域２５の算出方法は、位置特定された検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃ（１１ｂ，１１ｄ）それぞれから外方に、検査対象部１１の短辺方向に対するプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）の長さの１／２の長さ分と、検査対象部１１の長辺方向に対するプローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さの１／２の長さ分とを移動させた点を結ぶことで算出する。
【００５６】
そして、中央制御器１２は、フィルタ検査において、プローブ１４をこの検査移動域２５に沿って走査移動させ、フィルタ掛止部４ａとシリコンコーキングＣとの間における空気漏洩に対する検査を実行する。
【００５７】
なお、その他の構成は、第１実施形態で説明した構成と同一であるから、同一の構成箇所には、第１実施形態と同一の番号を付記してそれの説明は省略する。
【００５８】
〔第３実施形態〕
本発明における第３実施形態は、請求項２に係る発明の実施に好適な実施形態であり、このフィルタ検査用スキャン装置Ｍには、走査検査具１３を検査対象部１１の矩形形状における対角２頂点１１ａ，１１ｃのそれぞれに対し対応位置させる人為操作により、それら対角２頂点１１ａ，１１ｃそれぞれの位置情報を入力するトレース入力手段ｘ３と、矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報、及び、矩形形状の姿勢の特定に用いる姿勢情報を、走査検査具１３の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段ｙ３と、トレース入力手段ｘ３により入力した対角２頂点１１ａ，１１ｃそれぞれの位置情報、補助入力手段ｙ３により入力した形状情報、及び、同じく補助入力手段ｙ３により入力した姿勢情報に基づき、検査対象部１１の位置を特定して走査検査具１３を検査対象部１１に対し走査動作させる制御手段とを設けてあり、本実施形態においてトレース入力手段ｘ３は、中央制御器１２、走査検査具１３、フレーム部１５及びコントローラ１６で構成され、補助入力手段ｙ３は、中央制御器１２、モニター１７、キーボード１８及びマウス１９で構成され、制御手段は中央制御器１２で構成されている。
【００５９】
このフィルタ検査用スキャン装置Ｍを用いてフィルタ検査を行うための初期設定として、走査検査具１３のプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについてのプローブ形状情報と、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）が矩形形状の検査対象部１１の短辺１１Ｂ（１１Ｄ）に沿う姿勢（すなわち、プローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）が検査対象部１１の長辺１１Ａ（１１Ｃ）に沿う姿勢）になるようにプローブ１４を回転させて検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃに対応位置させることを条件とした姿勢条件とを、中央制御器１２に予め設定しておく。
【００６０】
なお、プローブ１４の姿勢条件は、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）が検査対象部１１の長辺１１Ａ（１１Ｃ）に沿う姿勢（すなわち、プローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）が検査対象部１１の短辺１１Ｂ（１１Ｄ）に沿う姿勢）になるようにプローブ１４を回転させて検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃに対応位置させるものであってもよい。
【００６１】
フィルタ検査を実行するのに、中央制御器１２に検査対象部１１の位置を特定させる。
【００６２】
先ず、中央制御器１２に、矩形形状である検査対象部１１の大きさと形の形状情報を、人為操作によりキーボード１８及びマウス１９を用いて入力する。
【００６３】
次に、上述のプローブ１４の姿勢条件に従って、プローブ１４のコーナー部１４ａ〜１４ｄのＬ字形状が検査対象部１１の頂点のＬ字形状と同姿勢で合致するように人為操作にてプローブ１４を相対回転させ、検査対象部１１とプローブ１４とを見上げた姿勢で目視確認しながらコントローラ１６を用いてプローブ１４を移動操作し、プローブ１４の第１コーナー部１４ａを検査対象部１１の対角２頂点の第１頂点１１ａに対応位置させた状態でコントローラ１６の第１アクションボタン２４ａを押すことで、第１頂点１１ａの位置を特定しその位置情報を中央制御器１２に入力する。
【００６４】
続いて、人為操作にてコントローラ１６を用いてプローブ１４の第３コーナー部１４ｃを移動操作し検査対象部１１の第３頂点１１ｃに対応位置させた状態で、コントローラ１６の第３アクションボタン２４ｃを押すことで、第３頂点１１ｃの位置を特定しその位置情報を中央制御器１２に入力する。
そして、その後スタートボタン２３を押すことで、検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃの位置情報の入力を完了する。
【００６５】
なお、検査対象部１１の対角２頂点として、第２頂点１１ｂと第４頂点１１ｄとの組み合わせであってもよく、その場合、第２頂点１１ｂに対し第２アクションボタン２４ｂ、第４頂点１１ｄに対しては第４アクションボタン２４ｄを押して、それら頂点１１ｂ，１１ｄの位置を特定しそれらの位置情報を入力する。
また、対角２頂点の位置情報の入力順序は任意の順序でよい。
【００６６】
図４に示すように、これら検査対象部１１の形状情報、及び、検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃの位置情報から、中央制御器１２によりそれら対角２頂点１１ａ，１１ｃを結ぶ対角線Ｄに対して線対称となる２つの矩形形状ａ１、ａ２が検査対象部１１の位置候補として特定され、それら２つの矩形形状ａ１，ａ２がモニター１７に表示される。
【００６７】
そして、人為操作にて、モニター１７に表示された２つの矩形形状ａ１、ａ２から矩形形状ａ１をキーボード１８又はマウス１９を操作して選択し、矩形形状ａ１を検査対象部１１の実際の位置として特定する。
【００６８】
更に、検査対象部１１の位置が特定されたことと、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについての形状情報とに基づいて、中央制御器１２が走査検査具１３の検査移動域２５を算出して特定する。
【００６９】
検査移動域２５の算出方法は、位置特定された検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃ（１１ｂ，１１ｄ）それぞれから外方に、検査対象部１１の短辺方向に対するプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）の長さの１／２の長さ分と、検査対象部１１の長辺方向に対するプローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さの１／２の長さ分とを移動させた点を結ぶことで算出する。
【００７０】
そして、中央制御器１２は、フィルタ検査において、プローブ１４をこの検査移動域２５に沿って走査移動させ、フィルタ掛止部４ａとシリコンコーキングＣとの間における空気漏洩に対する検査を実行する。
【００７１】
なお、その他の構成は、第１実施形態で説明した構成と同一であるから、同一の構成箇所には、第１実施形態と同一の番号を付記してそれの説明は省略する。
【００７２】
〔第４実施形態〕
本発明における第４実施形態は、請求項３に係る発明の実施に好適な実施形態であり、図６に示すように、走査検査具１３のプローブ１４に対しフレーム部１５に、人為操作によるプローブ１４の相対回転角度を検出するセンサｓを設けてある構成にする。
【００７３】
このフィルタ検査用スキャン装置Ｍには、人為操作による走査検査具１３の回転操作におけるプローブ１４の相対回転角度に基づいた検査対象部１１の矩形形状の姿勢の特定に用いる姿勢情報、及び、走査検査具１３を検査対象部１１の矩形形状における対角２頂点１１ａ，１１ｃのそれぞれに対し対応位置させる人為操作により、それら対角２頂点１１ａ，１１ｃそれぞれの位置情報を入力するトレース入力手段ｘ４と、矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報を走査検査具１３の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段ｙ４と、トレース入力手段ｘ４により入力した対角２頂点１１ａ，１１ｃそれぞれの位置情報、同じくトレース入力手段ｘ４により入力した姿勢情報、及び、補助入力手段ｙ４により入力した形状情報に基づき、検査対象部１１の位置を特定して走査検査具１３を検査対象部１１に対し走査動作させる制御手段とを設けてあり、本実施形態においてトレース入力手段ｘ４は、中央制御器１２、走査検査具１３、フレーム部１５、コントローラ１６及びセンサｓで構成され、補助入力手段ｙ４は、中央制御器１２、キーボード１８及びマウス１９で構成され、制御手段は中央制御器１２で構成されている。
【００７４】
このフィルタ検査用スキャン装置Ｍを用いてフィルタ検査を行うための初期設定として、走査検査具１３のプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについてのプローブ形状情報と、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）が矩形形状の検査対象部１１の短辺１１Ｂ（１１Ｄ）に沿う姿勢（すなわち、プローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）が検査対象部１１の長辺１１Ａ（１１Ｃ）に沿う姿勢）になるようにプローブ１４を回転させて検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃに対応位置させることを条件とした姿勢条件とを、中央制御器１２に予め設定しておく。
【００７５】
なお、プローブ１４の姿勢条件は、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）が検査対象部１１の長辺１１Ａ（１１Ｃ）に沿う姿勢（すなわち、プローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）が検査対象部１１の短辺１１Ｂ（１１Ｄ）に沿う姿勢）になるようにプローブ１４を回転させて検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃに対応位置させるものであってもよい。
【００７６】
フィルタ検査を実行するのに、中央制御器１２に検査対象部１１の位置を特定させる。
【００７７】
先ず、中央制御器１２に、矩形形状である検査対象部１１の大きさと形の形状情報を、人為入力操作によりキーボード１８及びマウス１９を用いて入力する。
【００７８】
次に、上述のプローブ１４の姿勢条件に従って、プローブ１４のコーナー部１４ａ〜１４ｄのＬ字形状が検査対象部１１の頂点のＬ字形状と同姿勢で合致するように人為操作にてプローブ１４を相対回転させる。
この時、人為操作によって相対回転させられたプローブ１４のフレーム部１５に対する相対回転角度がセンサｓによって検出される。
【００７９】
そして、検査対象部１１とプローブ１４とを見上げた姿勢で目視確認しながらコントローラ１６を用いてプローブ１４を移動操作して、プローブ１４の第１コーナー部１４ａを検査対象部１１の対角２頂点の第１頂点１１ａに対応位置させた状態でコントローラ１６の第１アクションボタン２４ａを押すことで、第１頂点１１ａの位置を特定しその位置情報を中央制御器１２に入力する。
そして、センサｓによって検出されてあるプローブ１４の相対回転角度情報が中央制御器１２に送信され、中央制御器１２がその相対回転角度情報に基づいて矩形形状の姿勢を特定する。
【００８０】
続いて、コントローラ１６を用いてプローブ１４の第３コーナー部１４ｃを移動操作し検査対象部１１の第３頂点１１ｃに対応位置させた状態で、コントローラ１６の第３アクションボタン２４ｃを押すことで、第３頂点１１ｃの位置を特定しその位置情報を中央制御器１２に入力する。
そして、その後スタートボタン２３を押すことで、検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃの位置情報の入力及び検査対象部１１の姿勢の特定を完了する。
【００８１】
なお、検査対象部１１の対角２頂点として、第２頂点１１ｂと第４頂点１１ｄとの組み合わせであってもよく、その場合、第２頂点１１ｂに対し第２アクションボタン２４ｂ、第４頂点１１ｄに対しては第４アクションボタン２４ｄを押して、それら頂点１１ｂ、１１ｄの位置を特定しそれらの位置情報を入力する。
また、対角２頂点の位置情報の入力順序は任意の順序でよい。
【００８２】
そして、これら検査対象部１１の形状情報、検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃの位置情報、及び、センサｓにより検出されたプローブ１４の相対回転角度情報に基づく検査対象部１１の姿勢情報から、図４に示す矩形形状ａ１が検査対象部１１の実際の位置として中央制御器１２により特定される。
【００８３】
更に、検査対象部１１の位置が特定されたことと、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについての形状情報とに基づいて、中央制御器１２が走査検査具１３の検査移動域２５を算出して特定する。
【００８４】
検査移動域２５の算出方法は、位置特定された検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃ（１１ｂ，１１ｄ）それぞれから外方に、検査対象部１１の短辺方向に対するプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）の長さの１／２の長さ分と、検査対象部１１の長辺方向に対するプローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さの１／２の長さ分とを移動させた点を結ぶことで算出する。
【００８５】
そして、中央制御器１２は、フィルタ検査において、プローブ１４をこの検査移動域２５に沿って走査移動させ、フィルタ掛止部４ａとシリコンコーキングＣとの間における空気漏洩に対する検査を実行する。
【００８６】
なお、その他の構成は、第１実施形態で説明した構成と同一であるから、同一の構成箇所には、第１実施形態と同一の番号を付記してそれの説明は省略する。
【００８７】
〔第５実施形態〕
本発明における第５実施形態は、請求項４に係る発明の実施に好適な実施形態であり、このフィルタ検査用スキャン装置Ｍには、走査検査具１３を検査対象部１１の矩形形状における１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂのそれぞれに対し順次に対応位置させる人為操作により、それら１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂそれぞれの位置情報を順次に入力するトレース入力手段ｘ５と、矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報を、走査検査具１３の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段ｙ５と、トレース入力手段ｘ５により入力した１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂそれぞれの位置情報、同じくトレース入力手段によるそれら両端１１ａ，１１ｂそれぞれの位置情報の入力の順序、及び、補助入力手段ｙ５により入力した形状情報に基づき、検査対象部１１の位置を特定して走査検査具１３を検査対象部１１に対し走査動作させる制御手段とを設けてあり、本実施形態においてトレース入力手段ｘ５は、中央制御器１２、走査検査具１３、フレーム部１５及びコントローラ１６で構成され、補助入力手段ｙ５は、中央制御器１２、キーボード１８及びマウス１９で構成され、制御手段は中央制御器１２で構成されている。
【００８８】
このフィルタ検査用スキャン装置Ｍを用いてフィルタ検査を行うための初期設定として、走査検査具１３のプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについてのプローブ形状情報と、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）が矩形形状の検査対象部１１の短辺１１Ｂ（１１Ｄ）に沿う姿勢（すなわち、プローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）が検査対象部１１の長辺１１Ａ（１１Ｃ）に沿う姿勢）になるようにプローブ１４を回転させて検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂに対応位置させることを条件とした姿勢条件と、コントローラ１６で位置入力した１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂのうち先行して位置入力した第１頂点１１ａを基準として後行して位置入力した第２頂点１１ｂを臨んだとき、検査対象部１１の矩形形状の大部分がその１辺ｆに対し左側にあることを検査対象部１１の位置特定の特定要素とすることとを、中央制御器１２に予め設定しておく。
【００８９】
なお、プローブ１４の姿勢条件は、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）が検査対象部１１の長辺１１Ａ（１１Ｃ）に沿う姿勢（すなわち、プローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）が検査対象部１１の短辺１１Ｂ（１１Ｄ）に沿う姿勢）になるようにプローブ１４を回転させて検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂに対応位置させるものであってもよい。
そして、この特定要素として、第１頂点１１ａから第２頂点１１ｂを臨んだとき、検査対象部１１の矩形形状の大部分が位置特定した１辺ｆに対し右側にあるように定めてもよい。
また、この特定要素は、検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂの位置を特定しその位置情報を入力した後に中央制御器１２に設定する構成にしてもよい。
【００９０】
フィルタ検査を実行するのに、中央制御器１２に検査対象部１１の位置を特定させる。
【００９１】
先ず、中央制御器１２に、矩形形状である検査対象部１１の大きさと形の形状情報を、人為入力操作によりキーボード１８及びマウス１９を用いて入力する。
【００９２】
次に、前述のプローブ１４の姿勢条件に従って、プローブ１４のコーナー部１４ａ〜１４ｄのＬ字形状が検査対象部１１の１辺ｆの端部におけるＬ字形状と同姿勢で合致するように人為操作にてプローブ１４を相対回転させ、検査対象部１１とプローブ１４とを見上げた姿勢で目視確認しながらコントローラ１６を用いてプローブ１４を移動操作して、プローブ１４の第１コーナー部１４ａを検査対象部１１の第１頂点１１ａ（検査対象部１１の１辺ｆの一方の端部）に対応位置させた状態でコントローラ１６の第１アクションボタン２４ａを押すことで、第１頂点１１ａの位置を特定しその位置情報を中央制御器１２に入力する。
【００９３】
続いて、コントローラ１６を用いてプローブ１４の第２コーナー部１４ｂを移動操作し検査対象部１１の第２頂点１１ｂ（検査対象部１１の１辺ｆの他方の端部）に対応位置させた状態で、コントローラ１６の第２アクションボタン２４ｂを押すことで、第２頂点１１ｂの位置を特定しその位置情報を中央制御器１２に入力する。
そして、その後スタートボタン２３を押すことで、検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂの位置情報の入力を完了する。
【００９４】
なお、検査対象部１１の１辺ｆとして、第１頂点１１ａと第４頂点１１ｄとの間の辺、第２頂点１１ｂと第３頂点１１ｃとの間の辺、第３頂点１１ｃと第４頂点１１ｄとの間の辺のいずれであってもよく、その場合、第３頂点１１ｃに対し第３アクションボタン２４ｃ、第４頂点１１ｄに対しては第４アクションボタン２４ｄを押して、それら頂点１１ｃ、１１ｄの位置を特定しそれらの位置情報を入力する。
【００９５】
図５に示すように、これら検査対象部１１の形状情報、及び、検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂの位置情報から、中央制御器１２によりプローブ１４の各短辺１４Ｂ，１４Ｄに沿う辺を有する２つの矩形形状ａ１、ａ２（すなわち、検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂそれぞれに対応位置させたプローブ１４の中心を結ぶ軸芯ｚに対して線対称となる２つの矩形形状ａ１、ａ２）が検査対象部１１の位置候補として特定される。
【００９６】
そして、初期設定してあった特定要素（すなわち、コントローラ１６で位置入力した１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂのうち先行して位置入力した第１頂点１１ａを基準として後行して位置入力した第２頂点１１ｂを臨んだとき、検査対象部１１の矩形形状の大部分がその１辺ｆに対し左側にあること）に基づいて、２つの矩形形状ａ１、ａ２から矩形形状ａ１が検査対象部１１の実際の位置として中央制御器１２により特定される。
【００９７】
更に、検査対象部１１の位置が特定されたことと、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについての形状情報とに基づいて、中央制御器１２が走査検査具１３の検査移動域２５を算出して特定する。
【００９８】
検査移動域２５の算出方法は、位置特定された検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃ（１１ｂ，１１ｄ）それぞれから外方に、検査対象部１１の短辺方向に対するプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）の長さの１／２の長さ分と、検査対象部１１の長辺方向に対するプローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さの１／２の長さ分とを移動させた点を結ぶことで算出する。
【００９９】
そして、中央制御器１２は、フィルタ検査において、プローブ１４をこの検査移動域２５に沿って走査移動させ、フィルタ掛止部４ａとシリコンコーキングＣとの間における空気漏洩に対する検査を実行する。
【０１００】
なお、その他の構成は、第１実施形態で説明した構成と同一であるから、同一の構成箇所には、第１実施形態と同一の番号を付記してそれの説明は省略する。
【０１０１】
〔第６実施形態〕
本発明における第６実施形態は、請求項５に係る発明の実施に好適な実施形態であり、このフィルタ検査用スキャン装置Ｍには、走査検査具１３を検査対象部１１の矩形形状における１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂのそれぞれに対し対応位置させる人為操作により、それら１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂそれぞれの位置情報を入力するトレース入力手段ｘ６と、矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報、及び、矩形形状の姿勢の特定に用いる姿勢情報を、走査検査具１３の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段ｙ６と、トレース入力手段ｘ６により入力した１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂそれぞれの位置情報、補助入力手段ｙ６により入力した形状情報、及び、同じく補助入力手段ｙ６により入力した姿勢情報に基づき、検査対象部１１の位置を特定して走査検査具１３を検査対象部１１に対して走査動作させる制御手段とを設けてあり、本実施形態においてトレース入力手段ｘ６は、中央制御器１２、走査検査具１３、フレーム部１５及びコントローラ１６で構成され、補助入力手段ｙ６は、中央制御器１２、キーボード１８及びマウス１９で構成され、制御手段は中央制御器１２で構成されている。
【０１０２】
このフィルタ検査用スキャン装置Ｍを用いてフィルタ検査を行うための初期設定として、走査検査具１３のプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについてのプローブ形状情報と、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）が矩形形状の検査対象部１１の短辺１１Ｂ（１１Ｄ）に沿う姿勢（すなわち、プローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）が検査対象部１１の長辺１１Ａ（１１Ｃ）に沿う姿勢）になるようにプローブ１４を回転させて検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂに対応位置させることを条件とした姿勢条件と、コントローラ１６で位置入力した１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂのうちいずれか一方の端部（第１頂点）１１ａを基準として他方の端部（第２頂点）１１ｂを臨んだとき、検査対象部１１の矩形形状がその１辺ｆに対し左側にあることを検査対象部１１の位置特定の特定要素とすることとを、中央制御器１２に予め設定しておく。
【０１０３】
なお、プローブ１４の姿勢条件は、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）が検査対象部１１の長辺１１Ａ（１１Ｃ）に沿う姿勢（すなわち、プローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）が検査対象部１１の短辺１１Ｂ（１１Ｄ）に沿う姿勢）になるようにプローブ１４を回転させて検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂに対応位置させるものであってもよい。
そして、この特定要素として、コントローラ１６で位置入力した１辺ｆの一方の端部（第１頂点）１１ａから他方の端部（第２頂点）１１ｂを臨んだとき、検査対象部１１の矩形形状の大部分が位置特定した１辺ｆに対し右側にあるように定めてもよい。
また、この特定要素は、検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂの位置を特定しその位置情報を入力した後に中央制御器１２に設定する構成にしてもよい。
【０１０４】
フィルタ検査を実行するのに、中央制御器１２に検査対象部１１の位置を特定させる。
【０１０５】
先ず、中央制御器１２に、矩形形状である検査対象部１１の大きさと形の形状情報を、人為入力操作によりキーボード１８及びマウス１９を用いて入力する。
【０１０６】
次に、前述のプローブ１４の姿勢条件に従って、プローブ１４のコーナー部１４ａ〜１４ｄのＬ字形状が検査対象部１１の１辺ｆの端部におけるＬ字形状と同姿勢で合致するように人為操作にてプローブ１４を相対回転させ、検査対象部１１とプローブ１４とを見上げた姿勢で目視確認しながらコントローラ１６を用いてプローブ１４を移動操作して、プローブ１４の第１コーナー部１４ａを検査対象部１１の第１頂点１１ａ（検査対象部１１の１辺ｆの一方の端部）に対応位置させた状態でコントローラ１６の第１アクションボタン２４ａを押すことで、第１頂点１１ａの位置を特定しその位置情報を中央制御器１２に入力する。
【０１０７】
続いて、コントローラ１６を用いてプローブ１４の第２コーナー部１４ｂを移動操作し検査対象部１１の第２頂点１１ｂ（検査対象部１１の１辺ｆの他方の端部）に対応位置させた状態で、コントローラ１６の第２アクションボタン２４ｂを押すことで、第２頂点１１ｂの位置を特定しその位置情報を中央制御器１２に入力する。
そして、その後スタートボタン２３を押すことで、検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂの位置情報の入力を完了する。
【０１０８】
なお、検査対象部１１の１辺ｆとして、第１頂点１１ａと第４頂点１１ｄとの間の辺、第２頂点１１ｂと第３頂点１１ｃとの間の辺、第３頂点１１ｃと第４頂点１１ｄとの間の辺のいずれであってもよく、その場合、第３頂点１１ｃに対し第３アクションボタン２４ｃ、第４頂点１１ｄに対しては第４アクションボタン２４ｄを押して、それら頂点１１ｃ、１１ｄの位置を特定しそれらの位置情報を入力する。
また、１辺ｆの両端の位置情報の入力順序は任意の順序でよい。
【０１０９】
図５に示すように、これら検査対象部１１の形状情報、及び、検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂの位置情報から、中央制御器１２によりプローブ１４の各短辺１４Ｂ，１４Ｄに沿う辺を有する２つの矩形形状ａ１、ａ２（すなわち、検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂそれぞれに対応位置させた時のプローブ１４の中心を結ぶ軸芯ｚに対して線対称となる２つの矩形形状ａ１、ａ２）が検査対象部１１の位置候補として特定される。
【０１１０】
そして、人為操作によりキーボード１８を用いて、コントローラ１６で位置入力した１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂのうち第１頂点１１ａを基準と選択することで、初期設定してあった特定要素（すなわち、コントローラ１６で位置入力した１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂのうちいずれか一方の端部（第１頂点）１１ａを基準として他方の端部（第２頂点）１１ｂを臨んだとき、検査対象部１１の矩形形状がその１辺ｆに対し左側にあることを検査対象部１１の位置特定の特定要素）に基づいて、２つの矩形形状ａ１、ａ２から矩形形状ａ１が検査対象部１１の実際の位置として中央制御器１２により特定される。
【０１１１】
更に、検査対象部１１の位置が特定されたことと、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについての形状情報とに基づいて、中央制御器１２が走査検査具１３の検査移動域２５を算出して特定する。
【０１１２】
検査移動域２５の算出方法は、位置特定された検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃ（１１ｂ，１１ｄ）それぞれから外方に、検査対象部１１の短辺方向に対するプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）の長さの１／２の長さ分と、検査対象部１１の長辺方向に対するプローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さの１／２の長さ分とを移動させた点を結ぶことで算出する。
【０１１３】
そして、中央制御器１２は、フィルタ検査において、プローブ１４をこの検査移動域２５に沿って走査移動させ、フィルタ掛止部４ａとシリコンコーキングＣとの間における空気漏洩に対する検査を実行する。
【０１１４】
なお、その他の構成は、第１実施形態で説明した構成と同一であるから、同一の構成箇所には、第１実施形態と同一の番号を付記してそれの説明は省略する。
【０１１５】
〔第７実施形態〕
本発明における第７実施形態は、請求項５に係る発明の実施に好適な実施形態であり、このフィルタ検査用スキャン装置Ｍには、走査検査具１３を検査対象部１１の矩形形状における１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂのそれぞれに対し対応位置させる人為操作により、それら１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂそれぞれの位置情報を入力するトレース入力手段ｘ７と、矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報、及び、矩形形状の姿勢の特定に用いる姿勢情報を、走査検査具１３の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段ｙ７と、トレース入力手段ｘ７により入力した１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂそれぞれの位置情報、補助入力手段ｙ７により入力した形状情報、及び、同じく補助入力手段ｙ７により入力した姿勢情報に基づき、検査対象部１１の位置を特定して走査検査具１３を検査対象部１１に対し走査動作させる制御手段とを設けてあり、本実施形態においてトレース入力手段ｘ７は、中央制御器１２、走査検査具１３、フレーム部１５及びコントローラ１６で構成され、補助入力手段ｙ６は、中央制御器１２、モニター１７、キーボード１８及びマウス１９で構成され、制御手段は中央制御器１２で構成されている。
【０１１６】
このフィルタ検査用スキャン装置Ｍを用いてフィルタ検査を行うための初期設定として、走査検査具１３のプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについてのプローブ形状情報と、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）が矩形形状の検査対象部１１の短辺１１Ｂ（１１Ｄ）に沿う姿勢（すなわち、プローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）が検査対象部１１の長辺１１Ａ（１１Ｃ）に沿う姿勢）になるようにプローブ１４を回転させて検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂに対応位置させることを条件とした姿勢条件とを、中央制御器１２に予め設定しておく。
【０１１７】
なお、プローブ１４の姿勢条件は、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）が検査対象部１１の長辺１１Ａ（１１Ｃ）に沿う姿勢（すなわち、プローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）が検査対象部１１の短辺１１Ｂ（１１Ｄ）に沿う姿勢）になるようにプローブ１４を回転させて検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂに対応位置させるものであってもよい。
【０１１８】
フィルタ検査を実行するのに、中央制御器１２に検査対象部１１の位置を特定させる。
【０１１９】
先ず、中央制御器１２に、矩形形状である検査対象部１１の大きさと形の形状情報を、人為入力操作によりキーボード１８及びマウス１９を用いて入力する。
【０１２０】
次に、前述のプローブ１４の姿勢条件に従って、プローブ１４のコーナー部１４ａ〜１４ｄのＬ字形状が検査対象部１１の１辺ｆの端部におけるＬ字形状と同姿勢で合致するように人為操作にてプローブ１４を相対回転させ、検査対象部１１とプローブ１４とを見上げた姿勢で目視確認しながらコントローラ１６を用いてプローブ１４を移動操作して、プローブ１４の第１コーナー部１４ａを検査対象部１１の第１頂点１１ａ（検査対象部１１の１辺ｆの一方の端部）に対応位置させた状態でコントローラ１６の第１アクションボタン２４ａを押すことで、第１頂点１１ａの位置を特定しその位置情報を中央制御器１２に入力する。
【０１２１】
続いて、コントローラ１６を用いてプローブ１４の第２コーナー部１４ｂを移動操作し検査対象部１１の第２頂点１１ｂ（検査対象部１１の１辺ｆの他方の端部）に対応位置させた状態で、コントローラ１６の第２アクションボタン２４ｂを押すことで、第２頂点１１ｂの位置を特定しその位置情報を中央制御器１２に入力する。
そして、その後スタートボタン２３を押すことで、検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂの位置情報の入力を完了する。
【０１２２】
なお、検査対象部１１の１辺ｆとして、第１頂点１１ａと第４頂点１１ｄとの間の辺、第２頂点１１ｂと第３頂点１１ｃとの間の辺、第３頂点１１ｃと第４頂点１１ｄとの間の辺のいずれであってもよく、その場合、第３頂点１１ｃに対し第３アクションボタン２４ｃ、第４頂点１１ｄに対しては第４アクションボタン２４ｄを押して、それら頂点１１ｃ、１１ｄの位置を特定しそれらの位置情報を入力する。
また、１辺ｆの両端の位置情報の入力順序は任意の順序でよい。
【０１２３】
図５に示すように、これら検査対象部１１の形状情報、及び、検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂの位置情報から、中央制御器１２によりプローブ１４の各短辺１４Ｂ，１４Ｄに沿う辺を有する２つの矩形形状ａ１、ａ２（すなわち、検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂそれぞれに対応位置させた時のプローブ１４の中心を結ぶ軸芯ｚに対して線対称となる２つの矩形形状ａ１、ａ２）が検査対象部１１の位置候補として特定され、それら２つの矩形形状ａ１，ａ２がモニター１７に表示される。
【０１２４】
そして、人為操作にて、モニター１７に表示された２つの矩形形状ａ１、ａ２から矩形形状ａ１をキーボード１８又はマウス１９を操作して選択し、矩形形状ａ１を検査対象部１１の実際の位置として特定する。
【０１２５】
更に、検査対象部１１の位置が特定されたことと、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについての形状情報とに基づいて、中央制御器１２が走査検査具１３の検査移動域２５を算出して特定する。
【０１２６】
検査移動域２５の算出方法は、位置特定された検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃ（１１ｂ，１１ｄ）それぞれから外方に、検査対象部１１の短辺方向に対するプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）の長さの１／２の長さ分と、検査対象部１１の長辺方向に対するプローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さの１／２の長さ分とを移動させた点を結ぶことで算出する。
【０１２７】
そして、中央制御器１２は、フィルタ検査において、プローブ１４をこの検査移動域２５に沿って走査移動させ、フィルタ掛止部４ａとシリコンコーキングＣとの間における空気漏洩に対する検査を実行する。
【０１２８】
なお、その他の構成は、第１実施形態で説明した構成と同一であるから、同一の構成箇所には、第１実施形態と同一の番号を付記してそれの説明は省略する。
【０１２９】
〔第８実施形態〕
本発明における第８実施形態は、請求項６に係る発明の実施に好適な実施形態であり、このフィルタ検査用スキャン装置Ｍには、走査検査具１３を検査対象部１１の矩形形状における１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂのそれぞれに対し対応位置させる人為操作によるそれら１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂそれぞれの位置情報、及び、その１辺ｆに対していずれか一方側に走査検査具１３を対応位置させる人為操作による検査対象部１１の矩形形状の姿勢の特定に用いる姿勢情報を入力するトレース入力手段ｘ８と、矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報を、走査検査具１３の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段ｙ６と、トレース入力手段ｘ８により入力した１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂそれぞれの位置情報、同じくトレース入力手段ｘ８により入力した姿勢情報、及び、補助入力手段ｙ８により入力した形状情報に基づき、検査対象部１１の位置を特定して走査検査具１３を検査対象部１１に対し走査動作させる制御手段とを設けてあり、本実施形態においてトレース入力手段ｘ８は、中央制御器１２、走査検査具１３、フレーム部１５及びコントローラ１６で構成され、補助入力手段ｙ８は、中央制御器１２、キーボード１８及びマウス１９で構成され、制御手段は中央制御器１２で構成されている。
【０１３０】
このフィルタ検査用スキャン装置Ｍを用いてフィルタ検査を行うための初期設定として、走査検査具１３のプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについてのプローブ形状情報と、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）が矩形形状の検査対象部１１の短辺１１Ｂ（１１Ｄ）に沿う姿勢（すなわち、プローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）が検査対象部１１の長辺１１Ａ（１１Ｃ）に沿う姿勢）になるようにプローブ１４を回転させて検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂに対応位置させることを条件とした姿勢条件とを、中央制御器１２に予め設定しておく。
【０１３１】
なお、プローブ１４の姿勢条件は、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）が検査対象部１１の長辺１１Ａ（１１Ｃ）に沿う姿勢（すなわち、プローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）が検査対象部１１の短辺１１Ｂ（１１Ｄ）に沿う姿勢）になるようにプローブ１４を回転させて検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂに対応位置させるものであってもよい。
【０１３２】
フィルタ検査を実行するのに、中央制御器１２に検査対象部１１の位置を特定させる。
【０１３３】
先ず、中央制御器１２に、矩形形状である検査対象部１１の大きさと形の形状情報を、人為入力操作によりキーボード１８及びマウス１９を用いて入力する。
【０１３４】
次に、前述のプローブ１４の姿勢条件に従って、プローブ１４のコーナー部１４ａ〜１４ｄのＬ字形状が検査対象部１１の１辺ｆの端部におけるＬ字形状と同姿勢で合致するように人為操作にてプローブ１４を相対回転させ、検査対象部１１とプローブ１４とを見上げた姿勢で目視確認しながらコントローラ１６を用いてプローブ１４を移動操作して、プローブ１４の第１コーナー部１４ａを検査対象部１１の第１頂点１１ａ（検査対象部１１の１辺ｆの一方の端部）に対応位置させた状態でコントローラ１６の第１アクションボタン２４ａを押すことで、第１頂点１１ａの位置を特定しその位置情報を中央制御器１２に入力する。
【０１３５】
続いて、コントローラ１６を用いてプローブ１４の第２コーナー部１４ｂを移動操作し検査対象部１１の第２頂点１１ｂ（検査対象部１１の１辺ｆの他方の端部）に対応位置させた状態で、コントローラ１６の第２アクションボタン２４ｂを押すことで、第２頂点１１ｂの位置を特定しその位置情報を中央制御器１２に入力する。
そして、その後スタートボタン２３を押すことで、検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂの位置情報の入力を完了する。
【０１３６】
なお、検査対象部１１の１辺ｆとして、第１頂点１１ａと第４頂点１１ｄとの間の辺、第２頂点１１ｂと第３頂点１１ｃとの間の辺、第３頂点１１ｃと第４頂点１１ｄとの間の辺のいずれであってもよく、その場合、第３頂点１１ｃに対し第３アクションボタン２４ｃ、第４頂点１１ｄに対しては第４アクションボタン２４ｄを押して、それら頂点１１ｃ、１１ｄの位置を特定しそれらの位置情報を入力する。
また、１辺ｆの両端の位置情報の入力順序は任意の順序でよい。
【０１３７】
図５に示すように、これら検査対象部１１の形状情報、及び、検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂの位置情報から、中央制御器１２によりプローブ１４の各短辺１４Ｂ，１４Ｄに沿う辺を有する２つの矩形形状ａ１、ａ２（すなわち、検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂそれぞれに対応位置させた時のプローブ１４の中心を結ぶ軸芯ｚに対して線対称となる２つの矩形形状ａ１、ａ２）が検査対象部１１の位置候補として特定される。
【０１３８】
そして、人為操作によりコントローラ１６を用いてプローブ１４を、検査対象部１１が位置する方向の側へ適当に移動させて第１アクションボタン２４ａを押し、その後再びスタートボタン２３を押すことで、検査対象部１１の姿勢情報が入力され、これによって、プローブ１４の各短辺１４Ｂ，１４Ｄに沿う辺を有する２つ矩形形状ａ１，ａ２から矩形形状ａ１が検査対象部１１の位置として中央制御器１２により特定される。
なお、検査対象部１１の姿勢情報を入力するアクションボタンは、第１アクションボタン２４ａに限らず、第２アクションボタン２４ｂ、第３アクションボタン２４ｃ又は第４アクションボタン２４ｄのいずれのアクションボタンであってもよい。
【０１３９】
更に、検査対象部１１の位置が特定されたことと、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについての形状情報とに基づいて、中央制御器１２が走査検査具１３の検査移動域２５を算出して特定する。
【０１４０】
検査移動域２５の算出方法は、位置特定された検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃ（１１ｂ，１１ｄ）それぞれから外方に、検査対象部１１の短辺方向に対するプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）の長さの１／２の長さ分と、検査対象部１１の長辺方向に対するプローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さの１／２の長さ分とを移動させた点を結ぶことで算出する。
【０１４１】
そして、中央制御器１２は、フィルタ検査において、プローブ１４をこの検査移動域２５に沿って走査移動させ、フィルタ掛止部４ａとシリコンコーキングＣとの間における空気漏洩に対する検査を実行する。
【０１４２】
なお、その他の構成は、第１実施形態で説明した構成と同一であるから、同一の構成箇所には、第１実施形態と同一の番号を付記してそれの説明は省略する。
【０１４３】
〔別の実施形態〕
次に別実施形態を列記する。
【０１４４】
上述の実施形態では、浄化対象室２の天井面に並列配置した複数のフィルタ４を検査対象とする場合を示したが、検査対象のフィルタ４は複数のものでなくてもよく、単数のフィルタ４であってもよい。
【０１４５】
走査検査具１３のプローブ１４を検査対象部１１の対角２頂点、又は、１辺ｆの両端に対応位置させるのに、プローブ１４又はフレーム部１５のプローブ１４の近傍箇所にレーザーポインターを設け、そのレーザーポインターが示す点を見ながらをコントローラ１６、キーボード１８又はマウス１９トレース入力手段として、プローブ１４の位置操作及びその位置入力を行う構成にしてもよい。
また、プローブ１４又はフレーム部１５のプローブ１４の近傍箇所にＣＣＤカメラ等の小型カメラを配置し、その小型カメラによる映像をモニター１７に映し出して、その映像を見ながらコントローラ１６、キーボード１８又はマウス１９をトレース入力手段として、プローブ１４の位置操作及びその位置入力を行う構成にしてもよい。
【０１４６】
コントローラ１６の構成は、上述の実施形態に記載の構成に限るものではなく、操作方向キー２２、スタートボタン２３、及び、少なくとも一つのアクションボタン２４ａから構成されるものであれば、種々のコントローラを採用することができる。
【０１４７】
中央制御器１２による走査検査具１３の検査移動域２５の算出方法は、上述の実施形態のように初期設定として予め設定されてあるプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについての形状情報とに基づいて、位置特定された検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃ（１１ｂ，１１ｄ）それぞれから外方に、検査対象部１１の短辺方向に対するプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）の長さの１／２の長さ分と、検査対象部１１の長辺方向に対するプローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さの１／２の長さ分とを移動させた点を結ぶ方法に限るものではなく、任意の検査対象部１１の短辺方向への移動距離情報及び検査対象部１１の長辺方向への移動距離情報を入力し、それら移動距離情報に基づいて検査移動域２５を算出する方法やその他の種々の算出方法を採用してもよい。
【０１４８】
給気チャンバ５に対する空気供給風路は、還気路８のような風路構造に限定されるものではなく、どのような風路構造のものであってもよい。
【０１４９】
フィルタリーク検査用の粉状体Ｐは、エアロゾル化したフタル酸ジオプチル（ＤＯＰ）に限定されるものではなく、その他にも種々のものを適用できる。
【０１５０】
浄化対象室２の用途は、薬品や食品の製造室、あるいは、半導体部品の製造室に限られるものではなく、どのような用途であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】クリーンブースの全体構造を示す正面視断面図
【図２】並置フィルタ群の出口面を示す図
【図３】遠隔操作器の図
【図４】本発明の第１〜第４実施形態における検査対象部を示す図
【図５】本発明の第５〜第８実施形態における検査対象部を示す図
【図６】本発明の第４実施形態における走査検査具を示す斜視図
【符号の説明】
４ フィルタ
１１ 検査対象部
１２ 制御手段
１３ 走査検査具
１６ 携帯式の遠隔操作器
１１ａ，１１ｃ 対角２頂点
１１ａ，１１ｂ １辺の両端
１１ａ〜１１ｄ フィルタの開口部におけるコーナー部
１３ａ〜１３ｄ 走査検査具のコーナー部
ｆ １辺
ｘ１〜ｘ８ トレース入力手段
ｙ１〜ｙ８ 補助入力手段[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a filter inspection scanning device, and more specifically, information input means used to specify the position of a rectangular inspection target portion in an opening of an installation filter,
The present invention relates to a filter inspection scanning apparatus including control means for specifying a position of the inspection target portion based on information input by the input means and causing a scanning inspection tool to scan the inspection target portion.
[0002]
[Prior art]
In the conventional filter inspection scanning apparatus of the above type, as an input means, by an artificial operation to move the scanning inspection tool to correspond to each of at least three vertices of the four vertices in the rectangular shape of the inspection target part, Trace input means for inputting the position information of each of the vertices is provided, and the control means specifies the position of the inspection target portion based on the position information of each of the vertices input by the trace input means (specifically, The position of the inspection target portion is specified (including the specification of the size, shape, and orientation).
[0003]
[Patent Document 1]
Design registration No. 1028496
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, among the operations in the filter inspection using this type of apparatus, the above-described human input operation for moving the scanning inspection tool and correspondingly locating each vertex in the rectangular shape of the inspection target part is particularly troublesome. Then, since the scanning inspection tool has to be positioned corresponding to each of at least three vertices of the four vertices in the rectangular shape of the inspection target portion, there is a problem that work efficiency is poor.
[0005]
In view of this situation, the main problem of the present invention is to effectively solve the above problem with a reasonable improvement.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
[1] The invention according to claim 1 relates to a scanning device for filter inspection.
Information input means used to specify the position of the rectangular inspection target part in the opening of the installation filter;
In a scanning device for filter inspection comprising: a control means for specifying a position of the inspection object part based on information input by the input means and causing a scanning inspection tool to scan the inspection object part;
As the input means, a trace that sequentially inputs position information of each of the two diagonal vertices by an artificial operation that sequentially positions the scanning inspection tool with respect to each of the two diagonal vertices in the rectangular shape of the inspection target portion Input means;
Auxiliary input means for inputting shape information used for specifying the size and shape of the rectangular shape by an artificial operation of a predetermined operation form that does not require a moving operation of the scanning inspection tool,
The control means includes the position information of each of the two diagonal vertices input by the trace input means, the input order of the position information of each of the two diagonal vertices, and the shape information input by the auxiliary input means. Based on this, the position of the inspection object part is specified.
[0007]
In other words, if the positions of the two diagonal vertices in the rectangular shape of the inspection target part and the size and shape of the rectangular shape are specified, two candidates for the position of the inspection target part, that is, the rectangle of the inspection target part With regard to the shape, it is possible to specify two position candidates that are specified separately by two rectangular shapes that are line-symmetric with respect to the diagonal line connecting the two identified diagonal vertices.
Further, in order to artificially input the position information of the two diagonal vertices by the trace input means, for example, a predetermined surrounding direction from the vertex on the side where the scanning inspection tool is positioned correspondingly ahead of the two diagonal vertices. When the two sides of the rectangular shape are traced to the other vertex, the scanning inspection tool is sequentially handled for each of the two diagonal vertices in the order in which the long side and the short side are traced in a predetermined order. If the operation condition that the position information of the two diagonal vertices is sequentially input is defined in advance, the two position candidates are based on the input order of the position information of the two diagonal vertices. The position of the actual inspection object part is specified by the control means (that is, the control means specifies one rectangular shape corresponding to the actual inspection object part among the two rectangular shapes having different postures). it can.
For these reasons, if the above configuration is adopted, the position information of each of the two diagonal vertices input by the trace input means, the order of input of the position information of each of the two diagonal vertices, and the shape information input by the auxiliary input means Based on the above, the position of the inspection target portion can be accurately specified by the control means, and the scanning inspection tool is appropriately scanned by the control means in the inspection of the inspection target portion by the scanning inspection tool based on the position specification. Can do.
And according to the said structure of the invention which concerns on Claim 1, it takes a laborious thing to input the positional information of each vertex by moving a scanning test | inspection tool and making it correspond to each vertex in the rectangular shape of a test object part. The input operation can be performed only for two points of the two diagonal vertices in the rectangular shape of the inspection target part, so that the laborious manual input operation can be performed among the four vertices in the rectangular shape of the inspection target part. The work efficiency can be effectively improved as compared with the above-described conventional apparatus that is implemented for at least three vertices.
[0008]
[2] The invention according to claim 2 relates to a scanning device for filter inspection.
Information input means used to specify the position of the rectangular inspection target part in the opening of the installation filter;
In a scanning device for filter inspection comprising: a control means for specifying a position of the inspection object part based on information input by the input means and causing a scanning inspection tool to scan the inspection object part;
Trace input means for inputting the position information of each of the two diagonal vertices by an artificial operation of causing the scanning inspection tool to correspond to each of the two diagonal vertices in the rectangular shape of the inspection target portion as the input means;
Auxiliary input for inputting the shape information used for specifying the size and shape of the rectangular shape and the posture information used for specifying the posture of the rectangular shape by an artificial operation of a predetermined operation form that does not require the moving operation of the scanning inspection tool. Means,
Based on the position information of each of the two diagonal vertices inputted by the trace input means, the shape information inputted by the auxiliary input means, and the posture information inputted by the auxiliary input means. The configuration is such that the position of the inspection object part is specified.
[0009]
In other words, as described above, if the positions of the two diagonal vertices in the rectangular shape of the inspection target part and the size and shape of the rectangular shape are specified, two candidates (inspection target parts) are specified as the position of the inspection target part. As for the rectangular shape of the part, it is possible to specify two position candidates specified separately by two rectangular shapes that are line-symmetric with respect to the diagonal line connecting the two identified diagonal vertices.
Further, if posture information for specifying the posture of the rectangular shape of the inspection target part is given to the control means, based on the posture information, the actual position of the inspection target part among the above two position candidates Can be specified by the control means (that is, the control means specifies one rectangular shape in accordance with the actual inspection target portion among the two rectangular shapes having different postures).
From these things, if the above configuration is adopted, based on the position information of each of the two diagonal vertices inputted by the trace input means, the shape information inputted by the auxiliary input means, and the posture information inputted by the auxiliary input means, The position of the inspection object part can be accurately specified by the control means, and the scanning inspection tool can be appropriately scanned by the control means in the inspection of the inspection object part by the scanning inspection tool based on the position specification.
And according to the said structure of the invention which concerns on Claim 2, like the invention which concerns on Claim 1, the position of each vertex is obtained by moving a scanning inspection tool and making it correspond to each vertex in the rectangular shape of a test object part. The laborious manual input operation of inputting information can be performed only for the two diagonal vertices in the rectangular shape of the inspection target part, thereby improving the work efficiency compared to the above-mentioned conventional apparatus. Can be improved.
[0010]
[3] The invention according to claim 3 relates to a scanning device for filter inspection.
Information input means used to specify the position of the rectangular inspection target part in the opening of the installation filter;
In a scanning device for filter inspection comprising a control means for specifying a position of the inspection object part based on information inputted by the input means and causing a scanning inspection tool to scan the inspection object part,
As the input means, the scanning inspection tool is rotated around an axis perpendicular to the filter opening to make the scanning inspection tool a predetermined relative posture with respect to the rectangular shape of the inspection target portion, Input the posture information used for specifying the posture of the rectangular shape, and input the position information of each of the two diagonal vertices by an artificial operation to position the scanning inspection tool corresponding to each of the two diagonal vertices in the rectangular shape. Trace input means to
Auxiliary input means for inputting shape information used for specifying the size and shape of the rectangular shape by an artificial operation of a predetermined operation form that does not require a moving operation of the scanning inspection tool,
Based on the posture information input by the trace input unit, the position information of each of the two diagonal vertices input by the trace input unit, and the shape information input by the auxiliary input unit. , The position of the inspection object part is specified.
[0011]
In other words, as described above, if the positions of the two diagonal vertices in the rectangular shape of the inspection target part and the size and shape of the rectangular shape are specified, two candidates (inspection target parts) are specified as the position of the inspection target part. As for the rectangular shape of the part, it is possible to specify two position candidates specified separately by two rectangular shapes that are line-symmetric with respect to the diagonal line connecting the two identified diagonal vertices, If posture information for specifying the posture of the rectangular shape of the target portion is given to the control means, based on the posture information, the position of the actual inspection target portion of the two position candidates is controlled. (That is, the control means specifies one rectangular shape in accordance with the actual inspection target portion among the two rectangular shapes having different postures).
From these facts, if the above configuration is adopted, the posture information input by the trace input means in the form accompanied by the rotational scanning of the scanning inspection tool, the position information of the two diagonal vertices similarly input by the trace input means, and the auxiliary input Based on the shape transfer input by the means, the position of the inspection target portion can be accurately specified by the control means, and the scanning inspection tool is appropriately selected by the control means in the inspection of the inspection target portion by the scanning inspection tool based on the position specification. Can be scanned.
And according to the said structure of the invention which concerns on Claim 3, like the invention which concerns on Claim 1, 2, each scanning vertex is moved and it is made to correspond to each vertex in the rectangular shape of a test object part, and each vertex It is possible to perform the laborious manual input operation of inputting the position information only for two points of the two diagonal vertices in the rectangular shape of the inspection target portion, and thereby, the work efficiency is higher than that of the above-described conventional apparatus. Can be improved effectively.
[0012]
[4] The invention according to claim 4 relates to a scanning device for filter inspection.
Information input means used to specify the position of the rectangular inspection target part in the opening of the installation filter;
In a scanning device for filter inspection comprising: a control means for specifying a position of the inspection object part based on information input by the input means and causing a scanning inspection tool to scan the inspection object part;
As the input means, a trace that sequentially inputs the position information of both ends of one side by an artificial operation to sequentially position the scanning inspection tool corresponding to both ends of one side in the rectangular shape of the inspection target portion Input means;
Auxiliary input means for inputting shape information used for specifying the size and shape of the rectangular shape by an artificial operation of a predetermined operation form that does not require a moving operation of the scanning inspection tool,
The control means includes the position information of each end of the one side input by the trace input means, the input order of the position information of each end of the one side, and the shape information input by the auxiliary input means. Based on this, the position of the inspection object part is specified.
[0013]
That is, if the positions of both ends of one side of the rectangular shape of the inspection target part and the size and shape of the rectangular shape are specified, two candidates for the position of the inspection target part, that is, the rectangle of the inspection target part As for the shape, two position candidates specified separately can be specified by two rectangular shapes formed on both sides of the one side whose positions at both ends are specified.
In addition, in order to artificially input the position information of both ends of the one side by the trace input means, for example, the end on the side where the scanning inspection tool is positioned correspondingly ahead of both ends of the one side is connected to the other end. In order that the rectangular shape of the inspection target part is located on a predetermined side with respect to the one side when facing the part, the scanning inspection tool is sequentially positioned corresponding to each of both ends of the one side, and one side thereof If the operation conditions such as sequentially inputting the position information of both ends of the image are specified in advance, the actual inspection object of the two position candidates is based on the input order of the position information of both ends of one side. The control means specifies the position of the part (that is, the control means selects one rectangular shape that matches the actual inspection target part from the two rectangular shapes located on one side and the other side of the one side). Specific).
From these things, if the said structure is taken, the positional information on both ends of one side input by the trace input means, the order of input of the positional information on both ends of the one side, and the shape information input by the auxiliary input means Based on the above, the position of the inspection target portion can be accurately specified by the control means, and based on the position specification, the scanning inspection tool is appropriately scanned by the control means in the inspection of the inspection target portion by the scanning inspection tool. be able to.
And according to the said structure of the invention which concerns on Claim 4, it takes time and effort to input the positional information of each vertex by moving a scanning inspection tool and making it correspond to each vertex in the rectangular shape of a test object part. The input operation can be performed only for two points at both ends of one side in the rectangular shape of the inspection target part, and thus the time-consuming manual input operation is performed at least among the four vertices in the rectangular shape of the inspection target part. The work efficiency can be effectively improved as compared with the above-described conventional apparatus that is implemented for three vertices.
[0014]
[5] The invention according to claim 5 relates to a scanning device for filter inspection.
Information input means used to specify the position of the rectangular inspection target part in the opening of the installation filter;
In a scanning device for filter inspection comprising: a control means for specifying a position of the inspection object part based on information input by the input means and causing a scanning inspection tool to scan the inspection object part;
As the input means, a trace input means for inputting position information of both ends of the one side by an artificial operation to position the scanning inspection tool corresponding to both ends of the one side in the rectangular shape of the inspection target part;
There is no need to move the scanning inspection tool with the shape information used for specifying the size and shape of the rectangular shape and the posture information used for specifying which side the rectangular shape is on the one side. Auxiliary input means for inputting by human operation of a predetermined operation form,
Based on the position information of both ends of the one side inputted by the trace input means, the shape information inputted by the auxiliary input means, and the posture information inputted by the auxiliary input means. The configuration is such that the position of the inspection object part is specified.
[0015]
That is, as described above, if the positions of both ends of one side in the rectangular shape of the inspection target part and the size and shape of the rectangular shape are specified, two candidates (inspection target parts) are specified as the position of the inspection target part. As for the rectangular shape of the part, it is possible to specify two position candidates specified separately by two rectangular shapes formed on both sides of the one side whose positions at both ends are specified.
Further, if posture information for specifying on which side the rectangular shape of the inspection target portion is present on the one side is given to the control means, based on the posture information, the two position candidates are identified. Among them, the control means specifies the position of the actual inspection target part (that is, one rectangle corresponding to the actual inspection target part among the two rectangular shapes located on one side and the other side with respect to the one side) The shape can be specified by the control means).
From these things, if the said structure is taken, based on the positional information on both ends of one side inputted by the trace input means, the shape information inputted by the auxiliary input means, and the posture information inputted by the auxiliary input means, The position of the inspection target portion can be accurately specified by the control means, and the scanning inspection tool can be appropriately scanned by the control means in the inspection of the inspection target portion by the scanning inspection tool based on the position specification.
And according to the said structure of the invention which concerns on Claim 5, like the invention which concerns on Claim 4, the position of each vertex is obtained by moving a scanning inspection tool and making it correspond to each vertex in the rectangular shape of a test object part. The laborious manual input operation of inputting information can be performed only for two points at both ends of one side of the rectangular shape of the inspection target portion, thereby improving work efficiency compared to the above-described conventional apparatus. Can be improved.
[0016]
[6] The invention according to claim 6 relates to a scanning apparatus for filter inspection,
Information input means used to specify the position of the rectangular inspection target part in the opening of the installation filter;
In a scanning device for filter inspection comprising: a control means for specifying a position of the inspection object part based on information input by the input means and causing a scanning inspection tool to scan the inspection object part;
As the input means, by inputting the position information of both ends of the one side by an artificial operation to position the scanning inspection tool corresponding to both ends of the one side in the rectangular shape of the inspection target part, Trace input means for inputting posture information used for specifying on which side the rectangular shape is present with respect to the one side by an artificial operation to position the scanning inspection tool correspondingly on either side ,
Auxiliary input means for inputting shape information used for specifying the size and shape of the rectangular shape by an artificial operation of a predetermined operation form that does not require a moving operation of the scanning inspection tool,
Based on the position information of both ends of the one side inputted by the trace input means, the posture information inputted by the trace input means, and the shape information inputted by the auxiliary input means. The configuration is such that the position of the inspection object part is specified.
[0017]
That is, as described above, if the positions of both ends of one side in the rectangular shape of the inspection target part and the size and shape of the rectangular shape are specified, two candidates (inspection target parts) are specified as the position of the inspection target part. As for the rectangular shape of the portion, two position candidates specified separately can be specified by the two rectangular shapes that are formed on both sides of the one side whose positions are specified at both ends, and the rectangular shape of the inspection target portion If the control means is provided with posture information for specifying which side of the one side is present on the one side, the actual position of the inspection target portion of the two position candidates is based on the posture information. (I.e., the control means specifies one rectangular shape corresponding to the actual inspection target portion among the two rectangular shapes located on one side and the other side with respect to the one side) It is possible .
From these facts, if the above configuration is adopted, the position information of both ends of one side inputted by the trace input means and the trace input in the form in which the scanning inspection tool is positioned corresponding to one side with respect to the one side. Based on the posture information input by the means and the shape information input by the auxiliary input means, the position of the inspection target part can be accurately specified by the control means, and the inspection target part by the scanning inspection tool based on the position specification In this inspection, the scanning inspection tool can be appropriately scanned by the control means.
And according to the said structure of the invention which concerns on Claim 6, like the invention which concerns on Claim 4 and 5, each scanning vertex is moved and it is made to correspond to each vertex in the rectangular shape of a test object part, and each vertex It is possible to perform the labor-intensive manual input operation of inputting the position information only for two points at both ends of one side in the rectangular shape of the inspection target part, and thereby, the work efficiency is improved as compared with the above-described conventional apparatus. Can be improved effectively.
[0018]
[7] The invention according to claim 7 specifies an embodiment suitable for carrying out the invention according to any one of claims 1 to 6, and the features thereof are as follows:
The trace input means is configured to perform a manual input operation of the position information or the posture information accompanied by movement or rotation of the scanning inspection tool by a portable remote controller.
[0019]
In other words, according to this configuration, the operator carries the portable remote controller and moves or moves the scanning inspection tool in a state where the moving position and rotation state of the scanning inspection tool can be visually confirmed as accurately as possible. It is possible to perform manual input operations of position information and posture information with rotation using the remote controller, which makes it easier to perform input operations than, for example, those manual input operations performed using a fixed controller. Thus, the work efficiency can be further improved.
In addition, since the moving position and rotation state of the scanning inspection tool can be visually confirmed more accurately, the accuracy of the position information and posture information to be input can be improved, and thereby the position of the inspection target portion can be determined based on the input information. Therefore, it is possible to effectively improve the accuracy of the filter inspection performed with the control means specified.
[0020]
[8] The invention according to claim 8 specifies an embodiment suitable for carrying out the invention according to any one of claims 1 to 7, and its features are as follows:
The trace input means is configured to connect the rectangular scanning inspection tool to the corner corresponding to each of the two vertices of the diagonal or both ends of the one side among the four corners of the rectangular opening of the filter. Each of the two vertices of the diagonal is obtained by an artificial operation to position the L-shape of the opening-side corner portion and the L-shape of the inspection-tool-side corner portion in the same posture in an orthogonal view with respect to the opening portion, or The position information of both ends of the one side is input.
[0021]
That is, according to this configuration, the scanning inspection tool is positioned corresponding to each of the two diagonal vertices and one end of each side in the rectangular shape of the inspection target portion, and the position information of each of the two diagonal vertices and both ends of the one side In order to input the respective position information, in the four corners of the rectangular opening of the filter, at the corner corresponding to each of the two diagonal vertices and both ends of the one side, the rectangular view of the rectangular opening is viewed. In this case, the scanning inspection tool may be positioned so that the L-shape of the corner portion on the rectangular opening side and the L-shape of the corner portion on the scanning inspection device side coincide with each other in the same posture. When the scanning inspection tool is positioned so that the vertex of the corner on the rectangular opening side coincides with the center of the scanning inspection tool when viewed from the orthogonal direction with respect to the rectangular opening, Compared to inputting position information of both ends of one side, an index for aligning the L-shape of the corner portion on the rectangular opening side and the L-shape of the corner portion on the scanning inspection tool side In the form used in the above, it is possible to facilitate the positioning operation of the scanning inspection tool when the scanning inspection tool is positioned corresponding to each of the two diagonal vertices and both ends of one side, thereby improving work efficiency. In addition, the accuracy of the input position information can be improved, and the accuracy of the filter inspection can also be improved.
[0022]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
[First Embodiment]
1st Embodiment of this invention is Embodiment suitable for implementation of the invention which concerns on Claim 1, FIG. 1 shows the clean booth provided with the test | inspection function with respect to the air purification filter for internal chambers, and the inside of booth 1 A fishing-type filter support 3 is provided on the ceiling of the purification target chamber 2 formed on the filter, and the filter support 3 is hooked by a filter hook 4a as shown in FIG. By arranging rectangular filters 4 (for example, HEPA filters and ULPA filters) in parallel on the ceiling, the entire ceiling surface of the purification target chamber 2 is formed as a clean air outlet (filter) composed of the outlet surfaces of the juxtaposed filter group G. Opening).
[0023]
In the booth 1, the space above the juxtaposed filter group G (in other words, the space behind the ceiling) serves as an air supply chamber 5 that supplies air to the purification target chamber 2 via the juxtaposed filter group G. Next, a chamber wall 6 is used as a partition, and a return air passage 8 that communicates the exhaust port 7 provided at the lower portion of the chamber wall 6 and the air supply chamber 5 is formed. A circulation fan 9 that circulates air in the order of the chamber 5, the purification target chamber 2, and the return air passage 8 is provided. In other words, the clean air purified by the filter 4 in this air circulation is blown into the room in a downward laminar flow from the entire outlet face of the juxtaposed filter group G (that is, the entire ceiling face), so Are made into a high cleanliness space suitable for manufacturing chemicals and semiconductor parts, for example.
[0024]
The exhaust port 7 is provided over the entire length of the purification target chamber 2 in the long side direction (the depth direction in the drawing in FIG. 1) by a series of long opening structures or a plurality of row-like arrangements. The air passage width extends over the entire length in the long side direction of the purification target chamber 2, and the circulation fan 9 is arranged in the long side direction of the purification target chamber 2 and a plurality of units are installed in the return air passage 8. The air flow state in the second room is made uniform in the long side direction of the purification target room 2 to promote higher cleanliness in the room.
[0025]
In order to guarantee the cleanliness of the room, the filter 4 is inspected in a timely manner. For this filter inspection, a portable filter inspection scanning device M is used as shown in FIG.
[0026]
The outlet surface of the filter 4 to be inspected will be described in detail with reference to FIG. 2. Reference numeral 10 denotes a filter hooking portion 4 a for hooking the filter 4 against the filter support portion 3, and air from the air supply chamber 5 between the adjacent filters 4. A dead portion 11 composed of silicon caulking C sealing the leakage, 11 is a rectangular inspection target portion in each filter 4 to be inspected, and the filter inspection is performed on each inspection target portion 11 for each filter 4 Is done.
[0027]
The filter inspection scanning device M includes a central controller 12, a scanning inspection tool 13, a frame unit 15 that supports the scanning inspection tool 13, a controller 16 that is a portable remote controller, a monitor 17, a keyboard 18, and a mouse 19. The scanning inspection tool 13 is configured by attaching a funnel-like probe 14 having a rectangular opening to the tip of a suction tube 21 connected to a particle counter 20 connected to a central controller 12. 14 is configured to be relatively rotatable around an axis perpendicular to the clean air outlet by human operation.
[0028]
As shown in FIG. 3, in the present embodiment, the controller 16 employs a generally commercially available controller including a direction operation key 22, a start button 23, and four action buttons 24a to 24d. These action buttons 24a to 24d are set so as to correspond to the vertices 11a to 11d of the inspection target portion 11 having a rectangular shape.
[0029]
Then, in this scanning apparatus for filter inspection M, the two diagonal vertices are obtained by an artificial operation that sequentially positions the scanning inspection tool 13 corresponding to each of the two diagonal vertices 11a and 11c in the rectangular shape of the inspection object portion 11. Trace input means x1 for sequentially inputting positional information of 11a and 11c, and shape information used for specifying the size and shape of the rectangular shape are input by a manual operation of a predetermined operation form that does not require the moving operation of the scanning inspection tool 13. The position information of each of the two diagonal vertices 11a and 11c inputted by the auxiliary input means y1 and the trace input means x1, the order of inputting the position information of each of the two diagonal vertices 11a and 11c by the trace input means x1, and Based on the shape information input by the auxiliary input means y1, the position of the inspection target portion 11 is specified and the scanning inspection tool 13 is detected. Control means for causing the target unit 11 to perform scanning operation is provided. In the present embodiment, the trace input unit x1 includes a central controller 12, a scanning inspection tool 13, a frame unit 15, and a controller 16, and auxiliary input unit y1. Is composed of a central controller 12, a keyboard 18 and a mouse 19, and the control means is composed of the central controller 12.
[0030]
As initial settings for performing a filter inspection using the filter inspection scanning device M, probe shape information about the lengths of the long side 14A (14C) and the short side 14B (14D) of the probe 14 of the scanning inspection tool 13 The posture in which the long side 14A (14C) of the probe 14 is along the short side 11B (11D) of the rectangular inspection target portion 11 (that is, the short side 14B (14D) of the probe 14 is the long side 11A ( 11C) and a posture condition on the condition that the probe 14 is rotated so as to correspond to the diagonal two vertices 11a and 11c of the inspection target portion 11, and the position-input diagonal two vertices 11a, 11c, the first vertex 11a input in advance is used as a base point, and the rectangular shape is directed from the short side 11B to the long side 11A in the clockwise direction toward the third vertex 11c. And that the localization of a particular element of the test object 11 and set in advance in the central control unit 12.
[0031]
The posture condition of the probe 14 is such that the long side 14A (14C) of the probe 14 is along the long side 11A (11C) of the inspection target portion 11 (that is, the short side 14B (14D) of the probe 14 is the inspection target portion 11). The posture along the short side 11B (11D)) may be rotated so as to correspond to the diagonal two vertices 11a and 11c of the inspection target portion 11.
In order to go from the preceding input vertex as the specific element to the following input vertex, in the rectangular shape, from the short side 11B (11D) to the long side 11A (11C) in the counterclockwise direction, the long side 11A (11C in the clockwise direction) ) To the short side 11B (11D) and counterclockwise, the long side 11A (11C) to the short side 11B (11D) may be followed in this order.
The specific element may be configured to be set in the central controller 12 after specifying the positions of the diagonal two vertices 11a and 11c of the inspection target unit 11 and inputting the position information.
[0032]
In order to execute the filter inspection, the central controller 12 is caused to specify the position of the inspection target unit 11.
[0033]
First, the shape information of the size and shape of the inspection target portion 11 having a rectangular shape is input to the central controller 12 using the keyboard 18 and the mouse 19 by human operation.
[0034]
Next, in accordance with the posture condition of the probe 14 described above, the probe 14 is manually operated so that the L shape of the corner portions 14a to 14d of the probe 14 matches the L shape of the vertex of the inspection target portion 11 in the same posture. The probe 14 is moved and operated by using the controller 16 while visually confirming with the posture in which the inspection object portion 11 and the probe 14 are looked up while rotating relative to each other, and the first corner portion 14a of the probe 14 is diagonally aligned with the inspection object portion 11. By pressing the first action button 24a of the controller 16 in a state corresponding to the first vertex 11a of the two vertices, the position of the first vertex 11a is specified and the position information is input to the central controller 12.
[0035]
Subsequently, the third action button 24c of the controller 16 is moved in a state in which the third corner portion 14c of the probe 14 is moved and operated by human operation so as to correspond to the third vertex 11c of the inspection target portion 11. By pushing, the position of the third vertex 11c is specified, and the position information is input to the central controller 12.
Then, by pressing the start button 23 after that, the input of the position information of the two diagonal vertices 11a and 11c of the inspection object part 11 is completed.
[0036]
Note that the two diagonal vertices of the inspection target unit 11 may be a combination of the second vertex 11b and the fourth vertex 11d. In this case, the second action button 24b and the fourth vertex 11d with respect to the second vertex 11b. In response to this, the fourth action button 24d is pressed, the positions of the vertices 11b and 11d are specified, and their position information is input.
[0037]
As shown in FIG. 4, the diagonal two vertices 11 a and 11 c are connected by the central controller 12 from the shape information of the inspection target part 11 and the position information of the diagonal two vertices 11 a and 11 c of the inspection target part 11. Two rectangular shapes a <b> 1 and a <b> 2 that are line symmetric with respect to the diagonal line D are specified as position candidates of the inspection target portion 11.
[0038]
Then, with the specific element that has been initially set (that is, the first vertex 11a that has been input in advance among the two diagonally input vertices 11a and 11c as a base point, the rectangular shape has a long length from the short side 11B in the clockwise direction. Based on the fact that the position of the inspection object portion 11 is determined to be directed to the third vertex 11c in the order of the side 11A), the rectangular shape a1 from the two rectangular shapes a1 and a2 is the center as the actual position of the inspection object portion 11. It is specified by the controller 12.
[0039]
Furthermore, the central controller 12 performs a scanning inspection based on the position of the inspection target portion 11 being specified and the shape information about the lengths of the long side 14A (14C) and the short side 14B (14D) of the probe 14. The inspection movement area 25 of the tool 13 is calculated and specified.
[0040]
The calculation method of the inspection movement area 25 is such that the long side of the probe 14 with respect to the short side direction of the inspection object part 11 is outward from each of the two diagonal vertices 11a and 11c (11b and 11d) of the inspection object part 11 whose position is specified. 14A (14C) is moved by a half of the length and a half of the length of the short side 14B (14D) of the probe 14 with respect to the long side direction of the inspection object part 11 is moved. It is calculated by connecting the points.
[0041]
In the filter inspection, the central controller 12 scans and moves the probe 14 along the inspection moving area 25, and executes an inspection for air leakage between the filter hooking portion 4a and the silicon coking C.
[0042]
26 is a powder mixing device that mixes the powder P for filter leak inspection into the air passing through the return air passage 8 at the time of leak inspection, and 27 is a device that selectively selects the air in each part of the air supply chamber 5 at the time of leak inspection. A plurality of suction tools distributed and distributed over the entire area of the air supply chamber in the filter juxtaposition direction of the juxtaposed filter group G so as to be sucked and collected, and 28 is the air supply chamber 5 sucked and collected by the suction tool 27 during the leak test This is an intake port for taking in the air into the central controller 12.
[0043]
[Second Embodiment]
The second embodiment of the present invention is a preferred embodiment for carrying out the invention according to claim 2, and this scanning device for filter inspection M includes a scanning inspection tool 13 diagonally in a rectangular shape of the inspection object portion 11. Trace input means x2 for inputting the position information of each of the two diagonal vertices 11a and 11c by an artificial operation for correspondingly locating each of the two vertices 11a and 11c, and shape information used for specifying the size and shape of the rectangular shape, And the auxiliary input means y2 for inputting posture information used for specifying the posture of the rectangular shape by an artificial operation of a predetermined operation form that does not require the moving operation of the scanning inspection tool 13, and two diagonal vertices inputted by the trace input means x2 11a and 11c, the shape information input by the auxiliary input unit y2, and the posture information input by the auxiliary input unit y2. In this embodiment, the trace input means x2 includes the central controller 12, scanning, and a scanning means 13 for scanning the inspection target section 11 by specifying the position of the inspection target section 11. The inspection tool 13, the frame unit 15, and the controller 16 are configured. The auxiliary input unit y <b> 2 is configured by the central controller 12, the keyboard 18, and the mouse 19, and the control unit is configured by the central controller 12.
[0044]
As initial settings for performing a filter inspection using the filter inspection scanning device M, probe shape information about the lengths of the long side 14A (14C) and the short side 14B (14D) of the probe 14 of the scanning inspection tool 13 The posture in which the long side 14A (14C) of the probe 14 is along the short side 11B (11D) of the rectangular inspection target portion 11 (that is, the short side 14B (14D) of the probe 14 is the long side 11A ( 11C) and a posture condition on the condition that the probe 14 is rotated so as to correspond to the two diagonal vertices 11a and 11c of the inspection target portion 11, and the diagonal 2 position input by the controller 16 The inspection object part 11 is directed from one of the vertices 11a and 11c to the other vertex in the order of the short side 11B to the long side 11A in the clockwise direction with the base point as one base point. That a particular element location, previously set in the central controller 12.
[0045]
The posture condition of the probe 14 is such that the long side 14A (14C) of the probe 14 is along the long side 11A (11C) of the inspection target portion 11 (that is, the short side 14B (14D) of the probe 14 is the inspection target portion 11). The posture along the short side 11B (11D)) may be rotated so as to correspond to the diagonal two vertices 11a and 11c of the inspection target portion 11.
Then, in order to go from one vertex as the base point to the other vertex as the specific element, in the rectangular shape, from the short side 11B (11D) to the long side 11A (11C) and the long side 11A (11C) clockwise ) To the short side 11B (11D) and counterclockwise, the long side 11A (11C) to the short side 11B (11D) may be followed in this order.
The specific element may be configured to be set in the central controller 12 after specifying the positions of the diagonal two vertices 11a and 11c of the inspection target unit 11 and inputting the position information.
[0046]
In order to execute the filter inspection, the central controller 12 is caused to specify the position of the inspection target unit 11.
[0047]
First, the shape information of the size and shape of the inspection target portion 11 having a rectangular shape is input to the central controller 12 using the keyboard 18 and the mouse 19 by human operation.
[0048]
Next, in accordance with the posture condition of the probe 14 described above, the probe 14 is manually operated so that the L shape of the corner portions 14a to 14d of the probe 14 matches the L shape of the vertex of the inspection target portion 11 in the same posture. The probe 14 is moved and operated by using the controller 16 while visually confirming with the posture in which the inspection object portion 11 and the probe 14 are looked up while rotating relative to each other, and the first corner portion 14a of the probe 14 is diagonally aligned with the inspection object portion 11. By pressing the first action button 24a of the controller 16 in a state corresponding to the first vertex 11a of the two vertices, the position of the first vertex 11a is specified and the position information is input to the central controller 12.
[0049]
Subsequently, the third action button 24c of the controller 16 is moved in a state in which the third corner portion 14c of the probe 14 is moved and operated by human operation so as to correspond to the third vertex 11c of the inspection target portion 11. By pushing, the position of the third vertex is specified and the position information is input to the central controller 12.
Then, by pressing the start button 23 after that, the input of the position information of the two diagonal vertices 11a and 11c of the inspection object part 11 is completed.
[0050]
Note that the two diagonal vertices of the inspection target unit 11 may be a combination of the second vertex 11b and the fourth vertex 11d. In this case, the second action button 24b and the fourth vertex 11d with respect to the second vertex 11b. In response to this, the fourth action button 24d is pressed, the positions of the vertices 11b and 11d are specified, and the position information thereof is input.
Also, the input order of the position information of the two diagonal vertices may be any order.
[0051]
As shown in FIG. 4, the diagonal two vertices 11 a and 11 c are connected by the central controller 12 from the shape information of the inspection target part 11 and the position information of the diagonal two vertices 11 a and 11 c of the inspection target part 11. Two rectangular shapes a <b> 1 and a <b> 2 that are line symmetric with respect to the diagonal line D are specified as position candidates of the inspection target portion 11.
[0052]
Then, by selecting the first vertex 11a as the base point out of the two diagonal vertices 11a and 11c input by the controller 16 using the keyboard 18 by human operation, the specified element (that is, the base point) that has been initially set is selected. From the two rectangular shapes a1 and a2 to the rectangular shape on the basis of a specific element of the position of the inspection target section 11 that the short side 11B is directed to the other vertex in the order of the long side 11A in the clockwise direction. a1 is specified by the central controller 12 as the actual position of the inspection object part 11.
[0053]
As the specific element, from one vertex to the other vertex, the short side 11B (11D) to the long side 11A (11C) is counterclockwise, and the long side 11A (11C) to the short side 11B (clockwise). 11D), and may be determined to follow in any order from the long side 11A (11C) to the short side 11B (11D) counterclockwise.
Further, the specific element may be input before inputting the position information of the two diagonal vertices 11a and 11c of the inspection target portion 11 (that is, the shape information of the inspection target portion 11 and the scanning inspection tool 13). (It may be performed simultaneously with the input of the shape information about the lengths of the long side 14A (14C) and the short side 14B (14D) of the probe 14).
[0054]
Furthermore, the central controller 12 performs a scanning inspection based on the position of the inspection target portion 11 being specified and the shape information about the lengths of the long side 14A (14C) and the short side 14B (14D) of the probe 14. The inspection movement area 25 of the tool 13 is calculated and specified.
[0055]
The calculation method of the inspection movement area 25 is such that the long side of the probe 14 with respect to the short side direction of the inspection object part 11 is outward from each of the two diagonal vertices 11a and 11c (11b and 11d) of the inspection object part 11 whose position is specified. 14A (14C) is moved by a half of the length and a half of the length of the short side 14B (14D) of the probe 14 with respect to the long side direction of the inspection object part 11 is moved. It is calculated by connecting the points.
[0056]
In the filter inspection, the central controller 12 scans and moves the probe 14 along the inspection moving area 25, and executes an inspection for air leakage between the filter hooking portion 4a and the silicon coking C.
[0057]
In addition, since the other structure is the same as the structure demonstrated in 1st Embodiment, the same number is attached to the same structure location as 1st Embodiment, and the description is abbreviate | omitted.
[0058]
[Third Embodiment]
The third embodiment of the present invention is a preferred embodiment for carrying out the invention according to claim 2, and the scanning inspection tool 13 is arranged diagonally in the rectangular shape of the inspection object portion 11 in this filter inspection scanning device M. Trace input means x3 for inputting position information of each of the two diagonal vertices 11a and 11c by an artificial operation for correspondingly locating each of the two vertices 11a and 11c, and shape information used for specifying the size and shape of the rectangular shape, And the auxiliary input means y3 for inputting posture information used for specifying the posture of the rectangular shape by an artificial operation of a predetermined operation form that does not require the moving operation of the scanning inspection tool 13, and two diagonal vertices inputted by the trace input means x3 11a and 11c based on the position information, the shape information input by the auxiliary input unit y3, and the posture information input by the auxiliary input unit y3. In this embodiment, the trace input means x3 is the central controller 12, scanning, and the control means for specifying the position of the inspection target portion 11 and scanning the scanning inspection tool 13 with respect to the inspection target portion 11 is provided. The inspection tool 13, the frame unit 15, and the controller 16 are included. The auxiliary input unit y <b> 3 includes the central controller 12, the monitor 17, the keyboard 18, and the mouse 19, and the control unit includes the central controller 12.
[0059]
As initial settings for performing a filter inspection using the filter inspection scanning device M, probe shape information about the lengths of the long side 14A (14C) and the short side 14B (14D) of the probe 14 of the scanning inspection tool 13 The posture in which the long side 14A (14C) of the probe 14 is along the short side 11B (11D) of the rectangular inspection target portion 11 (that is, the short side 14B (14D) of the probe 14 is the long side 11A ( 11C) is set in advance in the central controller 12 with a posture condition on the condition that the probe 14 is rotated so that the probe 14 is positioned corresponding to the two diagonal vertices 11a and 11c of the inspection target portion 11. Keep it.
[0060]
The posture condition of the probe 14 is such that the long side 14A (14C) of the probe 14 is along the long side 11A (11C) of the inspection target portion 11 (that is, the short side 14B (14D) of the probe 14 is the inspection target portion 11). The posture along the short side 11B (11D)) may be rotated so as to correspond to the diagonal two vertices 11a and 11c of the inspection target portion 11.
[0061]
In order to execute the filter inspection, the central controller 12 is caused to specify the position of the inspection target unit 11.
[0062]
First, the shape information of the size and shape of the inspection target portion 11 having a rectangular shape is input to the central controller 12 using the keyboard 18 and the mouse 19 by human operation.
[0063]
Next, according to the posture condition of the probe 14, the probe 14 is manually operated so that the L shape of the corner portions 14a to 14d of the probe 14 matches the L shape of the vertex of the inspection target portion 11 in the same posture. The probe 14 is moved and operated using the controller 16 while being visually checked in a posture in which the inspection target portion 11 and the probe 14 are looked up while rotating relative to each other, and the first corner portion 14a of the probe 14 is diagonally opposite to the inspection target portion 11. When the first action button 24a of the controller 16 is pressed in a state corresponding to the first vertex 11a of the vertex, the position of the first vertex 11a is specified and the position information is input to the central controller 12.
[0064]
Subsequently, the third action button 24c of the controller 16 is moved in a state in which the third corner portion 14c of the probe 14 is moved and operated by human operation so as to correspond to the third vertex 11c of the inspection target portion 11. By pushing, the position of the third vertex 11c is specified, and the position information is input to the central controller 12.
Then, by pressing the start button 23 after that, the input of the position information of the two diagonal vertices 11a and 11c of the inspection object part 11 is completed.
[0065]
Note that the two diagonal vertices of the inspection target unit 11 may be a combination of the second vertex 11b and the fourth vertex 11d. In this case, the second action button 24b and the fourth vertex 11d with respect to the second vertex 11b. In response to this, the fourth action button 24d is pressed, the positions of the vertices 11b and 11d are specified, and the position information thereof is input.
Also, the input order of the position information of the two diagonal vertices may be any order.
[0066]
As shown in FIG. 4, the diagonal two vertices 11 a and 11 c are connected by the central controller 12 from the shape information of the inspection target part 11 and the position information of the diagonal two vertices 11 a and 11 c of the inspection target part 11. Two rectangular shapes a1 and a2 that are line symmetric with respect to the diagonal line D are specified as position candidates of the inspection object unit 11, and these two rectangular shapes a1 and a2 are displayed on the monitor 17.
[0067]
Then, by manual operation, the rectangular shape a1 is selected from the two rectangular shapes a1 and a2 displayed on the monitor 17 by operating the keyboard 18 or the mouse 19, and the rectangular shape a1 is set as the actual position of the inspection target unit 11. Identify.
[0068]
Furthermore, the central controller 12 performs a scanning inspection based on the position of the inspection target portion 11 being specified and the shape information about the lengths of the long side 14A (14C) and the short side 14B (14D) of the probe 14. The inspection movement area 25 of the tool 13 is calculated and specified.
[0069]
The calculation method of the inspection movement area 25 is such that the long side of the probe 14 with respect to the short side direction of the inspection object part 11 is outward from each of the two diagonal vertices 11a and 11c (11b and 11d) of the inspection object part 11 whose position is specified. 14A (14C) is moved by a half of the length and a half of the length of the short side 14B (14D) of the probe 14 with respect to the long side direction of the inspection object part 11 is moved. It is calculated by connecting the points.
[0070]
In the filter inspection, the central controller 12 scans and moves the probe 14 along the inspection moving area 25, and executes an inspection for air leakage between the filter hooking portion 4a and the silicon coking C.
[0071]
In addition, since the other structure is the same as the structure demonstrated in 1st Embodiment, the same number is attached to the same structure location as 1st Embodiment, and the description is abbreviate | omitted.
[0072]
[Fourth Embodiment]
The fourth embodiment of the present invention is an embodiment suitable for carrying out the invention according to claim 3, and, as shown in FIG. The sensor s for detecting 14 relative rotation angles is provided.
[0073]
The filter inspection scanning device M includes posture information used for specifying the posture of the rectangular shape of the inspection target portion 11 based on the relative rotation angle of the probe 14 in the rotation operation of the scanning inspection tool 13 by human operation, and the scanning inspection. Trace input means x4 for inputting the position information of each of the diagonal two vertices 11a and 11c by an artificial operation to position the tool 13 corresponding to each of the diagonal two vertices 11a and 11c in the rectangular shape of the inspection object portion 11, The auxiliary input means y4 for inputting the shape information used for specifying the size and shape of the rectangular shape by an artificial operation in a predetermined operation form that does not require the moving operation of the scanning inspection tool 13, and the diagonal two vertex 11a input by the trace input means x4 11c, position information inputted by the trace input means x4, and auxiliary input means y4. Control means for specifying the position of the inspection target portion 11 based on the input shape information and causing the scanning inspection tool 13 to scan the inspection target portion 11 is provided. In the present embodiment, the trace input means x4 is the center The controller 12, the scanning inspection tool 13, the frame unit 15, the controller 16, and the sensor s are configured. The auxiliary input unit y 4 includes the central controller 12, the keyboard 18, and the mouse 19, and the control unit is the central controller 12. It is configured.
[0074]
As initial settings for performing a filter inspection using the filter inspection scanning device M, probe shape information about the lengths of the long side 14A (14C) and the short side 14B (14D) of the probe 14 of the scanning inspection tool 13 The posture in which the long side 14A (14C) of the probe 14 is along the short side 11B (11D) of the rectangular inspection target portion 11 (that is, the short side 14B (14D) of the probe 14 is the long side 11A ( 11C) is set in advance in the central controller 12 with a posture condition on the condition that the probe 14 is rotated so that the probe 14 is positioned corresponding to the two diagonal vertices 11a and 11c of the inspection target portion 11. Keep it.
[0075]
The posture condition of the probe 14 is such that the long side 14A (14C) of the probe 14 is along the long side 11A (11C) of the inspection target portion 11 (that is, the short side 14B (14D) of the probe 14 is the inspection target portion 11). The posture along the short side 11B (11D)) may be rotated so as to correspond to the diagonal two vertices 11a and 11c of the inspection target portion 11.
[0076]
In order to execute the filter inspection, the central controller 12 is caused to specify the position of the inspection target unit 11.
[0077]
First, the shape information of the size and shape of the inspection target portion 11 having a rectangular shape is input to the central controller 12 using the keyboard 18 and the mouse 19 by an artificial input operation.
[0078]
Next, according to the posture condition of the probe 14, the probe 14 is manually operated so that the L shape of the corner portions 14a to 14d of the probe 14 matches the L shape of the vertex of the inspection target portion 11 in the same posture. Rotate relative.
At this time, the relative rotation angle with respect to the frame portion 15 of the probe 14 that is relatively rotated by an artificial operation is detected by the sensor s.
[0079]
Then, the controller 14 is used to move the probe 14 while visually confirming the inspection target portion 11 and the probe 14 while looking up, and the first corner portion 14a of the probe 14 is moved to the two diagonal vertices of the inspection target portion 11. When the first action button 24a of the controller 16 is pressed in a state corresponding to the first vertex 11a, the position of the first vertex 11a is specified and the position information is input to the central controller 12.
Then, the relative rotation angle information of the probe 14 detected by the sensor s is transmitted to the central controller 12, and the central controller 12 specifies the rectangular posture based on the relative rotation angle information.
[0080]
Subsequently, in a state where the third corner portion 14c of the probe 14 is moved using the controller 16 and is positioned corresponding to the third vertex 11c of the inspection target portion 11, the third action button 24c of the controller 16 is pressed. The position of the third vertex 11 c is specified, and the position information is input to the central controller 12.
Then, by pressing the start button 23 thereafter, the input of the positional information of the two diagonal vertices 11a and 11c of the inspection target unit 11 and the specification of the posture of the inspection target unit 11 are completed.
[0081]
Note that the two diagonal vertices of the inspection target unit 11 may be a combination of the second vertex 11b and the fourth vertex 11d. In this case, the second action button 24b and the fourth vertex 11d with respect to the second vertex 11b. In response to this, the fourth action button 24d is pressed, the positions of the vertices 11b and 11d are specified, and their position information is input.
Also, the input order of the position information of the two diagonal vertices may be any order.
[0082]
Then, the posture of the inspection target part 11 based on the shape information of the inspection target part 11, the position information of the two diagonal vertices 11a and 11c of the inspection target part 11, and the relative rotation angle information of the probe 14 detected by the sensor s. From the information, the rectangular shape a1 shown in FIG. 4 is specified by the central controller 12 as the actual position of the inspection object portion 11.
[0083]
Furthermore, the central controller 12 performs a scanning inspection based on the position of the inspection target portion 11 being specified and the shape information about the lengths of the long side 14A (14C) and the short side 14B (14D) of the probe 14. The inspection movement area 25 of the tool 13 is calculated and specified.
[0084]
The calculation method of the inspection movement area 25 is such that the long side of the probe 14 with respect to the short side direction of the inspection object part 11 is outward from each of the two diagonal vertices 11a and 11c (11b and 11d) of the inspection object part 11 whose position is specified. 14A (14C) is moved by a half of the length and a half of the length of the short side 14B (14D) of the probe 14 with respect to the long side direction of the inspection object part 11 is moved. It is calculated by connecting the points.
[0085]
In the filter inspection, the central controller 12 scans and moves the probe 14 along the inspection moving area 25, and executes an inspection for air leakage between the filter hooking portion 4a and the silicon coking C.
[0086]
In addition, since the other structure is the same as the structure demonstrated in 1st Embodiment, the same number is attached to the same structure location as 1st Embodiment, and the description is abbreviate | omitted.
[0087]
[Fifth Embodiment]
5th Embodiment in this invention is Embodiment suitable for implementation of the invention which concerns on Claim 4, Comprising: In this scanning apparatus M for a filter test | inspection, the scanning test | inspection tool 13 is 1 side in the rectangular shape of the test object part 11. FIG. Trace input means x5 for sequentially inputting positional information of both ends 11a and 11b of one side f by an artificial operation for sequentially corresponding positions to both ends 11a and 11b of f, and the size and shape of the rectangular shape Auxiliary input means y5 for inputting shape information used for identification by an artificial operation of a predetermined operation form that does not require a moving operation of the scanning inspection tool 13, and positions of both ends 11a and 11b of one side f input by the trace input means x5 Information, the input order of the position information of the both ends 11a and 11b by the trace input means, and the auxiliary input means y5 Control means for specifying the position of the inspection object part 11 based on the state information and causing the scanning inspection tool 13 to scan the inspection object part 11 is provided. In this embodiment, the trace input means x5 is a central controller. 12, the scanning inspection tool 13, the frame unit 15, and the controller 16. The auxiliary input unit y <b> 5 includes the central controller 12, the keyboard 18, and the mouse 19, and the control unit includes the central controller 12.
[0088]
As initial settings for performing a filter inspection using the filter inspection scanning device M, probe shape information about the lengths of the long side 14A (14C) and the short side 14B (14D) of the probe 14 of the scanning inspection tool 13 The posture in which the long side 14A (14C) of the probe 14 is along the short side 11B (11D) of the rectangular inspection target portion 11 (that is, the short side 14B (14D) of the probe 14 is the long side 11A ( 11C), and the posture condition on the condition that the probe 14 is rotated so as to correspond to both ends 11a and 11b of one side f of the inspection target portion 11, and one side input by the controller 16 When the second vertex 11b, which has been input after the first vertex 11a that has been input in advance, of both ends 11a, 11b of f is viewed as a reference, the inspection object part 1 Mostly for that one side f of the rectangular shape and that the localization of a particular element of the test object 11 that on the left, set in advance in the central control unit 12.
[0089]
The posture condition of the probe 14 is such that the long side 14A (14C) of the probe 14 is along the long side 11A (11C) of the inspection target portion 11 (that is, the short side 14B (14D) of the probe 14 is the inspection target portion 11). The posture along the short side 11B (11D)) may be rotated so as to correspond to the both ends 11a and 11b of one side f of the inspection object portion 11.
And as this specific element, when facing the 2nd vertex 11b from the 1st vertex 11a, you may determine so that most rectangular shapes of the test object part 11 may be on the right side with respect to 1 side f which specified the position.
The specific element may be configured to be set in the central controller 12 after specifying the positions of both ends 11a and 11b of one side f of the inspection target portion 11 and inputting the position information.
[0090]
In order to execute the filter inspection, the central controller 12 is caused to specify the position of the inspection target unit 11.
[0091]
First, the shape information of the size and shape of the inspection target portion 11 having a rectangular shape is input to the central controller 12 using the keyboard 18 and the mouse 19 by an artificial input operation.
[0092]
Next, according to the posture condition of the probe 14 described above, an artificial operation is performed so that the L shape of the corner portions 14a to 14d of the probe 14 matches the L shape at the end of the one side f of the inspection target portion 11 in the same posture. The probe 14 is moved by using the controller 16 while visually checking the probe 14 in a posture where the probe 14 and the probe 14 are looked up, and the first corner portion 14a of the probe 14 is inspected. The position of the first vertex 11a is specified by pressing the first action button 24a of the controller 16 with the first vertex 11a (one end of one side f of the inspection target portion 11) positioned corresponding to the first vertex 11a of the portion 11 The position information is input to the central controller 12.
[0093]
Subsequently, the controller 16 is used to move and operate the second corner portion 14b of the probe 14 so as to correspond to the second vertex 11b of the inspection target portion 11 (the other end of one side f of the inspection target portion 11). Then, by pressing the second action button 24 b of the controller 16, the position of the second vertex 11 b is specified and the position information is input to the central controller 12.
Then, by pressing the start button 23 thereafter, the input of the position information of the both ends 11a and 11b of the one side f of the inspection object part 11 is completed.
[0094]
In addition, as one side f of the inspection target part 11, the side between the first vertex 11a and the fourth vertex 11d, the side between the second vertex 11b and the third vertex 11c, the third vertex 11c and the fourth vertex Any one of the sides between the first vertex 11d and the third action button 24c for the third vertex 11c, and the fourth action button 24d for the fourth vertex 11d. The position information is specified and the position information is input.
[0095]
As shown in FIG. 5, from the shape information of the inspection object part 11 and the position information of both ends 11a and 11b of one side f of the inspection object part 11, each short side 14B and 14D of the probe 14 is controlled by the central controller 12. Are symmetrical with respect to an axial center z that connects the centers of the probes 14 positioned corresponding to both ends 11a and 11b of one side f of the inspection object portion 11, respectively. Two rectangular shapes a <b> 1 and a <b> 2) are specified as position candidates for the inspection target portion 11.
[0096]
Then, the specific element that has been initially set (that is, the first position that is input after the first vertex 11a that has been input in advance among the both ends 11a and 11b of the side f that has been input by the controller 16 as a reference) When the two vertices 11b are faced, most of the rectangular shape of the inspection target portion 11 is on the left side of the one side f), and the rectangular shape a1 is changed from the two rectangular shapes a1 and a2 to the inspection target portion 11. Is determined by the central controller 12.
[0097]
Furthermore, the central controller 12 performs a scanning inspection based on the position of the inspection target portion 11 being specified and the shape information about the lengths of the long side 14A (14C) and the short side 14B (14D) of the probe 14. The inspection movement area 25 of the tool 13 is calculated and specified.
[0098]
The calculation method of the inspection movement area 25 is such that the long side of the probe 14 with respect to the short side direction of the inspection object part 11 is outward from each of the two diagonal vertices 11a and 11c (11b and 11d) of the inspection object part 11 whose position is specified. 14A (14C) is moved by a half of the length and a half of the length of the short side 14B (14D) of the probe 14 with respect to the long side direction of the inspection object part 11 is moved. It is calculated by connecting the points.
[0099]
In the filter inspection, the central controller 12 scans and moves the probe 14 along the inspection moving area 25, and executes an inspection for air leakage between the filter hooking portion 4a and the silicon coking C.
[0100]
In addition, since the other structure is the same as the structure demonstrated in 1st Embodiment, the same number is attached to the same structure location as 1st Embodiment, and the description is abbreviate | omitted.
[0101]
[Sixth Embodiment]
6th Embodiment in this invention is Embodiment suitable for implementation of the invention which concerns on Claim 5, Comprising: In this scanning apparatus M for a filter test | inspection, the scanning inspection tool 13 is 1 side in the rectangular shape of the test object part 11. FIG. Trace input means x6 for inputting positional information of both ends 11a and 11b of one side f by an artificial operation for corresponding positions to both ends 11a and 11b of f, and a shape used for specifying the size and shape of the rectangular shape One side input by the trace input means x6 and auxiliary input means y6 for inputting information and posture information used for specifying the posture of the rectangular shape by an artificial operation of a predetermined operation form that does not require the moving operation of the scanning inspection tool 13 Position information of both ends 11a and 11b of f, shape information input by auxiliary input means y6, and posture information input by auxiliary input means y6 And a control means for specifying the position of the inspection target portion 11 and causing the scanning inspection tool 13 to scan the inspection target portion 11. In this embodiment, the trace input means x6 is the central controller 12. The auxiliary inspection means y6 is composed of the central controller 12, the keyboard 18 and the mouse 19, and the control means is composed of the central controller 12.
[0102]
As initial settings for performing a filter inspection using the filter inspection scanning device M, probe shape information about the lengths of the long side 14A (14C) and the short side 14B (14D) of the probe 14 of the scanning inspection tool 13 The posture in which the long side 14A (14C) of the probe 14 is along the short side 11B (11D) of the rectangular inspection target portion 11 (that is, the short side 14B (14D) of the probe 14 is the long side 11A ( 11C), and the posture condition on the condition that the probe 14 is rotated so as to correspond to both ends 11a and 11b of one side f of the inspection target portion 11, and one side input by the controller 16 When one end (first vertex) 11a of both ends 11a and 11b of f is faced to the other end (second vertex) 11b, the inspection target portion 11 And that the shape shape and localization of specific components of the inspection target portion 11 that on the left with respect to the one side f, set in advance in the central control unit 12.
[0103]
The posture condition of the probe 14 is such that the long side 14A (14C) of the probe 14 is along the long side 11A (11C) of the inspection target portion 11 (that is, the short side 14B (14D) of the probe 14 is the inspection target portion 11). The posture along the short side 11B (11D)) may be rotated so as to correspond to the both ends 11a and 11b of one side f of the inspection object portion 11.
And as this specific element, when facing the other end part (2nd vertex) 11b from one end part (1st vertex) 11a of 1 side f position-input by the controller 16, the rectangular shape of the test object part 11 May be determined to be on the right side with respect to the located side f.
The specific element may be configured to be set in the central controller 12 after specifying the positions of both ends 11a and 11b of one side f of the inspection target portion 11 and inputting the position information.
[0104]
In order to execute the filter inspection, the central controller 12 is caused to specify the position of the inspection target unit 11.
[0105]
First, the shape information of the size and shape of the inspection target portion 11 having a rectangular shape is input to the central controller 12 using the keyboard 18 and the mouse 19 by an artificial input operation.
[0106]
Next, according to the posture condition of the probe 14 described above, an artificial operation is performed so that the L shape of the corner portions 14a to 14d of the probe 14 matches the L shape at the end of the one side f of the inspection target portion 11 in the same posture. The probe 14 is moved by using the controller 16 while visually checking the probe 14 in a posture where the probe 14 and the probe 14 are looked up, and the first corner portion 14a of the probe 14 is inspected. The position of the first vertex 11a is specified by pressing the first action button 24a of the controller 16 with the first vertex 11a (one end of one side f of the inspection target portion 11) positioned corresponding to the first vertex 11a of the portion 11 The position information is input to the central controller 12.
[0107]
Subsequently, the controller 16 is used to move and operate the second corner portion 14b of the probe 14 so as to correspond to the second vertex 11b of the inspection target portion 11 (the other end of one side f of the inspection target portion 11). Then, by pressing the second action button 24 b of the controller 16, the position of the second vertex 11 b is specified and the position information is input to the central controller 12.
Then, by pressing the start button 23 thereafter, the input of the position information of the both ends 11a and 11b of the one side f of the inspection object part 11 is completed.
[0108]
In addition, as one side f of the inspection target part 11, the side between the first vertex 11a and the fourth vertex 11d, the side between the second vertex 11b and the third vertex 11c, the third vertex 11c and the fourth vertex Any one of the sides between the first vertex 11d and the third action button 24c for the third vertex 11c, and the fourth action button 24d for the fourth vertex 11d. The position information is specified and the position information is input.
Further, the input order of the position information at both ends of the side f may be an arbitrary order.
[0109]
As shown in FIG. 5, from the shape information of the inspection object part 11 and the position information of both ends 11a and 11b of one side f of the inspection object part 11, each short side 14B and 14D of the probe 14 is controlled by the central controller 12. Are symmetrical with respect to an axial center z connecting the centers of the probes 14 when they are positioned corresponding to both ends 11a and 11b of one side f of the inspection object portion 11, respectively. Two rectangular shapes a1 and a2) are specified as position candidates of the inspection object part 11.
[0110]
Then, by using the keyboard 18 by human operation and selecting the first vertex 11a as a reference from both ends 11a and 11b of the side f input by the controller 16, a specific element that has been initially set (that is, When one end (first vertex) 11a of both ends 11a and 11b of the side f input by the controller 16 is used as a reference and the other end (second vertex) 11b is faced, the inspection object portion 11 The rectangular shape a1 from the two rectangular shapes a1 and a2 based on the fact that the rectangular shape is on the left side of the one side f) As specified by the central controller 12.
[0111]
Furthermore, the central controller 12 performs a scanning inspection based on the position of the inspection target portion 11 being specified and the shape information about the lengths of the long side 14A (14C) and the short side 14B (14D) of the probe 14. The inspection movement area 25 of the tool 13 is calculated and specified.
[0112]
The calculation method of the inspection movement area 25 is such that the long side of the probe 14 with respect to the short side direction of the inspection object part 11 is outward from each of the two diagonal vertices 11a and 11c (11b and 11d) of the inspection object part 11 whose position is specified. 14A (14C) is moved by a half of the length and a half of the length of the short side 14B (14D) of the probe 14 with respect to the long side direction of the inspection object part 11 is moved. It is calculated by connecting the points.
[0113]
In the filter inspection, the central controller 12 scans and moves the probe 14 along the inspection moving area 25, and executes an inspection for air leakage between the filter hooking portion 4a and the silicon coking C.
[0114]
In addition, since the other structure is the same as the structure demonstrated in 1st Embodiment, the same number is attached to the same structure location as 1st Embodiment, and the description is abbreviate | omitted.
[0115]
[Seventh Embodiment]
The seventh embodiment of the present invention is a preferred embodiment for carrying out the invention according to claim 5, and this scanning device for filter inspection M includes a scanning inspection tool 13 on one side of the rectangular shape of the inspection object portion 11. Trace input means x7 for inputting position information of both ends 11a and 11b of one side f by an artificial operation for corresponding positions to both ends 11a and 11b of f, and a shape used for specifying the size and shape of the rectangular shape Information and the posture information used for specifying the posture of the rectangular shape are input by auxiliary input means y7 for inputting a predetermined operation form that does not require the moving operation of the scanning inspection tool 13, and one side input by the trace input means x7 Position information of both ends 11a and 11b of f, shape information input by the auxiliary input unit y7, and posture information input by the auxiliary input unit y7. And a control means for specifying the position of the inspection object part 11 and causing the scanning inspection tool 13 to scan the inspection object part 11 in this embodiment. In this embodiment, the trace input means x7 is the central controller 12, The scanning inspection tool 13, the frame unit 15, and the controller 16 are configured. The auxiliary input unit y 6 is configured by the central controller 12, the monitor 17, the keyboard 18, and the mouse 19, and the control unit is configured by the central controller 12. .
[0116]
As initial settings for performing a filter inspection using the filter inspection scanning device M, probe shape information about the lengths of the long side 14A (14C) and the short side 14B (14D) of the probe 14 of the scanning inspection tool 13 The posture in which the long side 14A (14C) of the probe 14 is along the short side 11B (11D) of the rectangular inspection target portion 11 (that is, the short side 14B (14D) of the probe 14 is the long side 11A ( 11C) is set in advance in the central controller 12 in such a condition that the probe 14 is rotated so as to be positioned at both ends 11a and 11b of one side f of the inspection target portion 11 Keep it.
[0117]
The posture condition of the probe 14 is such that the long side 14A (14C) of the probe 14 is along the long side 11A (11C) of the inspection target portion 11 (that is, the short side 14B (14D) of the probe 14 is the inspection target portion 11). The posture along the short side 11B (11D)) may be rotated so as to correspond to the both ends 11a and 11b of one side f of the inspection object portion 11.
[0118]
In order to execute the filter inspection, the central controller 12 is caused to specify the position of the inspection target unit 11.
[0119]
First, the shape information of the size and shape of the inspection target portion 11 having a rectangular shape is input to the central controller 12 using the keyboard 18 and the mouse 19 by an artificial input operation.
[0120]
Next, according to the posture condition of the probe 14 described above, an artificial operation is performed so that the L shape of the corner portions 14a to 14d of the probe 14 matches the L shape at the end of the one side f of the inspection target portion 11 in the same posture. The probe 14 is moved by using the controller 16 while visually checking the probe 14 in a posture where the probe 14 and the probe 14 are looked up, and the first corner portion 14a of the probe 14 is inspected. The position of the first vertex 11a is specified by pressing the first action button 24a of the controller 16 with the first vertex 11a (one end of one side f of the inspection target portion 11) positioned corresponding to the first vertex 11a of the portion 11 The position information is input to the central controller 12.
[0121]
Subsequently, the controller 16 is used to move and operate the second corner portion 14b of the probe 14 so as to correspond to the second vertex 11b of the inspection target portion 11 (the other end of one side f of the inspection target portion 11). Then, by pressing the second action button 24 b of the controller 16, the position of the second vertex 11 b is specified and the position information is input to the central controller 12.
Then, by pressing the start button 23 thereafter, the input of the position information of the both ends 11a and 11b of the one side f of the inspection object part 11 is completed.
[0122]
In addition, as one side f of the inspection target part 11, the side between the first vertex 11a and the fourth vertex 11d, the side between the second vertex 11b and the third vertex 11c, the third vertex 11c and the fourth vertex Any one of the sides between the first vertex 11d and the third action button 24c for the third vertex 11c, and the fourth action button 24d for the fourth vertex 11d. The position information is specified and the position information is input.
Further, the input order of the position information at both ends of the side f may be an arbitrary order.
[0123]
As shown in FIG. 5, from the shape information of the inspection object part 11 and the position information of both ends 11a and 11b of one side f of the inspection object part 11, each short side 14B and 14D of the probe 14 is controlled by the central controller 12. Are symmetrical with respect to an axial center z connecting the centers of the probes 14 when they are positioned corresponding to both ends 11a and 11b of one side f of the inspection object portion 11, respectively. The two rectangular shapes a1 and a2) are specified as the position candidates of the inspection target portion 11, and the two rectangular shapes a1 and a2 are displayed on the monitor 17.
[0124]
Then, by manual operation, the rectangular shape a1 is selected from the two rectangular shapes a1 and a2 displayed on the monitor 17 by operating the keyboard 18 or the mouse 19, and the rectangular shape a1 is set as the actual position of the inspection target unit 11. Identify.
[0125]
Furthermore, the central controller 12 performs a scanning inspection based on the position of the inspection target portion 11 being specified and the shape information about the lengths of the long side 14A (14C) and the short side 14B (14D) of the probe 14. The inspection movement area 25 of the tool 13 is calculated and specified.
[0126]
The calculation method of the inspection movement area 25 is such that the long side of the probe 14 with respect to the short side direction of the inspection object part 11 is outward from each of the two diagonal vertices 11a and 11c (11b and 11d) of the inspection object part 11 whose position is specified. 14A (14C) is moved by a half of the length and a half of the length of the short side 14B (14D) of the probe 14 with respect to the long side direction of the inspection object part 11 is moved. It is calculated by connecting the points.
[0127]
In the filter inspection, the central controller 12 scans and moves the probe 14 along the inspection moving area 25, and executes an inspection for air leakage between the filter hooking portion 4a and the silicon coking C.
[0128]
In addition, since the other structure is the same as the structure demonstrated in 1st Embodiment, the same number is attached to the same structure location as 1st Embodiment, and the description is abbreviate | omitted.
[0129]
[Eighth Embodiment]
The eighth embodiment of the present invention is an embodiment suitable for carrying out the invention according to claim 6, and this scanning device for filter inspection M includes a scanning inspection tool 13 on one side of the rectangular shape of the inspection object portion 11. The position information of both ends 11a and 11b of one side f by an artificial operation for corresponding positions to both ends 11a and 11b of f and the scanning inspection tool 13 corresponding to one side f of the side f The trace input means x8 for inputting posture information used for specifying the posture of the rectangular shape of the inspection object part 11 by the artificial operation to be positioned, and the shape information used for specifying the size and shape of the rectangular shape are used to move the scanning inspection tool 13. Position information of both ends 11a and 11b of one side f input by the auxiliary input means y6 that is input by an artificial operation of a predetermined operation form that does not require the trace input means x8. Similarly, based on the posture information input by the trace input means x8 and the shape information input by the auxiliary input means y8, the position of the inspection target part 11 is specified and the scanning inspection tool 13 is caused to scan the inspection target part 11. In this embodiment, the trace input means x8 includes a central controller 12, a scanning inspection tool 13, a frame unit 15, and a controller 16. The auxiliary input means y8 includes the central controller 12, a keyboard. 18 and a mouse 19, and the control means is a central controller 12.
[0130]
As initial settings for performing a filter inspection using the filter inspection scanning device M, probe shape information about the lengths of the long side 14A (14C) and the short side 14B (14D) of the probe 14 of the scanning inspection tool 13 The posture in which the long side 14A (14C) of the probe 14 is along the short side 11B (11D) of the rectangular inspection target portion 11 (that is, the short side 14B (14D) of the probe 14 is the long side 11A ( 11C) is set in advance in the central controller 12 in such a condition that the probe 14 is rotated so as to be positioned at both ends 11a and 11b of one side f of the inspection target portion 11 Keep it.
[0131]
The posture condition of the probe 14 is such that the long side 14A (14C) of the probe 14 is along the long side 11A (11C) of the inspection target portion 11 (that is, the short side 14B (14D) of the probe 14 is the inspection target portion 11). The posture along the short side 11B (11D)) may be rotated so as to correspond to the both ends 11a and 11b of one side f of the inspection object portion 11.
[0132]
In order to execute the filter inspection, the central controller 12 is caused to specify the position of the inspection target unit 11.
[0133]
First, the shape information of the size and shape of the inspection target portion 11 having a rectangular shape is input to the central controller 12 using the keyboard 18 and the mouse 19 by an artificial input operation.
[0134]
Next, according to the posture condition of the probe 14 described above, an artificial operation is performed so that the L shape of the corner portions 14a to 14d of the probe 14 matches the L shape at the end of the one side f of the inspection target portion 11 in the same posture. The probe 14 is moved by using the controller 16 while visually checking the probe 14 in a posture where the probe 14 and the probe 14 are looked up, and the first corner portion 14a of the probe 14 is inspected. The position of the first vertex 11a is specified by pressing the first action button 24a of the controller 16 with the first vertex 11a (one end of one side f of the inspection target portion 11) positioned corresponding to the first vertex 11a of the portion 11 The position information is input to the central controller 12.
[0135]
Subsequently, the controller 16 is used to move and operate the second corner portion 14b of the probe 14 so as to correspond to the second vertex 11b of the inspection target portion 11 (the other end of one side f of the inspection target portion 11). Then, by pressing the second action button 24 b of the controller 16, the position of the second vertex 11 b is specified and the position information is input to the central controller 12.
Then, by pressing the start button 23 thereafter, the input of the position information of the both ends 11a and 11b of the one side f of the inspection object part 11 is completed.
[0136]
In addition, as one side f of the inspection target part 11, the side between the first vertex 11a and the fourth vertex 11d, the side between the second vertex 11b and the third vertex 11c, the third vertex 11c and the fourth vertex Any one of the sides between the first vertex 11d and the third action button 24c for the third vertex 11c, and the fourth action button 24d for the fourth vertex 11d. The position information is specified and the position information is input.
Further, the input order of the position information at both ends of the side f may be an arbitrary order.
[0137]
As shown in FIG. 5, from the shape information of the inspection object part 11 and the position information of both ends 11a and 11b of one side f of the inspection object part 11, each short side 14B and 14D of the probe 14 is controlled by the central controller 12. Are symmetrical with respect to an axial center z connecting the centers of the probes 14 when they are positioned corresponding to both ends 11a and 11b of one side f of the inspection object portion 11, respectively. Two rectangular shapes a1 and a2) are specified as position candidates of the inspection object part 11.
[0138]
Then, by manually moving the probe 14 to the side in the direction in which the inspection target portion 11 is located by using the controller 16 by human operation, pressing the first action button 24a, and then pressing the start button 23 again, the inspection target The posture information of the part 11 is input, and from this, the central controller 12 sets the rectangular shape a1 from the two rectangular shapes a1 and a2 having sides along the short sides 14B and 14D of the probe 14 as the position of the inspection target portion 11. Identified.
Note that the action button for inputting the posture information of the inspection target unit 11 is not limited to the first action button 24a, and is any action button of the second action button 24b, the third action button 24c, or the fourth action button 24d. Also good.
[0139]
Furthermore, the central controller 12 performs a scanning inspection based on the position of the inspection target portion 11 being specified and the shape information about the lengths of the long side 14A (14C) and the short side 14B (14D) of the probe 14. The inspection movement area 25 of the tool 13 is calculated and specified.
[0140]
The calculation method of the inspection movement area 25 is such that the long side of the probe 14 with respect to the short side direction of the inspection object part 11 is outward from each of the two diagonal vertices 11a and 11c (11b and 11d) of the inspection object part 11 whose position is specified. 14A (14C) is moved by a half of the length and a half of the length of the short side 14B (14D) of the probe 14 with respect to the long side direction of the inspection object part 11 is moved. It is calculated by connecting the points.
[0141]
In the filter inspection, the central controller 12 scans and moves the probe 14 along the inspection moving area 25, and executes an inspection for air leakage between the filter hooking portion 4a and the silicon coking C.
[0142]
In addition, since the other structure is the same as the structure demonstrated in 1st Embodiment, the same number is attached to the same structure location as 1st Embodiment, and the description is abbreviate | omitted.
[0143]
[Another embodiment]
Next, another embodiment will be listed.
[0144]
In the above-described embodiment, a case where a plurality of filters 4 arranged in parallel on the ceiling surface of the purification target chamber 2 is an inspection target is shown, but the inspection target filters 4 may not be a plurality of filters, and a single filter 4 may be sufficient.
[0145]
In order to position the probe 14 of the scanning inspection tool 13 corresponding to the two diagonal vertices of the inspection target part 11 or both ends of the side f, a laser pointer is provided in the vicinity of the probe 14 or the probe 14 of the frame part 15; The position of the probe 14 may be operated and the position input may be performed by using the controller 16, the keyboard 18 or the mouse 19 as a trace input means while observing the point indicated by the laser pointer.
In addition, a small camera such as a CCD camera is disposed in the probe 14 or in the frame section 15 in the vicinity of the probe 14, and an image from the small camera is displayed on the monitor 17, and the controller 16, keyboard 18 or mouse 19 is viewed while viewing the image. As a trace input means, the position of the probe 14 may be operated and the position input may be performed.
[0146]
The configuration of the controller 16 is not limited to the configuration described in the above-described embodiment, and various controllers may be used as long as the controller 16 includes the operation direction key 22, the start button 23, and at least one action button 24a. Can be adopted.
[0147]
The calculation method of the inspection movement area 25 of the scanning inspection tool 13 by the central controller 12 is the long side 14A (14C) and the short side 14B (14D) of the probe 14 that are preset as the initial settings as in the above-described embodiment. And the probe 14 with respect to the short side direction of the inspection target part 11 outwardly from each of the two diagonal vertices 11a, 11c (11b, 11d) of the inspection target part 11 whose position is specified based on the shape information about the length of the inspection target part 11. And a half of the length of the short side 14B (14D) of the probe 14 with respect to the long side direction of the inspection object part 11; The movement distance information in the short side direction of the arbitrary inspection target part 11 and the movement distance information in the long side direction of the inspection target part 11 are input, and the movement distance is not limited to the method of connecting the points moved. Inspection movement based on information The method and various other method of calculating the 25 may be adopted.
[0148]
The air supply air passage for the air supply chamber 5 is not limited to the air passage structure such as the return air passage 8, and may be of any air passage structure.
[0149]
The powder P for filter leak inspection is not limited to aerosolized dioptyl phthalate (DOP), and various other types can be applied.
[0150]
The use of the purification target chamber 2 is not limited to a medicine or food production room or a semiconductor parts production room, and may be any use.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a front sectional view showing the entire structure of a clean booth.
FIG. 2 is a view showing an exit surface of a juxtaposed filter group
[Fig. 3] Diagram of remote controller
FIG. 4 is a view showing an inspection object part in the first to fourth embodiments of the present invention.
FIG. 5 is a view showing an inspection object part in fifth to eighth embodiments of the present invention.
FIG. 6 is a perspective view showing a scanning inspection tool according to a fourth embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
4 filters
11 Inspection target part
12 Control means
13 Scanning inspection tool
16 Portable remote control
11a, 11c 2 diagonal vertices
11a, 11b Both ends of one side
11a to 11d Corner portions of filter openings
13a-13d Corner portion of scanning inspection tool
f 1 side
x1 to x8 Trace input means
y1-y8 Auxiliary input means

Claims (8)

設置フィルタの開口部における矩形の検査対象部の位置を特定するのに用いる情報の入力手段と、
この入力手段により入力した情報に基づき前記検査対象部の位置を特定して、走査検査具を前記検査対象部に対し走査動作させる制御手段とを備えるフィルタ検査用スキャン装置であって、
前記入力手段として、前記走査検査具を前記検査対象部の矩形形状における対角２頂点のそれぞれに対し順次に対応位置させる人為操作により、それら対角２頂点それぞれの位置情報を順次に入力するトレース入力手段と、
前記矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報を、前記走査検査具の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段とを設け、
前記制御手段を、前記トレース入力手段により入力した前記対角２頂点それぞれの位置情報と、それら対角２頂点それぞれの位置情報の入力の順序と、前記補助入力手段により入力した前記形状情報とに基づいて、前記検査対象部の位置を特定する構成にしてあるフィルタ検査用スキャン装置。Information input means used to specify the position of the rectangular inspection target part in the opening of the installation filter;
A scanning device for filter inspection comprising: a control unit that specifies a position of the inspection target portion based on information input by the input unit and causes a scanning inspection tool to scan the inspection target portion;
As the input means, a trace that sequentially inputs position information of each of the two diagonal vertices by an artificial operation that sequentially positions the scanning inspection tool with respect to each of the two diagonal vertices in the rectangular shape of the inspection target portion Input means;
Auxiliary input means for inputting shape information used for specifying the size and shape of the rectangular shape by an artificial operation of a predetermined operation form that does not require a moving operation of the scanning inspection tool,
The control means includes the position information of each of the two diagonal vertices input by the trace input means, the input order of the position information of each of the two diagonal vertices, and the shape information input by the auxiliary input means. A filter inspection scanning device configured to identify the position of the inspection target portion based on the configuration. 設置フィルタの開口部における矩形の検査対象部の位置を特定するのに用いる情報の入力手段と、
この入力手段により入力した情報に基づき前記検査対象部の位置を特定して、走査検査具を前記検査対象部に対し走査動作させる制御手段とを備えるフィルタ検査用スキャン装置であって、
前記入力手段として、前記走査検査具を前記検査対象部の矩形形状における対角２頂点のそれぞれに対し対応位置させる人為操作により、それら対角２頂点それぞれの位置情報を入力するトレース入力手段と、
前記矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報、及び、前記矩形形状の姿勢の特定に用いる姿勢情報を、前記走査検査具の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段とを設け、
前記制御手段を、前記トレース入力手段により入力した前記対角２頂点それぞれの位置情報と、前記補助入力手段により入力した前記形状情報と、同じく前記補助入力手段により入力した前記姿勢情報とに基づいて、前記検査対象部の位置を特定する構成にしてあるフィルタ検査用スキャン装置。Information input means used to specify the position of the rectangular inspection target part in the opening of the installation filter;
A scanning device for filter inspection comprising: a control unit that specifies a position of the inspection target portion based on information input by the input unit and causes a scanning inspection tool to scan the inspection target portion;
Trace input means for inputting the position information of each of the two diagonal vertices by an artificial operation of causing the scanning inspection tool to correspond to each of the two diagonal vertices in the rectangular shape of the inspection target portion as the input means;
Auxiliary input for inputting the shape information used for specifying the size and shape of the rectangular shape and the posture information used for specifying the posture of the rectangular shape by an artificial operation of a predetermined operation form that does not require the moving operation of the scanning inspection tool. Means,
Based on the position information of each of the two diagonal vertices inputted by the trace input means, the shape information inputted by the auxiliary input means, and the posture information inputted by the auxiliary input means. A scanning device for filter inspection configured to identify the position of the inspection target portion. 設置フィルタの開口部における矩形の検査対象部の位置を特定するのに用いる情報の入力手段と、
この入力手段により入力した情報に基づき前記検査対象部の位置を特定して、走査検査具を前記検査対象部に対し走査動作させる制御手段とを備えるフィルタ検査用スキャン装置であって、
前記入力手段として、前記走査検査具を前記フィルタ開口部に対して直交する軸芯周りで回転させて走査検査具を前記検査対象部の矩形形状に対し所定の相対姿勢にする人為操作により、その矩形形状の姿勢の特定に用いる姿勢情報を入力するとともに、前記走査検査具を前記矩形形状における対角２頂点のそれぞれに対し対応位置させる人為操作により、それら対角２頂点それぞれの位置情報を入力するトレース入力手段と、
前記矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報を、前記走査検査具の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段とを設け、
前記制御手段を、前記トレース入力手段により入力した前記姿勢情報と、同じく前記トレース入力手段により入力した前記対角２頂点それぞれの位置情報と、前記補助入力手段により入力した前記形状情報とに基づいて，前記検査対象部の位置を特定する構成にしてあるフィルタ検査用スキャン装置。Information input means used to specify the position of the rectangular inspection target part in the opening of the installation filter;
A scanning device for filter inspection comprising: a control unit that specifies a position of the inspection target portion based on information input by the input unit and causes a scanning inspection tool to scan the inspection target portion;
As the input means, the scanning inspection tool is rotated around an axis perpendicular to the filter opening to make the scanning inspection tool a predetermined relative posture with respect to the rectangular shape of the inspection target portion, Input the posture information used for specifying the posture of the rectangular shape, and input the position information of each of the two diagonal vertices by an artificial operation to position the scanning inspection tool corresponding to each of the two diagonal vertices in the rectangular shape. Trace input means to
Auxiliary input means for inputting shape information used for specifying the size and shape of the rectangular shape by an artificial operation of a predetermined operation form that does not require a moving operation of the scanning inspection tool,
Based on the posture information input by the trace input unit, the position information of each of the two diagonal vertices input by the trace input unit, and the shape information input by the auxiliary input unit. A scanning device for filter inspection configured to identify the position of the inspection target portion. 設置フィルタの開口部における矩形の検査対象部の位置を特定するのに用いる情報の入力手段と、
この入力手段により入力した情報に基づき前記検査対象部の位置を特定して、走査検査具を前記検査対象部に対し走査動作させる制御手段とを備えるフィルタ検査用スキャン装置であって、
前記入力手段として、前記走査検査具を前記検査対象部の矩形形状における１辺の両端のそれぞれに対し順次に対応位置させる人為操作により、その１辺の両端それぞれの位置情報を順次に入力するトレース入力手段と、
前記矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報を、前記走査検査具の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段とを設け、
前記制御手段を、前記トレース入力手段により入力した前記１辺の両端それぞれの位置情報と、その１辺の両端それぞれの位置情報の入力の順序と、前記補助入力手段により入力した前記形状情報とに基づいて、前記検査対象部の位置を特定する構成にしてあるフィルタ検査用スキャン装置。Information input means used to specify the position of the rectangular inspection target part in the opening of the installation filter;
A scanning device for filter inspection comprising: a control unit that specifies a position of the inspection target portion based on information input by the input unit and causes a scanning inspection tool to scan the inspection target portion;
As the input means, a trace that sequentially inputs the position information of both ends of one side by an artificial operation to sequentially position the scanning inspection tool corresponding to both ends of one side in the rectangular shape of the inspection target portion Input means;
Auxiliary input means for inputting shape information used for specifying the size and shape of the rectangular shape by an artificial operation of a predetermined operation form that does not require a moving operation of the scanning inspection tool,
The control means includes the position information of each end of the one side input by the trace input means, the order of input of the position information of each end of the one side, and the shape information input by the auxiliary input means. A filter inspection scanning device configured to specify the position of the inspection target portion based on the above. 設置フィルタの開口部における矩形の検査対象部の位置を特定するのに用いる情報の入力手段と、
この入力手段により入力した情報に基づき前記検査対象部の位置を特定して、走査検査具を前記検査対象部に対し走査動作させる制御手段とを備えるフィルタ検査用スキャン装置であって、
前記入力手段として、前記走査検査具を前記検査対象部の矩形形状における１辺の両端のそれぞれに対し対応位置させる人為操作により、その１辺の両端それぞれの位置情報を入力するトレース入力手段と、
前記矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報、及び、前記１辺に対して前記矩形形状がいずれの側に存在するかの特定に用いる姿勢情報を、前記走査検査具の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段とを設け、
前記制御手段を、前記トレース入力手段により入力した前記１辺の両端それぞれの位置情報と、前記補助入力手段により入力した前記形状情報と、同じく前記補助入力手段により入力した前記姿勢情報とに基づいて、前記検査対象部の位置を特定する構成にしてあるフィルタ検査用スキャン装置。Information input means used to specify the position of the rectangular inspection target part in the opening of the installation filter;
A scanning device for filter inspection comprising: a control unit that specifies a position of the inspection target portion based on information input by the input unit and causes a scanning inspection tool to scan the inspection target portion;
As the input means, a trace input means for inputting position information of both ends of the one side by an artificial operation to position the scanning inspection tool corresponding to both ends of the one side in the rectangular shape of the inspection target part;
There is no need to move the scanning inspection tool with the shape information used for specifying the size and shape of the rectangular shape and the posture information used for specifying which side the rectangular shape is on the one side. Auxiliary input means for inputting by human operation of a predetermined operation form,
Based on the position information of both ends of the one side inputted by the trace input means, the shape information inputted by the auxiliary input means, and the posture information inputted by the auxiliary input means. A scanning device for filter inspection configured to identify the position of the inspection target portion. 設置フィルタの開口部における矩形の検査対象部の位置を特定するのに用いる情報の入力手段と、
この入力手段により入力した情報に基づき前記検査対象部の位置を特定して、走査検査具を前記検査対象部に対し走査動作させる制御手段とを備えるフィルタ検査用スキャン装置であって、
前記入力手段として、前記走査検査具を前記検査対象部の矩形形状における１辺の両端のそれぞれに対し対応位置させる人為操作により、その１辺の両端それぞれの位置情報を入力するとともに、その１辺に対していずれか一方側に前記走査検査具を対応位置させる人為操作により、前記１辺に対して前記矩形形状がいずれの側に存在するかの特定に用いる姿勢情報を入力するトレース入力手段と、
前記矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報を、前記走査検査具の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段とを設け、
前記制御手段を、前記トレース入力手段により入力した前記１辺の両端それぞれの位置情報と、同じく前記トレース入力手段により入力した前記姿勢情報と、前記補助入力手段により入力した前記形状情報とに基づいて、前記検査対象部の位置を特定する構成にしてあるフィルタ検査用スキャン装置。Information input means used to specify the position of the rectangular inspection target part in the opening of the installation filter;
A scanning device for filter inspection comprising: a control unit that specifies a position of the inspection target portion based on information input by the input unit and causes a scanning inspection tool to scan the inspection target portion;
As the input means, by inputting the position information of both ends of the one side by an artificial operation to position the scanning inspection tool corresponding to both ends of the one side in the rectangular shape of the inspection target part, Trace input means for inputting posture information used for specifying on which side the rectangular shape is present with respect to the one side by an artificial operation to position the scanning inspection tool correspondingly on either side ,
Auxiliary input means for inputting shape information used for specifying the size and shape of the rectangular shape by an artificial operation of a predetermined operation form that does not require a moving operation of the scanning inspection tool,
Based on the position information of each end of the one side inputted by the trace input means, the posture information inputted by the trace input means, and the shape information inputted by the auxiliary input means. A scanning device for filter inspection configured to identify the position of the inspection target portion. 前記トレース入力手段は、前記走査検査具の移動又は回転を伴う前記位置情報又は前記姿勢情報の人為入力操作を携帯式の遠隔操作器により行う構成にしてある請求項１〜６のいずれか１項に記載のフィルタ検査用スキャン装置。The trace input means is configured to perform a manual input operation of the position information or the posture information accompanied by movement or rotation of the scanning inspection tool by a portable remote controller. The scanning device for filter inspection described in 1. 前記トレース入力手段は、前記フィルタの矩形開口部における４コーナー部のうち前記対角２頂点のそれぞれ又は前記１辺の両端それぞれに対応するコーナー部に対し、矩形の前記走査検査具を、前記矩形開口部に対する直交方向視において開口部側コーナー部のＬ字形状と検査具側コーナー部のＬ字形状とが同姿勢で合致する状態に対応位置させる人為操作により、前記対角２頂点のそれぞれ又は前記１辺の両端それぞれの位置情報を入力する構成にしてある請求項１〜７のいずれか１項に記載のフィルタ検査用スキャン装置。The trace input unit is configured to connect the rectangular scanning inspection tool to the corner corresponding to each of the two vertices of the diagonal or both ends of the one side among the four corners of the rectangular opening of the filter. Each of the two vertices on the diagonal or The scanning apparatus for filter inspection according to any one of claims 1 to 7, wherein position information of both ends of the one side is input.
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