JP4199440B2 - 超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法 - Google Patents
超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4199440B2 JP4199440B2 JP2001197885A JP2001197885A JP4199440B2 JP 4199440 B2 JP4199440 B2 JP 4199440B2 JP 2001197885 A JP2001197885 A JP 2001197885A JP 2001197885 A JP2001197885 A JP 2001197885A JP 4199440 B2 JP4199440 B2 JP 4199440B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diamond
- carbon
- gas
- ion beam
- strength elastic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
- C23C16/45517—Confinement of gases to vicinity of substrate
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
- B81C1/00015—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems
- B81C1/00023—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems without movable or flexible elements
- B81C1/00111—Tips, pillars, i.e. raised structures
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
- C01B32/25—Diamond
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
- C01B32/25—Diamond
- C01B32/26—Preparation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
- C23C16/047—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using irradiation by energy or particles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/26—Deposition of carbon only
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
- C23C16/45587—Mechanical means for changing the gas flow
- C23C16/45591—Fixed means, e.g. wings, baffles
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Geology (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、超微細加工方法に関し、特に、超強度弾性ダイヤモンド状炭素の微細構造体の形成方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
ダイヤモンド状炭素(ダイヤモンドライクカーボン、DLC)化合物による薄膜や微細構造体は、その機械的特性、即ち、耐摩耗性、硬さ(ヤング率)などの点で非常に優れており、工業応用上、非常に重要である。
【0003】
例えば、CVD法によって形成されるDLC膜は、磁気ヘッドやハードディスクなどの磁気記憶媒体の表面保護膜に広く利用され、今日のエレクトニクス技術社会に不可欠の要素技術となっている。
【0004】
このDLC膜などは、例えば芳香族系炭化水素をガスとし、光、電子ビーム、イオンビームを用い、表面励起反応によって原料ガスを分解生成することでダイヤモンド状薄膜を得る方法等が比較的よく知られている。
【0005】
特に、近年の電子ビームやイオンビームを用いた電子・イオン励起反応によるDLC分解生成物は、例えば、ジャーナル・オブ・バキューム・サイエンス・アンド・テクノロジー誌2000年(VOL6)3181−3184ページにあるように、その加工寸法を数ナノメートルで制御することが可能であり、さらに、3次元の中空構造をも作り出すことが可能であることが示され、極めて重要なナノ加工技術となっている。
【0006】
このようなDLCによるナノ3次元構造体の作成技術は、ナノスケールでのメカニカルデバイス(NEMS)やバイオエレクトロニクスへの応用が考えられ、医療分野や、航空宇宙工学、量子演算コンピュータなどの次世代エレクトロニクスにいたる広範囲な分野での応用が期待される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
このようなダイヤモンド状炭素の重要な基礎物性である硬さ(ヤング率)は、実際のデバイス、例えば共振を利用したフィルタや、ナノメカニカルデバイスなどの応用を考えたときに、極めて重要なパラメータであり、自然ダイヤモンドに近いものができるようになると、その工業的応用範囲は非常に広い。
【0008】
従来報告されているCVD法による薄膜は磁気ヘッドや磁気記憶媒体の耐摩耗用保護膜として利用されているが、そのヤング率は約600GPaであった。自然界に産出される自然ダイヤモンド結晶の硬さが1220GPaであり、地上で最大の硬さを誇る。一方、人工合成による薄膜の硬さはこの自然ダイヤの約半分である。また、近年注目されているナノチューブの硬さは約1000GPaであり、自然ダイヤモンドに近い。
【0009】
発明者等は、研究の結果、ある条件のもとで、分解生成反応プロセスとイオンによるスパッタ衝撃との平行条件を制御しながら成長させることで、例えば、直径80ナノメートル程度で20μmの長さを持つピラーにおけるヤング率をほぼ自然ダイヤモンド並の1000GPaレベルまでを達成・制御させる技術を開発した。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明では、原料ガスとして、例えば、フェナントレン(C14H10)およびピレン(C16H10)ガスを用い、基板近傍に局所的に高いガス分圧維持させるためのガスノズルおよび基板上にガスを閉じこめる構造を有し、イオンビームによる照射条件を0.1〜10pAの集束イオンビーム電流量と、その時の成長速度が0.5〜5μm/分の範囲で制御することである技術を提供する。尚、収束イオンビームの原料ガス分圧が、10 −7 Torrオーダーレベルであってもよい。
【0011】
即ち、本発明によれば集束イオンビームによる炭化水素ガスの化学分解生成反応を利用したダイヤモンド状炭素(ダイヤモンドライクカーボン、DLC)構造体の形成方法において、前記集束イオンビームの照射量を0.1〜10pAのイオンビーム電流量でもって制御することを特徴とする超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法が得られる。
【0012】
本発明によればまた、ダイヤモンド状炭素構造体の成長速度を0.5〜5μm/分にする前記超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法が得られる。
【0013】
本発明によればさらに、前記集束イオンビームのビーム照射タイミングを、所定時間の照射と所定時間の休止とが繰り返されるインターバルタイミングとした前記超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法が得られる。
【0014】
また、本発明によれば、前記集束イオンビームを照射するための集束イオンビーム装置におけるガス供給系に、ビーム照射位置に向かって配置された複数のガスノズルを設ける前記超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法が得られる。
【0015】
さらに、本発明によれば、前記ガスノズルを、その先端が基板からの距離が500μm以下になるように配置する前記超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法が得られる。
【0016】
また、本発明によれば、前記集束イオンビームを照射するための集束イオンビーム装置におけるガス供給系に、ビーム照射位置に向かって配置されたガスノズルと、ビーム照射位置の周囲に配置されたガス反射壁とを設ける前記超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法が得られる。
【0017】
また、本発明によれば、前記ガス反射壁の高さを、基板と前記ガスノズルと間の距離と同程度に設定する前記超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法が得られる。
【0018】
また、本発明によれば、前記ガス反射壁の幅を、基板と前記ガスノズルと間の距離と同程度に設定する前記超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法が得られる。
【0019】
また、本発明によれば、前記ガス反射壁を、基板を囲うような形状に設定する前記超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法が得られる。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態による超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法を説明する。
【0021】
集束イオンビーム装置と芳香族炭化水素ガスを用いた分解生成物形成方法において、本発明における形成方法の重要な指標となるのが成長速度である。
【0022】
一般的にイオン照射による分解生成反応では、イオンと原料ガスとの直接の反応ではなく、イオン照射によって生じる2次電子が表面吸着ガスを分解する反応が主たる分解生成反応過程となる。
【0023】
近年の集束イオンビーム装置の性能向上により集束イオンビームの有効ビーム径は5〜7ナノメートル程度となっている。
【0024】
このような細いビームが基板もしくは分解生成物に照射されると、約30keVのイオンの場合数十ナノメートルの深さ侵入、前方散乱によりやはり数十ナノメートル程度広がって、基板もしくは分解生成物中で停止する。
【0025】
この間の反応素過程として、オージェ過程や原子の外核角励過程、起非弾性散乱過程を経て、数eVから数keVの2次電子が放出される。これらの低エネルギーの2次電子の反応断面積は大きく、表面に吸着された原料ガスを非平衡で分解し、DLCが生成される。
【0026】
結局、このような分解生成反応では、供給ガスが表面に吸着層を作る速さと2次電子量とで、化学平衡が形成される。つまり、ガス供給を多くし、同時に供給量に合わせてイオン照射量を増やせば、生成反応が優勢となって成長速度が速くなる。
【0027】
しかし、実験的に知り得た結果では、図2に示すように、成長速度が速すぎると、生成物のヤング率は低くなる。
【0028】
また、同じ成長速度であっても、単位時間のイオン照射量が少ない場合(イオン電流用が少ない場合に相当)にも、ヤング率は低くなる。
【0029】
即ち、DLCピラーなどでそのヤング率を高くするには、成長速度とイオン電流用を適度に制御することが必要である。ガス供給を止め、かつイオン照射だけでは、基板はイオンスパッタされる。
【0030】
イオンビームによるガスの分解生成反応では、原料ガスの分解生成反応と同時に、このイオンスパッタがおこり、イオン衝撃によるアモルファス化やたたき込みなどが起こり、ダイヤモンド状炭素生成物の硬度を硬くしていると考えられる。
【0031】
つまり、本発明で示すような適当なイオン電流量と成長速度を与えることで、DLC生成物のヤング率を制御し、ほぼ自然ダイヤモンドと同程度ヤング率を有するDLC生成物を得ることができる。
【0032】
さらに、基板上の局所ガス分圧を制御する方法として、複数のガスノズルをイオンビーム照射位置中央に向けて配置し、基板表面上のガス分圧を高める方法が有効である。
【0033】
しかし、利用するイオンビーム電流量によっては、必ずしも原料ガス分圧を高くすることが有効とはいえない。
【0034】
そのような場合、単一ガスノズルと基板周囲のガス分圧を均一化する方法として、照射部分周囲をガス反射壁で囲う方法も有効である。
【0035】
以上、超高強度ダイヤモンド状炭素分解生成物を得る方法として、集束イオンビーム装置と炭化水素ガスによる化学分解生成反応によるダイヤモンド状炭素(DLC)構造物の形成方法において、該イオンビームの照射量を0.1〜10pAのイオンビーム電流量と、DLC構造体の成長速度が0.5〜5μm/分である超強度弾性ダイヤモンドライクカーボン形成方法成長方法が有効である。
【0036】
前記超強度弾性ダイヤモンドライクカーボン形成方法は、該集束イオンビーム装置のビーム照射タイミングを、一定の照射と休止を繰り返すインターバルタイミングを用いたビーム照射を用いる。
【0037】
前記超強度弾性ダイヤモンドライクカーボン形成方法は、集束イオンビーム装置のガス供給系において、ビーム照射位置に向かって複数のガスノズルを配置し、かつガスノズル先端位置が基板からの距離が大きくとも500μm以下にするガスノズル配置構成方法と特徴とする。
【0038】
前記超強度弾性ダイヤモンドライクカーボン形成方法は、該集束イオンビーム装置のガス供給系において、ビーム照射位置の周囲に、ガスノズルと基板間の距離程度の高さをもち、また同距離程度の範囲を少なくとも1面以上の壁面によって構成されるガス反射壁を設けることを特徴とする。
【0039】
【実施例】
本発明の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
【0040】
図1を参照すると、本発明の第一の実施の形態として超強度弾性ダイヤモンドライクカーボン形成方法が示されている。
【0041】
集束イオンビームが基板に照射され、同時に原料ガスが導入されている。原料ガスとしてはフェナントレンを用いている。イオンビーム照射位置にDLCピラーが成長する。このとき、ビームの照射位置をX−Yで走査することで、3次元構造体、例えば、ビーカーやベローズのような形状のもの、あるいは、ワイングラスのような形状のもの等、自由に作成することが可能である。
【0042】
このような3次元構造体を作ることが可能である点が、イオンビームによるDLC構造体作成技技術の大きな特徴である。このような3次元構造体を製造できる主たる要因は、イオンビームの物体中への侵入長・拡散長が比較的短いからである。つまり、イオン励起による2次電子の発生領域が狭いことを意味する。
【0043】
このために、ポイントで照射するイオンビームの周囲数十ナノメートルの範囲で表面吸着層の分解生成反応が起こり、ナノスケールのピラーが成長する。
【0044】
ここで、イオンビームの位置をピラー中心から序々にラジアル方向に移動させると、2次電子の発生場所も移動していく。
【0045】
ビームポジションの移動にともない、移動側のピラー側壁での2次電子発生が始まり、側壁での分解生成反応により、側壁方向側(移動方向側)でDLCの成長が起こる。
【0046】
つまり、オーバーハングの形状が、1本のイオンビームで形成できるわけである。2次電子の発生領域が狭いために、側壁での成長範囲は数十ナノメートルに限定されることで、側壁での成長物が基板に到達・接触することはない。
【0047】
ここで、イオンビームをX−Y方向でスキャンし回転運動を与え、上(Z)方向へ成長速度が1回転したときに、元の成長部分と接触しない程度に十分速ければ、例えば、コイルスプリングのような形状が形成できる。
【0048】
ビームの回転速度が速く、回転毎の成長がZ方向に連続し、さらにビームの回転半径を周期的に変調してやると、例えば、図6に示すようなベローズやビーカーのよな形状が成長する。さらに、このようなビームの回転による回転楕円体の成長とピラー成長を組み合わせると、ワイングラスのような形状も作成可能である。
【0049】
このような造形物形状に対する自由度の高い制御が可能な集束イオンビームによるCVDであるが、本発明を応用することで構造物の場所による硬さを自由に制御することが可能となる。
【0050】
その条件は、例えば、原料ガスとしてフェナントレンを用い、直径約100ナノメートルの極細のDLCピラー成長に対する条件は、図2に示す曲線で示され、1pAのイオンビームで原料ガス分圧を調整し(これは装置の排気量に依存し、各装置固有の値を持つ)、DLCピラーの成長速度を1.2〜2.0μm/分程度にすると、そのピラーのヤング率は700〜900GPaが得られる。
【0051】
この硬さは、WCタングステンカーバイドの約600GPaを上回り、これは、ほぼ天然ダイヤモンド1220GPaに近い値であり、極めて硬いDLC構造物を容易に得ることができる。逆に、ガス分圧を制御し成長速度を3μm/分程度に設定するとヤング率は200GPa程度に、さらに早い成長速度にすると80GPaとなり、これは、アルミニウムや金のヤング率と同程度となる。このように、本発明を適用することで、FIB(Focused Ion Beam、集束イオンビーム)CVDによるDLC構造物の硬さを、非常に広い範囲で自由に制御することが可能となる。
【0052】
本発明でも使用するFIBCVDの装置では、一般に、供給ガス分圧の均一性をよくする必要がある。これは、表面吸着層形成速度が全周で均一でないと全方位にわたって均一な成長速度が得られないからである。良好な3次元構造を得るには、例えば、図3に示すような複数本のガス供給ノズルを装置内に設置することで達成される。
【0053】
一方、ガス分圧の均一性を安価に制御する方法としては、図4に示すような方法もある。
【0054】
1本のガスノズルを用いるので装置設計上の自由度も高くなる。このガスノズルに対向するように、高さがガスノズルと基板間の距離程度のガス反射壁を設ける方法である。この反射壁はノズルに対向した1面ないし直角を挟んだ2面、3面の囲い込み、さらには曲面で構成するなどの方法がある。
【0055】
また、ガス分圧の制御は実際にはなかなか難しい。その理由は、ここで用いている成長速度を達成する、典型的な装置内ガス分圧が10−7Torrのオーダーであるからである。これは、装置の残留ガスのレベルと同程度となる。勿論、一般的には、基板近傍のガス分圧は、この値よりも高いと予測されるが、正確な値を決定することは困難であり、また、実用上あまり本質的な意味がない。
【0056】
このような状況で適切なガス分圧を制御性よく得るための方法が、図5に示すタイムインターバルを用いた成長制御方法である。本発明の本質は、適切な量の表面吸着量とそれに対応した適切な量の照射イオンビーム量とが、DLC構造物の硬さを規定する点にある。低いガズ分圧の時には、例えば、イオンビームの照射時間と、必要であればガス供給をも、周期的なタイミングで制御することで、DLCピラーの硬度を制御することが可能である。
【0057】
以上のような装置構成と、イオン照射量およびピラー成長速度の条件を、実際の構造物に適応した例を示す。
【0058】
例えば、図6に示すDLCベローズは、最初基板上で形成した後に切り離し、マイクロ部品を結合するパーツとして屈伸運動などが必要な場所にマイクロマシンの一部として使われることが想定される。ここで重要な機能は、ベローズののび縮みとその耐久性である。
【0059】
即ち、ベローズのエッジ部では硬く接着され、伸縮部では柔軟に伸縮することが必要である。このような場所による硬さの制御は本発明に開示する成長技術を応用することで簡単に達成することが可能である。
【0060】
また、DLCピラーを応用したナノピンセットなどにおいても、同様の機能が求められる。
【0061】
例えば、図7に示すように、ピラーの一部に柔らかい部分を導入することで、ピラー両端では硬く、屈曲が必要な場所のみを柔らかいDLCで連続形成することが可能である。
【0062】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明による集束イオンビームを用いた超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法を用いることで、自由にDCL構造体の強度を通常金属から自然ダイヤモンドに近い非常に広い範囲で自由に硬度を制御することが可能となり、高機能ナノ構造体を容易に得るための基本的設計指針を与える。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法を説明するための図である。
【図2】本発明による超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法の成長条件を示す図である。
【図3】本発明による超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法のガス供給方法を示す図である。
【図4】本発明による超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法のガス供給方法を示す図である。
【図5】本発明による超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法のガス供給タイミングとビーム照射タイミングを示す図である。
【図6】本発明による超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法を適応した構造体例を示す図である。
【図7】本発明による超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法を適応した構造体例を示す図である。
Claims (11)
- 集束イオンビームによる炭化水素ガスの化学分解生成反応を利用したダイヤモンド状炭素(ダイヤモンドライクカーボン、DLC)構造体の形成方法において、
前記集束イオンビームの照射を0.1〜10pAのイオンビーム電流量で行い、
ダイヤモンド状炭素構造体の成長速度を0.5〜5μm/分とすることを特徴とする超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法。 - 前記ダイヤモンド状炭素構造体の前記成長速度が、0.5〜2.0μm/分であることを特徴とする請求項1に記載の超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法。
- 前記ダイヤモンド状炭素構造体の前記成長速度が、1.2〜2.0μm/分であることを特徴とする請求項1または2に記載の超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法。
- 収束イオンビームの原料ガス分圧が、10 −7 Torrオーダーレベルである請求項 1 乃至3のいずれか一項に記載の超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法。
- 前記ダイヤモンド状炭素構造体のヤング率が700〜900Gpaである請求項1乃至4のいずれか一項に記載の超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法。
- 前記集束イオンビームを照射するための集束イオンビーム装置におけるガス供給系に、ビーム照射位置に向かって配置された複数のガスノズルを設ける請求項1乃至5のいずれか一項に記載の超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法。
- 前記ガスノズルを、その先端が基板からの距離が500μm以下になるように配置する請求項6に記載の超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法。
- 前記集束イオンビームを照射するための集束イオンビーム装置におけるガス供給系に、ビーム照射位置に向かって配置されたガスノズルと、ビーム照射位置の周囲に配置されたガス反射壁とを設ける請求項1乃至7のいずれか一項に記載の超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法。
- 前記ガス反射壁の高さを、基板と前記ガスノズルと間の距離と同程度に設定する請求項8に記載の超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法。
- 前記ガス反射壁の幅を、基板と前記ガスノズルと間の距離と同程度に設定する請求項8または9に記載の超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法。
- 前記ガス反射壁を、基板を囲うような形状に設定する請求項8乃至10のいずれか一項に記載の超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001197885A JP4199440B2 (ja) | 2001-06-29 | 2001-06-29 | 超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法 |
DE60237892T DE60237892D1 (de) | 2001-06-29 | 2002-06-28 | Verfahren zur herstellung einer hochfesten elastischen diamantartigen kohlenstoffstruktur |
US10/482,178 US20050066882A1 (en) | 2001-06-29 | 2002-06-28 | Method for forming ultra-high strength elastic diamond like carbon structure |
EP02738851A EP1411144B1 (en) | 2001-06-29 | 2002-06-28 | Method for forming ultra-high strength elastic diamond like carbon structure |
PCT/JP2002/006546 WO2003002779A1 (en) | 2001-06-29 | 2002-06-28 | Method for forming ultra-high strength elastic diamond like carbon structure |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001197885A JP4199440B2 (ja) | 2001-06-29 | 2001-06-29 | 超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003013226A JP2003013226A (ja) | 2003-01-15 |
JP4199440B2 true JP4199440B2 (ja) | 2008-12-17 |
Family
ID=19035417
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001197885A Expired - Lifetime JP4199440B2 (ja) | 2001-06-29 | 2001-06-29 | 超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20050066882A1 (ja) |
EP (1) | EP1411144B1 (ja) |
JP (1) | JP4199440B2 (ja) |
DE (1) | DE60237892D1 (ja) |
WO (1) | WO2003002779A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100799014B1 (ko) * | 2000-11-29 | 2008-01-28 | 에스아이아이 나노 테크놀로지 가부시키가이샤 | 초 미세 입체구조의 제조 방법 및 그 장치 |
EP1598312A4 (en) * | 2003-02-28 | 2008-03-26 | Japan Science & Tech Agency | METHOD FOR MANUFACTURING A THREE DIMENSIONAL MICROSTRUCTURE BY FIB-CVC AND SYSTEM FOR DRAWING THE MICROSTRUCTURE |
JP4725085B2 (ja) * | 2003-12-04 | 2011-07-13 | 株式会社豊田中央研究所 | 非晶質炭素、非晶質炭素被膜部材および非晶質炭素膜の成膜方法 |
JP4672534B2 (ja) * | 2005-11-29 | 2011-04-20 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 微小電子エミッタの作製方法及びそれを用いて作製される微小電子エミッタ |
EP2657710A1 (en) | 2012-04-25 | 2013-10-30 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Characterization structure for an atomic force microscope tip |
JP7096031B2 (ja) * | 2017-06-26 | 2022-07-05 | 日本特殊陶業株式会社 | 基板保持部材 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5135808A (en) * | 1990-09-27 | 1992-08-04 | Diamonex, Incorporated | Abrasion wear resistant coated substrate product |
US5616179A (en) * | 1993-12-21 | 1997-04-01 | Commonwealth Scientific Corporation | Process for deposition of diamondlike, electrically conductive and electron-emissive carbon-based films |
US5989779A (en) * | 1994-10-18 | 1999-11-23 | Ebara Corporation | Fabrication method employing and energy beam source |
US5458686A (en) * | 1995-03-03 | 1995-10-17 | Neocera, Inc. | Pulsed laser passive filter deposition system |
JPH10163201A (ja) * | 1996-11-28 | 1998-06-19 | Seiko Instr Inc | パターン形成方法及びその装置 |
US6086962A (en) * | 1997-07-25 | 2000-07-11 | Diamonex, Incorporated | Method for deposition of diamond-like carbon and silicon-doped diamond-like carbon coatings from a hall-current ion source |
JP2967198B1 (ja) * | 1998-10-02 | 1999-10-25 | 科学技術庁金属材料技術研究所長 | 微小物の3次元精密配列方法 |
US6451389B1 (en) * | 1999-04-17 | 2002-09-17 | Advanced Energy Industries, Inc. | Method for deposition of diamond like carbon |
JP4137317B2 (ja) * | 1999-10-07 | 2008-08-20 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 微小立体構造物、その製造方法及びその製造装置 |
KR100799014B1 (ko) * | 2000-11-29 | 2008-01-28 | 에스아이아이 나노 테크놀로지 가부시키가이샤 | 초 미세 입체구조의 제조 방법 및 그 장치 |
-
2001
- 2001-06-29 JP JP2001197885A patent/JP4199440B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-06-28 US US10/482,178 patent/US20050066882A1/en not_active Abandoned
- 2002-06-28 DE DE60237892T patent/DE60237892D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-06-28 WO PCT/JP2002/006546 patent/WO2003002779A1/ja active Application Filing
- 2002-06-28 EP EP02738851A patent/EP1411144B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1411144B1 (en) | 2010-10-06 |
EP1411144A1 (en) | 2004-04-21 |
JP2003013226A (ja) | 2003-01-15 |
US20050066882A1 (en) | 2005-03-31 |
EP1411144A4 (en) | 2007-12-12 |
WO2003002779A1 (en) | 2003-01-09 |
DE60237892D1 (de) | 2010-11-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5553353B2 (ja) | 単原子膜の製造方法 | |
JP3447492B2 (ja) | 炭素材料とその製造方法 | |
JP3791601B2 (ja) | ナノグラファイト構造体の作製方法 | |
US6660959B2 (en) | Processes for nanomachining using carbon nanotubes | |
KR20070001281A (ko) | 카본나노구조체의 제조방법 | |
JP4199440B2 (ja) | 超強度弾性ダイヤモンド状炭素の形成方法 | |
JPH0676666B2 (ja) | 炭素膜作製方法 | |
Avasthi et al. | Studies on carbon nanotubes and fullerenes under extreme conditions | |
JP5028606B2 (ja) | カーボンナノチューブの製造方法および製造装置 | |
US5851475A (en) | Surface treatment of ceramic articles | |
US20150292080A1 (en) | Apparatus for the generation of nanocluster films and methods for doing the same | |
Gspann | Reactive accelerated cluster erosion (RACE) by ionized cluster beams | |
Silva et al. | The structure of tetrahedral amorphous carbon thin films | |
KR101701731B1 (ko) | 층들을 형성하는 방법들 | |
Lukin et al. | Tuning the spatially controlled growth, structural self-organizing and cluster-assembling of the carbyne-enriched nano-matrix during ion-assisted pulse-plasma deposition | |
JP5137095B2 (ja) | シリコンナノ結晶材料の製造方法及び該製造方法で製造されたシリコンナノ結晶材料 | |
Li et al. | Atomistic simulations on nanoimprinting of copper by aligned carbon nanotube arrays under a high-frequency mechanical vibration | |
Paillard et al. | Mechanical properties of nanostructed diamond-like carbon films synthesized by low energy cluster beam deposition | |
US9371232B2 (en) | Trekking atom nanotube growth | |
Corbella Roca | Thin film structures of diamond-like carbon prepared by pulsed plasma techniques | |
Lukin et al. | Tuning the Spatially Controlled Growth, Structural Self-Organizing and Cluster-Assembling of the Carbyne-Enriched Nanostructured Metamaterials During Ion-Assisted Pulse-Plasma Deposition | |
CN106904571B (zh) | 一种纳米尺度缝隙的制备方法 | |
JP2998244B2 (ja) | 領域選択的結晶成長方法 | |
WO2007034808A1 (ja) | 基板およびその製造方法 | |
KR100397396B1 (ko) | W초미립자의 제조방법 및 w나노결정박막의 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20040611 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050303 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080416 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080613 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20080710 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20080710 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080924 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081003 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111010 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4199440 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121010 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131010 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131010 Year of fee payment: 5 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |